KR100831242B1 - 써셉터 제조방법 및 이를 이용한 써셉터 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 히터의 매설 및 냉각로 형성과 함께 써셉터 바디와 커버를 접합하는 써셉터 제조방법에 관한 것으로서, (a) 머리부분이 홈구조로 된 돌부를 적어도 하나 이상 구비된 써셉터 커버를 형성하는 단계; (b) 상기 돌부와 대응되는 홈부를 포함하고, 상기 홈부에 상기 돌부의 홈구조에 대응되어 결합되는 써셉터 바디를 형성하는 단계; (c) 상기 홈부에 냉각로 및 히터를 형성하는 단계 ; (d) 상기 써셉터 커버와 상기 써셉터 바디가 단조 결합되고, 상기 단조 결합시 상기 돌부가 소성변형에 의해 상기 홈부에 정합되는 단계; 및 (e) 상기 써셉터 커버와 상기 써셉터 바디를 상기 히터의 가열을 통하여 브레이징 하는 단계를 포함하며, 여기서 상기 돌부 및 홈부의 삽입방향으로의 단면적이 서로 다른 것을 특징으로 한다.
이와 같은 본 발명에 따른 써셉터 제조방법을 제공하게 되면, 단조시 과도한 압력을 요구하지 않으며, 소성변형에 의한 정합으로 써셉터 커버와 바디의 접합면에 균열이나 보이드가 형성되어 열전달이 저하되는 문제점을 상당부분 해결할 수 있게 될 뿐만 아니라, 커버와 홈부의 접합면에 합금층을 용이하게 형성할 수 있는 방법을 제공하여, 산화에 의한 부식을 방지하여 열전달에 있어서 고효율 및 양질의 써셉터를 제공할 수 있게 된다.
또한 히터의 매설과 함께 부근에 냉각로를 용이하게 형성할 수 있는 방법을 제공하게 되어, 높은 효율의 열전달 및 그 제어가 가능하게 되고, 단순하고 낮은 가격으로 써셉터를 제조할 수 있는 방법을 제공하게 된다.
써셉터, 히터, 냉각로, 냉각관 또는 냉각파이프, 단조결합(Forge Welding), LCD, CVD, 브레이징, 진공

Description

써셉터 제조방법 및 이를 이용한 써셉터{MANUFACTURING METHOD FOR SUSCEPTOR AND SUSCEPTOR USING THIS METHOD}
본 발명은 반도체 웨이퍼, 액정패널 태양 전지용의 실리콘 단결정 웨이퍼 등을 지지하고 가열하기 위한 써셉터(susceptor) 제조방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 액정표시장치의 어레이 기판과 컬러 기판 등과 같은 유리재질의 투명기판 표면을 가스분위기 상태에서 진공 증착하는 진공 챔버 내부에 가설하여 유리기판을 안착시켜 가열 또는 냉각하는 액정 표시장치 제조용 써셉터 제조방법에 있어서, 히터의 매설 및 냉각로 형성과 함께 써셉터 바디와 커버를 접합하는 방법에 관한 것이다.
일반적으로 액정표시장치는 어레이 기판과 컬러 기판 사이에 액정을 주입하여, 그 특성을 이용해 영상효과를 얻는 비발광소자로서, 이러한 어레이 기판과 컬러 기판은 각각 투명 유리 등의 재질로 이루어지는 투명 유리기판상에 여러 번에 걸친 박막의 증착, 패터닝 및 식각 공정을 통해 제조되는데, 공정 챔버 내부로 반응 및 소스물질이 가스상으로 유입되어 증착 공정을 진행하고자 하는 경우 공정 챔버 내부에는 투명 유리기판이 안착되고, 투명 유리기판의 증착에 적절한 온도로 가 열시 킬 수 있도록 히터 또는 냉각기가 내부에 매설되는 써셉터가 설치되며, 이러한 써셉터는 액정표시 장치의 세대가 진행될수록 가공되는 투명 유리 기판의 사이즈도 상대적으로 대형화 되고 있는 추세이다.
도 1은 종래의 써셉터의 구조를 개략적으로 도시한 예이다.
도 1에 참조하여 써셉터의 구조를 개략적으로 살펴보면, 써셉터는 써셉터 바디(100), 히터(101), 지지틀(106)로 구성된다.
써셉터 바디(100)에는 히터를 다양한 패턴의 지선상으로 매설하기 위한 매설홈(102)이 형성되어 있으며, 매설홈(102)에 상기 패턴 형태와 일치하는 히터(101)가 매설되어 써셉터의 온도를 조절하며, 써셉터의 상면에 지지틀(106)이 있고, 지지틀(106) 위에 액정표시장치용 투명유리기판(107)이 놓인다.
이러한 액정표시장치용 투명유리기판을 진공 증착하기 위한 열판으로 사용되는 써셉터에 히터를 장설하는 종래 방법에 있어서, 도2 내지 도3은 써셉터에 히터를 매설하는 방법을 도시한다.
도 2에 도시된 바와 같이 알루미늄 합금재의 써셉터 바디(100)의 저면부에 히터를 매설하는 방법을 도시한다.
도 2에 도시된 바와 같이 알루미늄 함금재의 써셉터 바디(100)의 저면부에 히터(101)를 매설하기 위한 매설홈(102)을 다양한 패턴의 지선상으로, 상기 매설홈(102) 히터(101)를 매설한 후, 알루미늄 소재의 밀봉커버(103)를 설치하여 히터(101)를 고정, 밀봉시킨다.
도 3은 히터(101)가 매설된 써셉터의 부분을 도시한다.
도시된 바와 같이 알루미늄 재질의 써셉터바디(100)의 상부에 매설홈(102)의 상층부와 밀봉커버(103)의 양측 접설부위를 따라 개별적으로 라인용접(104,105)하여 히터(101)를 밀봉시킨다.
라인용접(104,105)으로는 아르곤 용접, 전자빔 또는 브레이징 방식 등의 용접방법이 사용될 수 있다.
상기 써셉터의 상부의 투명유리 지지틀(106)에 투명유리기판(107)이 놓이고 여러번에 걸친 박막의 증착, 패터닝 등의 공정을 통해 어레이 기판, 컬러 필터 기판 등이 제작된다.
그러나 상술한 바와 같이 종래의 기술은, 아래와 같은 문제점을 가지고 있다.
도 4에 도시한 바와 같이, 밀봉커버(103)와 히터(101) 사이, 히터(101)와 써셉터바디(100)의 매설홈 사이에 빈공간(201)이 생기는 문제점이 있다. 즉, 도 4에 도시된 바와 같이 히터(101)는 중심부의 열선(101a)에 의해 발열을 하고 상기 열은 히터봉덮개(101b)를 거쳐 써셉터바디(100)로 전달되는데, 상기 빈공간(201)으로 인해 히터(101)의 중심부에 위치한 열선(101a)에서 발생한 열이 써셉터바디(100)로 정상적으로 전달되지 않기 때문에 써셉터 전체의 온도 균일성이 나빠지고 히터(101) 자체의 온도도 국부적으로 뷸균일하게 되어 히터 열선(101a)의 조기 단선등이 발생하는 문제점이 있다.
따라서, 어레이 기판, 컬러 필터 기판 등의 제작시 제품 불량발생의 우려가 커져 제품의 품질 저하는 물론 생산성이 떨어지는 문제점이 발생한다.
이러한 현상의 근본적인 원인은 정밀 절삭가공으로 제작되는 써셉터의 매설홈(102)과 밀봉커버(103)의 경우 치수 공차가 수십 마이크로 정도로 실현이 가능하나, 히터(101b)는 그 제작과정에서 균일하고 평탄하게 표면을 형성하기가 어렵고, 접합부분의 정합구조를 정밀하게 제조하기도 어려워 매설홈과 히터 간에 또는 밀봉커버와 히터 간에 빈공간 등이 발생하는 문제가 있기 때문이다.
그리고, 위와 같이 매설홈과 히터 및 밀봉 커버를 통한 라인용접 등의 방법이 아닌 써셉터의 상판과 하판으로 나누고 돌부와 홈부의 구조를 양 판에 형성하여 그 홈부 중 일부에 히터를 매설하여 상. 하판을 합착하는 방법이 종래에 사용되어져 왔고, 이러한 합착방법으로 단조결합(Forge welding)을 이용해 왔다.
그러나, 상. 하판의 합착에서 돌부와 홈부의 단조결합시, 발생하는 문제점을 이하 설명하면 다음과 같다. 도 5는 CVD 등에 사용하는 히팅 또는 냉각 플레이트를 구성하는 상, 하판의 구조를 예시한 도면이다. 도 5에서 처럼 하판(130)에 홈부(133)와 히터 또는 냉각기(135)가 부착되어 있고, 이에 대응하여 상판(120)에는 돌부 및 히터 또는 냉각기에 대응되는 홈구조가 형성되어 있다.
도 6은 도 5의 히팅 또는 냉각 플레이트의 상, 하판을 합착하는 경우 단조결합(Forge Welding)에 의하여 결합하게 되는데, 그 공정을 예시한 도면이다. 도 6에 타나낸 바와 같이 돌부와 홈부가 대응하여 형성되고, 이 돌부와 홈부를 결합시키게 되면, 완전한 정합을 이룰 수 없어 돌부 및 홈부 사이에 비 접합 공간이 형성되게 된다. 이 부분을 압력을 가하여 최종적으로 결합하게 하는 단조결합을 하게 된다.
그러나, 도 6에 나타낸 바와 같이 단조 결합하는 경우, 상, 하판이 정합되지 않고 남는 부분(도 6의 (c)참조)의 나머지 간극을 채우기 위하여 많은 외부 압력이 요구되고, 또한 과도한 압력으로 인하여 상, 하판의 접촉면에 변형으로 인한 틈 등이 형성되게 될 수 있다.(도 6의 (d)참조) 그리고, 홈부에 히터 또는 냉각기가 매설되어 있는 경우 히터 또는 냉각기 부분과 돌부의 머리 부분의 비정합 구조로 되어 있어, 결합시 틈 또는 보이드가 형성되어 히터 또는 냉각기에서 열판으로의 열전달이 상당부분 저하된다는 문제점이 있다.
그리고, 종래의 냉각로 또는 냉각 파이프를 히터와는 별도의 공정을 통해 만들어졌기 때문에 제조공정이 복잡하고 단가가 높아지면서, 히터와 근접 설치가 어려와 히터의 열전달 제어가 쉽지 않아 효율이 떨어지는 문제점이 있었다.
또한 종래에는 써셉터 커버와 바디의 합착이 퍼니스에서 가압 및 가열하여 이루어지기 때문에, 대형 장비 및 고가의 장비를 필요로 하기 때문에 이를 운용하기가 복잡하고 제품단가도 높아지는 문제점이 있었다.
상술한 문제점을 해결하기 위한 본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 접합시 과도한 압력을 요구하지 않으며, 소성변형에 의한 정합으로 써셉터 커버와 바디의 접합면에 균열이나 보이드가 형성되어 열전달이 저하되는 문제점을 상당부분 해결할 수 있게 하는 것이고, 또한, 커버와 홈부의 접합면에 합금층을 용이하게 형성할 수 있는 방법을 제공하여, 산화에 의한 부식을 방지하여 열전달에 있어서 고효율 및 양질의 써셉터를 제공할 수 있게 하는 것이다.
또한, 지지 압력 없이 안정적인 결합상태를 유지할 수 있고, 대형 및 고가의 장비가 필요없이 브레이징 등을 용이하게 실행할 수 있는 방법을 제공함으로써, 제조공정이 단순해지고 제품단가를 낮추고자 하는데 있다.
또한, 홈부의 측면에 냉각로를 형성하여 커버를 소성변형에 의한 단조 결합을 함으로써, 히터의 매설과 동시에 히터 부근에 용이하게 냉각장치를 형성하여 열전달 제어의 용이성을 높이고자 함이다.
본 발명에 따른 써셉터 제조방법으로서, 제1 특징은 (a) 돌부를 적어도 하나 이상 구비된 써셉터 커버를 형성하는 단계; (b) 상기 돌부와 대응되는 홈부를 포함하고, 상기 돌부에 대응되어 결합되는 써셉터 바디를 형성하는 단계; (c) 상기 홈부에 히터를 형성하는 단계 ; (d) 상기 써셉터 커버와 상기 써셉터 바디가 단조 결합되고, 상기 단조 결합시 상기 히터의 가열을 통하여 상기 돌부가 소성변형에 의해 상기 홈부에 정합되는 단계; 및 (e) 상기 써셉터 커버와 상기 써셉터 바디를 상기 히터의 가열을 통해 브레이징 하는 단계를 포함하며, 여기서 상기 돌부 및 홈부의 삽입방향으로의 단면적이 서로 다른 것이다.
여기서, 상기 히터의 가열은 고진공 분위기에서 이루어지는 것이 바람직하고, 상기 브레이징은 차폐 가스(shielding gas) 분위기에서 이루어지는 것이 역시 바람직하다.
또한, 바람직하게는 서로 대향하는 상기 홈부의 양측면에 냉각로를 형성하는 단계를 더 포함하는 것일 수 있고, 상기 (b) 단계에서 수직방향으로 상기 홈부의 단면적은 상기 홈부의 중심부로 점차 넓어지도록 형성하는 것일 수 있다.
더하여, 상기 (b) 단계에서 상기 홈부의 단면적은 상기 홈부의 저면으로 점차 넓어지도록 형성하는 것이 바람직하고, 상기 돌부의 머리부분은 오목형상의 홈 구조이고, 상기 홈 구조의 곡률 반경을 상기 히터의 곡률 반경과 다르게 하는 것이 바람직하다.
또한, 바람직하게는 상기 돌부와 홈부의 강도(Hardness) 또는 경도(Strength)를 서로 다르게 하는 것일 수 있고, 상기 히터 표면의 형상이 요철구조인 것일 수 있다.
그리고, 본 발명에 따른 써셉터 제조방법으로서, 제2 특징은 (a) 저면에 적어도 하나의 홈부가 형성된 써셉터 바디를 형성하는 단계; (b) 상기 적어도 하나의 홈부에 히터를 형성하는 단계; (c) 상기 홈부에 대응되는 커버를 형성하는 단계; (d) 상기 커버와 상기 홈부가 단조 결합되고, 상기 단조 결합시 상기 커버 및 홈부 중 적어도 어느 하나가 소성변형에 의해 정합되는 단계; 및 (e) 상기 커버와 홈부를 상기 히터의 가열을 통하여 브레이징 하는 단계를 포함하며, 여기서 상기 커버 및 홈부 중 적어도 어느 하나의 삽입방향으로의 단면적이 서로 다른 것이다.
여기서, 상기 (d) 단계는 상기 커버를 상기 홈부에 가압하여 결합시키는 단계 및, 상기 홈부에 매설된 히터를 가열하여 브레이징하는 단계를 포함하는 것이 바람직하고, 상기 (d) 단계는, 상기 커버에 상기 썹세터 바디와 재질이 다른 금속 코팅을 하는 단계; 상기 코팅된 커버를 상기 홈부에 가압하여 결합시키는 단계 및, 상기 홈부에 매설된 히터를 가열하여 브레이징하는 단계를 포함하는 것이 역시 바람직하다.
더 나아가, 바람직하게는 상기 금속의 재질을 아연(Zn), 니켈(Ni), 크롬(Cr) 중 어느 하나로 하여 상기 커버를 코팅하는 것일 수 있고, 상기 브레이징은 고진공 분위기에서 이루어지는 것일 수 있다.
그리고 상기 브레이징은 고진공 분위기에서 이루어지는 것이 바람직하고, 상기 브fp이징은 차폐 가스(Shielding gas) 분위기에서 이루어지는 것이 역시 바람직하다.
한편, 상기 (b) 단계는 상기 홈부의 저면에 히터를 매설하고, 상기 홈부의 측면에 냉각로를 형성하는 것이 바람직하고, 상기 (a) 단계에서 수직방향으로 상기 홈부의 단면적은 상기 홈부의 중심부로 점차 넓어지도록 형성하는 것이 역시 바람직하다.
또한, 상기 (a) 단계에서 상기 홈부의 단면적은 상기 홈부의 저면으로 점차 넓어지도록 형성하는 것이 바람직하고, 상기 히터에 대응되어 결합되는 상기 커버의 머리 부분은 홈 구조이고, 상기 홈 구조의 곡률 반경을 상기 히터의 곡률 반경과 다르게 하는 것이 역시 바람직하다.
더하여, 바람직하게는 상기 커버와 홈부의 강도(Strength) 또는 경도(Hardness)를 서로 다르게 하는 것일 수 있고, 상기 히터 표면의 형상이 요철구조인 것일 수 있다.
그리고, 위와 같은 제조방법으로 제조된 써셉터를 본 발명의 특징으로 한다.
이와 같이 본 발명에 따른 써셉터 제조방법을 제공하게 되면, 써셉터 커버와 써셉터 바디가 단조 결합되고, 단조 결합시 써셉터 커버의 돌부가 소성변형에 의해 써셉터 바디의 홈부에 정합되는 단계를 포함하며, 삽입 방향으로 돌부 및 홈부의 적어도 일부 단면적을 서로 다르게 함으로써, 단조시 과도한 압력을 요구하지 않으며, 소성변형에 의한 정합으로 써셉터 커버와 바디의 접합면에 균열이나 보이드가 형성되어 열전달이 저하되는 문제점을 상당부분 해결할 수 있게 된다.
또한, 커버와 홈부의 접합면에 합금층을 용이하게 형성할 수 있는 방법을 제공하여, 산화에 의한 부식을 방지하여 열전달에 있어서 고효율 및 양질의 써셉터를 제공할 수 있게 된다.
그리고, 결합상태를 유지하기 위한 지지 압력이 필요 없게 되어, 써셉터 내부에 매설된 히터를 외부전원에 의해 가열시켜 브레이징을 함으로써, 제조공정이 단순해지고, 제품단가를 낮추는 큰 장점이 있게 된다.
이하에서는 도면을 참조하여 본 발명에 따른 바람직한 실시예를 상세히 설명한다.
도 7은 본 발명에 따른 써셉터 제조 공정을 예시한 도면이다. 도 7에 나타낸 바와 같이, 적어도 하나 이상의 돌부(210)가 형성된 써셉터 커버(200,210)를 형성하고(도 7의 (a)), 이 써셉터 커버의 돌부(210)에 대응되는 적어도 하나의 홈부(310)가 형성되는 써셉터 바디(300)를 형성한 후, 홈부의 측면 일부에 냉매가 유동할 수 있는 냉각로(350)를 형성하고, 홈부의 저면에 히터(315)를 매설하여(도 7의 (b)), 써셉터 커버(200,210)와 써셉터 바디(300)를 단조 결합한다. 그리고, 단조 결합시 소성변형에 의해 정합되도록 돌부(210) 및 홈부(310) 중 적어도 어느 하나의 삽입방향으로의 단면적(A, A')이 적어도 일부 서로 다르게 형성한다.(도 7의 (c)) 여기서 돌부(210)는 써셉터 커버 몸체(200)와 일체로 형성할 수 있고, 독립적으로도 형성할 수 있음은 물론이다.
그리고, 써셉터 커버와 써셉터 바디가 결합한 상태에서 진공챔버내에서 진공상태를 유지하고, 히터를 외부의 전원장치를 통해 가열시켜, 브레이징함으로써(도 7의 (d) 참조), 견고하고 높은 열전도 효율을 갖는 써셉터를 제조할 수 있게 된다.
이처럼, 홈부(310)의 수직 단면적(A')이 중심부에서 넓어지는 형상으로 하여 형성함으로써, 돌부(210)가 홈부(310)에 단조 결합되면 소성변형에 홈부(310)에 정합되게 되는데, 이렇게 소성 변형된 돌부(210)의 형상은 홈부(310)에 정확하게 끼 워 맞춰지는 잠금효과(locking effect)를 발휘할 수 있게 된다.
단조결합 또는 단접(forge welding)은 강철이나 연철의 접합 작업으로 옛날부터 사용되고 있다. 표면의 산화피막(酸化被膜)을 제거하여 깨끗하게 한 두 금속을 적당한 온도로 가열해서 맞대고 두드리면 서로 확산하여 접합하게 된다. 이 현상을 이용하여 고온으로 가열한 금속을 강압하여 이어붙이는 것이 단접이다.
그러나 이러한 단조결합(forge welding)은 견고한 접합 방법임에도 불구하고 돌부와 홈부간에 접합되지 않는 여분의 공간을 강한 프레싱으로 접합시킴으로써, 과도한 압력이 요구될 뿐만 아니라, 이 과도한 압력으로 인하여 접합부분에 변형에 의한 틈 등이 발생하게 되며, 이렇게 틈이 형성된 부분은 열전달에 있어서 효율을 저하 시키게 된다.
그래서 본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위해 단조 결합시, 소성변형에 의해 정합 되도록 돌부 및 홈부 중 적어도 어느 하나의 삽입 방향으로의 적어도 일부 단면적을 서로 다르게 함으로써, 적은 압력으로도 손쉽게 정합시킬 수 있을 뿐 아니라, 마치 열쇠가 잠기는 '잠금효과(Lockign effect)' 까지 얻을 수 있다.
소성변형(塑性變形, plastic deformation)은 고체에 외력을 가하여 영구히 외형이 변화된 상태로 남는 변형을 말한다. 고체에 외부로부터 힘을 가하면 형상이 바뀌지만, 탄성의 범위 내에서는 외력을 제거하면 다시 본래의 형상으로 되돌아가기 때문에, 영구히 외형을 바꾸려면 탄성한계 이상의 힘을 가하지 않으면 안 된다. 즉 소성변형을 하려면, 탄성변형 범위 이상의 외력을 가해야 한다.
일반적으로 소성 변형시키는 방법은 목적하는 최후의 형상에 따라 여러 가지 가 있는데 판(板)을 만들려면 압연, 막대ㅇ관을 만들려면 압출ㅇ인발ㅇ압연, 선(線)을 만들려면 인발ㅇ신선(伸線) 등의 공정이 사용되며, 복잡한 외형으로 만들기 위해서는 단조ㅇ프레스 등의 공정이 사용된다.
본 발명에 사용하는 써셉터의 재질은 일반적으로 알루미늄 등의 금속을 사용하게 되므로, 단조시 일정부분 변형이 일어나게 되고, 특정한 힘 이상으로 압력을 가하게 되면, 소성변형이 일어나게 되는 것이다. 이러한 원리를 이용하면 도 7의 (c)에 나타낸 바와 같이, 돌부(210) 및 홈부(310) 중 적어도 어느 하나의 적어도 일부 단면적(A, A')을 서로 다르게 하여 소성변형이 일어나게 될 공간을 미리 마련하여 줌으로써, 과도한 힘을 요구하게 할 필요 없게 되고, 접합부분간의 반발력을 줄여 변형을 최소화하는 효과가 있기 때문에 열전달과 효율면에서 우수한 써셉터를 제공할 수 있게 된다.
그리고, 도 7에 나타낸 바와 같이 써셉터를 홈부(310)의 저면에 히터(315)를 매설하는 것과 동시에 홈부의 측면 일부에 홈을 내어 냉각로(350)를 형성하고, 그 후에 소성변형에 의한 단조 결합을 하게 되면, 종래에 독립적으로 냉각유로를 형성하기 위해 별도로 공정을 수행하는 어려움을 피하고, 히터의 매설과 함께 동시에 냉각로를 형성시키게 됨으로써, 공정이 훨씬 간단해 지고 그 비용면에서 상당 부분 절감될 수 있는 장점이 있게 된다.
또한, 홈부(310)의 측면 일부에 홈구조의 냉각로(350)를 형성함으로써, 소성변형에 의한 단조 결합을 하게 되면 종래의 상.하판의 합착이나 냉각 유로관을 매설하는 공정보다 훨씬 견고하게 되고, 히터(315)와 보다 가까이 용이하게 냉각 로(350)를 형성할 수 있게 되어 냉각효율을 향상시킬 수 있게 된다.
그리고, 종래에는 단조결합을 함에 있어서, 퍼니스(Furnace) 내에서 가열을 시키면서 가압장치로 가압을 시키는 방법으로 결합이 이루어지기 때문에 대형의 장비 및 고가의 장비를 요구하였으나, 본 발명에서는 써셉터 커버를 써셉터 바디에 가압하여 소성변형을 통해 결합시키기 때문에, 잠금효과(Locking Effect)에 의한 안정된 결합으로 별도의 지지압력이 필요하지 않는다. 또한, 접합면의 블레이징시 종래에는 브레이징을 위해 외부에서 퍼니스 등 대형의 가열장치를 동원해 공정을 수행했지만 본 발명에서는 진공의 분위기의 챔버(600)내에서 써셉터 바디에 매설된 각각의 히터가 연결선(317)을 통하여 외부의 전원장치(500)와 연결되는 전기적 가열을 통하여 접합부위의 브레이징을 용이하게 수행할 수 있게 된다.
브레이징이란 450℃ 이상에서 접합하고자 하는 모재(BASE METAL) 용융점(Melting Point) 이하에서 모재는 상하지 않고 용가재(Filler Metal)와 열을 가하여 두 모재를 접합하는 기술이다.
더 자세히 말하자면 450℃ 이상의 액상선 온도(Liquidus Temperature)를 가진 용가재를 사용하며 모재의 고상선 온도(Solidus Temperature) 이하의 열을 가하여 두 모재를 접합하는 방법을 브레이징(Brazing)이라 할 수 있다.
참고로 용가재(Filler Metal)를 가지고 접합하는 방법은 크게 웰딩(Welding), 브레이징(Brazing), 솔더링(Soldering)으로 나눌 수 있다. 흔히 웰딩(Welding)을 용접, 브레이징(Brazing)을 경납Eoa, 솔더링(Soldering)을 연납땜으로 말하기도 한다.
상기 3가지 공법의 차이는 솔더링은 450℃ 이하의 용가재를 가지고 접합하는 방법을 칭하며, 웰딩과 브레이징은 450℃ 이상의 온도에서 행해지나 그 차이점은 웰딩은 접합하고자 하는 모재의 용융점 이상에서 접합하는 방법이며 브레이징은 용융점(Melting Point) 이하에서 모재(Base Metal)는 상하지 않고 용가재(Filler Metal)를 사용하여 열을 가하여 두 모재를 접합하는 기술을 말한다.
브레이징시 일정한 온도(Brazing Temperature)에 이르면 브레이징 용재가 양 용재 사이로 녹아 스며들어가서 브레이징이 되어야만 이상적인 브레이징이라 할 수 있다. 이때 양 모재와 용가재의 친화력의 정도를 나타내는 성질을 젖음성(Wetting)으로 표현할 수 있으며 양 모재 접합간격(Joint Gap) 사이로 흘러 들어가게 하는 현상이 모세관 현상(Capillary Action)이라 표현할 수 있다.
이때 물론 중력(Gravity)이 작용할 수 있다. 그러나 브레이징의 주된 기본 원리는 모재를 가열한 후 용가재를 가하여 접합을 하면 젖음성(Wetting)에 의해 용가재가 양 모재에 녹아서 모세관 현상(Cappillary Action)에 의해 양 모재 사이로 흘러 들어가는 것이라 할 수 있다.
만일 용가재 브레이징 해야 할 모재와 젖음성이 나쁘면 접합이 이루어지지 않을 것이며, 접합간격이 크면 양 모재 사이에 용가재(Filler Metal)가 가득 차지 않음에 따라 불완전한 접합이 될 것이다.
일반적으로 브레이징시 모재가 장시간 대기중에 방치되었거나 또는 가열 공기중의 산소 등과 결합하여 산화물 등이 생겨서 불활성상태가 있는 경우에는 액상 금속이 젖기(wetting)가 힘들어질 것이다.
또한 금속을 브레이징 할 때 플럭스를 사용하거나 차폐 가스(Shielding gas)와 같은 환원성 분위기 또는 진공분위기 중에서 가열함으로써 산화물 생성을 억제하여 용가재가 잘 젖게끔 만드는 것이 바람직하다. 이렇게 되면 바람직한 모세관 현상에 의해 용가재가 양 모재 사이로 잘 흘러 들어가게 될 것이다. 역시 차폐 가스로는 주로 불활성 가스를 이용하게 된다.
도 7의 (d)에 나타낸 바와 같이 써셉터 바디와 써셉터 커버가 소성변형에 의한 결합 후, 진공 분위기에서 브레이징을 하게 됨으로써, 용가재의 젖음성이 좋아지고, 퍼니스에 의한 가열이 아니라 써셉터 바디 내부에 매설된 히터(315)의 전기적 가열이기 때문에 산화에 의한 불활성 상태가 일어나기 어려우므로, 저가의 장비로 고효율의 접합공정을 수행할 수 있게 되는 것이다.
도 8은 본 발명에 따른 써셉터 제조방법의 또 다른 실시예로서, 홈부의 측면에 형성된 냉각로에 냉각관를 매설하는 써셉터 제조방법의 일례를 예시한 도면이다.
도 8에 나타낸 바와 같이, 머리 부분이 홈구조로 이루어진 적어도 하나의 돌부(210)가 형성된 써셉터 커버(200)를 형성하는 단계, 상기 돌부(210)와 대응되고, 중앙부에서 단면적이 넓어지는 홈부가 형성된 써셉터 바디(300)를 형성하는 단계, 홈부의 측면에 냉각로(350)를 형성하여 이 냉각로에 냉각관 또는 냉각파이프(355)를 매설하고, 홈부의 저면에 히터(315)를 매설하는 단계로 이루어진 써셉터 제조 방법을 예시한다.
도 8의 써셉터 제조방법은 도 7에 예시된 것과 달리 홈부의 측면에 냉각 로(350)를 형성한 후, 냉각관 또는 냉각파이프(355)를 다시 매설하는 방법을 예시하고 있는데, 이는 써셉터 커버(200)와의 소성변형에 의한 단조결합을 하여 발생하는 냉각로(350)를 형성하는 과정에서 냉각로(350)가 막히거나 국부적으로 관로가 통공이 좁아 질수 있으므로, 이를 피하기 위해 그 공간에 냉각관 또는 냉각파이프(355)를 매설하여 안정하고 균일하게 냉매가 통유될 수 있도록 하기 위함이다. 여기서, 냉각관 또는 냉각파이프(355)는 냉각로(350) 모두에 매설할 수 있고, 부분적으로 균일한 분포로 매설할 수 도 있음은 물론이다.
도 9는 본 발명에 따른 써셉터 제조방법의 또 다른 실시예로서, 저면이 넓어지는 형상의 홈부와 돌부가 단조 결합되는 것을 예시한 도면이다.
도 9에 나타낸 바와 같이, 돌부(210) 및 홈부(310)의 적어도 일부 단면적(A, A')이 서로 다른 것으로서, 저면이 넓어지는 형상의 홈부(310)와 돌부(210)가 단조결합 하게 되고, 단조결합시 돌부(210)가 외부의 압력에 의해 소성변형에 의해 홈부(310)에 정합되는 방법을 예시한 것이다.
도 9에 예시한 방법 역시 홈부의 측면에 홈구조 형태의 냉각로(350)를 히터(315)의 매설과 함께 형성하게 되면, 간단한 공정으로 냉각장치를 구현할 수 있게 되고, 공정의 용이성으로 인한 시간단축 및 비용절감의 효과를 가져 올 수 있다.
이처럼, 돌부(210) 및 홈부(310)의 형상은 적어도 일부 단면적(A, A')이 다른 형상으로서, 소성변형이 일어날 공간을 확보한다는 점에서는 다양한 형상으로 단조결합 할 수 있음은 물론이다.
더하여, 돌부와 홈부의 강도(Hardness) 또는 경도(Strength)를 서로 다르게 하는 것이 바람직한데, 이는 돌부 및 홈부의 소성변형에 의해 정합을 할 때, 어느 하나의 강도 또는 경도가 다르게 되면 보다 용이하게 소성변형이 일어날 수 있기 때문이다. 그리고 이러한 돌부 및 홈부의 강도 또는 경도를 다르게 하는 방법은 각 금속의 열처리를 다르게 하면 된다.
도 10은 본 발명의 또 다른 실시예로서, 홈부의 측면에 삼각관 형태의 냉각로를 형성하는 써셉터 제조방법을 예시한 도면이다.
도 10에서 돌부(210) 및 홈부(310)의 적어도 일부 단면적(A, A')이 서로 다르게 하여 소성변형이 일어날 공간을 확보하게하고, 히터(315)와 접합될 돌부(310)의 머리부분을 홈구조로 형성하며, 파이프 형상의 히터(315)의 곡률반경(r)과 돌부(210)의 오목화된 구조의 머리부분의 곡률반경(R)을 서로 다르게 하여, 단조 결합시 소성변형에 의한 정합이 일어날 수 있도록 한다.
그리고, 위 돌부(210)와 대응되는 홈부(310)의 측면에 도 9에서 예시된 방법과 달리 삼각관 형태의 냉각로(350)를 형성하여 써셉터 커버와 바디가 단조결합시 소성변형에 의한 정합이 이루어지면서 견고한 결합으로 인한 냉각로를 용이하게 형성할 수 있게 된다. 이 외에도 설계 및 공정조건에 따라 가장 적절한 모양으로 냉각로를 다양하게 형설할 수 있음은 당해 기술분야에 통상의 지식을 가진 자라면 자명하다.
이처럼, 히터(315)와 돌부(210)의 머리부분의 곡률반경(R)을 서로 다르게 하는 것이 바람직한데, 그 일례로 돌부의 머리부분의 곡률반경(R)을 더크게 하는 것 은 돌부(210)의 머리부분은 히터(315)와 단조 결합되어 접합하는 부분이어서, 히터(315)를 감싸면서 자연스럽게 소성변형이 일어날 수 있도록 하기 위함이고, 히터(315)의 둥근 면에 전체에 균일하게 힘이 가해지도록 하기 위함이다.
즉, 히터(315)의 감싸는 둥근면에 균일한 힘이 가해짐으로써, 단조압(Forging pressure)이 히터(315)의 일부분에 집중되어 변형을 일으키거나 접합부분의 비정합으로 인한 보이드(void)가 형성되는 것을 방지할 수 있게 된다.
또한, 히터(315) 표면의 형상을 요철구조로 형성하는 것이 바람직한데, 이는 히터(315) 표면을 요철구조로 형성하게 되면, 돌부(210)와 소성변형에 의한 정합이 이루어 질 때, 접촉되는 단면적이 넓어지게 되어 열전달 효율이 높아지는 효과를 얻을 수 있기 때문이다. 물론, 요철 구조 이외에도 히터(315) 표면의 접촉 단면적을 높일 수 있는 구조라면 어떠한 형상도 가능하다.
그리고, 히터(315)의 재질을 매설되는 써셉터 바디(300)와 동일한 재질로 형성하거나, 열팽창률이 동일한 재질로 형성하는 것이 바람직하다. 이는 히터(315)와 써셉터 바디(300)가 재질 및 열 팽창률이 다른 경우, 가열에 따라 팽창정도가 서로 달라 접합면에서 보이드(void) 등이 형성되어 열전달 효율을 저하시키는 것을 막을 수 있기 때문이다.
이상 도 8내지 도 9에 예시된 써셉터 제조방법 모두는 써셉터 커버와 써셉터 바디의 결합에 있어서, 홈부의 구조 및 냉각로 형성을 달리하여 예시한 것이지만, 이렇게 소성변형에 의한 결합을 하고 난후, 본 발명에 따른 제조방법에 따라 완전한 접합을 위해 써셉터 바디의 홈부 내부에 매설된 히터를 외부의 전원장치를 통해 가열하여 브레이징이 이루어 지는 것은 물론이다.
도 11은 본 발명에 따른 또 다른 제조공정을 통하여 제조된 써셉터를 예시한 도면이다. 도 11에 나타낸 바와 같이 적어도 저면에 적어도 하나 이상의 홈부가 형성된 써셉터 바디(100)를 형성하고(a), 홈부 중 적어도 하나 이상에 히터(315)를 매설하고, 홈부의 측면에 냉각로(350)를 형성한다. 그리고, 홈부에 대응되는 커버(400)를 형성하여, 단조결합 함으로써, 소성변형에 의하여 정합시키는 것으로서, 커버(400) 및 홈부의 삽입방향으로의 단면적이 서로 다르게 하여 써셉터를 제조하게 된다.
앞서 예시한 실시예와는 다른 것으로, 저면에 히터(315)가 매설되고, 측면에 냉각로(350)가 형성된 홈부를 포함하는 써셉터 바디(100)의 홈부에 커버(400)를 단조 결합하는 방법으로서, 각 홈부 및 커버(400)를 개별적으로 단조 결합해야 한다는 점에서 차별화된다. 즉, 이와 같은 방법은 개별적인 단조결합으로, 돌부가 하나이상 형성되어 있는 써셉터 커버와 써셉터 바디를 전체적으로 결합하는 경우 발생할 수 있는 불안정성 및 공정상 고도의 정밀성이 요구되는 부담을 줄일 수 있다는 측면에서 장점이 있다.
도 11에서 나타낸 바와 같이 미리 커버(400)와 홈부의 적어도 일부 단면적이 서로 다르게 형성하여 소성변형에 의한 단조결합이 될 수 있도록 공간을 확보해 준다. 즉, 홈부의 삽입방향으로의 단면적이 커버보다 넓게 형성하고, 그 형상은 홈부의 중심으로 갈수록 넓어지는 형상이다. 또한 커버(400)의 제일먼저 삽입되는 머리부분은 히터(315)와 대응되어 접합되도록 홈구조로 형성되고, 그 단면적 또는 곡률 반경도 역시 소성변형에 의한 접합이 가능하도록 넓고 크게 형성한다. 그리고 각각의 히터(315)는 써셉터 바디 내부 연결선(317)에 의해 외부의 전원장치(500)와 연결된다.
즉, 커버(400)가 단조 결합시 미리 일부단면적이 넓어진 홈부로 삽입되어 일정한 힘 이상의 압력을 가하게 되면, 소성변형이 일어나게 되어 홈부와 커버가(400) 정합되게 된다. 이러한 정합은 '잠금효과'를 가져올 뿐만 아니라, 적은 힘으로 용이하게 결합됨으로써, 변형 및 보이드 형성을 상당 부분 줄어든 견고한 결합을 하게 된다.
동시에, 홈부의 측면 일부에 형성된 냉각로(350)가 있어서, 커버가 홈부에 소성변형에 의한 단조결합을 하게 되면, 자연스럽게 관로 형태의 냉각로(350)가 형성하게 됨으로써, 종래에 독립적 개별적으로 형성하였던 냉각로를 용이하게 히터 근처에 견고한 결합을 통해 형성시킬 수 있는 장점이 있다.
도 12는 본 발명에 따른 또 다른 제조공정을 통하여 제조된 써셉터를 예시한 도면이다. 도 12에 나타낸 바와 같이 적어도 저면에 적어도 하나 이상의 홈부가 형성된 써셉터 바디(100)를 형성하고(a), 홈부 중 적어도 하나 이상에 히터(315)를 매설하고, 홈부의 측면에 냉각로(350)를 형성하여 냉각관 또는 냉각 파이프(355)를 매설한다. 그리고, 홈부에 대응되는 커버(400)를 형성하여, 단조결합 함으로써, 소성변형에 의하여 정합시키는 것으로서, 커버(400) 및 홈부의 삽입방향으로의 단면적이 서로 다르게 하여 써셉터를 제조하게 된다.
도 12에 예시한 제조 방법은 도 11의 제조방법과 달리 홈부의 측면에 냉각 로(350)를 형성하여 그 자리에 다시 냉각관 또는 냉각파이프(355)를 형성하는 방법으로서, 도 8에 예시된 방법과 대응된다.
즉, 써셉터 바디의 홈부와 개별 커버와의 소성변형에 의한 단조결합을 하여 발생하는 냉각로(350)를 형성하는 과정에서 냉각로(350)가 막히거나 국부적으로 관로가 통공이 좁아질 수 있으므로, 이를 피하기 위해 그 공간에 냉각 파이프나 냉각관을 매설하여 안정하고 균일하게 냉매가 통유될 수 있도록 하기 위함이다.
역시, 도 11 및 도 12에 나타낸 바와 같이 소성변형에 의한 결합 후, 매설된 히터의 가열을 통하여 브레이징을 함으로써, 견고하고 안정된 접합을 이루게 되어 열전달 효율이 높은 써셉터를 용이한 제조할 수 있게 된다.
도 13은 본 발명의 또 다른 실시예로서, 금속 합금층을 형성한 써셉터 제조방법의 일부 공정을 예시한 도면이다.
도 13에 나타낸 바와 같이 먼저, 커버(400)를 써셉터 바디와 재질이 다른 금속(410)으로 얇게 코팅한다(도 14의 (a)). 코팅된 커버(400)는 커버와 대응되며, 커버(400)의 단면적(A)보다 홈부의 일부 단면적(A')을 넓게 형성하고, 그 측면 일부에 홈을 내어 냉각로(350)를 형성과 함께 히터(315)를 홈부의 저면에 매설한다. 그리고, 커버를 홈부(310)에 단조 결합한다. 단조 결합시 외부에서 일정한 온도의 열(heat)을 가하게 되면(도 14의 (b)) 커버(400)와 홈부(310)의 접합면에 합금층(410')이 형성되게(도 14의 (c)) 된다.
그리고 나서, 도 13의 (d)에 예시한 바와 같이, 고진공(약 10-5 Torr) 분위기의 챔버(600) 내에서 외부의 전원 장치(500)와 연결선(317)에 의하여 연결되어 있는 히터(315)를 가열하여 브레이징 함으로써, 지지압력 없이 용이하게 견고하고 안정된 접합을 할 수 있게 된다. 또한, 챔버(600)내에 불활성 가스와 같은 차폐 가스(Shielding gas)를 봉입하여 브레이징 공정을 수행할 수도 있는데, 이는 고가 내지 대형의 진공장비의 필요 없이 접합면의 산화를 방지할 수 있어서 공정 단가를 낮추고 용이하게 브레이징 공정을 수행 할 수 있기 때문이다.
이처럼 커버(400)와 홈부(310)의 접합면에 합금층(410')을 형성하는 것은 커버(400) 및 홈부(310)의 접합면에 발생할 수 있는 산화층을 막아 접합부분의 부식으로 인한 결합 견고성의 저하를 방지하기 위함이다. 또한 얇은 층으로 합금층을 형성하게 되어 열을 가하는 과정에서 미소하게 발생될 수 있는 틈이나 보이드를 이 합금층(410')이 채워져 견고한 결합이 한층 더 강화되게 된다.
여기서 써셉터 바디는 알루미늄을 재질로 하고 코팅은 아연(Zn)으로 형성함으로써, 알루미늄-아연 합금층(410')을 형성하게 되는데, 이러한 합금층은 아연(Zn) 뿐만 아니라 니켈, 크롬 등도 가능하다. 즉, 써셉터의 재질과 다르면서, 산화피막 형성이 적고, 낮은 온도에서 합금을 형성할 수 있는 재질이라면 어떠한 재질도 가능함은 당해 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 자명하다.
이렇게 상술한 본 발명에 따른 써셉터 제조방법을 제공하게 되면, 상술한 돌부 또는 커버 및 홈부 중 적어도 어느 하나의 삽입방향으로의 단면적 일부를 다르 게 함으로써, 미리 확보된 공간으로 인하여 소성변형에 의한 정합을 용이하게 이룰 수 있게 하고, 보다 견고하고 안정된 결합을 이룰 수 있다.
또한, 결합상태를 유지하기 위한 지지 압력이 필요 없게 되어, 써셉터 내부에 매설된 히터(315)를 외부전원(500)에 의해 가열시키고, 고진공 분위기에서 브레이징을 함으로써, 제조공정이 단순해지고, 제품단가를 낮추는 큰 장점이 있게 된다.
뿐만 아니라, 홈부의 측면에 냉각로를 형성하여 커버를 소성변형에 의한 단조 결합을 함으로써, 히터의 매설과 동시에 히터 부근에 용이하게 냉각장치를 형성할 수 있게 된다.
이상과 같이 본 발명에서는 구체적인 구성 요소 등과 같은 특정 사항들과 한정된 실시예 및 도면에 의해 설명되었으나 이는 본 발명의 보다 전반적인 이해를 돕기 위해서 제공된 것일 뿐, 본 발명은 상기의 실시예에 한정되는 것은 아니며, 본 발명이 속하는 분야에서 통상적인 지식을 가진 자라면 이러한 기재로부터 다양한 수정 및 변형이 가능하다.
따라서, 본 발명의 사상은 설명된 실시예에 국한되어 정해져서는 아니되며, 후술하는 특허청구범위뿐 아니라 이 특허청구범위와 균등하거나 등가적 변형이 있는 모든 것들은 본 발명 사상의 범주에 속한다고 할 것이다.
도 1은 종래의 써셉터의 구조를 개략적으로 도시한 예,
도 2에 종래의 알루미늄 합금재의 써셉터 바디의 저면부에 히터를 매설하는 방법을 예시한 도면,
도 3은 종래의 써셉터와 히터 또는 냉각기가 매설된 부분을 도시한 도면,
도 4는 종래의 써셉터의 히터 또는 냉각기가 매설된 부분의 사진 및 이에 대응되는 도면,
도 5는 종래의 CVD 등에 사용하는 히팅 또는 냉각 플레이트를 구성하는 상, 하판의 구조를 예시한 도면,
도 6은 도 5의 히팅 또는 냉각 플레이트의 상, 하판을 합착하는 경우 단조결합(Forge Welding)에 의하여 결합하게 되는데, 그 공정을 예시한 도면,
도 7은 본 발명에 따른 써셉터 제조 공정을 예시한 도면,
도 8은 본 발명에 따른 써셉터 제조방법의 또 다른 실시예로서, 홈부의 측면에 형성된 냉각로에 냉각관를 매설하는 써셉터 제조방법의 일례를 예시한 도면,
도 9는 본 발명에 따른 써셉터 제조방법의 또 다른 실시예로서, 저면이 넓어지는 형상의 홈부와 돌부가 단조 결합되는 것을 예시한 도면,
도 10은 본 발명의 또 다른 실시예로서, 홈부의 측면에 삼각관 형태의 냉각로를 형성하는 써셉터 제조방법을 예시한 도면,
도 11은 본 발명에 따른 또 다른 제조공정을 통하여 제조된 써셉터를 예시한 도면,
도 13은 본 발명의 또 다른 실시예로서, 금속 합금층을 형성한 써셉터 제조방법의 일부 공정을 예시한 도면이다.

Claims (17)

  1. (a) 돌부를 적어도 하나 이상 구비된 써셉터 커버를 형성하는 단계;
    (b) 상기 돌부와 대응되는 홈부를 포함하고, 상기 돌부에 대응되어 결합되는 써셉터 바디를 형성하는 단계;
    (c) 상기 홈부에 히터를 형성하는 단계;
    (d) 상기 써셉터 커버와 상기 써셉터 바디가 단조 결합되고, 상기 단조 결합시 상기 돌부가 소성변형에 의해 상기 홈부에 정합되는 단계; 및
    (e) 상기 써셉터 커버와 상기 써셉터 바디를 상기 히터의 가열을 통하여 브레이징 하는 단계를 포함하며,
    여기서 상기 돌부 및 홈부의 삽입방향으로의 단면적이 서로 다른 것을 특징으로 하는 써셉터 제조방법.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 브레이징은 고진공 분위기에서 이루어지는 것을 특징으로 하는 써셉터 제조방법.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 브레이징은 차폐 가스(shielding gas) 분위기에서 이루어지는 것을 특징으로 하는 써셉터 제조방법.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 (b) 단계에서 수직방향으로 상기 홈부의 단면적은 상기 홈부의 중심부로 점차 넓어지도록 형성하는 것을 특징으로 하는 써셉터 제조방법.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 (b) 단계에서 상기 홈부의 단면적은 상기 홈부의 저면으로 점차 넓어지도록 형성하는 것을 특징으로 하는 써셉터 제조방법.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 돌부의 머리부분은 오목형상의 홈 구조이고, 상기 홈 구조의 곡률 반경을 상기 히터의 곡률 반경과 다르게 하는 것을 특징으로 하는 써셉터 제조방법.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 돌부와 홈부의 강도(Hardness) 또는 경도(Strength)를 서로 다르게 하는 것을 특징으로 하는 써셉터 제조방법.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 히터의 표면의 형상이 요철구조인 것을 특징으로 하는 써셉터 제조방법.
  9. (a) 저면에 적어도 하나의 홈부가 형성된 써셉터 바디를 형성하는 단계;
    (b) 상기 적어도 하나의 홈부에 히터를 형성하는 단계;
    (c) 상기 홈부에 대응되는 커버를 형성하는 단계;
    (d) 상기 커버와 상기 홈부가 단조 결합되고, 상기 단조 결합시 상기 커버 및 홈부 중 적어도 어느 하나가 소성변형에 의해 정합되는 단계; 및
    (e) 상기 커버와 홈부를 상기 히터의 가열을 통하여 브레이징 하는 단계를 포함하며,
    여기서 상기 커버 및 홈부 중 적어도 어느 하나의 삽입방향으로의 단면적이 서로 다른 것을 특징으로 하는 써셉터 제조방법.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 브레이징은 고진공 분위기에서 이루어지는 것을 특징으로 하는 써셉터 제조방법.
  11. 제9항에 있어서,
    상기 브레이징은 차폐 가스(shielding gas) 분위기에서 이루어지는 것을 특징으로 하는 써셉터 제조방법.
  12. 제9항에 있어서,
    상기 (a) 단계에서 수직방향으로 상기 홈부의 단면적은 상기 홈부의 중심부로 점차 넓어지도록 형성하는 것을 특징으로 하는 써셉터 제조방법.
  13. 제9항에 있어서,
    상기 (a) 단계에서 상기 홈부의 단면적은 상기 홈부의 저면으로 점차 넓어지도록 형성하는 것을 특징으로 하는 써셉터 제조방법.
  14. 제9항에 있어서,
    상기 커버의 머리부분은 오목형상의 홈 구조이고, 상기 홈 구조의 곡률 반경을 상기 히터의 곡률 반경과 다르게 하는 것을 특징으로 하는 써셉터 제조방법.
  15. 제9항에 있어서,
    상기 커버와 홈부의 강도(Strength) 또는 경도(Hardness)를 서로 다르게 하는 것을 특징으로 하는 써셉터 제조방법.
  16. 제9항에 있어서,
    상기 히터의 표면의 형상이 요철구조인 것을 특징으로 하는 써셉터 제조방법.
  17. 제1항 또는 제9항의 방법으로 제조된 것을 특징으로 하는 써셉터.
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