CN208736987U - 一种扫描装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种扫描装置，用于磁控溅射靶心磁场，包括底座、靶心托架、第一位置调节装置、第二位置调节装置、第一电机、第二电机、以及测量探针；靶心托架设置在底座上，用于固定靶心；第一位置调节装置设置在底座上且与靶心平行；测量探针通过第二位置调节装置固定在第一位置调节装置上；第一电机用于驱动测量探针沿与靶心平行的方向滑动，第二电机用于驱动测量探针沿与靶心垂直的方向滑动。本实用新型所述扫描装置通过实现了对靶心的测量点和测量范围进行自动化扫描，相比于人工测量省时省力，节约人力和时间成本。
Description
技术领域
本实用新型涉及磁控溅射靶心磁场扫描技术领域，特别是指一种扫描装置。
背景技术
目前，靶材的靶心磁场扫描仪多为手持式的，而手持式的磁场扫描仪一次只能扫描一个点，因此需要人工进行多次测量，费时费力，同时由于人工操作导致测量结果的精度差。
实用新型内容
有鉴于此，本实用新型实施例的目的在于提出一种扫描装置，能够实现磁控溅射靶心磁场的自动扫描和测量，节约人力和时间成本。
基于上述目的本实用新型实施例提供的一种扫描装置，用于磁控溅射靶心磁场，包括底座、靶心托架、第一位置调节装置、第二位置调节装置、第一电机、第二电机、以及测量探针；
所述靶心托架设置在所述底座上，用于固定靶心；所述第一位置调节装置设置在所述底座上且与所述靶心平行；所述测量探针通过所述第二位置调节装置固定在所述第一位置调节装置上；所述第一电机用于驱动所述测量探针沿与所述靶心平行的方向滑动，所述第二电机用于驱动所述测量探针沿与所述靶心垂直的方向滑动。
可选的，所述测量探针通过探针支架固定在所述第二位置调节装置上，所述探针支架包括探针底座以及L形支架；所述L形支架的一端固定在所述探针底座上，另一端用于固定所述测量探针；所述测量探针垂直于所述底座。
可选的，所述探针底座的一侧固定有调节板，所述调节板与所述底座平行。
可选的，所述第一位置调节装置为导轨，所述导轨包括相互配合的导轨槽与滑块；所述第二位置调节装置为丝杠传动装置，所述丝杠传动装置包括相互配合的丝杠与丝杠螺母，所述丝杠固定在所述滑块上，所述探针底座固定在所述丝杠螺母上。
可选的，还包括设置在所述靶心托架与所述第一位置调节装置之间的消磁装置，所述消磁装置上设置有用于被所述测量探针穿过的孔；所述消磁装置通过第三位置调节装置固定在所述底座上。
可选的，所述第三位置调节装置为气动装置。
可选的，所述靶心托架为倒T型结构，顶部设置有用于固定所述靶心的凹槽以及夹子。
可选的，所述第一电机、所述第二电机以及所述测量探针分别与控制器连接。
可选的，所述底座为包括至少四脚的矩形桌面结构，所述底座的至少一个桌脚设置有可调节桌面地脚。
可选的，还包括设置在所述底座上的水平仪；所述水平仪的数量为两个，分别内嵌于所述底座相邻的两条边。
从上面所述可以看出，本实用新型实施例提供的一种扫描装置，通过将靶心固定在靶心托架上，并使用第一电机、第二电机自动调节测量探针的位置从而实现对靶心的测量点和测量范围进行自动化扫描，相比于人工测量省时省力，节约人力和时间成本；同时，相比于人工测量只能选取少量测量点，本实用新型所述的扫描装置在相同的时间内可以选择更多的测量点进行扫描，使得测量结果更加精确；最后，减少由于人工操作造成的测量精度不准确问题，提高测量精度，减小误差。
附图说明
图1为本实用新型实施例一种扫描装置的结构示意图。
具体实施方式
为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚明白，以下结合具体实施例，并参照附图，对本实用新型进一步详细说明。
需要说明的是，本实用新型实施例中所有使用“第一”和“第二”的表述均是为了区分两个相同名称非相同的实体或者非相同的参量，可见“第一”“第二”仅为了表述的方便，不应理解为对本实用新型实施例的限定，后续实施例对此不再一一说明。
图1为本实用新型实施例一种扫描装置的结构示意图。
本实用新型实施例提供一种扫描装置，用于磁控溅射靶心磁场，包括底座1、靶心托架3、第一位置调节装置8、第二位置调节装置9、第一电机4、第二电机5、以及测量探针6；
其中，所述靶心托架3设置在所述底座1上，用于固定靶心；所述第一位置调节装置8设置在所述底座1上且与所述靶心平行；所述测量探针6通过所述第二位置调节装置9固定在所述第一位置调节装置8上；所述第一电机4用于驱动所述测量探针6沿与所述靶心平行的方向滑动，所述第二电机5用于驱动所述测量探针6沿与所述靶心垂直的方向滑动。
通过上述实施例，本实用新型所述用于磁控溅射靶心磁场的扫描装置，通过将靶心固定在靶心托架3上，并使用第一电机4、第二电机5自动调节测量探针6的位置从而实现对靶心的测量点和测量范围进行自动化扫描，相比于人工测量省时省力，节约人力和时间成本；同时，相比于人工测量只能选取少量测量点，本实用新型所述的扫描装置在相同的时间内可以选择更多的测量点进行扫描，使得测量结果更加精确；最后，减少由于人工操作造成的测量精度不准确问题，提高测量精度，减小误差。
可选的，所述靶心托架3为倒T型结构，顶部设置有用于卡住所述靶心的凹槽32以及固定靶心的夹子31。在一个具体的实施例中，靶心托架3的数量为两个，且至少一个靶心托架3上设置有用于固定靶心的夹子31。
可选的，所述第一电机4、所述第二电机5以及所述测量探针6分别通过通讯线与控制器连接。其中，通过外部电脑操作控制器设置测量路线控制第一电机4、第二电机5的工作，实现可设置测量范围和测量点的自动化扫描。同时，测量探针6反馈的测量数据反馈到外部测试仪上，测试人员可以根据测试仪的数据获取测量结果。
在本实用新型的另一个实施例中，所述测量探针6通过探针支架固定在所述第二位置调节装置9上，所述探针支架包括探针底座61以及L形支架62；所述L形支架62的一端固定在所述探针底座61上，另一端用于固定所述测量探针6；所述测量探针6垂直于所述底座1。
可选的，所述探针底座61的一侧固定有调节板63，所述调节板63与所述底座1平行。在一个具体的实施例中，所述调节板63固定在探针底座61面向第一电机4的侧面上。调节板63为矩形板，用于安装调节靶心安装位置的调节装置，所述扫描装置工作时，调节板63与探针底座61同步运动。
可选的，第一位置调节装置8、第二位置调节装置9可以为导轨、丝杠等可以调节位置的结构。在一些具体的实施例中，所述第一位置调节装置8为导轨，导轨包括相互配合的导轨槽与滑块，在第一电机4的作用下滑块能够沿导轨槽做往复运动，同时第二位置调节装置9固定在第一位置调节装置8的滑块上；所述第二位置调节装置9为丝杠传动装置，丝杠传动装置包括相互配合的丝杠与丝杠螺母，在第二电机5的作用下丝杠螺母能够在丝杠上做循环往复运动，同时探针底座61固定在第二位置调节装置9的丝杠螺母上。
在上述实施例中，本实用新型所述用于磁控溅射靶心磁场的全自动扫描装置使得测量探针6沿预设的测量路径对靶心上的各个测量点进行扫描与测量，并将测量探针6上得到的测量结果反馈到外部测试仪上，从而实现全自动扫描测量。
在本实用新型另一些实施例中，所述用于磁控溅射靶心磁场的全自动扫描装置还包括设置在所述靶心托架3与所述第一位置调节装置8之间的消磁装置7，所述消磁装置7上设置有用于被所述测量探针6穿过的孔；在一个具体的实施例中，消磁装置7上的孔为盲孔。所述消磁装置7通过第三位置调节装置71固定在所述底座1上。可选的，所述第三位置调节装置71为气动装置。当测量探针6测试一定次数后，测量探针6自动移动到消磁装置7的上方，同时通过第三位置调节装置71将消磁装置7升高，使得测量探针6进入消磁装置7上的孔内完成消磁，以便于继续进行下一次扫描。
通过上述实施例，本实用新型所述扫描装置通过消磁装置7与第三位置调节装置71实现了测量探针6的自动消磁功能，不需要人工消磁，省时省力，提高扫描效率。
作为本实用新型的一些实施例，所述底座1为包括至少四脚的矩形桌面结构，所述底座1的至少一个桌脚设置有可调节桌面地脚10，可调节桌面地脚10通过螺纹结构与桌脚连接，通过旋转螺纹结果可以调整桌脚的长短，以便于适应地面不平整的情况。可选的，四个桌脚均设置有可调节桌面地脚10。
可选的，本实用新型所述扫描装置还包括设置在所述底座1上的水平仪2。在一个可选的实施例中，所述水平仪2的数量为两个，分别内嵌于所述底座1相邻的两条边，且分别位于两条边的中部。水平仪2可以为气泡水平仪。水平仪用于检测底座1是否水平，从而可以保证测量结果更加精确。
使用本实用新型实施例所述用于磁控溅射靶心磁场的扫描装置进行测量的过程包括：
步骤101，调节可调节桌面地脚10，观察内嵌在底座1上的水平仪2，使底座1保持水平。
步骤102，将待测磁场强度的靶心放置于靶心托架3上。
步骤103，X方向的第一电机4和Y方向的第二电机5通过通讯线和外部电脑连接，在外部电脑上设置测量路径，实现可设置测量范围和测量点的自动化扫描。通过测量探针6反馈测量的数据反馈到外部测试仪上。
步骤104，当测量探针6探测一定次数后，自动移动到消磁装置7上，进行自动消磁。
所属领域的普通技术人员应当理解：以上任何实施例的讨论仅为示例性的，并非旨在暗示本公开的范围(包括权利要求)被限于这些例子；在本实用新型的思路下，以上实施例或者不同实施例中的技术特征之间也可以进行组合，步骤可以以任意顺序实现，并存在如上所述的本实用新型的不同方面的许多其它变化，为了简明它们没有在细节中提供。
本实用新型的实施例旨在涵盖落入所附权利要求的宽泛范围之内的所有这样的替换、修改和变型。因此，凡在本实用新型的精神和原则之内，所做的任何省略、修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
Claims (10)
1.一种扫描装置，用于磁控溅射靶心磁场，其特征在于，包括底座(1)、靶心托架(3)、第一位置调节装置(8)、第二位置调节装置(9)、第一电机(4)、第二电机(5)、以及测量探针(6)；
所述靶心托架(3)设置在所述底座(1)上，用于固定靶心；所述第一位置调节装置(8)设置在所述底座(1)上且与所述靶心平行；所述测量探针(6)通过所述第二位置调节装置(9)固定在所述第一位置调节装置(8)上；所述第一电机(4)用于驱动所述测量探针(6)沿与所述靶心平行的方向滑动，所述第二电机(5)用于驱动所述测量探针(6)沿与所述靶心垂直的方向滑动。
2.根据权利要求1所述的扫描装置，其特征在于，所述测量探针(6)通过探针支架固定在所述第二位置调节装置(9)上，所述探针支架包括探针底座(61)以及L形支架(62)；所述L形支架(62)的一端固定在所述探针底座(61)上，另一端用于固定所述测量探针(6)；所述测量探针(6)垂直于所述底座(1)。
3.根据权利要求2所述的扫描装置，其特征在于，所述探针底座(61)的一侧固定有调节板(63)，所述调节板(63)与所述底座(1)平行。
4.根据权利要求2所述的扫描装置，其特征在于，所述第一位置调节装置(8)为导轨，所述导轨包括相互配合的导轨槽与滑块；所述第二位置调节装置(9)为丝杠传动装置，所述丝杠传动装置包括相互配合的丝杠与丝杠螺母，所述丝杠固定在所述滑块上，所述探针底座(61)固定在所述丝杠螺母上。
5.根据权利要求1所述的扫描装置，其特征在于，还包括设置在所述靶心托架(3)与所述第一位置调节装置(8)之间的消磁装置(7)，所述消磁装置(7)上设置有用于被所述测量探针(6)穿过的孔；所述消磁装置(7)通过第三位置调节装置(71)固定在所述底座(1)上。
6.根据权利要求5所述的扫描装置，其特征在于，所述第三位置调节装置(71)为气动装置。
7.根据权利要求1所述的扫描装置，其特征在于，所述靶心托架(3)为倒T型结构，顶部设置有用于固定所述靶心的凹槽(32)以及夹子(31)。
8.根据权利要求1所述的扫描装置，其特征在于，所述第一电机(4)、所述第二电机(5)以及所述测量探针(6)分别与控制器连接。
9.根据权利要求1-8任意一项所述的扫描装置，其特征在于，所述底座(1)为包括至少四脚的矩形桌面结构，所述底座(1)的至少一个桌脚设置有可调节桌面地脚(10)。
10.根据权利要求9所述的扫描装置，其特征在于，还包括设置在所述底座(1)上的水平仪(2)；所述水平仪(2)的数量为两个，分别内嵌于所述底座(1)相邻的两条边。
Priority Applications (2)
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| US20080116887A1 (en) * | 2006-11-20 | 2008-05-22 | Heraeus, Inc. | Method and apparatus for automation of PTF measurement in sputter targets |
| US20080150523A1 (en) * | 2006-12-20 | 2008-06-26 | Heraeus Incorporated | Apparatus for a magnetic field detector holding assembly for a PTF measurement stand |
| KR101009642B1 (ko) * | 2008-07-09 | 2011-01-19 | 삼성모바일디스플레이주식회사 | 자화 방지용 마그네트론 부 이송 장치 및 이를 갖는마그네트론 스퍼터링 설비 |
| CN202548307U (zh) * | 2012-03-21 | 2012-11-21 | 深圳市创益科技发展有限公司 | 一种平面靶磁场强度的检测装置 |
| CN208736987U (zh) * | 2018-08-10 | 2019-04-12 | 米亚索乐装备集成（福建）有限公司 | 一种扫描装置 |
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Cited By (1)
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|---|---|---|---|---|
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