KR20090132224A - 테스트핸들러용 적재요소 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 테스트핸들러용 적재요소에 관한 것이다.
본 발명에 따르면, 적재플레이트를 전기적으로 접지시켜 적재되는 반도체소자에 가해질 수 있는 정전기적인 충격 및 손상을 방지하는 한편, 반도체소자가 적재되는 적재면에 상방으로 돌출되어졌던 부위를 제거하여 반도체소자가 적재면에 적절히 안착될 수 있게 하는 기술이 개시된다.
테스트핸들러, 소팅테이블, 로딩테이블, 적재요소

Description

테스트핸들러용 적재요소{LOADING ELEMENT FOR TEST HANDLER}
본 발명은 반도체소자를 적재시키기 위해 테스트핸들러에 적용되는 적재요소에 관한 것이다.
테스트핸들러는 소정의 제조공정을 거쳐 제조된 반도체소자가 테스터에 의해 테스트될 수 있도록 지원하며, 테스트 결과에 따라 반도체소자들을 등급별로 분류하여 고객트레이에 적재하는 기기로서 대한민국 등록특허공보 등록번호 10-0553992호(이하 '선행기술'이라 함) 등과 같은 다수의 공개문서들을 통해 이미 공개되어 있다.
일반적으로, 생산된 반도체소자는 고객트레이에 적재된 상태에서 테스트핸들러로 공급된다. 테스트핸들러로 공급된 반도체소자는 로딩위치에 있는 테스트트레이로 로딩됨으로써 테스트트레이에 적재된 상태에서 테스트사이트를 거쳐 언로딩위치까지 이동된 후 언로딩위치에서 고객트레이로 언로딩된다.
한편, 테스트핸들러에 따라서는, 로딩속도 및 언로딩속도를 증가시키기 위 해, 기동형 로딩테이블(대한민국 공개특허 공개번호 10-2007-0077905호 참조)이나 소팅테이블(대한민국 공개특허 공개번호 10-2007-0079223호 참조)과 같이 고객트레이와 테스트트레이 사이에서 반도체소자들의 로딩이나 언로딩을 매개하기 위한 별도의 적재요소를 구비하고 있다.
그런데, 테스트핸들러에 구비되는 기동형 로딩테이블이나 소팅테이블에 반도체소자가 적재되는 시점에 기동형 로딩테이블이나 소팅테이블에 대전된 정전기에 의해 반도체소자에 전기적인 충격이 가해져 반도체소자를 손상시킬 우려가 있었다.
따라서 반도체소자의 외부 돌출 단자가 적재요소의 적재면에 직접 닿지 않도록 하기 위한 구성이 요구되었다.
도1은 반도체소자, 특히, BGA타입 반도체소자의 외부 돌출 단자인 볼이 적재면에 직접 닿지 않도록 설계된 적재요소(100)에 대한 사시도이고, 도2는 도1의 I-I선을 잘라 A방향에서 바라본 단면도이다.
종래 기술에 따른 적재요소(100)는, 도1에서 참조되는 바와 같이, 반도체소자가 안착될 수 있는 안착홈(111)을 가지는 적재부(110)를 행렬형태의 배열로 복수 개 구비한다.
각각의 적재부(110)의 안착홈(111)을 이루는 4방위의 측면들은, 도2에서 참조되는 바와 같이, 안착홈(111)이 상측의 폭(W1)보다 하측의 폭(W2)이 좁도록 경사져 있다.
그리고 안착홈(111)의 바닥을 이루면서 반도체소자가 적재되는 적재면(S)에 는 상방으로 돌출된 돌출부위(a)를 구비하고 있다.
돌출부위(a)는, 도2에서 참조되는 바와 같이, 픽앤플레이스장치(미도시, 대한민국 공개특허 10-2008-0003145호 참조)에 의해 BGA타입 반도체소자(D)가 적재될 경우, 전기적 접촉 단자인 볼(b)이 적재면(S)에 닿지 않도록 함으로써 적재요소(100)의 정전기에 의해 반도체소자(D)에 가해질 수 있는 전기적인 충격을 방지한다.
그러나 돌출부위(a)의 구비는 반도체소자(D)가 적절히 안착되는 것을 방해하는 요소로 작용하기도 한다.
즉, 반도체소자(D)가 도3에서 참조되는 바와 같이 잘못 놓여 진 경우에는 자중(自重) 및 경사진 측면의 작용으로 인해 도2에서 참조되는 바와 같은 적절한 안착이 유도되지만, 반도체소자(D)가 도4에서 참조되는 바와 같이 잘못 놓여 진 경우에는 돌출부위(a)에 반도체소자(D)가 걸리게 되어 자중과 경사진 측면의 작용에도 불구하고 도2와 같은 적절한 안착을 방해하게 되는 문제점이 있게 된다.
그리고 반도체소자가 적절히 안착되지 못하면, 추후 공정(예를 들면 픽앤플레이스장치에서 반도체소자를 파지하는 공정 등)에서 픽앤플레이스장치의 파지력이 작용할 시에 반도체소자의 불량이 발생될 수 있고, 안착 불량된 반도체소자에 의해 픽앤플레이스장치 등이 한 번에 파지해야 하는 반도체소자들 모두를 파지하지 못하여 잼과 같은 작동불량 등이 발생하는 문제점이 있게 된다.
본 발명은 상기한 바와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로 다음과 같은 목적을 가진다.
첫째, 반도체소자의 적절한 적재를 방해할 수 있는 적재면의 돌출부위를 없앨 수 있는 기술을 제공한다.
둘째, 픽앤플레이스장치에 의해 반도체소자를 파지할 경우, 픽앤플레이스장치에 의해 가해지는 물리력을 최소화시킬 수 있는 기술을 제공한다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 테스트핸들러용 적재요소는, 반도체소자를 적재시킬 수 있는 안착홈을 가지는 복수의 적재부를 구비하고 있으며, 전기적으로 접지되어 있는 적재플레이트를 포함하고, 상기 적재부는 상기 안착홈이 상측보다 하측의 폭이 좁도록 상기 안착홈을 이루는 4 방위의 측면들 중 적어도 하나의 측면은 경사져 있으며, 상기 안착홈의 바닥을 이루면서 반도체소자가 적재되는 적재면은 상방향으로 돌출된 부위가 없는 것을 특징으로 한다.
상기 적재플레이트의 하측에 구비되며, 상기 적재플레이트를 탄성 지지하는 적어도 하나 이상의 탄성부재를 더 포함하며, 상기 적재플레이트는 승강 가능하게 구비되는 것을 또 하나의 특징으로 한다.
상기 탄성부재의 하측에 구비되며, 상기 탄성부재의 하단을 지지하는 지지플 레이트를 더 포함하는 것을 또 하나의 특징으로 한다.
또한, 상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 테스트핸들러용 적재요소는, 반도체소자를 적재시킬 수 있는 안착홈을 가지는 복수의 적재부를 구비하며, 상기 적재부는 상기 안착홈이 상측보다 하측의 폭이 좁도록 상기 안착홈을 이루는 4 방위의 측면들 중 적어도 하나의 측면이 경사져 있고, 승강 가능하게 구비되는 적재플레이트; 및 상기 적재플레이트의 하측에 구비되며, 상기 적재플레이트를 탄성 지지하는 적어도 하나 이상의 탄성부재를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 탄성부재의 하측에 구비되며, 상기 탄성부재의 하단을 지지하는 지지플레이트를 더 포함하는 것을 또 하나의 특징으로 한다.
본 발명에 따른 적재요소에 의하면, 반도체소자의 적절한 적재율이 높아질 수 있으며, 픽앤플레이스장치에 의해 가해지는 힘의 일부가 상쇄되어 반도체소자의 손상을 방지할 수 있는 효과가 있다.
이하에서는 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 첨부된 도면을 참조하여 더 구체적으로 설명하되, 설명의 간결함을 위해 배경기술과 중복되는 설명은 압축하거나 생략한다.
도5는 본 발명의 실시예에 따른 적재요소(500)에 대한 사시도이다.
본 실시예에 따른 적재요소(500)는, 도5에서 참조되는 바와 같이, 적재플레이트(510), 4개의 코일스프링(520) 및 지지플레이트(530)를 포함하여 구성된다.
적재플레이트(510)는 반도체소자를 적재시킬 수 있는 안착홈(511a)을 가지는 복수의 적재부(511)를 구비하고 있으며, 전기적으로 접지되어 있고, 승강 가능하게 구비된다.
적재부(511)는 안착홈(511a)이 상측보다 하측의 폭이 좁도록 안착홈(511a)을 이루는 4 방위의 측면들이 경사져 있으며, 안착홈(511a)의 바닥을 이루면서 반도체소자가 적재되는 적재면(S)은 상방향으로 돌출된 돌출부위가 없는 평평한 면으로 되어 있다.
4개의 코일스프링(520, 도면상에서 1개는 사시도의 특성상 표시되지 아니 함)은, 적재플레이트(510)의 하측에 구비되며, 적재플레이트(510)의 4 귀퉁이를 탄성지지하는 탄성부재로서 마련된다.
지지플레이트(530)는, 코일스프링(520)의 하측에 구비되며, 코일스프링(520)의 하단을 지지하기 위해 마련된다.
도6은 적재플레이트(510)와 지지플레이트(530)의 결합구조를 보여주기 위해 도5의 II-II선을 자른 단면도이다.
도6에서 참조되는 바와 같이, 지지플레이트(530)의 귀퉁이에는 상방으로 돌출되며 그 상단에 걸림단(531a)을 가지는 안내돌기(531)가 볼트(531b)로 결합되어 있고, 적재플레이트(510)의 귀퉁이에는 안내돌기(531)가 삽입될 수 있는 안내구 멍(512)이 형성되어 있으며, 적재플레이트(510)가 코일스프링(520)에 의해 탄성 지지되고 있는 결합구조로 되어 있음을 알 수 있다. 따라서 적재플레이트(510)에 하방으로 외력이 가해지면 적재플레이트(510)가 하방으로 일정 정도 하강한 뒤에 외력이 사라질 경우 코일스프링(520)의 탄성복원력에 의해 적재플레이트(510)가 걸림단(531a)에 의해 상승이 제한될 때까지 상방으로 상승하게 된다.
위와 같은 도5의 적재요소(500)에 의하면, 적재플레이트(510)가 접지되어 있어서 반도체소자의 외부 돌출 단자가 적재면(S)에 전기적으로 접촉되더라도 정전기에 의한 전기적인 충격 및 손상의 문제가 발생하지 않고, 적재면(S)에 돌출부위가 없기 때문에 종래기술에서와 같이 반도체소자가 돌출부위에 걸리는 문제를 없앨 수 있게 된다.
즉, 돌출부위가 없기 때문에, 반도체소자의 적절한 안착율이 높아지고, 이에 의해 안착 불량 시에 발생할 수 있는 반도체소자의 손상이나 추후 공정의 불량이 제거될 수 있는 것이다.
또한, 도7에서 참조되는 바와 같이, 픽앤플레이스장치에 의해 반도체소자가 파지될 때에, 반도체소자(D)를 파지하기 위해 정해진 거리만큼 하강한 픽앤플레이스장치에 의해 반도체소자에 힘(F)이 가해지는 경우에도 적재플레이트(510)가 하방으로 이동하면서 반도체소자에 가해지는 힘을 일정 부분 상쇄시키기 때문에 외부 돌출 단자(BGA타입 반도체소자의 경우 볼)의 손상과 같은 반도체소자의 손상을 최소화시킬 수 있게 된다.
한편, 도5의 적재요소(500)는 소팅테이블이나 기동형 로딩테이블에 사용될 수 있을 뿐만 아니라, 테스트핸들러에 구비될 수 있는 여하한 적재수단에 적용될 수 있을 것이다.
그리고 도5의 적재요소(500)에서는 적재플레이트(510)가 4 귀퉁이에서 코일스프링(520)에 의해 탄성지지되고 있지만, 도8의 단면도에서 참조되는 바와 같이, 실시하기에 따라서는 각각의 적재부(811) 하방에 코일스프링(820)들이 구비될 수 있는 등 다양한 예를 취할 수 있을 것이다.
이상에서 설명한 바와 같이 본 발명에 대한 구체적인 설명은 첨부된 도면을 참조한 실시예에 의해서 이루어졌지만, 상술한 실시예는 본 발명의 바람직한 예를 들어 설명하였을 뿐이기 때문에, 본 발명이 상기의 실시예에만 국한되는 것으로 이해되어져서는 아니 되며, 본 발명의 권리범위는 후술하는 청구범위 및 그 등가개념으로 이해되어져야 할 것이다.
도1은 종래기술에 따른 적재요소에 대한 사시도이다.
도2는 도1의 I-I선을 잘라 A방향에서 바라본 단면도이다.
도3 및 도4는 도1의 적재요소의 문제점을 설명하기 위한 참조도이다.
도5는 본 발명의 실시예에 따른 적재요소에 대한 사시도이다.
도6은 도5의 적재요소에서 적재플레이트와 지지플레이트의 결합구조를 설명하기 위한 참조도이다.
도7은 도5의 적재요소에서 코일스프링으로 역할을 설명하기 위한 참조도이다.
도8은 본 발명의 다른 예에 따른 적재요소에 대한 단면도이다.
*도면의 주요 부위에 대한 부호의 설명*
500 : 적재요소
510 : 적재플레이트
511 : 적재부
511a : 안착홈
520 : 코일스프링
530 : 지지플레이트

Claims (4)

  1. 반도체소자를 적재시킬 수 있는 안착홈을 가지는 복수의 적재부를 구비하고 있는 적재플레이트를 포함하고,
    상기 적재부는 상기 안착홈이 상측보다 하측의 폭이 좁도록 상기 안착홈을 이루는 4 방위의 측면들 중 적어도 하나의 측면은 경사져 있으며, 상기 안착홈의 바닥을 이루면서 반도체소자가 적재되는 적재면은 상방향으로 돌출된 부위가 없는 것을 특징으로 하는
    테스트핸들러용 적재요소.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 적재플레이트의 하측에 구비되며, 상기 적재플레이트를 탄성 지지하는 적어도 하나 이상의 탄성부재를 더 포함하며,
    상기 적재플레이트는 승강 가능하게 구비되는 것을 특징으로 하는
    테스트핸들러용 적재요소.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 적재플레이트는 전기적으로 접지되어 있는 것을 특징으로 하는
    테스트핸들러용 적재요소.
  4. 반도체소자를 적재시킬 수 있는 안착홈을 가지는 복수의 적재부를 구비하며, 상기 적재부는 상기 안착홈이 상측보다 하측의 폭이 좁도록 상기 안착홈을 이루는 4 방위의 측면들 중 적어도 하나의 측면이 경사져 있고, 승강 가능하게 구비되는 적재플레이트; 및
    상기 적재플레이트의 하측에 구비되며, 상기 적재플레이트를 탄성 지지하는 적어도 하나 이상의 탄성부재를 더 포함하는 것을 특징으로 하는
    테스트핸들러용 적재요소.
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