KR20080080432A - Exposing device - Google Patents

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KR20080080432A
KR20080080432A KR1020080008464A KR20080008464A KR20080080432A KR 20080080432 A KR20080080432 A KR 20080080432A KR 1020080008464 A KR1020080008464 A KR 1020080008464A KR 20080008464 A KR20080008464 A KR 20080008464A KR 20080080432 A KR20080080432 A KR 20080080432A
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roller
substrate
shaft
platen
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Application number
KR1020080008464A
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Korean (ko)
Inventor
요시미츠 와타나베
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가부시키가이샤 아도테크 엔지니어링
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Abstract

An exposure apparatus is provided to enhance exposure efficiency by performing effectively a dust removal process. A dust removal roller comes in contact with one target of a substrate and a platen to perform a dust removal operation. A press unit presses the dust removal roller to the target. The dust removal roller includes a roller core(21), a shaft(22) inserted into the roller core, a connective color(24) arranged on the shaft to support the roller core. The press unit is connected to the shaft to press the dust removal roller by using the shaft. The connective color includes a center color formed at a center of the shaft and an end color formed at both ends of the center color. The center color is composed of a hard material. The end color is composed of a soft material.

Description

노광장치{Exposing device}Exposing device

본 발명은 노광장치에 관한 것이다.The present invention relates to an exposure apparatus.

포토 레지스트(photo resist) 등의 감광재료를 도포한 기판의 표면에 소정의 패턴(pattern)을 노광장치에 의하여 감광 인화시키고, 에칭공정에 의해 기판위에 패턴을 형성하는 포토리소그라피방법(photolithographic method)이 여러 분야에서 광범위하게 응용되어 지고 있으며, 프린트 배선 기판도 최근에 와서는 노광장치를 이용하여 제조되고 있다.A photolithographic method is used for photosensitive printing of a predetermined pattern on the surface of a substrate coated with a photosensitive material such as a photoresist by an exposure apparatus, and forming a pattern on the substrate by an etching process. It is widely applied in various fields, and printed wiring boards are also recently manufactured using an exposure apparatus.

프린트 배선기판(print circuit board)의 노광장치에는 포토 마스크(photo mask)와 기판과의 사이에 진애(塵埃)가 존재하면, 그 부분이 미노광 상태가 되어 제품불량을 초래하는 문제가 있다.In the exposure apparatus of a printed circuit board, if a dust exists between a photo mask and a board | substrate, the part will become unexposed and there exists a problem of product defect.

이러한 진애에는 예를 들면, 동박(銅箔)과 같이 그 자체가 점착성이 없는 진애와, 드라이필름 포토레지스트 또는 솔더레지스트와 같이 그 자체가 점착성을 가지는 진애가 있다. 또한, 이와 같은 진애를 제거하기 위해 노광장치에 제진장치를 별도로 설치한 구성이 제안되고 있으며, 제진장치로서 점착성 롤러 등의 제진 롤러 를 사용한 구성이 알려져 있다.Such dusts include, for example, dusts that are not self-adhesive, such as copper foil, and dusts that are themselves tacky, such as dry film photoresist or solder resist. Moreover, in order to remove such dust, the structure which provided the damping apparatus separately in the exposure apparatus is proposed, and the structure which used the damping rollers, such as an adhesive roller, as a damping apparatus is known.

특허문헌 1 : 일본국 특허 제3533380호Patent Document 1: Japanese Patent No. 3533380

그러나, 종래의 제진 롤러를 사용하는 제진장치의 경우, 롤러축의 양단에 큰 하중이 걸리도록 하여(예를 들면, 640mm의 롤러에 대하여 160N의 하중) 클리닝하기 위한 롤러가 그 단부를 지점으로 하여 위로 철(凸) 상태로 구부러지게 하고, 이로 인하여 롤러의 클리닝 대상면에 대한 압력분포가 불균일하게 되어, 축 방향 중앙부에서 롤러와 클리닝 면이 서로 접촉하지 않아 클리닝 성능을 악화시키는 문제점이 있었다. 또, 제진롤러로서 점착테이프 롤러를 사용하는 경우에는 압력분포가 불균일하게 되어 점착테이프 롤러에 주름이 발생하기 쉽고 이로 인하여 클리닝 성능을 악화시키는 원인이 되었다. However, in the case of a vibration suppression apparatus using a conventional vibration suppression roller, a roller for cleaning by applying a large load to both ends of the roller shaft (for example, a load of 160 N for a roller of 640 mm) is placed upward with its end point. There was a problem in that it is bent in an iron state, and this causes the pressure distribution on the surface to be cleaned of the roller to be uneven, and the roller and the cleaning surface do not come into contact with each other in the axial center portion, thereby deteriorating the cleaning performance. In addition, in the case of using the adhesive tape roller as the vibration damping roller, the pressure distribution becomes uneven, which causes wrinkles on the adhesive tape roller, thereby deteriorating the cleaning performance.

본 발명은 상기한 종래기술의 문제점을 해결하는 것을 그 목적으로 한다.The present invention aims to solve the above problems of the prior art.

이와 같은 목적을 달성하기 위해 본 발명은 노광하고자 하는 프린트 배선용 기판을 얹어두게 되는 플라텐과 노광하고자하는 패턴을 그린 포토마스크를 가지는 노광장치에 있어서, 상기 기판과 플라텐 및 포토마스크 중에서 적어도 하나의 대상물에 회전하면서 접촉하여 제진을 하게 되는 제진롤러와, 상기 제진롤러를 전술한 대상물에 눌러주는 가압장치를 가지며, 상기 제진 롤러가 롤러 심과 이 롤러 심에 삽입된 축과, 이 축 상에 배치되어 롤러 심을 지지하는 연결컬러로 이루어지고, 상기 가압장치가 상기 축에 연결되어 이 축에 의하여 제진 롤러를 눌러주고, 상기 연 결컬러가 이 축의 중앙부에 장착된 경질재로 이루어진 중앙부 컬러 및 이 중앙부 컬러의 양단부 측에 각각 장착되고, 또 전술한 중앙부 컬러보다 연질의 재료로 이루어진 단부컬러를 가지는 것을 특징으로 한다.In order to achieve the above object, the present invention provides an exposure apparatus having a platen on which a printed wiring board to be exposed and a photomask on which a pattern to be exposed are drawn, wherein at least one of the substrate, the platen and the photomask is provided. A damping roller which rotates in contact with the object to make vibration damping, and a pressurizing device that presses the damping roller to the above-described object, wherein the damping roller is disposed on the roller shim and the roller shim, and is disposed on the shaft. A central color and a central portion of a hard material, wherein the pressing device is connected to the shaft to press the damping roller by the shaft, and the connecting color is made of a hard material mounted at the center of the shaft. End colors each mounted on both ends of the color and made of a material softer than the above-described center color It characterized in that it has.

상기 구성에 있어서 가압장치는 축에 연결되고, 이 가압에 의해 축이 휘어지거나 단부 컬러에 의하여 축의 휘어짐이 흡수되어 롤러 심의 휨이 억제된다. 이 때문에 롤러의 클리닝 면에 대한 하중은 균일화도히고, 효과적인 제진이 이루어진다. 또한, 롤러에 점착 테이프 롤을 사용하는 경우 점착 테이프 롤 측의 주름 발생은 억제되므로 똑같은 효과적인 제진이 이루어진다.In the above configuration, the pressurizing device is connected to the shaft, and the bending of the shaft is absorbed by the pressurization or the bending of the shaft is absorbed by the end color, so that the bending of the roller shim is suppressed. For this reason, the load on the cleaning surface of the roller is equalized and effective dust removal is achieved. In addition, when the adhesive tape roll is used for the roller, the occurrence of wrinkles on the adhesive tape roll side is suppressed, so that the same effective vibration damping is achieved.

본 발명의 노광장치에 의하면 효과적인 진애 제거를 할 수 있고, 높은 효율의 노광을 실현할 수 있는 효과를 가지게 된다.According to the exposure apparatus of the present invention, it is possible to effectively remove dust and to have an effect of realizing high-efficiency exposure.

이하, 본 발명의 실시형태를 도면에 의하여 상세하게 설명한다.EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, embodiment of this invention is described in detail by drawing.

먼저, 프린트 배선기판을 제조하기 위한 노광장치의 전체구성에 대하여 설명한다.First, the whole structure of the exposure apparatus for manufacturing a printed wiring board is demonstrated.

도 1은 포토레지스트를 시행한 프린트 배선기판(B)는 플라텐(5) 상에 위치되어져, 노광 스테이지(stage)(7)에 의해 X, Y, Z 및 Q방향으로 이동가능하게 되어 있다. 노광부(10)에 있어서, 기판(B)의 상방에는 마스크 홀더(6)가 장착되어 있는 포토마스크(M)가 배치되어 있고, 또 그 위에는 광원(9)이 설치되어 있다. 광원(9)으로부터의 노광은 포토마스크(M)에 그려진 패턴을 기판(B)에서 노광하도록 되어 있다.In Fig. 1, the printed wiring board B subjected to photoresist is positioned on the platen 5, and is movable in the X, Y, Z and Q directions by the exposure stage 7. In the exposure part 10, the photomask M in which the mask holder 6 is mounted is arrange | positioned above the board | substrate B, and the light source 9 is provided on it. The exposure from the light source 9 is such that the pattern drawn on the photomask M is exposed on the substrate B. FIG.

상기 노광부(10)의 일 측방에는 반입부(30)가 설치되고, 여기에 앞 공정에서 기판(B)이 반송되어 온다. 반입부(30)에는 반입핸드(3)가 설치되어 있고, 이 반입핸드(3)에 의해 기판(B)을 흡착 고정시켜, 기판(B)을 플라텐(5) 위로 운반하도록 되어 있다.The carrying-in part 30 is provided in one side of the said exposure part 10, and the board | substrate B is conveyed in the previous process here. The carry-in hand 3 is provided in the carry-in part 30, The board | substrate B is adsorbed and fixed by this carry-in hand 3, and the board | substrate B is conveyed on the platen 5, and is carried out.

노광부(10)의 다른 측방에는 반출부(40)가 설치되어 있고, 노광부(10)에서 노광된 기판(B)이 여기에서 반송되어 다음 공정으로 이송되도록 구성되어 있다. 반출부(40)에는 반출핸드(4)가 설치되어 있고 반출핸드(4)가 플라텐(5) 위의 기판(B)의 위치까지 이동하여, 기판(B)을 흡착고정시키며 반출부(40)까지 이송하도록 구성되어 있다.The carrying out part 40 is provided in the other side of the exposure part 10, and is comprised so that the board | substrate B exposed by the exposure part 10 may be conveyed here and conveyed to the next process. The carrying-out part 4 is provided in the carrying out part 40, and the carrying-out hand 4 moves to the position of the board | substrate B on the platen 5, the adsorption | suction fixation of the board | substrate B, and the carrying out part 40 is carried out. It is configured to transfer up to).

상기한 반입핸드(3)에는 제1 클리닝헤드(1)가 장착되어 있다. 제1 클리닝헤드(1)는 반입핸드(3)의 노광부(10) 측에 장착되어 상하방향으로 이동가능하게 되어있으며, 반입핸드(3)의 반입과 퇴피 동작 시 플라텐(5)과 기판(B) 상면의 제진을 수행하도록 되어 있다. 즉, 반입핸드(3)가 노광부(10) 방향으로 이동할 때에 소정위치에서 제1 클리닝헤드(1)가 하강하여, 플라텐(5)의 상면에 접촉 또는 근접하며, 반입핸드(3)의 이동에 따라 플라텐(5) 위를 이동하면서 제진을 하게 된다. 반입핸드(3)가 플라텐(5) 위에 도달하면, 플라텐(5)이 상승하여 기판(B)을 받치게 되며 흡착고정된 채로 하강한다. 그런 후, 반입핸드(3)는 반입부(30)에 퇴피하게 되나, 이 퇴피 시에도 제1 클리닝헤드(1)는 하강하여, 기판(B)의 상면에 접촉 또는 근접하게 되고, 반입핸드(3)의 이동에 따라 기판(B) 위를 이동하면서 제진을 하게 된다.The first cleaning head 1 is attached to the carry-in hand 3. The first cleaning head 1 is mounted on the exposure part 10 side of the carry-on hand 3 to be movable in the vertical direction, and the platen 5 and the substrate are carried out during the carry-in and withdrawal operation of the carry-on hand 3. (B) The upper surface is to be damped. That is, when the carry-on hand 3 moves to the exposure part 10 direction, the 1st cleaning head 1 descend | falls at a predetermined position, and contacts or approaches the upper surface of the platen 5, and As the movement moves on the platen (5), the vibration is made. When the carry-on hand 3 reaches the platen 5, the platen 5 rises to support the substrate B and descends while being fixed to adsorption. Thereafter, the carry-in hand 3 is evacuated to the carry-in part 30, but the first cleaning head 1 is lowered even at this evacuation, and comes into contact with or close to the upper surface of the substrate B. As the 3) moves, vibration is generated while moving on the substrate B. FIG.

이상의 동작에 따라, 제1 클리닝헤드(1)에 의해 플라텐(5)과 기판(B)의 제진이 이루어지도록 구성되어 있다.According to the above operation | movement, the 1st cleaning head 1 is comprised so that damping of the platen 5 and the board | substrate B may be performed.

도 2와 도 3에 제1 클리닝헤드(1)의 구성을 나타낸다. 다음에 기술하는 제2 클리닝헤드(2)도 또한 동일한 구성으로 되어있다.2 and 3 show the configuration of the first cleaning head 1. The second cleaning head 2 described next also has the same configuration.

제1 클리닝헤드(1)와 제2 클리닝헤드(2)는 클리닝 롤러(11)와 흡인 집진기(12) 및 제전 브러시(13)를 갖추고 있다. 클리닝 롤러(11)는 점착성을 가지는 롤러이고, 주로 레지스트와 같이 점착성을 갖는 진애을 이 점착 롤러에 의해 포집한다. 클리닝 롤러(11)의 구성에 대해서는 별도로 자세하게 설명한다. The first cleaning head 1 and the second cleaning head 2 are equipped with the cleaning roller 11, the suction dust collector 12, and the antistatic brush 13. The cleaning roller 11 is an adhesive roller, and mainly collects dust with adhesiveness, such as a resist, by this adhesive roller. The structure of the cleaning roller 11 is demonstrated in detail separately.

흡인 집진기(12)는 주로 점착성을 가지지 않는 진애을 흡인하여 제진하도록 되어 있다. 이와 같이, 클리닝 롤러(11)와 흡인 집진기(12)의 양자를 구비하는 것에 의해 점착성 진애와 점착성이 없는 진애 양자를 또한 효과적으로 제진할 수 있게 된다. The suction dust collector 12 is designed to suck and dust the dust mainly having no adhesiveness. Thus, by providing both the cleaning roller 11 and the suction dust collector 12, both the dust and the non-tacky dust can be effectively damped.

반입부(30)의 노광부(10) 측에는 점착테이프 롤부(19)가 승강 가능하게 설치되어져 있으며, 반입핸드(3)가 반입부(30) 쪽으로 되돌아 오면 점착테이프 롤부(19)가 상승하여 클리닝 롤러(11)에 접촉하게 되고, 점착테이프 롤부(19)가 회전하여 클리닝 롤러(11)에 부착되어 있는 진애을 점착테이프 롤부(19)에 전사하도록 구성되어 있다.The adhesive tape roll part 19 is provided in the exposure part 10 side of the carry-in part 30 so that a lifting and lowering is possible. When the carry-in hand 3 returns to the carry-in part 30, the adhesive tape roll part 19 raises and is cleaned. It comes in contact with the roller 11, and the adhesive tape roll part 19 is rotated and it is comprised so that the dust adhered to the cleaning roller 11 may be transferred to the adhesive tape roll part 19. As shown in FIG.

이와 같은 실시형태에서는 또한 두 개의 제전 브러시(13)를 구비하고 있으며, 플라텐(5) 표면 또는 기판(B) 표면(제2 클리닝헤드(2)에 있어서 포토마스크(M))의 정전기를 제거할 수 있도록 되어 있다. 제전 브러시(13)는 클리닝 롤러(11)와 흡인 집진기(12)의 전후에 설치되어 있어, 하나는 제진 전에 정전기를 제거하여 제진 효율을 향상시키고, 또 다른 한쪽의 제전 브러시(13)는 제진 후에 정전기를 제거하여 제진 후 진애의 재흡착을 방지하는 기능을 갖게 된다.In this embodiment, two antistatic brushes 13 are also provided, and the static electricity of the surface of the platen 5 or the surface of the substrate B (the photomask M in the second cleaning head 2) is removed. I can do it. The antistatic brush 13 is provided before and after the cleaning roller 11 and the suction dust collector 12, one of which removes static electricity before dust removal, thereby improving dust removal efficiency, and the other antistatic brush 13 after dust removal It has the function of preventing static resorption after dust removal by removing static electricity.

다음에 반출핸드(4)에 대해서 설명한다. 반출핸드(4)에는 제2 클리닝헤드(2)가 장착되어 있다. 제2 클리닝헤드(2)는 반출핸드(4)의 노광부(10) 측에 장착되어 있어, 승강장치(14)에 의해 상하방향으로 이동가능하게 되어 있으며, 반출핸드(4)의 노광부(10) 쪽으로의 이동과 반출 동작 시 포토마스크(M)의 제진이 이루어지도록 되어 있다. 즉, 반출핸드(4)가 노광부(10) 방향으로 이동할 때에, 소정위치에서 제2 클리닝헤드(2)가 상승하여 포토마스크(M)에 접촉 또는 근접하여, 반출핸드(4)의 이동에 따라 포토마스크(M) 위를 이동하면서 제진을 하게 된다. 반출핸드(4)가 기판(B) 상에 도달하면, 반출핸드(4)가 기판(B)을 흡착고정시키고 플라텐(5)이 하강하게 된다. 그런 후, 반출핸드(4)는 반출부(40) 쪽으로 이동하여, 기판(B)을 반출하고, 이 반출 시에도 제2 클리닝헤드(2)는 상승하여, 포토마스크(M)에 접촉 또는 근접되어 반출핸드(4)의 이동에 따라 포토마스크(M) 위를 제진하게 된다.Next, the carrying out hand 4 is demonstrated. The second cleaning head 2 is attached to the carry-out hand 4. The second cleaning head 2 is mounted on the exposure part 10 side of the carry-out hand 4, and is moved up and down by the lifting device 14, and the exposure part of the carry-out hand 4 ( 10) The photomask (M) is damped during the movement and the carry-out operation. That is, when the carry-out hand 4 moves toward the exposure part 10, the 2nd cleaning head 2 raises at the predetermined position, touches or approaches the photomask M, and moves to the movement of the carry-out hand 4. Accordingly, the vibration is moved while moving on the photomask (M). When the unloading hand 4 reaches the board | substrate B, the unloading hand 4 adsorb | sucks and fixes the board | substrate B, and the platen 5 falls. Then, the carry-out hand 4 moves to the carry-out part 40, and the board | substrate B is carried out and the 2nd cleaning head 2 raises also in contact with or close to the photomask M at the time of carrying out. As a result, the photomask M is damped in accordance with the movement of the carrying hand 4.

이상의 동작에 따라, 제2 클리닝헤드(2)에 의한 포토마스크(M)의 제진을 2회에 걸쳐 행하게 된다.According to the above operation | movement, dust removal of the photomask M by the 2nd cleaning head 2 is performed twice.

그러나, 반출핸드(4)가 위로 행해 장착되어 있는 경우를 제외하고는 제1 클 리닝헤드(1)와 전혀 동일한 구성으로 되어 있으며, 도 2와 도 3에 나타난 구성과 같게 되어 있다. 또한 점착테이프 롤부(19)를 구비하고 있으며, 동일하게 노광부(10)의 진애을 점착테이프 롤부(19)에 전사하도록 구성되어 있다.However, it is the same structure as the 1st cleaning head 1 except when the carrying-out hand 4 is attached upwards, and is the same as that shown in FIG. 2 and FIG. Moreover, the adhesive tape roll part 19 is provided and it is comprised so that the dust of the exposure part 10 may be transferred to the adhesive tape roll part 19 similarly.

이상과 같은 구성에 대한 노광장치 전체의 동작을 설명하면 다음과 같다.Referring to the operation of the entire exposure apparatus for the above configuration is as follows.

먼저 제1 클리닝헤드(1)의 동작을 설명한다. 우선, 앞 공정으로부터 기판(B)이 반입부(30)에 반입되어 진다. 반입부(30)에서 대기하고 있던 반입핸드(3)가 기판(B)을 석션(흡착 고정)시키고, 그대로 반입핸드(3)를 플라텐(5) 위에 있는 기판 인도위치까지 이동(往路)시키게 된다. 반입핸드(3) 이동중에 소정위치에서 제1 클리닝헤드(1)가 하강하여, 클리닝 롤러(11)가 플라텐(5)의 상면에 접촉하게 된다. 반입핸드(3)는 이동을 계속하여, 이동에 의하여 클리닝 롤러(11)는 회전하고, 플라텐(5)에 부착된 진애을 제거하게 된다. 동시에 흡인 집진기(12)에 의한 집진과 제전 브러시(13)에 의한 제전을 하게 된다. 반입핸드(3)가 기판 인도위치에 도달하면, 플라텐(5)이 상승하여 기판(B)을 받아들이게 된다. 이때, 클리닝 롤러(11)는 플라텐(5)의 바깥 쪽에 있게 되어 플라텐(5)과는 접촉하지 않는다.First, the operation of the first cleaning head 1 will be described. First, the board | substrate B is carried in to the carry-in part 30 from the previous process. The carry-on hand 3 waiting at the carry-on part 30 suctions (adsorbs and fixes) the board | substrate B, and moves the carry-on hand 3 to the board | substrate delivery position on the platen 5 as it is. do. The first cleaning head 1 is lowered at a predetermined position while the carry-on hand 3 is moving, and the cleaning roller 11 comes into contact with the upper surface of the platen 5. The carry-on hand 3 continues the movement, and the cleaning roller 11 rotates by the movement, and the dust adhered to the platen 5 is removed. At the same time, dust collection by the suction dust collector 12 and static elimination by the antistatic brush 13 are performed. When the carry-in hand 3 reaches the substrate delivery position, the platen 5 rises to receive the substrate B. As shown in FIG. At this time, the cleaning roller 11 is on the outside of the platen 5 and does not contact the platen 5.

다음으로, 플라텐(5)은 기판(B)을 흡착고정시키고 하강 퇴피하게 된다. 그래서, 반입핸드(3)는 반입부(30) 까지 되돌아 오게(復路)되고, 이때에 클리닝 롤러(11)는 플라텐(5)에 흡착 고정된 기판(B)의 상면에 있는 진애을 제거하게 된다. 동시에 흡인 집진기(12)에 의해 집진과 제전 브러시(13)에 의한 제전을 동시에 수행하게 된다. 그래서 반입핸드(3)의 이동 중의 소정위치에서 제1 클리닝헤드(1)는 상승하여 원점위치로 되돌아 오게 된다. 반입핸드(3)가 반입부(30)에 되돌아 오면 점착테이프 롤부(19)가 상승하여 클리닝 롤러(11)에 접촉하게 되고, 점착테이프 롤부(19)가 회전하여 클리닝 롤러(11)는 돌아서 클리닝 롤러(11)에 부착되어 있는 진애가 점착테이프 롤부(19)에 전사된다.Next, the platen 5 adsorbs and fixes the substrate B and descends. Therefore, the carry-in hand 3 is returned to the carry-in part 30, and the cleaning roller 11 removes the dust on the upper surface of the board | substrate B adsorbed and fixed to the platen 5 at this time. . At the same time, the dust collector and the static elimination brush 13 are simultaneously performed by the suction dust collector 12. Thus, at the predetermined position during the movement of the carry-on hand 3, the first cleaning head 1 is raised to return to the home position. When the carry-on hand 3 returns to the carrying-in part 30, the adhesive tape roll part 19 raises and contacts the cleaning roller 11, the adhesive tape roll part 19 rotates, and the cleaning roller 11 turns and cleans it. The dust adhering to the roller 11 is transferred to the adhesive tape roll 19.

이러는 사이에 플라텐(5)이 상승하여, 기판(B)과 포토마스크(M)가 밀착하고 광원(9)이 점등되어 노광이 이루어지게 된다.In this way, the platen 5 rises, the substrate B and the photomask M come into close contact with each other, and the light source 9 is turned on to perform exposure.

다음에는 제2 클리닝헤드(2)의 동작에 대하여 설명한다.Next, the operation of the second cleaning head 2 will be described.

기판(B)의 노광이 완료되면, 플라텐(5)과 기판(B)이 하강하고 반입핸드(4)가 반출부(40)로부터 플라텐(5) 위에 있는 기판 인도위치까지 이동(往路)한다. 반출핸드(4)의 이동중에 소정위치에서 제2 클리닝헤드(2)는 상승하게 되고, 클리닝 롤러(11)가 포토마스크(M)에 접촉하게 되고 반출핸드(4)는 이동을 계속하여, 이 이동에 의하여 연속된 회전으로 클리닝 롤러(11)는 회전되고, 포토마스크(M)에 부착된 진애을 제거한다. 동시에 흡인 집진기(12)에 의한 집진과 제전 브러시(13)에 의한 제전이 이루어지게 된다. 반출핸드(4)가 기판 인도위치에 도달하게 되면, 노광 스테이지(7)와 플라텐(5)이 상승하게 되고 플라텐(5) 위에 있는 노광이 끝난 기판(B)을 반출핸드(4)가 석션(흡착고정)시킨다. 그래서, 플라텐(5)이 하강하여 퇴피시키고, 반출핸드(4)가 반출부(40)로 이동한다. 이때에도 왕복하는 통로는 똑같이 클리닝 롤러(11)와 흡인 집진기(12)에 의한 포토마스크(M)의 제진ㆍ집진과 제전 브러시(13)에 의한 제전이 동시에 이루어지게 된다. When the exposure of the substrate B is completed, the platen 5 and the substrate B are lowered and the loading hand 4 moves from the carrying out portion 40 to the substrate delivery position on the platen 5. do. During the movement of the unloading hand 4, the second cleaning head 2 is raised at a predetermined position, the cleaning roller 11 comes into contact with the photomask M, and the unloading hand 4 continues the movement. The cleaning roller 11 is rotated by the continuous rotation by the movement, and the dust adhered to the photomask M is removed. At the same time, dust collection by the suction dust collector 12 and static elimination by the antistatic brush 13 are performed. When the unloading hand 4 reaches the substrate delivery position, the exposure stage 7 and the platen 5 rise, and the unloading hand 4 unloads the exposed substrate B on the platen 5. Suction it. Thus, the platen 5 descends and retracts, and the carry-out hand 4 moves to the carry-out portion 40. At this time as well, the reciprocating passage is simultaneously subjected to the dust removal and dust collection of the photomask M by the cleaning roller 11 and the suction dust collector 12 and the static electricity removal by the antistatic brush 13.

이상 설명한 구성에 따르면, 기판(B)와 플라텐(5)의 제진이 이루어지고, 또 포토마스크(M)에 대해서는 1회의 노광에 대하여 2회의 제진이 이루어진다. 특히 플 라텐(5)의 제진에 의해 기판(B)의 노광면의 반대면에 드라이 필름 포토레지스트와 숄더레지스트 등의 부착을 방지할 수 있는 효과가 있다. 또한, 클리닝 롤러(11)와 흡인 집진기(12)의 양자를 모두 구비함으로 인해, 점착성의 진애과 점착성이 없는 진애을 모두 효과적으로 제거할 수 있고, 확실한 제진이 가능하게 되는 것이다. 더욱이 제전 브러시(13)에 의해 정전기가 제거되어 지므로 제진 효율이 향상되고, 또한 제진 후의 진애의 부착을 방지할 수 있다.According to the above-described configuration, the substrate B and the platen 5 are damped, and the photomask M is subjected to two dampings in one exposure. In particular, dust removal of the platen 5 has the effect of preventing adhesion of the dry film photoresist and the shoulder resist to the opposite side of the exposure surface of the substrate B. In addition, since both the cleaning roller 11 and the suction dust collector 12 are provided, both of the dust and the non-tacky dust can be effectively removed, and reliable dust removal can be achieved. Furthermore, since the static electricity is removed by the antistatic brush 13, the dust removal efficiency is improved, and the adhesion of the dust after the dust removal can be prevented.

또, 제1 클리닝헤드(1)와 제2 클리닝헤드(2)는 반입핸드(3)와 반출핸드(4)에 장착되어 있으므로, 새로운 구동기구를 설치할 필요가 없게 되는 등의 효과가 있다.Moreover, since the 1st cleaning head 1 and the 2nd cleaning head 2 are attached to the carry-in hand 3 and the carry-out hand 4, there exists an effect of not having to install a new drive mechanism.

클리닝 롤러(11)는 도 4에 도시한 바와 같이 클리닝 부(20)와 롤러 심(21) 및 축(22)으로 구성되어 있고, 축(22)의 양단은 축수(17)에 지지되어 있고, 이 축수(17)에 가압장치(16)가 장착되어 있어 기판(B)이나 마스크(M) 등의 클리닝 면(8)에 클리닝 롤러(11)를 소정의 힘으로 눌러주도록 구성되어 있다.As shown in FIG. 4, the cleaning roller 11 is comprised of the cleaning part 20, the roller shim 21, and the shaft 22, and the both ends of the shaft 22 are supported by the bearing 17, The pressurizing device 16 is attached to this bearing 17, and it is comprised so that the cleaning roller 11 may be pressed to the cleaning surface 8, such as the board | substrate B and the mask M, with a predetermined force.

축(22)은 롤러 심(21) 내에 소정의 간격을 두고 끼워져 있으며 경질의 연결컬러(23)와 연질의 연결컬러(24)에 의해서 롤러 심(21)과 축(22)이 고정되어 있다. 경질의 연결컬러(23)와 연질의 연결컬러(24)의 위치는 축(22)의 축선 방향으로 이동 가능하도록 되어 있으며 임의의 위치에서 비스 등에 의해 고정시킨 구조이고, 축선 방향의 위치를 조절할 수 있도록 구성되어 있다. The shaft 22 is fitted in the roller shim 21 at predetermined intervals, and the roller shim 21 and the shaft 22 are fixed by the hard connecting color 23 and the soft connecting color 24. The position of the hard connecting color 23 and the soft connecting color 24 is configured to be movable in the axial direction of the shaft 22, and is a structure fixed by a screw or the like at an arbitrary position, and can adjust the position in the axial direction. It is configured to.

경질의 연결컬러(23)는 축(22)의 거의 중앙부에 장착되어 있으며 똑같은 것이 2개 장착되어 있다. 경질의 연결컬러(23)는 경질의 재료로 이루어지고 있으며, 가압장치(16)의 하중에 의해 실질적으로 변형하지 않을 정도의 경도를 갖는 것을 사용하고 있다.The hard connecting color 23 is mounted almost at the center of the shaft 22, and two identical ones are mounted. The hard connecting color 23 is made of a hard material, and uses a material having a hardness that is substantially undeformed by the load of the pressurizing device 16.

한편, 연질의 연결컬러(24)는 경질의 연결컬러(23)의 양쪽에 소정의 거리를 유지하도록 떨어져 있으며, 경질의 연결컬러(23) 보다 연질의 재료로 이루어지고 가압장치(16)에 의한 하중에 의해 소정량 변형하는 경도를 갖는 것을 사용한다. 예를 들면 본 실시예의 실시형태에서는 우레탄 고무를 쓰고 있다.On the other hand, the soft connecting color 24 is separated to maintain a predetermined distance on both sides of the hard connecting color 23, made of a softer material than the hard connecting color 23 and by the pressing device 16 The thing which has hardness which deform | transforms predetermined amount by load is used. For example, in embodiment of this Example, urethane rubber is used.

상기 실시형태에서 중앙부의 경질 연결컬러(23)와 양쪽에 있는 연질 연결컬러(24, 24) 합계 3개의 연결컬러 장착한 구성은 다음과 같은 이유가 있다. 즉, 중앙부만의 경질 연결컬러(23)의 지지로 압력분포를 균일하게 하려고 하며 중앙부의 압력만이 커지기 때문에 압력을 균일하게 하기 위해서 경질 연결컬러(23)의 길이를 길게 할 필요가 있게 된다. 그러나 중앙부의 경질 연결컬러(23)의 길이를 길게 하면 축(22)의 휨에 따라 경질의 연결컬러(23)도 휘게 되고, 이 휨이 롤러 심(21)에 전달되어 클리닝 면(8)에 대해 불균일한 압력분포를 이루게 되는 문제점이 있다.In the above embodiment, the configuration in which the rigid connecting color 23 in the center portion and the three connecting colors in total in the soft connecting colors 24 and 24 on both sides are mounted is as follows. That is, since the pressure distribution is made uniform by the support of the hard connecting color 23 only at the center portion, and only the pressure at the center portion is increased, it is necessary to lengthen the length of the hard connecting color 23 in order to make the pressure uniform. However, when the length of the hard connecting color 23 in the center portion is increased, the hard connecting color 23 is also bent according to the bending of the shaft 22, and this bending is transmitted to the roller shim 21 to the cleaning surface 8. There is a problem of achieving a non-uniform pressure distribution.

이 실시형태에서는 경질의 연결컬러(23)의 길이를 길게 하지 않고 대신에 양쪽에 있는 연질의 연결컬러(24, 24)를 설치하고, 압력의 균일화를 도모하는 동시에 축의 휨을 연질의 컬러(24, 24)의 변형에 의해 흡수하도록 하는 구성으로 이루어져 있다.In this embodiment, the length of the hard connecting color 23 is not lengthened. Instead, the soft connecting colors 24 and 24 are provided on both sides, so that the pressure is equalized and the bending of the shaft is performed. It consists of the structure which makes it absorb by the deformation of 24).

롤러 심(21)의 외측에는 클리닝 부(20)가 있고, 이 클리닝 부(20)에 의해서 클리닝 면(8)의 제진이 이루어지게 된다. 클리닝 부(20)로는 실리콘 고무 롤러나 점착테이프롤 등을 사용한다. The cleaning part 20 is provided on the outer side of the roller shim 21, and the cleaning part 20 causes the dust to be cleaned of the cleaning surface 8. As the cleaning unit 20, a silicone rubber roller, an adhesive tape roll, or the like is used.

클리닝 롤러(11)의 동작에 대하여 설명한다.The operation of the cleaning roller 11 will be described.

우선 가압장치(16)에 의해 축수(17)를 통해서 축(22)에 하중을 준다. 축(22)에 걸려진 하중은 경질의 연결컬러(23), 연질의 연결컬러(24), 롤러 심(21), 클리닝 부(20)로 전달되고, 클리닝 부(20)가 클리닝 면(8)을 눌러주게 된다.First, a load is applied to the shaft 22 through the bearing 17 by the pressurizing device 16. The load applied to the shaft 22 is transmitted to the hard connecting color 23, the soft connecting color 24, the roller shim 21, and the cleaning unit 20, and the cleaning unit 20 is provided with the cleaning surface 8. Will be pressed.

도 4는 하중이 걸리기 이전의 상태이다. 가압장치(16)에 의해 하중이 걸리게 되면 도 5에 도시된 바와 같이 축(22)이 휘어진다. 그러나 축(22)의 휨은 연질의 연결컬러(24)에 의해 흡수되어 지기 때문에 롤러 심(21)은 휘어지지 않고 평탄한 상태를 유지하게 된다.4 is a state before a load is applied. When the load is applied by the pressure device 16, the shaft 22 is bent as shown in FIG. However, since the deflection of the shaft 22 is absorbed by the soft connecting color 24, the roller shim 21 does not bend and maintains a flat state.

전술한 바와 같이 경질의 연결컬러(23)에 의해 롤러 심(21)의 중앙부만의 지지로 압력분포를 균일하게 하고자하면 경질의 연결컬러(23)의 길이를 길게 할 필요가 있다. 그러나 중앙부의 경질 연결컬러(23)의 길이를 길게 하면 롤러 심(21)의 휨에 따라 경질의 연결컬러(23)도 휘어지게 된다. 또 경질의 연결컬러(23)의 휨이 롤러 심(21)에 전달되게 되어 결과적으로 클리닝 면(8)에 대하여 불균일의 압력분포를 자아내게 된다.As described above, if the pressure distribution is to be made uniform by the support of the center portion of the roller shim 21 by the hard connecting color 23, it is necessary to lengthen the length of the hard connecting color 23. However, when the length of the hard connecting color 23 in the center is increased, the hard connecting color 23 is also bent in accordance with the bending of the roller shim 21. Further, the bending of the hard connecting color 23 is transmitted to the roller shim 21, resulting in an uneven pressure distribution with respect to the cleaning surface 8.

이와 같은 문제점을 해결하기 위하여 전기한 바와 같이 본 실시형태에서는 경질의 연결컬러(23)와 연질의 연결컬러(24)를 중앙부와 그 양쪽 단부로 분할 배치하고 각각 서로 다른 재질을 사용하는 구조를 갖도록 하였다.In order to solve such a problem, in the present embodiment, the hard connecting color 23 and the soft connecting color 24 are divided into a central portion and both ends thereof, and have a structure using different materials. It was.

우선 중앙부의 경질 연결컬러(23)와 양쪽 단부의 연질 연결컬러(24)로 분할시켜 경질의 연결컬러(23)의 길이를 짧게 할 수 있게 하고 축(22)의 휨에 쉽게 추종되지 않도록 한다.First, the hard connecting color 23 in the center portion and the soft connecting color 24 at both ends are divided so that the length of the hard connecting color 23 can be shortened and not easily followed by the bending of the shaft 22.

또 경질의 연결컬러(23)의 재질은 경질의 것을 사용하도록 한다. 여기에서 연질의 것을 사용하며 축(22)이 중앙부의 경질 연결컬러(23) 때문에 패어지게 되고 축(22)이 롤러 심(21)의 단부와의 간섭을 받게 된다. 특히, 단부의 연질 연결컬러(24)는 연질의 것을 사용하고 있기 때문에, 도 5에 도시된 바와 같이 축(22)이 휘어지더라도 롤러 심(21)에 영향을 주지 않고 롤러 심(21)은 휘어지지 않으며 평탄한 상태를 유지할 수 있다.In addition, the material of the rigid connection color 23 is to use a hard one. Here, a soft one is used and the shaft 22 is collapsed due to the rigid connecting color 23 in the center and the shaft 22 is subjected to interference with the end of the roller shim 21. In particular, since the soft connecting color 24 at the end uses a soft one, as shown in FIG. 5, the roller shim 21 does not affect the roller shim 21 even if the shaft 22 is bent. It does not bend and can remain flat.

경질의 연결컬러(23)와 연질의 연결컬러(24)는 상기한 바와 같이 축(22) 상의 축선방향 위치의 조정이 가능하다. 이 위치조정에 의해서 클리닝 부(20)의 압력분포를 균일하게 할 수 있게 된다. 실제로 압력분포가 균일하도록 배치하기 위해 클리닝 면(8)에 걸리는 압력분포를 측정하면서 경질의 연결컬러(23)와 연질의 연결컬러(24)를 슬라이드 시키고 위치를 조정한다. 처음에는 연질의 연결컬러(24)도 중앙에 있도록 하고 서서히 단부로 이동시키는 것이 바람직하다. 또 롤러 심(21)의 길이나 전체의 질량 및 하중이 걸리게 되는 방향 조건에서는 표준의 구성으로는 압력분포가 균일하게 되지 않는 경우가 있다. 이때에는 경질의 연결컬러(23)와 연질의 연결컬러(24)의 수를 증가시켜 조정하는 것이 바람직하다. The hard connecting color 23 and the soft connecting color 24 can adjust the axial position on the shaft 22 as described above. By this position adjustment, the pressure distribution of the cleaning part 20 can be made uniform. In order to arrange the pressure distribution evenly, the rigid connection color 23 and the soft connection color 24 are slid and adjusted while measuring the pressure distribution applied to the cleaning surface 8. Initially, the soft connecting color 24 should also be centered and gradually moved to the end. In addition, under a condition in which the length of the roller shim 21, the total mass and the load are applied, the pressure distribution may not be uniform in a standard configuration. At this time, it is preferable to increase the number of the hard connecting color 23 and the soft connecting color 24 to adjust.

도 1은 본 발명의 일 실시형태를 나타내는 개략정면도이고,1 is a schematic front view showing an embodiment of the present invention,

도 2는 본 발명의 일 실시형태의 제1 클리닝헤드와 제2 클리닝헤드의 구성를 나타내는 개략정면도이고,2 is a schematic front view showing the configuration of a first cleaning head and a second cleaning head of an embodiment of the present invention;

도 3은 본 발명의 일 실시형태의 제1 클리닝헤드와 제2 클리닝헤드의 구성를 나타내는 개략평면도이고,3 is a schematic plan view showing a configuration of a first cleaning head and a second cleaning head of an embodiment of the present invention;

도 4는 본 발명의 일 실시형태의 클리닝 롤러의 구성를 나타내는 개략정면도이고,4 is a schematic front view showing the configuration of the cleaning roller of one embodiment of the present invention;

도 5는 본 발명의 일 실시형태의 클리닝 롤러의 동작설명도이다.5 is an explanatory view of the operation of the cleaning roller of the embodiment of the present invention.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명* Explanation of symbols for main parts of the drawings

1 : 제1 클리닝헤드 2 : 제2 클리닝헤드 1: first cleaning head 2: second cleaning head

3 : 반입핸드 4 : 반출핸드3: Import Hand 4: Export Hand

5 : 플라텐(platen) 6 : 마스크 홀더5 platen 6 mask holder

7 : 노광 스테이지 8 : 클리닝 면7: exposure stage 8: cleaning surface

9 : 광원 10 : 노광부9 light source 10 exposed portion

11 : 클리닝 롤러 12 : 흡인 집진기11: cleaning roller 12: suction dust collector

13 : 제전(除電) 브러시 16 : 가압장치13 antistatic brush 16 pressurizing device

17 : 축수 19 : 점착 테이프롤 부17: axis number 19: adhesive tape roll portion

20 : 크리닝 부 21 : 롤러 심20: cleaning part 21: roller shim

22 : 축 23 : 경질 연결컬러22: axis 23: rigid connection color

24 : 연질 연결컬러 24: soft connection color

30 : 반입부 40 ; 반출부30: import part 40; Export

Claims (6)

노광하고자 하는 프린트 배선용 기판을 재치하는 플라텐(platen)과, 노광하고자 하는 패턴이 그려진 포토마스크로 이루어진 노광장치에 있어서, In the exposure apparatus which consists of a platen which mounts the board | substrate for printed wirings to expose, and the photomask in which the pattern to expose is drawn, 상기 기판과 플라텐을 포토마스크 중 적어도 하나의 대상물에 회전하면서 접촉하여 제진을 하게 되는 제진 롤러와, A damping roller which is in contact with the substrate and the platen by rotating at least one object of the photomask to make vibration; 이 제진 롤러를 상기 대상물에 대해 눌러주는 가압장치를 가지며, It has a pressurizing device which presses this damping roller against the said object, 상기 제진 롤러가;The vibration suppressing roller; 롤러 심과 Roller shim 이 롤러 심에 삽입된 축과, The shaft inserted into this roller shim, 이 축 상에 배치되어 롤러 심을 지지하는 연결컬러를 가지며, It has a connecting color disposed on this axis to support the roller shim, 상기 가압장치가 상기 축에 연결되어 이 축에 의하여 제진 롤러를 압압하고,The pressing device is connected to the shaft to press the damping roller by the shaft, 상기 연결컬러가;The connecting color; 상기 축의 중앙부에 장착된 경질재로 이루어진 중앙부 컬러와, A central color part made of a hard material mounted to the central part of the shaft, 이 중앙부 컬러의 양단부측에 각각 장착되고 상기 중앙부 컬러보다 연질의 재료로 이루어진 단부컬러를 갖는 것을 특징으로 하는 노광장치.And an end color each of which is attached to both end portions of the central color and is made of a material softer than the central color. 노광하고자 하는 기판을 재치한 플라텐(platen)과 이 기판을 플라텐 위에서 반입하는 기판 반입장치와 이 기판을 플라텐으로부터 반출하는 기판 반출장치와 노 광하고자 하는 패턴을 그린 포토마스크로 이루어진 노광장치에 있어서, An exposure apparatus comprising a platen on which a substrate to be exposed is placed, a substrate loading device for carrying the substrate on the platen, a substrate carrying device for carrying the substrate out of the platen, and a photomask on which the pattern to be exposed is exposed. To 상기 기판 반입장치에 연동하여 이동하고, 상기 기판 반입시 상기 플라텐을 제진하고 기판 반입후의 퇴피시 상기 플라텐 위에 재치된 기판을 제진하는 제1 제진 롤러와,A first vibration damper roller which moves in association with the substrate loading apparatus, for dusting the platen when the substrate is loaded and for removing the substrate placed on the platen when evacuating after the substrate is loaded; 상기 기판 반출장치에 연동하여 이동하고 상기 포토마스크를 제진하는 제2 제진 롤러와, A second dust removal roller which moves in association with the substrate discharging device and dusts the photomask; 상기 제진 롤러를 기판 또는 포토마스크에 대해 압압하는 가압장치를 가지며, It has a pressing device for pressing the damping roller against the substrate or photomask, 상기 제진 롤러가;The vibration suppressing roller; 롤러 심과,Roller shim, 이 롤러 심에 삽입되는 축과, An axis inserted into this roller shim, 이 축 상에 배치되고 롤로심을 지지하는 연결컬러를 구비하고, A connecting color disposed on the shaft and supporting the roll core, 상기 가압장치가 이 축에 연결되어 이 축에 의해서 제진 롤러를 눌러주며, The pressurization device is connected to this shaft to press the damping roller by this shaft, 상기 연결컬러가;The connecting color; 이 축의 중앙부에 장착된 경질재로 이루어진 중앙부 컬러와,A central color made of hard material attached to the central part of the shaft, 이 중앙부 컬러의 양단부 측에 각각 장착되고 전술한 중앙 컬러보다 연질의 재료로 된 단부컬러를 가지는 것을 특징으로 하는 노광장치.An exposure apparatus mounted on both end sides of the central color and having an end color made of a material softer than the aforementioned central color. 청구항 1 또는 2에 있어서, 상기 연결컬러의 수량이 증감 가능함을 특징으로 하는 노광장치.The exposure apparatus according to claim 1 or 2, wherein the quantity of the connecting colors can be increased or decreased. 청구항 1 또는 2 또는 3 중 어느 한 항에 있어서, 상기 연결컬러가 상기 축 상에서 이동 가능한 것을 특징으로 하는 노광장치.The exposure apparatus according to claim 1, 2 or 3, wherein the connection color is movable on the axis. 청구항 1 또는 2 중 어느 한 항에 있어서, 상기 중앙부 컬러는 가압장치의 압압에 의해 변형되지 않도록 형성되고, 상기 단부컬러는 상기 가압장치의 압압에 의해 변형하도록 형성됨을 특징으로 하는 노광장치.The exposure apparatus according to claim 1 or 2, wherein the central part color is formed so as not to be deformed by the pressing of the pressing device, and the end color is formed so as to be deformed by the pressing of the pressing device. 청구항 1 또는 2 중 어느 한 항에 있어서, 상기 중앙부 컬러는 강재(鋼材)로 이루어지고, 상기 단부컬러는 우레탄 고무재로 이루어짐을 특징으로 하는 노광장치.The exposure apparatus according to claim 1 or 2, wherein the central part color is made of steel, and the end color is made of urethane rubber.
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