WO2020030125A1 - 靶芯磁场扫描装置 - Google Patents

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WO2020030125A1
WO2020030125A1 PCT/CN2019/100020 CN2019100020W WO2020030125A1 WO 2020030125 A1 WO2020030125 A1 WO 2020030125A1 CN 2019100020 W CN2019100020 W CN 2019100020W WO 2020030125 A1 WO2020030125 A1 WO 2020030125A1
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target core
base
magnetic field
probe
field scanning
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PCT/CN2019/100020
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Inventor
史晨晨
赵兴超
曲铭浩
Original Assignee
领凡新能源科技(北京)有限公司
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Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R33/00—Arrangements or instruments for measuring magnetic variables
    • G01R33/02—Measuring direction or magnitude of magnetic fields or magnetic flux

Definitions

  • the present disclosure relates to the technical field of magnetic field scanning of a magnetron sputtering target core, and particularly to a magnetic field scanning device for a target core.
  • Some embodiments of the present disclosure provide a scanning device for measuring a magnetic field of a magnetron sputtering target core, including a base, a target core bracket, a first position adjustment device, a second position adjustment device, a first motor, and a second motor And measurement probes;
  • the target core bracket is disposed on the base for fixing the target core; the first position adjustment device is disposed on the base and is parallel to the target core; the measurement probe passes through the second
  • the position adjustment device is fixed on the first position adjustment device; the first motor is used to drive the first position adjustment device so that the measurement probe slides in a direction parallel to the length direction of the target core
  • the second motor is used to drive the second position adjustment device to slide the measurement probe in a direction perpendicular to a length direction of the target core.
  • the measurement probe is fixed on the second position adjustment device through a probe holder
  • the probe holder includes a probe base and an L-shaped bracket; one end of the L-shaped bracket is fixed on the probe. The other end of the needle base is used to fix the measuring probe; the measuring probe is perpendicular to the base.
  • an adjustment plate is fixed on one side of the probe base, the adjustment plate is parallel to the base, and the adjustment plate is used to install a magnetic dial base of the dial indicator.
  • the first position adjustment device is a guide rail, and the guide rail includes a rail groove and a slider that cooperate with each other;
  • the second position adjustment device is a screw transmission device, and the screw transmission device includes a coordinated A lead screw and a lead screw nut, the lead screw is fixed on the slider, and the probe base is fixed on the lead screw nut.
  • a degaussing device is further provided between the target core bracket and the first position adjusting device, and the degaussing device is used to eliminate the magnetism of the measurement probe.
  • the degaussing device is provided with a hole for the measurement probe to pass through; the degaussing device is fixed on the base by a third position adjustment device, and the third position adjustment device is used to make The degaussing device rises or falls.
  • the third position adjustment device is a pneumatic device.
  • the target core bracket is an inverted T-shaped structure, and a groove and a clip for fixing the target core are provided on the top.
  • the first motor, the second motor, and the measurement probe are respectively connected to a controller.
  • the base is a rectangular desktop structure including at least four legs, and at least one table leg of the base is provided with an adjustable desktop foot.
  • it further includes a spirit level provided on the base; the number of the spirit levels is two, which are respectively embedded in two adjacent sides of the base.
  • FIG. 1 is a schematic structural diagram of a scanning device according to an embodiment of the present disclosure.
  • FIG. 1 is a schematic structural diagram of a target core magnetic field scanning device according to an embodiment of the present disclosure.
  • Some embodiments of the present disclosure provide a target magnetic field scanning device for measuring the magnetic field of a target core of a magnetron sputtering device, including a base 1, a target bracket 3, a first position adjustment device 8, and a second position adjustment Device 9, first motor 4, second motor 5, and measuring probe 6.
  • the target core bracket 3 is provided on the base 1 for fixing the target core; the first position adjusting device 8 (for example, a guide rail assembly) is provided on the base 1 and is connected with the target.
  • the cores are parallel; the measurement probe 6 is fixed on the first position adjustment device 8 through the second position adjustment device 9; the first motor 4 is used to drive all units through the first position adjustment device 8
  • the measurement probe 6 slides in a direction parallel to the target core, and the second motor 5 is used to drive the measurement probe 6 in a direction perpendicular to the target core through the second position adjustment device 9 .
  • the scanning device for a magnetic field of a magnetron sputtering target by fixing the target on the target holder 3 and automatically adjusting the measurement probe using the first motor 4 and the second motor 5
  • the position of the needle 6 enables automatic scanning of the measurement points and measurement range of the target core, which saves time and labor, saves labor and time costs compared with manual measurement; at the same time, compared with manual measurement, only a small number of measurement points can be selected.
  • the scanning device disclosed in the disclosure can select more measurement points for scanning in the same time, so that the measurement results are more accurate; finally, the problem of inaccurate measurement accuracy caused by manual operation is reduced, the measurement accuracy is increased, and the error is reduced.
  • the target core bracket 3 is an inverted T-shaped structure, and a groove 32 for clamping the target core and a clip 31 for fixing the target core are provided on the top.
  • the number of the target core brackets 3 is two, and at least one target core bracket 3 is provided with a clip 31 for fixing the target core.
  • the first motor 4, the second motor 5, and the measurement probe 6 are connected to the controller through a communication line, respectively.
  • an external computer-operated controller sets a measurement route to control the work of the first motor 4 and the second motor 5 to realize an automatic scan that can set a measurement range and a measurement point.
  • the measurement probe 6 feeds back measurement data to an external tester, and a tester can obtain measurement results based on the data of the tester.
  • the measurement probe 6 is fixed on the second position adjustment device 9 through a probe holder, and the probe holder includes a probe base 61 and an L One end of the L-shaped support 62 is fixed on the probe base 61, and the other end is used for fixing the measuring probe 6; the measuring probe 6 is perpendicular to the base 1.
  • an adjustment plate 63 is fixed to one side of the probe base 61, and the adjustment plate 63 is parallel to the base 1.
  • the adjusting plate 63 is fixed on the probe base 61.
  • the adjustment plate 63 is a rectangular plate, and is used to install an adjustment device for adjusting the bullseye installation position. When the scanning device is in operation, the adjustment plate 63 and the probe base 61 move synchronously.
  • the first position adjustment device 8 and the second position adjustment device 9 may be structures that can adjust the position, such as a guide rail and a screw.
  • the first position adjusting device 8 is a guide rail
  • the guide rail includes a rail groove and a slider that cooperate with each other.
  • the slider can reciprocate along the rail groove under the action of the first motor 4.
  • the two position adjusting device 9 is fixed on the slider of the first position adjusting device 8;
  • the second position adjusting device 9 is a screw driving device, and the screw driving device includes a screw and a screw nut that cooperate with each other. Under the action of the motor 5, the screw nut can perform cyclic reciprocating motion on the screw, and at the same time, the probe base 61 is fixed on the screw nut of the second position adjusting device 9.
  • a magnetic base and a dial indicator are combined to measure whether the target core is level.
  • the first position adjustment device 8 is a guide rail.
  • a dial indicator to measure the level of the top surface of the target core (the surface away from the base) relative to the reference surface.
  • the reference surface is generally the plane on which the guide rail (8) is located. You can select more measurement points on the top surface of the target along the length of the bull's eye, and use the dial indicator to know the level of each point on the target relative to the plane where the guide rail is located, and adjust the height of the target carrier accordingly.
  • the target core is parallel to the guide rail.
  • the dial of the dial indicator can be mounted on the adjustment plate 63. After the bull's eye is installed and adjusted, the target's magnetic field measurement is performed. When measuring the magnetic field of the target core, the head and base of the dial indicator can be removed to avoid affecting the measurement of the magnetic field of the target core. It is also possible to remove only the head of the dial indicator, and the base is still fixed on the adjustment plate 63.
  • the first position adjustment device 9 and the second position adjustment device 9 can adjust the position of the measurement probe 6 to perform the target magnetic field test.
  • the full-automatic scanning device for the magnetic field of the magnetron sputtering target core disclosed in the present disclosure enables the measurement probe 6 to scan and measure each measurement point on the target core along a preset measurement path, and obtains the measurement probe 6 on the measurement probe 6. The measurement results are fed back to an external tester, thus realizing a fully automatic scanning measurement.
  • the full-automatic scanning device for the magnetic field of the magnetron sputtering target core further includes a degaussing device disposed between the target core bracket 3 and the first position adjusting device 8 7.
  • the degaussing device 7 is used to eliminate the magnetism of the measuring probe 6.
  • the degaussing device 7 is provided with a hole for passing through the measuring probe 6.
  • the hole on the degaussing device 7 is a blind hole.
  • the degaussing device 7 is fixed on the base 1 by a third position adjusting device 71.
  • the third position adjusting device 71 is a pneumatic device.
  • the measuring probe 6 After the measuring probe 6 is tested a certain number of times, the measuring probe 6 automatically moves above the degaussing device 7 and at the same time, the degaussing device 7 is raised by the third position adjusting device 71, so that the measuring probe 6 enters the hole on the degaussing device 7. Degaussing is done inside the unit so that the next scan can be continued.
  • the scanning device described in the present disclosure realizes the automatic demagnetization function of the measurement probe 6 through the demagnetization device 7 and the third position adjustment device 71, which does not require manual demagnetization, saves time and labor, and improves scanning efficiency.
  • the base 1 is a rectangular tabletop structure including at least four legs. At least one table leg of the base 1 is provided with an adjustable tabletop foot 10, and the adjustable tabletop foot 10 is connected with the threaded structure through The table feet are connected, and the length of the table feet can be adjusted by rotating the thread to facilitate adapting to the uneven ground.
  • the four table feet are provided with adjustable table feet 10.
  • the scanning device further includes a spirit level 2 provided on the base 1.
  • the number of the spirit levels 2 is two, which are respectively embedded in two adjacent sides of the base 1 and are respectively located in the middle of the two sides.
  • the spirit level 2 may be a bubble spirit level. The spirit level is used to detect whether the base 1 is level, thereby ensuring more accurate measurement results.
  • Step 101 Adjust the adjustable desktop foot 10, observe the spirit level 2 embedded in the base 1, and keep the base 1 horizontal.
  • step 102 a target core whose magnetic field strength is to be measured is placed on the target core bracket 3.
  • step 103 the first motor 4 in the X direction and the second motor 5 in the Y direction are connected to an external computer through a communication line, and a measurement path is set on the external computer to realize an automatic scan that can set a measurement range and a measurement point.
  • the data measured by the measurement probe 6 is fed back to an external tester.
  • step 104 when the measuring probe 6 detects a certain number of times, it automatically moves to the degaussing device 7 to perform auto degaussing.
  • the target core can be adjusted through the magnetic base and the dial indicator to ensure that the target core is parallel to the guide rail and is horizontal.

Abstract

一种靶芯磁场扫描装置，用于测量磁控溅射的靶芯磁场，包括底座(1)、靶芯托架(3)、第一位置调节装置(8)、第二位置调节装置(9)、第一电机(4)、第二电机(5)、以及测量探针(6)；靶芯托架(3)设置在底座(1)上，用于固定靶芯；第一位置调节装置(8)设置在底座(1)上且与靶芯平行；测量探针(6)通过第二位置调节装置(9)固定在第一位置调节装置(8)上；第一电机(4)用于驱动测量探针(6)沿与靶芯平行的方向滑动，第二电机(5)用于驱动测量探针(6)沿与靶芯垂直的方向滑动。

Description

靶芯磁场扫描装置
相关申请
本申请要求2018年8月10日申请的，申请号为CN 201821289031.3，名称为“一种扫描装置”的中国专利申请的优先权，在此将这些专利的全文引入作为参考。
技术领域
本公开涉及磁控溅射靶芯磁场扫描技术领域，特别涉及一种靶芯磁场扫描装置。
背景技术
目前，靶材的靶芯磁场扫描仪多为手持式的，而手持式的磁场扫描仪一次只能扫描一个点，因此需要人工进行多次测量，费时费力，同时由于人工操作导致测量结果的精度差。
发明内容
本公开的一些实施例提供一种扫描装置，用于测量磁控溅射靶芯磁场，包括底座、靶芯托架、第一位置调节装置、第二位置调节装置、第一电机、第二电机、以及测量探针；
所述靶芯托架设置在所述底座上，用于固定靶芯；所述第一位置调节装置设置在所述底座上且与所述靶芯平行；所述测量探针通过所述第二位置调节装置固定在所述第一位置调节装置上；所述第一电机用于驱动所述第一位置调节装置，以使所述测量探针沿与所述靶芯的长度方向平行的方向滑动，所述第二电机用于驱动所述第二位置调节装置，以使所述测量探针沿与所述靶芯的长度方向垂直的方向滑动。
可选的，所述测量探针通过探针支架固定在所述第二位置调节装置上，所述探针支架包括探针底座以及L形支架；所述L形支架的一端固定在所述探针底座上，另一端用于固定所述测量探针；所述测量探针垂直于所述底座。
可选的，所述探针底座的一侧固定有调节板，所述调节板与所述底座 平行，所述调节板用于安装杠杆千分表的磁力表座。
可选的，所述第一位置调节装置为导轨，所述导轨包括相互配合的导轨槽与滑块；所述第二位置调节装置为丝杠传动装置，所述丝杠传动装置包括相互配合的丝杠与丝杠螺母，所述丝杠固定在所述滑块上，所述探针底座固定在所述丝杠螺母上。
可选的，还包括设置在所述靶芯托架与所述第一位置调节装置之间的消磁装置，所述消磁装置用于消除所述测量探针的磁性。
可选的，所述消磁装置上设置有用于被所述测量探针穿过的孔；所述消磁装置通过第三位置调节装置固定在所述底座上，所述第三位置调节装置用于使所述消磁装置上升或下降。
可选的，所述第三位置调节装置为气动装置。
可选的，所述靶芯托架为倒T型结构，顶部设置有用于固定所述靶芯的凹槽以及夹子。
可选的，所述第一电机、所述第二电机以及所述测量探针分别与控制器连接。
可选的，所述底座为包括至少四脚的矩形桌面结构，所述底座的至少一个桌脚设置有可调节桌面地脚。
可选的，还包括设置在所述底座上的水平仪；所述水平仪的数量为两个，分别内嵌于所述底座相邻的两条边。
附图说明
图1为本公开实施例一种扫描装置的结构示意图。
具体实施方式
为使本公开的目的、技术方案和优点更加清楚明白，以下结合具体实施例，并参照附图，对本公开进一步详细说明。
需要说明的是，本公开实施例中所有使用“第一”和“第二”的表述均是为了区分两个相同名称非相同的实体或者非相同的参量，可见“第一”“第二”仅为了表述的方便，不应理解为对本公开实施例的限定，后续实施例对此不再一一说明。
图1为本公开实施例一种靶芯磁场扫描装置的结构示意图。
本公开的一些实施例提供一种靶芯磁场扫描装置，用于测量磁控溅射 设备的靶芯的磁场，包括底座1、靶芯托架3、第一位置调节装置8、第二位置调节装置9、第一电机4、第二电机5、以及测量探针6。
其中，所述靶芯托架3设置在所述底座1上，用于固定靶芯；所述第一位置调节装置8(例如可以为导轨组件)设置在所述底座1上且与所述靶芯的平行；所述测量探针6通过所述第二位置调节装置9固定在所述第一位置调节装置8上；所述第一电机4用于通过所述第一位置调节装置8驱动所述测量探针6沿与所述靶芯平行的方向滑动，所述第二电机5用于通过所述第二位置调节装置9驱动所述测量探针6沿与所述靶芯垂直的方向滑动。
通过上述实施例，本公开所述用于磁控溅射靶芯磁场的扫描装置，通过将靶芯固定在靶芯托架3上，并使用第一电机4、第二电机5自动调节测量探针6的位置，从而实现对靶芯的测量点和测量范围进行自动化扫描，相比于人工测量省时省力，节约人力和时间成本；同时，相比于人工测量只能选取少量测量点，本公开所述的扫描装置在相同的时间内可以选择更多的测量点进行扫描，使得测量结果更加精确；最后，减少由于人工操作造成的测量精度不准确问题，提高测量精度，减小误差。
可选的，所述靶芯托架3为倒T型结构，顶部设置有用于卡住所述靶芯的凹槽32以及固定靶芯的夹子31。在一个具体的实施例中，靶芯托架3的数量为两个，且至少一个靶芯托架3上设置有用于固定靶芯的夹子31。
可选的，所述第一电机4、所述第二电机5以及所述测量探针6分别通过通讯线与控制器连接。其中，通过外部电脑操作控制器设置测量路线控制第一电机4、第二电机5的工作，实现可设置测量范围和测量点的自动化扫描。同时，测量探针6将测量数据反馈到外部测试仪上，测试人员可以根据测试仪的数据获取测量结果。
在本公开的另一个实施例中，如图1所示，所述测量探针6通过探针支架固定在所述第二位置调节装置9上，所述探针支架包括探针底座61以及L形支架62；所述L形支架62的一端固定在所述探针底座61上，另一端用于固定所述测量探针6；所述测量探针6垂直于所述底座1。
可选的，所述探针底座61的一侧固定有调节板63，所述调节板63与 所述底座1平行。在一个具体的实施例中，所述调节板63固定在探针底座61上。调节板63为矩形板，用于安装调节靶心安装位置的调节装置，所述扫描装置工作时，调节板63与探针底座61同步运动。
可选的，第一位置调节装置8、第二位置调节装置9可以为导轨、丝杠等可以调节位置的结构。在一些具体的实施例中，所述第一位置调节装置8为导轨，导轨包括相互配合的导轨槽与滑块，在第一电机4的作用下滑块能够沿导轨槽做往复运动，同时第二位置调节装置9固定在第一位置调节装置8的滑块上；所述第二位置调节装置9为丝杠传动装置，丝杠传动装置包括相互配合的丝杠与丝杠螺母，在第二电机5的作用下丝杠螺母能够在丝杠上做循环往复运动，同时探针底座61固定在第二位置调节装置9的丝杠螺母上。
在一些实施例中，磁性座和千分表组合在一起，测量靶芯是否水平。
在一些实施例中，第一位置调节装置8为导轨。靶芯安装时，使用杠杆千分表测量靶芯顶面(远离底座的表面)相对参考面的水平度，参考面一般选择导轨(8)所在的平面。可以沿靶心的长度方向，在靶芯顶面多选几个测量点，通过杠杆千分表了解靶芯上各点相对导轨所在平面的水平度，据此调节靶芯托架的高度，以使靶芯与导轨平行。
另外，还可以沿靶心的长度方向，在靶芯侧面多选几个测量点，通过杠杆千分表测量靶芯侧面上的这些测量点，了解靶芯侧面上各测量点与导轨的距离，据此调节靶芯托架的位置，以使靶芯与导轨平行。
杠杆千分表的表座可以安装调节板63上。在靶心安装调试好之后，进行靶芯磁场测量。靶芯磁场测量时，杠杆千分表的表头和表座都可以拆除，以避免影响靶芯磁场的测量。也可以仅移去杠杆千分表的表头，表座仍然固定在调节板63上。
靶心安装调试好之后，就可以第一位置调节装置9、第二位置调节装置9调节测量探针6的位置，进行靶芯磁场测试。本公开所述用于磁控溅射靶芯磁场的全自动扫描装置使得测量探针6沿预设的测量路径对靶芯上的各个测量点进行扫描与测量，并将测量探针6上得到的测量结果反馈到外部测试仪上，从而实现全自动扫描测量。
在本公开另一些实施例中，所述用于磁控溅射靶芯磁场的全自动扫描装置还包括设置在所述靶芯托架3与所述第一位置调节装置8之间的消磁装置7，所述消磁装置7用于消除所述测量探针6的磁性，所述消磁装置7上设置有用于被所述测量探针6穿过的孔。在一个具体的实施例中，消磁装置7上的孔为盲孔。所述消磁装置7通过第三位置调节装置71固定在所述底座1上。可选的，所述第三位置调节装置71为气动装置。当测量探针6测试一定次数后，测量探针6自动移动到消磁装置7的上方，同时通过第三位置调节装置71将消磁装置7升高，使得测量探针6进入消磁装置7上的孔内完成消磁，以便于继续进行下一次扫描。
通过上述实施例，本公开所述扫描装置通过消磁装置7与第三位置调节装置71实现了测量探针6的自动消磁功能，不需要人工消磁，省时省力，提高扫描效率。
作为本公开的一些实施例，所述底座1为包括至少四脚的矩形桌面结构，所述底座1的至少一个桌脚设置有可调节桌面地脚10，可调节桌面地脚10通过螺纹结构与桌脚连接，通过旋转螺纹结果可以调整桌脚的长短，以便于适应地面不平整的情况。可选的，四个桌脚均设置有可调节桌面地脚10。
可选的，本公开所述扫描装置还包括设置在所述底座1上的水平仪2。在一个可选的实施例中，所述水平仪2的数量为两个，分别内嵌于所述底座1相邻的两条边，且分别位于两条边的中部。水平仪2可以为气泡水平仪。水平仪用于检测底座1是否水平，从而可以保证测量结果更加精确。
使用本公开实施例所述用于磁控溅射靶芯磁场的扫描装置进行测量的过程包括：
步骤101，调节可调节桌面地脚10，观察内嵌在底座1上的水平仪2，使底座1保持水平。
步骤102，将待测磁场强度的靶芯放置于靶芯托架3上。
步骤103，X方向的第一电机4和Y方向的第二电机5通过通讯线和外部电脑连接，在外部电脑上设置测量路径，实现可设置测量范围和测量点的自动化扫描。通过测量探针6反馈测量的数据反馈到外部测试仪上。
步骤104，当测量探针6探测一定次数后，自动移动到消磁装置7上，进行自动消磁。
步骤102中可通过磁性座和千分表，调整靶芯，保证靶芯与导轨平行，且都水平。
所属领域的普通技术人员应当理解：以上任何实施例的讨论仅为示例性的，并非旨在暗示本公开的范围(包括权利要求)被限于这些例子；在本公开的思路下，以上实施例或者不同实施例中的技术特征之间也可以进行组合，步骤可以以任意顺序实现，并存在如上所述的本公开的不同方面的许多其它变化，为了简明它们没有在细节中提供。
本公开的实施例旨在涵盖落入所附权利要求的宽泛范围之内的所有这样的替换、修改和变型。因此，凡在本公开的精神和原则之内，所做的任何省略、修改、等同替换、改进等，均应包含在本公开的保护范围之内。

Claims (12)

  1. 一种靶芯磁场扫描装置，用于测量磁控溅射的靶芯磁场，其特征在于，包括底座(1)、靶芯托架(3)、第一位置调节装置(8)、第二位置调节装置(9)、第一电机(4)、第二电机(5)、以及测量探针(6)；
    所述靶芯托架(3)设置在所述底座(1)上，用于固定靶芯；所述第一位置调节装置(8)设置在所述底座(1)上；所述测量探针(6)通过所述第二位置调节装置(9)固定在所述第一位置调节装置(8)上；所述第一电机(4)用于驱动所述第一位置调节装置(8)，以使所述测量探针(6)沿与所述靶芯的长度方向平行的方向滑动，所述第二电机(5)用于驱动所述第二位置调节装置(9)，以使所述测量探针(6)沿与所述靶芯的长度方向垂直的方向滑动。
  2. 根据权利要求1所述的靶芯磁场扫描装置，其特征在于，所述测量探针(6)通过探针支架固定在所述第二位置调节装置(9)上，所述探针支架包括探针底座(61)以及L形支架(62)；所述L形支架(62)的一端固定在所述探针底座(61)上，另一端用于固定所述测量探针(6)；所述测量探针(6)垂直于所述底座(1)。
  3. 根据权利要求2所述的靶芯磁场扫描装置，其特征在于，所述探针底座(61)的一侧固定有调节板(63)，所述调节板(63)与所述底座(1)平行；所述调节板(63)用于安装杠杆千分表的磁力表座。
  4. 根据权利要求2所述的靶芯磁场扫描装置，其特征在于，所述第一位置调节装置(8)为导轨，所述导轨包括相互配合的导轨槽与滑块；所述第二位置调节装置(9)包括丝杠传动装置，所述丝杠传动装置包括相互配合的丝杠与丝杠螺母，所述丝杠固定在所述滑块上，所述探针底座(61)固定在所述丝杠螺母上。
  5. 根据权利要求1所述的靶芯磁场扫描装置，其特征在于，还包括设置在所述靶芯托架(3)与所述第一位置调节装置(8)之间的消磁装置(7)，所述消磁装置(7)用于消除所述测量探针(6)的磁性。
  6. 根据权利要求5所述的靶芯磁场扫描装置，其特征在于，所述消磁装置(7)上设置有用于被所述测量探针(6)穿过的孔；所述消磁装置(7)通过第三位置调节装置(71)固定在所述底座(1)上，所述第三位置调节 装置(71)用于使所述消磁装置(7)上升或下降。
  7. 根据权利要求6所述的靶芯磁场扫描装置，其特征在于，所述第三位置调节装置(71)为气动装置。
  8. 根据权利要求4所述的靶芯磁场扫描装置，其特征在于，所述导轨与所述靶芯托架(3)上的所述靶芯的长度方向平行。
  9. 根据权利要求1所述的靶芯磁场扫描装置，其特征在于，所述靶芯托架(3)为倒T型结构，顶部设置有用于固定所述靶芯的凹槽(32)以及夹子(31)。
  10. 根据权利要求1所述的靶芯磁场扫描装置，其特征在于，所述第一电机(4)、所述第二电机(5)以及所述测量探针(6)分别与控制器连接。
  11. 根据权利要求1-10任意一项所述的靶芯磁场扫描装置，所述底座(1)为包括至少四脚的矩形桌面结构，所述底座(1)的至少一个桌脚设置有可调节桌面地脚(10)。
  12. 根据权利要求11所述的靶芯磁场扫描装置，其特征在于，还包括设置在所述底座(1)上的水平仪(2)；所述水平仪(2)的数量为两个，分别内嵌于所述底座(1)相邻的两条边。
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