KR20080054414A - 스퍼터링 타켓 조립체를 형성하는 관성 접합 방법 및그로부터 제조된 조립체 - Google Patents

스퍼터링 타켓 조립체를 형성하는 관성 접합 방법 및그로부터 제조된 조립체 Download PDF

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KR20080054414A
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찰스 이. 위커샴
제이슨 하그
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캐보트 코포레이션
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Abstract

스퍼터링 타겟 조립체를 형성하는 방법과 그로부터 제조된 스퍼터링 타겟 조립체가 설명된다. 방법은 납땜, 브레이즈 금속, 또는 그들의 합금을 사용하여 지지판에 스퍼터링 타겟을 접합하는 단계와, 지지판에 스퍼터링 타겟을 접합시킨 후에 납땜 또는 브레이즈 금속을 리플로우하는 단계를 포함한다.
스퍼터링 타겟 조립체, 리플로우, 납땜, 브레이즈 금속, 지지판

Description

스퍼터링 타켓 조립체를 형성하는 관성 접합 방법 및 그로부터 제조된 조립체 {INERTIAL BONDING METHOD OF FORMING A SPUTTERING TARGET ASSEMBLY AND ASSEMBLY MADE THEREFROM}
본 출원은, 2005년 9월 28일자로 출원되고, 참고문헌으로 전체 내용이 본 명세서에 합체되어 있는, 이전 미국 특허 가출원 제60/721,431호에 대하여, 35 U.S.C. 119(e) 항의 규정에 의거, 우선권을 주장한다.
본 발명은 스퍼터링 타겟 및 스퍼터링 타겟 조립체 뿐만 아니라 그 제조 방법에 관한 것이다. 본 발명은 또한 양호하게는 저온에서 스퍼터링 타겟 조립체를 제조하기 위한 접합 방법에 관한 것이다.
스퍼터의 응용 분야에서, 통상 스퍼터링 타겟 조립체는 스퍼터링 타겟 및 지지판을 갖는다. 예를 들어, 금속 타겟 또는 금속 타겟 블랭크(예컨대, 탄탈, 티타늄, 알루미늄, 구리, 코발트, 텅스텐 등)는 구리, 알루미늄 또는 그들의 합금 등의 지지판 플랜지 조립체와 같은, 지지판 상에 접합된다. 타겟과 지지판 사이에 우수한 열적 및 전기적 접촉을 달성하기 위해 부재는 납땜, 경납땜, 확산 접합, 클램핑의 수단에 의해 그리고 에폭시 시멘트 등에 의해 서로 통상 부착된다. 그러나, 고온의 방법으로 접합된 스퍼터링 타겟 조립체는, 사용시 조립체를 둘러쌀 수 있고 특히 타겟과 지지판의 열팽창 계수 사이에 큰 차이가 존재할 때 스퍼터링 타겟 조립체의 성능에 악영향을 미친다. 또한, 접합이 납땜, 경납땜 또는 확산 접합에 의해 상승된 온도에서 이루어질 때 발생되는 타겟 재료와 지지판 재료 사이의 차등 열팽창은, 금속 본체 내에서 기계적 응력의 매우 높은 단계가 생성된다. 기계적 응력은 종종 타겟 조립체의 편향을 일으키고 접합의 파손을 일으킬 수 있게 되어 타겟이 지지판으로부터 분리된다.
접합 공정은 또한 무게가 추가되고 사용되는 동안에 타겟 조립체의 탈결합이 갖는 위험을 생성한다. 탈결합의 위험은 점점 더 큰 타겟을 사용하게 되는 산업의 지속적인 진보에 의해 한층 더 가능성 있게 된다.
또한, 몇몇의 종래의 접합 방법에 관하여 고온은 타겟 금속 내에서 바람직하지 못한 그레인 성장을 초래할 수 있다.
본 발명의 특징은 타겟과 지지판 사이에 페일세이프 접합을 제공함으로써 접합해제 발생을 회피하는 스퍼터링 타겟 조립체를 형성하는 방법을 제공하는 것이다.
본 발명의 다른 특징은 타켓과 지지판의 경계면에서 열저항을 제어하기 위한 스퍼터링 타겟 조립체를 형성하는 방법을 제공하기 위한 것이다.
본 발명의 다른 특징은 지지판의 의도되지 않은 스퍼터링을 방지하는 스퍼터링 타겟 조립체를 형성하는 방법을 제공하는 것이다.
본 발명의 추가적인 특징 및 이점은 이하의 상세한 설명의 일부분 및 상세한 설명으로부터 나타낼 수 있는 일부분에서 기재될 수 있을 것이고, 본 발명의 실시에서 학습될 수도 있다. 본 발명의 목적 및 다른 이점은 첨부된 청구범위 및 상세한 설명에서 특정하게 지적된 요소 및 조합의 수단에 의해 실현되고 달성될 수 있을 것이다.
다른 이점 및 그들의 달성을 위해, 본 발명의 목적에 따라, 여기서 구체화되고 폭넓게 설명된 본 발명은 스퍼터링 타겟 조립체를 형성하는 방법에 관한 것이다. 방법은 전형적으로 금속으로 제조된 지지판 및 타겟을 접합하기 위해 제공된다.
또한 본 발명은 납땜 또는 브레이즈 금속의 관성 접합 및 전형적으로 상이한 열팽창 계수를 갖는 재료로부터 제조된 스퍼터링 타겟 블랭크와 지지판을 포함하는 스퍼터링 타겟 조립체를 제조하는 방법에 관한 것이다.
또한 본 발명은 조립체 부재 상에 정렬된 돌출부와 함께 돌출부를 수납하도록 구성된 다른 조립체 부재 상의 홈에 의해서 스퍼터링 타겟 조립체를 형성하는 방법에 관한 것이다. 납땜 또는 브레이즈 금속은 하나 또는 양쪽의 조립체 부재 상에 인가된다. 열은 돌출부의 표면과 홈 사이의 마찰에 의해 생성되어 돌출부가 연화되거나 변형을 발생시키고, 홈을 채우게 되고, 납땜 또는 브레이즈 금속의 연화 또는 유동을 발생시킨다. 돌출부가 경화될 때, 납땜 또는 브레이즈 금속과 함께 기계적 상호 체결 및 야금 접합은 타겟 및 지지판과 함께 형성된다. 기계적 상호 체결은 조립체 부재를 결합하는 납땜 또는 브레이즈 금속 접합과 함께 형성된다. 이와 같은 방법에서, 접합 및 기계적 체결이 형성되면, 납땜 또는 브레이즈 금속층이 리플로우되어, 조립체 부재에 접합을 개선하는 것이 양호해진다.
전술한 일반적인 설명 및 이후의 상세한 설명은 단지 예시적이고 설명적이며, 청구 범위와 같은 본 발명의 설명을 더 제공하도록 정해진 것을 이해할 수 있다.
본 출원의 일부분을 구성하고 통합된, 첨부 도면은 상세한 설명과 함께 본 발명의 다양한 태양을 도시하고, 본 발명의 원리를 설명하는 역할을 한다.
도1은 본 발명의 스퍼터링 타겟 조립체의 절취도이다.
도2는 본 발명의 돌출부 및 홈의 다양한 형상 및 크기의 절취도이다. 다른 형상 및 크기가 가능하다.
도3은 조립된 타겟과 지지판 사이에 형성되는 갭을 도시하는 본 발명의 스퍼터링 타겟 조립체이다.
도4는 타겟 및 지지판의 접합면의 경계면에서 형성되는 가스 셀을 포함하는 본 발명의 스퍼터링 타겟 조립체의 절취도이다.
본 발명은 양호하게는 저온에서, 지지 부재에 타겟 부재를 고정하는 단계를 포함하는 접합 공정에 의해 스퍼터링 타겟 조립체를 조립하는 방법에 관한 것이다. 본 방법은 복수의 돌출부를 갖춘 접합 측면을 갖는 조립체 부재와 복수의 홈을 갖춘 접합 측면을 갖는 조립체 부재가 돌출부를 수납하도록 구성됨으로써, 돌출부 및 상기 홈은 실질적으로 정합하는 위치설정 단계와, 돌출부 또는 홈을 갖는 하나의 조립체 부재의 적어도 일부분 상에 납땜 금속 또는 브레이즈 금속 또는 그들의 합금을 분배하는 단계와, 적어도 하나의 홈의 일부분과 적어도 하나의 돌출부의 일부분을 활주가능하게 접촉시키는 단계와, 홈을 적어도 부분적으로 채워서 적어도 하나의 돌출부에 의해 돌출부가 경화될 때 타겟 부재 및 지지 부재를 접합부를 부분적으로 변형시키는 단계를 포함한다. 방법은 접합 후에는 납땜 또는 브레이즈 금속을 리플로우시키는 단계를 더 포함한다. 그 후의 방법으로 접합 공정을 완료하도록 재경화하기 위해 납땜 또는 브레이즈 금속을 허용하는 단계를 포함한다.
본 발명의 적어도 하나의 실시예에서, 납땜, 브레이즈 금속, 또는 그들의 합금은 함께 결합되어진 조립체 부재의 하나 이상의 표면 상에 인가된다. 다시 말해서, 납땜, 브레이즈 금속, 또는 그들의 합금은 돌출부, 홈 또는 양쪽 모두를 갖는 조립체 부재 표면에 인가된다. 납땜, 브레이즈 금속, 또는 그들의 합금은 조립체 부재 사이의 접합을 발생시킨다. 납땜 또는 브레이즈 금속은 하나 또는 양쪽의 조립체 부재 상으로, 코팅과 같이 인가될 수 있다. 코팅은 평면 뿐만 아니라 홈에 의해 생성된 리세스를 코팅하는 균일한 코팅일 수 있고 그리고/또는 코팅이 평면 뿐만 아니라 돌출면에 인가되도록 코팅은 돌출부를 갖는 조립체 부재에 인가될 수 있다. 또한, 코팅은 홈을 갖는 조립체 부재 및 돌출부를 갖는 조립체 부재 양자 모두에 인가될 수 있다. 인가되는 코팅이 양호하게는 다른 조립체 부재와 접촉되어 접합되는 조립체 부재의 전체 표면적을 가로질러 균일하게 인가되지만, 이는 중요하지 않다. 일부의 표면은 다른 부분은 코팅되지 않은 상태에서 코팅될 수 있다. 납땜 또는 브레이즈 금속이 하나 이상의 표면 상으로 인가 또는 코팅될 수 있 는 하나의 방식은 열판 상에서 하나 또는 양쪽의 조립체 부재를 가열하고 조립체 부재 표면 전반에 걸쳐 납땜이 유동하는 것을 허용하는 것이다. 납땜 또는 브레이즈 금속을 구비한 표면의 습윤성은 초음파 교반 그리고/또는 용제를 사용함으로써 향상시킬 수 있다. 선택 사양으로, 임의의 잉여 납땜 또는 브레이즈 금속은 정밀한 납땜 또는 브레이즈 금속 치수를 얻기 위해서 기계 가공과 같은 것으로 제거될 수 있다. 확실히, 잉여 납땜 도는 브레이즈 금속의 제거는, 성형 공정과 같은 것을 사용하여, 납땜 또는 브레이즈 금속을 정밀하게 적용함으로써 완전하게 회피할 수 있다. 조립체 부재는, 돌출부가 홈 뿐만 아니라, 돌출부와 홈 사이 및 조립체 부재의 외경 내의 표면인 조립체 부재의 평면 안으로 변형되는 위치상에 적어도 양호하게 납땜 또는 브레이즈 금속의 접촉을 달성하고 홈 안으로 돌출부 또는 링을 단압(upset)하도록 충분한 힘을 제공하기 위해 관성 접합 인자를 사용하여 결합된다.
양호하게는, 스퍼터링 타겟 조립체는, 전술한 바와 같이, 두 개의 조립체 부재, 즉 지지판 부재 및 스퍼터링 타겟 부재를 포함한다. 스퍼터링 타겟 부재 및 지지판은 임의의 적절한 타겟 등급 및 지지판 등급 재료일 수 있다. 본 발명의 방법에 의해 접합될 타겟 재료에 관하여, 예들은 탄탈, 니오브, 코발트, 티타늄, 구리, 알루미늄 및 전술된 그들의 합금을 포함하지만, 이에 제한되지는 않는다. 지지판의 예들은 구리, 또는 구리 합금, 탄탈, 니오브, 티타늄, 알루미늄 및 탄탈텅스텐(TaW), 니오브텅스텐(NbW), 탄탈지르코늄(TaZr), 니오브지르코늄(NbZr), 탄탈니오브(TaNb), 탄탈티타늄(TaTi), 니오브티타늄(NbTi), 탄탈몰리브덴(TaMo), 니오 브몰리브덴(NbMo)과 같은 그들의 합금을 포함하지만, 이에 제한되지는 않는다. 제한은 스퍼터링 타겟 및 지지판에 사용된 재료의 유형에 대해 어떠한 제한도 존재하지 않는다. 지지 및 타겟 재료의 두께는 스퍼터링 타겟을 형성하기 위해 사용된 임의의 적절한 두께가 될 수 있다. 다르게는, 지지판 및 지지판 상에 접합될 타겟 재료 또는 다른 금속판은 원하는 용도를 위해 임의의 적절한 두께일 수 있다. 지지판 및 타겟 재료의 적절한 두께의 예는, 약 0.635 ㎝ (0.25 in) 이하 내지 약 5.08 ㎝ (2 in) 이상의 두께를 갖는 지지판과, 약 0.1524 ㎝ (0.060 in) 내지 2.54 ㎝ (1 in) 이상인 범위의 두께를 갖는 타겟을 포함하지만, 이에 제한되지는 않는다. 본 발명에서는, 예를 들어 전체 내용이 참고문헌으로 본 명세서에 통합되어 있는 미국특허 제6,348,113호에 설명된 바와 같이 지지판 상에 접합될, 타겟 재료가 종래의 타겟 등급 재료일 수 있다. 스퍼터링 타겟은 또한 본 산업에서 통상적인 중간층을 가질 수 있다. 더욱이, 스퍼터링 타겟은 중공의 양극 마그네트론 스퍼터링 타겟일 수 있고, 고정 또는 회전 영구 전자석을 합체한 평면 마그네트론 조립체와 같은 다른 형태의 스퍼터링 타겟일 수 있다. 순도, 조직, 및/또는 그레인 크기 및 다른 인자를 포함하는 크기 및 그와 같은 것은 본 발명에서 중요한 것은 아니다. 본 발명은 임의의 유형의 스퍼터링 타겟 및 지지판을 갖춘 스퍼터링 조립체를 제조하는 방법을 제공한다.
본 발명을 실시하는데 사용되는 타겟 부재는 두 개의 측면인, 스퍼터링 측면과 스퍼터링 측면에 대향하는 접합 측면을 포함한다. 본 발명의 지지 부재는 두 개의 측면인, 접합 측면과 접합 측면에 대향하는 후방 측면을 포함한다. 본 발명 의 스퍼터링 타겟 조립체는 지지 부재의 접합 측면에 타겟 부재의 접합 측면을 고정시킴으로써 형성 또는 조립된다. 타겟 부재의 접합 측면과 지지 부재의 접합 측면 사이의 영역에 의해 경계면이 한정된다. 접합 측면은 서로 고정될 수 있어서, 지지 부재의 접합 측면의 표면과, 타겟 부재의 접합 측면의 표면이 실질적으로 접촉하고, 접합 측면의 표면이 실질적으로 접촉되지 않거나, 중간층이 접합 측면의 표면의 일부분 사이에 개재될 수 있다. 중간층은 접합 매체일 수 있다. 중간층은 또한 포일, 판 또는 블럭의 형태일 수 있다. 중간층 재료의 예는, 미국 특허 제5,863,398호 및 미국 특허 6,097,389호에서 기초한 바와 같은 티타늄과, 미국 특허 제5,693,203호에 기초한 바와 같은 구리, 알루미늄, 은, 니켈 및 그들의 합금(예컨대, 니켈-바나듐)과 미국 특허 제6,183,613 B1호에 기초한 흑연, 지르코늄 등의 종래의 기술을 포함할 수 있지만, 제한되지 않으며, 그 전체 내용이 참고문헌에서 본 명세서에 통합되어 있다.
타겟 부재 및 지지 부재는 상이한 융점을 갖는 재료로 제조될 수 있다. 홈은 다른 부재를 제조하는 재료의 융점보다 더 높은 융점을 갖는 부재(타겟 또는 지지 부재)의 접합 측면에 형성될 수 있다. 양호하게는, 타겟 부재는 지지 부재를 제조하는 재료의 융점보다 더 높은 융점을 갖는 재료로 제조된다. 홈은 기계 가공을 포함하는 임의의 적절한 방법에 의해 형성될 수 있다. 홈은 연장된 홈 트랙, 채널, 또는 공동이 형성되기 위해 길이방향의 치수를 갖도록 형성될 수 있다. 양호하게는, 홈 공동은 연속적인 오목 트랙을 형성하기 위하여 환형이다. 하나 이상의 공동이 접합 측면에 형성될 수 있다. 다중 홈 공동이 동심원으로 배열될 수 있 다.
홈 공동의 개구는 돌출부를 갖는 부재 상의 돌출부를 수납하도록 구성된다. 즉, 홈 개구는 돌출부가 개구 안으로 통과하는 것을 허용하도록 충분한 치수 및 형상으로 되어 있다. 홈의 개구 내부의, 홈의 직경은 증가하거나, 감소하거나 또는 일정하게 유지될 수 있다. 홈의 내부는 임의의 형상 및 용적일 수 있다. 도2는 홈설계에 대한 변형예를 도시하고 있고, 다른 것도 가능하다. 홈의 단면은 대체로 사각형, 직사각형, "T", "L", 반원, 절두 삼각형, 첨단형, 나비 넥타이 등을 형성할 수 있다. 상호 체결 설계는 중첩에 의한 돌출부와 홈의 결합에서 홈의 형상으로부터 초래되고, "L" 형상과 같이 설계된, 홈 개구 뿐만 아니라 다양한 다른 설계의 직경보다 큰 홈의 내부 직경에서 대체로 홈을 포함한다. 또한, 하나 이상의 홈 공동을 갖는 부재에 있어서, 홈 공동의 형상은 유사하거나 상이할 수 있다. 또한, 임의의 홈 공동은 홈 공동의 길이를 따라 형상이 변동될 수 있다. 홈은 약 0.0254 ㎝ (0.01 in) 이하 내지 약 1.27 ㎝ (0.5 in) 이상, 그리고 양호하게는 약 0.0635 ㎝ (0.025 in) 내지 0.1905 ㎝ (0.075 in)와 같은 깊이일 수 있다.
돌출부는 다른 부재를 제조하는 재료의 융점보다 낮은 융점을 갖는 부재의 접합 측면에 형성될 수 있다. 양호하게는, 지지 부재는 타겟 부재를 제조하는 재료의 융점보다 낮은 융점을 갖는 재료로 제조된다. 돌출부는 기계 가공을 포함하는 임의의 적절한 방법에 의해 형성될 수 있다. 돌출부는 말단부와, 부재의 접합 측면에 부착되는 대향 선단부를 갖는다. 말단부는 돌출부가 홈 내장 부재의 대응 홈의 개구에 진입되어 홈의 내부의 표면과 접촉하는 것을 허용하는 형상 및 치수로 되어 있다. 돌출부는 임의의 치수 또는 형상으로 될 수 있다. 도2는 돌출부 설계에 대한 변형예를 도시하고 있고 다른 것도 가능하다. 돌출부의 단면은 대체로 직사각형, 삼각형의 형태 또는 다른 적절한 형상을 형성할 수 있다. 돌출부는 임의의 규칙적 또는 불규칙적 형상일 수 있다. 돌출부는 원통형, 원뿔형, 절두 원뿔형, 입방형, 육면체형, 피라미드형, 오벨리스크형, 쐐기형 등과 같은 형상일 수 있다.
돌출부는 부재의 접합 측면 상에 배열되어, 돌출부가 다른 부재의 접합 측면 상의 대응 홈에 정합될 수 있다. 특히, 홈 내장 부재는 돌출부 내장 부재 상의 돌출부의 개수보다 많은 수의 홈 공동을 포함할 수도 있다. 즉, 모든 홈이 대응 돌출부를 갖는 것을 필요로 하는 것은 아니다. 돌출부는 필요시 이격될 수 있다. 예를 들어, 돌출부는 연속적인 리지(ridge)에 근접하기 위해 줄 내에 하나의 다른 것에 너무 근접하여 이격될 수 있다. 다중 돌출부는 열로 배열될 수 있다. 양호하게는, 돌출부는 원형으로 배열된다. 홈의 다중의 열은 홈 내장 부재 내의 홈에 정합하는데 사용될 수 있다. 양호하게는, 돌출부의 다중 열은 동심원으로 배열된다. 열의 임의의 일 돌출부의 형상 및 치수는 동일 열의 다른 돌출부와 상이할 수 있다. 마찬가지로, 돌출부의 동심 열은 상이한 형상 및 치수의 돌출부를 포함할 수 있다. 돌출부의 선단부로부터 돌출부의 말단부까지 측정된 돌출부의 높이는 0.0254 ㎝ (0.01 in) 이하 내지 1.27 ㎝ (0.5 in) 이상이고, 양호하게는 약 0.127 ㎝ (0.05 in) 내지 약 0.508 ㎝ (0.2 in) 일 수 있다. 돌출부는 약 0.000645 ㎠ (0.0001 in2) 내지 1.6129 ㎠ (0.25 in2)와 같은 임의의 단면일 수 있다. 양호하게는, 돌출부는 구리-크롬 또는 구리-아연 합금으로 제조된다.
브레이즈 합금 또는 브레이즈 금속 또는 납땜 합금 또는 납땜 금속은 하나 이상의 접촉면 상에 위치되고, 돌출부 상의 표면 및/또는 홈 상의 표면을 포함할 수 있다. 납땜은 고상 또는 액상일 수 있다. 양호하게는, 브레이즈 또는 납땜 합금 (또는 금속)은 적어도 400 ℃의 융점을 갖는다. 브레이즈 또는 납땜 합금 또는 금속은 전술한 방식으로 돌출부 표면과 홈 표면 사이의 접촉으로부터 발생되는 마찰열에 의해 용융된다. 브레이즈 또는 납땜 금속 또는 합금의 존재는 접촉면 사이의 접합을 강화 또는 허용한다. 납땜 또는 브레이즈 재료의 예는, 은, 니오브, 주석, 인듐, 아연, 납, 안티몬, 비스무트, 알루미늄, 금, 카드뮴, 갈륨, 구리, 니켈, 바나듐, 티타늄 또는 지르코늄 또는 그들의 합금(예컨대, 주석-납 또는 주석-은 납땜)을 포함하지만, 이에 제한되지는 않는다. 납땜 또는 브레이즈 금속은 임의의 방법에 의해 인가될 수 있고, 양호하게는 액체로 인가된다. 예를 들어, 납땜 또는 브레이즈 금속은, 약 0.5 ㎜와 같이 약 0.1 ㎜ 내지 약 1 ㎜의 두께를 갖는 층을 형성하도록 인가될 수 있다. 납땜 또는 브레이즈 금속은 용제와 함께 또는 용제 없이 사용될 수 있다. 마찰 브레이징은 양호하게는 마찰 용접보다 소정의 접합을 형성하는데 에너지를 덜 필요로 한다. 예를 들어, 마찰 브레이징은 양호하게는 마찰 용접에 의한 것과 유사한 접합을 형성하는데 약 1 내지 90% 에너지를 덜 필요로 한다.
지지 부재 및 타겟 부재를 위치설정 하는 단계는 각각의 돌출부가 안내될 수 있는 그 안으로 대응 홈을 갖도록 하나를 다른 하나에 인접하게 정렬시키는 단계를 포함한다. 돌출부를 그 대응 홈과 활주가능하게 접촉시키는 단계는, 양면 모두의 표면이 접촉하도록 홈 안으로 돌출부를 안내하는 단계를 포함한다. 홈의 표면과 돌출부의 표면의 초기 접촉 단계는, 타겟 부재를 향해 지지 부재를 이동하는 것, 지지 부재를 향해 타겟 부재의 이동하는 것 또는 지지 부재와 타겟 부재가 서로를 향해 이동하는 것으로 홈의 개구를 통해 돌출부의 말단부를 유도하는 단계와, 적어도 몇몇 돌출부의 표면과 적어도 몇몇 홈의 표면 사이에 제조된 접촉 지점을 연속하는 단계를 포함한다. 이러한 일 예가 도1에 도시된다.
활주 접촉은 돌출부 및 홈 표면이 그들 사이에 접촉이 유지하면서 서로에 대해 측방향으로 이동하게 될 때 이루어진다. 돌출부와 홈 표면 사이의 상대 이동은 타겟 부재, 지지 부재 또는 양자 모두를 변위시킴으로써, 달성될 수 있다. 돌출부와 홈 표면 사이의 상대 이동은 지지 부재 및 타겟 부재의 다양한 이동을 포함할 수 있다. 예를 들면, 운동의 방향이 주기적으로 역전되는 전후 이동이 사용될 수 있고, 또는 양호하게는, 이동은 타겟 및 지지 부재의 축을 중심으로 원형 방향으로일 수 있다. 양호하게는, 지지 부재는 타겟 부재가 고정된 상태로 유지되면서 그 축을 중심으로 회전된다.
회전 속력은 변경될 수 있고 역전될 수 있다. 회전 속도는 약 1 내지 10,000 rpm 이상과 같은 임의의 속력일 수 있다. 예를 들면, 회전 속력은 약 500 rpm 이하 내지 약 2,000 rpm 이상, 양호하게는 약 1,500 rpm 내지 약 3,000 rpm 일 수 있다. 회전 속력은, 예를 들어, 약 0 m/min 내지 약 4,000 m/min 이상, 양호하게는 약 600 m/min 내지 약 2,000 m/min 일 수 있다. 다른 회전 속력도 가능하다. 부재를 접합하기에 충분한 관성 회전 속력이 사전 설정될 수 있다. 회전수도 사전 설정될 수 있다. 회전 지속 시간도 사전 설정될 수 있다. 관성 회전 속도로부터 0 rpm으로 감속하는 시간은 약 1 초 내지 약 100 초, 예를 들면, 약 1,250 rpm의 회전 속도로부터 약 5 초 내지 약 10 초일 수 있다. 다른 감속 시간도 가능하다. 상술된 방식으로 조립체 부재의 접합이, 예를 들어 100 kJ/㎡ 이하 내지 약 8,000 kJ/㎡ 이상, 예를 들면, 6,000 kJ/㎡ 내지 약 8,000 kJ/㎡의 회전 에너지에 의해 달성될 수 있다. 다른 회전 에너지도 가능하다.
돌출부는 회전축에 대해 임의의 특정 돌출부의 영역에서 각속도가 변경되도록 구성될 수 있다는 것을 알 수 있을 것이다. 회전은 돌출부의 표면과 홈의 표면 사이에 초기 접촉이 이루어지기 전에, 심지어는 돌출부가 홈의 개구로 진입하기 전에 시작될 수 있다.
돌출부와 홈의 표면을 활주가능하게 접촉시키면서, 결합 또는 단조력 또는 압력은 타겟 부재의 접합 측면과 지지 부재의 접합 측면 사이의 경계면의 전체 방향으로 축 방향으로 인가된다. 힘은 타겟 부재, 지지 부재 또는 양자 모두를 통해 인가될 수 있다. 양호하게는, 힘은 타겟 부재의 방향으로 지지 부재에 인가된다. 이렇게 인가된 결합력은 일정하거나 변경될 수 있다. 결합력은 약 10 kN 내지 약 1,000 kN 과 같은 임의의 힘이거나, 또한 홈 안으로 돌출부의 변형이 가능하도록 충분한 힘을 제공하기 위한 임의의 양일 수 있다. 요구되는 힘은 접촉 영역 및 지 지판 재료의 유동 응력에 의존할 것이다. 예를 들어, 결합 압력은 약 50 mPa 이하 내지 약 250 mPa 이상이고, 예컨대, 황동 지지판 재료를 위해서는 양호하게는 약 150 mPa 내지 약 200 mPa일 수 있다. 다른 결합 압력 또는 힘이 가능하다.
돌출부의 부분 변형은 돌출부가 경화될 때 그들의 상호 체결, 연결 또는 타겟 부재 및 지지 부재를 달리 접합하고 실질적으로 홈의 형상과 맞물리기 위해 접촉 지점에서 변형 또는 연화되는 돌출부를 초래하는 돌출부 및 홈 표면의 접촉으로부터 생성되는 마찰에 의해 열이 발생되었을 때 실행된다. 상술된 방식으로 홈과 돌출부를 접촉함으로써 발생된 마찰은 마찰이 일어나는 구역의 상승된 온도까지 홈의 표면과 돌출부의 표면을 가열한다. 국부 가열은 저융점 재료를 연화시키고 부분적으로 변형시킨다. 돌출부의 변형은 홈과 접촉하는 영역에서 일어난다. 양호하게는, 돌출부의 변형은 돌출부의 말단부에서 일어난다. 돌출부의 연화된 재료는 홈의 리세스 안으로 유동한다. 돌출부가 변형됨에 따라, 돌출부의 전체 길이는 양호하게는 단축되고, 지지 부재 및 타겟 부재는 압력이 경계면의 방향으로 인가되는 동안 서로 더 밀접하게 이동한다. 소정량의 돌출부 변형이 달성되었을 때, 타겟 부재와 접합 부재 사이의 상대적인 측방향 이동은 정지될 수 있다. 냉각될 때, 돌출부의 변형된 부분은 홈 내에서 경화되어, 타겟 부재와 지지 부재 사이에 기밀한 물리적 연결을 그리고 몇몇의 경우에 선택적인 야금 접합을 생성한다. 납땜 또는 브레이즈 금속이 사용될 때, 접합은 납땜 또는 브레이즈 금속 층과 함께한다.
상술된 바와 같이 홈과 돌출부를 활주가능하게 접촉시키는 양호한 방법은, 타겟 부재 또는 지지 부재의 회전을 제공하고 결합력을 제공하도록 마찰 용접 기계 를 사용하는 것이다. 예를 들어, 전체 내용이 참고문헌으로 본 명세서에 합체되어 있는 미국 특허 제5,342,496호(스텔레크)에 설명된 것을, 포함하여, 임의의 유형의 마찰 용접 기계가 사용될 수도 있다. 커버 가스는 결합 공정 동안 금속이 산화하는 것을 방지하고 스퍼터링 타겟 적용을 위한 것과 오염으로부터 타겟 사용자를 보호하기 위해 아르곤으로 임의의 빈틈을 채우기 위해 사용될 수 있다. 양호하게는, 커버 가스는 불활성 가스이고, 보다 양호하게는 아르곤이다. 또한, 도펀트 가스는 침입형 경화제 또는 다른 작용제로 가열된 구역을 도프하기 위해 커버 가스에 부가될 수 있다.
돌출부의 형상 및 치수는 다양한 이유로 변경될 수 있다. 예를 들어, 접합면 사이의 거리가 감소되었을 때 다른 돌출부가 홈의 표면과 접촉하는 동안 홈과 초기에 접촉할 몇몇 돌출부를 갖는 것이 바람직할 수도 있다. 본 발명의 선택적 실시예에 따른 다른 예는 갭이 돌출부가 갭에서 간헐적으로 노출된 상태로 형성된 로킹 접합을 형성한 후에, 지지 부재의 접합면의 일부분과 타겟 부재의 접합면의 일부분 사이에 형성될 수 있다는 것이다. 이러한 갭을 형성하기 위한 하나의 방법은, 예를 들면, 홈의 체적보다 큰 돌출부의 체적을 가짐으로써 홈은 돌출부의 말단부 및 홈의 개구의 외측을 유지하는 선단부의 변형에 의해 실질적으로 채워진다. 도3은 본 발명의 선택적 실시예의 일례를 도시한다. 갭은, 약 0.00254 ㎝ (0.001 in) 이하 내지 0.635 ㎝ (0.25 in) 이상과 같은 임의의 폭이 될 수 있다. 갭의 폭은 접합된 부재 사이의 임의의 지점에서 변경될 수 있다. 소정의 실시예에서, 스퍼터링 공정 동안 타겟과 지지판 사이에 열 전달 또는 교환을 제어하는 것이 바람 직하다. 타겟과 지지판 사이에 갭을 형성하는 것은 둘 사이의 열 전달을 감소시켜, 스퍼터링 공정 동안 타겟의 온도가 증가된다. 타겟의 온도를 증가시키는 것은 반응 스퍼터링을 위한 상태를 안정화시키고, 방사적인 가열에 의해 기판의 온도를 증가시키고, 그리고 스퍼터링된 원자의 방출 궤도를 넓혀서, 증착된 필름의 두께의 균일성을 촉진시키는 소정의 효과를 가질 수 있다.
상술된 바와 같이, 조립체 부재가 홈 안으로의 돌출부의 기계적 결합을 형성하도록 서로 활주가능하게 접촉될 때, 이러한 접촉으로부터 야기되는 힘과 열은 납땜 또는 브레이즈 금속을 유동하게 만들고 두 개의 조립체 부재 표면 사이에 납땜 또는 브레이즈 금속 접합을 허용한다. 따라서, 납땜 또는 브레이즈 금속은 조립체 부재 표면과의 접합을 형성한다. 양호하게는, 납땜 또는 브레이즈 금속은 조립체 부재 표면 사이에서 균일하고 완전하여, 조립체 부재 표면 사이에 접합을 형성한다. 이 결합 공정 동안, 몇몇의 과잉 납땜 또는 브레이즈 금속은 조립 부재의 외경부로부터 유출될 수도 있다.
그 후에, 결합된 조립체 부재는 대기 온도로 복귀하여, 홈 안으로의 돌출부의 변형에 의해 형성된 기계적 접합 뿐만 아니라, 납땜 또는 브레이징 금속에 의한 접합에 의해 두 개의 조립체 부재 사이에 접합을 형성한다. 이 단계 후에, 납땜 또는 브레이즈 금속 리플로우 단계가 수행된다. 리플로우 단계는 납땜 또는 브레이즈 금속 융점 이상의 온도(예컨대, 납땜 또는 브레이즈 금속 융점 위로 1 ℃ 내지 50 ℃ 의 온도)로 접합된 조립체를 가열하는 것을 포함할 수 있다. 예를 들어, 대략 220 ℃의 융점을 갖는 주석-은 납땜의 경우에서, 접합된 조립체는, 5 분 정도 와 같은 대략 수분 동안, 220 ℃ 이상으로, 적외선 가열기에 의해서와 같이 임의의 수단에 의해서 가열된 다음에 냉각될 수 있다. 납땜 또는 브레이즈 금속이 융점 및 리플로우를 얻도록 하는, 리플로우 단계는 추가적인 납땜 또는 브레이즈 금속이 접합된 조립체의 모서리로부터 유동하는 것을 초래할 수 있다. 접합된 조립체가 대기 온도로 냉각되게 만든 후에, 조립체 부재 사이의 접합 품질은 양호하게는 크게 향상된다. 이 납땜 또는 브레이즈 금속 리플로우 단계 전후의 접합된 조립체의 분석은 적외선 일시 열화상(infrared transient thermography imaging)으로 볼 수 있고, 리플로우 단계를 수행한 후에 결합된 판 사이에서 균일 열전도도가 더 좋아진 것을 명확하게 도시한다. 따라서, 리플로우 단계는 조립체 부재 사이의 접합을 향상시키고 추가로 조립체 부재 사이에 보다 균일한 접합을 생성한다.
본 발명의 선택적 실시예에서, 복수의 측면 또는 벽을 갖는 적어도 하나의 셀 부재가 타겟 부재와 지지 부재의 접합면 사이의 경계면 근처에 형성된다. 양호하게는, 셀 부재는 가장 큰 스퍼터링 부식 영역에 위치된다. 하나 이상의 셀 부재가 형성될 수 있다. 셀 부재는 가스로 채워질 수 있다. 셀 부재 내의 가스는 불활성 가스, 양호하게는 아르곤일 수 있다. 셀 부재는, 예를 들면, 직사각형 또는 구면과 같은 임의의 형상일 수 있다. 셀 부재의 형상은 규칙적이거나 비규칙적일 수 있다. 다중 셀 부재는 상이한 형상을 가질 수 있다. 셀 부재 내의 가스의 압력은 약 10.1325 kPa (0.1 atm) 내지 1013.25 kPa (10 atm)이상, 양호하게는 약 101.325 kPa (1 atm)일 수 있다. 셀 부재는, 약 16.387064 ㎠ (0.1 in2) 내지 163.87064 ㎠ (10 in2)와 같은 임의의 용적일 수 있다. 셀의 단면 치수는 약 0.0254 ㎝ (0.01 in)× 0.254 ㎝ (0.1 in) 내지 약 0.635 ㎝ (0.25 in)×5.08 ㎝ (0.2 in), 보다 양호하게는 0.127 ㎝ (0.05 in)× 1.27 ㎝ (0.5 in) 내지 0.254 ㎝ (0.1 in)× 2.54 ㎝ (1 in) 일 수 있다. 양호하게는, 셀 부재의 적어도 하나의 측면은 타겟 부재의 접합면의 일부분이다. 도4는 실시예의 일 예를 도시한다. 셀 부재의 하나 이상의 벽이 타겟 부재의 일부분에 의해 한정될 수 있다. 셀 부재의 하나 이상의 벽이 지지 부재의 일부분에 의해 한정될 수 있다. 셀 부재는 지지 부재 내에 전체적으로 형성될 수 있다. 셀 부재는 타겟 부재 내에 전체적으로 형성될 수 있다. 셀 부재는 두 개의 돌출부 사이의 영역의 돌출부 내장 부재에 대체로 형성될 수 있다. 셀 부재는 두 개의 홈 사이의 영역의 홈 내장 부재에 대체로 형성될 수 있다. 셀 부재는 돌출부 내장 부재, 홈 내장 부재 또는 양자 모두에 포켓을 형성함으로써 형성될 수 있다. 셀 부재는 지지 부재에 타겟 부재를 결합함으로써 형성된다. 가스는 셀 부재가 형성될 때에 셀 부재에 주입될 수 있다. 가스는 가스 하에서 지지 부재와 타겟 부재를 결합시킴으로써 셀 부재 내에 주입될 수 있다. 본 발명의 타겟 부재의 접합 측면과 지지 부재 사이에 갭이 형성되는 일 실시예에서, 셀 부재는 양호하게는 홈의 가장 깊은 부분에 인접한 영역 내의 타겟 부재에 전체적으로 형성된다.
셀 부재는 타겟 사용자가 지지판 안으로 스퍼터링하는 것을 방지하기 위한 기구이다. 셀 부재는 셀 부재에 인접한 타겟 층이 소정의 두께로 부식될 때 파열 된다. 셀 부재가 파열될 때, 스퍼터링 공정이 일어나는 스퍼터링 챔버에서 과도 압력이 발생하고 압력모니터는 사용자에게 스퍼터링 공정을 멈추도록 신호를 보낸다. 본 목적을 위한 압력 모니터의 예는 커패시턴스 압력계 또는 피라니 게이지이다.
본 발명의 전술된 버전은 저온에서 보다 적은 에너지로 음향 접합을 포함하여 많은 장점을 갖는다. 돌출부 및 홈의 접합 또는 결합은 약 1×10-8 ㎤/sec 이하 (예컨대, 1×10-5 내지 1×10-8 ㎤/sec)와 같이 낮은 누수율로 특징지워지는 실질적으로 기밀 밀봉을 형성할 수 있다.
본 출원인들은 본 개시 내용에 모든 인용된 참고문헌의 전체 내용을 구체적으로 합체하고 있다. 또한, 양, 농도, 또는 다른 값 또는 파라미터가 범위, 양호한 범위, 또는 상위의 양호한 값 및 하위의 양호한 값의 목록으로 주어질 때, 이는 범위가 별도로 개시되는 것과 상관없이, 임의의 쌍의 상위 범위 제한 또는 양호한 값 및 하위 범위 제한 또는 양호한 값으로부터 형성되는 모든 범위를 특정하여 개시하는 것으로서 이해되어야 한다. 본 명세서에 수치값의 범위가 기술되지 않은 경우, 달리 명시되어 있지 않으면, 범위는 범위 내에 종점, 그리고 모든 정수 및 분수를 포함하는 것으로 의도된다. 본 발명의 범주가 범위를 한정할 때 기술되는 특정 값에 제한되는 것으로 의도되지 않는다.
당업자라면 본 명세서에 개시되어 있는 본 발명의 실시와, 본 명세서를 고려하여 본 발명의 다른 실시예들을 명확히 알 수 있을 것이다. 본 명세서 및 예들은 단지 예시적인 것으로 고려되어야 하고, 본 발명의 진정한 범주 및 기술 사상은 후속의 청구범위 및 그 균등물에 의해 표시되는 것으로 의도된다.

Claims (37)

  1. 지지 부재 및 타겟 부재를 포함하는 스퍼터링 타겟 조립체를 형성하는 방법이며,
    복수의 돌출부를 갖춘 접합 측면을 갖는 부재와, 상기 돌출부를 수용하도록 구성된 복수의 홈을 갖춘 접합 측면을 갖는 부재를 위치설정시키는 단계로서, 이에 의해 상기 돌출부 및 상기 홈은 실질적으로 정합하고, 상기 접합면에 의해 경계면이 한정되는 단계와,
    접합 측면 상의 적어도 하나의 부재의 적어도 일부분 상에 납땜 금속 또는 합금, 브레이즈 금속 또는 합금, 또는 그들의 조합을 배치하는 단계와,
    적어도 하나의 홈의 일부분과 적어도 하나의 돌출부의 일부분을 활주가능하게 접촉시키는 단계와,
    상기 적어도 하나의 홈을 적어도 부분적으로 채워서 타겟 부재와 지지 부재 사이에 적어도 기계적 접합을 형성하고, 상기 돌출부와 상기 홈 사이에 적어도 접합을 형성하도록 상기 적어도 하나의 돌출부를 부분적으로 변형시키는 단계로서, 상기 홈을 갖는 상기 부재는 돌출부를 포함하는 금속의 융점보다 더 높은 융점을 갖는 금속인 단계와,
    상기 납땜 금속 또는 합금, 브레이즈 금속 또는 합금, 또는 그들의 조합을 리플로우하도록 리플로우 단계를 수행한 다음에, 상기 납땜 금속 또는 합금, 브레이즈 금속 또는 합금을 경화시키는 단계를 포함하는, 스퍼터링 타겟 조립체를 형성 하는 방법.
  2. 제1항에 있어서, 상기 돌출부를 갖는 상기 부재는 타겟 부재이고 상기 홈을 갖는 상기 부재는 상기 지지 부재인, 스퍼터링 타겟 조립체를 형성하는 방법.
  3. 제1항에 있어서, 상기 돌출부를 갖는 상기 부재는 상기 지지 부재이고 상기 홈을 갖는 상기 부재는 상기 타겟 부재인, 스퍼터링 타겟 조립체를 형성하는 방법.
  4. 제1항에 있어서, 상기 홈을 갖는 부재는 코발트, 티타늄, 구리, 알루미늄, 탄탈, 니오브, 니켈, 몰리브덴, 지르코늄, 하프늄, 금, 은 또는 그들의 합금을 포함하는, 스퍼터링 타겟 조립체를 형성하는 방법.
  5. 제1항에 있어서, 상기 홈을 갖는 상기 부재는 탄탈 또는 그의 합금을 포함하는, 스퍼터링 타겟 조립체를 형성하는 방법.
  6. 제1항에 있어서, 상기 홈을 갖는 상기 부재는 니오브 또는 그의 합금을 포함하는, 스퍼터링 타겟 조립체를 형성하는 방법.
  7. 제1항에 있어서, 상기 돌출부를 갖는 상기 부재는 코발트, 티타늄, 구리, 알루미늄, 탄탈, 니오브 또는 그들의 합금을 포함하는, 스퍼터링 타겟 조립체를 형성 하는 방법.
  8. 제1항에 있어서, 상기 돌출부를 갖는 상기 부재는 구리-크롬 또는 구리-아연 합금을 포함하는, 스퍼터링 타겟 조립체를 형성하는 방법.
  9. 제1항에 있어서, 상기 돌출부는 비규칙적인 형상인, 스퍼터링 타겟 조립체를 형성하는 방법.
  10. 제1항에 있어서, 상기 돌출부는 실질적으로 원통형, 원뿔형, 절두 원뿔형, 입방형, 육면체형, 피라미드형, 오벨리스크형, 쐐기형 또는 그들의 조합인, 스퍼터링 타겟 조립체를 형성하는 방법.
  11. 제1항에 있어서, 상기 홈은 실질적으로 사각형, 직사각형, "T" 형, "L" 형, 반원, 절두 삼각형, 첨단 또는 나비 넥타이의 형태인, 스퍼터링 타겟 조립체를 형성하는 방법.
  12. 제1항에 있어서, 상기 타겟 부재의 접합 측면의 일부분이 상기 지지 부재의 접합 측면의 적어도 일부분을 접촉하도록 상기 접합부가 형성되는, 스퍼터링 타겟 조립체를 형성하는 방법.
  13. 제1항에 있어서, 갭은 타겟 부재의 접합 측면의 적어도 일부분과 상기 지지 부재의 접합 측면의 일부분 사이에 갭이 형성되도록 상기 접합부가 형성되는, 스퍼터링 타겟 조립체를 형성하는 방법.
  14. 제1항에 있어서, 적어도 하나의 홈은 적어도 하나의 다른 홈의 형상과 다른 형상을 갖는, 스퍼터링 타겟 조립체를 형성하는 방법.
  15. 제1항에 있어서, 적어도 하나의 돌출부는 적어도 하나의 다른 돌출부의 형상과 다른 형상을 갖는, 스퍼터링 타겟 조립체를 형성하는 방법.
  16. 제1항에 있어서, 적어도 하나의 홈은 적어도 하나의 다른 홈의 용적과 다른 용적을 갖는, 스퍼터링 타겟 조립체를 형성하는 방법.
  17. 제1항에 있어서, 적어도 하나의 돌출부는 적어도 하나의 다른 돌출부의 용적과 다른 용적을 갖는, 스퍼터링 타겟 조립체를 형성하는 방법.
  18. 제1항에 있어서, 활주가능하게 접촉시키는 단계는, 상기 홈을 갖는 상기 부재에 대해 상기 돌출부를 갖는 상기 부재 또는 상기 돌출부를 갖는 상기 부재에 대해 상기 홈을 갖는 상기 부재를 회전하는 단계와, 상기 돌출부를 갖는 상기 부재, 상기 홈을 갖는 상기 부재, 또는 양쪽의 부재를 상기 경계 면의 방향으로 힘을 가 하는 단계를 포함하는, 스퍼터링 타겟 조립체를 형성하는 방법.
  19. 제18항에 있어서, 상기 회전은 약 0 내지 약 2,000 m/min의 회전 속력인, 스퍼터링 타겟 조립체를 형성하는 방법.
  20. 제18항에 있어서, 상기 힘은 약 50 mPa 내지 약 250 mPa의 결합력인, 스퍼터링 타겟 조립체를 형성하는 방법.
  21. 제18항에 있어서, 상기 기계적 접합은 약 100 kJ/㎡ 내지 약 8,000kJ/㎡ 의 회전 에너지에 의해 달성되는, 스퍼터링 타겟 조립체를 형성하는 방법.
  22. 제18항에 있어서, 상기 회전은 약 500 rpm 내지 약 2,000 rpm의 회전 속력인, 스퍼터링 타겟 조립체를 형성하는 방법.
  23. 제1항에 있어서, 활주가능하게 접촉시키는 단계는 서로에 대해 상기 부재를 회전시키는 단계와, 경계면의 방향으로 상기 홈을 갖는 상기 부재, 상기 돌출부를 갖는 상기 부재 또는 양쪽 부재에 힘을 인가하는 단계를 포함하는, 스퍼터링 타겟 조립체를 형성하는 방법.
  24. 제23항에 있어서, 상기 회전은 약 0 내지 약 4,000 m/min의 회전 속력인, 스 퍼터링 타겟 조립체를 형성하는 방법.
  25. 제23항에 있어서, 상기 힘은 약 50 mPa 내지 250 mPa의 결합력인, 스퍼터링 타겟 조립체를 형성하는 방법.
  26. 제23항에 있어서, 상기 기계적 접합은 약 100 kJ/㎡ 내지 약 8,000kJ/㎡ 의 회전 에너지에 의해 달성되는, 스퍼터링 타겟 조립체를 형성하는 방법.
  27. 제23항에 있어서, 상기 회전은 약 500 rpm 내지 약 2,000 rpm의 회전 속력인, 스퍼터링 타겟 조립체를 형성하는 방법.
  28. 제1항에 있어서, 마찰 용접 기계는 상기 부분과 활주가능하게 접촉하는데 사용되는, 스퍼터링 타겟 조립체를 형성하는 방법.
  29. 제1항에 있어서, 상기 접합은 상호 잠금 접합 및/또는 기계적 이음을 포함하는, 스퍼터링 타겟 조립체를 형성하는 방법.
  30. 제1항에 있어서, 상기 리플로우 단계는, 납땜 금속 또는 브레이즈 금속의 용융을 야기하기에 충분한 온도를 납땜 금속 또는 합금 또는 브레이즈 금속 또는 합금이 받게함으로써 달성되는, 스퍼터링 타겟 조립체를 형성하는 방법.
  31. 제1항에 있어서, 상기 배치하는 단계는, 납땜 금속 또는 합금, 브레이즈 금속 또는 합금 또는 그들의 조합을 상기 돌출부를 갖는 상기 부재의 접합 측면의 적어도 일부분 상에 배치하는 단계인, 스퍼터링 타겟 조립체를 형성하는 방법.
  32. 제1항에 있어서, 상기 리플로우 단계는, 납땜 금속 또는 합금 또는 브레이즈 금속 또는 합금을 가열하는 적외선 히터의 사용에 의해 달성되는, 스퍼터링 타겟 조립체를 형성하는 방법.
  33. 제1항에 있어서, 상기 배치하는 단계는, 납땜 금속 또는 합금 또는 브레이즈 금속 또는 합금 또는 그들의 조합을 상기 홈을 갖는 상기 부재의 접합 측면의 적어도 한 부분 상에 배치하는 단계인, 스퍼터링 타겟 조립체를 형성하는 방법.
  34. 제1항에 있어서, 상기 스퍼터링 타겟 조립체는 커버 가스 아래 형성되는, 스퍼터링 타겟 조립체를 형성하는 방법.
  35. 제1항의 방법에 의해 형성되는 스퍼터링 타겟 조립체이며,
    복수의 돌출부를 갖춘 접합 측면을 갖는 부재와,
    복수의 홈을 갖춘 접합 측면을 갖는 부재를 포함하고,
    상기 홈을 갖는 상기 부재는 상기 돌출부를 포함하는 금속의 융점보다 더 높 은 융점을 갖는 금속이며, 적어도 하나의 홈은 적어도 하나의 돌출부에 의해 실질적으로 채워져서 상기 부재가 적어도 서로 기계적으로 접합되는, 스퍼터링 타겟 조립체.
  36. 제1항에 있어서, 상기 리플로우 단계는, 납땜 금속 또는 브레이즈 금속의 융점 이상의 10℃ 내의 온도에서 납땜 금속 또는 합금 또는 브레이즈 금속 또는 합금을 유발시킴으로써 달성되는, 스퍼터링 타겟 조립체를 형성하는 방법.
  37. 제1항에 있어서, 상기 리플로우 단계는, 납땜 금속 또는 브레이즈 금속의 융점 이상의 50℃ 내의 온도에서 납땜 금속 또는 합금 또는 브레이즈 금속 또는 합금을 유발시킴으로써 달성되는, 스퍼터링 타겟 조립체를 형성하는 방법.
KR1020087010004A 2005-09-28 2006-09-26 스퍼터링 타켓 조립체를 형성하는 관성 접합 방법 및그로부터 제조된 조립체 KR20080054414A (ko)

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