KR20080050344A - 노광 장치, 조작 장치, 컴퓨터 판독가능한 매체 및디바이스 제조방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은 원판에 형성된 마크 및 기판에 형성된 마크의 적어도 한 쪽의 위치를 계측하고, 상기 계측된 위치에 근거해서 상기 기판을 광에너지로 노광하도록 구성된 노광장치로서, 상기 원판과 상기 기판의 어느 한 쪽을 유지하고, 또한 이동 되도록 구성된 스테이지, 상기 스테이지에 의해 유지된 상기 원판 및 상기 기판의 어느 한 쪽에 형성된 마크를 촬상하는 스코프, 상기 스테이지의 위치를 지시하기 위해서 조작되도록 구성된 입력부, 표시부 및 상기 입력부에 의해 지시된 스테이지의 복수의 위치에서 각각 상기 스코프에 의해 촬상된 화상을 합성하고, 상기 합성된 화상을 상기 표시부에 표시시키도록 구성된 제어부를 포함하는 노광장치에 관한 것이다.

Description

노광 장치, 조작 장치, 컴퓨터 판독가능한 매체 및 디바이스 제조방법{EXPOSURE APPARATUS, OPERATION APPARATUS, COMPUTER-READABLE MEDIUM, AND DEVICE MANUFACTURING METHOD}

본 발명은, 원판에 형성된 마크와 기판에 형성된 마크의 적어도 한 쪽의 위치를 계측하고, 상기 계측된 위치에 근거해서 상기 기판을 광에너지로 노광하도록 구성된 노광장치에 관한 것이다.

반도체 노광장치는 웨이퍼에 회로패턴을 인쇄하도록 구성되어 있으며, 예를 들면 스테퍼는 회로 패턴의 원도가 그려진 투과판인 마스크(또는 레티클)을 이용한다. 종래의 노광방법은 웨이퍼를 소정의 위치에 위치시키고, 조명광을 마스크를 통해 웨이퍼에 조사하는 것에 의해, 마스크에 그려진 회로 패턴을 웨이퍼에 프린트할 수 있다.

오퍼레이터는 마스크 또는 웨이퍼에 기록된 얼라이먼트를 현미경으로 관찰하고, 그 얼라이먼트 마크를 CCD(charge-coupled device) 카메라에 의해 촬상하며, 화상 처리의 결과를 참조해서 마스크 또는 웨이퍼를 위치시키는 위치결정(얼라이먼트)조작을 행한다. 이 위치 결정조작시에, 오퍼레이터가 촬상된 화상에서 타깃마크 를 검출할 수 없는 경우에는, 마스크 스테이지 또는 웨이퍼 스테이지를 이동시킨다.

즉, CCD 카메라로부터의 영상을 모니터로 보면서, 얼라이먼트 마크가 CCD 카메라의 시야에 나타나도록 수동으로 마스크 스테이지 또는 웨이퍼 스테이지를 이동시킨다. 반도체 노광장치에 구비된 컴퓨터 단말을 이용해서 오퍼레이터는 상기 조작을 실시할 수 있다. 예를 들면, 일본 특개평 11-214287호에 개시된 종래의 기술에서는, 초기의 카메라 시야내에 있어서 마크의 검출에 실패했을 경우에는 자동적으로 마크의 검출조작을 반복한다.

상기한 종래 기술에 따르면, 오퍼레이터는 노광 장치에 구비된 컴퓨터 단말의 조작 화면에 표시된 마스크 스테이지 또는 웨이퍼 스테이지를 이동시키면서(조작하면서) 얼라이먼트 마크를 찾는다. 이 때문에, 얼라이먼트 마크의 탐색 작업을 행하는 오퍼레이터는 노광 장치가 설치되어 있는 장소에서 작업할 필요가 있다.

예를 들면, 오퍼레이터가 온라인 호스트 컴퓨터로부터 노광 장치의 원격 조작을 행하는 경우에는 얼라이먼트 마크의 탐색 작업을 행할 때, 오퍼레이터는 반드시 노광장치가 설치되어 있는 장소에 가야 하며, 이 때문에 작업 효율을 나쁘게 한다.

또, 동일 패턴의 반도체 디바이스를 복수의 노광 장치로 제조하는 경우, 레티클을 복수의 노광 장치에서 공용하는 일이 있다.　이 경우, 레티클 또는 웨이퍼 에 대한 자동 얼라이먼트 처리가 실패한 경우, 오퍼레이터는 빈번하게 수동의 얼라이먼트 마크 탐색 작업을 실시할 필요가 있다.

그러나, 상기한 종래 기술에서는, 자동 얼라이먼트 처리가 실패할 때마다, 이미 수동 얼라이먼트 조작이 완료된 레티클 또는 웨이퍼에 대해서도, 오퍼레이터는 처음부터 수동의 얼라이먼트 탐색 조작을 시작할 필요가 있다. 따라서, 작업 효율을 나쁘게 하고 있었다.

본 발명의 예시적인 실시예는 마크탐색조작에 있어서의 작업효율을 향상시키

는 것을 목적으로 하고 있다.

본 발명의 일측면에 따르면, 원판에 형성된 마크와 기판에 형성된 마크의 적어도 한 쪽의 위치를 계측하고, 상기 계측된 위치에 근거해서 상기 기판을 광에너지로 노광하는 노광장치로서, 상기 노광장치는, 상기 원판과 상기 기판의 어느 한 쪽을 유지하고 또한 이동되도록 구성된 스테이지와, 상기 스테이지에 의해 유지된 상기 원판과 상기 기판의 한 쪽에 형성된 마크를 촬상하도록 구성된 스코프와, 상기 스테이지의 위치를 지시하기 위해서 조작되도록 구성된 입력부와, 표시부와, 상기 입력부에 의해 지시 받은 스테이지의 복수의 위치에서 각각 상기 스코프에 의해 촬상된 화상을 합성하고, 상기 합성된 화상을 상기 표시부에 표시시키도록 구성된 제어부를 포함한다.

본 발명의 다른 측면에 따르면, 조작장치는, 원판 및 기판의 어느 한 쪽을 유지하고, 또한 이동되도록 구성된 스테이지와, 상기 스테이지에 의해 유지된 상기 원판 및 상기 기판의 어느 한 쪽에 형성된 마크를 촬상하는 스코프를 포함하고, 상기 마크의 위치를 계측하고, 상기 계측된 위치에 근거해서 상기 기판을 광에너지로 노광하는 노광장치를 조작하도록 구성되어 있다. 또 상기 조작장치는, 상기 스테이지의 위치를 지시하기 위하여 조작되도록 구성된 입력부와, 표시부와, 상기 입력부에 의해 지시된 상기 스테이지의 복수의 위치에서 각각 상기 스코프에 의해 촬상된 화상을 합성하고, 상기 합성된 화상을 상기 표시부에 표시시키도록 구성된 제어부를 포함한다.

본 발명의 또 다른 측면에 따르면, 원판 및 기판의 어느 한 쪽을 유지하고, 또한 이동되도록 구성된 스테이지와, 상기 스테이지에 의해 유지된 상기 원판 및 상기 기판의 어느 한 쪽에 형성된 마크를 촬상하도록 구성된 스코프를 포함하며, 상기 마크의 위치를 계측하고, 상기 계측된 위치에 근거하여 상기 기판을 광에너지로 노광하는 노광장치를 조작하기 위한 컴퓨터 실행 가능한 지시를 포함하는 컴퓨터 판독 가능한 매체를 제공하는 것이다. 상기 매체는 입력부로부터 스테이지의 위치를 지시하는 정보를 받기 위한 컴퓨터 실행가능한 지시와, 상기 스테이지의 복수의 지시된 위치에서 각각 스코프에 의해 촬상된 화상을 합성하기 위한 컴퓨터 실행 가능한 지시와, 표시부가 합성된 화상을 표시하게 하기 위한 컴퓨터 실행 가능한 지시를 포함한다.

본 발명의 또 다른 측면에 따르면, 디바이스의 제조방법은 상기 노광장치를 이용해서 기판을 광에너지에 노광하는 공정과, 상기 노광된 기판을 현상하는 공정과, 상기 현상된 기판을 처리해서 디바이스를 제조하는 공정을 포함한다.

본 발명의 또 다른 특징 및 측면은 유첨된 도면을 참조하여 상세하게 설명한 다음의 예시적인 실시예에 의해 명백해질 것이다.

명세서의 일부에서 구체화 되고, 명세서의 일부를 구성하는 유첨도면은 상세한 설명과 함께 본 발명의 예시적인 실시예, 특징 및 측면을 나타내는 것이다.

다음의 예시적인 실시예의 설명은 예시적인 것을 나타내는 것이며, 본 발명이나 그 적용 또는 용도를 한정하는 것은 아니다. 명세서 전반에 걸쳐서 동일한 참조번호 및 문자는 다음의 도면에서 동일한 항목을 가리키는 것이며, 따라서 일단 하나의 도면에서 한 개의 항목이 설명되면, 그것은 다음의 도면에서는 설명되지 않을 수 있다. 본 발명의 예시적인 실시예를 유첨도면을 참조해서 이하 설명한다.

본 발명에 의하면 마크탐색조작에 있어서의 작업효율을 향상시킬 수 있다.

이하, 유첨된 도면을 참조하여, 본 발명의 예시적인 실시예를 설명한다.

(제 1 실시예)

도 1은, 본 발명의 제 1 실시예의 노광 장치(100)의 구성예, 및 노광 장치를 관리하는 컴퓨터 단말(121)의 구성예를 나타낸다. 도 1에 있어서, 노광 장치(100)은, 다른 노광 장치(118), (119)와 같은 구성이고, 노광장치(100)(118) 및 (119)는 LAN(120)을 개재해서 컴퓨터 단말(121)에 접속되어 있다. 이하, 노광장치(100)를 대표적으로 설명한다. 노광 장치(100)은, 예를 들면 중앙처리장치(CPU)와 내부 메모리인 RAM을 가지는 콘솔 제어부(115)를 구비한다.

콘솔 제어부(115)는, CRT, 액정 디스플레이 등의 표시부(108)를 제어하고, 키보드, 마우스, 터치 패널 등의 입력부(107)로부터 수신한 입력신호를 인식하고, 또한 하드 디스크, 또는 광자기 디스크(MO) 등의 기억 수단인 기억장치(116)의 제어를 실시한다.

또, 콘솔 제어부(115)는, 공장의 정보 네트워크인 LAN(120)에 접속되는 LAN송/수신부(117)의 제어, 조명계 제어부(109)의 제어, A스코프 제어부(110)의 제어 및 마스크 스테이지 제어부(111)의 제어를 실시한다. 또, 콘솔 제어부(115)는, B스코프 제어부(112)의 제어, 웨이퍼 스테이지 제어부(113)의 제어 및 화상입력부(114)의 제어를 실시한다.

특히, 콘솔 제어부(115)는, 조명계 제어부(109), A스코프 제어부(110) 및 마스크 스테이지 제어부(111)에 대해서 소정의 제어 커맨드를 송신하는 것에 의해서 노광 장치(100)의 제어를 행한다. 그리고, 마스크 스테이지 제어부(111)는, 마스크 스테이지를 제어하도록 구성되어 있고, 웨이퍼 스테이지 제어부(113)는, 웨이퍼 스테이지(104)를 제어하도록 구성되어 있다.

한편, 조명계 제어부(109)는 콘솔 제어부(115)로부터 제어 커맨드를 받아서 노광광을 조사하는 조명부(101)의 제어를 행한다. A스코프 제어부(110)는 콘솔 제어부(115)로부터 제어 커맨드를 받아서 A스코프(105)의 제어를 행한다. A스코프(105)는, 마스크(회로 패턴 마스크)의 얼라이먼트시에 사용되는 것으로, 마스크에 기록된 얼라이먼트 마크를 관찰할 수 있는 현미경이며, 그 마크의 촬상된 영상을 나타내는 비디오 신호를 화상 입력부(114)에 송신한다.

마스크 스테이지 제어부(111)은, 콘솔 제어부(115)로부터 제어 커맨드를 받아서 마스크 스테이지(102)의 XYZ 좌표계에서의 이동 제어를 행하여, 노광 처리시의 마스크의 투영 위치를 조정할 수 있다. 또, A스코프(105)는 마스크 얼라이먼트 화상 촬상 수단으로서 기능한다.

B스코프 제어부(112)는, 콘솔 제어부(115)로부터 제어 커맨드를 받아서 B스코프(106)의 제어를 행한다. B스코프(106)는, 웨이퍼(반도체 웨이퍼)의 얼라이먼트시에 사용되는 것으로, 웨이퍼에 기록된 얼라이먼트 마크를 관찰할 수 있는 현미경이며, 상기 웨이퍼의 촬상된 영상을 나타내는 비디오 신호를 화상 입력부(114)에 송신한다.

웨이퍼 스테이지 제어부(113)는, 콘솔 제어부(115)로부터 제어 커맨드를 받아서 웨이퍼 스테이지(104)의 XYZ 좌표계의 이동 제어를 행해서, 노광 처리시에 웨이퍼의 노광 위치를 조정할 수 있다. 한편, 투영 렌즈(103)는 마스크의 패턴을 웨이퍼에 축소하여 인쇄하는 경우에 필요하고, B스코프(106)는, 웨이퍼 얼라이먼트 화상 촬상 수단으로서 기능한다.

화상 입력부(114)는, A스코프(105) 및 B스코프(106)으로부터의 영상 신호를 수신해서 그 신호를 내부의 화상 메모리에 기억시키고, 그 영상신호를 콘솔제어부(115)에 출력한다. 여기서, 콘솔 제어부(115)는, 얼라이먼트의 대상이 마스크 스테이지(102)인 경우는 A스코프(105)로부터 영상 신호를 수신하고, 얼라이먼트의 대상이 웨이퍼 스테이지(104)인 경우는 B스코프(106)로부터 영상 신호를 수신한다.

콘솔 제어부(115)는, 수신한 영상 신호를 소정의 시간 간격으로 정지화상으 로 변환해서 내부 메모리에 기억시킨다. 그 후, 콘솔 제어부(115)는, 내부 메모리에 기억된 정지화상에 대해서 노광 장치(100)의 식별 정보나 촬상 대상의 위치 정보 등을 부가한 송신 데이터를 생성한다. 또, 콘솔 제어부(115)는, 송신 데이터를 LAN을 개재해서 외부장치와 통신할 수 있는 LAN송/수신부(117)에 송신한다.

컴퓨터 단말(121)은, 오퍼레이터가 얼라이먼트 마크의 탐색 조작에 이용할 수 있는 조작 단말이며, LAN(120)을 개재해서 노광 장치(100), (118), (119)의 각각과 통신할 수 있다. 이하, 컴퓨터 단말(121)을 외부 컴퓨터 단말(121)로 칭한다.

외부 컴퓨터 단말(121)은, 노광 장치(100), (118), (119)와 함께 클린 룸내에 설치할 수도 있고, 또는 다른 룸에 설치할 수도 있다.

외부 컴퓨터 단말(121)의 표시 화면 제어부(125)는, CRT, 액정 디스플레이 등의 표시부(123)의 제어를 실시한다. 또, 외부 컴퓨터 단말(121)은 키보드, 마우스 등의 입력부(122)로부터 수신한 신호를 인식하고, 하드 디스크, MO 등의 기억장치(126)의 제어를 실시한다.

또, 표시 화면 제어부(125)는, LAN(즉, 공장의 정보 네트워크)에 접속된 LAN송/수신부(124)의 제어를 행하고, LAN송/수신부(124)는 노광장치(110)로부터 LAN(120)을 경유하여 LAN송신데이터를 받는다. 그리고, 표시화면 제어부(125)는 수신한 LAN 송신 데이터의 해석을 실시한다. 여기서, 표시 화면 제어부(125)는 LAN 송신 데이터의 해석 정보로부터 탐색 조작 화상(127)(즉, 얼라이먼트마크의 탐색결과)을 생성하고, 표시부(123)는 탐색조작화상(127)을 표시한다. 또, 표시 화면 제어부(125) 및 탐색 조작 화상(127)은, 마스크(회로 패턴 마스크) 또는 웨이퍼(반도 체 웨이퍼)의 얼라이먼트 마크를 검출하는 수단으로서 기능한다.

도 2는, 외부 컴퓨터 단말(121)의 표시부(123)에 표시되는 예시적인 탐색 조작 화면을 나타낸다. 표시부(123)에 표시되는 탐색 조작 화상(127)은 도 2에 나타낸 탐색 조작화면(200)에 상당하며, 탐색조작화면(200)의 상부에 위치하는 상태 표시부(201)에는, 탐색 대상인 노광 장치(100)를 식별하는 장치 정보를 표시하는 장치 정보 표시부(202)를 가진다.

또, 상태 표시부(201)는, 노광 장치(100)가 마크 탐색조작에 실패해서 재탐색조작이 필요한 얼라이먼트 종별이나 탐색에 의해 식별되는 타깃 스테이지(구동 대상)에 관한 정보 등을 표시하는 얼라이먼트 정보 표시부(203)를 가진다.

또, 상태 표시부(201)는, 또, 로트나 웨이퍼나 마스크 등의 탐색대상의 식별 정보를 표시하는 머티리얼(material) 정보 표시부(204)를 가진다. 그리고, 또, 웨이퍼나 마스크 등의 촬상 대상의 위치 정보를 표시하는 촬상 위치 표시부(205)를 가진다.

얼라이먼트 정보 표시부(203), 머티리얼 정보 표시부(204) 및 촬상 위치 표시부(205)의 각각에 표시되는 정보의 내용은, 노광 장치(100)로부터 LAN(120)을 경유해서 수신한 LAN 송신 데이터에 포함되는 정보의 해석을 반영한다.

즉, 표시부(123)는 표시 화면 제어부(125)로부터 해석결과를 수신하고, 그 해석결과를 상태 표시부(201)의 얼라이먼트 정보 표시부(203)나 머티리얼 정보 표시부(204), 또는 촬상 위치 표시부(205)에 표시한다. 한편, 표시부(123)는 촬상 화상 표시부(213)에 표시되는 촬상 대상의 위치 정보를 촬상 대상이 이동할 때마다 갱신한다. 촬상 화상 표시부(213)에는, 노광 장치(100)로부터 LAN(120)을 경유해서 수신한 LAN 송신 데이터에 포함되는 촬상 화상 데이터를 표시 화면 제어부(125)가 해석한 촬상 화상이 표시된다.

표시부(123)는, 소정의 시간 간격마다 A스코프(105)와 B스코프(106)로 촬상한(LAN 송신 데이터에 포함되는) 정지화상을 연속해서 수신하고, 수신한 각 화상을 촬상화상 표시부(213)에 표시한다. 이 때문에, 오퍼레이터는 촬상 화상 표시부(213)에 표시된 화상을 마스크 스테이지(102) 또는 웨이퍼 스테이지(104)의 리얼타임 동화상처럼 관찰할 수 있다.

촬상 화상 표시부(213)는, 촬상 화상의 중심 좌표를 제시하는 보조 스케일(214)과 같은 다른 화상을, LAN 송신 데이터에 포함되는 촬상 화상 위에 중첩해서 표시할 수 있다.

탐색 조작화면(200)은, 촬상 화상 표시부(213)에 표시하는 촬상 대상의 위치를 조작자가 변경할 수 있게 하는 이동 조작 수단을 가지고 있다. 이동 조작 수단으로서는, 예를 들면, 화상 인터페이스로서 기능하는 방향 버튼, 또는 조작자가 이동처의 위치 좌표를 직접 입력할 수 있게 하는 수동입력장치가 있다. 예를 들면 스테이지 구동 방향 조작부(217)에 있는 방향 버튼을 조작자가 누르면(클릭하면), 스테이지 방향 구동 거리 입력부(216)에 설정된 거리분만큼 마스크 스테이지(102) 또는 웨이퍼 스테이지(104)의 촬상 대상의 위치가 이동한다.

조작자가 이동처의 위치 좌표를 직접 입력하는 이동 조작 수단에서는, 구동 위치 입력부(219)에서 설정한 XY좌표 위치의 촬상 화상이 촬상 화상 표시부(213)에 표시된다. 상기 이동 조작 수단은, 구동 위치 입력 모드 절환 버튼(218)을 가지며, 구동 위치 입력 모드 절환 버튼(218)에 의해 조작자는 절대 좌표 입력 모드 또는 상대 좌표 입력 모드를 선택할 수 있다.

절대 좌표 입력 모드시에 조작자가, 스테이지 구동 조작 버튼(220)을 누르는 경우, 구동 위치 입력부(219)에 설정한 마스크 스테이지(102)의 위치와 웨이퍼 스테이지(104)의 위치에서의 촬상 화상이 촬상 화상 표시부(213)에 표시된다. 또, 조작자가 상대좌표입력모드 시에 스테이지 구동조작버튼(220)을 누르는 경우는, 현재의 촬상 위치에 구동 위치 입력부(219)에 설정된 값을 가산한 마스크 스테이지(102)의 위치와 웨이퍼 스테이지(104)의 위치에서의 촬상 화상이 촬상 화상 표시부(213)에 표시된다.

또, 스테이지 구동방향 조작부(217) 또는 스테이지 구동 조작 버튼(220)을 조작자가 누르는 경우에는, 표시 화면 제어부(125)는 스테이지 구동 요구 커맨드를 생성한다. 스테이지 구동 요구 커맨드는, 스테이지 구동방향 조작부(217) 또는 스테이지 구동 조작 버튼(220)에 의해 조작자가 설정한 스테이지 구동량을 포함한다. LAN송/수신부(124)는 LAN(120)을 경유해서 노광 장치(100)에 스테이지 구동 요구 커맨드를 송신한다. 노광 장치(100)는, 외부 컴퓨터 단말(121)로부터 송신된 스테이지 구동 요구 커맨드를 LAN송/수신부(117)로 수신하고, 콘솔제어부(115)는 스테이지 구동 요구 커맨드를 LAN송신부(117)로부터 수신한다.

콘솔 제어부(115)는, 스테이지 구동 요구 커맨드에 포함되는 구동 대상 스테이지 정보에 의거해서 타킷 스테이지(즉, 구동 대상의 스테이지)를 판단하고, 스테 이지 구동 요구 커맨드에 포함되는 스테이지 구동량에 대응한 스테이지 실구동 커맨드를 생성한다. 또, 콘솔 제어부(115)는, 판단한 타깃 스테이지에 따라서 마스크 스테이지 제어부(111) 또는 웨이퍼 스테이지 제어부(113)에 스테이지 실구동 커맨드를 송신한다. 마스크 스테이지 제어부(111) 또는 웨이퍼 스테이지 제어부(113)는 스테이지는 실구동 커맨드를 수신하고, 마스크 스테이지(102) 또는 웨이퍼 스테이지(104)를 구동한다.

따라서, A스코프(105)에 의해 촬상된 마스크 스테이지(102)의 촬상위치와 B스코프(106)에 의해 촬상된 웨이퍼 스테이지(104)의 촬상 위치가 상대적으로 이동하고, A스코프(105)와 B스코프(106)에서는 촬상 내용이 다른 영상 신호가 생성된다.

이 때문에, 이동 후의 마스크 스테이지(102)와 웨이퍼 스테이지(104)를 반영한 A스코프(105)와 B스코프(106)로부터의 영상 신호를 포함한 LAN 송신 데이터가 콘솔 제어부(115)에 의해 생성되고, LAN송/수신부(117)는 LAN(120)을 경유해서 외부 컴퓨터 단말(121)에 LAN 송신데이터를 송신한다. 따라서, 외부 컴퓨터 단말(121)에서는, 스테이지 구동방향 조작부(217) 또는 스테이지 구동 조작 버튼(220)을 개재한 조작자의 입력에 응해서 이동 후의 마스크 스테이지(102)와 웨이퍼스테이지(104)의 화상을 포함한 LAN 송신 데이터를 수신한다.

외부 컴퓨터 단말(121)의 조작에 있어서는, 상기한 이동 지시, 및 재이동 후의 마스크 스테이지(102) 또는 웨이퍼 스테이지(104)의 화상의 표시가 연속해서 행해진다. 이 때문에, 외부 컴퓨터 단말(121)을 조작하는 오퍼레이터는, 촬상 화상 표시부(213)에 표시된 화상을 리얼타임 화상처럼 노광 장치(100)의 마스크 스테이지(102) 또는 웨이퍼 스테이지(104)를 관찰할 수 있다.

또, 탐색 개시시점에서 얼라이먼트 마크가 나타나지 않는 경우는, 탐색 조작의 결과, 탐색대상 얼라이먼트 마크(215)와 같이 촬상 화상 표시부(213)에 나타난다. 이상의 동작은 상술의 절대 좌표 입력 모드시, 및 상대 좌표 입력 모드시의 경우에 있어서 모두 마찬가지이다.

탐색 조작화면(200)의 상태 표시부(201), 스테이지 구동방향 조작부(217), 구동 위치 입력부(219) 및 스테이지 구동 조작 버튼(220)은, 얼라이먼트 마크 탐색 조작 수단을 구성한다. 제 1 실시예의 경우, 외부 컴퓨터 단말(121)의 표시 화면 제어부(125) 및 탐색 조작화면(200)(주로, 촬상 화상 표시부(213))은 합성화상생성수단을 구성한다.

도 3은, 얼라이먼트 마크 탐색 조작을 행하고 있는 동안 노광 장치(300)와 외부 컴퓨터 단말(301)간에 송신되는 LAN 송신 데이터의 예시적인 데이터 구조를 나타낸다. LAN 송신 데이터는 Time1, Time2 및 Time3으로 구분된 정보(303), (304) 및 (305)를 포함하며, LAN 송신 데이터는 Time2의 송신 데이터(304)에 장치 정보나 촬상 위치 등의 촬상 대상 정보(306)를 포함한다.

또, LAN 송신 데이터에는, A스코프(105) 또는 B스코프(106)에 의해 촬영된 영상 신호가 콘솔 제어부(115)에 의해 변환된 정지화상(304)이 포함된다. 외부 컴퓨터 단말(301 (121))은 소정의 시간 간격으로 갱신되는 LAN 송신 데이터에 포함되는 정지화상정보에 의거해서 그 조작화면에 정지화상을 연속해서 표시한다. 이에 의해 외부 컴퓨터 단말(301 (121))의 오퍼레이터는 화상을 동화상처럼 관찰할 수 있다.

또, 콘솔 제어부(115)는 연속해서 LAN 송신 데이터를 생성하고, 생성된 데이터를 LAN송/수신부(117)에 출력한다. 그러나, 외부 컴퓨터 단말(301 (121))로부터 스테이지 구동 요구를 받지 못하는 경우에는, A스코프(105)와 B스코프(106)는 변하지 않은 스테이지의 위치를 촬상한다. 이 경우, 콘솔 제어부(115)는 LAN송/수신부(117)에의 LAN 송신 데이터의 송신을 정지한다. 이와 같이 해서, 탐색 조작화면(200)의 촬상 화상 표시부(213)에는 마지막에 노광 장치(300 (121))로부터 송신된 최후의 LAN 송신 데이터에 의거해서 화상이 표시된다. 이와 같이, 콘솔 제어부(115)가, A스코프(105)와 B스코프(106)에 의해 촬상되는 촬상 대상의 위치가 변함이 없는 경우는, LAN(302(120))을 경유한 화상 데이터 송신을 중단함으로써, LAN(302)을 경유해서 송신되는 전체의 데이터량을 저감할 수 있다.

도 4는, 탐색 조작화면(200)의 버튼 표시부(206)에 위치하는 설정 화면 기동 버튼(210)을 누를 때 표시되는 예시적인 설정 화면(400)의 일예를 나타낸다. 설정 화면(400)의 장치 정보 입력부(404)에서는, 조작 대상(예를 들면, 노광장치(100))으로 하는 식별정보(예를 들면, 장치명, 타입명 등)를 오퍼레이터가 설정할 수 있다.

설정 화면(400)의 장치 네트워크 어드레스 입력부(405)에서는, LAN(120)에 접속되는 복수의 노광 장치로부터 선택된 조작 대상(예를 들면, 노광 장치(100))을 특정하는 네트워크 어드레스 정보를 오퍼레이터가 입력할 수 있다. 설정 화면(400) 의 버튼 표시부(401)에는 또, 설정 반영 버튼(402)과 설정 취소 버튼(403)이 표시된다.

설정 반영 버튼(402)를 누름으로써, 오퍼레이터는 장치 네트워크 어드레스 입력부(405)에 입력한 장치를 탐색 대상으로서 지정하는 조작의 실행을 지시할 수 있다. 보다 구체적으로는, 탐색대상(장치 네트워크 어드레스 입력부(405)에서 지정된 장치)의 LAN송/수신부는 외부 컴퓨터 단말(121)의 LAN송/수신부(124)와 통신한다.

도 1에 나타낸 바와 같이, LAN(120)에 복수의 노광 장치(100), (118), (119)가 접속되고 있는 경우에는, 오퍼레이터는 장치 네트워크 어드레스 입력부(405)의 내용을 변경하는 것에 의해, 탐색 화면의 조작 대상을 용이하게 바꿀 수 있다. 상술한 바와 같이, 노광 장치(100)의 외부에 있는 외부 컴퓨터 단말(121)에 노광 장치(100) 등의 얼라이먼트 카메라로 리얼타임으로 촬영하고 있는 화상을 표시할 수 있다.

또, 외부 컴퓨터 단말(121)의 오퍼레이터가 마스크 스테이지(102)와 웨이퍼 스테이지(104)를 제어할 수 있는 상기의 구성에 따르면, 온라인 시스템의 오퍼레이터가 클린룸 내에 있는 노광 장치(100)를 원격 제어할 수 있다. 원격 제어 시에 오퍼레이터는 노광 장치(100)에 접근하거나 또는 클린룸에서 입는 클린 슈트를 입을 필요가 없어서 얼라이먼트 마크 검색조작 시의 작업효율을 크게 향상시킬 수 있다. 또, 오퍼레이터는 외부 컴퓨터 단말(121)에 의해 얼라이먼트 어시스트가 필요한 조작 대상(예를 들면 노광 장치(100))을 바꿀 수 있도록 구성되어 있기 때문에, 노광 장치마다 얼라이먼트 어시스트 조작 단말을 준비할 필요가 없어서, 대폭적인 전체의 코스트 삭감이 가능하다.

(제 2 실시예 )

다음에, 상기한 제 1 실시예의 구성에 의거해서 본 발명의 제 2 실시예를 설명한다. 제 2 실시예에 따른 탐색 조작화면(200)은, 제 1실시예에서 설명한 바와 같이 외부 컴퓨터 단말(121)로 표시되어도 되고, 또는 노광 장치(100)에 구비되는표시부(108)에 표시되어도 된다.

이하의 처리는, 노광 장치(100)의 표시부(108)를 제어하는 콘솔제어부(115)에 의해 실행되어도 되고, 또는 외부 컴퓨터 단말(121)의 표시부(123)를 제어하는표시 화면 제어부(125)에 의해 실행되어도 된다.

도 2에 나타낸 바와 같이, 탐색 조작화면(200)의 합성 화상 표시부(221)에는, 탐색을 개시하고 나서 촬상 화상 표시부(213)에 표시된 화상을, 복수의 촬상 위치에 대응해서 조합한 합성 화상(224)이 표시된다. 또 외부 컴퓨터 단말(121)의 표시 화면 제어부(125), 및 탐색 조작화면(200)(주로 합성 화상 표시부(221))는 합성 화상 생성 수단을 구성한다.

합성 화상 표시부(221)에는 또, 현재 촬상 화상 표시부(213)에 표시하고 있는 직사각형의 영역을 나타내는 촬상 영역프레임(225)이 표시된다. 이 촬상 영역프레임(225)에 의해 합성 화상(224)과 촬상 화상 표시부(213)의 촬상 위치 사이의 위치 관계를 오퍼레이터가 용이하게 파악할 수 있어서, 촬상영역프레임(225)의 표시는 이미 탐색이 끝난 영역을 불필요하게 탐색하는 조작을 줄이는 데 효과적이다. 합성 화상 표시부(221)은 표시 축척 스크롤 바(223)를 조작하는 것에 의해, 합성 화상 표시부(221)의 화상을 오퍼레이터가 확대하거나 축소할 수 있는 표시축척스크롤바(223)를 가지고 있다.

표시 축척 스크롤 바(223)의 조작에 의해 합성 화상 표시부(221)에 확대된 화상이 표시되는 경우, 합성 화상 표시부(221)는 합성 화상(224)의 일부만 표시해도 되며, 이 경우, 오퍼레이터는 다음의 조작을 실시할 수 있다.

합성화상(224)을 외부 컴퓨터 단말(121)이 표시하는 경우는, 오퍼레이터는 입력부(122)의 커서 키를 누르는 것에 의해 합성화상 표시부(221)에 표시되는 합성 화상(224)의 위치를 이동시킬 수 있다. 합성화상(224)을 노광 장치(100)가 표시하는 경우에는, 오퍼레이터는 입력부(107)의 커서 키를 누르는 것에 의해, 합성 화상 표시부(221)에 표시되는 합성 화상(224)의 위치를 이동시킬 수 있다.

마크 아이콘(226)은, 탐색의 결과 얼라이먼트 마크의 발견시에, 그 위치를 기억해 두기 위한 정보로서 합성화상(224) 위에 놓일 수 있다. 마크 아이콘(226)은, 후술하는 마크 아이콘 설정 화면(500)(도 5 참조)에서 오퍼레이터에 의해 합성 화상(224)에 부가될 수 있다. 마크 리스트(227)에는 합성 화상(224)에 부가한 마크 아이콘(226)의 리스트가 표시된다. 마크 리스트(227)에는, 각 얼라이먼트 마크의 형상/ 종류나 마크 아이콘(226)을 부가한 마스크 스테이지(102) 또는 웨이퍼 스테이지(104)의 위치 좌표, 그리고 코멘트 등의 마크 아이콘(226)을 식별하기 위한 정보가 표시된다.

표시 화면 제어부(125)와 마크 아이콘(226)은, 합성 화상에 대해서 얼라이먼 트 마크 형상이나 마스크 스테이지(102) 또는 웨이퍼 스테이지(104)의 좌표 정보를 부가하는 부가 수단을 구성한다. 또한, 마크 리스트(227) 및 마크 아이콘 설정 화면(500)도 부가 수단의 구성에 포함된다.

탐색 조작화면(200)의 버튼 표시부(206)에는, 탐색 이력 보존 버튼(207), 마크 설정 화면 기동 버튼(208), 마크 위치 반영 버튼(209), 설정 화면 기동 버튼 (210), 탐색 이력 화면 기동 버튼(211)및 조작화면 종료버튼(212)이 표시된다.

오퍼레이터가 탐색 이력 보존 버튼(207)을 누르는 경우는, 탐색 조작화면(200)을 이용해서 얻은 탐색 정보로부터 탐색 이력 파일(도 6 참조) (600)이 생성되고, 기억장치(116) 또는(126)에 각각 생성된 탐색이력파일(600)이 보존된다. 탐색 이력 파일(600)은 파일 식별 정보(601)(예를 들면, 파일의 생성 시각이나 코멘트)와 장치 정보(602)(예를 들면, 탐색 대상의 장치명이나 장치 제품번호)를 포함한다.

탐색 이력 파일(600)은 또, 얼라이먼트 정보(603)(예를 들면, 얼라이먼트 종별이나 구동 대상 스테이지)와 머티리얼 정보(604)(예를 들면, 탐색 대상의 로트 번호나 웨이퍼 번호)를 포함한다.

탐색 이력파일(600)은 또, 리스트(227)의 정보를 포함한 마크 정보(605)(예를 들면, 탐색 조작화면(200)의 합성 화상 표시부(221)의 하부에 부가한 마크 리스트(227)의 정보)와 합성 화상(606)(예를 들면, 탐색 조작 화면(200)의 합성화상 표시부(221)의 화상 데이터)을 포함한다.

한편, 오퍼레이터가 마크 설정 화면 기동 버튼(208)을 누르는 경우는, 합성 화상 표시부(221)는 도 5에 나타내는 마크 아이콘 설정 화면(500)을 표시한다. 오퍼레이터가 마크 위치 반영 버튼(209)을 누르는 경우는, 구동 위치 입력부(219)는 마크 리스트(227)로부터 선택된 마크의 위치 정보를 표시한다. 마크 리스트(227)에 선택 상태 마크(228)가 있는 상태에서 마크 위치 반영 버튼(209)을 오퍼레이터가 누르는 경우는, 구동 위치 입력부(219)는 선택상태마크(228)의 좌표정보를 표시한다.

오퍼레이터가 마크 위치 반영버튼(209)과 스테이지 구동 조작버튼(220)을 연속해서 누르는 경우, 촬상 화상 표시부(213)는 마크의 위치를 포함한 화상을 표시한다. 오퍼레이터가 탐색 이력 화면 기동 버튼(211)을 누르면, 표시부(108) 또는 (123)은 기억장치(116) 또는(126)로부터 판독한 탐색 이력 파일(600)의 리스트를 포함하는 탐색 이력 화면(700)을 표시한다. 또, 마크 설정 화면 기동 버튼(208), 마크 위치 반영 버튼(209), 구동위치 입력부(219) 및 스테이지 구동 조작 버튼(220)은 부가 수단의 일부를 구성한다. 오퍼레이터는 탐색 화면 종료 버튼(212)을 눌러서 탐색 조작화면(200)을 종료할 수 있다.

버튼 표시부(206)에 포함되는 버튼을 오퍼레이터가 누르면 다음의 화면이 표시된다. 도 5는, 오퍼레이터가 마크 설정 화면 기동 버튼(208)을 누를때 표시되는 마크 아이콘 설정 화면(500)의 일예를 나타낸다. 이하의 처리는, 노광 장치의 표시부(108)를 제어하는 콘솔 제어부(115)나 또는 외부 컴퓨터 단말(121)의 표시부(123)를 제어하는 표시 화면 제어부(125)에 의해 실행된다.

도 5에 나타낸 바와 같이, 마크 설정 화면(500)의 얼라이먼트 마크 입력 부(504)에 의해 오퍼레이터는 합성 화상(224)에 부가하는 얼라이먼트 마크의 형상/ 종류를 지정할 수 있다. 즉, 얼라이먼트 마크 입력부(504)는, 복수의 얼라이먼트 마크를 표시할 수 있고, 오퍼레이터가 소망의 얼라이먼트 마크를 선택할 수 있도록 한다.

마크 아이콘 설정 화면(500)의 마크 아이콘 표시부(505)는 또, 얼라이먼트 마크 입력부(504)에서 선택된 얼라이먼트 마크에 대응하는 화상을 표시한다. 마크 설정 화면(500)의 코멘트 입력부(506)는 또, 오퍼레이터가 마크를 식별하는 코멘트 정보를 입력할 수 있도록 한다. 마크 설정 화면(500)의 버튼 표시부(501)는 또, 마크 부가 버튼(502)과 마크 설정 화면 종료 버튼(503)을 표시한다. 마크 부가 버튼(502)은, 마크 아이콘 설정 화면(500)에서 입력한 얼라이먼트 마크 정보를 합성 화상(224)에 부가하는 인터페이스이다

오퍼레이터가 마크 부가 버튼(502)를 누르면, 합성 화상(224)에 마크 아이콘이 나타난다. 마크 아이콘은 탐색조작화면(200)의 촬상화상 표시부(213)의 중심위치에 대응하는 위치를 나타낸다. 또 마크 아이콘 설정 화면(500)에서 설정한 얼라이먼트 마크의 정보(예를 들면, 형상/종류)나, 마크 아이콘에 의해 나타낸 마스크 스테이지(102) 또는 웨이퍼 스테이지(104)의 좌표 정보가 마크 리스트(227)에 추가된다.

마크 설정 종료 버튼(503)을 누르는 것에 의해, 오퍼레이터는 마크 아이콘 설정 화면(500)에 부가된 어떤한 변경을 무시하고, 마크 아이콘 설정 화면(500)을 종료할 수 있다. 마크 아이콘 표시부(505)와, 마크 부가 버튼(502)은 부가 수단의 구성 요소이다.

도 7은, 오퍼레이터가 탐색 이력 화면 기동 버튼(211)을 누를 때 표시되는 예시적인 탐색 이력 화면(700)을 나타낸다. 이하의 처리는, 노광 장치의 표시부(108)를 제어하는 콘솔 제어부(115)가 실행할 수도 있고, 또는 외부 컴퓨터 단말(121)의 표시부(123)를 제어하는 표시 화면 제어부(125)가 실행할 수도 있다.

도 7에 나타낸 바와 같이, 탐색 이력 리스트 표시부(704)에는, 기억장치(116) 또는 (126)에 격납되고 있던 탐색 이력 파일(600)의 리스트가 표시된다.　탐색 이력 리스트 표시부(704)의 각 행은, 1개의 탐색 이력 파일(600)의 내용을 표시하고 있고, 이력 식별 정보 표시부(705)는 탐색 이력 파일(600)의 파일 식별 정보(601)를 표시한다. 장치 정보 표시부(706)에는, 탐색 이력 파일(600)의 장치 정보(602)가 표시되며, 얼라이먼트 표시부(707)에는, 탐색 이력 파일(600)의 얼라이먼트 정보(603)가 표시된다. 머티리얼 정보 표시부(708)에는, 탐색 이력 파일(600)의 머티리얼 정보(604)가 표시되고, 마크 정보 표시부(709)에는, 탐색 이력 파일(600)의 마크 정보(605)가 표시된다. 그리고 합성 화상 표시부(710)에는, 탐색 이력 파일(600)의 합성 화상 정보(606)의 축소된 화상이 표시된다.

탐색 이력 리스트 표시부(704)에 과거의 탐색 이력 파일(600)의 리스트가 표시되는 경우, 오퍼레이터는 탐색 조작화면(200)의 탐색 대상(즉, 마스크 또는 웨이퍼)이 과거에 다른 노광 장치로 탐색 되었는지의 여부를 용이하게 찾아낼 수 있다.

탐색 이력 화면(700)의 버튼 표시부(701)에는, 이력 판독 버튼(702)과 이력 화면 종료 버튼(703)이 표시된다. 이력 판독 버튼(702)는, 오퍼레이터가 탐색 이력 리스트 표시부(704)에서 선택된 이력 항목(711)을 탐색 조작화면(200)에 로딩할 수 있도록 하는 인터페이스이다. 이력 화면 종료 버튼(703)은, 오퍼레이터가 탐색 이력 화면(700)을 종료할 수 있도록 하는 인터페이스이다.

도 8은, 오퍼레이터가 탐색 이력 화면(700)에서 이력 판독 버튼(702)을 누를 때 표시되는 예시적인 탐색 조작 화면의 일예를 나타낸다. 이하의 처리는, 노광 장치의 표시부(108)를 제어하는 콘솔 제어부(115)가 실행할 수도 있고, 또는 외부 컴퓨터 단말(121)의 표시부(123)를 제어하는 표시 화면 제어부(125)가 실행할 수도 있다.

도 8에 나타낸 바와 같이 탐색 조작 화면(800)이 판독된 탐색이력을 표시하는 상태에서 오퍼레이터가 합성 화상 표시 변환 탭(808)을 이용해서 탐색 이력 표시 탭으로 바꾸면, 합성 화상 표시부(809)는 다음의 정보를 표시한다. 즉, 합성 화상 표시부(809)에는, 탐색 이력 화면(700)에서 선택한 선택 상태 이력(711)에 포함되는 합성 화상(810)이 마크 아이콘(811) 및 마크 리스트(813)와 함께 표시된다.

또, 합성 화상 표시부(809)에는, 리얼타임의 화상을 표시하는 촬상 화상 표시부(804)의 촬상 범위를 나타내는 촬상 영역프레임(812)이 표시된다. 탐색 조작 화면(800)에는, 촬상 화상 표시부(804)에 표시되는 A스코프(105) 또는 B스코프(106)이 촬영하는 리얼 타임의 화상과 합성 화상 표시부(809)에 표시되는 과거의 합성 탐색 화상(810)이 동시에 표시된다.

이에 의해, 오퍼레이터는 과거의 탐색 이력을 참조해서 같은 위치를 반복해서 탐색하지 않고 효과적으로 탐색조작을 할 수 있다. 또, 탐색 이력에 포함되는 마크 아이콘의 위치를 촬상 화상 표시부(804)에 표시하는 경우에는, 다음의 순서가 가능해진다.

즉, 오퍼레이터는 합성 화상 표시 변환 탭(808)으로 이력 탭을 선택하고, 마크 리스트(813)으로부터 의도한 마크(예를 들면, 선택 상태 마크(814))를 선택한 후, 마크 위치 반영 버튼(802)을 누른다.

그러면, 선택 상태 마크(814)에 포함되는 마크 좌표가 구동 위치 입력부(806)에 표시된다. 또, 오퍼레이터가 구동 위치 입력부(806)에 선택 상태 마크(814)의 위치 정보가 설정되어 있는 상태에서 스테이지 구동 조작 버튼(807)을 누르면, 촬상 화상 표시부(804)에는 다음의 정보가 표시된다.

즉 과거에 설정한 마크 아이콘으로 나타내지는 마스크 스테이지(102)와 웨이퍼 스테이지(104)의 위치를 촬상한 A스코프(105) 및 B스코프(106)에 의해 얻어진 화상이 촬상 화상 표시부(804)에 표시된다. 이상과 같이, 외부 컴퓨터 단말의 표시부(123)나 노광 장치(100)의 표시부(123)에, A스코프(105) 및 B스코프(106)의 촬영 화상과 마스크 스테이지 위치 또는 웨이퍼 스테이지 위치를 나타내는 화상의 합성 화상을 동시에 표시할 수 있다.

이에 의해, 오퍼레이터는 탐색 경로와 표시된 촬상 화상 사이의 위치 관계를 파악할 수 있어서 반복해서 같은 장소를 탐색하는 조작 에러를 저감할 수 있고, 작업 효율을 큰폭으로 향상할 수 있다.

또, 오퍼레이터는 합성 화상이나 거기에 부가된 마크 정보의 이력을 보존하는 것이 가능하고, 또한 동일한 노광 장치 혹은 다른 노광 장치로 얼라이먼트 마크 탐색 조작을 한 마스크 또는 웨이퍼에 대한 재탐색도 용이하게 할 수 있다.

즉, 오퍼레이터는 이력정보를 이용할 수 있기 때문에, 수동으로의 얼라이먼트 마크 탐색 조작을 단축시킬 수 있다(처음부터 탐색조작을 시작할 필요가 없다).

도 11은 본 발명의 예시적인 실시예에 따른 프로그램에 의거해서 컴퓨터 단말(121)이 행하는 처리의 순서를 나타내는 플로우챠트이다. 프로그램은 노광장치(100)의 콘솔제어부(115)에 의해서도 실시될 수 있다.

우선 스텝(901)에서는, 외부컴퓨터단말(121)의 표시부(123)에 도 2에 나타낸 탐색조작화면(200)을 표시한다.

그 다음에 스텝(902)에서는, 각 노광 장치(100), (118) 또는 (119)로부터 LAN(120)을 경유해서 수신한 LAN 송신 데이터를 해석한다. 그 다음에 스텝(903)에서는, LAN 송신 데이터의 해석의 결과를 탐색 조작화면(200)내의 상태 표시부(201)에 표시하고, 또한 촬상 화상 표시부(213)는 화상을 표시한다. 예를 들면, 해석의 결과에 근거하여, 상태 표시부(201)의 대응하는 표시부에, 각 노광 장치(100), (118) 또는 (119)의 장치 정보, 얼라이먼트 정보, 머티리얼 정보 및 촬상 위치 정보를 연속해서 표시한다. 또, 촬상 화상 표시부(213)에도, 동시에, 각 노광 장치(100), (118) 또는 (119)의 A스코프(105) 또는, B스코프(106)이 촬영한 화상을 연속해서 표시한다.

그 다음에 스텝 904에서는, 탐색 조작화면(200)의 합성 화상 표시부(221)에, 탐색을 개시하고 나서 촬상 화상 표시부(213)에 표시된 화상을, 복수의 촬상 위치에 대응해서 조합한 합성 화상(224)를 표시한다. 즉, 외부컴퓨터단말(121)은 노광 장치(100)로부터 얻은 화상 정보를, 마스크 스테이지(102)와 웨이퍼 스테이지(104)의 적어도 1개의 촬상 위치에 대응해서 조합한 1매의 합성화상을 생성하고, 생성된 합성화상을 합성 화상 표시부(221)에 표시한다.

합성 화상 표시부(221)에는, 현재, 촬상 화상 표시부(213)에 표시하고 있는 직사각형의 영역을 나타내는 촬상 영역프레임(225)이 표시된다. 이에 의해 오퍼레이터는 합성 화상(224)과 촬상 화상 표시부(213)의 촬영 화상 사이의 관계를 용이하게 파악할 수 있다. 또 오퍼레이터는 표시 축척 스크롤 바(223)을 조작하는 것에 의해, 합성 화상 표시부(221)의 화상을 확대 또는 축소할 수 있다.

표시 축척 스크롤 바(223)에 의한 축척 조정이 부적당한 결과를 가져오는 경우는, 오퍼레이터는 입력부(122)의 커서 키를 조작해서 합성 화상 표시부(221)에 표시하는 합성 화상(224)의 위치를 이동시킬 수 있다. 합성 화상(224)에 부가되는 마크 아이콘(226)은, 탐색의 결과 발견된 얼라이먼트 마크의 위치를 기억해 두기 위한 정보이다.

스텝(905)에서는, 마크 아이콘(226)을, 마크 아이콘 설정 화면(500)을 이용해서 합성 화상(224)에 부가할 수 있다. 합성 화상(224)에 있어서의 마크 리스트(227)에, 합성 화상(224)에 부가한 마크 아이콘(226)의 리스트를 표시한다. 외부 컴퓨터 단말은 또, 합성 화상(224)에 대해서 정보를 부가하며, 그 부가되는 정보는 마스크 및 웨이퍼의 적어도 1개에 부가되는 얼라이먼트 마크의 형상 정보와 마스크 스테이지(102) 및 웨이퍼 스테이지(104)의 적어도 1개의 좌표를 포함한다.

그 다음에 스텝(906)에서는, 외부 컴퓨터 단말(121)은 해석의 결과에 의거 해서 얼라이먼트 마크의 탐색조작에 실패한 노광 장치가 있는지 없는지를 판정한다. 얼라이먼트 마크의 탐색조작에 실패한 노광 장치가 존재하지 않는 경우는(스텝(906)에서 NO) 외부 컴퓨터 단말(121)은 이 루틴의 처리를 종료한다. 한편, 얼라이먼트 마크의 탐색조작에 실패한 노광 장치가 존재하는 경우는(스텝(906)에서 YES), 다음의 스텝(907)으로 처리가 진행한다.

즉 스텝(907)에서는, 상태 표시부(201)는 각 표시부에 얼라이먼트 마크 탐색조작에 실패한 노광 장치의 상기 정보를 표시하거나, 또는 상기 정보를 표시하고 있으면 표시 상태를 계속한다. 얼라이먼트 정보 표시부(203)에는, 마크 탐색조작에 실패해서 재탐색이 필요한 얼라이먼트 종별이나 탐색에 의해 식별된 타깃 스테이지(구동 대상)에 관한 정보를 표시한다. 또, 촬상 화상 표시부(213)에는, 마크 탐색조작에 실패한 노광 장치의 A스코프(105) 또는 B스코프(106)가 촬영한 화상을 표시한다.

스텝(908)에서, 외부 컴퓨터 단말(121)은 탐색 조작화면(200)내의 버튼 표시부(206), 스테이지 방향 구동 조작부(217) 및 구동 위치 입력 모드 절환 버튼(218)을 경유하여 어떠한 조작이 있었는지를 확인한다.

예를 들면 스텝(908)에서, 외부 컴퓨터 단말(121)은 스테이지 방향 구동 거리 입력부(216)에 이동거리가 설정된 상태에서, 스테이지 구동방향 조작부(217)의 방향 버튼에의 사용자 조작을 인식한 경우는, 다음의 처리를 실시한다.

즉, 외부 컴퓨터 단말(121)은 방향 버튼에 의해 지정된 방향으로 설정된 이동거리분만큼 지정된 위치로 촬상대상(마스크 스테이지(102) 또는 웨이퍼 스테이 지(104))을 이동시키기 위한 스테이지 구동 요구 커맨드를 생성하고, 생성된 스테이지 구동 요구 커맨드를 해당하는 노광 장치에 송신한다.

스텝(908)에서, 외부 컴퓨터 단말(121)은 구동 위치 입력 모드 절환 버튼(218)이 절대 좌표 입력 모드를 선택한 상태에서, 구동 위치 입력부(219)에 구동 위치의 입력과 스테이지 구동 조작 버튼(220)의 조작을 인식했을 경우는, 다음의 처리를 실시한다.

즉, 입력된 구동 위치(XY-구동 위치)에 의해 지정된 위치로 촬상대상(마스크 스테이지(102) 또는 웨이퍼 스테이지(104))을 이동시키기 위한 스테이지 구동 요구 커맨드를 생성하고 생성된 스테이지를 구동 요구 커맨드를 해당하는 노광 장치에 송신한다.

노광장치가 스테이지 구동 요구 커맨드를 외부 컴퓨터 단말(121)로부터 받는 경우는 제 1 실시예에서 기술한 것과 같은 처리를 실시한다.

스텝(909)에서는, 마지막 마크 탐색 조작에 실패한 노광 장치로부터의 LAN 송신 데이터에 의거해서 새로운 위치로 이동한 촬상대상의 화상을 촬상 화상 표시부(213)에 표시한다. 또, 스텝(909)에 있어서는, 상기 스텝(904)에서 실시한 상기한 처리(즉, 합성화상표시부(221)에 합성화상을 표시)도 포함한다.

스텝(910)에서는, 마지막 마크 탐색 조작에 실패한 노광 장치로부터 송신된 LAN 송신 데이터를 해석하고, 현재의 얼라이먼트 마크 탐색조작이 성공했는지 아닌지를 판정한다.

이전의 마크탐색조작에 실패한 노광장치에 의해 실행된 얼라이먼트 마크 탐 색조작이 성공했을 경우는(스텝(S910)에서 YES), 외부 컴퓨터 단말(121)은 버튼 표시부(206)의 탐색 이력 보존 버튼(207)에 어떠한 조작이 있었는지를 판정한다..

탐색 이력 보존 버튼(207)에의 어떠한 조작을 인식했을 경우는, 탐색 조작화면(200)에서 입력한 탐색 정보에 의거해서 탐색 이력 파일(600)을 생성하고, 이것을 기억장치(126)에 보존한다. 오퍼레이터가 탐색 이력 화면 기동 버튼(211)을 누르는 경우, 각 탐색이력파일(600)의 화상을 표시하는 것이 가능하다. 이 경우, 얼라이먼트 마크를 포함할 수 있는 촬상 화상 표시부(213)의 촬상 화상과, 상기 탐색 이력 정보에 포함되는 합성 화상을 동시에 표시할 수 있다.

그러나, 현재의 얼라이먼트 마크 탐색조작이 실패한 경우는, 외부 컴퓨터 단말(121)은 스텝(S908) 내지 (S910)의 처리를 반복한다.

그 후, 스텝(911)에서는, 마크탐색조작에 실패한 다른 노광 장치가 존재하는지의 여부를 판정한다. 마크 탐색 조작에 실패한 다른 노광 장치가 존재하는 경우는(스텝(S911)에서 YES), 처리 플로우는 스텝(908)로 돌아간다. 마크 탐색 조작에 실패한 다른 노광 장치가 존재하지 않는 경우는(스텝(S911)에서 NO), 처리 플로우는 스텝(S912)로 진행한다. 스텝(S912)에서, 외부 컴퓨터 단말(121)은 버튼 표시부(206)의 탐색 화면 종료 버튼(212)에 어떠한 조작이 있었는지를 판정한다.

오퍼레이터가 탐색 화면 종료 버튼(212)이외의 버튼을 누르는 경우는, 외부 컴퓨터 단말(121)은 제 2 실시예에서 설명한 바와 같이 버튼 조작에 대응한 처리를 실행한다. 그러나, 스텝(912)에 있어서, 탐색 화면 종료 버튼(212)에의 어떠한 조작을 인식했을 경우는(스텝(S912)에서 YES) 외부 컴퓨터 단말(121)은 이 루틴을 종 료한다.

상술한 바와 같이, 본 실시예에 따른 프로그램은 외부 컴퓨터 단말(121)의 오퍼레이터가 외부 컴퓨터 단말(121)로부터 LAN(120)을 경유해서 액세스 가능한 노광 장치(100)의 마스크와 웨이퍼의 화상을 모니터로 보면서 얼라이먼트 마크의 탐색 조작을 실시하는 것을 가능하게 한다.

따라서, 온라인 호스트 컴퓨터의 오퍼레이터는 복수의 노광 장치의 각각을 원격지로부터 관리할 수 있고, 얼라이먼트 마크 탐색 조작이 실패한 경우라도, 노광장치가 있는 곳으로 갈 필요가 없다. 따라서, 작업 효율을 크게 향상시킬 수 있다.

다음에, 도 9 및 도 10을 참조하여 상술의 노광 장치를 이용한 예시적인 디바이스 제조 방법을 설명한다. 도 9는, 디바이스(예를 들면, 집적회로(IC) 및 대규모집적회로(LSI) 등의 반도체장치, 액정표시장치(LCD) 및 전하결합디바이스(CCD))의 예시적인 제조방법을 설명하기 위한 플로우차트이다. 스텝(S1)은 반도체 디바이스의 회로를 설계하는 공정이다. 스텝(S2)은 설계된 회로패턴에 의거해서, 원판 또는 레티클이라고도 부르는 마스크를 제작하기 위한 마스크 제작 공정이다.

스텝(S3)은 실리콘 등의 재료로부터 기판이라고도 부르는 웨이퍼를 제조하는 공정이며, 이 공정은 레티클 제조공정이 될 수도 있다. 스텝(S4)은 전 공정으로 불리우고, 상기한 마스크를 가진 노광장치를 이용해서 리소그래피 기술을 이용해서 웨이퍼상에 실제의 회로를 형성하는 웨이퍼 공정이다.

스텝(S5)은 후공정으로 불리우고, 스텝(S4)에 의해서 제작된 웨이퍼를 이용 해서 반도체 칩화하는 조립 공정이다. 이 후공정은 어셈블리 공정(예를 들면, 다이싱, 본딩 등) 및 패키징 공정(칩 밀봉)을 포함한다. 스텝(S6)은, 스텝(S5)에서 제작된 반도체 디바이스의 검사를 실시하는 검사 공정이다. 상기 검사는 동작확인 테스트 및 내구성 테스트를 포함한다. 스텝(S7)은 상술한 공정을 거쳐 완성된 반도체 디바이스를 출하는 출하공정이다. 상기 검사는 동작확인 테스트 및 내구성 테스트를 포함한다.

도 10에 나타낸 바와 같이, 상술한 스텝(4)의 웨이퍼 공정은, 웨이퍼의 표면을 산화시키는 산화스텝(S11)과, 상기 웨이퍼의 표면에 절연막을 형성하는 CVD(Chemical vapor deposition)스텝(S12)과, 웨이퍼에 증착에 의해 전극을 형성하는 전극형성스텝(S13)을 포함한다. 또 스텝(S4)의 웨이퍼공정은 웨이퍼에 이온을 주입하는 이온주입스텝(S14)과, 웨이퍼에 감광제를 도포하는 레지스트 처리스텝 (S15)과, 회로패턴이 형성된 마스크를 가진 노광장치를 이용해서 레지스트 처리스텝이 행하여진 웨이퍼를 노광하는 노광스텝(S16)을 포함한다.

또 스텝(S4)의 웨이퍼 공정은, 노광스텝(S16)에서 노광한 웨이퍼를 현상하는 현상스텝(S17)과, 현상스텝(S17)에서 현상된 레지스트 이외의 부분을 에칭하는 에칭스텝(S18)과, 에칭스텝(S18)후에 남아 있는 불필요한 레지스트를 제거하는 레지스트 박리스텝(S19)을 포함한다. 상기의 스텝을 반복해서 실시하는 처리에 의해서 웨이퍼상에 다중으로 회로 패턴을 형성할 수 있다.

상기한 노광장치를 이용한 예시적인 디바이스 제조방법에 의해서 디바이스 제조에 있어서의 작업 효율을 향상시킬 수 있고, 디바이스의 생산성을 높일 수 있 다. 상술한 바와 같이, 상기한 예시적인 실시예에 의해서 마크 탐색작업에 있어서의 작업효율을 향상시킬 수 있다.

이상, 예시적인 실시예에 대해서 본 발명을 설명하였지만, 본 발명은 기술된 예시적인 실시예에 한정되지 않는 것으로 이해되어야 하며, 다음의 청구의 범위는 모든 변형과, 등가의 구성 및 기능을 망라하도록 가장 넓게 해석되어야 한다.

도 1은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 노광 장치의 구성예, 및 노광 장치를 관리하는 컴퓨터 단말의 구성예를 나타내는 도면.

도 2는 제 1 실시예에 따른 컴퓨터 단말의 표시부에 표시되는 탐색 조작 화면의 일예를 나타내는 도면.

도 3은 제 1 실시예에 따른 얼라이먼트 마크 탐색 조작시에 노광 장치와 컴퓨터 단말간에 송신되는 LAN 송신 데이터의 데이터 구조의 일예를 나타내는 도면.

도 4는 제 1 실시예에 따른 탐색 조작 화면의 버튼 표시부에 위치하는 설정 화면 기동 버튼을 오퍼레이터가 누를 때 표시되는 설정 화면의 일예를 나타내는 도면.

도 5는 본 발명의 제 2 실시예에 따른 마크 설정 화면의 기동 버튼을 오퍼레이터가 누를 때 표시될 수 있는 마크 설정 화면의 일예를 나타내는 도면.

도 6은 제 2 실시예에 따른 탐색 조작 화면을 이용해서 얻은 탐색 정보를 가지는 탐색 이력 파일의 일예를 나타내는 도면.

도 7은 제 2 실시예에 따른 탐색 이력 화면의 기동 버튼을 오퍼레이터가 누를 때 표시될 수 있는 탐색 이력 화면의 일예를 나타내는 도면.

도 8은 제 2 실시예에 따른 탐색 이력 화면의 이력 판독 버튼을 오퍼레이터가 누를 때 표시될 수 있는 탐색 조작 화면의 일예를 나타내는 도면.

도 9는 본 발명의 예시적인 실시예에 따른 노광 장치를 사용한 디바이스 제조 방법을 설명하기 위한 플로우차트.　　

도 10은 도 9에 나타내는 플로우차트의 웨이퍼 프로세스를 상세하게 설명하는 플로우차트.

도 11은 본 발명의 예시적인 실시예에 따른 컴퓨터단말이 행하는 처리의 순서를 나타내는 플로우차트이다.

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>

100, 118, 119, 300 : 노광장치 102 : 마스크 스테이지

104 : 웨이퍼 스테이지 105 : A스코프

106 : B스코프 107, 122 : 입력부

108, 123 : 표시부 114 : 화상입력부

115 : 콘솔제어부 116, 126 : 기억장치

117, 124 : LAN송/수신부 120, 302 : LAN

121, 301 : 컴퓨터단말 200, 800 : 탐색조작화면

206, 401, 501, 701, 801 : 버튼표시부 213, 804 : 촬상화상표시부

215 : 얼라이먼트마크 221, 809 : 합성화상표시부 224 : 합성화상 307 : 촬상화상

700 : 탐색이력화면

Claims (9)

1. 원판에 형성된 마크 및 기판에 형성된 마크의 적어도 한 쪽의 위치를 계측하고, 상기 계측된 위치에 근거해서 해당 기판을 광에너지로 노광하도록 구성된 노광장치로서：

   상기 원판과 상기 기판의 어느 한 쪽을 유지하고, 또한 이동되도록 구성된 스테이지;

   상기 스테이지에 의해 유지된 상기 원판과 상기 기판의 한 쪽에 형성된 마크를 촬상하도록 구성된 스코프;

   상기 스테이지의 위치를 지시하기 위해서 조작되도록 구성된 입력부;

   표시부; 및

   상기 입력부에 의해 지시받은 스테이지의 복수의 위치에서 각각 상기 스코프에 의해 촬상된 화상을 합성하고, 상기 합성된 화상을 상기 표시부에 표시시키도록 구성된 제어부를 포함하는 것을 특징으로 하는 노광장치.
2. 제 1항에 있어서,

   상기 제어부는 상기 표시부에 상기 합성된 화상 및 상기 촬상된 화상을 표시시키도록 구성된 것을 특징으로 하는 노광장치.
3. 제 1항에 있어서,

   상기 입력부는 상기 합성 화상중의 상기 마크의 위치를 지정하기 위해서 조작되도록 구성된 것을 특징으로 하는 노광장치.
4. 제 3항에 있어서,

   상기 합성 화상의 정보와 상기 지정된 마크의 위치의 정보를 기억하도록 구성된 기억부를 또 포함하는 것을 특징으로 하는 노광장치.
5. 제 4항에 있어서,

   상기 제어부는 상기 표시부에 상기 기억된 정보를 특정하는 정보를 표시시키도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 노광장치.
6. 제 5항에 있어서,

   상기 입력부는 상기 특정된 정보를 지정하기 위해서 조작되도록 구성되고,

   상기 제어부는 상기 표시부에 상기 지정된 정보에 대응한 상기 합성 화상의 정보와 상기 지정된 정보에 대응한 상기 지정된 마크의 위치의 정보를 표시시키도록 구성된 것을 특징으로 하는 노광장치.
7. 원판 및 기판의 어느 한 쪽을 유지하고, 또한 이동되도록 구성된 스테이지와, 상기 스테이지에 의해 유지된 상기 원판 및 상기 기판의 어느 한 쪽에 형성된 마크를 촬상하는 스코프를 포함하고, 상기 마크의 위치를 계측하고, 상기 계측된 위치에 근거해서 상기 기판을 광에너지로 노광하는 노광 장치를 조작하도록 구성된 조작장치로서;

   상기 스테이지의 위치를 지시하기 위해서 조작되도록 구성된 입력부；

   표시부； 및

   상기 입력부에 의해 지시된 상기 스테이지의 복수의 위치에서 각각 상기 스코프에 의해 촬상된 화상을 합성하고, 상기 합성된 화상을 상기 표시부에 표시시키도록 구성된 제어부를 포함하는 것을 특징으로 하는 조작장치.
8. 원판 및 기판의 어느 한 쪽을 유지하고, 또한 이동되도록 구성된 스테이지와, 상기 스테이지에 의해 유지된 상기 원판 및 상기 기판의 어느 한 쪽에 형성된 마크를 촬상하도록 구성된 스코프를 포함하고, 상기 마크의 위치를 계측하고, 상기 계측된 위치에 근거해서 상기 기판을 광에너지로 노광하는 노광 장치를 조작하기 위한 컴퓨터실행 가능한 지시를 포함하는 컴퓨터 판독가능한 매체로서:

   입력부로부터 상기 스테이지의 위치를 지시하는 정보를 받아들이는 컴퓨터 실행가능한 지시:

   상기 지시된 상기 스테이지의 복수의 위치에서 각각 상기 스코프에 의해 촬상된 화상을 합성하는 컴퓨터 실행가능한 지시; 및

   상기 합성된 화상을 표시부에 표시시키는 컴퓨터 실행가능한 지시를 포함하는 것을 특징으로 하는 컴퓨터 판독가능한 매체.
9. 원판에 형성된 마크와 기판에 형성된 마크의 적어도 한 쪽의 위치를 계측하고, 상기 계측된 위치에 의거해서 상기 기판을 광에너지로 노광하도록 구성된 노광장치를 이용하는 디바이스 제조방법으로서,

   상기 노광장치는,

   상기 원판과 상기 기판의 적어도 한 쪽을 유지하고, 또한 이동되도록 구성된 스테이지;

   상기 스테이지에 의해 유지된 상기 원판과 상기 기판의 어느 한 쪽에 형성된 마크를 촬상하도록 구성된 스코프와;

   상기 스테이지의 위치를 지시하기 위하여 조작되도록 구성된 입력부;

   표시부; 및

   상기 입력부에 의해 지시받은 스테이지의 복수의 위치에서 각각 상기 스코프에 의해 촬상된 화상을 합성하고, 상기 합성된 화상을 상기 표시부에 표시시키도록 구성된 제어부를 포함하고,

   상기 제조방법은,

   상기 노광장치를 사용하여 상기 기판을 광에너지로 노광하는 스텝;

   상기 노광된 기판을 현상하는 스텝; 및

   상기 현상된 기판을 처리해서 디바이스를 제조하는 방법을 포함하는 것을 특징으로 하는 디바이스 제조방법.

Images