KR20080058127A - Ｐｆｔ 측정 스탠드용 자기장 검출기 고정 조립체 장치 - Google Patents

Ｐｆｔ 측정 스탠드용 자기장 검출기 고정 조립체 장치 Download PDF

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KR20080058127A
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Abstract

본 발명은 수동식 또는 자동화된 통과 자속(pass-through flux : PTF) 측정 스탠드용 자기장 검출기 고정 조립체 장치에 관한 것이다.
자기장 검출기 고정 조립체는 자기장 검출기가 배치될 수 있는 길이방향 개구를 갖는 삽입부를 포함한다. 적어도 하나의 패스너는 상기 자기장 검출기 고정 조립체 장치 내의 적어도 하나의 개구를 통과하고, 상기 패스너는 상기 삽입부가 상기 자기장 검출기 고정 조립체 내의 기설정된 위치에 고정되도록 상기 삽입부와 기계적으로 연결되게 조절된다. 삽입부는 패스너를 과도하게 죄는 것에 의해 발생하는 손상이 자기장 검출기에 발생하는 것을 방지하며, 또한 검사 대상 스퍼터링 타겟의 표면이 긁히는 것을 방지한다. 자기장 검출 고정 조립체는 수동식 기계 PTF 스탠드 또는 자동화된 PTF 스탠드에 의해 사용될 수 있다.
Figure P1020070022655
스퍼터링, 타겟, 자기장, PTF, 측정

Description

ＰＦＴ 측정 스탠드용 자기장 검출기 고정 조립체 장치{APPARATUS FOR MAGNETIC FIELD DETECTOR HOLDING ASSEMBLY FOR A PTF MEASUREMENT STAND}
도 1a 내지 1c는 ASTM 표준 F 1761-00 PTF 시험 측정을 수행하기 위한 종래의 수동식 PTF 측정 시험 설비 스탠드를 도시한다.
도 2a 내지 2c는 ASTM 표준 F 2086-01 PTF 시험 측정을 수행하기 위한 종래의 수동식 PTF 측정 시험 설비 스탠드를 도시한다.
도 3a는 본 발명의 실시예에 따른 컴퓨터 제어 PTF 측정 장치의 개략적인 우측면도이다.
도 3b는 도 3a의 컴퓨터 제어 PTF 측정 장치의 개략적인 평면도이다.
도 3c는 도 3a의 컴퓨터 제어 PTF 측정 장치의 개략적인 부분도로, 스퍼터링 타겟의 일례를 자기 공급원 및 자기장 검출기에 관해 보여준다.
도 4은 도 3a 내지 3c의 PTF 측정 장치의 동작을 제어하는 컴퓨터 제어 시스템의 블록도이다.
도 5a는 도 1a 내지 1c 및 도 2a 내지 2c의 기계적인 PTF 측정 스탠드와 도 3a 내지 3c의 자동화된 PTF 측정 스탠드에 사용되는 자기장 검출기 및 자기장 검출기 고정 조립체의 개략적인 부분도이다.
도 5b는 본 발명의 다양한 예시적인 실시예에 따른 도 1a 내지 1c 및 도 2a 내지 2c의 기계적인 PTF 측정 스탠드와 도 3a 내지 3c의 자동화된 PTF 측정 스탠드에 사용되는 개선된 자기장 검출기 고정 조립체의 개략적인 부분도이다.
도 5c는 본 발명의 다양한 예시적인 실시예에 따른 개선된 자기장 검출기 고정 조립체의 개략적인 단면도이다.
도 6a 내지 6c는 본 발명의 다양한 예시적인 실시예에 따른 자기장 검출기 고정 조립체의 개략적인 단면도이다.
도 7a 내지 도 7b는 본 발명의 다양한 예시적인 실시예에 따른 자기장 검출기 삽입 조립체의 개략적인 단면도이다.
본 발명은 PTF(Pass-Through Flux: 통과 자속) 측정 스탠드용 자기장 검출기 고정 조립체 장치에 관한 것이다. 더욱 상세하게는, 본 발명은 수동식 또는 자동화된 통과 자속 측정 스탠드용 자기장 검출기 고정 조립체 장치에 관한 것이다.
스퍼터링 공정은 원하는 기판 상에 박막 재료를 증착하는데 사용된다. 통상의 스퍼터링 시스템은 전자 또는 이온 빔 공급원, 원자화될 재료로 된 타겟 및 스퍼터링된 재료를 증착할 기판을 포함한다. 이 공정은 전자 또는 이온 빔을 소정 각 도로 타겟 재료에 충돌시켜 타겟 재료를 스퍼터링 또는 침식시키게 된다. 스퍼터링된 타겟 재료는 기판 상에 박막 또는 얇은 층으로 증착된다. 스퍼터링 공정을 위한 타겟 재료의 범위는 순수 금속으로부터 더 복잡한 합금에 이른다.
마그네트론 스퍼터링(magnetron sputtering)은 영구 자석 또는 전자석을 타겟 재료(캐소드) 후방에 배치하여 자기장을 타겟에 인가한다. 인가된 자기장은 타겟을 관통하여 타겟의 전면에 방전 플라즈마를 집중시킨다. 타겟 전면은 원자화되고 이어서 타겟 원자는 타겟에 인접 배치된 기판 상면에 증착되어 박막 소자를 형성한다.
자성 타겟 재료의 마그네트론 스퍼터링은 전자 산업, 특히, 반도체 및 데이터 저장 소자의 제작에서 널리 실시되고 있다. 자성 타겟 합금의 연자성 특성에 기인하여, 타겟의 부피 내에서는 인가된 자기장에 상당한 분류(shunting)가 일어난다. 이렇게 되면, 분류의 결과로서 형성된 침식 홈에 투과 자기장이 집중됨으로 인해 타겟 활용성이 감소된다. 이러한 집중 효과는 (재료 PTF 감소에 해당하는) 재료 투자율 증가에 따라 심해진다.
타겟 재료 투자율을 낮추면 침식 프로파일이 덜 과도하게 되어 타겟 재료 유용성을 보강하고 그에 따라 재료비 절감에 기여하게 된다. 과도한 타겟 침식 프로파일의 존재는 최적의 증착 필름 두께 균일성보다 낮은 균일성을 초래할 수 있는 포인트 소스 스퍼터링(point source sputtering) 현상을 촉진할 수 있다. 따라서, 타겟 재료 투자율을 감소시키면 증착 필름 두께 균일성을 증가시키는 추가적 이점을 갖게 된다.
스퍼터링 타겟의 PTF는 인가된 자기장에 대한 투과 자기장(transmitted magnetic field)의 비로 정해진다. 100%의 PTF 값은, 인가된 자기장이 타겟의 부피를 통해 전혀 분류되지 않은 비자성 재료임을 나타낸다. 자성 타겟 재료의 PTF는 통상 0 내지 100% 범위 내에서 특정되며, 상업적으로 생산되는 재료의 대부분은 30 내지 100% 사이의 값을 나타낸다.
PTF를 측정하기 위한 여러 가지 다른 기술이 있다. 일례로는 4.4(+/-0.4) 킬로가우스의 막대자석을 타겟 재료의 일측에 접촉시키고, 축형 홀 탐침(axial Hall probe)을 타겟 재료의 타측에 접촉시켜 투과 자기장을 모니터링하는 것이 있다. 타겟의 부피를 투과한 자기장의 최대값을 (타겟이 중간에 있을 때와 같은 거리를 유지하는) 자석과 탐침 사이에 타겟이 없을 때에 인가된 자기장의 세기로 나눈 값이 PTF가 된다. PTF는 비율 또는 퍼센트로 표현할 수 있다.
PTF를 측정하는 다른 기술로는 말굽자석과 트랜스버스 홀 탐침(transverse Hall probe)을 사용하는 것이 있다. 다른 자석과 탐침 구성을 사용하여 측정한 PTF 값은 해당 업계에서 통상 사용되는 자기장 강도의 값을 위한 우수한 선형 상관성을 나타내는 것으로 알려져 있다. PTF 측정 기술은 실제 마그네트론 스퍼터링 장치에서 발생하는 인가된 자속의 근사치를 얻도록 구성된다. 따라서 PTF 측정치는 마그네트론 스퍼터링 중에 타겟 재료의 성능에 직접 적용될 수 있다.
자성 재료의 PTF와 투자율은 상호 배반적인 것은 아니다. 오히려, 자성 재료의 PTF와 최대 투자율 사이에는 매우 강한 역 상관도가 있다. 자성 재료 투자율의 값은 ASTM 표준 A 894-89에 따른 진동-샘플-자기력계(VSM)를 사용하면 매우 정밀하 게 결정할 수 있다.
최근, PTF 측정은 수동식 PTF 스탠드를 이용하여 수행된다. ASTM F 1761-00과 ASTM F 2086-01 표준은 통과자속을 위한 시험 방법을 제시하며, 수동으로 조작되는 시험 설비를 설명한다. 이러한 시험 설비는 지지 튜브 내에서 나사로 자기장 검출기를 고정한다. 나사가 과도하게 죄이면, 자기장 검출기는 쉽게 손상될 수 있다. 또한, 지지 튜브 내의 자기장 검출기는 튜브의 길이 이상으로 연장될 수 있기 때문에, 검사 대상 스퍼터링 타겟과 접촉하는 경우 자기장 검출기가 손상될 수 있으며, 또한 자기장 검출기가 타겟의 표면을 긁을 수 있다.
따라서, 자기장 검출기를 고정하고 이를 PTF 측정 스탠드에 부착하는 개선된 장치가 요구된다. 또한, 수동식 또는 자동화된 PTF 측정 스탠드에서 PTF를 측정하는 동안 자기장 검출기나 측정 대상 스퍼터링 타겟에 손상을 입히지 않는 자기장 검출기 고정 조립체가 요구된다.
본 발명의 여러 실시예는 통상의 PTF 측정 스탠드용 자기장 검출기의 부착에 대한 전술한 결함을 해결한다.
본 발명의 적어도 하나의 예시적인 실시예는 스퍼터링 타겟을 측정하기 위한 수동식 또는 자동화된 통과 자속 측정 스탠드용 자기장 검출기 고정 조립체 장치에 관한 것이다. 자기장 검출기 고정 조립체는 길이방향 개구를 갖는 삽입부를 포함하며, 이 삽입부의 개구는 자기장 검출기가 배치될 수 있도록 한다. 적어도 하나의 패스너(fastener)가 자기장 검출기 고정 장치 내의 적어도 하나의 개구를 통과하며, 상기 패스너는 삽입부가 자기장 검출기 고정 조립체 내의 기설정된 위치에 고정되도록 삽입부와 기계적으로 연결되게 조절될 수 있다. 삽입부는 자기장 검출기가 패스너의 과도한 죔에 의해 손상되는 것을 방지하며, 또한, 검사 대상 스퍼터링 타겟의 표면의 긁힘을 방지한다.
본 발명의 여러 실시예는 스퍼터링 타겟의 통과 자속을 결정하는 장치에 관한 것이다. 상기 장치는 스퍼터링 타겟을 통과하는 자기장을 생성하는 자기 공급원를 갖는다. 자기장 검출기 고정 조립체는 길이방향 개구를 갖는 삽입부를 포함하며, 상기 삽입부의 개구는 자기장 검출기가 배치될 수 있도록 하고, 상기 삽입부는 자기장 검출기 고정 조립체 내에 위치한다. 상기 장치는 상기 스퍼터링 타겟 또는 자기장 검출기 고정 조립체 중 하나이상을 이동시키도록 구성된 스탠드를 더 구비한다.
본 발명의 예시적인 실시예의 여러 가지 이점들은 자기장 검출기를 자기장 검출기 조립체에서 단단하게 고정한다는 것을 포함하나, 이에 한정되지 않는다. 예시적인 장치들은 자기장 검출기 고정 조립체 내에 자기장 검출기를 고정하기 위하여 패스너를 과도하게 죌 때 발생하는 자기장 검출기에 대한 손상을 최소화할 수 있다. 더하여, 본 발명의 여러 예시적인 실시예는 자기장 검출기에 의해 스퍼터링 타겟의 표면이 긁히는 것을 방지한다. 자기장 검출기 고정 조립체와 스퍼터링 타겟 이 접촉하게 되는 경우 측정되는 스퍼터링 타겟이 자기장 검출기와의 접촉에 의해 손상되지 않도록 자기장 검출기는 기설정된 위치에 배치된다. 본 발명의 여러 예시적인 실시예에서 자기장 검출기는 삽입부의 길이방향 개구 내에 위치하며, 자기장 검출기가 상기 삽입부의 외부로 연장되지 않도록 배치된다. 더하여, 자기장 검출기 고정 조립체는 수동식 또는 자동화된 스퍼터링 타겟 측정용 PTF 측정 장치에 사용될 수 있다.
해당 분야의 통상의 지식을 가진 자(당업자)라면 이하의 상세한 설명으로부터 본 발명의 다른 실시예를 이해할 수 있다. 상세한 설명은 예시로서 도시되고 기재된다. 이하 구현되는 바와 같이, 본 발명은 다른 실시예도 가능하며, 여러 가지 상세 내용은 본 발명의 사상과 범위에서 벗어나지 않으면서 여러 가지 측면에서 수정될 수 있다. 따라서, 첨부도면과 상세한 설명은 특성을 예시하는 것일 뿐 제한하는 것은 아니다.
아래에 첨부된 도면과 관련하여 설명된 상세한 설명은 본 발명의 다양한 실시예에 대한 설명으로 의도되며, 본 발명이 실시될 수 있는 유일한 실시예를 대표하도록 의도되지 않는다. 발명의 상세한 설명은 본 발명의 완벽한 이해를 제공하는 목적을 위한 특정 상세를 포함한다. 그러나, 본 발명이 이러한 특정 상세 없이 실시될 수 있다는 것은 당업자에게 자명하다. 소정의 경우에 있어서, 공지된 지지체 및 구성요소는 본 발명의 개념이 불명확해지는 것을 피하기 위하여 블록의 형태 또 는 개략적인 부분으로 표시될 수 있다.
이하 유사한 도면부호로 유사한 구성요소를 지시한 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 설명한다.
도 1a 내지 1c는 ASTM 표준 F 1761-00 PTF 시험 측정을 수행하기 위한 종래의 수동식 PTF 측정 시험 설비 스탠드(100)를 도시한다. 바닥판(102)과 테이블 지지체(104)는 타겟 테이블(106)을 지지한다. 포스트(108)는 포스트(108)를 타겟 테이블(106)에 연결하기 위한 칼라(collar)(110)를 구비한다. 포스트(108)는 크로스 암(112)과, 자기장 검출기(115)(도 5a에 도시됨)를 수용하는 지지 튜브(114)를 지지한다. 크로스 암(112)과 지지 튜브(114)는 조작자에 대한 A 또는 A' 방향으로 기계적으로 이동할 수 있다. 조절 나사(116)는 포스트(108)를 따라 A 또는 A' 방향으로 크로스 암(112)의 이동이 가능하도록 느슨해질 수 있다. 조작자가 타겟 테이블(106) 상의 정렬 허브(hub)(120) 위에 있는 스퍼터링 타겟(118)의 위치에 대한 크로스 암(112)과 지지 튜브(114)(도 5a에 도시된 바와 같이 자기장 검출기(115)를 가짐)의 위치를 결정하면, 조절 나사(116)는 크로스 암(112)을 포스트(108)에 고정시키도록 죄어질 수 있다. 따라서, 검사 대상 스퍼터링 타겟(118)은 자기 공급원(122)(즉, 말굽 자석)과, 지지 튜브(114) 내에 위치한 자기장 검출기(115) 사이에 위치할 수 있다. 자기 공급원(122)은 바닥판(102) 위의 자기 심(magnetic shim, 124) 상에 위치한다. 자기 공급원(122)은 조작자가 자기 클램프(128)의 패스너(126)를 느슨하게 하거나 자기 공급원(122)을 원하는 바에 따라 시계방향 또는 반시계방향으로 회전함으로써 축에 대하여 수동으로 회전할 수 있다. 자기 공급원(122)이 바람직하게 위치하면, 패스너(126)는 죄어질 수 있고, 따라서 자석 클램프(128)가 자기 공급원(122)으로 죄어질 수 있다.
자기장 검출기(도 5a에 도시됨)는 지지 튜브(114) 내에 위치한다. 지지 튜브(114)는 바람직하게는 나사 또는 기타 적합한 패스너인 조절가능한 패스너(130)에 의해 크로스 암(112)에 고정된다. 자기장 검출기(115)는 2개의 패스너(132)로 지지 튜브(114) 내에 고정된다.
도 2a 내지 2c는 ASTM 표준 F 2086-01 PTF 시험 측정을 수행하기 위한 종래의 수동식 PTF 측정 시험 설비 스탠드(100)를 도시한다. 스탠드(100)는 도 1a 내지 도 1c 내에 도시된 바와 같고 전술한 것과 마찬가지이다. 그러나, 자기 공급원(122)과, 자기 튜브(114) 내의 자기장 검출기(115)는 도 1a 내지 1c에서의 위치와 상이한 배향을 가져서 F 2086-01에서 설명된 PTF 표준 시험 측정 방법에 따른 PTF 측정을 가능하게 한다.
도 3a는 본 발명의 실시예에 따른 컴퓨터 제어 PTF 측정 장치(200)의 개략적인 측면도이다. 컴퓨터 제어 PTF 측정 장치(200)는 바닥판(202)을 갖는다. 복수의 테이블 지지체(204)의 일단이 바닥판(202)에 연결되고 타단이 타겟 테이블(206)에 연결되며, 바닥판(202)과 지지체(204)는 타겟 테이블(206)을 지지한다. 또한, 탐침 활주 봉 지지체(208)가 테이블 지지체(204)와 마찬가지로 바닥판(202)에 연결되어 타겟 테이블(206)의 지지를 보조한다. (예컨대 바닥판(202), 테이블 지지체(204), 타겟 테이블(206), 탐침 활주 봉 지지체(208) 등의) 장치의 구조적인 요소들은 공 급원 자석(예컨데 공급원 자석(260)과 같은 공급원 자석의 자기 특성에 영향을 주지 않으면서 장치가 동작할 수 있도록 비자성 재료를 사용한다.
컴퓨터 제어 PTF 측정 장치(200)는 스퍼터링 타겟의 PTF를 측정하기 위한 자기장 검출기가 이동할 수 있게 해준다. 자기장 검출기(210)는 자기장 검출기 고정 조립체(212) 안에 위치한다. 자기장 검출기(210)는 가우스미터(Gaussmeter), 테슬라미터(Teslameter) 또는 다른 적절한 자기장 측정 디바이스일 수 있다. 도 4에 도시한 것과 같은 소정의 실시예에서, 자기장 검출기는 자기장을 검출하기 위한 자기장 탐침 및 자기장을 측정하기 위한 가우스미터 또는 테슬라미터를 모두 구비할 수 있다.
자기장 검출기(210)는 수직면에서 A 또는 A' 방향으로 이동하여 타겟 테이블(206) 표면 또는 그 위에 배치된 스퍼터링 타겟을 측정하도록 배치될 수 있다. 도 4의 컴퓨터(340)에 의해 제어되는 조절 모터(214)는 A 또는 A' 방향으로 이동하는 자기장 검출기(210)에게 동력을 공급한다.
크로스 암(213)은 자기장 검출기 고정 조립체(212)를 활주 봉 베어링 조립체(218)에 연결시킨다. 자기장 검출기 조절 암(216)은 활주 봉 베어링 조립체(218)에 연결된다. 활주 봉 베어링 조립체(218)는 활주 봉(220)에 매달려 있고, 활주 봉(220)은 활주 봉 지지체(208)에 고정된다. 활주 봉 베어링 조립체(218)는 활주 봉(220)을 따라 수직 방향으로 이동할 수 있고, 자기장 검출기 조절 암(216)에 의해 안내된다. 조절 모터(214)가 기어(222)를 회전시킴에 따라, 조절 리드 스크류(224)가 회전하여 자기장 검출기 조절 암(216)을 A 또는 A' 방향으로 이동시킨 다. 따라서, 조절 모터(214)가 기어(222)를 회전시켜 조절 리드 스크류(224)를 회전시키면, 자기장 검출기 조절 암(216)은 활주 봉(220)을 따라 활주 봉 베어링 조립체(218)를 이동시킨다. 자기장 검출기 고정 조립체(212)는 활주 봉 베어링 조립체(218)에 연결되고, 자기장 검출기(210)는 A 방향으로 이동 가능하며, 조절 모터(214)가 역전되는 경우, 자기장 검출기(202)는 A' 방향으로 이동한다.
또한, 조절 모터(214)가 탐침 조절 암(216)을 구동하여 A 또는 A' 방향으로 이동시킴에 따라, 인코더(226)가 자기장 검출기(210)의 이동을 추적(탐지)한다. 조절 모터(214)는 활주 봉 베어링 조립체(218)가 활주 봉(220)을 따라 하나 이상의 미리 정해진 위치로 이동하는 것에 의해 작동되어 스퍼터링 타겟의 이동 또는 측정 전에 조절 모터(214)의 시작 위치를 초기화할 수 있는 홈 스위치(home switch)를 가질 수 있다. 따라서, 인코더(226)는 조절 모터(214)의 움직임뿐만 아니라 초기 위치를 기록한다.
도 4의 컴퓨터(340)의 명령을 수신하면, 트래버스 모터(traverse motor, 228)는 회전판(230)을 B 또는 B' 방향으로 이동시켜 스퍼터링 타겟을 자속 검출기 아래와 자기 공급원 위로 이동시켜 PTF 측정을 실시할 수 있다.
회전판 트래버스 활주체(232)는 타겟 테이블(206) 아래에 장착된다. 회전판(230)은 회전판 트래버스 활주 베어링 조립체(234)에 결합되고, 이 조립체(234)는 회전판 트래버스 활주체(232)에 매달려 있다. 이 구성은 회전판(230)이 회전판 트래버스 활주체(232)를 따라 B 또는 B' 방향으로 이동할 수 있게 해준다. 트래버스 회전판 암(236)은 일단이 회전판(230)에 부착되고 타단이 트래버스 리드 스크 류(238)에 부착된다. 트래버스 모터(228)는 트래버스 기어(240)를 회전시키고, 트래버스 기어(240)는 트래버스 리드 스크류(238)와 인터페이스되어 트래버스 회전 판 암(236) 및 회전판(230)을 이동시킨다.
트래버스 모터(228)는 스퍼터링 타겟의 이동 또는 측정에 선행하여 트래버스 모터(228)의 시작 위치를 초기화할 수 있는 홈 스위치를 가질 수 있다. 트래버스 모터(228)와 관련된 홈 스위치는 트래버스 활주 베어링 조립체(234)가 회전판 트래버스 활주체(232) 상에서 적어도 하나의 기설정된 위치로 이동하는 것에 의해 시작 위치를 초기화하도록 작동될 수 있다. 컴퓨터(340)로부터 명령을 수신하면(도 4에 도시된 바와 같이), 트래버스 모터(228)는 트래버스 기어(240)를 회전시킨다. 트래버스 인코더(242)는 초기 위치와 트래버스 모터(228)의 이동을 기록한다. 따라서, 트래버스 모터(228)가 트래버스 회전판 암(236)을 구동하여 B 또는 B' 방향으로 이동시키면, 트래버스 인코더(242)는 회전판(230)의 이동을 추적한다.
구동 휠(244)과 유동 휠(idler wheel, 246)은 다양한 크기의 스퍼터링 타겟을 고정할 수 있고, 회전판(230)의 상측에 회전 가능하게 연결된다. 비록 도 3a 내지 3b에는 하나의 구동 휠(예를 들어, 구동 휠(244))만이 도시되었지만, 추가의 구동 휠을 사용하여 스퍼터링 타겟을 고정하여 회전시킬 수 있다. 필요에 따라 추가의 구동 기어를 더하여 회전 모터(248)로부터 추가의 구동 휠에 동력을 공급한 수 있다. 마찬가지로, 적어도 2개의 유동 휠을 사용하여 스퍼터링 타겟을 고정할 수 있다. 타겟 테이블(206)에는 타원형 절개부(예를 들어, 도 3b에 도시한 타원형 절개부(256))가 있어서 구동 휠(244)과 유동 휠(246)의 통과를 허용한다. 추가의 구 동 휠 또는 유동 휠이 추가되면 추가의 타원형 절개부를 추가할 수 있다. 회전 모터(248)와 회전 인코더(250)가 회전판(230) 아래에 부착되어 있다. 선회 조정체(swivel adjustment)(252)가 구동 휠(244)을 이동할 수 있게 하여 서로 다른 크기의 스퍼터링 타겟이 구동 휠(244) 및 적어도 2개의 유동 휠(246)과 접촉하도록 한다. 추가의 구동 휠을 수용하도록 추가의 선회 조절 기구를 추가할 수 있다. 구동 기어(254)는 구동 휠(244)을 회전시켜 미리 설정된 방향들에서 서로 다른 PTF 측정을 허용하도록 스퍼터링 타겟을 회전시킬 수 있다.
도 3b는 컴퓨터 제어 PTF 측정 장치(200)의 평면도이다. 타겟 테이블(206)의 타원형 절개부(256)에 의해, 회전판(230)에 장착된 구동 휠(244)과 유동 휠(246)은 타겟 테이블(206)의 표면 위쪽에 위치하여 스퍼터링 타겟을 고정할 수 있다. 타원형 절개부(256)에 의해, 구동 휠(244)과 유동 휠(246)이 있는 (타겟 테이블(206) 아래쪽에 배치된) 회전판(230)은 B 또는 B' 방향으로 이동하여, 서로 다른 크기의 스퍼터링 타겟을 수용하고 서로 다른 위치에서 해당 스퍼터링 타겟을 측정할 수 있다. B 또는 B' 방향으로 회전판(230)이 회전하면, 컴퓨터 제어 PTF 측정 장치(200)는 검사 대상 스퍼터링 타겟의 특정 부분을 자기장 검출기(210) 아래쪽에 위치시킬 수 있다.
도 3c를 참조하면, 자기 공급원(260)과 자기장 검출기(210) 사이에 스퍼터링 타겟(258)이 배치된다. 자기 공급원(260)은 회전 가능한 받침대(pedestal, 262)에 연결되어 결합되고, 회전 가능한 받침대(262)는 바닥판(202)에 결합된다. 자기 공급원(260)은 바람직하게는 말굽자석이다. 컴퓨터 제어 PTF 측정 장치(200)의 조작 자는 자기 공급원(260)을 회전시켜, 예컨대 ASTM 1761 또는 ASTM 2086에 기재된 것과 유사한 시험을 수행할 수 있다. 스퍼터링 타겟(258)은 바람직하게는 구동 휠(244)과 유동 휠(246)에 의해 고정된다. 이 구성에 의하면, 구동 휠(244)의 이동(그리고 이에 대응하는 유동 휠(246)의 이동)에 의해 회전하며, 그 회전 동안 스퍼터링 타겟(258)은 스퍼터링 타겟(258)의 스크래칭을 일으킬 수 있는 타겟 테이블(106)과의 직접적인 접촉이 방지된다. 전술한 바와 같이, 회전판(230)은 B 또는 B' 방향으로 수평 이동하여, 스퍼터링 타겟(258)을 추가로 자기장 검출기(210) 아래에 위치시킬 수 있다. 자기장 검출기는 스퍼터링 타겟(258)과 자기 공급원(260)에 대해 A 또는 A' 방향으로 수직으로 이동할 수 있다.
도 4는 PTF 측정 장치(200)의 동작을 제어하는 컴퓨터 제어 시스템(300)의 블록도이다. 도 4에 도시한 것과 같이, 트래버스 인코더(242), 트래버스 모터(228), 위치 인코더(226), 조절 모터(214), 회전 인코더(250) 및 회전 모터(248)는 명령 프로세서(310)와 연결되어 통신한다. 따라서, 데이터와 명령들이 인코더(226, 242, 250), 모터(214, 228, 248) 및 명령 프로세서(310) 사이에서 교환될 수 있다. 명령 프로세서(310)는 통신 링크(320)에 의해 통신망(330)과 연결되어 통신한다. 명령 프로세서(310)는 컴퓨터(340)로부터 명령을 수신하며, 그리고 모터(214, 228, 248)가 켜지거나 꺼지도록 모터(214, 228, 248)에 지시하거나, 인코더(226, 242, 250)에 의해 수집된 데이터를 해독하거나, 또는 트래버스 모터(228)와 조절 모터(214)와 관련된 "홈" 또는 시작 스위치로부터 초기화 정보를 수신한다. 컴퓨터(340)는 외부 데이터베이스(350)와 마찬가지로 통신 링크(320)를 이용하 여 결합된 통신망(330)에 연결되어 통신한다.
데이터베이스(350)는 스퍼터링 타겟 측정에서 얻은 데이터를 저장할 수 있다. 데이터는 부품 번호(part mumber), 로트 번호(lot number), 판 번호, 타겟 번호, 인가된 자기장, 평균 가우스, 가우스 값 범위, 최저 가우스 값, 최고 가우스 값 또는 평균 PTF 퍼센트, 이들의 조합, 또는 다른 적절한 측정치나 데이터를 포함할 수 있다. 데이터베이스(350)는 컴퓨터(340)가 생성한 스퍼터링 타겟 PTF 맵도 역시 저장할 수 있다. 데이터베이스(350)는 스퍼터링 타켓이 측정되는 동안 이용되는 소정의 사양(specification)을 저장할 수 있다. 예컨대, 데이터베이스(350)는 측정이 이루어지는 스퍼터링 타겟 상의 위치, 측정 회수, 자기 공급원에서 인가된 자기장, 평균 PTF 퍼센트, 평균 가우스, 가우스 범위, 이들의 조합, 또는 다른 적절한 정보에 관한 데이터를 저장할 수 있다.
컴퓨터(340)는 개인용 컴퓨터(PC), 랩톱 컴퓨터, 대형 고속 컴퓨터, 단순 단말기(dumb terminal), PDA(Personal Digital Assistant), 무선 단말기, 휴대 전화기 또는 다른 형태의 망 접속 개인용 정보처리 기구(computing device)일 수 있다. 컴퓨터(340)는 데이터 송수신을 위해 통신망(330)과의 인터페이스 연결용 네트워크 카드(342)를 포함할 수 있다. 또한, 컴퓨터(340)는 트래버스 인코더(242), 트래버스 모터(228), 위치 인코더(226), 조절 모터(214), 회전 인코더(250), 회전 모터(248), 제어 프로세서(310), 데이터베이스(350) 또는 통신망(330)에 연결된 다른 데이터 저장장치, 자기장 검출기(예를 들어, 자기장 검출기(210), 테슬라미터(360), 자기장 탐침(370) 등), 이들의 조합, 또는 다른 적절한 디바이스를 제어 하고 이들로부터 데이터를 수집하도록 프로그램을 실행하는 프로세서(344)를 구비할 수 있다. PTF 측정 데이터, 스퍼터링 타겟의 맵, 또는 다른 적절한 데이터나 정보는 표시장치(346)로 조작자에게 보여질 수 있다.
도 4의 도시된 바와 같이, 컴퓨터(340)는 테슬라미터(360) 및 자기장 탐침(370)에 연결되어 통신할 수 있고, 자기장 탐침(370)은 스퍼터링 타겟을 투과한 자기장 강도를 읽고, 테슬라미터(360)는 탐침으로부터 받은 자기장 정보를 해석하고 정량화하여 수집된 데이터를 컴퓨터(340)에 보낸다. 테슬라미터(360)와 자기장 탐침(370)은 도 3a 및 도 3c에 도시된 자기장 검출기(210)와 같이 자기장 검출기로서 단일 디바이스 내에 결합될 수 있다. 테슬라미터(360)는 가우스미터로 대체될 수 있다.
도 5a는 도 1a 내지 1c 및 도 2a 내지 2c의 기계 PTF 측정 스탠드와 도 3a 내지 3c 및 도 4의 자동화된 PTF 측정 스탠드에 사용되는 자기장 검출기 및 자기장 검출기 고정 조립체의 개략적인 부분도이다. 간결성을 위해, 도 1a 내지 1c 및 도 2a 내지 2c의 도면 부호가 도 5a 및 5c를 설명하기 위하여 사용된다. 도 5a에 도시된 바와 같이, 자기 공급원(122)은 타겟 테이블(106) 아래에 배치된다. 자기 공급원은 패스너(126)와 자기 클램프(128)로 특정 위치에 고정된다. 검사 대상 스퍼터링 타겟(118)은 타겟 테이블(106)의 표면 또는 표면 위에 배치된다. 자기장 검출기(115)는 패스너(132)로 지지 튜브(114) 내에 고정된다. 지지 튜브는 크로스 암(112)에 고정되며, 스퍼터링 타겟에 대하여 A 또는 A' 방향으로 이동할 수 있다.
도 5b는 본 발명의 다양한 예시적인 실시예에 따른 도 1a 내지 1c 및 도 2a 내지 2c의 기계적인 PTF 측정 스탠드와 도 3a 내지 3c의 자동화된 PTF 측정 스탠드에 사용되는 개선된 자기장 검출기 고정 조립체의 개략적인 부분도이다. 도 5a와 유사하게, 도 5b는 자기 공급원(122), 타겟 테이블(106) 및 스퍼터링 타겟(118)을 도시한다. 그러나, 본 발명의 다양한 실시예의 개선된 자기장 검출기 고정 조립체(400)가 도 5b에 도시되며, 이는 도 5c에 더욱 상세히 도시된다.
도 5c는 본 발명의 다양한 예시적인 실시예에 따른 개선된 자기장 검출기 고정 조립체의 개략적인 단면도이다. 도 5c는 삽입부(420) 내에 고정되고, 또한 자기장 검출기 고정 조립체(400) 내에 고정되는 자기장 검출기(410)를 상세히 도시한다. 바람직하게는 나사 또는 조절가능한 기타 적합한 패스너인 고정 패스너(430)는 삽입부(420)와 접촉하고 자기장 검출기 고정 조립체(400) 내에 삽입부(420)를 보유하도록 조절된다. 다양한 예시적인 실시예에서, 고정 패스너(430)는 바람직하게는 플라스틱 나사일 수 있다. 도 5c에 도시된 바와 같이, 자기장 검출기(410)는 자기장 검출기(410)의 일단(즉, 스퍼터링 타겟으로부터 인접하여 위치한 자기장 검출기(410)의 단부)과 삽입부(420)의 일단(즉, 스퍼터링 타겟에 인접한 삽입부(420)의 단부) 사이에 공극부(440)가 있도록 삽입부(420)와 자기장 검출기 고정 조립체(400) 내에 위치한다. 공극부(440)의 장점은 자기장 검출기 고정 조립체(400) 또는 삽입부(420)가 스퍼터링 타겟(예를 들어, 스퍼터링 타겟(118))과 접촉하는 경우에 자기장 검출기(410)에 의해 입을 수 있는 손상을 최소화한다. 공극부(440)는 0.001 인치 또는 자기장 검출기(410)의 손상을 방지하고 자기장 검출기(410)가 자기장을 검출할 수 있게 하는 임의의 다른 적합한 간격 이상일 수 있다. 자기장 검 출기(410)는 테슬라미터, 가우스미터 또는 임의의 기타 적합한 디바이스일 수 있다. 대신에, 자기장 검출기(410)는 자기장 탐침과 테슬라미터 또는 가우스미터를 조합하는 것일 수 있다.
도 6a 내지 6c는 본 발명의 다양한 예시적인 실시예에 따른 자기장 검출기 고정 조립체의 개략적인 단면도이다. 자기장 검출기 고정 조립체(500)는 상부(510)와 하부(520)를 구비한다. 예를 들어, 상부(510)는 3.00 인치의 길이를 가질 수 있으며, 하부(520)는 1.50 인치의 길이를 가질 수 있다. 상부(510)는 외부 실린더(530)와 내부 영역(540)을 갖는다. 내부 영역(540)은 자기장 검출기(예를 들어, 도 5c에 도시된 자기장 검출기(410))를 수용할 수 있다.
도 6b는 상부(510)의 단면도이며, 외부 실린더(530)와 내부 영역(540)을 보여준다. 예를 들어, 내부 영역(540)은 0.19 인치의 직경을 가질 수 있으며, 외부 실린더는 0.498인치의 직경을 가질 수 있다.
하부(520)는 외부 실린더(550)와 내부 영역(560)을 구비할 수 있다. 내부 영역(560)은 삽입부(예를 들어, 도 5c의 삽입부(520))와 자기장 검출기(예를 들어, 도 5c의 자기장 검출기(410))를 수용할 수 있다. 예를 들어, 내부 영역(560)은 1.30 인치인 길이(570)를 가질 수 있다. 개구(580)는 외부 실린더(550)의 외면으로부터 내부 영역(560)으로 형성될 수 있다. 바람직하게는 개구(580)는 패스너(예를 들어, 도 5c의 패스너(430))가 삽입부(예를 들어, 도 5c의 삽입부(420))를 고정하도록 개구를 통해 배치되도록 할 수 있다. 바람직하게는 개구(580)는 나사산이 형성된 패스너(예를 들어, 나사 또는 기타 적합하게 나사산이 형성된 체결 기구)를 수용하기 위하여 유사한 나사산이 형성될 수 있다(예를 들어, 10-32 탭 또는 임의의 기타 적합한 나사산). 외부 실린더(530, 550)는 바람직하게는 0.750 황동 봉으로 이루어질 수 있으나, 임의의 다른 적합한 비자성 재료가 사용될 수 있다. 상이한 허용오차 수준이 자기장 검출기 고정 조립체(500)의 구성요소(예를 들어 구성요소(510-580) 등)를 제작하는데 사용될 수 있다.
도 7a 내지 도 7b는 본 발명의 다양한 예시적인 실시예에 따른 자기장 검출기 삽입 조립체의 개략적인 단면도이다. 도 7a를 참조하면, 삽입부(600)는 길이방향 개구(610)가 도시되며, 상기 길이방향 개구(610)에는 자기장 검출기가 바람직하게 배치될 수 있다. 예를 들어, 길이방향 개구(610)는 도 7a의 치수 C로 표시된 0.060 인치의 직경을 가질 수 있으며, 삽입부(600)는 치수 D로 표시된 0.400 인치의 직경을 가질 수 있다. 단부 캡(620)은 바람직하게는 삽입부(600)의 일단에 위치한다. 예를 들어, 단부 캡(620)은 도 7a의 치수 E로 표시된 0.60 인치의 직경을 가질 수 있다. 예를 들어, 삽입부(600)는 치수 F의 1.00 인치의 길이를 가질 수 있으며, 단부 캡(620)은 도 7a의 치수 G로 표시된 0.15인치의 길이를 가질 수 있다. 삽입부(600) 또는 단부 캡(620)은 바람직하게는 델린®(Delrin®), 테프론®(Teflon®), 플라스틱, 나일론, 비자성 재료 또는 임의의 기타 적합한 재료로 이루어진다. 델린®, 테프론®, 플라스틱, 나일론, 비자성 재료 또는 임의의 기타 적합합 재료로 이루어진 삽입부(600) 또는 단부 캡(620)의 장점은 삽입부(600)와 단부 캡(620)이 타겟을 접촉하더라도 스프터링 타겟이 긁히지 않을 수 있다는 것이다. 또한, 삽입 부(600)는 패스너로부터 소정의 기계적인 변형이 일어날 수가 있지만, 과도하게 죄어질 수 있는 패스너로부터 자기장 검출기에 대한 잠재적인 손상을 최소화할 수 있다. 예를 들어, 길이방향 개구(610)는 도 7b에 표시된 치수 H의 0.388 인치의 깊이를 가질 수 있다. 구성요소(600, 610, 620)의 제작에 있어서 서로 다른 허용 오차 수준이 사용될 수 있다.
첨부 도면과 연계하여 전술한 상세한 설명은 본 발명의 여러 실시예를 기술하는 것이며 본 발명이 실행되는 유일한 실시예를 제시하는 것은 아니다. 상세한 설명은 본 발명의 상세한 이해를 제공하기 위한 특정한 상세내용을 포함한다. 하지만, 당업자라면 이러한 특정한 상세내용 밖에서도 본 발명을 실행할 수 있음을 알 것이다. 일부 예에서, 공지된 구조와 구성요소는 본 발명의 개념을 명확히 하기 위해 블록도로 도시하였다.
개시된 공정 단계의 특정한 순서 또는 계층은 바람직한 해결수단의 일례일 뿐이다. 본 명세서의 개시 범위에서 벗어나지 않으면서 설계 선호도에 기초하여 공정 단계의 특정한 순서 또는 계층을 재배열할 수 있다. 후속하는 방법 청구항은 다양한 단계의 구성요소를 예시적인 순서에 따라 제시하며, 제시한 특정 순서 또는 계층으로 한정되는 것은 아니다.
본 명세서에 개시된 실시예와 연계된 다수의 예시적인 논리 블록, 모듈, 회로, 소자 및/또는 구성요소는 범용 프로세서, 디지털 신호 프로세서(DSP), 주문형 반도체(ASIC), 현장 프로그램 가능 게이트 어레이(FPGA) 또는 다른 프로그램 가능 논리 소자, 이산 게이트 또는 트랜지스터 논리 소자, 이산 하드웨어 소자, 또는 본 명세서에 개시된 기능을 수행하도록 설계된 모든 조합체로 구현 또는 실행될 수 있다. 범용 프로세서는 마이크로프로세서일 수 있지만, 모든 종래의 프로세서, 제어기, 마이크로 제어기 또는 상태 합성기(state machine)일 수도 있다. 프로세서는 연산 소자의 조합으로 구현될 수도 있다. 예컨대, DSP와 마이크로 프로세서, 복수의 마이크로 프로세서, DSP 코어와 연계된 하나 이상의 마이크로 프로세서, 또는 그와 같은 다른 구성일 수 있다.
본 명세서에 개시된 실시예와 연계 기재된 방법 또는 알고리즘은 하드웨어로 직접 구현되거나, 프로세서에 의해 실행되는 소프트웨어 모듈로 구현되거나, 이들의 조합으로 구현될 수 있다. 소프트웨어 모듈은 RAM, 플래시 메모리, ROM, EPROM, EEPROM, 레지스터, 하드 디스크, 분리형 디스크, CD 롬 또는 해당 분야에 공지된 다른 모든 형태의 저장 매체에 상주한다. 저장 매체는 프로세서가 정보를 저장 매체에 기록하고 그로부터 읽을 수 있도록 프로세서에 결합될 수 있다. 이와 달리, 저장 매체는 프로세서와 일체일 수 있다.
당업자가 본 명세서에 기재한 여러 가지 실시예를 실행할 수 있도록 전술한 상세한 설명이 제공되었다. 당업자라면 이들 실시예를 다양하게 수정할 수 있을 것이며, 본 명세서에 규정된 전체 원리를 다른 실시예에 적용할 수 있다. 따라서, 특허청구범위는 본 명세서에 개시한 실시예로 한정되지 않으며, 특허청구범위 기재에 부합하는 전체 범위를 나타낸다. 구성요소를 단수로 표현한 것은 특별히 언급하지 않는 한 “단지 하나”를 의미하는 것이 아니라 “하나 이상”을 의미한다. 본 명 세서에 개시된 여러 가지 실시예의 구성요소들의 모든 구조적-기능적 균등물은 당업자에게 공지되어 있거나 추후 공지되거나 간에 본 명세서의 일부로서 참조되며 특허청구범위에 속한다. 또한, 본 명세서에 개시된 것은 특허청구범위에 명백히 언급했는가의 여부와 관계없이 어떤 것도 공중에 헌납되는 것이 아니다.
전술한 바와 같이 본 발명에 따르면, 자기장 검출기를 PTF 측정 스탠드에 고정하여 부착할 수 있으며, 아울러, 수동식 또는 자동화된 PTF 측정 스탠드에서 PTF를 측정하는 동안 자기장 검출기나 측정되는 스퍼터링 타겟에 대한 손상을 방지할 수 있다.

Claims (22)

  1. 타겟 측정을 위한 통과 자속(pass-through flux) 측정 장치용 자기장 검출기 고정 조립체를 포함하는 장치에 있어서,
    자기장 검출기가 배치될 수 있는 길이방향 개구를 갖고 상기 자기장 검출기 고정 조립체 내에 배치되는 삽입부; 및
    상기 자기장 검출기 고정 조립체 장치의 적어도 하나의 개구를 통과하고, 상기 삽입부가 상기 자기장 검출기 고정 조립체 내의 기설정된 위치에 고정되도록 상기 삽입부와 기계적으로 연결되게 조절되는 적어도 하나의 패스너;
    를 포함하는 자기장 검출기 고정 조립체 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 삽입부는 비금속 재료로 이루어진 것을 특징으로 하는 자기장 검출기 고정 조립체 장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 삽입부는 델린®(Delrin®), 테프론®(Teflon®), 플라스틱, 나일론 또는 비자성 재료로 이루어진 것을 특징으로 하는 자기장 검출기 고정 조립체 장치.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 자기장 검출기 고정 조립체의 상기 적어도 하나의 개구는 나사산이 형성된 것을 특징으로 하는 자기장 검출기 고정 조립체 장치.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 적어도 하나의 패스너는 상기 적어도 하나의 개구와 나사결합되는 적어도 하나의 나사인 것을 특징으로 하는 자기장 검출기 고정 조립체 장치.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 자기장 검출기의 일단과 상기 삽입부의 일단 사이에 있는 공극부(air gap)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 자기장 검출기 고정 조립체 장치.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 자기장 검출기 고정 조립체는 황동 또는 비자성 재료로 이루어진 것을 특징으로 하는 자기장 검출기 고정 조립체 장치.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 자기장 검출기 고정 조립체는 상부와 하부를 가지며, 상기 상부의 외경은 상기 하부의 외경과 같거나 작은 것을 특징으로 하는 자기장 검출기 고정 조립체 장치.
  9. 제1항에 있어서,
    상기 자기장 검출기 고정 조립체는 제1 내경을 갖는 상부와 제2 내경을 갖는 하부를 가지며, 상기 제1 내경은 상기 제2 내경과 같거나 작은 것을 특징으로 하는 자기장 검출기 고정 조립체 장치.
  10. 스퍼터링 타겟의 통과 자속을 결정하는 장치에 있어서,
    (a) 상기 스퍼터링 타겟을 통과하는 자기장을 발생시키는 자기 공급원;
    (b) 자기장 검출기가 배치될 수 있는 길이방향 개구를 갖는 삽입부가 내부에 배치된 자기장 검출기 고정 조립체; 및
    (c) 상기 스퍼터링 타겟 또는 상기 자기장 검출기 중의 하나 이상을 이동시 키도록 구성된 스탠드;
    를 포함하는 통과 자속 결정 장치.
  11. 제10항에 있어서,
    상기 스탠드는 수동식 기계 스탠드인 것을 특징으로 하는 통과 자속 결정 장치.
  12. 제10항에 있어서,
    상기 스탠드는 자동화된 통과 자속 측정 스탠드인 것을 특징으로 하는 통과 자속 결정 장치.
  13. 제10항에 있어서,
    상기 자기 공급원은 회전 가능한 것을 특징으로 하는 통과 자속 결정 장치.
  14. 제10항에 있어서,
    상기 삽입부는 비금속 재료로 이루어진 것을 특징으로 하는 통과 자속 결정 장치.
  15. 제14항에 있어서,
    상기 삽입부는 델린®(Delrin®), 테프론®(Teflon®), 플라스틱, 나일론 또는 비자성 재료로 이루어진 것을 특징으로 하는 통과 자속 결정 장치.
  16. 제10항에 있어서,
    상기 자기장 검출기 고정 조립체는 적어도 하나의 패스너를 가지며, 상기 적어도 하나의 패스너는 상기 자기장 검출기 고정 조립체 내의 적어도 하나의 개구를 통과하고, 상기 패스너는 상기 삽입부가 상기 자기장 검출기 고정 조립체 내의 기설정된 위치에 고정되도록 상기 삽입부와 기계적으로 연결되게 조절되는 것을 특징으로 하는 통과 자속 결정 장치.
  17. 제16항에 있어서,
    상기 자기장 검출기 고정 조립체의 상기 적어도 하나의 개구는 나사산이 형성된 것을 특징으로 하는 통과 자속 결정 장치.
  18. 제16항에 있어서,
    상기 적어도 하나의 패스너는 상기 적어도 하나의 개구와 나사결합되는 적어도 하나의 나사인 것을 특징으로 하는 통과 자속 결정 장치.
  19. 제10항에 있어서,
    상기 자기장 검출기의 일단과 상기 삽입부의 일단 사이에 있는 공극부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 통과 자속 결정 장치.
  20. 제10항에 있어서,
    상기 자기장 검출기 고정 조립체는 황동 또는 비자성 재료로 이루어진 것을 특징으로 하는 통과 자속 결정 장치.
  21. 제10항에 있어서,
    상기 자기장 검출기 고정 조립체는 상부와 하부를 가지며, 상기 상부의 외경은 상기 하부의 외경과 같거나 작은 것을 특징으로 하는 통과 자속 결정 장치.
  22. 제10항에 있어서,
    상기 자기장 검출기 고정 조립체는 제1 내경을 갖는 상부와 제2 내경을 갖는 하부를 가지며, 상기 제1 내경은 상기 제2 내경과 같거나 작은 것을 특징으로 하는 통과 자속 결정 장치.
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