KR20080110488A - 자외선 방전 램프 - Google Patents

자외선 방전 램프 Download PDF

Info

Publication number
KR20080110488A
KR20080110488A KR1020080051991A KR20080051991A KR20080110488A KR 20080110488 A KR20080110488 A KR 20080110488A KR 1020080051991 A KR1020080051991 A KR 1020080051991A KR 20080051991 A KR20080051991 A KR 20080051991A KR 20080110488 A KR20080110488 A KR 20080110488A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
lamp
discharge lamp
electrode
seal part
seal portion
Prior art date
Application number
KR1020080051991A
Other languages
English (en)
Other versions
KR101129950B1 (ko
Inventor
고지 츠지
가즈야 다나카
Original Assignee
우시오덴키 가부시키가이샤
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 우시오덴키 가부시키가이샤 filed Critical 우시오덴키 가부시키가이샤
Publication of KR20080110488A publication Critical patent/KR20080110488A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR101129950B1 publication Critical patent/KR101129950B1/ko

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J61/00Gas-discharge or vapour-discharge lamps
    • H01J61/02Details
    • H01J61/52Cooling arrangements; Heating arrangements; Means for circulating gas or vapour within the discharge space
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J61/00Gas-discharge or vapour-discharge lamps
    • H01J61/02Details
    • H01J61/30Vessels; Containers
    • H01J61/34Double-wall vessels or containers
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J61/00Gas-discharge or vapour-discharge lamps
    • H01J61/02Details
    • H01J61/36Seals between parts of vessels; Seals for leading-in conductors; Leading-in conductors
    • H01J61/366Seals for leading-in conductors
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J61/00Gas-discharge or vapour-discharge lamps
    • H01J61/02Details
    • H01J61/36Seals between parts of vessels; Seals for leading-in conductors; Leading-in conductors
    • H01J61/366Seals for leading-in conductors
    • H01J61/368Pinched seals or analogous seals
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J61/00Gas-discharge or vapour-discharge lamps
    • H01J61/02Details
    • H01J61/52Cooling arrangements; Heating arrangements; Means for circulating gas or vapour within the discharge space
    • H01J61/523Heating or cooling particular parts of the lamp
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J65/00Lamps without any electrode inside the vessel; Lamps with at least one main electrode outside the vessel
    • H01J65/04Lamps in which a gas filling is excited to luminesce by an external electromagnetic field or by external corpuscular radiation, e.g. for indicating plasma display panels
    • H01J65/042Lamps in which a gas filling is excited to luminesce by an external electromagnetic field or by external corpuscular radiation, e.g. for indicating plasma display panels by an external electromagnetic field
    • H01J65/046Lamps in which a gas filling is excited to luminesce by an external electromagnetic field or by external corpuscular radiation, e.g. for indicating plasma display panels by an external electromagnetic field the field being produced by using capacitive means around the vessel

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Discharge Lamps And Accessories Thereof (AREA)
  • Vessels And Coating Films For Discharge Lamps (AREA)

Abstract

차풍 부재에 의해 관 단부의 과냉각을 막는 것과 더불어, 시일부의 냉각도 확실히 행할 수 있고, 또 시일부의 열용량을 종래에 비해 크게 하지 않는 자외선 방전 램프를 제공하는 것이다.
차풍 부재를 시일부가 아니라 베이스부에 고정하여 관 단부를 보온함과 더불어, 차광 부재의, 시일부에 상당하는 위치에는, 냉각풍이 들어오는 방향과 냉각풍이 배기되는 방향으로 관통 구멍을 설치하고, 시일부를 냉각하기 위한 냉각풍의 통풍로를 확보한다.

Description

자외선 방전 램프{ULTRAVIOLET DISCHARGE LAMP}
본 발명은, 자외선을 방사하는 방전 램프에 관한 것이다.
자외선을 방사하는 방전 램프를 이용하여 수지, 접착제, 도료, 잉크, 포토레지스트 등에 대해 자외선을 조사해, 경화, 건조, 용해 혹은 연화와 같은 다양한 처리를 행하는 것이, 각 분야에서 폭넓게 행해지고 있다.
도 5는, 상기의 목적으로 사용되는, 종래의 봉 형상의 자외선 방전 램프의 구성의 일례를 나타내는 도면이다.
도 5에서 나타내는 바와 같이, 자외선 방전 램프는, 크게는, 밀봉체로 불리는 유리(석영)관 내에 한 쌍의 전극(1a)이 설치된 관본체 부분과, 관 내부의 전극(1a)과 외부의 전극(리드 선)(5)을 연결하기 위한 금속박(예를 들면 몰리브덴박)(1c)이 매설된 시일부C로 구성되어 있다.
시일부C는, 밀봉체의 석영을 가열하여 금속박 사이에 공간(간극)을 남기지 않도록 시일링하여 구성되어 있다.
그리고, 밀봉체 내에는, 수은을 비롯한 일종 혹은 복수종의 금속이 봉입되어 있다.
시일부C의 양단(램프의 길이 방향의 양외측)에는 세라믹스제 또는 금속제의 베이스(1b)가 부착되어 있고, 이 베이스(1b)로부터, 외부의 전극(리드 선5)을 통해 전극(1a)으로 전력이 들어간다.
또, 램프를 광 조사기에 부착할 때에는, 광 조사기에 설치된 램프 유지 부재가, 이 베이스(1b)의 부분을 유지한다.
관본체 부분은, 전극(1a) 사이인 밀봉체 발광부A와 관경이 서서히 작게 되고 밀봉체 발광부A와 시일부C를 연결하는 관 단부B로 이루어진다.
본원에 있어서, 관 단부B란, 전극(1a)의 선단 부분으로부터, 시일부C의, 석영에 의해 금속박(1c)이 시일링된 부분의, 전극(1a)측 선단까지의 영역을 말한다. 상기한 바와 같이, 시일부C는 금속박이 석영에 의해 시일링된 부분이며, 내부에는 공간이 존재하지 않는 부분이다. 이에 대해, 관 단부B는, 밀봉체 발광부A와 시일부C 사이의, 공간이 존재하는 부분을 말한다.
점등시는, 한 쌍의 전극(1a) 사이에서 방전이 일어나 관 내에 봉입되어 있는 수은을 비롯한 금속이 증발하여, 상기 금속 특유의 스펙트럼을 발광한다. 이때, 밀봉체 발광부A는 발광 영역이 되고, 관 단부B는 비발광 영역이 된다.
이러한 자외선 방전 램프는, 일례를 들면, 정격 18㎾이고, 전극(1a) 사이의 거리는 약 11OO㎜, 내부 용적이 약 400㎤의 밀봉체 내부에 철, 요오드화 수은, 수은 등이 봉입되고, 파장 220㎚~400㎚의 광을 방사한다. 이러한 복수 종의 금속을 포함하는 가스가 봉입된 봉 형상의 자외선 방전 램프로서 예를 들면 특허 문헌 1이 있다.
도 6은, 상기한 종래의 봉 형상의 자외선 방전 램프를 이용한 광 조사기의 구성의 일례를 나타내는 도면으로서, 도 6은, 램프의 길이 방향에 대해 직교하는 방향에서의 단면도이다.
1은 램프, 2는 램프 하우스라고 불리는 등구, 2a는 단면이 타원 형상인 홈통 형상의 미러, 2b는 풍동, 2c는 격벽, 2d는 냉각풍의 흡입 구멍, 3은 흡인 팬, 4는 덕트이다.
도 6에 나타내는 바와 같이, 광 조사기는, 램프(1)와 상기 램프(1)를 수납하는 램프 하우스(2)를 구비하여 램프 하우스(2)에는, 내부에 냉각풍을 흡인하기 위한 흡인 팬(3)이, 덕트(4)를 통해 장착되어 있다.
흡인 팬(3)이 동작함으로써, 외부로부터 램프 하우스(2) 내에 냉각풍이 흡인되어, 봉 형상의 램프(1)의 길이 방향으로 직교하도록 냉각풍이 흐르고, 램프(1) 및 미러(2a)를 냉각한다. 램프(1) 및 미러(2a)를 냉각한 냉각풍은, 격벽(2c)에 설치된 에어의 흡입 구멍(2d)으로부터 풍동(2b)으로 흡인되고 덕트(4)로부터 배기된다.
램프(1)는, 단면이 타원 형상을 가지는 홈통 형상의 미러(2a)의 제1 초점에 배치되어 있고, 상기 램프(1)로부터 방사되는 자외선은, 상기 미러(2a)의 제2 초점 부근에 배치된 피조사체W 상에 집광되어 조사된다.
도 5로 돌아가서, 자외선 방전 램프에 대해서는, 램프 점등시의 밀봉체 발광부A 및 관 단부B와 시일부C의 최적 온도는 각각 다르다. 각부의 최적 온도는, 도 5에 나타내는 바와 같이, 밀봉체 발광부A 및 관 단부B는 550℃~900℃이다.
한편, 시일부C는, 온도는 가능한 한 낮은 것이 바람직하고, 상한의 온도가 결정되어 있다. 상한 온도는 램프의 종류(봉입물이나 전력 차이)에 따라서 다르지만, 대략 300℃~400℃ 이하이다.
램프는 처리 시간 단축을 위해 입력이 커지는 경향이 있어, 상기에 예시한 입력이 큰 램프일 경우, 점등시에는 자신이 발생하는 열에 의해 온도가 높아진다. 따라서, 상기한 각부가 각각 적절한 온도가 되도록 램프를 냉각할 필요가 있다.
예를 들면, 밀봉체 발광부A 및 관 단부B는, 온도가 900℃ 이상이 되면, 관 재료인 석영이 재결정화되고 백탁(실투)하여, 밀봉체 발광부A로부터의 광의 투과율이 나빠지고, 조도(照度)의 저하나 램프의 변형이 생기는 경우가 있다.
또, 시일부C는, 금속(몰리브덴)박과 외부의 전극(리드 선)(5)이 접속되는 부분의 온도가 상한 (300℃~400℃)을 초과하면, 몰리브덴박(1c)이 바깥 공기에 접하고 있는 부분이 산화되어, 박절(箔切)에 의한 램프 불점등이라는 문제가 발생한다. 따라서, 밀봉체 발광부A나 시일부C에는 충분한 양의 냉각풍을 주어 냉각할 필요가 있다.
한편, 냉각풍이 너무 많아, 밀봉체 발광부A나 관 단부B의 온도가 550℃ 이하가 되면, 관 내의 증발하고 있는 수은이나 그 외의 금속이, 온도가 낮아진 부분에 흡인되듯이 모이고, 밀봉체 발광부A의 금속 성분의 비율이 변화한다.
그 때문에, 발광 스펙트럼의 분포(발광 분광 분포)가 정상적으로 점등할 경우와 달리 램프가 사라진다. 이러한 현상을 과냉각이라고 부른다.
따라서, 램프 점등시는, 램프의 상기 각 부분의 온도가 적절히 되도록, 냉각 풍량을 조정할 필요가 있다.
그런데, 밀봉체 발광부A의 온도를 900℃ 이하로, 또한 시일부C를 상한(300℃~400℃) 이하로 유지되도록 냉각 풍량을 조정하면, 양자 사이에 있는 관 단부B의 온도가 쉽게 550℃ 이하로 되고, 특히 전극(1a)이 몰리브덴박(1c)과 접합되어 있는 부근의 온도가 낮아지고, 전극(1a)의 후단과 시일부C의 선단(석영에 의해 시일링되어 있는 부분의 전극측 선단) 사이에 있는 미세한 간극에 금속이 들어가서 모이고, 과냉각의 원인이 된다는 문제가 있었다.
그래서, 이 문제를 막기 위해 특허 문헌 2에서는, 자외선 램프의 관 단부에 차풍 부재D를 설치하는 것이 나타내고 있다.
[특허 문헌 1]일본 특허 제2895340호 공보
[특허 문헌 2]일본 특허 공개 2005-11740 공보
특허 문헌 2의 기재에 의하면, 자외선 방전 램프에 설치되는 차풍 부재D는, 시일부C의 밀봉체에 고정되어 지지되어 있다.
그러나, 시일부C에 차풍 부재D를 고정하면, 종래에 비해 시일부C의 열용량이 커지게 되고, 시일부C를 적절히 냉각하는 냉각 조건이 변화된다.
그 때문에, 차풍 부재D를 시일부C에 설치하면 적절한 냉각 조건, 예를 들면 냉각풍의 풍량이나 풍속을, 재차 실험 등에 의해 구하고 재설정할 필요가 있다.
본 발명은, 상기 문제점을 고려하여 이루어진 것으로서, 본 발명의 목적은, 차풍 부재에 의해 관 단부의 과냉각을 막는 것과 더불어, 시일부의 냉각도 확실히 행할 수 있고, 또 시일부의 열용량을 종래에 비해 크게 하지 않고 자외선 방전 램프를 제공하는 것이다.
상기 과제를 해결하기 위해, 본 발명에서는, 차풍 부재를 시일부가 아니라 베이스에 고정한다.
그러나, 베이스에 차풍 부재를 고정하면, 그 상태에서는 시일부에 냉각풍이 닿지 않게 되므로, 차풍 부재의 시일부에 상당하는 위치에 2개소의 통풍구를 형성해, 시일부를 냉각하기 위한 냉각풍의 통풍로를 확보한다.
또한, 시일부 금속박의 냉각을 효율적으로 행하기 위해서는, 2개소의 통풍구를 연결하는 방향과 금속박의 평면이 평행이 되도록 구성하는 것이 바람직하다.
본 발명에서는, 차풍 부재가 베이스에 고정되어 있으므로, 시일부의 열용량이 종래에 비해 변화하지 않는다.
따라서, 램프의 냉각 조건을 재차 구할 필요가 없어지고, 종래와 같은 냉각 조건에서 램프를 냉각하면서, 관 단부의 과냉각을 막을 수 있다.
그에 더하여 차풍 부재의 시일부에 상당하는 위치에는 통풍구가 설치되어 통풍로가 형성되어 있으므로, 시일부를 적절히 냉각할 수 있다.
또, 2개소의 통풍구를 연결하는 방향과 시일부의 금속박 평면을 평행하게 함으로써, 금속박을 효율적으로 냉각해, 바깥 공기와 접촉하는 부분의 산화를 막을 수 있다.
도 1a는, 본 발명의 자외선 방전 램프의 구성을 나타내는 도면이다. 램프에 대한 냉각풍은, 도 1a에 있어서, 아래 쪽으로부터 위쪽을 향해, 램프의 길이 방향에 대해 직교하도록 공급된다.
자외선 램프(1)의 양측에는, 관 단부B를 덮는 원통 형상의 차풍 부재D가 설치되어 있다.
도 1c는, 차풍 부재D의 사시도로서, 차풍 부재D는 밀봉체 발광부A와 동심이고, 램프의 길이 방향에 직각 방향의 단면은 원형이다.
차풍 부재D는 두께 약 2㎜의, 램프(1)의 밀봉체와 동일한 재질의 유리로서, 한쪽이 베이스(1b)에 세라믹계의 접착제S에 의해 고정되어 있다.
한편, 차풍 부재D의 밀봉체 발광부A 측은, 밀봉체에 대해 1㎜ 미만의 간극d를 가지고 개방되어 있다. 차풍 부재D와 밀봉체 사이에 간극d를 가지는 것은, 차풍 부재D가 밀봉체에 접촉하면 접촉하고 있는 부분의 온도가 저하하고, 발광 조건을 다르게 할 가능성이 있기 때문이다.
또, 차풍 부재D의 시일부C에 상당하는 부분에는, 냉각풍에 대향하는 측과 그 반대 측에 관통 구멍인 통풍구(61, 62)가 형성되어 있다.
즉, 냉각풍과 대향하는 측에 형성된 관통 구멍은 냉각풍 흡입용 통풍구(냉각풍 흡인구)(61)가 되고, 또, 그 반대 측에 형성된 관통 구멍은 냉각풍 배기용의 통풍구(냉각풍 배기구)(62)가 되고, 시일부C에 대해 냉각풍의 통풍로가 확보되어 시일부C는 확실히 냉각된다.
또한, 차풍 부재D의 냉각풍 배기용의 통풍구(62)는, 도 1(b)에 나타내는 바와 같이, 홈(슬릿) 형상이라도 좋다.
도 2는, 본 발명의 자외선 램프의 관 단부B 부근의 확대도이고, 도 2(a)는, 냉각풍 흡인구(61) 측에서 본 단면도로서, 도 2(b)는 냉각풍 흡인구(61)와 냉각풍 배기구(62)를 연결하는 방향에 따른 단면도이다. 또한, 도 2에서는, 도면이 번잡하게 되는 것을 막기 위해, 베이스(1b)를 점선으로 표시한다.
도 2에 나타내는 바와 같이, 전극(1a)는 2장의 몰리브덴박(1c)에 의해 끼워져 접합되어 있다. 또한, 정격 전력이 큰 램프일 경우, 전극(1a)은 크고 무거워지므로, 관 단부B에 있어서, 비즈라고 불리는 부재에 의해 지지되는 것도 있지만, 본 도면에서는, 이 비즈 부재는 생략하여 표시한다.
한편, 2장의 몰리브덴박(1c)은, 시일부C에 있어서, 양박 사이에 유리 부재(11)를 끼우고 양측에서 공간을 남기지 않도록 봉착되어 램프의 외부로 나와 있다.
그리고, 이 외부로 나와 있는 2장의 몰리브덴박(1c)이 외부 전극(리드 선5)과 접합된다. 이 몰리브덴박(1c)과 외부 전극(리드 선)(5)의 접합 부분은, 베이스(1b)에 의해 덮여 있고, 리드 선(5)은 베이스(1b)의 측면으로부터 밖으로 나와 있다.
또한, 본 실시예에서는, 2장의 몰리브덴박(1c)을 사용하는 구조를 나타냈지만, 몰리브덴박은 1장이라도 괜찮다.
램프는 전극(1a)의 선단 사이의 방전에 의해 발광하므로, 방사되는 광을 방해하지 않도록, 차풍 부재D는, 전극(1a) 선단보다 내측(발광부측)에 걸리지 않도록 하는 것이 바람직하다.
한편, 전극(1a) 선단보다 외측(비발광부측)의 관 단부B는, 방전이 생기지 않기 때문에 온도가 쉽게 낮아지고, 차풍 부재D를 설치할 필요가 있다.
특히, 상기한 바와 같이, 전극(1a)이 몰리브덴박(1c)과 접합되는 부근은, 봉 형상의 전극을 평면 형상의 몰리브덴박과 접합하기 때문에, 구조적으로 공간(간극)이 쉽게 생긴다. 그 때문에, 도 2(a)에 나타내는 바와 같이, 전극(1a)의 후단과 시일부C의 선단(석영에 의해 시일링되어 있는 부분의 전극측 선단) 사이에는 작은 공간(간극)(12)이 형성된다.
그리고, 이 간극(12)는, 밀봉체 발광부A로부터 떨어져 있기 때문에 온도가 쉽게 낮아지고, 밀봉체 내의 금속이 차가워져 모이기 쉽다. 그에 더하여, 일단 이 간극에 들어간 금속은 온도가 오르지 않기 때문에 재증발하기 어렵다.
따라서, 차풍 부재D는, 전극(1a)이 몰리브덴박(1c)을 접합하는 부근, 즉, 전극(1a)의 후단과 시일부C의 선단(석영에 의해 시일링되어 있는 부분의 전극측 선단) 사이의 간극(12)을 확실히 차풍하고 보온하도록 형성한다.
또, 시일부C에 냉각풍을 공급하기 위해 차풍 부재D에 형성하는 냉각풍 흡인구(61)와 냉각풍 배기구(62)는, 시일부C의 몰리브덴박(1c)의 전극(1a) 측단으로부터, 차풍 부재D를 베이스(1b)와 접착하는 부분까지의 사이에 설치한다.
다만, 냉각풍 흡인구(61)는, 시일부C의 선단(석영에 의해 시일링되어 있는 부분의 전극측 선단)의 직전까지 개구하면, 상기한 확실히 보온하고자 하는 전극(1a)의 후단과 시일부C의 선단 사이에 있는 간극(12)에 냉각풍이 닿는 것이 생각된다.
그 때문에, 냉각풍 흡인구(61)는, 간극(12)에 냉각풍이 닿지 않게(간극(12)의 온도가 내려가지 않도록), 시일부C의 도중으로부터 베이스(1b) 측을 향해 형성한다.
또, 냉각풍 흡인구(61)와 냉각풍 배기구(62)를 연결하는 방향과 몰리브덴박의 평면과는, 양자가 평행되도록 구성한다. 이는 몰리브덴박(1c)이 1장으로 구성된 램프에서도 동일하다. 이와 같이 구성함으로써, 냉각풍이 몰리브덴박(1c)의 평면을 따라 흐르므로, 될수록 온도를 낮게 하고자 하는 몰리브덴박(1c)이 효율적으로 잘 냉각된다.
또한, 냉각풍 흡인구(61)와 냉각풍 배기구(62)는, 양자가 동일한 크기 형상일 필요는 없다.
상기한 바와 같이, 냉각풍 흡인구(61)는, 전극(1a)과 몰리브덴박(1c)의 접합부 부근에 냉각풍이 닿지 않도록, 그 크기나 형상을 설계해야 한다.
또, 냉각풍 배기구(62)의 개구는, 냉각풍의 흐름을 막지 않기 위해, 냉각풍 흡인구(61)보다 커도 좋다.
또, 그 형상은, 상기한 바와 같이, 관통 구멍이 아니라, 밀봉체 발광부A로부터 베이스(1b)를 향해 형성된 홈(슬릿) 형상의 개구라도 좋다.
차풍 부재D의 재질은, 방전 램프의 밀봉체와 같은 재질의 유리를 사용할 수도 있지만, 절연성인 것이 바람직하다.
차풍 부재의 재질이 도전성일 경우, 차풍 부재는 램프 내부의 전극과 접근하기 때문에, 램프 점등시에 전극과 차풍 부재 사이에서 방전하여, 전류가 차풍 부재로부터 램프 하우스로 흐르고 지락(地絡)(그라운드에 대해 단락하는 것)을 일으키는 경우가 있기 때문이다.
차풍 부재로서 이용할 수 있는 절연성 부재로서 예를 들면 세라믹스를 들 수 있다. 상기한 바와 같이, 관 단부는 비발광 영역이므로, 불투명한 재료를 이용해도 문제는 없다.
도 3에, 본 발명의 자외선 방전 램프를 광 조사기에 부착한 도면을 나타낸다. 도 3은, 램프의 길이 방향에 따른 방향에서의 단면도이다. 또한, 리드 선(5)은 생략한다.
도 6과 같이, 1은 봉 형상의 자외선 방전 램프, 2는 램프 하우스, 2a는 홈통 형상의 미러, 2b는 풍동, 2c는 격벽, 2d는 냉각풍의 흡입 구멍, 3은 흡인 팬, 4는 덕트이며, 램프 하우스(2)의 상부에는, 덕트(4)를 통해 흡인 팬(3)이 설치되어 있다.
흡인 팬(3)이 동작함으로써, 외부로부터 램프 하우스(2) 내에 냉각풍이 흡인되어 봉 형상의 램프(1)의 길이 방향으로 직교하도록 냉각풍이 흘러, 램프(1) 및 미러(2a)를 냉각한다.
램프(1) 및 미러(2a)를 냉각한 냉각풍은, 격벽(2c)에 설치된 에어의 흡입 구멍(2d)으로부터 풍동(2b)에 흡인되어, 덕트(4)로부터 배기된다.
밀봉체 발광부A에는 냉각풍이 분무되어 냉각되지만, 관 단부B는, 부착된 차풍 부재D에 의해, 냉각풍이 직접 분무되지 않고, 보온된다.
차풍 부재D는 냉각되어 온도가 낮아지게 되지만, 차풍 부재D와 관 단부B의 밀봉체에는 간극이 설치되어 있으므로, 이 간극에 존재하는 공기층의 보온 효과에 의해, 관 단부B의 열은 차풍 부재D에는 전달되지 않고 온도가 내려가지 않는다. 따라서 관 단부B의 과냉각이 방지된다.
또, 차풍 부재D의 시일부C에 상당하는 부분에는 냉각풍의 통풍로가 형성되어 있으므로, 시일부C의 냉각은, 차풍 부재D에 의해 영향을 받지 않고 종래 대로 행할 수 있다.
도 4에, 본 발명의 차풍 부재를 부착한 경우와 부착되지 않는 종래의 경우의, 자외선 램프의 각부 온도를 나타낸다.
또한, 이 램프는 상기한, 정격 18㎾, 전극(1a) 사이의 거리는 약 1100㎜, 내부 용적 약 400㎤, 밀봉체 내부에 철, 요오드화 수은, 수은 등을 봉입한 것으로서, 온도 측정시의 입력 전력은 130W/㎝이다.
온도의 측정점은, 관 단부B의 직경이 두꺼운 전극 선단 부근(대직경부), 관 단부B의 관경이 가늘게 된 부분(소직경부), 전극(1a)과 몰리브덴박의 접합부, 및 시일부C의 4개소 밀봉체의 표면이다. 각각, 밀봉체의 표면에 열전대를 접착하여 온도 측정을 실시했다.
도 4에 나타내는 대로, 차풍 부재D를 설치하지 않는 종래의 경우, 전극(1a)과 몰리브덴박(1c)의 접합부 온도가 477℃와 550℃ 이하인 것이, 차풍 부재D를 설치함으로써 629℃로 온도가 상승하여, 이 부분에 금속이 모이는 것을 막을 수 있다.
한편, 시일부C의 온도는, 차풍 부재D를 설치하면 302℃가 되어, 종래의 240℃보다 높아진다. 그러나, 실제로 산화의 가능성이 있는 것은, 이 측정 위치보다, 또한 발광부로부터 떨어진 램프의 길이 방향 양단의, 외부 리드 선과 접합되는 부분이므로, 이 온도보다도 수십도 낮게 될 것으로 생각되어 이 정도의 온도라면 문제 없다.
도 1은 본 발명의 자외선 방전 램프의 구성을 나타낸 도면이다.
도 2는 본 발명의 자외선 방전 램프의 관 단부 부근의 확대도이다.
도 3은 본 발명의 자외선 방전 램프를 이용한 광 조사기의 구성을 나타낸 도면이다.
도 4는 자외선 방전 램프의 각부의 측정 온도를 나타낸 도면이다.
도 5는 종래의 자외선 방전 램프의 구성을 나타낸 도면이다.
도 6은 종래의 자외선 방전 램프를 이용한 광 조사기의 구성의 일례를 나타낸 도면이다.
(부호의 설명)
1 자외선 방전 램프
1a 전극
1b 베이스
1c 몰리브덴박
11 유리 부재
12 공간(간극)
2 램프 하우스
2a 미러
2b 풍동
2c 격벽
2d 흡입구
3 흡인팬
4 덕트
5 외부 전극(리드 선)
61 냉각풍 흡입용 통풍구(냉각풍 흡인구)
62 냉각풍 배기용 통풍구(냉각풍 배기구)
A 밀봉체 발광부
B 관 단부
C 시일부
D 차풍 부재
S 접착제
W 피조사체

Claims (2)

  1. 밀봉체의 내부에 한 쌍의 전극을 가짐과 더불어 금속이 봉입되고,
    발광 영역인 밀봉체 발광부와, 상기 전극과 외부 리드 선을 금속박을 통해 접속하여 봉착한 시일부와, 상기 밀봉체 발광부와 상기 시일부를 연결하는 관 단부와, 상기 시일부의 양측에 부착된 베이스를 구비하고, 상기 전극을 연결하는 방향에 대해 직교하는 방향으로 냉각풍이 공급되는 봉 형상의 자외선 방전 램프로서,
    상기 관 단부에는, 일단이 상기 베이스에 고정되고, 또 상기 시일부에 상당하는 위치에는 냉각풍의 통풍로가 형성되어 있는, 밀봉체와 간극을 가지는 차풍 부재가 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 자외선 방전 램프.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 차풍 부재는 통 형상이고,
    상기 통풍로는, 상기 통 형상의 차풍 부재의 축대칭 위치에 형성된 2개소의 통풍구에 의해 구성되고,
    상기 2개소의 통풍구를 연결하는 방향과 상기 시일부의 금속박 평면이, 평행이 되도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 자외선 방전 램프.
KR1020080051991A 2007-06-15 2008-06-03 자외선 방전 램프 KR101129950B1 (ko)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2007158653A JP4356776B2 (ja) 2007-06-15 2007-06-15 紫外線放電ランプ
JPJP-P-2007-00158653 2007-06-15

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20080110488A true KR20080110488A (ko) 2008-12-18
KR101129950B1 KR101129950B1 (ko) 2012-03-28

Family

ID=40188610

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020080051991A KR101129950B1 (ko) 2007-06-15 2008-06-03 자외선 방전 램프

Country Status (4)

Country Link
JP (1) JP4356776B2 (ko)
KR (1) KR101129950B1 (ko)
CN (1) CN101325145A (ko)
TW (1) TWI405241B (ko)

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4752943B2 (ja) * 2009-04-10 2011-08-17 ウシオ電機株式会社 エキシマ放電ランプ
JP5652614B2 (ja) * 2011-03-18 2015-01-14 ウシオ電機株式会社 ロングアーク型メタルハライドランプ
CN105513939B (zh) * 2016-01-26 2017-07-04 尹刚 一种低温紫外线灯
KR102313624B1 (ko) 2020-11-03 2021-10-18 (주)오성일렉코리아 Uv조사범위 가변형 자외선 방전 램프

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3827492B2 (ja) * 1999-11-01 2006-09-27 株式会社オーク製作所 放電灯
JP4386555B2 (ja) 2000-08-30 2009-12-16 株式会社オーク製作所 放電灯およびその冷却方法
JP2004127665A (ja) 2002-10-01 2004-04-22 Ushio Inc ショートアーク型放電ランプ
JP4023398B2 (ja) * 2003-06-20 2007-12-19 ウシオ電機株式会社 紫外線発光ランプおよびそれを用いた光照射器
JP2005111740A (ja) * 2003-10-06 2005-04-28 Nakano:Kk 乾漆調鉛筆
JP2006185656A (ja) * 2004-12-27 2006-07-13 Harison Toshiba Lighting Corp 誘電体バリア放電ランプおよび紫外線照射装置

Also Published As

Publication number Publication date
JP2008311119A (ja) 2008-12-25
TW200908067A (en) 2009-02-16
JP4356776B2 (ja) 2009-11-04
KR101129950B1 (ko) 2012-03-28
TWI405241B (zh) 2013-08-11
CN101325145A (zh) 2008-12-17

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5255665B2 (ja) 密閉型led電球の組立方法
JP5371990B2 (ja) 発光装置及び発光装置を冷却する方法
TWI610047B (zh) 光照射裝置
KR101129950B1 (ko) 자외선 방전 램프
US20110310631A1 (en) Led headlamp cooling system
CN101470335A (zh) 投影机高压汞灯的集成散热装置
US10302294B2 (en) Light-emitting diode illumination type ellipsoidal spotlight
EP3088794A1 (en) Led lamp
US9355833B2 (en) Excimer lamp
JP3827492B2 (ja) 放電灯
WO2006115076A1 (ja) 電球形蛍光ランプ
JPH04110153A (ja) 紫外線照射装置
WO2015110367A1 (en) Lighting device
CN113841007A (zh) 具有热控制的车辆照明
JP6457162B2 (ja) 高圧放電ランプ及び照明装置
KR101231695B1 (ko) 이온발생장치를 구비한 엘이디 램프
JP4023398B2 (ja) 紫外線発光ランプおよびそれを用いた光照射器
JP4995648B2 (ja) 重水素ランプ用ランプハウス及び光源装置
JP6759983B2 (ja) 加熱用光源ユニット
JP6550116B2 (ja) 光照射装置
JP2016004735A (ja) Ledユニット及びled照明装置
US11603978B2 (en) Automotive lighting device and method for controlling an element thereof
JP3184555U (ja) ソーラーシミュレーター及びこれに用いられる放熱ユニット
JP4330147B2 (ja) 蛍光ランプ保持具および照明器具
KR830002417Y1 (ko) 형광램프 장치

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20150224

Year of fee payment: 4

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20160218

Year of fee payment: 5

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20170220

Year of fee payment: 6

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20180219

Year of fee payment: 7

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20200218

Year of fee payment: 9