CN101688895B - 用于测试处理机的开启器及缓冲台 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种用于测试处理机的开启器及缓冲台。该开启器含有开启平板、多个成对构成的脚针区块,以及至少一个或更多个间距保持设备以供保持所述成对构成的脚针区块间的间距。所述脚针区块每个可移动地结合于该开启平板,并且含有开启脚针以供释放夹持设备的夹持状态,而该夹持设备夹持载板内的半导体装置。虽然所述待予测试的半导体装置在大小上有所改变,并因此更换装载有所述半导体装置的载板,然而并不需更换该开启器,藉以减少更换成本及资源浪费。

Description

用于测试处理机的开启器及缓冲台
技术领域
本发明涉及一种测试处理机,尤其涉及一种用于释放被安装到载板上的夹持设备的夹持状态的开启器。
背景技术
测试处理机是一种允许测试机能够对由某一制造过程所制造的半导体装置进行测试、根据该测试结果以将半导体装置加以分类,并且将半导体装置装载至客户托盘上的设备。该测试处理机已经在众多公开文件中公开。
传统的测试处理机按照将被装载到载板上的半导体装置电连接至测试机的方式被构造。更详细地讲,当该测试处理机收到装载有半导体装置的客户托盘时,该测试处理机将半导体装置自该客户托盘卸载至载板上,然后将被装载于该载板上的半导体装置电连接至该测试机,因此该测试机可对这些装置进行测试。在此之后,该测试处理机根据测试结果将受测半导体装置加以分类,然后再将半导体装置自该载板卸载到客户托盘上。载板的类型可归类为测试托盘以及具有插座的测试板。该测试托盘被构造成装载有半导体装置,该测试托盘已经被例如第10-608094号韩国专利注册号公开。具有插座的测试板被构造成将被装载于其上的半导体装置电连接至测试机,该测试板被本案申请人向KIPO申请的第10-2007-462654号韩国专利申请公开。
技术问题
该载板装载有半导体装置并绕某一循环路径循环。该载板含有夹持设备,该夹持设备夹持被装载于其上的半导体装置,并且在循环过程中防止半导体装置逸离。这种载板被第10-486412号韩国专利注册公开。
然而,该夹持设备需要开启器,藉此在当将半导体装置装载于其上或是自该载板卸载时能够释放该夹持设备的夹持状态。
该开启器含有多个开启脚针,例如,如在第10-687676号韩国专利注册中所公开的。开启脚针成对形成,并且按某一距离互相间隔开。该夹持设备在当该开启器上升(或是该载板下降)时释放其夹持状态。
当待测半导体装置的实体标准(维度)改变时,即必须更换该载板(在传统测试托盘的情况下仅需更换插器)。当更换该载板时,一对夹持半导体装置每个的两侧的一对夹持设备之间的距离也会改变。因此,这种更换作业需改变开启脚针之间的间距。
因而,当半导体装置在维度上有所变动时,该载板及该开启器亦必须随之更换。在此情况下,传统技术造成更换成本增加以及资源浪费。
发明内容
技术方案
本发明可解决上述问题,并且提供关于开启器的技术,该开启器的开启脚针可调整其间的间距,因而能够适于各式载板。
根据本发明的示范性实施例,本发明提供一种用于测试处理机的开启器,其中包含:开启平板;多个脚针区块,所述多个脚针区块按成对方式构成,并且可移动地结合于该开启平板,同时含有开启脚针,所述开启脚针用以释放夹持设备的夹持状态,该夹持设备夹持载板上的半导体装置;以及至少一个或更多个间距保持设备,所述间距保持设备用以保持构成一对的脚针区块间的间距。
较佳地,该开启器可另含有导引杆以供导引所述多个脚针区块的移动。
较佳地,所述至少一个或更多个间距保持设备每个含有:间距固定构件,用于固定构成一对的脚针区块间的间距;以及间距保持构件,用以保持由该间距固定构件所固定的间距。
较佳地,该间距保持构件含有至少一个或者更多个弹性构件,以供将弹力施加于构成一对的脚针区块中的至少一个。
较佳地,该间距保持构件与该间距固定构件整体地形成。
较佳地,该间距保持构件是与该间距固定构件整体地形成的间距保持突起。在此,该间距保持突起被插入至在所述构成一对的脚针区块中形成的突起接收凹槽内。
根据本发明的另一示例性实施例,用于测试处理机的开启器包含:开启平板;多个脚针区块,可移动地结合于该开启平板,其中所述脚针区块每个含有开启脚针,所述开启脚针用以释放夹持设备的夹持状态,该设备夹持载板内的半导体装置;以及位置决定设备,用以决定所述脚针区块的位置,其中该位置被任意地选定,并且所述脚针区块位于该决定位置处。
根据本发明的另一示例性实施例,缓冲台含有放置台,其上形成有至少一个或更多个放置隔间以供接收半导体装置;以及放置区域定义钩架,可拆解地或可移动地结合于该放置台,以供通过使用其至少一个倾斜平面来定义该放置台的放置区域,其中,该至少一个倾斜平面是该放置区域的倾斜平面的一部分。
有益效果
如前述,根据本发明的开启器可在当半导体装置每个的大小改变时调整其开启脚针之间的间距。因此,无论半导体装置的大小是否改变皆无须更换该开启器,从而能够减少资源浪费及更换成本。
当将本发明的概念应用于缓冲台时,该缓冲台可根据所更换的半导体装置维度来调整该放置区域,如此能够减少资源浪费及更换成本。
前文中虽既已详细说明本发明的示例性实施例,然而应了解,在此描述的基本发明构思的许多变化和修改对于本领域技术人员而言显然仍将落入在权利要求中限定的本发明的示例性实施例的精神和范围内。
附图说明
通过下面结合附图进行的详细描述,本发明的特点和优点将会更加明显,其中:
图1是局部分解透视图,示出了根据本发明第一实施例的开启器;
图2是概念平面视图,示出了图1的开启器;
图3是概念平面视图,示出了根据本发明第一实施例的第一应用示例的开启器;
图4是概念平面视图,示出了根据本发明第一实施例的第二应用示例的开启器;
图5是局部分解透视图,示出了根据本发明的第二实施例的开启器;
图6是平面视图,示出了图5的开启器中所含有的间距固定钩架;
图7是侧视图,示出了自方向A所观看的图6的间距固定钩架;
图8是显示根据本发明的缓冲台的平面视图;
图9至11为平面视图,示出了图7的缓冲台的使用状态;以及
图12及图13为概念平面视图,示出了根据本发明的另一应用示例的缓冲台。
【主要组件符号说明】
100:开启器
100A:开启器
100B开启器
110:开启平板
111:隔间
112:孔洞
120:脚针区块
120a:脚针区块
120b:脚针区块
121:开启脚针
122:穿透孔洞
130:导引杆
141:间距固定钩架
142:弹簧
143:间距保持钩架
500:开启器
520:脚针区块
521:突起接受凹槽
530:导引杆
541:间距固定钩架
542:间距保持突起
700:缓冲台
710:放置台
711:放置隔间
711a:倾斜平面
711b:倾斜平面
712a:倾斜平面
712b:倾斜平面
720:放置区域定义钩架
720a:放置区域定义钩架
720b:放置区域定义钩架
721a:倾斜平面
721b:倾斜平面
722:底部平面
900:缓冲台
920:放置区域定义钩架
941:推动构件
942:弹簧
943:间距固定钩架
1000:缓冲台
1010:放置台
1011a:倾斜平面
1011b:倾斜平面
1020:放置区域定义钩架
1021a:倾斜平面
1021b:倾斜平面
1042:弹簧
具体实施方式
下文中将参照附图详细说明本发明的示例性实施例。在附图中将利用相同的参考标号以指称相同或类似的部分。在此包含的公知的功能及结构的详细说明或将被省略,以避免使本发明主题模糊。
<实施例1>
图1是局部分解透视图,示出了根据本发明的第一实施例的开启器100,而图2是概念平面视图,示出了图1的开启器100。
如图1及2所示,该开启器100含有开启平板110、多个脚针区块120、导引杆130及间距保持设备。
开启平板110形成接收多个隔间111的区块。接收多个隔间111的区块每个具有一区域,该区域能够按可移动方式将一个脚针区块120放置于其内。该开启平板110形成用于固定导引杆130的多个孔洞112,其中,导引杆130可使脚针区块120能够在接收隔间111的区块内沿此而移动。
所述多个脚针区块120按成对方式形成。所示脚针区块120被插入于区块接收隔间111之内,并且由位于其内的导引杆130可移动地导引。
脚针区块120每个含有开启脚针。成对脚针由容纳入在构成一对的各个脚针区块120内的开启脚针121形成,并且可释放被安装在载板内的一对夹持设备的夹持状态。
脚针区块120每个形成导引杆130可通过的穿透孔洞122。
导引杆130在通过脚针区块120的穿透孔洞122的状态下会被插入孔洞112内,因而将脚针区块120安装于该开启平板110中。导引杆130系用于导引脚针区块120的移动,并且将脚针区块120可移动地结合于该开启平板110。应了解到,可修改脚针区块及脚针接收隔间的形状,从而不需要导引杆130,因此能够将修改过的脚针区块可移动地结合于该开启平板110的修改过的脚针接收隔间。
间距保持设备用于保持构成一对的脚针区块间的间距。为此,该设备含有间距固定钩架141以及四个弹簧142,这些构件被安装到导引杆130的两侧上。
该间距固定钩架141通过利用螺栓V而可拆解地结合到该开启平板110。该钩架141被设置于构成一对的脚针区块之间,因此脚针区块120以钩架141的宽度彼此相隔。从而,可将在两个构成一对的脚针区块120处形成的一对开启脚针121间的间距予以固定。换言之,该间距固定钩架141作为一间距固定构件。因此,当待予测试的半导体装置的大小改变并因而更换该载板时,可仅更换,每个间距固定钩架141具有一定的宽度,而此宽度对应于被安装在所更换的载板上的构成一对的夹持设备间的距离。所以,根据本发明的开启器100并不需要更换,原因在于成对的脚针区块120能够依照其间的间距加以调整。
如图2所示,由弹性材料所制成的四个弹簧142被安装于两个导引杆130的各个末端。所述四个弹簧142可将脚针区块120弹性地推动至位在脚针区块120之间的间距固定钩架141。弹簧142将其弹力施加于构成一对的脚针区块120上,因此将脚针区块120固定于区块接收隔间,并以对应于该间距固定钩架141的宽度W的间距将脚针区块120彼此相隔开。
如前述,待予测试的半导体装置的大小虽被改变,并因而将目前载板更换为另一载板,但是对于夹持设备之间的距离而言,载板的构成一对的夹持设备不同于该目前的载板,根据本发明的实施例的开启器100可允许将目前间距固定钩架141更换为其它的间距固定钩架141,而其间距对应于在所更换载板内的夹持设备的距离。因此,无须更换根据本发明的开启器而能适用于被更换的载板。
<实施例1的应用示例1>
实施例1按照含有弹簧142以用作弹性构件而用作间距保持构件的方式实现。在本应用示例1中,如图3所示,该开启器100A含有多个间距保持钩架143而非弹簧。所述多个间距保持钩架143被使用,从而构成每一对的脚针区块120彼此相隔对应于该间距固定钩架141的宽度W的间距,并且被固定于该脚针区块接收隔间。因此,该目前载板虽被更换为另一载板,然而该开启器100A仅需更换所述间距固定钩架141及间距保持钩架143而无须更换其本身。亦即该开启器100A可适用于所更换的载板。可注意到该间距固定钩架及该间距保持钩架整体地形成。
<实施例1的应用示例2>
实施例1的应用示例1的实施方式是将构成一对的脚针区块120可移动地连接至该开启平板110。而在本应用示例2中,如图4所示,该开启器100B的实施方式则是将构成一对的脚针区块120a及120b中的一个,例如脚针区块120b,与开启平板110整体地形成或固定到该开启平板110,而另一脚针区块120a为由弹簧142弹性地支撑且可移动地连接至该开启平板110。
如在应用示例2中所述,该间距保持设备用于作为位置决定设备,该位置决定设备决定位于另一侧处的脚针区块120a的位置。
在前述实施例中,被安装于载板的夹持设备成对通过一对开启脚针同时地释放其夹持状态。将能够显而易见地理解该实施例可按照该成对的夹持设备能够通过单一开启脚针同时地释放其夹持状态的方式修改。在此情况下,最好是设定一位置,当脚针区块移动至该位置时,能够释放被安装于被更换的载板的成对的夹持设备的夹持状态。
<实施例2>
图5是局部分解透视图,示出了根据本发明的第二实施例的开启器500。图6是平面视图,示出了图5的开启器500中所含有的间距固定钩架。图7是侧视图,示出了自方向A所观看的图6的间距固定钩架541。
实施例1被实施为包括该间距固定钩架141及弹簧142而用于作为间距保持设备。如图5以及图6和7所示,实施例2的实施方式为该间距固定钩架541在其两者的末端处分别地形成多个间距保持突起542,并且构成一对的脚针区块520形成多个突起接受凹槽521,以接收间距保持突起542。
在实施例2中,用于作为间距保持构件的间距保持突起542被整体地形成在用于作为间距固定构件的间距固定钩架541处。
类似于实施例1,实施例2具有应用示例1及2。
将能容易地认识到在实施例2中可无须使用导引杆530。
在前述实施例中,开启器位于该载板的下方处。应了解这些实施例可按照开启器位于载板上方处的方式加以修改,其中,该开启器在其下方侧构成开启脚针。
<缓冲台应用>
当半导体装置在大小上有所变动时,此大小变动要求被安装于装载部分的缓冲台的放置隔间亦必须在大小上有所改变。
缓冲台用于允许捡拾和放置设备能够在该捡拾和放置设备将所捡拾的半导体装置放置于该载板上之前,先将从客户托盘所捡拾的半导体装置予以对齐。该缓冲台可具备多个放置隔间,而其数量大于由该捡拾和放置设备所捡拾的半导体装置。这是因为由该捡拾和放置设备所捡拾的半导体装置暂时地装载于所述放置隔间上(或是第一放置隔间),而所述隔间形成在所述放置隔间(或是第二放置隔间)的一侧处。一般说来,当在测试机的某一接触插座处出现问题(故障)时,该捡拾和放置设备并不会将半导体装置装载在对应于该故障(问题)接触插座的位置上。相反地,该捡拾和放置设备将想要装载到该故障接触插座上的半导体装置暂时地装载在该第二放置隔间上。
类似于该载板,当半导体装置在大小上改变时,必须将该目前缓冲台更换为另一个。然而,这会造成更换成本增加以及资源浪费。
因此,当该缓冲台运用根据本发明的适用于开启器的技术时,可减少更换成本及资源浪费。图8是平面视图,示出了应用了根据本发明的技术的缓冲台700,而其一部分从该缓冲台700拆解下来。
如图8所示,该缓冲台700含有放置台710以及放置区域定义钩架720。
该放置台710形成有多个放置隔间711以接收半导体装置。放置隔间711每个具有放置区域,该放置区域由所述四个倾斜平面711a、711b、712a及712b定义。两个邻近倾斜平面711a及711b与该放置台710整体地形成。而另外两个邻近倾斜平面712a及712b以及底部平面722则与放置区域定义钩架720形成。应该认识到,可按照将该底部平面形成于该放置台710之内的方式来修改该实施例。当该放置区域定义钩架720被替换为另一钩架时,从而亦即更改该放置区域。更详细地说,当半导体装置在大小上有所变动时,必须将目前的放置区域定义钩架720更换为其它的放置区域定义钩架,以将半导体装置的大小改变成被更改的半导体装置大小。即,由于可调整该放置区域而无须更换该目前的缓冲台700,因此不需要更换该缓冲台700。
图9至11为平面视图,示出了示例性示例,其中,已经被标准化的放置区域定义钩架720、720a及720b分别被放置在放置台之内。
在本实施例中,在该放置区域定义钩架720中形成两个倾斜平面721a及721b。然而,将容易认识到,可按仅一个倾斜平面与该放置区域定义钩架720形成的方式来修改本实施例。
此外,按照更换该放置区域定义钩架720的方式实施本实施例。然而,将能了解,如图12所示,本实施例可被实施为使得该放置区域定义钩架920按对角线方向(亦即箭头a的方向)移动,并且含有用于将该放置区域定义钩架920固定于该移动位置处的固定设备。图12的缓冲台中的固定设备含有推动构件941、弹簧942及间距固定钩架943。
该推动构件941弹性地支撑该放置区域定义钩架920。所述弹簧942在该放置区域定义钩架920的方向上将弹力施加于该推动构件941。该间距固定钩架943被操作,使得该放置区域定义钩架920无法由该推动构件941强行推动超过某一距离,并从而固定放置区域。
图13为概念平面视图,示出了根据本发明的另一应用示例的缓冲台1000,以及从该缓冲台1000拆解下来的一部分。
如图13所示,两个倾斜平面1011a及1011b位于该放置台1010上的前侧及后侧局部处并且面向彼此。这两个倾斜平面1011a及1011b由弹簧1042弹性支撑,因此这些倾斜平面可按前侧及后侧方向移动。放置区域定义钩架1020形成在右侧及左侧方向上彼此面向的倾斜平面1021a及1021b。因此,当将该放置区域定义钩架1020替换成另一个时,可调整该放置区域。在此,就以方向而言,前侧及后侧方式是指与右侧及左侧方向相垂直的方向。
产业上的可利用性
本发明可被用于测试半导体装置领域。

Claims (6)

1.一种用于测试处理机的开启器,包含:
开启平板;
多个脚针区块,按成对方式构成,并且可移动地结合于所述开启平板,并包含开启脚针,所述开启脚针用于释放夹持设备的夹持状态,该夹持设备夹持载板上的半导体装置;以及
至少一个或更多个间距保持设备,其用于保持构成一对的脚针区块间的间距,
其中,所述至少一个或更多个间距保持设备每个包含:
间距固定构件,用于固定构成一对的脚针区块间的间距;以及
间距保持构件,用于保持由所述间距固定构件所固定的间距。
2.如权利要求1所述的开启器,还包含:
导引器,用于导引所述多个脚针区块的移动。
3.如权利要求1所述的开启器,其中,所述间距保持构件包含至少一个或更多个弹性构件,以将弹力施加于构成一对的脚针区块中的至少一个上。
4.如权利要求1所述的开启器,其中,该间距保持构件与所述间距固定构件整体地形成。
5.如权利要求4所述的开启器,其中,该间距保持构件为间距保持突起,其与该间距固定构件整体地形成,其中,所述间距保持突起被插入至形成在构成一对的所述脚针区块中的突起接收凹槽内。
6.一种用于测试处理机的开启器,包含:
开启平板;
多个脚针区块,可移动地结合于该开启平板,其中所述脚针区块每个含有开启脚针,所述开启脚针用于释放夹持设备的夹持状态,该夹持设备夹持载板内的半导体装置;以及
位置决定设备,用于决定所述脚针区块的位置,其中,该位置被任意地选定,并且所述脚针区块位于该决定位置处。
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Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20140178143A1 (en) * 2012-12-21 2014-06-26 Rajalampi Oy Workpiece abutment structure for a milling machine
KR102327772B1 (ko) * 2015-09-08 2021-11-19 (주)테크윙 반도체소자 테스트용 핸들러의 개방기

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6104204A (en) * 1997-05-12 2000-08-15 Advantest Corporation Semiconductor device testing apparatus
US6437593B1 (en) * 1999-02-22 2002-08-20 Advantest Corporation Electric device testing apparatus and electric device testing method
KR20050015340A (ko) * 2003-08-05 2005-02-21 어드반스 메카텍 주식회사 수직식 핸들러의 소형 디바이스 세퍼레이팅장치
KR20050118886A (ko) * 2004-06-15 2005-12-20 미래산업 주식회사 반도체 소자 테스트 핸들러의 셔틀 고정구조
CN1819136A (zh) * 2005-01-07 2006-08-16 先进自动器材有限公司 用于定位载体上器件的装置和方法

Family Cites Families (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100194325B1 (ko) 1996-05-27 1999-06-15 정문술 수평식핸들러의 소자이송방법
US6250619B1 (en) * 1998-02-03 2001-06-26 Cna Manufacturing Systems, Inc. Clamp suitable for use at high temperatures in a flexible tooling apparatus
US6196536B1 (en) * 1999-03-09 2001-03-06 Paul H. Hintze Grip set for an adjustable vice
US6241825B1 (en) * 1999-04-16 2001-06-05 Cutek Research Inc. Compliant wafer chuck
US6262571B1 (en) * 1999-11-17 2001-07-17 Agilent Technologies, Inc. Adjustable electrical connector for test fixture nest
US6293534B1 (en) * 2000-04-12 2001-09-25 David F. Leban Support device with floating pins
KR100395925B1 (ko) * 2001-08-01 2003-08-27 삼성전자주식회사 테스트 핸들러의 반도체 디바이스 로딩장치
KR100432355B1 (ko) * 2001-11-17 2004-05-22 미래산업 주식회사 반도체 소자 테스트 핸들러의 테스트 트레이의 소자탈부착장치
US6672576B1 (en) * 2001-12-03 2004-01-06 United Defense Lp Apparatus for and method of utilizing vacuum in machine tool operations
US6752381B2 (en) * 2002-02-06 2004-06-22 Tri-Lynx Corporation Wheel positional restraint device and method for using the same
US6819099B1 (en) * 2003-08-06 2004-11-16 Intel Corporation Programmable carrier plate for automated circuit board tester
US7290761B2 (en) * 2003-08-08 2007-11-06 Robert P Siegel Multi-purpose flexible jaw universal vise with removable clamp feature
US7042240B2 (en) * 2004-02-27 2006-05-09 Wells-Cti, Llc Burn-in testing apparatus and method
US20070103179A1 (en) * 2005-11-10 2007-05-10 Silicon Integrated Systems Corp. Socket base adaptable to a load board for testing ic

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6104204A (en) * 1997-05-12 2000-08-15 Advantest Corporation Semiconductor device testing apparatus
US6437593B1 (en) * 1999-02-22 2002-08-20 Advantest Corporation Electric device testing apparatus and electric device testing method
KR20050015340A (ko) * 2003-08-05 2005-02-21 어드반스 메카텍 주식회사 수직식 핸들러의 소형 디바이스 세퍼레이팅장치
KR20050118886A (ko) * 2004-06-15 2005-12-20 미래산업 주식회사 반도체 소자 테스트 핸들러의 셔틀 고정구조
CN1819136A (zh) * 2005-01-07 2006-08-16 先进自动器材有限公司 用于定位载体上器件的装置和方法

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Publication number Publication date
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