KR20080045470A - 카세트이송대차 및 이를 포함하는 기판 반송시스템 - Google Patents

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KR20080045470A
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최영란
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Abstract

본 발명은 평판표시장치(flat Panel Display device)용 제조장비 사이를 운행하면서 카세트(cassette)를 운반하는 CTV(cassette transfer vehicle) 중 AGV(auto guided vehicle)에 관한 것이다.
본 발명의 특징은 AGV에 구성된 LED패널을 통해 AGV에 실장된 해당 카세트의 정보를 직접 확인할 수 있도록 하는 것을 특징으로 한다.
이로 인하여, AGV에 에러(error)가 발생하여 다운(down)이 되어도, 상기 AGV를 통해 AGV에 실장된 카세트(C)의 출발지와 도착지를 바로 확인할 수 있어, 상기 카세트를 목적지까지 신속하게 옮길 수 있다.
따라서, 에러가 발생된 AGV에 실장된 카세트의 정보를 확인하기 위해 작업자가 AGV와 AGVC 사이를 오갈 필요가 없으므로 공정 효율성이 향상되며 또한, 작업자가 AGVC까지 가는 동안 공정라인 내에 상기 작업자로 인한 이물질이 발생할 수 있는 문제점 역시 미연에 방지할 수 있다.
CTV, AGV, AGVC, 카세트

Description

카세트이송대차 및 이를 포함하는 기판 반송시스템{Cassette transfer vehicle and substrate transfer system using the same}
도 1은 CTV의 대표적인 예로 꼽히는 AGV의 구조를 개략적으로 도시한 사시도.
도 2는 일반적인 액정표시장치용 제조 공정라인을 개략적으로 도시한 평면도.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 기판 반송시스템의 블록도.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 AGV의 구조를 개략적으로 도시한 사시도.
도 5는 도 4의 AGV의 본체 전면을 바라보는 정면도.
도 6은 본 발명에 따른 AGV의 제어부 및 터치패널과 LED패널의 연동관계를 개략적으로 나타낸 블록도.
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>
110 : AGV 120 : 본체
122 : 스테이지 128 : 전면
130 : 이동부 132 : 휠
140 : 아암부 142 : 회전디스크
144 : 아암 146 : 캣치플레이트
152 : 터치패널 154 : LED패널
c : 카세트
본 발명은 평판표시장치(flat Panel Display device)용 제조장비 사이를 운행하면서 카세트(cassette)를 운반하는 CTV(cassette transfer vehicle) 중 AGV(auto guided vehicle)에 관한 것이다.
일반적으로 널리 사용되고 있는 표시장치들 중의 하나인 CRT(cathode ray tube)는 TV를 비롯해서 계측기기, 정보단말기기 등의 모니터에 주로 이용되어 오고 있으나, CRT 자체의 큰 무게나 크기로 인하여 전자 제품의 소형화, 경량화의 요구에 적극 대응할 수 없었다.
이러한 CRT를 대체하기 위해 소형, 경량화의 장점을 갖고 있는 액정표시장치(liquid crystal display device : LCD), 플라즈마표시장치(plasma display panel device : PDP) 등이 활발하게 개발되어 왔다.
이들은 공통적으로 고유의 형광 또는 편광층을 사이에 두고 한쌍의 투명기판을 대면 합착시킨 평판표시패널(flat display panel)을 필수적인 구성요소로 갖추고 있는데, 이와 같은 패널은 소정물질의 박막을 형성하는 증착(deposition)공정, 포토리소그라피(photo lithography)공정, 식각(etching)공정을 여러 번 반복하여 구성하며 이 외에 세정, 합착, 절단 등의 여러 가지 서로 다른 공정이 수반된다.
그리고 이들 각각의 공정진행을 위해 기판은 해당공정을 수행하는 공정장비로 운반 및 공급되며, 이 과정 중에 기판의 운반 및 보관에 드는 시간과 노력을 절감하고자 복수의 기판을 수납하는 카세트(cassette)가 사용되며, 이를 운반하기 위한 무인이송수단으로서 CTV(cassette transfer vehicle)가 동원된다.
현재 널리 사용되고 있는 CTV로는 레일을 따라 이동하는 RGV(rail guided vehicle), 컨트롤러(controller)에 의한 자체 구동력으로 지정된 경로를 이동하는 AGV(automatic guided vehicle) 등이 있고, 최근에는 레이저 항법시스템을 갖춘 LGV(laser guided vehicle)가 이용되기도 한다.
도 1은 CTV의 대표적인 예로 꼽히는 AGV의 구조를 개략적으로 도시한 사시도이다.
도시한 바와 같이, AGV(10)는 크게 카세트(C)가 안착되는 스테이지(22)가 구성된 본체(20)와, 상기 본체(20)의 하단으로 이동부(30)가 구성되어 있고, 상기 본체(20)의 스테이지(22)에는 아암부(40)가 구성되어 있다.
이때, 이동부(30)는 AGV(10) 전체를 지지 및 이동시키기 위해 모터(미도시) 등의 구동수단에 의해 바닥을 따라 움직이는 휠(wheel : 32)을 갖추고 있으며, 아암부(40)는 스테이지(22)에 설치된 회전디스크(42)와, 상기 회전디스크(42)에 수축 및 신장이 가능하도록 구성된 아암(44) 및 이의 끝단에 구성되어 직접적으로 카세트(C)를 지지하는 캣치플레이트(catch plate : 46) 등으로 이루어진다.
따라서, AGV(10)는 이동부(30)에 의해 진행경로를 따라 운행하면서 아암부(40)의 회전, 수축, 신장 등의 동작을 통해 목적하는 카세트(C)를 적재 또는 하역한다.
한편, 상기 AGV(10)의 본체(20) 전면(28)에는 AGV(10)의 정보를 나타내는 터치패널(touch panel : 52)이 구성되어 있다.
Figure 112006084824499-PAT00001
AGV 터치패널
상기 터치패널(52) 상에 표시되는 NOW node는 현 AGV(10)가 이동경로 상의 202에 해당하는 곳에 위치하고 있다는 것을 나타내는데, 상기 202는 이동경로에 점으로서 표시된 곳으로, FWD(forward) node는 상기 NOW node의 점(202)의 정방향(AGV가 움직이는 방향)으로 가장 근접한 점(203)의 위치를 나타내며, BWD(backward) node는 상기 NOW node의 점(202)의 후방향으로 가장 근접한 점(201)을 나타낸다. 따라서, 상기 터치패널(52) 상에는 해당 AGV(10)의 현 위치가 정확하게 표시되는 것이다.
이렇듯, AGV(10)상에 현 AGV(10)의 위치를 정확하게 나타나게 함으로써, 작업자가 원하는 위치로 AGV(10)를 이동시키고자 할 때, 입력한 위치로 AGV(10)가 정 확하게 이동하는 지를 확인 할 수 있게 되는 것이다.
이러한 AGV(10)는 공정라인(도 2의 1) 내에서 이동경로(도 2의 11)를 따라 많은 수가 분주하게 운행한다.
도 2는 일반적인 액정표시장치용 제조 공정라인을 개략적으로 도시한 평면도이다.
도시한 바와 같이, 액정표시장치의 제조를 위한 공정라인(1)은 각 공정에 필요한 다수의 공정장비(12)와 스토커(stocker : 14)를 포함한다.
이때, 상기 공정라인(1)에는 인베이(in bay) 라인을 통해 이송경로(11)가 설치되어, 상기 이송경로(11)를 따라 제 1, 2, 3 AGV(10a, 10b, 10c)가 이동하면서 공정장비(12)와 공정장비(12), 또는 공정장비(12)와 스토커(14) 사이에서 카세트(C)를 반송하게 된다.
상기 공정라인(1)에는 시스템 전체의 카세트(C) 반송을 총괄하는 호스트(host : 미도시)에 의해 제어되는 MCS(material control system : 16)를 포함하는데, 상기 MCS(16)는 카세트(C) 반송을 총괄적으로 제어하는 장치로써, 카세트(C)를 저장하는 스토커(14)를 제어하는 한편, AGVC(AGV controller : 18)를 통해 상기 제 1, 2, 3 AGV(10a, 10b, 10c)의 동작을 제어한다. 즉, 상기 AGVC(18)는 상기 공정라인(1)의 일측 끝에 위치하여 상기 MCS(16)로부터 반송명령을 전달받아 이를 해당 AGV(10a, 10b, 10c)에 전달하는 것이다.
이때, MCS(16)로부터 반송명령을 전달받은 AGVC(18)는 각 AGV(10a, 10b, 10c)에 실장되는 카세트(C)의 정보(=출발지, 도착지) 또한 전달받게 되며, 이를 RS-232C 통신을 통해 각 AGV(10a, 10b, 10c)에도 전달하게 된다.
따라서, 상기 AGVC(18)로부터 카세트(C)의 반송명령 및 정보를 전달받은 AGV(10a, 10b, 10c)는 해당 카세트(C)를 실장하고, 상기 공정라인(1) 내의 이송경로(11)를 따라 상기 카세트(C)의 목적지를 향해 움직이게 된다.
이때, 상기 카세트(C)를 실장하고 이송경로(11)를 따라 이동하던 AGV(10a, 10b, 10c)에 에러(error)가 발생하여 상기 AGV(10a, 10b, 10c)가 다운(down)되어 버리는 경우가 발생하는데, 이러한 경우 공정진행을 담당하는 작업자가 상기 에러가 발생한 AGV(10a, 10b, 10c) 상에 다가가 상기 AGV(10a, 10b, 10c)에 실장된 카세트(C)를 대체 AGV(10a, 10b, 10c)를 통해 목적지까지 신속하게 옮겨야 한다.
그러나, AGV(10a, 10b, 10c)는 AGVC(18)로부터 반송명령과 함께 해당 카세트(C)의 정보를 전달받지만, 앞서 도 1에서 설명한 바와 같이 AGV(10a, 10b, 10c)에는 현 AGV(10a, 10b, 10c)의 위치만을 터치패널(도 1의 52) 상에 나타내고 있을 뿐, 상기 AGV(10a, 10b, 10c)에 실장된 카세트(C)의 정보(=출발지, 도착지)는 알 수가 없다.
따라서, 작업자가 공정라인(1) 일측 끝에 위치하여, AGV(10a, 10b, 10c)의 동작을 제어하며 해당 카세트(C)의 정보를 갖고 있는 AGVC(18)로 직접 가서, 상기 카세트(C)의 목적지를 확인해야 하는 번거로움이 있다.
또한, AGVC(18)는 공정라인(1)의 일측 끝에 위치하고, 상기 에러가 발생한 AGV(10a, 10b, 10c)는 이송경로(11)를 따라 운행중이였으므로, 상기 AGVC(18)와 AGV(10a, 10b, 10c)는 서로 멀리 위치하게 되며 최근, 액정표시장치의 대량화에 따 라 AGV(10a, 10b, 10c)가 이동하는 이송경로(11)도 100m 이상으로 길어지게 됨으로써, 작업자는 이둘 사이를 직접 오가야 하므로 번거로움에 앞서 공정이 지체되어 공정 효율성이 저하되는 문제점이 발생된다.
또한, 작업자가 AGVC(18)까지 가는 동안 공정라인(1) 내에 상기 작업자로 인한 이물질이 발생할 수도 있다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로, AGV에 실장된 카세트의 정보(=출발지, 도착지)를 해당 AGV를 통해 손쉽게 알 수 있도록 하여, AGV의 에러(error) 발생시에도 상기 AGV에 실장된 카세트를 신속하게 목적지까지 운반하고자 하는 것을 제 1 목적으로 한다.
또한, 공정의 효율성 향상을 제 2 목적으로 한다.
전술한 바와 같은 목적을 달성하기 위해, 본 발명은 카세트가 안착되는 스테이지를 제공하는 본체와; 상기 본체 하단부에 구성되어 전체를 지지 및 이동시키는 이동부와; 상기 스테이지 상에 구성되어 카세트를 적재 및 하역하는 아암부와; 상기 본체의 전면에 구성되어, 현 위치를 표시하는 터치패널과; 상기 본체의 전면에 구성되어, 카세트의 정보를 표시하는 LED패널을 포함하는 카세트이송대차를 제공한다.
상기 카세트의 정보는 카세트의 아이디(ID)와, 출발지 그리고 도착지인 것을 특징으로 하며, 상기 카세트이송대차는 제어부를 더욱 포함하며, 상기 제어부를 통해 LED패널 상에 카세트의 정보를 표시하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 아암부는 회전디스크와, 수축 및 신장하는 아암과, 캣치플레이트를 포함하는 것을 특징으로 하며, 상기 카세트이송대차는 RGV(rail guide vehicle), AGV(automatic guide vehicle) 또는 LGV(laser guide vehicle) 중 선택된 하나인 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명은 공정라인의 주위에 배치된 공정장비와, 카세트를 임시 보관하는 스토커와; 상기 카세트를 실장하여 공정라인을 따라 이동하며, 카세트의 해당 정보를 표시하는 LED패널이 구성된 카세트이송대차와; 상기 카세트이송대차에 반송명령과 카세트의 정보를 전달하는 카세트이송대차콘트롤러를 포함하는 기판 반송시스템을 제공한다.
상기 카세트이송대차는 카세트이송대차 콘트롤러로부터 RS-232C 통신을 통해 반송명령 및 카세트의 정보를 전송받는 것을 특징으로 하며, 상기 카세트이송대차를 통해 공정장비에서 공정장비 또는 공정장비에서 스토커로 카세트를 운반하는 것을 특징으로 한다.
이하, 도면을 참조하여 본 발명에 따른 실시예를 상세히 설명한다.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 기판 반송시스템의 블록도이다.
도시한 바와 같이, 기판 반송시스템은 생산을 담당하는 작업자가 시스템 전체에 반송을 지시하는 오퍼레이터(operator)PC(200)가 최상위 계층에 위치하며, 하 부에 호스트(host : 210), MCS(material control system : 116)가 위치하고, 상기 MCS(116)에는 AGVC(118)와 스토커(STK : 114)가 연결되어 위치하고, 각 AGVC(118)의 하부에는 적어도 3개의 AGV(110a, 110b, 110c)가 위치하게 된다.
따라서, 상기 작업자가 오퍼레이터PC(200)를 통해 해당 공정라인에 대한 반송명령을 입력 내지 등록하면, 호스트(210)에서 오퍼레이터PC(200)로부터 상기 등록된 반송명령을 접수하여 MCS(116)로 반송명령을 할당하게 된다.
따라서, 상기 반송명령을 할당받은 MCS(116)는 각 스토커(114)에 제어신호를 전달하여 상기 스토커(114)로부터 어떤 카세트(C)가 제 1, 2, 3 AGV(110a, 110b, 110c)에 실장되어야 하는지를 제어하게 되는데, 상기 스토커(114)는 미세먼지나 입자로 인한 기판의 오염을 방지하고, 카세트(C)를 임시로 보관하는 역할을 한다.
또한, 상기 MCS(116)는 생산공정의 실제적인 레이아웃 정보를 바탕으로 생성된 모델링시스템을 통해 카세트(C)의 출발지(source node)에서 도착지(destination node)까지의 최적반송경로를 선정하여 카세트(C) 반송을 총괄적으로 제어하는 역할을 하게 된다. 상기 모델링시스템을 끝마친 MCS(116)는 다시 하부의 AGVC(118)에 카세트(C)의 반송을 지시하고, 상기 AGVC(118)는 각 제 1, 2, 3 AGV(110a, 110b, 110c)의 상태를 확인한 후 반송할 AGV(110a, 110b, 110c)를 지정하고 제어신호를 전달하여 반송을 지시하게 된다.
이때, MCS(116)로부터 반송명령을 전달받은 AGVC(118)는 각 AGV(110a, 110b, 110c)에 실장되는 각 카세트(C)의 출발지(source node)에서 도착지(destination node)의 정보 또한 전달받게 되며, 이를 RS-232C 통신을 통해 각 AGV(110a, 110b, 110c)에도 전달하게 된다.
따라서, 상기 AGVC(118)로부터 카세트(C)의 반송명령 및 정보를 전달받은 AGV(110a, 110b, 110c)는 해당 카세트(C)를 실장하고, 공정라인 내의 이송경로를 따라 상기 카세트(C)의 목적지를 향해 움직이게 된다.
이때, 상기 AGV(110a, 110b, 110c)는 상기 AGVC(118)로부터 전달받은 해당 카세트(C)의 정보를 공정진행을 담당하는 작업자가 한눈에 쉽게 알아볼 수 있도록 표시하는 것을 특징으로 한다. 이에 대해서는 후술하는 도 4 및 도 5를 참조하여 자세히 설명하도록 하겠다.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 AGV의 구조를 개략적으로 도시한 사시도이며, 도 5는 도 4의 AGV의 본체 전면을 바라보는 정면도이다.
도 4에 도시한 바와 같이, AGV(110)는 액정표시장치용 제조 공정라인에서 진행경로를 따라 운행하면서 카세트(C)를 운반하는 역할을 하며, 크게 본체(120)와, 상기 본체(120) 하단의 이동부(130) 그리고 본체(120) 상단의 아암부(140)로 구분될 수 있다.
이를 좀더 자세히 알아보면, 상기 본체(120)는 이동부(130)와 아암부(140)를 포함하며, 카세트(C)가 안착될 수 있는 스테이지(122)를 제공하며, 본체(120)는 이동부(130)에 의해 설정된 이동경로를 따라 운행함에 있어서 진행방향을 향하는 전면(128)에는 도 5에 도시한 바와 같이, AGV(110)의 현 위치를 나타내는 터치패널(touch panel : 152)과 함께, AGV(110)에 실장된 카세트(C)의 출발위치와 도착 목적지 등이 표시되는 LED패널(154)이 구성된다.
또한, 상기 이동부(130)는 AGV(110) 전체를 지지함과 동시에 원하는 위치로 이동시키기 위한 부분으로, 바닥을 따라 움직이는 복수개의 휠(132)과, 비록 도면상에 명확하게 표시하진 않았지만 휠(132)을 회전시키기 위한 모터 등의 구동수단과 휠(132)의 회전을 강제로 정지시킬 수 있는 브레이크(break)를 포함한다. 이때, 휠(132)은 진동과 소음의 저감을 위해 우레탄 또는 고무재질로 이루어진다.
또한, 아암부(140)는 본체(120)의 스테이지(122) 상에 회전가능하게 장착된 회전디스크(142)와, 상기 회전디스크(142)에 고정된 상태로 수축 및 신장이 가능한 아암(144) 그리고 이의 말단에 결합되어 직접적으로 카세트(C)를 지지하는 캣치플레이트(catch plate : 146)를 포함한다.
따라서, AGV(110)는 이동부(130)에 의해 이동경로를 따라 운행하면서 목적하는 지점으로부터 아암부(140)의 회전, 수축, 신장 동작을 통해 카세트(C)를 적제 또는 하역할 수 있고, 이 과정 중에 본체(120) 전면에 구비된 LED패널(154)을 통해 해당 상기 카세트(C)의 출발지와 도착지를 확인할 수 있다.
이때, LED패널(154)은 아래 도시한 바와 같이 AGV(110)에 실장된 해당 카세트(C)의 고유 ID와 출발지 및 도착지가 LED로 표시되게 된다.
Figure 112006084824499-PAT00002
LED패널
이러한 정보는 RS-232C 통신을 통해 상기 AGV(110)의 동작을 제어하는 반송 명령과 함께 동시에 AGVC(도 3의 118)로부터 전달받게 되는 것이다.
즉, 도 6에 도시한 바와 같이 상기 AGV(110)의 본체(120) 내에는 AGVC(도 3의 118)로부터 전달받은 신호를 감지하는 제어부(160)가 구성되는데, 상기 제어부(160)는 상기 AGVC(도 3의 118)로부터 인가된 AGV(도 4의 110)의 반송명령을 통해 상기 AGV(도 4의 110)의 동작을 제어하는 동시에, 터치패널(152) 상에 현 AGV(도 4의 110)의 위치를 표시하면서 해당 카세트(도 4의 C)의 정보 역시 상기 LED패널(154) 상에 표시하게 된다.
이로 인하여, 카세트(도 4의 C)를 실장하고 공정라인에 구성된 이동라인을 따라 이동 중이었던 AGV(도 4의 110)에 에러(error)가 발생하여 상기 AGV(도 4의 110)가 다운(down)되는 경우가 발생하여도 공정을 진행하는 작업자가 상기 에러가 발생한 AGV(도 4의 110)를 통해 상기 AGV(도 4의 110)에 실장된 카세트(도 4의 C)의 출발지와 도착지를 바로 확인할 수 있어, 손쉽게 대체 AGV를 통해 목적지까지 신속하게 옮길 수 있다.
따라서, 기존과 같이 에러가 발생된 AGV(도 4의 110)에 실장된 카세트(도 4의 C)의 정보를 확인하기 위해 작업자가 직접 공정라인 일측 끝에 위치하는 AGVC(도 3의 118)로 가서, 상기 카세트(도 4의 C)의 목적지를 확인할 필요가 없으므로, 공정이 지체되어 공정 효율성이 저하되었던 문제점을 미연에 방지할 수 있으며 또한, 작업자가 AGVC(도 3의 118)까지 가는 동안 공정라인 내에 상기 작업자로 인한 이물질이 발생할 수 있는 문제점 역시 미연에 방지할 수 있다.
본 발명은 전술한 AGV(도 4의 110)외에도 평판표시장치 제조공정에서 사용되 고 있는 모든 종류의 카세트이송대차로서, RGV(rail guide vehicle), AGV(automatic guide vehicle) 또는 LGV(laser guide vehicle) 등에도 적용 가능한 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 MCS는 카세트이송대차의 콘트롤러(cassette transfer vehicle controller) 중의 하나로, STC(stocker controller)를 사용할 수도 있다.
본 발명은 상기 실시예로 한정되지 않고, 본 발명의 취지를 벗어나지 않는 한도내에서 다양하게 변경하여 실시할 수 있다.
위에 상술한 바와 같이, 본 발명에 따라 AGV를 통해 실장된 카세트의 정보를 직접 확인할 수 있는 LED패널을 더욱 구성함으로써, AGV에 에러(error)가 발생하여 다운(down)되어 버리는 경우가 발생하여도 상기 AGV에 실장된 카세트의 출발지와 도착지를 바로 확인할 수 있어, 해당 카세트를 목적지까지 신속하게 옮길 수 있는 효과가 있다.
따라서, 공정이 지체되어 공정 효율성이 저하되었던 문제점을 미연에 방지할 수 있는 효과가 있으며, 기존에 작업자가 AGVC까지 가는 동안 공정라인 내에 상기 작업자로 인한 이물질이 발생할 수 있는 문제점 역시 미연에 방지할 수 있는 효과가 있다.

Claims (8)

  1. 카세트가 안착되는 스테이지를 제공하는 본체와;
    상기 본체 하단부에 구성되어 전체를 지지 및 이동시키는 이동부와;
    상기 스테이지 상에 구성되어 카세트를 적재 및 하역하는 아암부와;
    상기 본체의 전면에 구성되어, 현 위치를 표시하는 터치패널과;
    상기 본체의 전면에 구성되어, 카세트의 정보를 표시하는 LED패널
    을 포함하는 카세트이송대차.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 카세트의 정보는 카세트의 아이디(ID)와, 출발지 그리고 도착지인 것을 특징으로 하는 카세트이송대차.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 카세트이송대차는 제어부를 더욱 포함하며, 상기 제어부를 통해 LED패널 상에 카세트의 정보를 표시하는 것을 특징으로 하는 카세트이송대차.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 아암부는 회전디스크와, 수축 및 신장하는 아암과, 캣치플레이트를 포함하는 것을 특징으로 하는 카세트이송대차.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 카세트이송대차는 RGV(rail guide vehicle), AGV(automatic guide vehicle) 또는 LGV(laser guide vehicle) 중 선택된 하나인 것을 특징으로 하는 카세트이송대차.
  6. 공정라인의 주위에 배치된 공정장비와, 카세트를 임시 보관하는 스토커와;
    상기 카세트를 실장하여 공정라인을 따라 이동하며, 카세트의 해당 정보를 표시하는 LED패널이 구성된 카세트이송대차와;
    상기 카세트이송대차에 반송명령과 카세트의 정보를 전달하는 카세트이송대차콘트롤러
    를 포함하는 기판 반송시스템.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 카세트이송대차는 카세트이송대차 콘트롤러로부터 RS-232C 통신을 통해 반송명령 및 카세트의 정보를 전송받는 것을 특징으로 하는 기판 반송시스템.
  8. 제 6 항에 있어서,
    상기 카세트이송대차를 통해 공정장비에서 공정장비 또는 공정장비에서 스토커로 카세트를 운반하는 것을 특징으로 하는 기판 반송시스템.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR101530026B1 (ko) * 2013-10-02 2015-06-18 주식회사 에스에프에이 자동 반송대차 시스템 및 자동 반송대차 시스템의 정렬방법
WO2019066205A1 (ko) * 2017-09-29 2019-04-04 (주)윤텍 자동반송대차 및 이를 이용한 카세트 반송 방법

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