KR20080035344A - 방전 챔버를 구비하는 엑시머 레이저 장치 및 이를구동시키는 방법 - Google Patents

방전 챔버를 구비하는 엑시머 레이저 장치 및 이를구동시키는 방법 Download PDF

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Abstract

방전 챔버를 갖는 엑시머 레이저 장치가 제공된다. 상기 엑시머 레이저 장치는 레이저 빔을 생성시키는 방전 챔버를 구비한다. 상기 방전 챔버의 일측에 상기 방전 챔버 내의 상기 레이저 빔을 외부로 방출시키는 아웃 커플러가 설치된다. 상기 방전 챔버의 하부에 수평면 상에서 상기 방전 챔버를 복수개의 측정 위치들로 이동시키는 구동부가 배치된다. 상기 방전 챔버가 상기 각 측정 위치들에 위치할 때마다 상기 레이저 빔과 관련된 파라미터들은 계측부에 의해 측정된다. 상기 계측부는 제어부에 접속되고, 상기 제어부는 상기 측정된 파라미터들을 입력 데이터로 사용하여 상기 측정 위치들 중 최적 위치를 산정한다. 그리고, 상기 방전 챔버를 상기 최적 위치로 이동시키도록 상기 제어부는 상기 구동부를 제어한다. 상기 엑시머 레이저 장치의 구동 방법 또한 제공된다.
엑시머 레이저, 방전 챔버, 정렬

Description

방전 챔버를 구비하는 엑시머 레이저 장치 및 이를 구동시키는 방법{Eximer laser apparatus having a chamber and method of operating the same}
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 엑시머 레이저 장치의 개략도이다.
도 2는 방전 챔버의 저면도이다.
도 3은 선폭 제한 모듈의 개략도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 엑시머 레이저 장치의 구동 방법을 설명하기 위한 순서도이다.
도 5 및 도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 엑시머 레이저 장치 동작을 설명하기 위한 도면이다.
도 7은 대역폭 감소부의 동작을 설명하기 위한 도면이다.
본 발명은 반도체 소자 제조 장치 및 이를 구동시키는 방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 엑시머 레이저 장치 및 이를 구동시키는 구동 방법에 관한 것이다.
엑시머 레이저는 자외선 영역에서 발진하는 유일한 고출력 레이저로서 주목 되고 있으며, 전자산업, 화학산업이나 에너지산업에 있어서 응용이 기대되고 있다. 상기 엑시머 레이저는 XeCl 엑시머 레이저(308nm 파장), KrF 엑시머 레이저(248nm 파장) 또는 ArF(193nm 파장) 등으로 구분될 수 있다. 여기서, 반도체 소자의 생산 분야에서는 KrF 엑시머 레이저가 노광 장치의 노광 광원으로서 사용된다.
상기 엑시머 레이저를 발생시키는 엑시머 레이저 장치는 방전 챔버, 상기 방전 챔버의 전면에 배치되는 아웃 커플러(output coupler) 및 상기 방전 챔버의 후면에 배치되는 선폭 제한 모듈(line narrowing module)을 포함한다. 상기 방전 챔버 내부로 유입된 불활성 가스와 할로겐 가스를 함유하는 레이저 가스는 상기 방전 챔버 내부에 설치된 전극으로부터 전기 방전에 의해 여기된다. 상기 여기된 레이저 가스는 레이저 빔을 생성한다. 상기레이저 빔이 요구되는 특정 파장에 이를 때까지, 상기 레이저 빔은 상기 방전 챔버를 경유하면서 상기 아웃 커플러 및 상기 선폭 제한 모듈 사이를 왕복한다. 상기 레이저 빔이 상기 특정 파장에 이르게 되면, 상기 레이저 빔은 아웃 커플러를 통하여 외부로 방출된다.
일반적으로 엑시머 레이저의 성능을 나타내는 파라미터(parameter)들는 대역폭, 에너지 시그마(energy sigma), 생성 전압의 3가지 요소로 파악될 수 있다. 상술한 파라미터들이 최적화되기 위해 상기 방전 챔버는 최적화된 위치에 배치되어야 한다. 상기 방전 챔버의 최적화된 위치를 찾기 위해 작업자는 디스플레이 수단을 통해 표시되는 각 파라미터들의 데이터를 보며, 수작업에 의해 상기 방전 챔버를 이동시킨다. 그러나, 이러한 수작업은 조작하는 작업자에 따라 상기 방전 챔버의 위치가 다르게 된다. 따라서, 상기 방전 챔버가 최적화되는 위치에 배치되지 않는 경우, 출력 레이저 빔의 효율이 현저히 저하되고, 상기 엑시머 레이저 장치의 수명이 단축된다.
본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 방전 챔버의 최적 위치를 자동으로 정렬시켜 레이저 빔의 효율을 향상시키는 엑시머 레이저 장치 및 이를 구동시키는 구동 방법을 제공함에 있다.
상기 기술적 과제를 이루기 위한 본 발명의 일 양태에 따르면, 엑시머 레이저 장치가 제공된다. 상기 엑시머 레이저 장치는 상기 방전 챔버가 상기 각 측정 위치들에 위치할 때마다 상기 레이저 빔과 관련된 파라미터들은 계측부에 의해 측정된다. 상기 계측부는 제어부에 접속되고, 상기 제어부는 상기 측정된 파라미터들을 입력 데이터로 사용하여 상기 측정 위치들 중 최적 위치를 산정한다. 그리고, 상기 방전 챔버를 상기 최적 위치로 이동시키도록 상기 제어부는 상기 구동부를 제어한다.
본 발명의 몇몇 실시예에서, 상기 구동부는 상기 방전 챔버의 하부면에 소정 간격으로 배치되는 다수개의 직선 구동 유닛들을 구비한다. 상기 직선 구동 유닛들의 각각의 일측에 상기 방전 챔버의 위치 변화를 감지하는 위치 감지 센서가 배치된다.
다른 실시예에서, 상기 구동부에 인접하여 상기 방전 챔버의 이동시 상기 방전 챔버의 하방으로 에어를 분사하는 에어 홀을 더 포함할 수 있다.
또 다른 실시예에서, 상기 방전 챔버의 일측에 배치되는 상기 선폭 제한 모듈을 더 포함할 수 있다. 상기 선폭 제한 모듈은 벤딩 가능하며 상기 레이저 빔의 대역폭을 감소시키는 대역폭 감소부를 구비한다. 상기 대역폭 감소부와 연결되어 상기 대역폭 감소부를 측정 벤딩 형상들로 변형시키는 대역폭 구동부가 설치된다. 여기서, 상기 계측부는 상기 측정 벤딩 형상들로 변형될 때마다 상기 파라미터들을 측정하고, 상기 제어부는 상기 파라미터들을 입력 데이터로 사용하여 상기 대역폭 감소부의 최적 벤딩 형상을 산정하고, 상기 대역폭 감소부를 상기 최적 벤딩 형상으로 벤딩되도록 상기 대역폭 구동부를 제어하는 것을 더 포함할 수 있다.
상기 기술적 과제를 이루기 위한 본 발명의 다른 양태에 따르면, 엑시머 레이저 장치의 구동 방법이 제공된다. 상기 엑시머 레이저 장치의 구동 방법은 레이저 빔을 생성시키는 방전 챔버를 복수개의 측정 위치들로 이동시키되, 상기 방전 챔버가 상기 각 측정 위치들에 위치할 때마다 상기 레이저 빔과 관련된 파라미터들을 측정하는 것을 구비한다. 상기 파라미터들은 상기 방전 챔버 내에서 상기 레이저 빔을 생성시키는데 요구되는 생성 전압과 아울러서 상기 아웃 커플러로부터 방출되는 출력 레이저 빔의 대역폭 및 에너지 시그마를 포함한다. 이어서, 상기 측정된 파라미터들을 입력 데이터로 사용하여 상기 측정 위치들 중 최적 위치를 산정한다. 상기 방전 챔버를 상기 최적 위치로 이동시킨다.
본 발명의 몇몇 실시예에서, 상기 파라미터들은 상기 방전 챔버 및 상기 아웃 커플러에 접속된 계측부를 통하여 측정될 수 있다.
다른 실시예에서, 상기 최적 위치는 상기 계측부에 접속된 제어부를 통하여 산정할 수 있다.
또 다른 실시예에서, 상기 방전 챔버를 복수개의 제 1 측정 위치들로 직선 이동시키면서 상기 파라미터들을 측정할 수 있다.
또 다른 실시예에서, 상기 방전 챔버를 복수개의 제 2 측정 위치들로 회전시키면서 상기 파라미터들을 측정할 수 있다.
또 다른 실시예에서, 상기 방전 챔버의 일측에 선폭 제한 모듈이 더 배치되되, 상기 선폭 제한 모듈은 벤딩 가능하며 상기 레이저 빔의 대역폭을 감소시키는 대역폭 감소부를 포함할 수 있다. 상기 방전 챔버를 상기 최적 위치로 이동시킨 후에, 상기 대역폭 감소부의 벤딩 형상을 측정 벤딩 형상들로 변형시키되, 상기 대역폭 감소부가 상기 각 측정 벤딩 형상들로 변형될 때마다 상기 파라미터들을 측정한다. 상기 파라미터들을 입력 데이터로 사용하여 상기 측정 벤딩 형상들 중 최적 벤딩 형상을 산정한다. 상기 대역폭 감소부를 상기 최적 벤딩 형상으로 벤딩시킬 수 있다.
이하, 첨부한 도면들을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예들을 상세히 설명한다. 그러나, 본 발명은 여기서 설명되어지는 실시예들에 한정되지 않고 다른 형태로 구체화될 수도 있다. 오히려, 여기서 소개되는 실시예들은 개시된 내용이 철저하고 완전해질 수 있도록 그리고 당업자에게 본 발명의 사상이 충분히 전달될 수 있도록 하기 위해 제공되어지는 것이다. 도면들에 있어서, 층 및 영역들의 두께는 명확성을 기하기 위하여 과장되어진 것이다. 명세서 전체에 걸쳐서 동일한 참조번호들은 동일한 구성요소들을 나타낸다.
먼저, 도 1 내지 도 3을 참조하여, 본 발명의 일 실시예에 따른 엑시머 레이저 장치에 대하여 상세하게 설명한다. 도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 엑시머 레이저 장치의 개략도이며, 도 2는 방전 챔버의 저면도이고, 도 3은 선폭 제한 모듈의 개략도이다.
엑시머 레이저 장치는 프레임(102) 상부에 배치되는 방전 챔버(110)를 구비한다. 상기 방전 챔버(110)는 불활성 가스와 할로겐 가스를 함유하는 레이저 가스로부터 레이저 빔을 생성하는 공간으로 전기 방전을 통하여 상기 레이저 가스를 여기시키는 전극들(미도시)을 구비할 수 있다. 상기 방전 챔버(110)는 X 방향으로 마주보는 측벽들에 상기 레이저 빔을 통과시키기 위한 윈도우(미도시)를 가질 수 있다.
상기 프레임(102) 상부면 및 상기 방전 챔버(110)의 하부면 사이에 상기 방전 챔버(110)를 수평면 상에서 이동시키는 구동부(120)가 배치된다. 상기 구동부(120)는 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 방전 챔버(110)의 바닥면에 소정 간격으로 배치되는 직선 구동 유닛들(122) 및 상기 직선 구동 유닛들(122)의 각각의 일측에 배치되는 위치 감지 센서들(124)을 포함할 수 있다.
상기 직선 구동 유닛들(122)의 각각은 동일한 방향으로 왕복 이동을 하며, 상기 방전 챔버(110)의 바닥면의 각 모서리에 인접하여 배치될 수 있다. 이때, 상기 직선 구동 유닛들(122)의 이동 방향은 수평면 상에서 X 방향과 수직된 방향일 수 있다. 상기 직선 구동 유닛들(122)의 각각이 구동할 수 있어 상기 직선 구동 유닛들(122)은 상기 방전 챔버(110)를 직선으로 이동시킬 뿐만 아니라, 미세하게 회 전시킬 수 있다. 상기 직선 구동 유닛들(122)은 리니어 모터 또는 스텝핑 모터를 이용한 볼 스큐류(ball screw)를 사용할 수 있다. 상기 위치 감지 센서들(124)의 각각은 이와 인접한 직선 구동 유닛(122)의 이동된 위치를 감지할 수 있다.
상기 위치 감지 센서들(124)은 광센서 또는 엔코더(encoder)를 사용할 수 있다. 그리고 각각의 직선 구동 유닛들(122)에 인접하여 에어 홀들(126)이 배치될 수 있다. 상기 에어 홀들(126)은 상기 방전 챔버(110)의 하방 예를 들어, 상기 프레임(102)의 상부면으로 에어를 분사하여 상기 방전 챔버(110)의 이동시 상기 방전 챔버(110)로부터 상기 직선 구동 유닛들(122)에 가해지는 하중을 감소시킬 수 있다.
상기 방전 챔버(110)의 일측에 아웃 커플러(out coupler;130)가 배치된다. 상기 아웃 커플러(130)는 부분 반사경들(미도시)를 구비하며, 상기 부분 반사경들에 의해 상기 방전 챔버(110)의 일측에서 방출된 상기 레이저 빔의 일부는 외부로 출력 레이저 빔으로 방출되고, 나머지는 상기 방전 챔버(110)로 재방출될 수 있다.
상기 방전 챔버(110)의 타측에 선폭 제한 모듈(140)이 배치될 수 있다. 상기 선폭 제한 모듈(140)은 상기 방전 챔버(110)로 재방출된 레이저 빔을 입력받아 상기 레이저 빔의 선폭을 감소시킬 수 있다. 도 3에 도시된 바와 같이, 상기 선폭 제한 모듈(140)은 상기 방전 챔버(110)의 타측에서 방출된 상기 레이저 빔을 분산시키는 프리즘들(144), 상기 분산된 레이저 빔을 반사시켜 특정 파장의 레이저 빔을 생성시키는 튜닝 미러(146) 및 상기 튜닝 미러(146)로부터 반사된 상기 레이저 빔의 대역폭을 감소시키는 대역폭 감소부(148)를 포함한다. 상기 대역폭 감소부(148) 는 예를 들어, 회절 격자판을 구비하며, 상기 레이저 빔이 입사되는 방향을 기준으로 오목하거나 볼록하게 벤딩되어질 수 있다. 상기 선폭 제한 모듈(140)은 상기 대역폭 감소부(148)의 일측과 연결되는 대역폭 구동부(142)를 구비할 수 있다. 상기 대역폭 구동부(142)는 예를 들면, 엔코더 모터를 구비할 수 있으며, 상기 대역폭 감소부(148)를 벤딩시킬 수 있다.
다시 도 1을 참조하면, 상기 방전 챔버(110) 및 상기 아웃 커플러(130)와 접속되는 계측부(150)가 설치된다. 상기 계측부(150)는 상기 레이저 빔과 관련된 파라미터들을 측정한다. 상기 파라미터들은 상기 레이저 빔을 생성시키기 위하여 상기 방전 챔버(110)의 전극들(미도시)에 인가되는 생성 전압, 상기 아웃 커플러(130)에서 방출되는 출력 레이저 빔의 대역폭 및 에너지 시그마를 포함한다. 상기 출력 레이저 빔은 펄스의 형태로 외부로 방출되고, 상기 펄스 에너지는 소정의 평균을 갖는다. 여기서, 상기 에너지 시그마는 상기 출력 레이저 빔의 펄스 에너지의 표준 편차를 의미한다.
상기 측정된 파라미터들을 입력 데이터로 사용하여 상기 구동부(120) 및 상기 대역폭 구동부(142)를 제어하는 제어부(160)가 설치된다. 구체적으로, 상기 제어부(160)는 상기 파라미터들을 입력 데이터로 사용하여 상기 방전 챔버(110)의 최적 위치 및 상기 대역폭 감소부(148)의 최적 벤딩 형상을 산정한다. 상기 제어부(160)는 상기 구동부(120)를 제어하여 상기 방전 챔버(110)를 상기 최적 위치로 이동시키거나 상기 대역폭 구동부(142)를 제어하여 상기 대역폭 감소부(148)를 상기 최적 벤딩 형상으로 벤딩되게 한다.
이하, 도 1, 도 2, 도 4 내지 도 7을 참조하여, 본 발명의 일 실시예에 따른 엑시머 레이저 장치의 구동 방법에 대하여 설명한다. 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 엑시머 레이저 장치의 구동 방법을 설명하기 위한 순서도이며, 도 5 및 도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 엑시머 레이저 장치 동작을 설명하기 위한 도면이고, 도 7은 대역폭 감소부의 동작을 설명하기 위한 도면이다.
도 1, 도 2, 도 4 및 도 5를 참조하면, 직선 경로(10)의 일 방향을 따라 상기 방전 챔버(110)를 복수개의 제 1 측정 위치들로 이동시킨다. 상기 제 1 측정 위치들에 위치할 때마다 상기 파라미터들을 측정한다.(S410) 상기 방전 챔버(110)는 상기 직선 구동 유닛들(122)의 구동에 의해 제 1 시작점(S1)에서 제 1 종점(E1)까지 이동할 수 있다. 상기 방전 챔버(110)는 상기 제 1 시작점(S1)에서 상기 제 1 종점(E1)을 향하여 일정 간격의 거리만큼 이동하고 대기하는 과정을 반복적으로 거쳐 이동될 수 있다. 이때, 상기 방전 챔버(110)의 이동된 위치는 상기 위치 감지 센서들(124)에 의해 감지될 수 있다. 상기 위치 감지 센서들(124)에 의해 감지된 상기 방전 챔버(110)의 위치 정보는 상기 제어부(160)에 전송될 수 있다. 그리고 상기 방전 챔버(110)의 대기 위치는 상기 제어부(160)에 프로그래밍되어 있어 상기 제어부(160)는 상기 직선 구동 유닛들(122)을 통해 상기 방전 챔버(110)의 이동 및 대기를 제어할 수 있다.
상기 계측부(150)는 상기 직선 경로(10)에서 정해진 상기 제 1 측정 위치들마다 상기 생성 전압, 상기 대역폭 및 상기 에너지 시그마를 포함하는 상기 파라미터들을 측정한다. 여기서, 상기 제 1 측정 위치는 상기 방전 챔버(110)의 대기 위 치를 채택할 수 있다. 상기 측정된 파라미터들은 상기 제어부(160)로 전송될 수 있다.
이어서, 상기 제어부(160)는 상기 측정된 파라미터들을 입력 데이터로 사용하여 상기 제 1 측정 위치들 중 제 1 최적 위치를 산정한다.(S420) 구체적으로, 상기 파라미터들의 최적화는 상기 생성 전압, 상기 대역폭 및 상기 에너지 시그마의 전부가 최소값들을 가지거나 최소값들에 근접한 값들을 갖는 것을 의미한다. 상기 제어부(160)는 상기 제 1 측정 위치들 중 상기 최적화된 파라미터들을 갖는 제 1 최적 위치를 산정한다.
상기 직선 구동 유닛들(122)은 상기 방전 챔버(110)를 상기 제 1 최적 위치로 이동시킨다.(S430) 상술한 바와 같이, 상기 방전 챔버(110)의 이동 제어는 상기 제어부(160)에 의해 이루어질 수 있다.
도 1, 도 2, 도 4 및 도 6을 참조하면, 상기 제 1 최적 위치에서 회전 경로(20)의 일 방향을 따라 상기 방전 챔버(110)를 회전시킨다. 상기 계측부(150)는 상기 제 2 측정 위치들에 위치할 때마다 상기 파라미터들을 측정할 수 있다.(S440) 상기 직선 구동 유닛들(122)의 각각의 이동 방향을 적절하게 구동시키는 경우, 도 6에서와 같이, 상기 방전 챔버(110)는 미세하게 회전될 수 있다.
상기 방전 챔버(110)는 상기 직선 구동 유닛들(122)의 구동에 의해 제 2 시작점(S2)에서 제 2 종점(E2)까지 회전될 수 있다. 상기 방전 챔버(110)는 상기 제 2 시작점(S2)에서 상기 제 2 종점(E2)을 향하여 소정의 점(C)을 중심으로 일정 각도만큼 회전하고 대기하는 과정을 반복적으로 거쳐 회전될 수 있다. 이때, 상기 방 전 챔버(110)의 회전된 위치는 상기 위치 감지 센서들(124)에 의해 감지되며, 감지된 정보는 상기 제어부(160)에 전송될 수 있다. 상기 방전 챔버(110)의 대기 위치는 상기 제어부(160)에 프로그래밍되어 있어 상기 제어부(160)는 상기 직선 구동 유닛들(122)을 통해 상기 방전 챔버(110)의 이동 및 대기를 제어할 수 있다. 여기서, 상기 방전 챔버(110)의 대기 위치는 상기 제 2 측정 위치로 채택될 수 있다.
이어서, 상기 제어부(160)는 상기 측정된 파라미터들을 입력 데이터로 사용하여 상기 제 2 측정 위치들 중 제 2 최적 위치를 산정할 수 있다.(S450) 이에 대한 설명은 도 4의 S420에 대한 설명과 실질적으로 동일하다.
상기 직선 구동 유닛들(122)은 상기 방전 챔버(110)를 제 2 최적 위치로 회전시킨다.(S460) 상술한 바와 같이, 상기 방전 챔버(110)의 회전 제어는 상기 제어부(160)에 의해 이루어질 수 있다. 상기 제 1 최적 위치에서 상기 방전 챔버(110)를 상기 제 2 최적 위치로 이동시킴으로써 상기 레이저 빔이 고효율을 가질 수 있다.
도 1, 도 4 및 도 7을 참조하면, 상기 대역폭 감소부(148)의 벤딩 형상을 변형시키면서 상기 계측부(150)는 측정 벤딩 형상들마다 상기 파라미터들을 측정할 수 있다.(S470) 도 7에서와 같이, 상기 대역폭 감소부(148)는 상기 대역폭 구동부(142)의 회전에 의해 제 3 시작점(S3)에서 제 3 종점(E3)까지 벤딩될 수 있다. 여기서, 상기 제 3 시작점(S3)은 우측에서 바라볼 때, 상기 대역폭 감소부(148)의 오목한 형상을 시작점으로 채택할 수 있고, 상기 제 3 종점(E3)은 상기 대역폭 감소부(148)의 볼록한 형상을 종점으로 채택할 수 있다. 상기 대역폭 감소부(148)는 상기 제 3 시작점(S3)에서 상기 제 3 종점(E3)을 향하여 일정 간격으로 벤딩되고 대기하는 과정을 반복적으로 거쳐 벤딩될 수 있다.
이때, 상기 대역폭 감소부(148)의 벤딩 형상은 상기 대역폭 구동부(142) 예를 들어, 엔코더 모터에 의해 감지될 수 있다. 즉, 상기 엔코더 모터의 회전각과 비례하여 상기 대역폭 감소부(148)의 벤딩 형상이 상기 제 3 시작점(S3)에서 상기 제 3 종점(E3)으로 변형될 수 있다. 상기 엔코더 모터에 의해 감지된 벤딩 형상에 대한 정보는 상기 제어부(160)에 전송될 수 있다. 그리고 상기 대역폭 감소부(148)의 대기 벤딩 형상에 대한 정보는 상기 제어부(160)에 프로그래밍되어 있어 상기 제어부(160)는 상기 대역폭 구동부(142)를 통해 상기 대역폭 감소부(148)의 벤딩 및 대기를 제어할 수 있다. 여기서, 상기 대역폭 감소부(148)의 대기 벤딩 형상은 측정 형상들로 채택될 수 있다.
이어서, 상기 제어부(160)는 상기 측정된 파라미터들을 입력 데이터로 사용하여 상기 측정 벤딩 형상들 중 최적 벤딩 형상을 산정할 수 있다.(S480) 이에 대한 설명은 도 4의 S420에 대한 설명과 실질적으로 동일하다.
상기 대역폭 구동부(142)의 회전에 의해 상기 대역폭 감소부(148)를 상기 최적 벤딩 형상으로 벤딩시킬 수 있다.(S490) 상술한 바와 같이, 상기 대역폭 제어부(160)의 이동 제어는 상기 제어부(160)에 의해 이루어질 수 있다. 본 발명의 실시예에서와 같이, 상기 대역폭 감소부(148)가 최적 벤딩 형상을 가짐으로써, 상기 방출되는 레이저 빔의 대역폭이 더욱 감소되며 상기 레이저 빔의 에너지 효율이 향상될 수 있다.
상술한 바와 같이 본 발명에 따르면, 방전 챔버의 최적 위치를 자동으로 산정한 후, 상기 방전 챔버를 상기 최적 위치로 이동시킨다. 수작업으로 진행된 상기 방전 챔버의 정렬에 비해 아웃 커플러를 통해 외부로 방출되는 레이저 빔이 일정한 출력을 가지게 되며, 상기 레이저 빔의 효율이 향상된다.

Claims (12)

  1. 레이저 빔을 생성시키는 방전 챔버;
    상기 방전 챔버의 일측에 설치되고 상기 방전 챔버 내의 상기 레이저 빔을 외부로 방출시키는 아웃 커플러;
    상기 방전 챔버의 하부에 배치되어 수평면 상에서 상기 방전 챔버를 복수개의 측정 위치들로 이동시키는 구동부;
    상기 방전 챔버가 상기 각 측정 위치들에 위치할 때마다 상기 레이저 빔과 관련된 파라미터들을 측정하는 계측부를 구비하되, 상기 파라미터들은 상기 방전 챔버 내에서 상기 레이저 빔을 생성시키는데 요구되는 생성 전압과 아울러서 상기 아웃 커플러로부터 방출되는 출력 레이저 빔의 대역폭 및 에너지 시그마를 포함하고,
    상기 측정된 파라미터들을 입력 데이터로 사용하여 상기 측정 위치들 중 최적 위치를 산정하는 제어부를 포함하되, 상기 방전 챔버를 상기 최적 위치로 이동시키도록 상기 제어부는 상기 구동부를 제어하는 엑시머 레이저 장치.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 구동부는
    상기 방전 챔버의 하부면에 배치되는 다수개의 직선 구동 유닛들; 및
    상기 직선 구동 유닛들의 각각의 일측에 배치되어 상기 방전 챔버의 위치 변화를 감지하는 위치 감지 센서를 포함하는 것을 특징으로 하는 엑시머 레이저 장 치.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 구동부에 인접하여 상기 방전 챔버의 이동시 상기 방전 챔버의 하방으로 에어를 분사하는 에어 홀을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 엑시머 레이저 장치.
  4. 제 1 항에 있어서, 상기 방전 챔버의 타측에 배치되는 상기 선폭 제한 모듈을 더 포함하되, 상기 선폭 제한 모듈은
    벤딩 가능하며 상기 레이저 빔의 대역폭을 감소시키는 대역폭 감소부; 및
    상기 대역폭 감소부와 연결되어 상기 대역폭 감소부를 측정 벤딩 형상들로 변형시키는 대역폭 구동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 엑시머 레이저 장치.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 계측부는 상기 측정 벤딩 형상들로 변형될 때마다 상기 파라미터들을 측정하고,
    상기 제어부는 상기 측정된 파라미터들을 입력 데이터로 사용하여 상기 대역폭 감소부의 최적 벤딩 형상을 산정하고, 상기 대역폭 감소부를 상기 최적 벤딩 형상으로 벤딩되도록 상기 대역폭 구동부를 제어하는 것을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 엑시머 레이저 장치.
  6. 레이저 빔을 생성시키는 방전 챔버를 복수개의 측정 위치들로 이동시키되, 상기 방전 챔버가 상기 각 측정 위치들에 위치할 때마다 상기 레이저 빔과 관련되 파라미터들을 측정하되, 상기 파라미터들은 상기 방전 챔버 내에서 상기 레이저 빔을 생성시키는데 요구되는 생성 전압과 아울러서 상기 아웃 커플러로부터 방출되는 출력 레이저 빔의 대역폭 및 에너지 시그마를 포함하고,
    상기 측정된 파라미터들을 입력 데이터로 사용하여 상기 측정 위치들 중 최적 위치를 산정하고,
    상기 방전 챔버를 상기 최적 위치로 이동시키는 것을 포함하는 엑시머 레이저 장치의 구동 방법.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 파라미터들은 상기 방전 챔버 및 상기 아웃 커플러에 접속된 계측부를 통하여 측정되는 것을 특징으로 하는 엑시머 레이저 장치의 구동 방법.
  8. 제 6 항에 있어서,
    상기 최적 위치는 상기 계측부에 접속된 제어부를 통하여 산정되는 것을 특징으로 하는 엑시머 레이저 장치의 구동 방법.
  9. 제 6 항에 있어서,
    상기 방전 챔버를 복수개의 제 1 측정 위치들로 직선 이동시키면서 상기 파라미터들을 측정하는 것을 특징으로 하는 엑시머 레이저 장치의 구동 방법.
  10. 제 6 항에 있어서,
    상기 방전 챔버를 복수개의 제 2 측정 위치들로 회전시키면서 상기 파라미터들을 측정하는 것을 특징으로 하는 엑시머 레이저 장치의 구동 방법.
  11. 제 6 항에 있어서,
    상기 방전 챔버의 타측에 선폭 제한 모듈이 더 배치되되, 상기 선폭 제한 모듈은 벤딩 가능하며 상기 레이저 빔의 대역폭을 감소시키는 대역폭 감소부를 포함하는 것을 특징으로 하는 엑시머 레이저 장치의 구동 방법.
  12. 제 11 항에 있어서,
    상기 방전 챔버를 상기 최적 위치로 이동시킨 후에,
    상기 대역폭 감소부를 측정 벤딩 형상들로 변형시키되, 상기 대역폭 감소부가 상기 각 측정 벤딩 형상들로 변형될 때마다 상기 파라미터들을 측정하고,
    상기 측정된 파라미터들을 입력 데이터로 사용하여 상기 측정 벤딩 형상들 중 최적 벤딩 형상을 산정하고,
    상기 대역폭 감소부를 상기 최적 벤딩 형상으로 벤딩시키는 것을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 엑시머 레이저 장치의 구동 방법.
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