JP7292125B2 - 生産システム - Google Patents

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Description

本発明は、生産システムに関する。
半導体デバイスの生産工程など、各種製品を生産する生産工程において、各被加工物を識別して管理し、どの被加工物がいつどの装置で加工されたか追跡できるシステムを導入する工場が構築される。この工場では、かかるシステムを導入することにより、工程全体の稼働率を管理したり、完成したデバイスチップに不良が発生したりした場合、どこで問題が発生したかを追跡できる。
また、上記生産工程において、オペレータの人件費削減やミス撲滅のため、複数工程にわたる無人化、オートメーション化が進んでいる。オートメーション化によって、複数の工程の装置にわたって被加工物を搬送する自動搬送ユニットがサーバー等で制御され、前の工程が終了すると同時に次の工程の空きのある加工装置に被加工物を搬送する効率的な工程が実現される（例えば、特許文献１、２参照）。
特開２０１７－０７６６８６号公報 特開２０１６－１４９４３７号公報
ところで、上記の生産工程における各装置の制御は、サーバー等で集中管理されるので、多くの装置を効率的に使用できるが、装置をメンテナンスする作業は、依然としてオペレータにより実施されている。しかしながら、オペレータが装置を操作する機会が少なくなることにより、オペレータ自身が装置の異常を感じ取る機会も少なくなるという課題がある。
本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、生産工程における異常を効率的に検出することができる生産システムを提供することを目的とする。
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明は、生産システムであって、被加工物に同一の第１工程の加工を行う複数の第１装置と、被加工物に第１工程後の同一の第２工程の加工を行う複数の第２装置と、該第１工程から該第２工程において、どの該被加工物が複数の第１装置のうちのどの該第１装置で加工されたかを記録する記録部と、該第１装置、該第２装置及び該記録部を制御する制御ユニットと、を備え、該第２装置は、それぞれ、被加工物を検査して不良を発見する検査部と、複数の第１装置のうちのどの該第１装置で加工した被加工物に不良が多いかを判定する判定部と、該判定部の判定結果を報知する報知部と、を備える。
また、本発明に係る生産システムは、複数の第１装置のうちのいずれかから複数の第２装置のうちのいずれかに被加工物を搬送する搬送ユニットをさらに備え、該制御ユニットは、該搬送ユニットを制御してもよい。
本発明によれば、生産工程における異常を効率的に検出することができるという効果を奏する。
図１は、実施形態に係る生産システムの構成例を示す模式図である。 図２は、実施形態に係る生産システムの機能構成例を示す模式図である。 図３は、実施形態に係る記録部により記憶される情報の概要を示す図である。 図４は、実施形態に係る検査結果格納部に記憶される情報の概要を示す図である。 図５は、実施形態に係る判定結果格納部に記憶される情報の概要を示す図である。 図６は、実施形態に係るエラー率の一例を示す図である。 図７は、実施形態に係る第２装置による処理の手順の一例を示すフローチャートである。
以下、図面を参照しつつ、本発明の実施形態を詳細に説明する。以下の実施形態に記載した内容により本発明が限定されるものではない。また、以下に記載した構成要素には、当業者が容易に想定できるもの、実質的に同一のものが含まれる。さらに、以下に記載した構成は適宜組み合わせることが可能である。また、本発明の要旨を逸脱しない範囲で構成の種々の省略、置換又は変更を行うことができる。
なお、本明細書及び図面において、実質的に同一の機能構成を有する複数の構成要素を、同一の符号の後に異なる数字を付して区別する場合もある。例えば、実質的に同一の機能構成を有する複数の構成を、必要に応じて第１装置３０－１～３０－４や、第２装置４０－１～４０－４のように区別して記載する。ただし、実質的に同一の機能構成を有する複数の構成要素の各々を特に区別する必要がない場合、同一符号のみを付して説明する。例えば、第１装置３０－１～３０－４を特に区別する必要が無い場合には、単に第１装置３０と記載し、第２装置４０－１～４０－４を特に区別する必要が無い場合には、単に第２装置４０と記載する。
図１は、実施形態に係る生産システムの構成例を示す模式図である。実施形態に係る生産システム１は、管理サーバー１０と、搬送ユニット２０と、複数の第１装置３０－１～３０－４と、複数の第２装置４０－１～４０－４とを備え、被加工物を量産するシステムである。
管理サーバー１０と、搬送ユニット２０と、複数の第１装置３０－１～３０－４と、複数の第２装置４０－１～４０－４とは、それぞれ、通信ネットワーク２に接続される。通信ネットワーク２は、たとえば、ＬＡＮ（Local Area Network）、ＷＡＮ（Wide Area Network）、電話網（携帯電話網、固定電話網等）、地域ＩＰ（Internet Protocol）網、インターネット等である。
生産システム１の構成は、図１に示す例に限定される必要はなく、第１装置３０及び第２装置４０以外の他の装置が含まれていてもよい。また、図１に示す例では、第１装置３０－１～３０－４の数と、第２装置４０－１～４０－４の数とが同一であるが、必ずしも同一である必要はない。
被加工物は、例えばシリコン等を母材とする円板状の半導体ウエーハである。被加工物の表面は、格子状の分割予定ラインによって複数の小領域に区画されており、かかる複数の小領域のそれぞれに、ＩＣ（Integrated Circuit）、ＭＥＭＳ（Micro Electro Mechanical Systems）等のデバイスが形成される。被加工物は、例えば裏面に貼着された粘着テープ（例えば、ダイシングテープ）３４を介して、被加工物を取り囲む環状フレームに支持されている。
なお、被加工物は、サファイア、ＳｉＣ（炭化ケイ素）などを母材とする光デバイスウエーハ、パッケージ樹脂基板、セラミックス基板、ガラス基板等であってもよく、材質、形状、構造、大きさ等に特に制限はない。同様に、デバイスの種類、数量、形状、構造、大きさ、配置等にも特に制限はない。また、被加工物にデバイスが形成されていなくてもよい。
被加工物には、例えば、生産単位で付与されるロット番号及び被加工物単位で付与される識別情報を記録した情報媒体が設置される。情報媒体は、２次元バーコードや２次元コード、或いはＲＦＩＤ（Radio Frequency IDentification）のＲＦタグなどを採用できる。
管理サーバー１０は、搬送ユニット２０、第１装置３０－１～３０－４、及び第２装置４０－１～４０－４を通じて、被加工物の生産に関わる複数の工程を管理する。管理サーバー１０は、通信ネットワーク２に接続され、かかる通信ネットワーク２を介して、搬送ユニット２０、第１装置３０－１～３０－４、並びに第２装置４０－１～４０－４と通信可能である。
搬送ユニット２０は、通信ネットワーク２に接続され、かかる通信ネットワーク２を介して、管理サーバー１０と通信可能である。搬送ユニット２０は、被加工物を搬送先の装置へ１枚ずつ搬送する。搬送ユニット２０は、管理サーバー１０の制御信号に従って、第１装置３０－１～３０－４で加工された被加工物を、１枚ずつ第２装置４０－１～４０－４に搬送する。
第１装置３０－１～３０－４は、それぞれ、被加工物を加工する同一の工程（第１工程）を実施する。第２装置４０－１～４０－４は、それぞれ、被加工物を加工する同一の工程（第２工程）を実施する。第２装置４０－１～４０－４は、第１装置３０－１～３０－４が被加工物に対して実施した第１工程に続く第２工程を実施する。
第１装置３０で実施される第１工程と第２装置４０で実施される第２工程との組合せを例示する。例えば、第１装置３０において被加工物をピックアップする第１工程の加工が実施され、この第１工程の加工に続いて、チップを基板にワイヤボンディングする第２工程の加工が第２装置４０において実施される場合が考えられる。また、第１装置３０において被加工物の表面に切削溝を形成する第１工程の加工が実施され、この第１工程に続いて、被加工物の裏面を研削してチップに分割する第２工程の加工が第２装置４０において実施される場合が考えられる。また、第１装置３０において被加工物の裏面を研削してチップに分割する第１工程の加工が実施され、この第１工程の加工に続いて、分割されたチップをピックアップする第２工程の加工が第２装置４０において実施される場合が考えられる。
図２は、実施形態に係る生産システムの機能構成例を示す模式図である。図２では、複数の第２装置４０－１～４０－４のうち第２装置４０－１に焦点を絞り、第１装置３０－１～３０－４から第２装置４０－１に被加工物が搬入された場合を想定して説明する。
〔管理サーバー１０〕
管理サーバー１０は、通信部１１と、記憶部１２と、制御ユニット１３とを備え、かかる各部により、生産システム１における生産工程の管理に関する各種処理を実行する。
通信部１１は、通信ネットワーク２と有線又は無線、或いは有線及び無線の組合せによって接続し、通信ネットワーク２を介して、搬送ユニット２０、第１装置３０及び第２装置４０と通信する。通信部１１は、例えばＮＩＣ（Network Interface Card）等によって実現される。
記憶部１２は、制御ユニット１３により実行される各種処理等の機能を実現するプログラムや、プログラムによる処理に用いられるデータなどを記憶する。記憶部１２は、ＨＤＤ（Hard Disk Drive）や半導体メモリ等により実装される。記憶部１２は、制御ユニット１３が備えるプロセッサがプログラムに記述された命令を実行する際の一時的な作業領域としても利用されてもよい。
記憶部１２は、記録部１２－１を備える。記録部１２－１は、例えば第１工程から第２工程において、どの被加工物がどの第１装置３０で加工されたかを記録する。図３は、実施形態に係る記録部により記憶される情報の概要を示す図である。
記録部１２－１に記録される情報は、被加工物に付与されるロット番号と、被加工物に付与される識別情報と、被加工物に対して第１工程を実施した第１装置３０の情報と、被加工物に対して第２工程を実施した第２装置４０の情報とを対応付けて構成される。被加工物に付与されるロット番号は、被加工物に生産単位ごとに一意付与される情報である。被加工物に付与される識別情報は、被加工物ごとに一意に付与される情報である。第１工程を実施した第１装置３０の情報は、例えば第１装置３０－１～３０－４のそれぞれに一意に割り当てられる情報である。第２工程を実施した第２装置４０の情報は、例えば第２装置４０－１～４０－４のそれぞれに一意に割り当てられる情報である。図３に示す例では、ロット番号：「Ｌ００１」並びに識別情報：「ａｂｃ１０１」が付与された被加工物に対して、第１装置３０－１により第１工程が実施され、第２装置４０－１により第２工程が実施されたことを示している。すなわち、記録部１２－１には、生産システム１において、被加工物を生産する生産工程のうち、どの工程がどの装置により実施されたかを追跡できる情報が記録される。
制御ユニット１３は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）などの演算処理装置と、ＲＯＭ（Read Only Memory）又はＲＡＭ（Random Access Memory）などの記憶装置と、入出力インタフェース装置とを備える。制御ユニット１３は、かかる各部により、管理サーバー１０の各種処理の機能や作用を実現または実行するコンピュータである。
制御ユニット１３による各種処理の機能等は、たとえば記憶装置に記憶されたプログラムにより提供される機能により実現される。すなわち、制御ユニット１３は、記憶装置に記憶されたプログラムを、演算処理装置がＲＡＭ等を作業領域として実行することにより実現される。制御ユニット１３の機能構成は、図２に示した構成例に特に限定される必要はなく、管理サーバー１０における各種処理を行うことができる構成であれば他の構成であってもよい。
制御ユニット１３は、搬送ユニット２０、第１装置３０、第２装置４０、及び記録部１２－１を制御する。
制御ユニット１３は、搬送ユニット２０に制御信号を送信することにより、搬送ユニット２０により実行される被加工物の搬送を制御する。制御ユニット１３は、第１装置３０から受信するロット番号に基づいて、ロット番号単位で被加工物が１枚ずつ第１装置３０から第２装置４０に搬送されるように、搬送ユニット２０に制御信号を送信する。
また、制御ユニット１３は、第１装置３０に制御信号を送信することにより、第１装置３０における第１工程の実施を制御する。同様に、制御ユニット１３は、第２装置４０に制御信号を送信することにより、第２装置４０における第２工程の実施を制御する。
また、制御ユニット１３は、第１装置３０及び第２装置４０から受信する被加工物のロット番号及び識別情報に基づいて、例えば第１工程から第２工程において、どの被加工物がどの第１装置３０で加工されたかの情報を記録部１２－１に記録する。例えば、制御ユニット１３は、第１装置３０及び第２装置４０からそれぞれ受信するロット番号及び識別情報を相互に突き合わせる。これにより、制御ユニット１３は、同一の被加工物に対する第１工程の加工、及びかかる第１工程の加工後の第２工程の加工が、それぞれどの第１装置３０及び第２装置４０で実施されかを特定する。制御ユニット１３は、特定結果に基づいて、生産工程を追跡するための情報を記録部１２－１に記録する。
また、制御ユニット１３は、第１工程の加工を実施した被加工物のロット番号及び識別情報を第１装置３０から取得すると、第１装置３０の情報とともに、第１装置３０から被加工物のロット番号及び識別情報を第２装置４０に送信する。
〔搬送ユニット２０〕
搬送ユニット２０は、通信部２１と、記憶部２２と、制御ユニット２３とを備える。
通信部２１は、通信ネットワーク２と有線又は無線、或いは有線及び無線の組合せによって接続し、通信ネットワーク２を介して、管理サーバー１０と通信する。通信部２１は、例えばＮＩＣ（Network Interface Card）等によって実現される。
記憶部２２は、制御ユニット２３により実行される各種処理等の機能を実現するプログラムや、プログラムによる処理に用いられるデータなどを記憶する。記憶部２２は、ＨＤＤ（Hard Disk Drive）や半導体メモリ等により実装される。記憶部２２は、制御ユニット３３が備えるプロセッサがプログラムに記述された命令を実行する際の一時的な作業領域としても利用されてもよい。
制御ユニット２３は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）などの演算処理装置と、ＲＯＭ（Read Only Memory）又はＲＡＭ（Random Access Memory）などの記憶装置と、入出力インタフェース装置とを備える。制御ユニット３３は、かかる各装置により、搬送ユニット２０の各種処理の機能や作用を実現または実行するコンピュータである。
制御ユニット２３は、管理サーバー１０から受信する制御信号に従って、第１装置３０から第２装置４０に被加工物を搬送する。
〔第１装置３０〕
第１装置３０－１は、被加工物に第１工程の加工を行う。図２に示すように、第１装置３０－１は、通信部３１と、記憶部３２と、制御ユニット３３とを備える。なお、第１装置３０－１と、第１装置３０－２と、第１装置３０－３と、第１装置３０－４とは、それぞれ同一の構成を有する。
通信部３１は、通信ネットワーク２と有線又は無線、或いは有線及び無線の組合せによって接続し、通信ネットワーク２を介して、管理サーバー１０と通信する。通信部３１は、例えばＮＩＣ（Network Interface Card）等によって実現される。
記憶部３２は、制御ユニット３３により実行される各種処理等の機能を実現するプログラムや、プログラムによる処理に用いられるデータなどを記憶する。記憶部３２は、ＨＤＤ（Hard Disk Drive）や半導体メモリ等により実装される。記憶部３２は、制御ユニット３３が備えるプロセッサがプログラムに記述された命令を実行する際の一時的な作業領域としても利用されてもよい。
制御ユニット３３は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）などの演算処理装置と、ＲＯＭ（Read Only Memory）又はＲＡＭ（Random Access Memory）などの記憶装置と、入出力インタフェース装置とを備える。制御ユニット３３は、かかる各装置により、第１装置３０－１の各種処理の機能や作用を実現または実行するコンピュータである。
制御ユニット３３は、管理サーバー１０の制御信号に基づく要求に応じて、図示しない加工手段等を制御し、搬入された被加工物に対して第１工程の加工を行う。
また、制御ユニット３３は、第１工程を実施する被加工物に設置された情報媒体からロット番号及び識別情報を読み取り、取得したロット番号及び識別情報を管理サーバー１０に送信する。第１装置３０－１は、被加工物に設置された情報媒体からロット番号及び識別情報を読み取る読取機能を提供する読取部を備えることができる。
〔第２装置４０〕
第２装置４０－１は、搬入された被加工物に対して第１工程後の第２工程の加工を行う。図２に示すように、第２装置４０－１は、通信部４１と、記憶部４２と、制御ユニット４３とを備える。なお、第２装置４０－１と、第２装置４０－２と、第２装置４０－３と、第２装置４０－４とは、それぞれ同一の構成を有する。
通信部４１は、通信ネットワーク２と有線又は無線、或いは有線及び無線の組合せによって接続し、通信ネットワーク２を介して、管理サーバー１０と通信する。通信部４１は、例えばＮＩＣ（Network Interface Card）等によって実現される。
記憶部４２は、制御ユニット４３により実行される各種処理等の機能を実現するプログラムや、プログラムによる処理に用いられるデータなどを記憶する。記憶部４２は、ＨＤＤ（Hard Disk Drive）や半導体メモリ等により実装される。記憶部４２は、制御ユニット４３が備えるプロセッサがプログラムに記述された命令を実行する際の一時的な作業領域としても利用されてもよい。
記憶部４２は、検査結果格納部４２－１と判定結果格納部４２－２とを備える。図４は、実施形態に係る検査結果格納部に記憶される情報の概要を示す図である。図５は、実施形態に係る判定結果格納部に記憶される情報の概要を示す図である。
図４に示す検査結果格納部４２－１に記憶される情報は、第１工程を実施した第１装置３０の情報と、被加工物のロット番号と、被加工物の識別番号と、加工不良等の不良の有無の情報とを対応付けて構成される。第１工程を実施した第１装置３０の情報は、例えば第１装置３０－１～３０－４のそれぞれに一意に割り当てられる情報である。ロット番号は、被加工物に生産単位ごとに一意付与される情報である。被加工物の識別情報は、被加工物ごとに一意に付与される情報である。加工不良の有無の情報は、後述する検査部４３－１による検査において被加工物に加工不良等の不良が発見されたか否かを示す情報であり、「有」は加工不良等の不良があったことを示し、「無」は加工不良等の不良がなかったことを示す。
図５に示す判定結果格納部４２－２に記憶される情報は、被加工物に付与されるロット番号と、エラー率が最も高かった被加工物に対して第１工程を実施した第１装置３０の情報とを対応付けて構成される。エラー率は、第２工程において、加工不良等の何かしらの不良が発見された被加工物の割合に該当する。図４に示す例では、ロット番号：「Ｌ００１」の被加工物に対して第１工程の加工を実施した第１装置３０－１～３０－４の中で、第１装置３０－２により第１工程の加工が行われた被加工物のエラー率が最も高かったことを示している。
制御ユニット４３は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）などの演算処理装置と、ＲＯＭ（Read Only Memory）又はＲＡＭ（Random Access Memory）などの記憶装置と、入出力インタフェース装置とを備える。制御ユニット４３は、かかる各装置により、第２装置４０－１の各種処理の機能や作用を実現または実行するコンピュータである。
制御ユニット４３は、管理サーバー１０の制御信号に基づく要求に応じて、図示しない加工手段等を制御して、搬入された被加工物に対し、第１工程に続く第２工程の加工を行う。
また、制御ユニット４３は、第２工程を実施する被加工物に設置された情報媒体からロット番号及び識別情報を読み取り、取得したロット番号及び識別情報を管理サーバー１０に送信する。制御ユニット４３は、被加工物に設置された情報媒体からロット番号及び識別情報を読み取る読取機能を提供する読取部を備えることができる。
また、制御ユニット４３は、図２に示すように、検査部４３－１と、判定部４３－２と、報知部４３－３とを備え、かかる各部により、第２装置４０－１の各種処理を実行する。
検査部４３－１は、被加工物を検査して不良を発見する。具体的には、検査部４３－１は、搬送ユニット２０により搬入されてくる同一のロット番号の各被加工物に対して第２工程の加工を実施する際に、加工不良等の何かしらの不良があるか否かを検査する。検査部４３－１により発見される不良として、第１工程の加工として第１装置３０によりピックアップされたチップに対して、第２工程の加工としてワイヤボンディングを行う際に発見されたチップの破損などを例示できる。検査部４３－１において、被加工物の検査を同一のロット番号ごとに実施するのは、被加工物の生産単位での品質のばらつきを排除した状態で、検査結果を相互に比較する趣旨である。
検査部４３－１は、管理サーバー１０から受信する第１装置３０の情報、被加工物のロット番号及び識別番号に基づいて、検査対象の被加工物が第１装置３０－１～３０－４のうちのどの装置により第１工程の加工が実施されたかを特定できる。すなわち、検査部４３－１は、検査対象の被加工物から読み取ったロット番号及び識別情報と、管理サーバー１０から受信するロット番号及び識別情報とを照合することにより、検査対象の被加工物に第１工程の加工を実施した第１装置３０を特定する。検査部４３－１は、第１装置３０ごとに、被加工物の検査結果（図４参照）を検査結果格納部４２－１に格納する。
判定部４３－２は、どの第１装置３０で加工した被加工物に不良が多いかを判定する。図６は、実施形態に係るエラー率の一例を示す図である。判定部４３－２は、検査結果格納部４２－１から、第１装置３０－１～３０－４の各々の検査結果を取得し、図６に示すように、第１装置３０－１～３０－４のそれぞれについて検査部４３－１により不良が発見された被加工物の割合を示すエラー率を算出する。判定部４３－２は、被加工物のロット番号と対応付けて、例えばエラー率が最も高かった第１装置３０の情報を判定結果格納部４２－２に格納する。なお、判定部４３－２は、エラー率が最も高かった第１装置３０の情報を格納する場合に特に限定される必要はなく、被加工物のロット番号と対応付けて、例えばエラー率が所定の基準を超える全ての第１装置３０の情報を記録してもよい。
報知部４３－３は、判定部４３－２の判定結果を報知する。報知部４３－３は、判定結果格納部４２－２に記憶されている判定結果を取得し、取得した判定結果をオペレータに報知する。報知部４３－３は、例えば、ロット番号：「Ｌ００１」の被加工物に対する第２工程の加工において、第１装置３０－２により第１工程の加工が実施された被加工物のエラー率が高かったことを報知する。報知部４３－３は、第２装置４０－１のタッチパネル（図示略）に判定結果を報知してもよいし、通信部４１を介して、管理サーバー１０に判定結果を送信してもよい。
図７を用いて、実施形態に係る第２装置による処理の一例を説明する。図７は、実施形態に係る第２装置による処理の手順の一例を示すフローチャートである。図７に示す処理は、制御ユニット４３が備える各部により実行される。
図７に示すように、判定部４３－２は、検査部４３－１において逐次実行される同一のロット番号が付与された被加工物についての検査が終了したか否かを判定する（ステップＳ１０１）。
判定部４３－２は、検査部４３－１において同一のロット番号が付与された被加工物についての検査が終了していないと判定した場合（ステップＳ１０１；Ｎｏ）、ステップＳ１０１の判定を繰り返す。
判定部４３－２は、検査部４３－１において同一のロット番号が付与された被加工物についての検査が終了したと判定した場合（ステップＳ１０１；Ｙｅｓ）、被加工物に対して第１工程の加工を実施した第１装置３０ごとに、エラー率を算出する（ステップＳ１０２）。
続いて、判定部４３－２は、ステップＳ１０２で算出したエラー率に基づいて、どの第１装置３０で加工した被加工物に加工不良が多いかを判定する（ステップＳ１０３）。
報知部４３－３は、判定部４３－２による判定結果を報知して（ステップ１０４）、図７に示す処理を終了する。
上述してきたように、実施形態に係る生産システム１は、複数の第１装置３０と、第２装置４０と、記録部１２－１と、制御ユニット１３とを備える。複数の第１装置３０は、被加工物に第１工程の加工を行う。第２装置４０は、被加工物に第１工程後の第２工程の加工を行う。記録部１２－１は、第１工程から第２工程において、どの被加工物がどの第１装置３０で加工されたかを記録する。制御ユニット１３は、第１装置３０、第２装置４０及び記録部１２－１を制御する。第２装置４０は、被加工物を検査して不良を発見する検査部４３－１と、どの第１装置３０で加工した被加工物に不良が多いかを判定する判定部４３－２と、判定部４３－２の判定結果を報知する報知部４３－３と、を備える。
これにより、生産システム１によれば、第１工程の加工を行う第１装置３０が検出できないような異常が発生したとしても、第１工程に続く次の第２工程の加工を行う第２装置４０が検出できる。
また、生産システム１によれば、記録部１２－１に記憶される情報に基づいて、同一の被加工物に対する第１工程の加工、及びかかる第１工程の加工後の第２工程の加工が、それぞれどの第１装置３０及び第２装置４０で実施されかを特定できる。このため、第１装置３０により第１工程の加工が実施された被加工物に対して第２工程の加工を実施する際、第２装置４０で検出される不良が特定の第１装置３０に偏っている場合、被加工物に対する加工不良の可能性を予知できる。
このようなことから、生産システム１によれば、生産工程における異常を効率的に検出することができる。
また、実施形態に係る生産システム１において、第１装置３０から第２装置４０に被加工物を搬送する搬送ユニット２０をさらに備え、制御ユニット１３は、搬送ユニット２０を制御する。これにより、生産システム１は、第１装置３０から第２装置４０に対する被加工物の搬送を効率的に制御できる。
上記の実施形態に係る生産システム１の処理は、同一のロット番号が付与された各被加工物に対して、異なる複数の装置によって同一の前工程の加工が行われた後、続く後工程の加工を１つの装置で実施される場合に、より効率的な運用が期待できる。なお、上記実施形態において、例えば第２装置４０より実施されるどの第１装置３０で加工した被加工物に不良が多いかの判定は、同一ロットの被加工物の数が少なく、第１装置３０ごとのエラー率を算出するのに十分なサンプルが判定材料（検査データ）として揃っていない場合、多くのロットを加工した後、十分なサンプルが揃ってから実施してもよい。
上記の実施形態に係る生産システム１の処理は、複数の第１装置３０により第１工程の加工が実施された同一ロット番号の被加工物が、第１工程に続く第２工程の加工を実施する１台の第２装置４０に集約されて搬入されてくる場合などに特に適用しやすい。なお、上記実施形態に係る生産システム１の処理は、同一ロットの被加工物について一連の工程を実施するシステムについて好適であるが、同一デバイスや同一製品の被加工物について一連の工程を実施するシステムについても同様に適用できる。
１ 生産システム
２ 通信ネットワーク
１０ 管理サーバー
１１ 通信部
１２ 記憶部
１２－１ 記録部
１３ 制御ユニット
２０ 搬送ユニット
２１ 通信部
２２ 記憶部
２３ 制御ユニット
３０－１～３０－４ 第１装置
３１ 通信部
３２ 記憶部
３３ 制御ユニット
４０－１～４０－４ 第２装置
４１ 通信部
４２ 記憶部
４２－１ 検査結果格納部
４２－２ 判定結果格納部
４３ 制御ユニット
４３－１ 検査部
４３－２ 判定部
４３－３ 報知部

Claims (2)

  1. 生産システムであって、
    被加工物に同一の第１工程の加工を行う複数の第１装置と、
    被加工物に第１工程後の同一の第２工程の加工を行う複数の第２装置と、
    該第１工程から該第２工程において、どの該被加工物が複数の第１装置のうちのどの該第１装置で加工されたかを記録する記録部と、
    該第１装置、該第２装置及び該記録部を制御する制御ユニットと、を備え、
    該第２装置は、それぞれ、
    被加工物を検査して不良を発見する検査部と、
    複数の第１装置のうちのどの該第１装置で加工した被加工物に不良が多いかを判定する判定部と、
    該判定部の判定結果を報知する報知部と、
    を備える生産システム。
  2. 複数の第１装置のうちのいずれかから複数の第２装置のうちのいずれかに被加工物を搬送する搬送ユニットをさらに備え、
    該制御ユニットは、該搬送ユニットを制御する請求項１に記載の生産システム。
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