KR20080094144A - 약액 공급시스템 및 약액 공급방법 - Google Patents

약액 공급시스템 및 약액 공급방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 일정하게 공급되는 제1약액의 유량을 기준으로 제2 또는 그 이외의 약액들의 유량을 유량제어밸브를 통해 조절하여 상기 제1약액과 상기 제2 또는 그 이외의 약액들의 혼합비율을 기설정된 비율로 공급하는 약액 공급시스템 및 약액 공급방법에 관한 것으로서, 상기 약액의 종류(비중, 점도), 또는 상기 유량제어밸브의 개폐량에 따른 유량 편차 정보를 저장하는 저장수단을 더 구비하고, 상기 유량제어밸브의 개폐량 조절은 상기 기설정된 혼합비율에 따라 1차로 설정하고, 상기 저장수단의 유량 편차 정보를 토대로 1차 설정 값을 보정하는 것을 특징으로 한다.
약액 공급시스템

Description

약액 공급시스템 및 약액 공급방법{A Solution Supply Method and Chemical Solution Supply Apparatus}
도 1은 본 발명의 제1실시예에 따른 약액 공급시스템의 구성도이고,
도 2는 도 1에 도시된 약액 공급시스템에 따른 약액 공급단계를 설명하기 위한 순서도이고,
도 3은 본 발명의 제2실시예에 따른 약액 공급시스템의 구성도이고,
도 4는 도 3에 도시된 약액 공급시스템에 따른 약액 공급단계를 설명하기 위한 순서도이고,
도 5는 유량제어밸브의 제어전류 값에 따른 약액 종류별 이동유량을 나타낸 그래프이고,
도 6은 유량제어밸브의 제어전류 값에 따른 약액 온도별 이동유량을 나타낸 그래프이고,
도 7은 유량제어밸브의 제어전류 값에 따른 이론 이동유량과 실제 이동유량을 각각 나타낸 그래프이고,
도 8 및 도 9는 본 발명의 한 실시예에 따른 유량제어밸브의 제어방법을 설명하기 위한 순서도이다.
< 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 >
100, 100a: 약액 공급시스템 10, 12: 약액 공급원
20, 22: 이송배관 24: 주 이송배관
30: 유량측정수단 40: 유량제어밸브
50: 개폐밸브 60: 믹서
70: 혼합액 저장탱크 80: 농도측정수단
90: 제어수단
본 발명은 약액 공급시스템 및 약액 공급방법에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 반도체 생산라인에 필요한 약액을 정확한 비율로 혼합하여 공급할 수 있는 약액 공급시스템 및 약액 공급방법에 관한 것이다.
반도체 제조 공정은 크게 웨이퍼 회로 설계, 웨이퍼 가공, 및 조립/ 검사의 3가지 단계로 이루어진다. 이중 웨이퍼 가공 단계의 식각 공정과 세정 공정에서는 웨이퍼를 식각 또는 세정하기 위한 약액들이 사용된다(정확하게는 서로 다른 약액들이 일정한 비율로 혼합된 혼합액이 사용된다).
알려진 바와 같이 반도체 제조 공정은 정밀도가 높은 제품을 생산하는 공정이다. 때문에, 이러한 반도체 제조 공정에 사용되는 약액의 혼합비율도 매우 높은 정밀도가 요구된다.
일반적인 종래의 약액 공급시스템은 서로 다른 약액이 저장된 공급원에 각각 개폐밸브와 유량계를 설치하고, 약액이 혼합되는 주 배관 또는 약액이 혼합된 혼합액 저장탱크에 농도측정장치를 설치하는 구성이다.
위와 같이 이루어진 약액 공급시스템은, 약액의 혼합 비율을 설정하고, 약액 공급원과 연결된 각각의 이송배관으로 약액을 이송하고, 이송배관 각각으로 이송되는 약액의 유량을 검출하고, 검출된 유량 데이터들의 유량 비율과 혼합 비율을 상호 비교하여 약액들의 유량을 조절하고, 약액들의 유량 비율이 혼합 비율로 조절되면 약액들을 주 이송배관에서 실시간으로 혼합하여 반도체 제조 라인으로 공급하는 순으로 이루어진다. 그리고 약액들은 유량 비율이 혼합 비율로 조절되기 전까지 각각 이송배관에 연결된 드레인 배관을 통해 드레인된다.
이러한 종래 약액 공급시스템은, 첫째로 각각의 약액의 유량을 조절하므로 제어에 따른 오차발생의 소지가 많고, 둘째로 약액의 혼합비율을 이송배관에 설치된 유량계의 측정값에 따른 혼합비율에 의존하여 산출하므로 실제 혼합비율과의 오차가 크며, 셋째로 약액들의 혼합 비율이 설정된 값에 맞지 않는 경우 외부로 배출되므로 약액의 낭비가 많다.
특히, 개폐밸브를 통과하는 약액의 유량은 약액의 종류(즉 비중와 점도) 및 온도에 따라 동일한 개폐량에서도 다를 수 있으므로, 이러한 오차를 최소화하여 반도체 제조 공정의 정밀도를 높일 수 있도록 도와주는 약액 공급시스템이나 약액 공급방법이 적실히 필요하다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 약액의 특성에 따 라 밸브의 개폐량을 조절함으로써 약액의 혼합비율을 반도체 제조 공정에 꼭 맞는 비율로 정밀하게 조절할 수 있는 약액 공급시스템 및 약액 공급방법을 제공하는데 그 목적이 있다.
본 발명의 한 실시예에 따르면, 일정하게 공급되는 제1약액의 유량을 기준으로 제2 또는 그 이외의 약액들의 유량을 유량제어밸브를 통해 조절하여 상기 제1약액과 상기 제2 또는 그 이외의 약액들의 혼합비율을 기설정된 비율로 공급하는 약액 공급시스템에 있어서, 상기 약액의 종류(비중, 점도), 또는 상기 유량제어밸브의 개폐량에 따른 유량 편차 정보를 저장하는 저장수단을 더 구비하고, 상기 유량제어밸브의 개폐량 조절은 상기 기설정된 혼합비율에 따라 1차로 설정하고, 상기 저장수단의 유량 편차 정보를 토대로 1차 설정 값을 보정하는 것을 특징으로 하는 약액 공급시스템이 제공된다.
본 발명의 다른 실시예에 따르면, 2 이상의 약액을 기설정된 비율로 혼합하여 공급하는 약액 공급시스템에 있어서, 상기 약액들을 각각 개별적으로 공급하는 약액 공급원; 상기 공급원의 약액이 각각 배출되는 이송 배관; 상기 이송 배관들 중 하나에 설치되는 유량측정수단; 상기 이송 배관들 중 상기 유량측정수단이 설치되지 않은 이송 배관에 설치되는 유량제어밸브; 상기 각각의 이송 배관과 연결되어, 상기 약액들이 혼합되어 공급되는 주 이송 배관; 상기 유량측정수단 및 상기 유량제어밸브와 전기적으로 연결되고, 상기 유량측정수단으로부터 수신한 측정값을 토대로 상기 유량제어밸브의 개폐량을 조절하는 제어수단; 및 상기 약액의 종류(비 중, 점도), 또는 상기 밸브의 개폐량에 따른 유량 편차 정보를 저장하는 저장수단을 포함하고, 상기 제어수단은 1차로 상기 기설정된 혼합비율에 따라 상기 유량제어밸브의 개폐량을 설정하고, 2차로 상기 저장수단의 유량 편차 정보를 토대로 상기 유량제어밸브의 개폐량을 보정하는 것을 특징으로 하는 약액 공급시스템이 제공된다.
바람직하게는, 상기 주 이송배관에는 서로 다른 상기 약액이 혼합되어 저장되는 혼합액 저장탱크가 설치되고, 상기 혼합액 저장탱크에는 혼합액의 혼합비율을 측정하는 농도측정수단이 설치되며, 상기 제어수단은 상기 농도측정수단의 측정값과 상기 기설정된 혼합비율을 비교 분석하여 상기 유량제어밸브의 개폐량을 추가로 보정하는 것이 좋다.
또한, 상기 유량제어밸브는 전압비례 개폐방식 밸브인 것이 좋다.
본 발명의 또 다른 실시예에 따르면, 일정하게 공급되는 제1약액의 유량을 기준으로 제2 또는 그 이외의 약액들의 유량을 유량제어밸브를 통해 조절하여 상기 제1약액과 상기 제2 또는 그 이외의 약액들의 혼합비율을 기설정된 비율로 공급하는 약액 공급방법에 있어서, a) 상기 제1약액 및 제2 또는 그 이외의 약액들의 유량편차정보를 입력하는 단계; b) 상기 제1약액 및 제2 또는 그 이외의 약액들의 혼합비율(MP1)을 설정하는 단계; c) 상기 제1약액과 제2 또는 그 이외의 약액들을 혼합하는 단계; d) 상기 제1약액의 유량(Q1)을 측정하는 단계; e) 상기 혼합비율(MP1)과 상기 유량(Q1)을 토대로 상기 제2 또는 그 이외의 약액들의 필요 유량(Q2)을 계산하는 단계; f) 상기 유량(Q2)을 토대로 상기 유량제어밸브의 개폐량 을 계산하는 단계; 및 g) 상기 유량편차정보를 토대로 상기 개폐량을 보정하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 약액 공급방법이 제공된다.
바람직하게는, 상기 단계 g) 이후, h) 상기 제1약액과 상기 제2 또는 그 이외 약액들의 혼합비율(MP2)을 측정하는 단계; i) 상기 혼합비율(MP1)과 상기 혼합비율(MP2)의 편차가 허용오차 범위에 있는지 여부를 판단하는 단계; 및 j) 상기 단계 i)의 판단결과, 상기 편차가 허용오차 범위에 있으면 상기 혼합액을 해당 공정 라인에 공급하고, 허용오차 범위를 벗어나면 상기 편차를 토대로 상기 유량제어밸브의 개폐량을 2차 보정하는 단계를 더 수행하는 것이 좋다.
이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 예시도면에 의거하여 상세히 설명한다.
도 1은 본 발명의 제1실시예에 따른 약액 공급시스템의 구성도이다.
도 1에 도시된 바와 같이 제1실시예에 따른 약액 공급시스템(100)은 복수의 약액 공급원(10, 12), 이송배관(20, 22), 주 이송배관(24), 유량측정수단(30), 유량제어밸브(40), 다수의 개폐밸브(50, 52), 믹서(60), 제어수단(90) 등으로 이루어진다.
약액 공급원(10, 12)은 각각 서로 다른 또는 서로 다른 조건의 약액을 저장한다. 약액 공급원(10)에는 저장된 약액을 외부로 송출하는 이송배관(20, 22)이 각각 설치된다. 각각의 이송배관(20, 22)은 주 이송배관(24)과 연결된다. 따라서 제1이송배관(20)과 제2이송배관(22)을 각각 유동하는 약액은 주 이송배관(24)에서 혼 합된다. 참고로, 이송배관(20, 22)에는 이송배관(20, 22)을 통한 약액의 흐름을 차단 또는 개방하고, 이송배관(20, 22) 내의 유압을 일정하게 유지하기 위한 복수의 개폐밸브(50, 52)가 각각 설치된다.
유량측정수단(30)은 제1이송배관(20)에 설치된다. 유량측정수단(30)은 제1약액 공급원(10)으로부터 배출되어 제1이송배관(20)을 유동하는 약액의 시간당 유량을 측정하여 제어수단(90)에 송출한다.
유량제어밸브(40)는 제2이송배관(22)에 설치된다. 유량제어밸브(40)는 제2약액 공급원(12)으로부터 배출되어 제2이송배관(22)을 유동하는 약액의 유량을 제어한다.
참고로, 유량측정수단(30)은 핵심 약액(예를 들어, 탈이온수)의 이송배관에 설치되고, 유량제어밸브(40)는 그 이외 약액의 이송배관들에 설치되는 것이 바람직하다.
믹서(60)는 주 이송배관(24)에 설치된다. 믹서(50)는 주 이송배관(24)을 유동하는 서로 다른 약액을 균일하게 혼합한다.
제어수단(90)은 유량측정수단(30), 유량제어밸브(40), 및 믹서(60)와 전기적으로 연결된다. 제어수단(90)은 유량측정수단(30)의 측정값을 수신하며, 수신된 측정값을 토대로 유량제어밸브(40)의 개폐량을 조절하여 약액의 혼합비율을 조절한다. 즉, 본 발명의 제어수단(90)은 하나의 약액의 유량을 기준으로 다른 약액의 유량을 제어하여 약액의 혼합비율을 조절한다. 따라서 본 발명에 따른 약액 공급시스템은 약액의 혼합비율조절이 더욱 신속하고 정확하게 이루어질 수 있다.
다음에서는 제1실시예에 따른 약액 공급시스템의 약액 공급과정을 살펴보겠다. 도 2는 도 1에 도시된 약액 공급시스템에 따른 약액 공급단계를 설명하기 위한 순서도이고, 도 5는 유량제어밸브의 제어전류 값에 따른 약액 종류별 이동유량을 나타낸 그래프이고, 도 6은 유량제어밸브의 제어전류 값에 따른 약액 온도별 이동유량을 나타낸 그래프이고, 도 7은 유량제어밸브의 제어전류 값에 따른 이론 이동유량과 실제 이동유량을 각각 나타낸 그래프이다.
도 2에 도시된 바와 같이 약액 공급이 시작되면, 먼저 약액 공급원(10, 12)에 저장된 제1약액과 제2약액의 기본정보(예를 들어, 약액의 비중과 점도)와 유량편차정보(예를 들어, 약액의 온도에 따른 유량변화 등)을 제어수단(90) 또는 저장수단(제어수단에 구비될 수 있다)에 입력한다(S100).
Figure 112007029608477-PAT00001
일반적으로 약액은 종류에 따라 비중과 점도가 다르므로 표 1 및 도 5에 나타난 바와 같이 약액의 종류에 따라 유량제어밸브(40)의 동일한 개폐조건(즉, 동일한 제어 전류 값)에서도 이송유량이 다르다. 예를 들어, 유량제어밸브(40)를 완전 개방하기 위해 20㎃의 전류를 흘려보내면, 비중 1; 점도 1의 H20(탈이온수)가 유동하는 경우에는 251㎖가 배출되지만, 비중 1.83; 점도 25.5의 H2S04가 유동하는 경우에는 79㎖가 배출된다. 따라서 제2약액 공급원(12)에 저장되는 약액의 종류와 유량제어밸브(40)의 제어 전류 값에 따른 이송유량에 대한 정보(실험을 통해 자료화하는 것이 바람직하다)를 제어수단(90)의 메모리장치 또는 별도의 저장수단(도시되지 않음)에 저장하는 것이 좋다.
Figure 112007029608477-PAT00002
한편, 약액은 약액의 기본성질 외에 외부의 요건에 의해서도 유량제어밸브(40)에 의한 이송유량이 달라질 수 있다. 즉, 표 2 및 도 6에 도시된 바와 같이, 23℃ 탈이온수와 80℃ 탈이온수의 비중 및 점도는 다르다. 때문에, 앞선 경우와 유사하게 동일한 유량제어밸브(40)의 제어 전류 값(즉 동일한 개폐조건)에서도 약액의 이송유량이 달라질 수 있다.
본 발명은 이러한 점을 고려하여, 약액의 유량편차정보를 입력 및 저장하고 추후 유량제어밸브(40)의 개폐량 조절 시 저장된 유량편차정보를 통해 유량제어밸브(40)의 개폐량을 보정한다. 따라서, 본 발명에서는 약액의 유량편차정보를 입력하는 S100단계가 매우 중요하다.
그 다음에는 반도체 제조 공정 또는 그외 제품의 제조 공정에 필요한 제1약액과 제2약액의 혼합비율(MP1)을 설정한다(S110). 제1약액과 제2약액의 혼합비율(MP1)이 설정되면, 제1이송배관(20)과 제2이송배관(22)의 개폐밸브(50)를 개방한다(S120). 개폐밸브(50)가 개방되면, 이송배관(20, 22)에 약액이 유동하게 되고, 이송배관(20, 22)의 약액들은 주 이송배관(24)에서 혼합된다(S130).
이송배관(20, 22)을 통한 약액의 유동이 안정되면, 유량측정수단(30)은 제1약액의 유량(Q1)을 측정하고, 측정된 값을 제어수단(90)에 송출한다(S140). 그러면, 제어수단(90)은 설정된 제1약액과 제2약액의 혼합비율(MP1)과, 제1약액의 유량(Q1)에 따른 제2약액의 유량(Q2)을 계산한다(S150). 예를 들어, 설정된 혼합비율(MP1)이 2:1(제1약액:제2약액)이고 제1약액의 유량(Q1)이 20㎖/s 인 경우, 제2약액의 유량(Q2)은 10㎖/s가 된다.
위와 같은 방식으로 제2약액의 유량(Q2)이 계산되면, 이를 토대로 유량제어밸브(40)의 개폐량을 계산하고, 유량제어밸브(40)를 계산된 개폐량으로 작동시키기 위한 제어 전류 값을 산출한다(S160).
그 다음에는 이 제어 전류 값과 S100 단계에서 입력된 유량편차정보를 토대로 실제 제2약액의 이송유량을 계산한 후, 유량제어밸브(40)의 개폐량 또는 제어 전류 값을 보정한다. 즉 Q2를 토대로 계산된 유량제어밸브(40)의 개폐량 또는 제어 전류 값을 유량편차정보와 대조하여, 실제 이송유량 값을 산출한다. 그리고 이 실제 이송유량 값과 Q2의 크기를 비교하여, 편차의 크기에 따라 유량제어밸브(40)를 개방 또는 폐쇄하는 방향으로 재 조종한다(S170).
즉, 표 3에 도시된 바와 같이 이송배관을 통해 단위시간당 125㎖의 탈이온수를 배출하기 위해 유량제어밸브(40)에 12㎃의 전류를 인가하면, 실제로는 126㎖의 탈이온수가 배출된다. 즉, 도 7에 도시된 바와 같이, 유량제어밸브(40)에 인가되는 전류에 비례하는 유량이 배출되지 않는다.
Figure 112007029608477-PAT00003
따라서, 본 발명에서는 유량제어밸브(40)의 개폐량 또는 제어 전류 값에 대한 각 약액의 이론적 유량과 실제 유량에 대한 편차를 반복적인 실험을 통해 자료화하고, 이를 토대로 유량제어밸브(40)의 개폐량 또는 제어 전류 값을 보정한다.
위와 같은 방법으로 유량제어밸브(40)의 개폐량 또는 제어 전류 값의 보정이 끝나면, 제1약액과 제2약액의 혼합액을 반도체 제조 공정에 공급한다(S180).
다음에서는 본 발명의 다른 실시형태를 설명하겠다. 도 3은 본 발명의 제2실시예에 따른 약액 공급시스템의 구성도이고, 도 4는 도 3에 도시된 약액 공급시스템에 따른 약액 공급단계를 설명하기 위한 순서도이다. 참고로, 제1실시예와 동일한 구성요소는 동일한 도면부호를 사용하고, 이들 구성요소에 대한 상세한 설명은 생략한다.
제2실시예에 따른 약액 공급 시스템(100a)은 도 3에 도시된 바와 같이 혼합액 저장탱크(70)와 농도측정수단(80)을 더 구비한다.
혼합액 저장탱크(70)는 제1약액과 제2약액의 혼합액이 임시 저장되는 공간으로서, 믹서(60)에서 강제로 섞여진 혼합액이 안정적으로 반응할 수 있게 하며, 유량제어밸브(40)의 개폐량 조절과정에서 서로 다른 비율로 섞여진 혼합액이 균일하게 혼합되게 한다.
농도측정수단(80)은 혼합액 저장탱크(70)에 저장된 혼합액의 혼합비율(예를 들어 제1약액과 제2약액 각각의 농도)을 측정하고, 측정된 값을 제어수단(90)에 송출한다. 참고로, 미설명된 도면부호 54는 혼합액 저장탱크(70)에 저장된 혼합액의 배출을 조절하는 개폐밸브이다.
위와 같이 구성된 약액 공급시스템(100a)은 도 4에 도시된 과정을 거쳐 약액을 공급한다. 참고로, 단계 S100 ~ S170 및 단계 S180은 도 2와 동일하므로, 이들 단계에 대한 설명은 생략한다.
본 실시예는 제1실시예와 달리, 혼합액의 저장탱크(70)에 저장된 혼합액의 혼합비(MP2)를 측정하는 단계(S200), 기 설정된 혼합액의 혼합비(MP1)와 단계 S200에서 측정된 혼합비(MP2)를 비교하는 단계(S210), 및 MP1과 MP2를 편차를 토대로 유량제어밸브(40)의 개폐량을 조절하는 단계(S220)를 더 수행함으로써, 유량제어밸브(40)의 개폐량 조절과정에서 발생할 수 있는 오차(유량제어밸브(40)의 개폐량을 조절 또는 보정하는 짧은 시간 동안 약액이 유동함으로써 발생하는 오차)를 다시 보완한다.
즉, 본 실시예는 혼합액 저장탱크(70)에 상당한 양의 혼합액이 유입되면, 혼합액의 혼합비율 또는 농도를 측정하여 혼합액의 혼합비율이 제조 공정의 사용조건과 일치하는지를 판단한 후, 판단결과에 따라 혼합액의 혼합비율을 재차 조정하여 해당 제조 공정에 공급하는 방식이다.
따라서 본 실시예에 따르면, 개폐밸브(50, 52)의 초기 개폐과정이나 유량제어밸브(40)의 조절과정에서 필연적으로 발생하는 약액의 혼합비율의 오차를 더욱 확실하게 보정할 수 있다.
다음에서는 유량편차정보를 활용한 유량제어밸브(40)의 제어방법에 대하여 상세히 설명하겠다. 도 8 및 도 9는 본 발명의 한 실시예에 따른 유량제어밸브의 제어방법을 설명하기 위한 순서도이다.
먼저, 약액의 온도변화에 따른 유량제어방법을 설명한다.
도 8에 도시된 바와 같이 약액 공급원(10, 12)에 저장된 약액의 종류를 선택하여 제어수단(90)에 입력하고(S300), 약액의 온도(T)를 측정한다(S310). 그 다음, 단계 S150(도 2 참조)에서 계산된 제2약액의 적정 유량 또는 필요 유량(Q2)을 공급하기 위한 유량제어밸브(40)의 제어 전류 값(I1)을 산출한다(S320). 그리고 유량제어밸브(40)에 I1의 제어 전류를 인가했을 때, 해당 온도(T)의 약액의 유량(QT)을 제어수단(90) 또는 별도의 저장수단에 저장된 유량편차정보를 통해 산출 또는 검색한다(S330).
그 다음에는 Q2와 QT의 편차를 계산하고, 계산된 편차가 허용오차 범위에 있는지 여부를 판단한다(S340). 만약 계산된 편차가 허용오차 범위를 벗어나면 유량제어밸브(40)의 제어 전류 값을 보정하고(S350), 계산된 편차가 허용오차 범위 내에 있으면 유량제어밸브(40)의 제어 전류 값을 고정한다(S360).
따라서 본 발명에 따르면 유량제어밸브(40)를 약액의 온도에 따라 미세하게 보정하므로, 약액의 혼합비율의 정밀도를 더욱 향상시킬 수 있다.
다음에서는 약액의 실제 이송유량과 이론적 이송유량의 차이를 보정하기 위한 유량제어밸브(40)의 제어방법에 대하여 설명하겠다.
도 9에 도시된 바와 같이 약액 공급원(10, 12)에 저장된 약액의 종류를 선택하여 제어수단(90)에 입력한다(S400). 그 다음, 단계 S150(도 2 참조)에서 계산된 제2약액의 적정 유량 또는 필요 유량(Q2)을 공급하기 위한 유량제어밸브(40)의 제어 전류 값(I1)을 산출한다(S410). 그리고 유량제어밸브(40)에 I1의 제어 전류를 인가했을 때, 실제 유량제어밸브(40)에 의해 유동되는 약액의 유량(QR)을 제어수단(90) 또는 별도의 저장수단에 저장된 유량편차정보를 통해 산출 또는 검색한다(S420).
그 다음에는 Q2와 QR의 편차를 계산하고, 계산된 편차가 허용오차 범위에 있는지 여부를 판단한다(S430). 만약 계산된 편차가 허용오차 범위를 벗어나면 유량제어밸브(40)의 제어 전류 값을 보정하고(S440), 계산된 편차가 허용오차 범위 내에 있으면 유량제어밸브(40)의 제어 전류 값을 고정한다(S450).
따라서 본 발명에 따르면 약액의 실제 이송유량에 따라 유량제어밸브(40)를 미세하게 조절하므로, 약액의 혼합비율의 정밀도를 더욱 향상시킬 수 있다.
본 발명은 약액의 특성에 따라 유량제어밸브를 유동적으로 조절하므로, 약액의 혼합비율을 더욱더 정밀하고 정확하게 조절할 수 있는 장점이 있다.
이상에서는 본 발명을 특정의 바람직한 실시예에 대해서 도시하고 설명하였지만, 본 발명은 상술한 실시예에만 한정되는 것은 아니며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이하의 특허청구범위에 기재된 본 발명의 기술적 사상의 요지를 벗어나지 않는 범위에서 얼마든지 다양하게 변경하여 실시할 수 있을 것이다.

Claims (6)

  1. 일정하게 공급되는 제1약액의 유량을 기준으로 제2 또는 그 이외의 약액들의 유량을 유량제어밸브를 통해 조절하여 상기 제1약액과 상기 제2 또는 그 이외의 약액들의 혼합비율을 기설정된 비율로 공급하는 약액 공급시스템에 있어서,
    상기 약액의 종류(비중, 점도), 또는 상기 유량제어밸브의 개폐량에 따른 유량 편차 정보를 저장하는 저장수단을 더 구비하고,
    상기 유량제어밸브의 개폐량 조절은 상기 기설정된 혼합비율에 따라 1차로 설정하고, 상기 저장수단의 유량 편차 정보를 토대로 1차 설정 값을 보정하는 것을 특징으로 하는 약액 공급시스템.
  2. 2 이상의 약액을 기설정된 비율로 혼합하여 공급하는 약액 공급시스템에 있어서,
    상기 약액들을 각각 개별적으로 공급하는 약액 공급원;
    상기 공급원의 약액이 각각 배출되는 이송 배관;
    상기 이송 배관들 중 하나에 설치되는 유량측정수단;
    상기 이송 배관들 중 상기 유량측정수단이 설치되지 않은 이송 배관에 설치되는 유량제어밸브;
    상기 각각의 이송 배관과 연결되어, 상기 약액들이 혼합되어 공급되는 주 이송 배관;
    상기 유량측정수단 및 상기 유량제어밸브와 전기적으로 연결되고, 상기 유량측정수단으로부터 수신한 측정값을 토대로 상기 유량제어밸브의 개폐량을 조절하는 제어수단; 및
    상기 약액의 종류(비중, 점도), 또는 상기 밸브의 개폐량에 따른 유량 편차 정보를 저장하는 저장수단을 포함하고,
    상기 제어수단은 1차로 상기 기설정된 혼합비율에 따라 상기 유량제어밸브의 개폐량을 설정하고, 2차로 상기 저장수단의 유량 편차 정보를 토대로 상기 유량제어밸브의 개폐량을 보정하는 것을 특징으로 하는 약액 공급시스템.
  3. 청구항 2에 있어서,
    상기 주 이송배관에는 서로 다른 상기 약액이 혼합되어 저장되는 혼합액 저장탱크가 설치되고, 상기 혼합액 저장탱크에는 혼합액의 혼합비율을 측정하는 농도측정수단이 설치되며, 상기 제어수단은 상기 농도측정수단의 측정값과 상기 기설정된 혼합비율을 비교 분석하여 상기 유량제어밸브의 개폐량을 추가로 보정하는 것을 특징으로 하는 약액 공급시스템.
  4. 청구항 1 내지 청구항 3 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 유량제어밸브는 전압비례 개폐방식 밸브인 것을 특징으로 하는 약액 공급시스템.
  5. 일정하게 공급되는 제1약액의 유량을 기준으로 제2 또는 그 이외의 약액들의 유량을 유량제어밸브를 통해 조절하여 상기 제1약액과 상기 제2 또는 그 이외의 약액들의 혼합비율을 기설정된 비율로 공급하는 약액 공급방법에 있어서,
    a) 상기 제1약액 및 제2 또는 그 이외의 약액들의 유량편차정보를 입력하는 단계;
    b) 상기 제1약액 및 제2 또는 그 이외의 약액들의 혼합비율(MP1)을 설정하는 단계;
    c) 상기 제1약액과 제2 또는 그 이외의 약액들을 혼합하는 단계;
    d) 상기 제1약액의 유량(Q1)을 측정하는 단계;
    e) 상기 혼합비율(MP1)과 상기 유량(Q1)을 토대로 상기 제2 또는 그 이외의 약액들의 필요 유량(Q2)을 계산하는 단계;
    f) 상기 유량(Q2)을 토대로 상기 유량제어밸브의 개폐량을 계산하는 단계; 및
    g) 상기 유량편차정보를 토대로 상기 개폐량을 보정하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 약액 공급방법.
  6. 청구항 5에 있어서,
    상기 단계 g) 이후,
    h) 상기 제1약액과 상기 제2 또는 그 이외 약액들의 혼합비율(MP2)을 측정하는 단계;
    i) 상기 혼합비율(MP1)과 상기 혼합비율(MP2)의 편차가 허용오차 범위에 있는지 여부를 판단하는 단계; 및
    j) 상기 단계 i)의 판단결과, 상기 편차가 허용오차 범위에 있으면 상기 혼합액을 해당 공정 또는 라인에 공급하고, 허용오차 범위를 벗어나면 상기 편차를 토대로 상기 유량제어밸브의 개폐량을 2차 보정하는 단계를 더 수행하는 것을 특징으로 하는 약액 공급방법.
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