KR20080057776A - 웨이퍼 소팅기능을 가지는 습식 세정설비 및 이를 이용한웨이퍼 소팅 방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은 웨이퍼 소팅기능을 가지는 습식 세정설비 및 이를 이용한 웨이퍼 소팅 방법에 관한 것으로서, 습식 세정설비로 카세트가 로딩되면 카세트에 부착된 제조 공정용 바코드 정보를 인식하고, 바코드 정보에 대응하는 웨이퍼 정보를 판독하는 웨이퍼 소터와, 웨이퍼 소터로부터 전달받은 웨이퍼의 정보에 따라 선택적인 소팅이 이루어지도록 제어하는 공정제어장치를 포함하며, 공정제어장치에 따라 아암이 구동되어 선택되는 카세트에 웨이퍼 소팅이 수행되는 것을 특징으로 한다. 따라서 본 발명은, 습식 세정설비에 웨이퍼 소팅 시스템을 추가함으로써, 중복 투자에 의한 투자비를 절감하고, 기타 소터 장비의 고정시 백업 가능한 효과를 가지고 있다.

웨이퍼, 습식 세정설비, 소터장비

Description

웨이퍼 소팅기능을 가지는 습식 세정설비 및 이를 이용한 웨이퍼 소팅 방법{WET STATION WITH WAFER SORTING SYSTEM AND WAFER SORTING METHOD}

도 1은 종래의 일반적인 세정설비의 구성을 도시한 구성도이고,

도 2는 본 발명의 실시예에 따른 웨이퍼 소팅기능을 가지는 습식 세정설비의 구성을 도시한 블럭도이고,

도 3은 본 발명의 실시예에 따른 습식 세정설비에서 이루어지는 웨이퍼 소팅방법을 나타내는 흐름도이다.

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>

100 : 습식세정설비 102 : 웨이퍼 카세트

104 : 로딩부 106 : 아암

110 : 공정챔버 120 : 웨이퍼 소터

130 : 공정제어장치

본 발명은 습식 세정설비에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 습식 세정설비에 웨이퍼 소팅 공정이 이루어질 수 있도록 웨이퍼 소팅 기능을 추가한 습식 세정 설비에 관한 것이다.

일반적으로 반도체소자는 웨이퍼 상에 포토리소그래피, 식각, 확산, 화학기상증착, 이온주입 및 금속증착 등의 공정을 선택적이고도 반복적으로 수행하여 적어도 하나 이상의 도전층, 반도체층, 부도체층을 적층 조합하여 이루어진다.

이러한 반도체소자 제조과정 중 웨이퍼 상에는 각 공정에서 미처 제거되지 않은 공정층이나 반응 부산물 및 파티클 등 각종 불순물이 잔존하고, 이들은 다음 공정의 진행에서 공정불량을 유발함에 따라 공정수행 전·후에는 세정공정의 수행을 필요로 한다.

상술한 세정공정은 크게 습식과 건식으로 구분되며, 여기서는 습식 세정설비와 이를 이용한 웨이퍼의 세정과정에 대하여 설명하기로 한다.

도 1에 도시한 일반적인 세정설비(10)의 구성으로부터 종래 기술에 따른 웨이퍼(W)의 진행 과정을 살펴보면, 복수 웨이퍼(W)들을 탑재한 카세트(12)는 세정설비(10)의 로딩부(14)에 놓이고, 이어서 바코드 리더(barcode reader)에 의해 카세트(12) 번호를 읽은 후 아암(16)이 이동하여 아암 헤드에 장착된 웨이퍼 스캐너(미도시)를 통해 매수를 카운터 하게 된다.

이후에, 아암(16)은 웨이퍼(W)를 이송시켜서 순서대로 케미칼, 린스 등의 공정챔버(20)에서 각각 세정시키고, 다시 순서별로 카세트(12)로 이송 완료된다.

한편, 세정설비(10)에는 소터(sorter)장비가 별도로 구비되어 작업자의 필요에 의해 웨이퍼의 선별 작업이 이루어지고 있다.

웨이퍼 소팅 공정은, 메탈(metal)/논메탈(non metal) 등 공정전환 시, 또는 카세트 전환과 일부 웨이퍼의 실험 및 별도 매수 진행을 위해 분리 작업시 등에 실시된다.

그런데, 이러한 종래의 소터장비는 고가임에도 불구하고 별도로 구비되어 사용되어지므로 장비의 중복 투자가 이루어지고, 또 설비 면적을 차지하고, 생산성을 저하시키는 문제를 야기한다. 따라서 이러한 소터의 기능을 가지는 세정설비의 필요성이 대두되었다.

본 발명은 상기한 바와 같은 결점을 해소시키기 위하여 안출된 것으로서, 습식 세정설비에 웨이퍼 소팅 시스템을 추가함으로써, 중복 투자에 의한 투자비를 절감하고, 기타 소터 장비의 고정시 백업 가능한 웨이퍼 소팅기능을 가지는 습식 세정설비 및 이를 이용한 웨이퍼 소팅 방법을 제공하는 것을 그 목적으로 한다.

상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명은, 웨이퍼 소팅시스템을 가지는 습식 세정설비에 있어서, 습식 세정설비로 카세트가 로딩되면 카세트에 부착된 제조 공정용 바코드 정보를 인식하고, 바코드 정보에 대응하는 웨이퍼 정보를 판독하는 웨이퍼 소터와, 웨이퍼 소터로부터 전달받은 웨이퍼의 정보에 따라 선택적인 소팅이 이루어지도록 제어하는 공정제어장치를 포함하며, 공정제어장치에 따라 아암이 구동되어 선택되는 카세트에 웨이퍼 소팅이 수행되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 소팅기능을 가지는 습식 세정설비를 제공한다.

또한, 본 발명은, 습식 세정설비에서 이루어지는 웨이퍼 소팅방법에 있어서, 웨이퍼 소팅 기능으로 전환하는 단계와, 웨이퍼 카세트를 습식 세정설비로 로딩하는 단계와, 로딩된 웨이퍼 카세트로부터 공정용 바코드 정보를 인식하고 바코드 정보에 대응하는 웨이퍼 정보를 판독하는 단계와, 웨이퍼 정보의 판독에 따라 공정제어장치에서 아암을 통하여 소팅된 웨이퍼를 지정 카세트로 이송하는 단계를 포함하는 웨이퍼 소팅방법을 제공한다.

이하 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예에 대하여 상세하게 설명한다.

도 2는 본 발명의 실시예에 따른 웨이퍼 소팅기능을 가지는 습식 세정설비의 구성을 도시한 블록도이고, 도 3은 본 발명의 실시예에 따른 습식 세정설비에서 이루어지는 웨이퍼 소팅방법을 나타내는 흐름도이다.

도 2에 도시된 것과 같이 카세트 로딩부(104)와 아암(106), 그리고 세정이 이루어지도록 복수의 공정챔버(110)가 배열 구비되는 습식 세정설비(100)에 웨이퍼 소터(120)와 공정제어장치(130)를 포함한 것이다.

여기서 웨이퍼 소터(120)는 메탈(metal)/논메탈(non metal) 등 공정전환 시, 또는 카세트 전환과 일부 웨이퍼의 실험 및 별도 매수 진행을 위해 분리 작업을 위하여 실시되는 것이다.

웨이퍼 제조 공정이 완료된 웨이퍼 카세트(102)가 카세트 로딩부(104)에 장착되면, 카세트 로딩부(104)에 구비된 바코드 리더(미도시됨)를 통해 웨이퍼 카세트(102)에 부착된 제조 공정용 바코드를 웨이퍼 소터(130)에서 독출하고, 그 웨이퍼 정보를 공정제어장치(130)로 전송한다. 이 때, 웨이퍼 소터(130)에서는 웨이퍼 의 정보에 따라 웨이퍼 소팅 방식을 설정하게 된다.

공정제어장치(130)는 반도체 제조 공정을 일괄 제어, 관리하는 전산화 장치로서, 웨이퍼 소터(120)와 컴퓨터 네트워크를 통해 연결된다. 공정제어장치(130)는 웨이퍼 소터(120)로부터 제조 공정용 바코드의 정보를 받아서, 아암(106)을 제어하게 된다.

아암(106)은 공정제어장치(130)로부터 전달되는 신호에 따라 각 해당 카세트(102)로 이송 작동되는 것이 가능하다.

이와 같이 구성된 본 발명에서 습식 세정설비에서 이루어지는 웨이퍼 소팅방법을 설명하면 다음과 같다.

도 3에서와 같이, 웨이퍼 소팅 기능으로 전환하는 단계(200)와, 웨이퍼 카세트를 습식 세정설비로 로딩하는 단계(210)와, 로딩된 웨이퍼 카세트로부터 공정용 바코드 정보를 인식하고, 바코드 정보에 대응하는 웨이퍼 정보를 판독하는 단계(220)와, 웨이퍼 정보의 판독에 따라 공정제어장치에서 아암을 통하여 소팅된 상기 웨이퍼를 지정 카세트로 이송하는 단계(230)를 포함한다.

다음에서는 각 단계별로 좀 더 상세히 설명하면 다음과 같다.

단계(200)에서는 습식 세정설비(100)에서 웨이퍼 소팅 공정이 이루어질 수 있도록 웨이퍼 소팅 기능으로 선택하여 전환시키게 되며, 이에 따라 장비의 초기화가 이루어진다.

그리고 단계(210)는 웨이터들이 매엽된 웨이퍼 카세트(102)를 습식 세정설비(100)의 로딩부(104)로 로딩시키는 단계이며, 단계(220)에서는 웨이퍼 소터(120) 에서 로딩된 웨이퍼 카세트(102)로부터 공정용 바코드 정보를 인식하고, 바코드 정보에 대응하는 웨이퍼 정보를 판독하게 된다.

예를 들어, 바코드 정보를 통하여 웨이퍼 매수와 로트 아이디, 로트 크기 맵핑 카운트 등을 포함하여 판독이 이루어진다.

단계(230)는, 웨이퍼 소터(120)에서 판독된 정보가 공정제어장치(130)로 전달되고, 공정제어장치(130)에서는 이송하고자 하는 카세트(102)를 지정하고 아암(106)을 구동시켜서 소팅 공정이 이루어지게 된다.

그리고 세정설비(100)에서 소팅 공정이 완료되면, 다시 세정설비의 기능으로 복귀하여 세정 공정이 실시된다.

그러므로 본 발명은, 습시 세정설비와 별도로 구비되었던 웨이퍼 소팅장비를 세정설비에 소팅장비의 기능을 추가하여 구동 가능하게 한 것이다.

이상에서 설명한 것은 본 발명에 따른 웨이퍼 소팅기능을 가지는 습식 세정설비 및 이를 이용한 웨이퍼 소팅 방법을 실시하기 위한 하나의 실시예에 불과한 것으로서, 본 발명은 상기한 실시예에 한정되지 않고, 이하의 특허청구범위에서 청구하는 바와 같이 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변경 실시가 가능한 범위까지 본 발명의 기술적 정신이 있다고 할 것이다.

이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명에 의한 웨이퍼 소팅기능을 가지는 습식 세정설비 및 이를 이용한 웨이퍼 소팅 방법은, 습식 세정설비에 웨이퍼 소팅 시스 템을 추가함으로써, 중복 투자에 의한 투자비를 절감하고, 기타 소터 장비의 고정시 백업 가능한 효과를 가지고 있다.

Claims (3)

1. 웨이퍼 소팅시스템을 가지는 습식 세정설비에 있어서,

   상기 습식 세정설비로 카세트가 로딩되면 상기 카세트에 부착된 제조 공정용 바코드 정보를 인식하고, 상기 바코드 정보에 대응하는 웨이퍼 정보를 판독하는 웨이퍼 소터와,

   상기 웨이퍼 소터로부터 전달받은 상기 웨이퍼의 정보에 따라 선택적인 소팅이 이루어지도록 제어하는 공정제어장치를 포함하며,

   상기 공정제어장치에 따라 아암이 구동되어 선택되는 상기 카세트에 상기 웨이퍼 소팅이 수행되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 소팅기능을 가지는 습식 세정설비.
2. 제 1 항에 있어서,

   상기 아암은, 상기 공정제어장치로부터 전달되는 신호에 따라 각 해당 상기 카세트로 이송 작동되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 소팅기능을 가지는 습식 세정설비.
3. 습식 세정설비에서 이루어지는 웨이퍼 소팅방법에 있어서,

   웨이퍼 소팅 기능으로 전환하는 단계와,

   웨이퍼 카세트를 상기 습식 세정설비로 로딩하는 단계와,

   상기 로딩된 웨이퍼 카세트로부터 공정용 바코드 정보를 인식하고, 상기 바코드 정보에 대응하는 웨이퍼 정보를 판독하는 단계와,

   상기 웨이퍼 정보의 판독에 따라 공정제어장치에서 아암을 통하여 소팅된 상기 웨이퍼를 지정 카세트로 이송하는 단계,

   를 포함하는 웨이퍼 소팅방법.

Images