CZ2007163A3 - Zarízení pro upínací montáž detektoru magnetického pole pro merící soupravu PTF - Google Patents

Abstract

Vynález se týká zarízení pro prídržnou montážní skupinu detektoru magnetického pole pro manuálne ovládané nebo automatizované merící stojany procházejícího proudu (PTF) na promerování rozprašovacích elektrod. Prídržná montážní skupina detektoru magnetického pole má vložku s podélným otevrením, kde toto otevrení vložky dovoluje umístení detektoru magnetického pole. Alespon jeden upevnovací prvek prochází skrze alespon jeden otvor v prídržném zarízení detektoru magnetického pole, kde je tento upevnovací prvek upravený pro nastavení do mechanického páru s vložkou tak, aby držel vložku v predem urceném míste uvnitr prídržné montážní skupiny magnetického pole. Tato vložka zabranuje tomu, aby se detektor magnetického pole poškodil pretažením upevnovacích prvku, a také zabranuje podrápání povrchu testované rozprašovací elektrody. Prídržná montážní skupina detektoru magnetického pole muže být použita na manuálne ovládaných mechanických stavechPTF nebo automatizovaných stavech PTF.

Description

Stávající vynález je zaměřený na zařízení pro upínací montáž detektoru magnetického pole pro měřící soupravu protékajícího proudu, tedy Pass-Through Flux (PTF). Přesněji se stávající . vynález týká zařízení pro upínací montáž detektoru magnetického pole pro manuálně ovládanou nebo automatizovanou měřicí soupravu protékajícího proudu.

Dosavadní stav techniky

Procesy pokovování rozprašováním se široce používají pro ukládání tenkých filmů materiálu na požadované podklady. Jeden typický rozprašovací pokovovací systém zahrnuje zdroj pro vytváření paprsku elektronů nebo iontů, elektrodu, která se skládá z materiálu, který se má atmizovat, a podklad, na který se rozprašovaný materiál ukládá. Proces zahrnuje bombardování materiálu ekektrody paprskem elektronů nebo iontů pod úhlem, který způsobuje, že je materiál elektrody rozprašován nebo erodován. Tento rozprašovaný materiál elektrody se ukládájako tentký film nebo vrstva na podklad. Materiály rozprašovacích elektrod pro proces pokovování rozprašováním sahají od čistých kovů ke stále více komplikovaným, slitinám.

Magnetronové pokovování rozprašováním vyžaduje uspořádání permanentních magnetů nebo elektromagnetu za materiálem elektrody (katody) a aplikování magnetického pole na elektrodu. Toto aplikované magnetické pole se provádí skrze elektrodu a zaostřuje výboj plazmy na čelní stranu elektrody. Tento čelní povrch elektrody se atomizuje s následným ukládáním atomů rozprašovací elektrody na povrch nějakého vyvíjejícího se prostředku tenkého filmu umístěného v sousedství rozprašovací elektrody.

* ♦ ♦ ♦ *♦·· ·· «««· «* ·« ·« · · · · • ♦ ··· · · · • · · · · · v · «·*··* ·· · ·· ·

Magnetronové pokovování rozprašováním materiálů magnetické elektrody je v elektronickém průmyslu velmi běžné, zejména při výrobě polovodičů a prostředků pro ukládání dat. Díky měkkému magnetickému charakteru slitin magnetických rozprašovacích elektrod existuje znatelné zeslabení aplikovaného magnetického pole v objemu rozprašovací elektrody. To zase naopak vede ke zmenšenému využití rozprašovací elektrody díky zaostření přenášeného magnetického pole do erozního žlábku vytvořeného jako výsledek tohoto zeslabení. Tento zaostřovací efekt je podněcován s rostoucí permeabílitou materiálu, což koresponduje s klesajícím PTF materiálu.

Zmenšování permeability materiálu elektrody podporuje méně namáhaný erozní profil, který zvyšuje využití materiálu rozprašovací elektrody a následně přispívá ke snížení materiálových nákladů. Přítomnost nepříznivých erozních profilů elektrody také podporuje fenomén rozprašování z bodového zdroje, což může vzústit do méně než optimální rovnoměrnosti tloušťky ukládaného filmu. Zmenšení permeability materálu rozprašovací elektrody má tedy dodatečný přínos zvýšení rovnoměrnosti tloušťky ukládaného filmu.

PTF rozprašovací elektrody je definovaný jako poměr přeneseného magnetického pole k přivedenému magnetickému poli. Hodnota PTF 100 % je příznačná pro nemagnetický materiál, kde není objemem elektrody zeslabeno nic z přivedeného pole. PTF materiálů magnetické rozprašovací elektrody je typicky specifikován v rozsahu od 0 do 100 %, přičemž většina komerčně vyráběných materiálů vykazuje hodnoty mezi 30 až 100 %.

Existuje více odlišných technik měření PTF. Jedna technika vyžaduje umístění tyčového magnetu 4,4 (+/-0,4) kilogauss do styku na jedné straně materiálu elektrody a monitorování přeneseného pole za využití axiálního Hallova • * · · ···· ·· ·«·· ·· ·· · · ··· · • · · · · ··» • · 9 · · · 9 · *«««** *· « ·· « snímače ve styku s druhou stranou materiálu rozprašovací elektrody. Největší hodnota magnetického pole přeneseného přes tělo elektrody dělená silou přivedeného pole za nepřítomnosti elektrody mezi magnetem a snímačem (udržovaném od něho v téže vzdálenosti, jako když mezi nimi byla elektroda) je definovaná jako PTF. PTF může být vyjádřen buď jako zlomek nebo jako procento.

Další technika měření PTF vyžaduje použití podkovového magnetu a příčného Pallova snímače. Je zjištěno, že hodnoty PTF naměřené za využití odlišných uspořádání magnetu a snímače vykazují dobrou lineární korelaci pro hodnoty síly magnetického pole používaného typicky v průmyslu. Techniky měření PTF jsou konstruované tak, aby přibližně zpracovaly přivedený magnetický tok vyskytující se u nějakého skutečného stroje pro magnetronové pokovování rozprašováním. Měření PTF mají tedy přímou aplikovatelnost na výkon materiálu elektrody během magnetronového pokovováni rozprašováním.

PTF magnetického materiálu a permeabilita nejsou vzájemně vyloučené. Spíše existuje velmi výrazná korelace mezi PTF a maximální permeabilitou magnetických materiálů, hodnoty magnetické permeability · materiálu mohou být velmi přesně stanoveny použitím techniky magnetometru s vibrujícím vzorkem (VSM) podle normy A 894-89 ASTM.

V současné době se měření PTF provádí manuálně ovládanými stojany PTF. Normy ASTM F 1761-00 a ASTM F 208601 určují zkušební postupy protékajícího magnetického toku a popisují manuálně obsluhované zkušební upínací přípravky. Tyto zkušební upínací přípravky drží detektor magnetického pole uvnitř podpěrné trubky šrouby. Když se tyto šrouby přetáhnou, může se detektor magnetického pole snadno poškodit. Protože je navíc umístění detektoru magnetického pole uvnitř podpěrné trubky takové, že detektor přesahuje mimo délku trubky, může se detektor magnetického pole * · ··· ··· ······ · · I» · poškodit, když dojde ke kontaktu s rozprašovací elektrodou, která ,se má zkoušet, a může také podrápat povrch elektrody.

Co je tedy potřeba je nějaké zlepšené zařízení na držení detektoru magnetického pole a jeho připevnění k měřícímu stojanu PTF. Co je navíc potřeba, jsou přídržné montážní skupiny detektoru magnetického pole, které by nepoškozovaly detektor magnetického pole nebo povrch rozprašovací elektrody,· která se má měřit během měření PTF buď na nějakém manuálně ovládaném nebo automatizovaném měřícím stojanu.

Podstata vynálezu

Různá tělesná provedení stávajícího vynálezu se zaměřují na výše popsané nedostatky připojení detektorů magnetického pole pro měřící stojany PTF.

Alespoň jedno příkladné tělesné provedení stávajícího vynálezu se týká zařízení pro přídržnou montážní skupinu detektoru magnetického pole pro manuálně ovládaé nebo automatizované měřící stojany protékajícího toku na měření rozprašovacích elektrod. Přídržná montážní skupina detektoru magnetického pole má vložku s protáhlým otvorem, kde otvor vložky dovoluje, aby se umístil detektor magnetického pole. Alespoň jedním otvorem v přídržném zařízení detektoru magnetického pole prochází alespoň jeden upevňovací prvek, kde tento upevňovací prvek je upravený pro nastavení do mechanického spojení s vložkou tak, aby držel vložku uvnitř přídržné montážní skupiny magnetického pole v předem stanoveném místě. Tato vložka zabraňuje tomu, aby se detektor magnetického pole poškodil přetažením upevňovacích prvků, a také zabraňuje podrápání povrchu testované rozprašovací elektrody.

Různá tělesná provedení stávajícího vynálezu se týkají zařízení na stanovování protékajícího proudu rozprašovací elektrody. Toto zařízení má magnetický zdroj, který generuje magnetické pole procházející rozprašovací elektrodou.

• · · ··· ·· ···· • · ··· · · · ·····« ·« · tt ·

Přídržná montážní skupina detektoru magnetického pole má vložku· s protáhlým otvorem, kde otvor vložky dovoluje, aby se umístil detektor magnetického pole, a kde je tato vložka umístěná uvnitř přídržné montážní skupiny detektoru magnetického pole. Toto zařízení má dále stojan sestavený tak, aby pohyboval jedním nebo oběma, tj. rozprašovací elektrodou nebo přídržnou montážní skupinou detektoru magnetického pole.

Různé výhody příkladných tělesných provedení stávajícího vynálezu zahrnují, avšak nejsou omezeny na držení detektoru magnetického pole pevně v montážní skupině detektoru magnetického pole. Toto příkladné zařízení minimalizuje pro detektor magnetického pole nebezpečí přetažení upevňovacích prvků při zajištění detektoru magnetického pole uvnitř přídržné montážní skupiny detektoru magnetického pole. Navíc předcházejí různá příkladná provedení stávajícího vynálezu poškrábání povrchu rozprašovací elektrody detektorem magnetického pole. Detektor magnetického pole se umístí v předem stanoveném místě tak, že když přídržná montážní skupina detektoru magnetického pole a rozprašovací elektroda přijdou do styku, není proměřovaná rozprašovací elektroda tímto dotykem detektoru magnetického pole poškozena. U různých příkladných tělesných provedení stávajícího vynálezu je detektor magnetického pole umístěný na vnitřní straně protáhlého otvoru ve vložce a je umístěný tak, že detektor magnetického pole nesahá vně této vložky. Navíc může být přídržná montážní skupina detektoru magnetického pole použita buď s nějakým manuálně ovládaným nebo nějakým automatizovaným měřícím zařízením PTF na proměřování rozprašovacích elektrod.

Rozumí se, že pro ty, kdo jsou znalí stavu techniky, se stanou z následujícího podrobného popisu, ve kterém jsou představena a popsána pouze různá tělesná provedení vynálezu jako ilustrace, stanou snadno zřejmá i jiná tělesná • · · · t a ····· «· • · ·· · · · ·« « • · ·«· ··· • · ··· ··· ······ II · ·· ·

- 6 provedeni stávajícího vynálezu. Když se bude realizovat, je vynález schopný jiných a odlišných tělesných provedení a jednotlivé jeho detaily jsou schopné modifikace v různých jiných ohledech, aniž by se všechny odkláněly od podstaty a rozsahu stávajícího vynálezu. Podle toho je třeba na výkresy i na podrobný popis pohlížet nikoli jako na vymezujícího, nábrž jako na ilustrativního charakteru.

Stručný přehled obrázků na výkresech

Nyní s odkazem na výkresy, na kterých všude podobné vztahové značky představují odpovídající části, znázorňuje:

Obr. 1A - 1C mechanicky ovládané stojany zkušebního upínacího přípravku na měření PTF pro provádění měření testu PTF podle ASTM normy F 1761-00 podle známého stavu techniky,

Obr. 2A - 2C mechanicky ovládané upínací přípravky pro mechanicky ovládané zkušební stojany na měření PTF pro provádění měření testu PTF podle normy ASTM F 2086-01 podle známého stavu techniky,

Obr. 3A - boční schematický pohled na měřící zařízení PTF řízené počítačem,

Obr. 3B - schematický půdorysný pohled na měřící zařízení PTF řízené počítačem z obr. 3A,

Obr. 3C - dílčí schematický pohled na počítačem řízené zařízení PTF podle obr. 3A představující rozprašovací elektrodu relativně vůči magnetickému zdroji a detektoru magnetického pole,

Obr. 4 - blokové schéma počítačového řídícího systému pro řízení provozu měřícího zařízení PTF podle obrázků 3A až 3C,

Obr. 5A - dílčí schematický pohled na detektor magnetického pole a přídržnou montážní skupinu detektoru magnetického pole používanou pro mechanické měřící stojany PTF z obr. 1 a 2 a také pro automatizovaný měřící stojan PTF z obr. 3, • · ···· · · ·*·· • · ··· · · · ······ 9 9 · 9 9 9

Obr. 5B - dílčí schematický pohled zlepšené přídržné montážní skupiny detektoru magnetického pole pro mechanické měřící stojany PTF z obrázků 1 a 2 a také pro automatizovaný měřící stojan PTF z obr. 3 podle různých příkladných tělesných provedení stávajícího vynálezu,

Obr. 5C - pohled na příčný řez jedné zlepšené přídržné montážní skupiny detektoru magnetického pole podle různých příkladných provedení stávajícího vynálezu,

Obr. 6A až 60 - pohledy na příčné řezy přídržné montážní skupiny detektoru magnetického pole podle různých příkladných tělesných provedení stávajícího vynálezu,

Obr. 7A až 7B - pohledy na příčné řezy sestavy vložky detektoru magnetického pole podle různých příkladných provedení stávajícího vynálezu.

Podrobný popis příkladů konkrétního provedení

Podrobný popis uvedený níže ve spojitosti s připojenými výkresy je míněný jako popis různých tělesných provedení vynálezu a není určený k tomu, aby reprezentoval pouze ta tělesná provedení,ve kterých se může vynález prakticky realizovat. Tento podrobný popis obsahuje specifické detaily za účelem poskytnutí úplného porozumění vynálezu. Pro ty, kdo jsou znalí stavu techniky vsak bude zřejmé, že se vynález může prakticky provést bez těchto specifických detailů. Pro některé případy mohou být dobře známé konstrukce a součásti představeny ve formě blokového schéma nebo v dílčím schematickém pohledu, aby se vyhnulo znejasnění pojetí vynálezu.

Obrázky 1A až 1C zobrazují mechanicky ovládané zkušební upínací stojany 100 pro měření PTF podle stavu techniky pro provádění zkušebních měření PTF podle normy ASTM F 1761-00. Základová deska 102 a podpěrné konstrukce 104 stolu podpírají elektrodový stůl 106. Sloupek 108 má objímky 110 pro vzájemný styk sloupku 108 s elektrodovým stolem 106.

• ·· ···· 9 9 9··· • · ·· ·· · ·· * · 9 9 9 · · fr • · · · · ··· ·····» · · ·· ·

Sloupek 108 podpírá příčné rameno 112 a nosnou trubku 114, která .obsahuje detektor 115 magnetického pole znázorněný na obr. 5A. Příčným ramenem 112 a nosnou trubkou 114 může mechanicky pohybovat obsluha ve směru A nebo Aý. Stavěči šroub 116 se může uvolnit, aby dovolil pohyb příčného ramena 112 ve směru A nebo A/ podél sloupku 108. Jakmile obsuha nastavila požadovanou polohu příčného ramena 112 a nosné trubky 114 s detektorem 115 magnetického pole představeným na obr. 5A relativně vůči poloze rozprašovací elektrody 118 na vyrovnávací hlavě 120 na elektrodovém stole 106, může se stavěči šroub 116 utáhnout, aby zajistil příčné rameno 112 na sloupku 108. V souladu s tím se může rozprašovací elektroda 118, která se má testovat, umístit mezi magnetický zdroj 122, např. podkovový magnet, a detektor 115 magnetického pole umístěný v nosné trubce 114 Magnetický zdroj 122 je umístěný na magnetické podložce 124 nad základovou deskou 102. Magnetickým zdrojem 122 může otáčet kolem osy manuálně obsluha uvolněním upevňovacího prvku 126 magnetické svěrky 128 a natočením magnetického zdroje 122 ve směru hodinových ručiček nebo proti směru hodinových ručiček, jak se požaduje. Jakmile je magnetický zdroj 122 umístěný v požadované poloze, upevňovací prvek 126 se může utáhnout, což příslušně přitáhne magnetickou svěrku 128 na magnetický zdroj 122.

Detektor 115 magneticého pole [představený na obr. 5A) se umístí v nosné trubce 114. Nosná trubka 114 se připevní k příčnému ramenu 112 stavitelným upevňovacím prvkem 130, což je s výhodou nějaký šroub nebo jiný vhodný upevňovací prvek. Detektor 115 magnetického pole se zajistí uvnitř nosné trubky 114 dvěma upevňovacími prvky 132.

Obrázky 2A až 2C ilustrují stojany 100 pro mechanicky ovládané zkušební upínací přípravky na měření PTF podle stavu techniky pro provádění zkušebních měření PTF podle normy ASTM F 2086-01. Stojan 100 je týž, jako je vyobrazený « « ·· * · · · «· ··*· •« ·· · · · · · · « v · · · ··· • ♦·♦·· ···· β ♦ ··· · · · «··«·· ·· * ·· · na obr. 1A až 1C a jako je popsáno výše. Magnetický zdroj 122 a detektor 115 magnetického pole v nosné trubce 114 jsou však v odlišných orientacích od jejich poloh podle obrázků 1A až C tak,' aby dovolovaly postup zkušebního měření PTF podle normy, jak je stanoveno v F 2086-01.

Obr. 3A znázorňuje boční schematický pohled na měřící zařízení 200 PTF řízené počítačem. Měřící zařízení 200 PTF řízené počítačem má základovou desku 202. Podpěrné konstrukce 204 stolu jsou připojené na jednom konci k základové desce 202 a na protějším konci k elektrodovému stolu 206, takže základová deska 202 a podpěrné konstrukce 204 podpírají elektrodový stůl 206. K základové desce 202 je také připojená podpěrná konstrukce 208 kluzné tyče snímače a napomáhá v podepření elektrodového stolu 206 podobným způsobem jako podpěrné konstrukce 204 stolu. Konstrukční elementy zařízení, např. základová deska '202, podpěrné konstrukce 204 stolu, elektrodový stůl 206, podpěrná konstrukce 208 kluzné tyče snímače atd., využívají nemagnetické materiály, aby dovolily provoz zařízení bez negativního ovlivněni magnetických vlastností zdrojového magnetu, např. zdrojového magnetu 260.

Měřící zařízení 200 PTF řízené počítačem umožňuje pohyb detektoru magnetického pole pro měření PTF rozprašovacích elektrod. Detektor 210 magnetického pole se umístí uvnitř přídržné montážní supiny 212 etektoru magnetickéhopole. Detektor 210 magnetického pole může být Gaussmetr, Teslametr nebo nějaký iný vhodný měřící prostředek magnetického pole. U některých příkladných tělesných provedení, jako je znázorněné na obr. 4, může být detektor manetického pole složený jak ze snímače magnetického pole pro detekování magnetického pole, tak i Gaussmetru nebo Teslametru pro prováděl měření magnetického pole.

Detektorem 210 magnetického pole se může pohybovat ve vertkální rovině ve směru A nebo A', aby se umístil v poloze (♦· ·· 4444 • f · · · · • * · 1 · 4 4 · • · ·«· « · «···*· ♦· 4 4· 4 pro měření rozprašovací elektrody umístěné na nebo nad elektrodovým stolem 206. Stavěči motor 214, který je řízený počítačem 340 z obr. 4, pohání pohyb detektoru 210 magnetického pole ve směru A nebo A' .

Příčné rameno 213 spojuje přídržnou montážní skupinu 212 detektoru magnetického pole s ložiskovou sestavou 218 kluzné tyče. Stavěči rameno 216 detektoru magnetického pole je připojené k ložiskové sestavě 218 kluzné tyče. Ložisková sestava 218 kluzné tyče je zavěšená na kluzné tyči 220,která je připevněná k nosné onstrukci 208 kluzné tyče. Ložisová sestava 218 kluzné tyče se může pohybovat ve vertikálním směru podle kluzné tyče 220 a je vedená stavěcím ramenem 216 detektoru magnetického pole. Když stavěči motor 214 otáčí ozubeným převodem 222, otáčí se stavěči vodící šroub 224 a pohybuje stavěcím ramenem 216 detektoru magnetického pole ve směru A nebo Ač. Když podle toho otáčí stavěči motor 214 ozubeným převodem 222, aby otáčel stavěči vodící šroub 224, pohybuje stavěči rameno 216 detektoru magnetického pole .Ložiskovou sestavou 218 kuzné tyče podél luzné tyče 220. Když je přídržná montážní skupina 212 detektoru magnetického pole připojená k ložiskové sestavě 218 kluzné tyče, je detektor 210 magneticého pole schopný pohybovat se ve směru A a když má stavěči motor 214 vratný chod, phybuje se detektor 210 magnetického pole ve směru A' .

Navíc, když stavěči motor 214 pohání pohyb stavěcího ramena 216 snímače ve směru A nebo A', sleduje kodér 226 pohyb detektoru 210 magnetického pole. Stavěči motor 214 může mít vlastní spínač, který může být otvírán pohybem ložiskové sestavy 218 kluzné tyče podél kluzné tyče 220 do alespoň jedné předem stanovené polohy pro iniciaci startovací polohy stavěcího motoru 214 před jakýmkoli pohybem nebo měřením rozprašovací elektrody. Kodér 226 zaznamenává tedy počáteční polohu a také pohyb stavěcího motoru 214.

• » · · · · • · • · : ί • ·

Φ·

- 11 Při přijetí příkazů od počítače 340 z obr. 4 může pojížděcí motor 228 pohybovat otočnou deskou 230 ve směru B nebo B', aby umístil rozprašovací elektrodu pod detektor magnetického toku a nad magnetický zdroj pro provádění měření PTF.

Příčné sáně 232 otočné desky jsou namontované pod elektrodovým stolem 206. Otočná deska 230 je připojená k ložiskové· montáži 234 příčných sání otočné desky, která je zavěšená na příčných sáních 232 otočné desky. Toto uspořádání dovoluje, aby se otočná deska 230 pohybovala ve směru B nebo B' podél příčných sání 232 otočné desky. K otočné desce 230 je na jednom konci připevněné posuvné rameno 236 otočné desky a na protějším konci příčný vodící šroub 238. Pojížděcí motor 228 otáčí příčným ozubeným soukolím 240, které se stýká s příčným vodícím šroubemn 238, aby pohyboval posuvným ramenem 236 otočné desky a otočnou deskou 230.

Pojížděcí motor 22j) může mít vlastní spínač, který může být otvírán, aby spustil startovací polohu pojížděcího motoru 228 před jakýmkoli pohybem nebo měřením rozprašovací elektrody. Tento vlastní spínač sdružený s pojížděcím motorem 228 se může aktivovat, aby spustil startovací polohu pohybem ložiskové montáže 234 příčných sání na příčných sáních 232 otočné desky do alespoň jedné předem určené polohy. Po přijetí příkazu od počítače 340 (znázorněný na obr. 4) otáčí pojížděcí motor 228 ozubeným soukolím 240. Příčný kodér 242 zaznamenává počáteční polohu a také pohyb pojížděcího motoru 228. Pojížděcí motor 228 podle toho řídí pohyb posuvného ramena 236 otočné desky ve směru B nebo B' a příčný kodér 242 sleduje pohyb otočné desky 230.

Hnací kolo 244 a volná kola 24 6, která jsou schopná držet rozprašovací elektrody různých velikostí, jsou otočně připojené k horní straně otočné desky 230. Ačoliv je na obrázcích 3A až 3C znázorněno jen jedno hnací kolo (např.

• · ···· ·· ···· • « · · « · • · * · · * jsou znázorněné na obr. dovolují průchod hnacího se přidat přídavná stavěči ozubené soukolí 254 otáčí hnací kolo 244) , mohla by se pro držení nebo otáčení rozprašovací elektrody použít i přídavná hnací kola.

Přídavná hnací ozubená soukolí se mohou přidat, když je to nezbytné pro dodávání energie od otáčecího motoru 248 k přídavným hnacím kolům. Podobně mohou být pro držení rozprašovací elektrody použita alespoň dvě volná kola.

Výřezy oválného tvaru (např. výřezy 256 oválného tvaru, jako 3C) v elektrodovém stole 206 kola 244 a volných kol 246.

Přídavné výřezy oválného tvaru se mohou přidat, když se přidají přídavná hnací kola nebo volná kola. Otáčecí motor 248 a odér 250 otáčení jsou připevněny pod otáčecí deskou 230. Stavěči ústrojí 252 otočného čepu pamatuje na pohyb hnacího kola . 244, aby dovolil, aby se umístil y do styku s hnacím kolem 244 a alespoň dvěma volnými koly 246 rozprašovací elektrody různých velikostí. Aby se vyhovělo přídavným hnacím kolům, mohou ústrojí otočného čepu. Hnací hnacím kolem 244, aby otáčelo rozprašovací elektrodou a dovolilo různá měření PTF za předem stanovených orientaci.

Obr. 3B znázorňuje půdorysný pohled na zařízení 200 PTF řízené počítačem. Výřezy 256 oválného tvaru v elektrodovém stole 206 dovolují hnacímu kolu 244 a volným kolům 246, která jsou namontovaná na otočné desce 230, aby se umístila nad povrchemelektrodového sLolu 206 a držela rozprašovací elektrodu. Výřezy 256 oválného tvaru dovolují otočné desce 230 (umístěné pod elektrodovým stolem 206) s hnacím kolem 244 a volnými koly 246, aby se pohybovala ve směru B nebo Bý tak, aby pojmula rozprašovací elektrody různých velikostí a pamatovala na měření v různých místech na dané rozprašovací elektrodě. Pohyb otočné desky 230 ve směru B nebo B' dovoluje zařízení 200 PTF řízenému počítačem polohovat specifickou část rozprašovací elektrody tak, aby se testovalapod detektorem 210 magnetického pole.

♦ *: ί • » « · « ♦ * ♦ ♦ ♦

- 13 Obrátíme-li se na obr. 3C, je rozprašovací elektroda 258 uspřádaná mezi magnetickým zdrojem 260 a detektorem 210 magnetického pole. Magnetický zdroj 260 je vodivě připojený k otočnému podstavci 262 a otočný podstavec 262 je připojený k základové desce 202. Magnetický zdroj 2 60 je s výhodou magnet tvaru podkovy. Operátor zařízení 200 PTF řízeného počítačem .může otáčet magnetickým zdrojem 260, například provádět podobný test, jako jsou ty popsané ASTM 1761 nebo ASTM 2086. Rozprašovací elektroda 258 je s výhodou držena hnacím kolem 244 a volnými koly 246. Toto uspořádání dovoluje, aby se rozprašovací elektroda 258 otáčela pohybem hnacího kola 244 a odpovídajícím pohybem volných kol 246, přičemž nemá přímý styk s elektrodovým stolem 206, který by mohl během otáčení rozprašovací elektrodu 258 poškrábat. Jak bylo probráno výše, může se otočná deska 230 pohybovat horizontálně ve směru B nebo B' do další polohy rozprašovací elektrody 258 pod detektorem 210 magnetického pole. Detektor magnetického pole se může pohybovat vertikálně ve směru A nebo Aý relativně vůči rozprašovací elektrodě 258 a magnetickému zdroji 260.

Obr. 4 ilustruje blokové schéma řídícího systému 300 počítače pro řízení činnosti měřícího zařízení 200 PTF. Obr. 4 znázorňuje, že příčný kodér 242, pojížděcí motor 228, polohový kodér 226, stavěči motor 214, kodér 250 otáčení a otáčecí motor 248 jsou komunikačně připojené k povelovému procesoru 310. Podle toho se mohou data a příkazy vyměňovat mezi kodéry 226, 242 a 250, motory 214, 228 a 248 a povelovým procesorem 310. Povelový procesor 3 IQ je komunikačně spojený komunikačními linami 320 s komunikační sítí 330. Povelový procesor 310 přijímá příkazy od počítače 34 0 a instruuje motory 214, 228 a 248, aby se příslušně otáčely v jednom nebo druhém směru, čte údaje sebrané kodéry 226, 242 a 250 nebo přijímá spouštěcí informaci od vlastního nebo spouštěcího spínače sdruženého s pojížděcím motorem 228 « · ·· *«· · ·· ·«·· ta · · ·· · · · · a stavěcím motorem 214 . Počítač 340 je komunikačně spojený za využití komunikační linky 320 s komunikační sítí 330 k vnější databázi 350.

Databáze '350 může ukládat' data získaná z měření rozprašovacích elektrod. Data mohou zahrnovat číslo části, číslo položky, číslo desky, číslo elektrody, aplikované pole, průměrnou Gaussovu hodnotu, rozsah Gaussových hodnot, nejnižši Gaussovu hodnotu, nejvyšší Gaussovu hodnotu, nebo průměrné procento PTF, jakoukoli jejich kombinaci nebo nějaký jiný vhodný výsledek měření nebo data. Databáze 350 může také ukládat mapy PTF rozprašovací elektrody vytvářené počítačem 340. Databáze 350 může ukládat předem stanovené technické podmínky, které se mají během proměřování rozprašovacích . elektrod používat. Například může databáze 350 ukládat data týkající se poloh na rozprašovací elektordě, kde se mají měření provést, počet měření, která se mají provést, aplikované pole magnetického zdroje, průměrné procento PTF, průměrnou Gaussovu hodnotu, rozsah Gaussových hodnot, jakoukoli jejich kombinaci nebo nějakou jinou vhodnou informaci.

Pčítač 340 může být osobní počítač, laptop, sálový počítač, neprogramovatelný teminál, osobní digitální asistent (PDAs), bezdrátový terminál, přenosný telefon nebo jakákoli iná forma síťového osobního počítačového prostředku. Počítač 340 může obsahovat síťovou kartu 342 pro styk s komunikační sítí 330 pro přenos a příjem dat. Počítač 340 může mít také procesor 344 provádějící program pro kontrolu a svběr dat od příčného kodéru 242, pojíždecího motoru 228, polohového kodéru 226, stavěcího motoru 214, kodéru 250 otáčení, otáčecího motoru 248, povelového procesoru 310, databáze 350 nebo jiné paměti dat připojené ke komunikační síti 330, detektoru magnetického pole (např. detektoru 210 magnetického pole, Teslametru 360, snímače 370 magnetického pole, atd.), jaékoli jejich ombinace nebo ·· ·»·· • · · • · » • · · * « ·«···« • · · · Λ · · • · · · · nějakého jiného vhodného prostředku. Naměřené údaje PTF, mapy rozprašovací elektrody nebo jiné vhodné údaje nebo informacemohou být operátorovi představeny na displeji 346.

Jak je znázorněno na obr. 4, může být počítač 440 komunikačně připojený k Teslametru 360 a snímači 370 magnetického pole, kde snímač 370 magnetického pole odečítá sílu magnetického pole procházejícího přes rozprašovací elektrodu -a Teslametr 360 interpretuje a kvantifikuje tuto informaci o magnetickém poli ze snímače a zasílá sebraná data počítači 340. Teslametr 360 a snímač 370 magnetického pole mohou být také zkombinované v jediném přístrojí jako detektor magnetického pole, jako je detektor 210 magnetického pole znázorněný na obr. 3A a obr. 3C. Teslametr 360 může být nahrazen Gaussmetrem.

Obr. 5A znázorňuje dílčí schematický pohled na přídržnou montážní skupinu detektoru magnetického pole 'používanou pro mechanické měřící stojany PTF z obrázků 1A až 1C a z obr. 2A až 2C a také pro automatizovaný měřící, stojan PTF z obrázků 3A až 3C a z obr. 4. Pro jednoduchost budou vztahové značky z obrázků 1A až 1C používány i při popisu obrázků 5A a 5B. Jak je znázorněno na obr. 5A, je magnetický zdroj 122 umístěný pod elektrodovým stolem 106. Magnetický zdroj je držený v onkrétní poloze upevňovacím prvkem 126 a magnetickou svěrkou 128. Rozprašovací elektroda 118, která se má zkoušet, je umístěná na pvrchu nebo těsně nad povrchem elektrodového stolu 106. Detektor 115 magnetického pole je držený uvnitř nosné trubky 114 upevňovacími prvky 132. Nosná trubka je držená příčným ramenem 112, kterým se může pohybovat relativně vůči rozprašovací elektrodě 118 ve směru A nebo Ač.

Obr. 5B znázorňuje dílčí schematický pohled na jednu zlepšenou přídržnou monážní skupinu detektoru magnetického pole pro mechanické měřící stojany PTF podle obrázků 1 a 2 a také pro automatizovaný měřící stojan PTF podle obr. 3A až • * ·· «··· ·· · ··· «··· · ♦ · · » · • * ··· · · » » ·»··· · · · · • · · « · · · · «··*·· * · ♦ ·· ·

3C podle různých příkladných tělesných provedení stávajícího vynálezu. Podobně obrázku 5A znázorňuje obr. 5B magnetický zdroj 122, elektrodový stůl 106 a rozprašovací elektrodu 118. Avšak na¹ obr. 5B a na dalším detailu podle obr. 5C je představená zlepšená přídržná montáží skupina 400 detektoru magnetického pole od různých tělesných provedení stávajícího vynálezu.

Obr. 5C ilustruje pohled na příčný řez jednou zlepšenou přídržnou montážní skupinou detektoru magnetického pole podle různých příkladných provedení stávajícího vynálezu. Obr. 5C ukazuje detailně detektor 410 magnetického pole, který je držený uvnitř vložky 420, která je dále držená uvnitř přídržné montážní skupiny 400 detektoru magnetického pole. Přídržné upevňovací prvky 430, což jsou s výhodou šrouby nebo jiné vhodné upevňovací prvky s regulovatelostí, se mohou nastavit tak, aby vytvořily kontakt S vložkou 420 a držely vložku 420 uvnitř přídržné montážní skupiny 400 magnetického pole. Podle různých příkladných provedení mohou být přídržný upevňovací prvek 430 s výhodou plastové šrouby. Jak je znázorněno na obr. 5C, je detektor 410 magnetického pole uspořádaý uvnitř vložky 420 a přídržné montážní skupiny 400 detektoru magnetického pole tak, že mezi jedním koncem detektoru 410 magnetického pole (tj. tím koncem detektoru 410 magnetického pole umístěným v sousedství rozprašovací elektrody) a jedním koncem vložky 420 (tj. tím koncem vložky 420, který je v sousedství rozprašovací elektrody) existuje vzduchová mezera 440. Jedna výhoda vzduchové mezery 440 je to, že minimalzuje možné poškození utrpěné detektorem magnetického pole, když se přídržná montážní skupina 400 detektoru magnetického pole nebo vložka 420 dostane do kontaktu s rozprašovací elektrodou, např. s rozprašovací elektrodou 118. Vzduchová mezera 440 může být větší nebo rovná 0,001 palce nebo jakákoli jiná vhodná mezera pro zabránění poškození detektoru 410 magnetického pole a ♦ ·· ···· ·· ·♦·· »9 ·· · · · 9 ♦ · • · · · »·» • · 9 · 9 · 9 9 ······ ·· 9 9· 9 umožněni, detektoru 410 magnetického pole, aby byl schopný detekovat magnetické pole. Detektor 410 magnetického pole může být Teslametr, Gaussmetr nebo nějaký jiný vhodný prostředek. Alternativně může být detektor 410 magnetického pole nějaká kombinace snímače magnetického pole a Teslametru nebo Gaussmetru.

Obrázky 6A až 6C ukazují pohledy na příčné řezy přídržnou montážní skupinou detektoru magneticého pole podle různých příkladných tělesných provedení stávajícího vynálezu. Přídržná montážní skupina 500 detektoru magnetického pole má horní část 510 a spodní část 520. Horní část 510 může mít například délku 3,00 palce a spodní část 520 může mít délku 1,50 palce. Horní část 510 má vnější dutý válec 530 a vnitřní prostor 540. Vniřní prostor 540 může pojmout detektor magnetického pole, např. detektor 410 magnetického pole znázorněný na obr. 5C.

Obr. 6B znázorňuje pohled na příčný řez horní částí 510 zobrazující vnější dutý válec 530 a vnitřní prostor 540. Vnitřní prostor 540 může mít například průměr 0,19 palce a vnější dutý válec může mít průměr 0,498 palce.

Spodní část 520 může mít vnější dutý válec 550 a vnitřní prostor 560. Vnitřní prostor 560 může pojmout vložku (např. vložku 420 z obr. 5C) a také nějaký detektor magnetického pole (např. detektor 410 matgnetického pole znázorněný na obr. 5C). Vnitřní prostor 560 může mít například délku 570, která může být 1,30 palce. Otvor 580 může být od vnějšího povrchu vnějšího dutého válce 550 k vnitřnímu prostoru 560. Otvor 580 může s výhodou dovolovat, aby se tímto otvorem umístil nějaký upevňovací prvek (např. upevňovací prvek 430 znázorněný na obr. 5C) a zajišťoval vložku, např. vložku 420 znázorněnou na obr. 5C. Otvor 580 může být s výhodou závitový (např. závitníkem 10-32 nebo nějakým jiným vhodným závitem) pro přijeti podobně závitovaného upevňovacího prvku, např. šroubu nebo jiného vhodného závitovaého ·· ···· » · · · • · • « • · • · • * • · • · • ·

- 18 upevňovacího prostředku. Vnější duté válce 530 a 550 jsou s výhodou vyrobené z mosazné tyče 0,750, i když se může použít i jakýkoli jiný vhodný nemagnetický materiál. Při výrobě částí, např. částí 510 až 580 atd., přídržné montážní skupiny 500 detektoru magnetického pole se mohou použít různé úrovně tolerance.

Obrázky 7A a 7B znázorňují pohledy na příčné řezy sestavou vložky pro detektor magnetického ole podle různých příkladných tělesných provedení stávajícího vynálezu. Obrátíme-li se na obr. 7A, je vložka 600 představená s podélným otevřením 610, kde může být s výhodou umístěn detektor magnetického pole. Podélné otevření 610 může mít například průměr 0,060 palce, jak je naznačeno rozměrem C na obr. 7A, a vložka 600 může mít průměr 0,400 palce naznačený rozměrem D. Koncová čepička 620 je s výhodou umístěná na jednom konci vložky 600. Čepička 620 může ' mít například průměr 0,60 palce v rozměru E naznačeném na obr. 7A. Vložka 600 může mít apříklad délku 1,00 palce v rozměru F a koncová čepička 620 může mít délku 0,15 palce v rozměru G na obr. 7A. Vložka 600 nebo koncová čepička 620 je s výhodou vyrobená z Delrinu®, Teflonu®, plastu, nylonu, nějakého nemagnetického materiálu nebo nějakého jiného vhodného materiálu. Jedna výhoda vložky 600 nebo koncové čepičky 620 zhotovené z Delrinu®, Teflonu®, plastu, nylonu, nějakého nemagnetického materiálu nebo nějakého jiného vhodného materiálu je to, že rozprašovací elektroda nemůže být poškrábána, když se vložka 600 nebo koncová čepička 620 dostanou do kontaktu s elektrodou. Vožka 600 může také utrpět určitou mechanickou deformaci od upevňovacího prvku, ale může minimalizovat nějaké potenciální poškození detektoru magnetického pole od upevňovacího prvku, který se může přetáhnout. Podélné otevření 610 může mít například hloubku 0,388 palce v rozměru H vynačeném na obr. 7B. Při • » ·· ·*·« ·· ···* • · ·· · · · · · · • * · · · ♦ ·

V « ··· · · 9

999 999 99 9 99 9 výrobě prvků 600, 610 nebo 620 se mohou použít různé úrovně tolerance.

Podrobný. popis předložený níže v souvislosti s připojenými ^:výkresy je míněný jako popis různých tělesných provedení vynálezu a není míněný pro to, aby reprezentoval pouze provedení, u kterých může být vynález prakticky realizován. Tento podrobný popis zahrnuje specifické podrobnosti za účelem poskytnutí úplného pochopení vynálezu. Avšak pro ty, kdo jsou znalí stavu techniky, bude očividné, že se vynález může prakticky provést bez těchto specifických detailů. V některých případech jsou ve formě blokového schéma představeny dobře známé konstrukce a součásti, aby se vyhnulo znejasnění podstaty vynálezu.

Je pochopitelné, že specifické pořadí nebo hierarchie diskutovaných kroků je jeden příklad z příkladných přístupů. Na základě předností návrhu je pochopitené, ' že specifické pořadí nebo hierarchie kroků v procesech může být přeskupena, přičemž zůstává v rozsahu stávajícího vynálezu. Doprovázející způsobové nároky představují elementy různých kroků v příkladném pořadí a nejsou míněné k tomu, aby se omezovaly na specifické představované pořadí nebo hierarchii.

Různé ilustrativní logické bloky, moduly, obvody, elementy, a/nebo složky popisované ve spojitosti s tělesnými provedeními, která jsou zde zveřejněna, mohou být uskutečňovány nebo prováděny nějakým univerzálním procesorem, procesorem s číslicovým signálem (DSP), nějakým aplikačním specifickým integrovaným obvodem (ASIC) , uživatelem programovatelným hradlovým polem (FPGA) nebo jinou programovatelnou logickou součástkou, diskrétním hradlovým obvodem nebo tranzistorovou logikou, složkami diskrétního hardware nebo nějakou jejich kombinací navrženou pro provádění funkcí, které jsou zde popsané. Univerzální procesor může být nějaký mikroprocesor, ale alternativně ·· ···* ··*· • * • 9

9

9 ··

- 20 může být tento procesor nějaký konvenční procesor, řídící jednotka, mikroregulátor nebo přenosový stroj. Procesor může být také realizovaný jako kombinace počítačových složek, např. nějaká ombinace DSP a mikroprocesoru, řada mikroprocesorů, jeden nebo více mikroprocesorů v kombinaci s DSP jádrem nebo nějaká jiná taková konfigurace.

Postupy nebo algoritmy popsané ve spojitosti se zde odkrytými tělesnými provedeními mohou být vtěleny přímo do hardware, realizovány procesorem v nějakém softwarovém modulu nebo v kombinaci těchto dvou. Softwarový modul může sídlit v RAM paměti, bleskové paměti, ROM paměti, EPROM paměti, EEPROM paměti, rejstřících, harddisku, vyjímatelném disku, CD-ROMu, nebo jakékoli jiné formě paměťového media známé ze stavu techniky. Paměťové medium může být připojené k procesoru, takže procesor může číst informaci z paměťového media a zapisovat do něj infromaci. Alternativně může být paměťové medium integrání s procesorem.

Předchozí popis se poskytuje pro to, aby umožnil jakékoli osobě znalé stavu techniky prakticky provést různá tělesná provedení, která jsou zde popsaná. Pro ty, kdo jsou znalí stavu techniky, budou snadno zřejmé různé modifikace k těmto provedením a obecné principy, které jsou zde definované, se mohou aplikovat i na jiná tělesná provedení. Nároky tedy nejsou určené pro to, aby se omezovaly na tělesná provedení, která jsou zde představená, náýbrž se má harmonizovat celý rozsah s jazykem nároků, ve kterých není odkaz na nějaký prvek v jednotném čísle míněný tak, že znamená jeden a pouze jeden, pokud to není takto specificky uvedeno, nýbrž spíše jeden nebo více. Všechny onstrukční a funkční ekvivalenty k těm elementům různých tělesných provedení popsaných zevrubně tímto popisem, které jsou známé nebo se stanou známé později, pro ty, kteří jsou běžně znalí stavu techniky, jsou sem začleněny úmyslně odkazem a jsou určené k tomu, aby byly zahrnuty do nároků.

• 9 ·9«« · «9 9 • 9 99 9 * · · · 9

9 9·· 9*9 « 999 999 • 99 999 99 9 9 9 9

- 21 Nic z toho, co je zde zveřejněno, není navíc určené k tomu, aby se· předávalo veejnosti bez ohledu na to, zda je taové zveřejnění explicitně deklamováno v nárocích. Žádná část nároku se nemá konstruovat podle ustanovení 35 U.S.C., § 112, šestý odstavec, ledaže je tato část výslovně zmíněná užitím fráze určený pro, nebo v případě způsobového nároku je tato část zmíněná užitím fráze krok pro.

Claims (22)

1. PATENTOVÉ NÁROKY

   1. Zařízení s přídržnou montážní skupinou detektoru magnetického pole pro měřící přístroj protékajícího proudu na proměřování elektrod, které zahrnuje:

   vložku s podélným otevřením, u kterého toto otevření vložky dovoluje umístění detektoru magnetického pole a u kterého je· vložka umístěná uvnitř přídržné montážní skupiny detektoru magnetického pole, a alespoň jeden upevňovací prvek, kde tento alespoň jeden upevňovací prvek prochází skrze alespoň jeden otvor v púřídržném zařízení detektoru magnetického pole a kde je upevňovací prvek upravený pro nastavení do mechanického páru s vložkou tak, aby držel vložku v předem určeném místě uvnitř přídržné montážní skupiny magnetického pole.
2. 2. Zařízení podle nároku 1, vyznačující se tím, že vložka je vytvořená z nekovového materiálu.
3. 3. Zařízení podle nároku 2, vyznačující se t í m, že vložka je vytvořená z Delrinu®, Teflonu®, plastu, nylonu nebo nějakého nemagnetického materiálu.
4. 4. Zařízení podle nároku 1, vyznačující se tím, že alespoň jeden otvor v přídržné montážní skupině detektoru magnetického pole je závitový.
5. 5. Zařízení podle nároku 4, vyznačující se t í m, že alespoň jeden upevňovací prvek je alespoň jeden šroub, který je našroubovaný do toho alespoň jednoho otvoru.
6. 6. Zařízení podle nároku 1, vyznačující se tím, že dále zahrnuje vzduchovou mezeru mezi jedním koncem detektoru magnetického pole a jedním koncem vložky.

   *» ·♦·· ·· ···· • · » · · · · · ··» V ·« Τ* ♦ ·· ·

   - 23
7. 7. .Zařízení podle nároku 1, vyznačující se tím, že přídržná montážní skupina detektoru magnetického pole je vytvořená z mosazi nebo nějakého nemagnetického materiálu.
8. 8. Zařízení podle nároku 1, vyznačující se tím, že 'přídržná montážní skupina detektoru magnetického pole má horní část a spodní část, přičemž vnější průměr horní části je menší než nebo stejný jako vnější průměr spodní části.
9. 9. Zařízení podle nároku 1, vyznačující se tím, že přídržná montážní skupina detektoru magnetického pole má horní část, která má první vnitřní průměr,a spodní část, která má druhý vnitřní průměr, kde první vnitřní průměr je menší než nebo rovný druhému vnitřnímu průměru.
10. 10. Zařízení pro stanovování protékájícího proudu rozprašovací elektrody zahrnující:

    (a) magnetický zdroj generující magnetické pole procházející skrze rozprašovací elektrodu, (b) přídržnou montážní skupinu detektoru magnetického pole, která má vložku s podélným otevřením, kde toto otevření vložky dovoluje, aby se umístil detektor magnetického pole, a kde je vložka umístěná uvnitř přídržné montážní skupiny detektoru magnetického pole, a (c) stojan vytvořený pro pohyb jednoho nebo obou z rozprašovací elektrody nebo přídržné montážní skupiny detektoru magnetického pole.
11. 11. Zařízení podle nároku 10, vyznačuj ící se t í m, že stojan je manuálně ovládaný mechanický stojan.

    «· ·ί · · a i · a « · a · · · a • ··«· a · a * · ··«

    9·« 9«· 94 · 99 9
12. 12. Zařízení podle nároku 10, vyznačuj ící se tím, že stojan je automatizovaný měřící stojan protékajícího' proudu.
13. 13. Zařízení podle nároku 10, vyznačuj ící se t í m, že magnetický zdroj je otočný.
14. 14. Zařízení podle nároku 10, vyznačuj ící se t í m, že vložka je vytvořená z nekovového materiálu.
15. 15. Zařízení podle nároku 14, vyznačuj ící se t i m, že vložka je vytvořená z Dclrmu', Teflonu , plastu, nylonu nebo nějakého nemagnetického materiálu.
16. 16. Zařízení podle nároku 10, vyznačuj ící se t í m, že přídržná montážní skupina detektoru magnetického pole má alespoň jeden upevňovací prvek, kde tento alespoň jeden upevňovací prvek prochází skrze alespoň jeden otvor v přídržném zařízení detektoru magnetického pole a kde je upevňovací prvek upravený pro nastavení do mechanického páru s vložkou tak, aby držel vložku v předem určeném místě uvnitř přídržné montážní skupiny magnetického pole.
17. 17. Zařízení podle nároku 16, vyznačuj ící se t í m, že alespoň jeden otvor v přídržné montážní skupině detektoru magnetického pole je závitový.
18. 18. Zařízení podle nároku 16, vyznačuj ící se t í m, že alespoň jeden upevňovací prvek je alespoň jeden šroub, který je našroubovaný do toho alespoň jednoho otvoru.

    ·· ···· ···· *· • · • · • · · • ·♦ • · « • · « • · · · • · · • t β
19. 19. Zařízení podle nároku 10, vyznačuj ící s e L í rn, že dále zahrnuje vzduchovou mezeru mezi jedním koncem detektoru magnetického pole a jedním koncem vložky.
20. 20. Zařízení, podle nároku 10, vyznačuj ící se t í m, že přídržná montážní skupina detektoru magnetického pole je vytvořená z mosazi nebo nemagnetického materiálu.·
21. 21. Zařízení podle nároku 10, vyznačuj ící se t í m, že přídržná montážní skupina detektoru magnetického pole má horní část a spodní část, přičemž vnější průměr horní části je menší než nebo stejný jako vnější průměr.spodní části.
22. 22. Zařízení podle nároku 10, vyznačuj ící se t í m, že přídržná montážní skupina detektoru magnetického pole má horní část, která má první vnitřní průměr, a spodní část, která má druhý vnitřní průměr, kde první vnitřní průměr je menší než nebo rovný druhému vnitřnímu průměru.