KR20090008062A

KR20090008062A - 테스트핸들러용 개방기 및 버퍼테이블

Info

Publication number: KR20090008062A
Application number: KR1020070071366A
Authority: KR
Inventors: 나윤성; 전인구; 안승철; 김동한; 손재현
Original assignee: (주)테크윙
Priority date: 2007-07-16
Filing date: 2007-07-16
Publication date: 2009-01-21
Also published as: US20100320348A1; TWI430381B; CN101688895A; CN101688895B; US8523158B2; KR100901523B1; TW200913110A; WO2009011508A1

Abstract

본 발명은 테스트핸들러용 개방기에 관한 것으로, 본 발명에 따른 개방기는, 개방판; 상기 개방판에 이동 가능 결합될 수 있고, 캐리어보드에 반도체소자를 홀딩(holding)시키는 홀딩장치의 홀딩상태를 해제시킬 수 있는 개방핀을 가지며, 쌍으로 구비되는 복수의 핀블럭; 및 상기 복수의 핀블럭 중 서로 쌍을 이루는 핀블럭들 간의 간격을 유지시키는 적어도 하나 이상의 간격유지장치; 를 포함함으로써 테스트될 반도체소자의 크기가 달라져 캐리어보드가 교체된 경우에도 개방기가 그대로 활용될 수 있기 때문에 교체비용 및 자원의 절감을 가져온다.

테스트핸들러, 개방유닛, 개방기, 개방장치

Description

테스트핸들러용 개방기 및 버퍼테이블{OPENER AND BUFFER TABLE FOR TEST HANDLER}

본 발명은 테스트핸들러에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 캐리어보드에 구비되는 홀딩장치의 홀딩상태를 해제시키기 위한 개방기에 관한 것이다.

테스트핸들러는 소정의 제조공정을 거쳐 제조된 반도체소자를 테스터에 의해 테스트할 수 있도록 지원하며, 테스트 결과에 따라 반도체소자들을 등급별로 분류하는 장비로서 이미 다수의 공개된 문서들을 통해 잘 알려져 있다.

현재 널리 사용되고 있는 테스트핸들러는 캐리어보드에 적재된 상태의 반도체소자들을 테스터에 전기적으로 연결시키도록 되어 있다. 즉, 반도체소자들은 고객트레이에 적재된 상태로 테스트핸들러로 공급되지만, 테스트핸들러는 고객트레이에 적재된 반도체소자들을 캐리어보드로 로딩시킨 후, 캐리어보드에 로딩된 상태의 반도체소자들을 테스터에 전기적으로 연결시켜 테스트를 지원한 다음, 테스트 완료된 반도체소자들을 테스트 등급별로 분류하여 캐리어보드로부터 고객트레이로 언로 딩시킨다. 참고로 캐리어보드에는 대한민국 특허등록 등록번호 10-608094호 등에서 제시된 바와 단순히 반도체소자들을 적재만 시킬 수 있도록 구현된 테스트트레이와 본 발명의 출원인에 의해 선출원된 대한민국 특허출원 출원번호 10-2007-46265호 등에서 제시된 바와 같이 적재된 반도체소자들을 테스터 측과 전기적으로 연결시키기 위한 소켓이 구비된 테스트보드가 있다.

그런데, 캐리어보드는 반도체소자가 적재된 상태에서 일정한 순환경로를 순환하여야 하고, 순환과정에서 발생할 수 있는 반도체소자의 이탈 등을 방지하기 위해 대한민국 특허등록 등록번호 10-486412호에 제시된 바와 같이, 적재된 반도체소자를 홀딩(holding)시키기 위한 홀딩장치를 구비한다.

그리고 홀딩장치의 구비는 반도체소자를 캐리어보드로 로딩시키거나 캐리어보드로부터 언로딩시켜야 하는 경우에 홀딩장치의 홀딩상태를 해제시키기 위한 개방기가 구비될 것을 요구한다.

본 발명은 이러한 개방기와 관련되어진 것으로서, 개방기는 대한민국 특허등록 등록번호 10-687676호 등에 제시된 바와 같이 다수의 개방핀들을 가진다. 이러한 개방핀들은 일정한 간격을 두고 쌍으로 구비되며, 개방기의 상승(또는 캐리어보드의 하강)에 의해 홀딩장치의 홀딩상태를 해제시키는 역할을 수행한다.

한편, 테스트될 반도체소자의 물리적 규격(크기)이 달라지는 경우에는 캐리어보드의 교체가 수반된다(참고로 종래의 테스트트레이의 경우에는 인서트의 교체만 수반될 수도 있다). 만일 캐리어보드가 교체되면 반도체소자의 양 측단을 홀딩시키는 한 조의 홀딩장치 간의 간격도 달라지게 되어 개방핀들의 간격 또한 달라질 것을 요구한다.

따라서 테스트될 반도체소자의 크기가 달라지는 경우에는 캐리어보드 및 개방기를 일체로 교체하여야만 하는 것이며, 이러한 점은 교체비용의 증가와 자원의 낭비를 가져온다.

본 발명은 개방핀들의 간격을 가변시킬 있도록 함으로써 다양한 캐리어보드에 적용될 수 있는 개방기에 관한 기술을 제공하는 것을 목적으로 한다.

위와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 테스트핸들러용 개방기는, 개방판; 상기 개방판에 이동 가능하게 결합될 수 있고, 캐리어보드에 반도체소자를 홀딩(holding)시키는 홀딩장치의 홀딩상태를 해제시킬 수 있는 개방핀을 가지며, 쌍으로 구비되는 복수의 핀블럭; 및 상기 복수의 핀블럭 중 서로 쌍을 이루는 핀블럭들 간의 간격을 유지시키는 적어도 하나 이상의 간격유지장치; 를 포함하는 것을 특징으로 한다.

그리고 상기 개방기는 상기 복수의 핀블럭의 이동을 안내하기 위한 가이더; 를 더 포함하는 것을 또 하나의 특징으로 한다.

상기 간격유지장치는, 상기 쌍을 이루는 핀블럭들 간의 간격을 확보하기 위 한 간격확보요소; 상기 간격확보요소에 의해 확보된 간격을 유지시키기 위한 간격유지요소; 를 포함하는 것을 더 구체적인 특징으로 한다.

상기 간격유지요소는 상기 쌍을 이루는 핀블럭들 중 적어도 하나의 핀블럭에 탄성력을 가하는 적어도 하나 이상의 탄성부재를 포함하는 것을 또 하나의 특징으로 한다.

상기 간격유지요소는 상기 간격확보요소에 일체로 형성되는 것을 또 하나의 특징으로 한다.

상기 간격유지요소는 상기 쌍을 이루는 핀블럭들에 형성된 돌기삽입홈에 삽입될 수 있도록 상기 간격확보요소에 일체로 형성된 간격유지돌기인 것을 또 하나의 특징으로 한다.

또한, 상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 테스트핸들러용 개방기는, 개방판; 상기 개방판에 위치 이동이 가능하게 결합될 수 있고, 캐리어보드에 반도체소자를 홀딩(holding)시키는 홀딩장치의 홀딩상태를 해제시킬 수 있는 개방핀을 가지는 핀블럭; 및 상기 핀블럭이 임의로 선택된 위치에 위치될 수 있도록 상기 핀블럭의 위치를 결정하는 위치결정장치; 를 포함하는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 테스트핸들러용 버퍼테이블은, 반도체소자를 안착시키기 위한 안착홈이 적어도 하나 이상 형성된 안착테이블; 및 상기 안착테이블에 탈착 가능하게 결합되거나 위치 이동이 가능하게 결합되며, 상기 안착홈의 안착면적을 결정하는 경사면들 중 적어도 일 측의 경사면을 가지는 안착면적결정지그; 를 포함하는 것을 특징으로 한다.

위와 같은 본 발명에 따르면, 개방핀들 간의 간격을 조정할 수 있기 때문에, 테스트될 반도체소자의 크기가 달라지는 경우에도 개방기를 교체할 필요없이 개방핀들 간의 간격만을 조정하면 되기 때문에, 자원 및 교체비용을 절감할 수 있는 효과가 있다.

또한, 동일한 기술적 사상을 버퍼테이블에 적용함으로써 버퍼테이블의 경우에도 달라진 반도체소자의 크기에 따라 안착면적이 조정될 수 있기 때문에 자원 및 교체비용을 절감할 수 있는 효과가 있다.

이하 상기한 바와 같은 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 설명하되, 설명의 간결함을 위해 중복되는 설명은 가급적 생략하거나 압축하기로 한다.

<제1실시예>

도1은 본 발명의 제1실시예에 따른 개방기(100)에 대한 일부 분해사시도이고, 도2는 도1의 개방기(100)에 대한 평면도이다.

본 실시예에 따른 개방기(100)는, 도1 및 도2에 도시된 바와 같이, 개방 판(110), 복수의 핀블럭(120), 가이드봉(130), 간격유지장치 등을 포함한다.

개방판(110)에는 핀블럭(120)이 이동 가능하게 삽입될 수 있는 블럭삽입홈(111)이 핀블럭(120)의 개수만큼 형성되어 있다. 또한, 핀블럭(120)의 이동을 안내하는 가이드봉(130)이 장착될 수 있는 장착홀(112)이 형성되어 있다.

복수의 핀블럭(120)은 쌍으로 구비되며, 개방판(110)에 형성된 블럭삽입홈(111)에 삽입된 상태로 가이드봉(130)에 의해 안내되면서 이동될 수 있도록 개방판(110)에 결합된다.

그리고 각각의 핀블럭(120)에는 개방핀(121)이 형성되어 있는데, 서로 쌍을 이루는 핀블럭(120)에 각각 형성된 한 쌍의 개방핀(121)은 캐리어보드에 구비된 한 쌍의 홀딩장치의 홀딩상태를 해제시킨다.

또한, 핀블럭(120)에는 가이드봉(130)이 통과될 수 있는 통과공(122)이 형성되어 있다.

가이드봉(130)은 핀블럭(120)에 형성된 통과공(122)을 통과한 상태로 장착홀(112)에 삽입됨으로써 개방판(110)에 장착된다. 이러한 가이드봉(130)은 핀블럭(120)의 이동을 안내하는 가이더의 역할을 수행하는 한편 핀블럭(120)을 개방판(110)에 이동 가능하게 결합시키는 역할도 수행한다. 물론, 실시하기에 따라서는 별도의 가이더를 구성시키지 않고, 블럭삽입홈의 형상 및 핀블럭의 형상에 의해 핀블럭이 블럭삽입홈에 삽입된 상태로 개방판에 이동 가능하게 결합되도록 구현하는 것도 가능하다.

간격유지장치는 서로 쌍을 이루는 핀블럭(120)들 간의 간격을 유지시킨다. 이러한 역할을 수행하기 위해 간격유지장치는 간격확보지그(141)와 가이드봉(130)의 양 측에 설치되는 4개의 스프링(142)을 포함하여 구성된다.

간격확보지그(141)는 볼트(V)에 의해 개방판(110)에 탈착 가능하게 결합될 수 있으며, 서로 쌍을 이루는 핀블럭(120)들 사이에 위치됨으로써 간격확보지그(141)의 폭(W)만큼 서로 쌍을 이루는 핀블럭(120)들 간의 간격을 확보하여 궁극적으로 핀블럭(120)에 형성된 서로 쌍을 이루는 개방핀(121)들 간의 간격을 확보하는 간격확보요소로서의 역할을 수행한다. 따라서 테스트될 반도체소자의 크기가 달라져 캐리어보드가 교체된 경우 교체된 캐리어보드에 구비된 한 조의 홀딩장치 간의 간격에 대응될 수 있는 폭을 가지는 간격확보지그(141)로 교체함으로써 개방기(100) 전체의 교체 없이도 서로 쌍을 이루는 핀블럭(120)들 간의 간격을 가변시킬 수 있게 되는 것이다.

탄성부재로서 마련되는 4개의 스프링(142)은, 도2에 도시된 바와 같이, 2개의 가이드봉(130)의 양 측에 설치되어서 핀블럭(120)을 간격확보지그(141) 측으로 미는, 즉, 핀블럭(120)에 탄성력을 가하여 서로 쌍을 이루는 핀블럭(120)들이 간격확보지그(141)의 폭(W)만큼의 간격을 유지한 상태로 고정될 수 있도록 하는 역할을 수행한다.

위와 같은 실시예에 따른 개방기(100)에 의하면 테스트될 반도체소자의 크기가 달라져 캐리어보드가 교체됨으로써 한 조의 홀딩장치 간의 간격이 달라질 경우, 그러한 간격에 대응하는 폭을 가지는 간격확보지그(141)로 교체함으로써 개방기(100)를 교체하지 않고서도 새로이 교체된 캐리어보드에 적용될 수 있게 된다.

<제1실시예의 제1응용예>

제1실시예에서는 간격유지요소로서 탄성부재인 스프링(142)을 구비시키고 있지만, 본 응용예에 따르면, 도3에 도시된 바와 같이, 서로 쌍을 이루는 핀블럭(120)들 간의 간격이 간격확보지그(141)의 폭(W)으로 고정될 수 있도록 하기 위해 스프링 대신 복수의 간격유지지그(143)를 구비시키고 있다. 이러한 예에 의하는 경우에도 캐리어보드가 교체될 시에 간격확보지그(141) 및 간격유지지그(143)만을 교체하면 되기 때문에 개방기(100A)를 교체하지 않고서도 교체된 캐리어보드에 그대로 적용될 수 있게 된다. 그리고, 간격확보지그 및 간격유지지그는 일체로 형성될 수도 있다.

<제1실시예의 제2응용예>

제1실시예에서는 서로 쌍을 이루는 핀블럭(120)들이 모두 이동 가능하게 개방판(110)에 결합되고 있지만, 본 응용예에 따른 개방기(100B)에서는, 도4에 도시된 바와 같이, 서로 쌍을 이루는 핀블럭(120a, 120b) 중 일 측의 핀블럭(120b)은 개방판(110)에 일체로 형성되거나 고정되고, 타 측의 핀블럭(120a)만이 스프링(142)에 의해서 탄성적으로 지지되면서 개방판(110)에 이동 가능하게 결합되도록 하고 있다.

이와 같은 응용예에 따르면 간격유지장치가 타 측의 핀블럭(120a)의 위치를 결정해주는 위치결정장치로서의 역할을 수행하게 된다.

또한, 상술한 예들에서는 캐리어보드에 구비되는 한 조의 홀딩장치가 한 쌍의 개방핀에 의해서 동시에 홀딩상태를 해제시키도록 구현된 예를 취하고 있으나, 실시하기에 따라서는 캐리어보드에 구비되는 한 조의 홀딩장치가 하나의 개방핀에 의해서 동시에 홀딩상태를 해제시키도록 구현할 수도 있다. 이러한 경우에도 교체된 캐리어보드에 구비된 한 조의 홀딩장치의 홀딩상태를 해제하기 위한 위치로 핀블럭을 이동시켜 그 위치를 결정하면 족할 것이다.

<제2실시예>

도5는 본 발명의 제2실시예에 따른 개방기(500)에 대한 사시도이고, 도6의 (a)는 도5의 개방기(500)에 구성된 간격확보지그(541)에 대한 평면도이며, 도6의 (b)는 도6의 간격확보지그(541)를 A방향에서 바라본 측면도이다.

제1실시예에서는 간격유지장치로서 간격확보지그(141) 및 스프링(142)을 구성시키고 있지만, 본 실시예에 따르면 간격확보지그(541)의 양단에 각각 간격유지돌기(542)를 형성시키고 서로 쌍을 이루는 핀블럭(520)들에 간격유지돌기(542)가 삽입될 수 있는 돌기삽입홈(521)을 형성시키는 구성을 취한다.

즉, 제2실시예에 의하는 경우 간격유지요소로서 구비되는 간격유지돌기(542)가 간격확보요소로서 구비되는 간격확보지그(541)에 일체로 형성되는 것이다.

이러한 제2실시예의 경우에도 앞서 설명한 제1실시예의 제1및 제2응용예들이 그대로 적용될 수 있다.

본 예에 의하는 경우 가이드봉(530)은 그 필요성이 요구되지 않을 수도 있음 을 알 수 있다.

그리고, 상술한 실시예들에서는 개방기가 캐리어보드의 하방에 위치한다. 하지만 개방기가 캐리어보드의 상방에 위치하여, 개방기의 하방향으로 개방핀들이 형성되는 것도 가능할 것이다.

<버퍼테이블로의 응용>

한편, 반도체소자의 크기가 달라지는 경우, 로딩부에 구비되는 버퍼테이블의 안착홈의 크기도 달라져야 할 것을 요구한다.

버퍼테이블은, 픽앤플레이스장치가 고객트레이로부터 반도체소자를 파지한 후 캐리어보드에 로딩시키기 전에 파지된 반도체소자들을 정렬시키기 위해 마련된다. 이러한 버퍼테이블은 픽앤플레이스장치가 파지한 반도체소자들보다 더 많은 개수의 안착홈을 가질 수 있다. 이러한 이유는 픽앤플레이스에 파지된 반도체소자를 정렬시키는 역할을 하는 안착홈들(편의상 제1안착홈들이라 한다)의 일 측으로 형성된 안착홈들(편의상 제2안착홈들이라 한다)에 반도체소자를 임시적으로 적재시키기 위해서이다. 일반적으로, 테스터의 임의의 콘텍소켓이 문제가 발생할 경우 해당 콘텍소켓에 대응되는 위치로는 반도체소자를 로딩시키지 않도록 하고 있다. 대신 픽앤플레이스장치가 해당 위치로 로딩되어져야 할 반도체소자를 버퍼테이블의 제2안착홈들에 임시적으로 적재시키는 것이다.

이러한 버퍼테이블의 경우에도 테스트될 반도체소자의 크기가 달라지는 경우 기존의 버퍼테이블을 새로운 버퍼테이블로 교체하여야 하는데, 이 또한, 교체비용의 상승 및 자원의 낭비를 초래하는 원인이 된다.

따라서 버퍼테이블의 경우에도 상술한 개방기에 적용된 기술을 응용함으로써 교체비용 및 자원을 절감할 수 있다.

도7은 그러한 응용에 따른 버퍼테이블(700)의 일부가 분해된 평면도를 도시하고 있다.

도7에 도시된 바와 같이, 버퍼테이블(700)은 안착테이블(710) 및 안착면적결정지그(720)를 포함한다.

안착테이블(710)에는 반도체소자를 안착시키기 위한 안착홈(711)이 형성되어 있는데, 안착홈(711)의 안착면적은 안착홈(711)을 이루는 4개의 경사면(711a, 711b, 721a, 721b)에 의해 결정된다. 이 때, 서로 인접하는 2개의 경사면(711a, 711b)은 안착테이블(710)에 일체로 형성되고, 서로 인접하는 나머지 2개의 경사면(721a, 721b,) 및 바닥면(722)은 안착면적결정지그(720)에 형성된다. 물론, 실시하기에 따라서는 바닥면이 안착테이블에 형성될 수도 있을 것이다. 이러한 버퍼테이블(700)의 경우에는 안착면적결정지그(720)를 교체함으로써 안착면적이 달라지기 때문에, 반도체소자의 크기가 달라진 경우 달라진 크기에 대응될 수 있는 안착면적결정지그(720)로 교체함으로써 버퍼테이블(700)의 교체 없이도 안착면적이 가변될 수 있게 된다.

도8의 (a), (b) 및 (c)는 여러 규격의 안착면적결정지그(720, 720a, 720b)가 안착테이블에 적용된 예들을 보여주고 있다.

그리고 본 예에서는 2개의 경사면(721a, 721b)이 안착면적결정지그(720)에 형성되는 예를 취하고 있지만, 경우에 따라서는 1개의 경사면만이 안착면적결정지그에 형성될 수도 있을 것이다.

또한, 본 예에서는 안착면적결정지그(720)가 교체되는 예를 취하고 있지만, 도9의 개념적인 평면도에서 참조되는 바와 같이, 안착면적결정지그(920)를 대각선방향(a화살표방향)으로 이동시킬 수 있도록 하고, 이동된 위치에서 안착면적결정지그(920)를 고정시킬 수 있는 고정장치를 구비하는 것도 가능하다. 참고로, 도9의 버퍼테이블(900)에서 구비된 고정장치는, 푸싱부재(941), 스프링(942) 및 간격확보지그(943)이다.

푸싱부재(941)는 안착면적결정지그(920)를 탄성지지하고, 스프링(942)은 안착면적결정지그(920) 측 방향으로 푸싱부재(941)에 탄성력을 가하며, 간격확보지그(943)는 안착면적결정지그(920)가 일정 간격 이상으로 푸싱부재(941)에 의해 밀리지 않도록 함으로써 안착면적을 확보할 수 있도록 하는 역할을 수행한다.

도10은 또 다른 응용에 따른 버퍼테이블(1000)에 대한 일부 분해 평면도이다.

도10의 버퍼테이블(1000)에서는 안착테이블(1010)에 전후 방향으로 서로 마주보는 두개의 경사면(1011a, 1011b)이 전후 방향으로 이동 가능하도록 스프링(1042)에 의해 탄성 지지되어 있고, 안착면적결정지그(1020)에는 좌우 방향으로 서로 마주보는 경사면(1021a, 1021b)이 형성되어 있어서, 안착면적결정지그(1020)를 교체함으로써 안착면적을 가변시킬 수 있도록 되어 있다.

위에서 설명한 바와 같이 본 발명에 대한 구체적인 설명은 첨부된 도면을 참조한 실시예에 의해서 이루어졌지만, 상술한 실시예는 본 발명의 바람직한 예를 들어 설명하였을 뿐이기 때문에, 본 발명이 상기의 실시예에만 국한되는 것으로 이해되어져서는 아니 되며, 본 발명의 권리범위는 후술하는 청구범위 및 그 등가개념으로 이해되어져야 할 것이다.

도1은 본 발명의 제1실시예에 따른 개방기에 대한 일부 분해 사시도이다.

도2는 도1의 개방기에 대한 개념적인 평면도이다.

도3은 제1실시예의 제1응용예에 따른 개방기에 대한 개념적인 평면도이다.

도4는 제1실시예의 제2응용예에 따른 개방기에 대한 개념적인 평면도이다.

도5는 본 발명의 제2실시예에 따른 개방기에 대한 일부 분해 사시도이다.

도6은 본 발명의 응용에 따른 버퍼테이블에 대한 평면도이다.

도7 및 도8은 도6의 버퍼테이블의 여러 사용상태를 도시한 평면도이다.

도9 및 도10은 버퍼테이블에 대한 또 다른 응용을 도시한 개념적인 평면도이다.

< 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 >

100 : 개방기

110 : 경사판

120 : 핀블럭

130 : 가이드봉

141 : 간격확보지그

142 : 스프링

Claims

개방판;

상기 개방판에 이동 가능하게 결합될 수 있고, 캐리어보드에 반도체소자를 홀딩(holding)시키는 홀딩장치의 홀딩상태를 해제시킬 수 있는 개방핀을 가지며, 쌍으로 구비되는 복수의 핀블럭; 및

상기 복수의 핀블럭 중 서로 쌍을 이루는 핀블럭들 간의 간격을 유지시키는 적어도 하나 이상의 간격유지장치; 를 포함하는 것을 특징으로 하는

테스트핸들러용 개방기.
제1항에 있어서,

상기 복수의 핀블럭의 이동을 안내하기 위한 가이더; 를 더 포함하는 것을 특징으로 하는

테스트핸들러용 개방기.
제1항에 있어서,

상기 간격유지장치는,

상기 쌍을 이루는 핀블럭들 간의 간격을 확보하기 위한 간격확보요소;

상기 간격확보요소에 의해 확보된 간격을 유지시키기 위한 간격유지요소; 를 포함하는 것을 특징으로 하는

테스트핸들러용 개방기.
제3항에 있어서,

상기 간격유지요소는 상기 쌍을 이루는 핀블럭들 중 적어도 하나의 핀블럭에 탄성력을 가하는 적어도 하나 이상의 탄성부재를 포함하는 것을 특징으로 하는

테스트핸들러용 개방기.
제3항에 있어서,

상기 간격유지요소는 상기 간격확보요소에 일체로 형성되는 것을 특징으로 하는

테스트핸들러용 개방기
제5항에 있어서,

상기 간격유지요소는 상기 쌍을 이루는 핀블럭들에 형성된 돌기삽입홈에 삽입될 수 있도록 상기 간격확보요소에 일체로 형성된 간격유지돌기인 것을 특징으로 하는

테스트핸들러용 개방기.
개방판;

상기 개방판에 위치 이동이 가능하게 결합될 수 있고, 캐리어보드에 반도체 소자를 홀딩(holding)시키는 홀딩장치의 홀딩상태를 해제시킬 수 있는 개방핀을 가지는 핀블럭; 및

상기 핀블럭이 임의로 선택된 위치에 위치될 수 있도록 상기 핀블럭의 위치를 결정하는 위치결정장치; 를 포함하는 것을 특징으로 하는

테스트핸들러용 개방기.
반도체소자를 안착시키기 위한 안착홈이 적어도 하나 이상 형성된 안착테이블; 및

상기 안착테이블에 탈착 가능하게 결합되거나 위치 이동이 가능하게 결합되며, 상기 안착홈의 안착면적을 결정하는 경사면들 중 적어도 일 측의 경사면을 가지는 안착면적결정지그; 를 포함하는 것을 특징으로 하는

테스트핸들러용 버퍼테이블.