KR20080033466A - 물품의 형상을 측정하는 공정 및 장치 - Google Patents

물품의 형상을 측정하는 공정 및 장치 Download PDF

Info

Publication number
KR20080033466A
KR20080033466A KR1020087004735A KR20087004735A KR20080033466A KR 20080033466 A KR20080033466 A KR 20080033466A KR 1020087004735 A KR1020087004735 A KR 1020087004735A KR 20087004735 A KR20087004735 A KR 20087004735A KR 20080033466 A KR20080033466 A KR 20080033466A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
glass sheet
glass
sensor
fluid
sheet
Prior art date
Application number
KR1020087004735A
Other languages
English (en)
Inventor
더글라스 에드몬 고포드
조셉 천시 랩
미셸 토마스 머타그
브리안 폴 스트린스
나테산 벤카타라맨
글렌 베네트 쿡
Original Assignee
코닝 인코포레이티드
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 코닝 인코포레이티드 filed Critical 코닝 인코포레이티드
Publication of KR20080033466A publication Critical patent/KR20080033466A/ko

Links

Images

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B18/00—Shaping glass in contact with the surface of a liquid
    • C03B18/02—Forming sheets
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/02—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness
    • G01B11/06—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness ; e.g. of sheet material
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B17/00—Measuring arrangements characterised by the use of infrasonic, sonic or ultrasonic vibrations
    • G01B17/02—Measuring arrangements characterised by the use of infrasonic, sonic or ultrasonic vibrations for measuring thickness

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)

Abstract

유리 시트의 형상을 측정하는 방법이 제공된다. 이 방법은 유체와 접촉하는 유리 시트를 배치하는 단계 및 센서로부터 그 표면상의 복수의 지점에서 유리 시트의 표면 사이의 거리를 측정하는 단계를 포함한다. 이 방법은 유리 시트의 형상을 실린더형 또는 구형과 같은 적어도 하나의 단순한 형상 요소로 분리하는(deconvolving)하는 단계를 더 포함하거나, 적어도 하나의 형상 요소에 기초하여 유리 제조 공정에서 히터의 어레이의 온도 프로파일을 변화시키는 단계를 더 포함한다.
유리 시트, 형상, 굴절율, 센서, 레이저, 코팅, 유체, 컨테이너, 지지부재

Description

물품의 형상을 측정하는 공정 및 장치{Process and apparatus for measuring the shape of an article}
본 발명은 물품의 형상을 측정하는 방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 유리 시트의 형상을 측정하는 방법에 관한 것이다.
유리의 얇은 시트는 제조된 물품의 증가하는 어레이(array), 특히 데스크탑과 랩탑 컴퓨터, 셀 폰 및 휴대폰 양자를 포함하는 전자물품의 사용에서 발견된다. 특히, 텔레비전 디스플레이는 종래의 음극선관(cathode ray tube; CRT)에서 플라즈마 및 액정 디스플레이(LCD)로의 변화를 경험하고 있다. 부가적으로, 수요자의 요구는 제조자가 이러한 비-CRT 디스플레이에 점점 더 커진 디스플레이 크기의 제공하도록 압력을 가하고 있다.
표면 품질처럼 이러한 파라미터와 관련된 엄격한 요구조건을 고수하면서 디스플레이 유리의 더 큰 시트의 제조에 대한 요구는 유리 시트를 제조하는 현재 방법의 한계에 압력을 가한다. 예를 들어, 큰 유리 시트 내에 존재할 수 있는 잔류 응력(residual stress)은 기존의 응력이 경감 및/또는 재분배됨에 따라 기초 유리와 다른 형상을 나타내도록 더 큰 유리로부터 절단될 수 있는 더 작은 유리를 발생시킬 것이다.
유리 시트는 글래스 멜트(glass melt)가 통상적으로 주석(tin)인 액체 금속 상에 뜨는 종래의 플로트 공정(float process)을 포함하여 다양한 방법에 의해 형성된다. 유리 시트를 제조하는 다른 주지의 방법은 용융 유리가 트로프(trough) 내에 공급되는 용융 인발 방법(fusion draw method; FDM)으로 알려져 있다. 용융 유리는 제어된 방식으로 트로프의 양 측면을 오버플로우(overflow)하며, 개별적인 유리 유동은 트로프의 첨점(apex)에서 재결합된다. 따라서, 유리 시트의 노출된 표면은 원시적(pristine)이며, 유리 시트는 리본(ribbon)에서 장치로부터 인발될 것이다. 유리 시트를 형성하기 위한 용융 공정은 미국 특허 제3,338,696호 및 제3,682,609에 상세히 설명되어 있으며, 그 내용은 참조로써 전체가 여기에 통합된다.
오버플로우 다운드로우(overflow downdraw), 또는 융융 공정과 같은 불연속 리본 형성 방법에 의해 얇은 유리 시트를 형성할 때, 형상은 시트 물품에 따라 나누어진다. 시트 형상은 보우(bow), 새그(sag), "s-휨(warp)"등을 포함하여 다양한 형상으로 그 자체를 나타낼 수 있다. 궁극적으로, 시트 형상은 다양한 이유로 고객에게 문제가 될 수 있다. 평면 내가 아닌 유리 시트의 모서리는 충격으로 인한 파손의 근원이 될 수 있고, 심하게 모양 지어진 유리(severely shaped glass)는 LCD 제조에 사용되는 다양한 도구에서 진공 척 다운(vacuum chuck down)이 되지 않아 생산량의 감소를 초래하거나 파손을 초래하는 유리 기판의 고 응력 레벨을 발생시킬 것이다. 심지어 적당이 모양 지어진 유리는 다양한 척킹(chucking) 장치 상에 레이-다운(lay down)되지 않고, 따라서 디스플레이의 전자부를 구성하는 배치된 박 막에 비-균일성을 초래한다. 낮은 응력 및/또는 낮은 힘을 만들기 위해서는 시트 형상이 기본적으로 고려되어야 하고 최소 레벨로 감소되어야 한다.
비-평면 시트 형상은 벤딩, 점-탄성(visco-elastic) 영역 내에서 상부로 전달되는 탄성 온도 범위 내에서 인발된 유리 리본의 벤딩과 진동, 및 "포로즌-인(frozen-in)" 열 응력 효과를 포함하는 다수의 공정 요소에 의해 야기될 수 있다. 이러한 움직임은 리본을 개별 유리판(pane) 또는 시트로 절단하는데서 생긴다. 유리 시트가 점-탄성 온도 영역을 지나감에 따라 비 평판, 어크로스-더-드로우(across-the-draw) 온도 구배가 일어날 때 발생할 수 있는 것처럼 형상은 또한 프로즌-인 응력으로부터 생긴다. 왜냐하면, 많은 경우에 유리 리본은 예외적으로 얇기 때문에(디스플레이 장치에 사용되는 유리와 같이) 많은 프로즌-인 응력은 형상 형성에 의해 보상될 것이다. 즉, 리본은 응력을 경감시키기 위해 변형된다. 형상의 이러한 형태는 본질적으로 순간적이며, 리본은 개별시트로 절단하거나, 이후 더 작은 부분으로 시트를 재절단할 때 실질적으로 경감되거나 재분배된다.
시트 형상이 어느 정도 검사되는 동안, 정확한 시트 형상 측정 방법이 혀앙의 형성을 최적상태로 제어하기 위해, 시트의 윤곽을 잘 분석하기 위해 요구된다. 게다가, 현재의 기계적 필러 게이지 방법(feeler gauge method)이 어느 정도 시트의 형상을 분석할 수 있지만, 측정시 중력에 의한 새그(sag) 효과를 제거시키기는 어렵다.
본 발명의 실시예는 유리 물품을 측정하는 방법에 관한 것으로, 특히 유리 시트의 형상을 결정하기 위한 것에 관한 것이다. 발명 방법은 유리 제조 공정에서 유리 시트의 결정된 형상을 이용하는 단계를 더 포함할 것이다.
본 발명의 실시예에 따라, 유리 시트는 미리 정해진 평균 밀도와 미리 정해진 평균 굴절율을 갖는 유체와 접촉하는 미리 정해진 밀도와 미리 정해진 평균 굴절율을 또한 갖는 유리 시트를 배치함으로써 측정된다. 센서에서 유리시트 표면상의 복수의 지점까지의 거리는 거리의 공간 분배를 얻기 위해 측정된다. 일단 거리의 공간 분배가 정해지면, 유리 시트의 형상은 거리 측정의 공간 분배를 이용하여 계산될 것이다. 유체의 평균 밀도는 유리 시트 평균 밀도의 적어도 약 85% 인 것이 바람직하며, 적어도 약 95% 인 것이 더욱 바람직하며, 유체의 평균밀도는 유리 시트의 평균 밀도와 실질적으로 동일한 것이 가장 바람직하다.
본 발명의 다른 측면에 따라, 유리 시트의 형상을 측정하기 위한 장치가 개시되며, 이 장치는 유체, 유체를 지지하기 위한 컨테이너, 거리의 공간 분배를 얻기 위해 적어도 하나의 센서에서 유리 시트 표면상의 복수의 지점까지의 거리를 측정하는 적어도 하나의 센서, 유리 시트의 형상을 계산하기 위하여 센서와 연결된 컴퓨터 장치를 포함하며, 유체의 평균 밀도는 유리 시트 평균 밀도의 적어도 약 85%이다. 유체의 평균 밀도는 유리 시트 평균 밀도와 실질적으로 동일한 것이 바람직하다.
본 발명은 첨부하는 도면을 참조하여 제한함이 없이 주어진 다음의 상세한 설명을 통하여 쉽게 이해되고, 다른 목적, 특징, 설명, 및 장점도 더 명백해질 것이다. 모든 이러한 부가적인 시스템, 방법 특징 및 장점은 이 설명 및 본 발명의 사상 내에 포함되며, 첨부하는 청구항에 의해 보호된다.
도 1은 유리 시트를 제조하기 위한 통상적인 용융 공정의 부분 절단 사시이도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 유리 시트 측정 장치의 측 단면도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 유리 시트 측정 장치의 일 실시예의 사시도이다.
도 4는 본 발명에 따른 유리 시트 측정 장치의 또 다른 실시예의 사시도이ㄷ다.
도 5는 유리 시트가 복수의 컨테이너 지지부에 의해 지지되는 본 발명의 일실시예에 따른 유리 시트 측정 장치의 사시도이다.
도 6은 도 5의 지지부의 바람직한 배열을 나타내는 도시적인 표현이다.
도 7은 평면으로부터 데이터의 거리(변형)을 결정하기 위한 가상 측정 데이터에 고정된 이상 평면의 전형적인 플롯이다.
도 8은 본 발명의 일실시예에 따른 유리 측정 시스템을 사용하는 유리 제조 공정의 개략도이다.
도 9a 내지 도 9d는 서로 90도로 분리된 4개의 다른 위치에서 기준면으로부터 유리 시트의 변형을 나타내는 표면 윤곽 플롯이다.
이하의 상세한 설명에서, 제한없는 설명을 위해 특정한 상세 내용을 개시하 는 실시예가 본 발명의 완전한 이해를 제공하기 위해 설명된다. 그러나, 이 분야의 통상의 지식을 가지고, 여기에 개시된 장점을 갖는 자에게, 본 발명은 여기에 개시된 특정한 상세 내용으로 벗어나는 다른 실시예로 실행될 수 있음은 자명할 것이다. 더욱이, 종래 알려진 장치, 방법, 재료의 설명은 본 발명의 설명을 애매하게 하지 않도록 생략될 것이다. 마지막으로, 가능하다면 동일한 요소에 동일한 참조부호가 사용되었다.
본 발명은 부분적으로는 리본으로부터 절단된 본질적으로 무중력(gravity-free) 형상의 유리판의 이해, 예를 들어, 유리판의 형상을 측정하는 것에 관한 것이다. 본 발명은 유리판 또는 기판이 리본으로부터 절단된 유리 시트, 또는 유리판의 전체 형상 및 정보를 포함하는 기초 형상 요소를 풀어서(de-convolving) 평평해질 때 존재하는 원치않는 왜곡 레벨을 감소시키는 것을 포함하며, 따라서, 리본의 열적 히스토리(thermal history)을 수정하고 원치않는 왜곡을 감소 또는 최소화하는 것이 얻어진다.
도 1에 도시된 바와 같이, 유리 리본을 형성하기 위한 오버플로우 다운드로우 공정에서, 형성 웨지(20)의 오버플로우 트로프 부재(overflow trough member)는 대향하며 길이방향으로 확장하는 오버플로우 립 또는 위어(lip or weir; 26)에서 그 상부가 끝나는, 벽 부분(24)에 의해 그 길이 방향의 측면이 구속된 상부 개방 채널(22)을 포함한다. 위어(26)는 웨지 부재(20)의 표면을 형성하는 대향하는 외부 리본과 연결된다. 도시한 것처럼, 웨지 부재(20)는 위어(26)와 연결되는 한 쌍의 실질적으로 수직인 형성 표면 부분(28)과 직선 유리 인발 라인을 형성하는 실질적 으로 수평인 하부 첨점 또는 루트(32)에서 끝나는 한 쌍의 하향 경사 수렴 표면 부분(30)에 제공된다. 표면 부분(28, 30)은 웨지(20)의 각 길이방향 측면 상에 제공되는 것으로 이해될 것이다.
용융 유리(34)는 채널(22)과 연결된 전달 통로(36)에 의해 채널(22) 내로 공급된다. 채널(22) 내로의 공급은 싱글 엔디드(single ended)이거나, 원한다면 더블 엔디드(double ended) 일 수 있다. 한 쌍의 억제(restricting) 댐(38)은 채널(22)의 각 단부에 인접한 오버플로우 위어(26)의 상부에 제공되어, 용융 유리(34)의 자유면(40)에서의 오버플로우를 분리된 스트림(stream)인 위어(26)의 오버플로우로 향하게 하고, 대향하는 형성 표면 부분(28, 30)에서 분리 스트림이 버진 표면의(virgin-surfaced) 유리(42)의 시트를 형성하기 위해 수렴하는 쇄선으로 도시된 곳인 루트(32)로 하강한다. 풀링 롤(pulling roll; 44)은 웨지 부재(20)의 루트(32) 하부에 배치되며, 유리의 형성된 리본이 수렴 형성 표면으로 떠나는 속도를 조정하고, 따라서 리본의 공칭 두께를 결정하는데 사용된다.
풀링 롤은 외부 모서리, 특히 리본의 모서리에 존재하는 두꺼워진 비드의 바로 내측 영역에서 유리 리본과 접촉하도록 설계되는 것이 바람직하다. 풀링 롤에 의해 접촉되는 유리 모서리 부분은 이후에 시트에서 버려진다. 한 쌍의 대향하며, 시계방향으로 회전하는 풀링 롤은 리본의 각 모서리에 제공된다.
유리 리본(42)이 장치의 인발 부분으로 하향 이동함에 따라, 물리적 치수 뿐만 아니라 분자 수준(molecular level) 상의 복잡한 구조적 변화를 경험한다. 예를 들어, 형성 웨지의 루트에서 진한 액체(thick liquid) 형태에서 약 1/2 밀리미터 두께의 딱딱한 리본으로의 변화는, 액체 또는 점성 상태에서 고체 또는 탄성 상태로으 변화를 완전하게 하기 위해 기계적 화학적 요구조건의 정교한 균형을 유지하는, 신중히 채택된 온도장 또는 프로파일에 의해 달성된다. 탄성 온도 영역 내의 일지점에서, 리본은 유리 시트 또는 유리판을 형성하기 위해 절단 라인(47)에서 절단된다.
유리의 점-탄성 영역을 통해 변화(transition)하는동안 주어진 온도 프로파일을 적용하려는 관심에도 불구하고, 유리 리본이 노출되는 열적 프로파일은 그럼에도 불구하고 잔류 응력이 그 자체로 재분배 또는 경감됨에 따라 그 후 유리 시트를 변형할 수 있는 스트레스를 초래할 것이다. 즉, 리본으로부터 유리 시트의 형상은 점-탄성 영역을 통해 리본이 변화하는 동안 리본의 열적 히스토리에 의존하며, 열적 히스토리는 변할 것이다. 스트레스 및/또는 형상의 이러한 변화는 액정 디스플레이의 제조에서 발견되고, 기판상의 회로의 배치되는 것과 같이 치수 안정성에 의존하는 공정에 해로울 것이다. 예를 들어, 액정 디스플레이의 제조에서, 인발된 리본으로부터 절단된 큰 유리 시트는 그 자체가 복수의 작은 부분으로 절단될 것이다. 그러므로, 각 절단부는 응력의 경감 또는 재분배, 및 연속적인 형상 변화를 초래할 것이다. 그러므로, 리본으로부터 절단된 유리 시트의 형상이 정확히 결정될 수 있도록 방법이 수정되는 것이 바람직하다. 따라서, 얻어진 정보는 인발되는 유리 리본의 열적 히스토리를 수정하는데 사용될 것이다.
도 2는 본 발명에 따른, 유리 시트와 같은 유리 물품의 형상을 결정하는 방법의 일실시예를 도시한다. 여기에 개시된 방법은 다른 물품을 측정하는데 사용될 수 있는 것으로 이해되어야 한다. 그러나, 본 설명은 도시적인 목적을 위해 유리시트에 대해 이루어질 것이나, 이러한 점에서 제한되어서는 안된다.
참조부호 46으로 나타낸 도 2의 실시예에 따르면, 유리 시트(48)는 유체(52)를 포함하는 컨테이너(50)에 배치된다. 유리 시트(48)는 이하에서 상세히 설명되는 것처럼, 유체의 표면 또는 유체 내에 잠수된 상태로 배치될 것이다. 유리 시트는 미리 정해진 평균 밀도 및 평균 굴절율(refractive index)을 갖는다. 유체도 또한 미리 정해진 평균 밀도 및 평균 굴절율(refractive index)을 갖는다. 유체의 평균 밀도는 유리 시트의 평균 밀도의 적어도 약 85%인 것이 바람직하며, 적어도 약 90% 인것이 더욱 바람직하며, 적어도 약 95% 인 것이 보다 더욱 바람직하다. 유체의 평균 밀도가 유리시트의 평균 밀도의 적어도 약 85%일 때, 유체(52)는 유리 시트(48)에 대해 뉴터럴 밀도(neutral density)라 하며, 유리 시트는 주어진 측정에 완성하기에 충분한 시간동안 기계적 지지없이 유체(52) 내에서 주어진 위치를 유지한다는 점에서 중성 부력으로 일컬어진다. 예를 들어 귤절율 정합액(refractive index matching liquid), 담금액(immersion liquid),광 결합액(optical coupling liquid), 굴절액(refractometer liquid) 및 다른 특수 액체를 제조하는 카르길 사(Cargrille Inc.)의 것이 이용가능하다. 이러한 액체는 통상적으로 비독성이고 유체의 밀도가 증발에 의한 농도의 증가 또는 감소시킴으로써 같이 쉽게 조정된다는 점에서 유익하다. 유체 밀도의 조정은 원하는 혼합물의 미리 정해진 평균 밀도가 달성되도록 다른 밀도를 갖는 두 개 이상의 유체를 혼합함으로써 또한 달성될 것이다. 예를 들어, 코닝 사에 의해 제조된 이글(Eagle) 2000TM 유리는 약 2.37g/cc의 평균 밀도를 갖는다. 2.35g/cc의 평균 밀도를 갖는 제1 유체 및 2.45g/cc의 평균 밀도를 갖는 제2 유체와 같은 다양한 유체는 2.37g/cc와 실질적으로 동일한 평균 밀도를 갖는 제3 유체를 획득하는데 유효한 양으로 혼합될 것이다. 이 분야의 당업자는 요구되는 성질의 밀도를 갖는 어떠한 유체 또는 유체들을 사용될 수 있는 것으로 이해할 것이다.
도 2에서, 센서(54)는 센서로부터 유리 시트 표면까지의 거리를 측정하는데 사용된다. 유리 시트(48)는 센서(54)와 대향하는(facing) 제1 측면(56)(센서 측면) 및 제 2의, 비-센서 대향 측면(58)을 포함한다. 본 실시예에서, 센서 측면(56)은 상부 측면(56)으로 간주되고, 비-센서 측면(58)은 하부 측면(58)으로 일컬어질 것이다. 유리 표면이 센서(54)에 의해 감지되는 것을 보장하려면, 유체(52)의 평균 굴절율이 유리 시트(48)의 평균 굴절율과 감지가능하게 다른 것이 바람직하다. 유체의 평균 굴절율과 유리의 평균 굴절율 사이의 허용 가능한 차이는 센서(54)의 정밀도와 같은 요소에 의해 결정된다. 양자택일적으로, 주어진 센서가 유리 시트의 평균 굴절율과 유체의 평균 굴절율 사이의 차이를 구별할 수 없는 경우에, 박막 또는 코팅(미도시)이 유리 시트(48)의 표면에 가해지는 것이 바람직하며, 센스와 유리-코팅 인테페이스(interface) 사이의 거리 측정이 될 수 있도록 시트의 하부 측면(58)에 가해지는 것이 바람직하다. 코팅이 상부 측면(56; 센서-측면)에 고정되는 것처럼, 유리 표면보다 필름의 표면을 그 후에 측정함에 따라 코팅 자체의 측정은 잘못된 측정을 야기할 수 있다. 필수적인 것은 아니지만, 코팅은 불투명한 것이 바람직하며, 예를 들어, 페인트, 잉크 또는 염료(dye)를 포함하는 것이 바람직하다. 흰색 불투명 코팅은 우수한 결과를 달성하는 것으로 발견되었다. 그러나, 유체의 굴절율과 감지할 수 있을 정도로 다른 굴절율을 갖는 어떠한 코팅도 허용될 것이다. 예를 들어, 코팅은 유체의 평균 굴절율과 다르게 감지될 수 있는 평균 굴절율을 갖는 폴리머(plymer)로 된 폴리머 필름을 포함할 것이다. 코팅에 의해 유리 시트(48)에 가해지는 어떠한 응력도 유리 시트의 부가적인 변형을 초래하는데 불충분한 것이 바람직하다. 이러한 이유로, 코팅은 일련의 점, 라인 또는 다른 형상과 같이 불연속 스타일로 유리시트에 가해질 것이다. 선택적으로, 유리 시트의 두께는 또한, 유리 시트 상의 위치의 함수로 측정되고, 유리 시트의 센서 측면을 위해 표면 윤곽 맵(contour map)을 생성하기 위해 필름-유리 인터페이스 거리 데이터와 결합될 것이다.
본 발명에 따라, 일단 유리 시트(48)가 유체(52)에 배치되면, 센서(54)는 센서로부터 유리 시트 표면까지의 거리를 측정하는데 사용될 것이다. 센서(54)는 센서와 유리 시트의 상부 표면(56) 사이의 거리(d1)을 측정하는데 사용되거나 센서와 유리 시트의 하부 표면(58) 사이의 거리(d2)를 측정하는데 사용될 것이다. 센서(54)는 d1 및 d2를 측정하는데 사용될 것이며, 특정 지점에서 두께(t)는 t=d2-d1에 의해 결정될 것이다. 예를 들어, 센서(54)는 레이저 변위 센서를 포함할 것이다. 그러나, 센서(54)는 음향 센서(acoustic sensor)와 같은 거리를 측정하기 위한 분야에서 알려진 다른 장치를 포함할 것이다. 레이저 장치는 단순한 레이저 레인징 장치(laser ranging device)를 포함하거나, 예를 들어, 마이컬슨 간섭계(Michelson interferometer)와 같은 더 정교한 장치를 포함할 것이다. 센서는 유체에서 알려진 속도를 갖는 음향과 같은 감지 에너지(sensed energy)가 시간이 정해진 시간에 기초한 것일 것이다. 예를 들어, 적합한 센서는 미국의 키엔스(Keyence) 사에 의해 제조된 LT8110 공초점(confocal) 레이저 변위 센서(displacement sensor)이다. 비록 센서(54)는 유체의 표면 위에 배치될 것이지만, 센서는 유체와 접촉하는 것이 바람직하며, 따라서, 유체 표면(60)에서 공기-유체 인터페이스를 유익하게 제거할 것이다. 센서(54)는 유체에서 완전히 침수될 것이다.
상술한 바와 같이, 상부 표면의 윤곽 맵을 얻기 위해 유리 시트(48)의 상부 표면(56)을 직접 측정하는 것은 요구되지 않는다. 예를 들어, 코팅이 하부 표면(58)에 가해지는 경우에, 센서로부터 하부 표면(58)에서 유리-코팅 인터페이스까지의 거리 측정은 하부 표면의 표면 윤곽 맵을 결정하기 위해 얻어질 것이며, 그 후 상부 표면(56)을 위한 윤곽 맵을 얻기 위해 유리 시트의 알려진 두께와 결합될 것이다. 통상적으로, 디스플레이 제조에 사용되는 유리의 시트를 위해, 상부 및 하부 측면은 실질적으로 평행하며, 시트는 일반적으로 밀리미터보다 작은 차수의 일정한 두께를 갖는다. 따라서, 단지 싱글 표면만의 측정도 시트 형상을 결정하는데 충분하다.
센서(54)와 유리 시트(48)의 상대 운동은 센서로부터 유리 시트까지의 거리가 복수의 위치에서 측정되는 것을 허용한다. 일반적으로, 측정 위치의 수가 많아질수록, 위치 함수로서 유리의 거리, 또는 시트의 표면 윤곽의 정확성은 더 정확하 게 결정될 것이다. 센서(54)는 시트의 전체 평면과 평행한 평면에서 유리 시트(48)의 측정된 표면에 대해 상대적으로 이동되는 것이 바람직하다. 측정은 유리의 표면상의 개별 지점에서 실시되는 것이 바람직하다. 유리 시트에 대한 센서의 이동은 유리 시트가, 예를 들어, 1m2 이상으로 매우 커질게 될 때가 특히 바람직하다. 측정은 유리 표면을 가로지르는 평행한 라인을 따라 개별 지점에서 실시되거나, 비 선형 스타일의 미리 정해진 위치에서 만들어질 것이다. 그 후, 거리와 위치의 측정은 유리 시트의 형상의 표시로서, 표면의 원하는 윤곽 맵을 형성하기 위해 컴퓨터 장치(62)에 의해 플로트된다. 선택적으로, 표면 윤곽의 수학적 모델은 통상적인 모델링 방법을 사용하여 발전될 것이다.
바람직한 실시예에서, 복수의 측정은 도 3에 도시된 것처럼, 어레이로 배열된 복수의 센서(54)에 의해 실질적으로 동시에 실시될 것이다. 본 실시예에서, 복수의 센서는 측정되는 유리 시트의 표면과 실질적으로 평행한 2-차원 배열로 배열되는 것이 바람직할 것이다. 유익하게, 많은 측정은 싱글 측정이 단지 하나의 센서를 사용하여 실시되는 것과 유사한 시간의 합으로 실시될 것이다.
상술한 것처럼, 유리 시트(48)는 유리 시트의 측정 전에 유체(52)의 노출된 표면(60) 상에 배치되거나 지지되며, 표면 장력에 의해 표면(60) 상에 유지된다. 양자택일적으로, 유체의 밀도가 유리 시트가 중립 부력인 유리 시트의 밀도와 실질적으로 동일할 때, 유리 시트(48)는 노출된 표면(60) 아래에 배치될 것이다. 측정도어야 하는 유리 시트의 표면은 센서(54)가 유리 시트(48)에 대해 상대적으로 이 동된다면, 센서(54)의 이동 범위를 포함하는 평면과 실질적으로 평행한 평면에서 측정되거나, 복수의 센서가 사용된다면 센서 어레이의 평면과 실질적으로 평행한 평면에서 측정된다. 센서(54)는 레일 상에서 스테퍼 모터(stepper motor; 미도시)에 의해 운반되거나, 종래 알려진 다른 방법에 의해 운반될 수 있는 적절한 캐리지 상에 센서를 장착함으로써 이동될 것이다. 간단히 말해서, 유리 시트(48)는 수평 위치에서 유지되고, 센서(54)의 이동은 유리 시트(48)의 평면과 평행한 평면인 것이 바람직하다. 예를 들어, 유리 시트의 앵글링(angling)에 의한 어떠한 오프셋(offset)은 알려져야 하고, 따라서 측정은 조정되어야 한다. 따라서, 다양한 센서 또는 싱글 센서 이동의 범위, 및 평행한 평면이 아닌 유리 시트의 전체 평면도 평행으로부터의 오프셋이 알려져 있다면 가능하다. 그러나, 이러한 오프셋은 바람직하지 않다.
본 발명의 다른 실시예에서, 유리 시트(48)는 도 4에 도시된 것처럼, 예를 들어, 유체(50)의 노출된 표면(60)과 수직인 수직 위치로 배치될 것이다. 유체는 단지 유리 시트의 모서리에 한정된 지지부를 제공하기 때문에, 유체는 필요한 측정을 하기 위해 요구되는 시간 동안 수직 축을 따라 감지될 수 있게 이동하는 것으로부터 유리 시트(48)을 차단하기 위해 충분히 높은 점성을 갖는다. 양자택일적으로, 유리 시트는 와이어(wire) 또는 클램프(clamp)와 같은 지지 어셈블리(64)에 의해 유체(52)에 매달릴 것이다. 유리 시트는, 유리 시트(48)의 변형으로부터 지지 어셈블리(64)를 차단하기 위해 단지 싱글 위치에서 매달리는 것이 바람직하다. 수직 배열에서, 유리 시트의 측정은 그 후, 컨테이너의 벽을 통하여 유리 시트의 형상을 측정하는 것이 통상적으로 요구되기 때문에, 보다 어렵다. 레이저 레인징 장치와 레이저 파장에서 투명한 적어도 하나의 컨테이너 벽이 그 후 바람직하다. 또한, 투명한 컨테이너 벽과 컨테이너 내의 유체 사이와, 투명한 컨테이너 벽과 투명한 컨테이너 벽 외부의 환경(예를 들어, 공기) 사이의 인터페이스는 측정하는 동안 유지가 보장되는 것이 필요하게 될 것이다. 유익하게, 이전 실시예와 유사하게, 유체 컨테이너(50)의 벽에서 유리 시트와 바람직하게는 평행한 센서의 어레이는 측정 시간을 줄이고, 상기 어려움을 완화시키는데 사용될 것이다.
일단 센서로부터 복수의 거리 측정과 센서가 얻어지면, 거리 데이터는 종래 알려진 통상적인 방법에 의해 시트 형상을 결정하는데 사용될 것이다. 컴퓨터 장치(62)는 표면 윤곽 형상을 결정하는데 사용된다. 예를 들어, 데이터는 마이크로소프트 엑셀과 같은 컴퓨터 프로그램에 사용되거나 표면 윤곽을 디스플레이하기 위해 플롯(plot)되는데 사용될 것이다. 더 정교한 분석은 데이터를 평가하거나, 유리 시트의 전체 형상으로부터 요소의 개별적인 형상을 분리하는데 사용될 것이다. 예를 들어, 유리 시트의 형상은 평면, 실린더형, 구형, 타원형, 원추형, 포물선형(parabolic) 및 쌍곡선형(hyperbolic)처럼 개별적 형상(형상 요소)의 적어도 하나를 포함할 것이다. 시트의 표면 윤곽은 싱글 형상 요소 또는 이러한 형상의 조합을 포함할 것이다.
도 5는 본 발명에 따른 특정 바람직한 실시예를 도시한다. 도 5에 도시된 것처럼, 유리 시트(48)는 접촉 지지 부재(65)에 의해 유체 내의 개별 지점에서 지지된다. 즉, 유체의 밀도는 유리 시트가 유체 내에서 자리잡도록 유리의 밀도보다 상 당한 적다(그러나, 유리의 밀도의 약 85%보다는 큰). 따라서, 유리 시트는 정확하지는 않지만, 유체 내에서 중립 부력에 거의 가깝다. 유리 시트는 접촉 지지 부재(65)의 이러한 지점에서 유리 시트와 접촉함으로써 개별 지점이 유체 내에서 지지된다. 유체 내에서 시트를 위해 요구되는 부력의 양은 측정을 위해 요구되는 정확성의 정도에 물론 의존하며, 결국 사용자의 요구의 함수이다. 그러나, 합리적은 부력은 바람직한 측정에 바람직한 정확성의 정도(dmin)와 비교하여 이상적인 평면으로부터 유리 시트의 최대 기대되는 변위(dmax)의 양에 기초하여 결정되며, 따라서 Fb<Fg (dmin/max)이며, 여기서 Fb는 유리시트의 부력이고, Fg는 유리시트의 중력이다. 지지부재(65)에 의한 유리 시트의 지지는 유체 내에서 열 구배로 인해 유발될 수 있는 것과 같이, 시트의 측정에 영향을 줄 수 있는 유체 내에서의 시트의 움직임을 유익하게 방지한다. 접촉 지지 부재(64)는 도 5에 도시된 것처럼, 유체(52) 내에서 컨테이너(50)의 하부에 배치되는 볼 베이링을 포함하거나, 이 분야에서 알려진 핀, 피라미드 등과 같은 다른 어떠한 지점의 형상일 것이다.
다양한 지지 장치가 사용되는 동안, 지지 부재(65)와 접촉하는 세 지점은 동시에 최소한의 측정 간섭을 발생하면서 시트를 적절히 구속하는 충분한 교환(tradeoff)을 제공하는 것이 밝혀졌다. 즉, 지지 부재(65)의 기하학적인 배치는 중력에 대해 유리 시트의 어떠한 부분의 벤딩 모멘트를 최소화하도록 선택될 것이다. 접촉 지점의 최적 배치는 삼각형 형상하며, 이등변 삼각형인 것이 바람직하다.
도 6을 참조하면, 삼각형(66)은 각도(θ3), 각도(θ3)인 삼각형의 첨점에서 그 교차부에 인접한 동일한 길이의 두 변(S1, S2), 및 각도(θ3)인 삼각형의 첨점과 반대인 기본 변(S3)를 포함한다. 유리 시트(48)의 길이는 참조 번호(L)에 의해 나타내지며, 유리 시트의 폭은 참조 번호(W)에 의해 나타내진다. 도면에 도시된 것처럼, 면적(A1)은 유리 시트(48)의 모서리, 각도(θ3)에서 삼각형(66)의 첨점 사이의 라인(68), 각도(θ2)에서 삼각형(66)의 첨점과 유리시트의 좌측 모서리 사이의 수평 라인(70)(베이스(S3)를 통하여 통과하는) 사이의 유리 시트(48)의 면적이다. 동일하게, 도면에 도시된 것처럼, 면적(A2)는 유리 시트(48)의 모서리, 각도(θ3)에서 삼각형(66)의 첨점 사이의 라인(68), 각도(θ1)에서 삼각형(66)의 첨점과 유리 시트의 우측 모서리 사이의 수평 라인(70)의 상부 사이의 유리 시트(48)의 면적이다. 면적(A2)는 삼각형(66)의 면적이다. 유리 시트(48)의 전체 면적(유리 시트의 일 측면 상에서)은 약 A1+A2+A3+A4이다. 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 다음의 방법은 최적 지지부를 제공하는 지지부의 위치를 결정하는데 사용된다. 도 6에서, A3는 1/3(A1+A2+A4)이며, 예를 들어 A1, A2, A3, A4와 같으며, 여기서, A3는 라인(70) 아래의 시트(48)의 면적, A1+A2+A3는 라인(70) 위의 시트의 면적과 같다. 그리고, 베이스 측면(S3) 길이의 1/2은 유리 시트(48)의 폭(W)에 대한 길이(L)의 비와 같다. 상기 기준에 따른 지지 부재(65)의 최적 위치를 는 것은 종래의 수치해석(numerical method)을 사용하여 당업자에게 쉽게 달성되며, 최적 지지 배치가 산출된다. 비록 상기 기하학적 분석이 본래 정확하지만, 지지부의 배치는 정확할 필 요가 없으며 최적상태로부터 어느 정도의 편차는 일반적으로 허용가능한 것으로 이해되어야 한다.
실제로, 센서의 수평(levelness)과 그 관련 장치, 유체와 지지 부재를 포함하는 컨테이너 모두는 시트의 "제로 평면(zero plane)"이 센서 장치의 평면과 통상적으로 적절히 평행하지 않도록 만들어진다. 부가적으로, 유리 시트를 시트 하부에서 작은(~1-3mm 직경) 공기 거품의 트래핑(trapping) 없이 유체 내에 유리 시트를 배치하는 합리적인 노력은 항상 가능한 것이 아니라는 것이 밝혀졌다. 공기 거품은 시트의 국지적 상승과 캔트(cant)를 제공한다(거품과 함께 지지 부재의 일부를 재배치하는데 필수적인). 결론적으로, 싱글 시트의 다양한 측정의 직접적 비교 또는 시트-대-시트 비교를 용이하게 하기 위해 재료 변형 데이트는 보정되어야 한다. 최소자승법(a least square method), 보정 영점 또는 기준 면과 같은 측정된 지점에 대한 좌표축 회전(planar fit)을 차감함으로써 발생될 수 있고, 데이터가 비교되는 것이 밝혀졌다. 따라서, 유리 시트(48)의 윤곽 맵은 각 측정 지점의 고정된 기준면으로부터 거리(변형)을 계산함으로써 만들어진다. 도 7에는 이러한 접근이 1차원으로 도시되어 있으며, 참조 평면(점선)은 유리 시트의 길이(또는 폭)을 따라 가상(hypothetical) 측정 데이터(x's)의 그룹으로 고정되게 도시되었다. 고정된 기준면의 변형은 수직축으로부터 결정될 것이다. 물론, 실제 고정은 도시된 일차원이라기 보다는 2차원을 따라 만들어질 것이다.
일단 유리시트(48)의 전체적인 2차원 표면 윤곽이 결정되면, 이 표면 윤곽 또는 형상은 종래 분석 기술을 사용하여 개별적인 기초 형상 요소로 분리할 것이 다. 그 후 개별적 형상 요소의 지식은 유리 시트의 제조 공정에 역으로 공급되고, 응력(stress) 및/또는 인발된 유리 리본의 형상을 수정하는데 사용된다. 예를 들어, 유리 리본은 유리 리본이 탄성 영역 위의 온도인 시간 동안 공간 및/또는 시간 기반의 온도에 노출될 것이고, 특정 형상 요소를 보상할 것이다. 온도 프로파일은 이전에 측정된 유리 시트의 형상의 플롯 또는 그것의 수학적 모델로부터 유도되며, 연속적으로 형성된 유리 리본에 적용된다. 도시적으로, 이는 시트가 인발됨에 따라 유리 시트의 일측 또는 양측을 따라 배열된 복수의 히터(66)의 온도를 변화시킴으로써 달성될 것이다. 유익하게, 유리 형성 조건은, 유리 리본의 하부 부분 형상의 오프-라인 측정(예를 들어, 리본으로부터 분리된 유리시트)이 리본의 상부 부분을 효율적으로 수정하는데 사용될 수 있도록 통상적으로 상대 안정으로 유지된다. 도 8에 도시된 것처럼, 웨지(20)로부터 인발된 유리 리본(42)의 일부는 유리 시트를 형성하기 위해 절단되며, 시트는 상기 기술된 것처럼 측정된다. 적어도 하나의 센서(54)로부터 측정된 데이터는 라인(74)를 경유하여 유리 시트의 전체 형상을 개별적 형상 요소로 분리하고 형상 요소를 보정하기 위해 적합한 온도 프로파일을 계산하는 컴퓨터 장치(62)로 전달된다. 그 후, 컴퓨터 장치(62)로부터 온도 프로파일 데이터는 히터 제어기(78)를 통해 히터(76)을 제어하는데 사용되고, 유리 리본(42)의 폭을 따라 적절한 온도 프로파일을 적용하는데 사용될 것이다. 따라서, 측정, 분석 및 기술된 온도 프로파일의 적용은 인발로 야기된 형상 및/또는 유리 시트로 연속적으로 형성된 응력을 유익하게 보정하는 피드백 시스템을 형성한다.
본 발명의 상기 기술된 실시예, 특히 바람직한 실시예는 실시를 위한 단순한 가능 실시예이며, 본 발명 원칙의 명백한 이해를 단순히 설명된 것임은 강조되어야 한다. 다양한 변형 또는 수정은 본 발명의 사상 및 원칙에 벗어남이 없이 본 발명의 상기 기술된 실시예로부터 만들어질 것이다. 예를 들어, 본 발명은 상기 기술된 용융 공정을 채용하지 않는 다른 유리 제조 작동에 사용될 것이다. 모든 이러한 수정 및 변형은 첨부하는 청구항에 의해 보호되고 본 발명에 개시된 범위 내에 포함되는 것으로 의도되었다.
예
여기에 개시된 유리 제조 방법의 반복성을 설명하기 위해, 730mm×730mm의 길이와 폭을 갖는 유리 시트는 각각 카르길 사(Cargille Inc.)로부터 달성된 액체의 알류미늄 컨테이너에 배치된다. 유리 시트는 스테인레스 스틸 볼 베어링에 의해 아래로부터 지지된다. 볼 베어링은 컨테이너의 아래 및 하부에 배치된 자석에 의해 차례로 지지된다. 유리 시트는 약 0.7mm의 두께와 약 2.37g/㎤의 밀도를 갖는다. 유체의 밀도는 약 2.36g/㎤이다. 볼 베어링은 이등변 삼각형의 형태로 배열되며, 유리 시트는 유리 시트의 칸틸레버(cantilevered) 부분과 내부 부분의 벤딩 모멘트가 최소가 되도록 볼 베어링의 상부에 배열되며, 이 경우에 삼각형의 중심에 배열된 시트의 중심 및 삼각형 중심선에 배열된 시트의 중심선을 갖는다. 유리 시트는 유리 시트 표면에 대해 평행한 센서의 2차원 이동을 허용하는 레일 및 스테퍼 모터에 의해 구동되는 캐리지 장치에 의해, 유리 시트의 표면에 대해 이동되는 싱글 케 인스(Keyence) 센서로 복수의 개별적 측정을 함으로써 제1 부분이 측정된다. 유리 시트의 측정을 용이하게 하기 위해, 유리의 하부 표면은 흰 점선으로 페인트된다. 제1 세트의 측정이 실시된 후에, 유리 시트는 90도의 각도로 회전되며, 제2 세트의 측정이 실시된다. 전부, 유리 시트는 4부분이 측정되며, 각 위치는 이전 위치에서 90도 회전한다. 표면 윤곽 플롯은 각각의 연속적인 위치로부터 발생된다. 플롯은 도 9a-9d에 연속적으로 도시되었다.
도 9a-9d는 시트의 다양한 변형, 예를 들어, 시트의 회전 후에 우수한 질적인 반복성을 갖는 밀리미터(mm)의 100s의 길이 스케일에 대해 다양한 밀리미터 크기를 갖는 기준면으로부터의 변형을 도시한다.
본 발명은 유리 시트의 형상을 결정하기 위하여 유체와 접촉하게 유리 시트를 배치하여 센서로부터 그 표면상의 복수의 지점에서 유리 시트의 표면 사이의 거리를 측정하여 거리의 공간 분배를 이용함으로써 시트의 형상을 측정하여, 시트 형상으로부터 초래되는 고 응력 레벨의 발생을 방지할 수 있는 유리 시트의 형상의 형상을 결정하는 방법을 제공하기 위한 것이다.

Claims (20)

  1. 미리 정해진 평균 밀도와 미리 정해진 평균 굴절율을 갖는 유체와 접촉하는 미리 정해진 평균 밀도와 미리 정해진 평균 굴절율을 또한 갖는 유리 시트를 배치하는 단계;
    센서로부터 상기 유리 시트의 표면까지 거리의 공간 분배를 얻기 위해 상기 센서로부터 상기 유리 시트의 표면상의 복수의 지점까지의 거리를 측정하는 단계; 및
    상기 거리 측정의 공간 분배를 사용하여 상기 유리 시트의 형상을 계산하는 단계를 포함하고,
    상기 유체의 평균 밀도는 상기 유리 시트의 평균 밀도의 적어도 약 85% 인 것을 특징으로 하는 유리 시트를 측정하는 방법.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 유체의 평균 밀도는 상기 유리시트의 평균 밀도의 적어도 약 95%인 것을 특징으로 하는 유리 시트를 측정하는 방법.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 유체의 평균 굴절율은 상기 유리 시트의 평균 굴절율과 다른 것을 특징으로 하는 유리 시트를 측정하는 방법.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 측정하는 단계는 상기 센서와 상기 유리 시트 사이의 상대 운동을 초래하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 유리 시트를 측정하는 방법.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 센서는 상기 유리 시트에 대해 이동되는 것을 특징으로 하는 유리 시트를 측정하는 방법.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 배치하는 단계 이전에 상기 유리 시트의 표면을 코팅하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 유리 시트를 측정하는 방법.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 코팅은 불연속인 것을 특징으로 하는 유리 시트를 측정하는 방법.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 센서는 레이저를 포함하는 것을 특징으로 하는 유리 시트를 측정하는 방법.
  9. 제1항에 있어서, 상기 센서는 음향 센서인 것을 특징으로 하는 유리 시트를 측정하는 방법.
  10. 제1항에 있어서,
    상기 유리 시트는 상기 측정하는 단계 동안 지지 부재에 의해 유체 내에 지지되는 것을 특징으로 하는 유리 시트를 측정하는 방법.
  11. 제10항에 있어서,
    상기 유리 시트는 복수의 지지 부재에 의해 유체 내에 지지되는 것을 특징으로 하는 유리 시트를 측정하는 방법.
  12. 제1항에 있어서,
    상기 유리 시트는 상기 측정하는 단계 동안 실질적으로 수직인 것을 특징으로 하는 유리 시트를 측정하는 방법.
  13. 제1항에 있어서,
    상기 현상은 평면, 반구형(hemispheric), 실린더형, 원뿔형(conical), 타원형(elliptical), 포물선형(parabolic) 또는 이들의 조합으로 구성된 그룹에서 선택된 적어도 하나의 형상요소를 포함하는 것을 특징으로 하는 유리 시트를 측정하는 방법.
  14. 제13항에 있어서,
    유리 제조 공정에서 상기 형상을 사용하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 유리 시트를 측정하는 방법.
  15. 제1항에 있어서,
    상기 센서는 상기 유체와 접촉하는 것을 특징으로 하는 유리 시트를 측정하는 방법.
  16. 제1항에 있어서,
    상기 측정하는 단계는 복수의 센서를 포함하는 것을 특징으로 하는 유리 시트를 측정하는 방법.
  17. 유체;
    유체를 지지하는 컨테이너;
    센서로부터 유리 시트의 표면까지 거리의 공간적 분배를 얻기 위해 센서로부터 상기 유체와 접촉하는 상기 유리시트 표면상의 복수의 지점 사이의 거리를 측정하는 적어도 하나의 센서; 및
    상기 유리 시트의 형상을 계산하기 위해 상기 센서와 연결된 컴퓨터 장치를 포함하고,
    상기 유체의 평균 밀도는 상기 유리 시트의 평균 밀도의 적어도 약 85%인 것을 특징으로 하는 유리 시트를 측정하는 장치.
  18. 제17항에 있어서,
    상기 유리 시트는 복수의 지지부재와 접촉하는 것을 특징으로 하는 유리 시트를 측정하는 장치.
  19. 제17항에 있어서,
    상기 지지부재는 상기 유리 시트의 싱글 측면과 접촉하는 것을 특징으로 하는 유리 시트를 측정하는 장치.
  20. 미리 정해진 평균 밀도와 미리 정해진 평균 굴절율을 갖는 유체 내에서 미리 정해진 평균 밀도와 미리 정해진 평균 굴절율을 또한 갖는 유리 시트를 지지하는 단계; 및
    센서로부터 상기 유리 시트의 표면까지의 거리를 측정하는 단계를 포함하고,
    상기 유체의 평균 밀도는 상기 유리 시트의 평균 밀도의 적어도 약 85%인 것을 특징으로 하는 유리 시트를 측정하는 방법.
KR1020087004735A 2005-07-27 2006-07-11 물품의 형상을 측정하는 공정 및 장치 KR20080033466A (ko)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US11/192,381 2005-07-27
US11/192,381 US7225665B2 (en) 2005-07-27 2005-07-27 Process and apparatus for measuring the shape of an article

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR20080033466A true KR20080033466A (ko) 2008-04-16

Family

ID=37716417

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020087004735A KR20080033466A (ko) 2005-07-27 2006-07-11 물품의 형상을 측정하는 공정 및 장치

Country Status (7)

Country Link
US (1) US7225665B2 (ko)
EP (1) EP1915323A4 (ko)
JP (1) JP2009503503A (ko)
KR (1) KR20080033466A (ko)
CN (1) CN101272990A (ko)
TW (1) TWI317423B (ko)
WO (1) WO2007018902A1 (ko)

Families Citing this family (20)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101268356B (zh) * 2005-07-27 2012-07-25 康宁股份有限公司 用来测量玻璃片的设备和方法
JP5330245B2 (ja) * 2006-09-20 2013-10-30 コーニング インコーポレイテッド ガラス基板の形状誘起面内応力温度補償
KR101543053B1 (ko) * 2008-02-28 2015-08-07 코닝 인코포레이티드 기준면에 대한 재료 시트의 합치성을 예측하는 방법
US8058634B2 (en) * 2008-12-16 2011-11-15 Corning Incorporated Method and apparatus for determining sheet position using information from two distinct light beams each at a different position and a different angle
US8441532B2 (en) 2009-02-24 2013-05-14 Corning Incorporated Shape measurement of specular reflective surface
WO2011066064A2 (en) * 2009-11-24 2011-06-03 Corning Incorporated Method and apparatus for making a glass sheet with controlled thickness
US9625823B1 (en) * 2010-06-17 2017-04-18 Kla-Tencor Corporation Calculation method for local film stress measurements using local film thickness values
US9031813B2 (en) * 2010-08-27 2015-05-12 Corning Incorporated Methods and apparatus for estimating gravity-free shapes
US8210001B2 (en) * 2010-11-10 2012-07-03 Corning Incorporated Method of producing uniform light transmission fusion drawn glass
US8459062B2 (en) * 2011-09-27 2013-06-11 Corning Incorporated Apparatus and methods for producing a glass ribbon
US9187365B2 (en) * 2013-02-25 2015-11-17 Corning Incorporated Methods for measuring the asymmetry of a glass-sheet manufacturing process
ITBS20150085A1 (it) 2015-05-15 2016-11-15 Q Tech S R L Metodo e dispositivo di misura dell'errore di rettilineita' di barre e tubi
ITUA20162236A1 (it) * 2016-04-01 2017-10-01 Rde Company S R L Macchina per il rilevamento della forma di manufatti snelli
ITUA20162235A1 (it) 2016-04-01 2017-10-01 Rde Company S R L Sistema di sostegno flottante 3D per apparecchiatura di rilevamento geometrico di corpi snelli
KR20190004465A (ko) * 2017-07-04 2019-01-14 코닝 인코포레이티드 유리 시트를 적재하기 위한 방법 및 장치
IT201700122452A1 (it) * 2017-10-27 2019-04-27 Q Tech S R L Metodo e apparato di misura dell’errore di rettilineità di corpi snelli, con compensazione della deformazione per gravità
CN109458906A (zh) * 2018-12-12 2019-03-12 淄博朗斯光电有限公司 一种光学镜片检测设备及检测方法
CZ2020113A3 (cs) * 2020-03-05 2020-10-21 FOR G, s.r.o. Způsob bezkontaktního zjišťování geometrické přesnosti tvaru transparentního tvarovaného plošného výrobku ze skla nebo plastu a zařízení k jeho provádění
CN111579557B (zh) * 2020-05-26 2020-11-10 上海法信机电设备制造有限公司 一种电极帽修磨质量检测装置
CN112050749B (zh) * 2020-08-18 2022-04-05 丰柯电子科技（上海）有限公司 一种汽车零部件加工用曲度在线检测装置及检测方法

Family Cites Families (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3338696A (en) * 1964-05-06 1967-08-29 Corning Glass Works Sheet forming apparatus
US3591293A (en) * 1965-05-26 1971-07-06 Libbey Owens Ford Co Apparatus for determining the thickness of a transparent material by measuring the time interval between impingement of front and back surface reflections on a detector
BE757057A (fr) * 1969-10-06 1971-04-05 Corning Glass Works Procede et appareil de controle d'epaisseur d'une feuille de verre nouvellement etiree
US3840301A (en) * 1973-02-02 1974-10-08 T Pryor Apparatus and method for analyzing surface contour
US4221053A (en) * 1978-11-13 1980-09-09 Libbey-Owens-Ford Company Inspection apparatus
US4952227A (en) * 1989-05-22 1990-08-28 Libbey-Owens-Ford Co. Apparatus for processing glass
US5319960A (en) * 1992-03-06 1994-06-14 Topometrix Scanning force microscope
JPH06331339A (ja) * 1993-05-21 1994-12-02 Hitachi Cable Ltd 薄板の変形測定方法及びその装置
US5831153A (en) * 1997-02-14 1998-11-03 International Business Machines Corporation Investigation and/or manipulation device for a sample in fluid
JP2002286614A (ja) * 2001-03-28 2002-10-03 Toyota Motor Corp 走査型プローブ顕微鏡を用いた液中試料観察方法
JP2003042750A (ja) * 2001-07-26 2003-02-13 Canon Inc 水槽を有する３次元形状測定装置
JP2003042747A (ja) * 2001-07-31 2003-02-13 Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd ベルト形状計測方法及び計測装置

Also Published As

Publication number Publication date
US7225665B2 (en) 2007-06-05
JP2009503503A (ja) 2009-01-29
EP1915323A4 (en) 2009-09-30
CN101272990A (zh) 2008-09-24
TWI317423B (en) 2009-11-21
EP1915323A1 (en) 2008-04-30
US20070028681A1 (en) 2007-02-08
WO2007018902A1 (en) 2007-02-15
TW200716968A (en) 2007-05-01

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR20080033466A (ko) 물품의 형상을 측정하는 공정 및 장치
US8720225B2 (en) Overflow downdraw glass forming method and apparatus
JP5469451B2 (ja) ガラスシートにおける歪みの最少化方法
US7509218B2 (en) Pin height adjustment in bed of nails shape measurement
Ramé et al. Microscopic and macroscopic dynamic interface shapes and the interpretation of dynamic contact angles
US9010148B2 (en) Method of reducing distortion in a sheet of glass
US20120111055A1 (en) Method of producing uniform light transmission fusion drawn glass
US20100293998A1 (en) Methods for controlling glass sheet thickness
KR101900101B1 (ko) 무중력 형상 추정 방법 및 그 기기
JP4930336B2 (ja) ガラス基板の反り検査方法および製造方法
JP6956744B2 (ja) ガラス製造方法及び装置
JP5615376B2 (ja) ガラスリボン上への精密構造の連続印刷方法、及びそれによって得られたガラスリボン
KR20100138971A (ko) 기준면에 대한 재료 시트의 합치성을 예측하는 방법
JP2012137758A (ja) ガラス基板
CN106482649A (zh) 透明基板的厚度测量
US20200199004A1 (en) Enclosures for glass forming apparatuses
WO2023132150A1 (ja) ガラス板の測定方法、ガラス板の製造方法、及びガラス板の測定装置
CN218329805U (zh) 一种基板玻璃短辊插入深度的测量装置
CN116007581A (zh) 一种基板玻璃窑炉升温过程池壁倾斜度测量装置和方法
Rendevski Redoing Dempsey's work in a modern way

Legal Events

Date Code Title Description
WITN Application deemed withdrawn, e.g. because no request for examination was filed or no examination fee was paid