TWI317423B - Process and apparatus for measuring the shape of an article - Google Patents

Description

1317423 九、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明一般係關於量測物體形狀之方法，以及特別是 量測玻璃片之形狀。 【先前技術】 薄的玻璃片發現使用於陣列數增加之製造物體中，以 及特別是包含桌上型及筆記型電腦，行動t話及電視之電 子物體Μ寺別疋電視顯示器正經歷由傳統老舊陰極射線管 (CRT)轉變為電漿及液晶顯示器⑽）。除此，客戶要求促 使非陰極麟管顯示1製造商提供增大尺寸之顯示器。 製造越來越大顯示1輕#之冑糊雜持該參數例 如表面品質之嚴格要求增加目前製造片狀物方法之限制。 例如已知在大玻璃片内存在之殘餘應力將促使由較大玻璃 片切割下較小的玻璃片採用形狀不同於母質玻璃，由於這 些預先決定應力將被釋除及/或再分配。 玻璃片可藉由一些方法形成，其包含人們熟知的浮式 處理過程，其中玻璃熔融物浮在通常為錫之液體金屬上。 另一普及之製造玻璃片方法為已知的融合抽拉方法(FDM), 其中熔融玻璃供應至溝槽。熔融玻璃以受控制方式溢流過 溝槽之兩側，以及分離之玻璃流動在溝槽端部再合併。因 而，玻璃片外露表面為原始的以及玻璃片由裝置帶狀地^由 拉出。形成玻璃片之融合處理過程更詳細地說明於J^kehy 之美國第3682609號專利，該專利内容在此加入作為參考 之用。 當藉由形成連續性帶狀物方法例如溢流向下抽拉或融 合處理過程形成薄的玻璃片時，形狀將施加於片狀產物。 片狀物形狀會以許多型式顯現，其包含彎曲，下垂."s_捲曲 ’等。最終地^片狀物形狀基於下列數項理由對下游用戶將 構成一項問題:並不在同一平面之玻璃片邊緣會變為由於 第 5 頁 1317423 衝擊導致之破裂來源;嚴重情況具有一形狀之破璃盔法真 空吸住於使用來製造LCD之各種器具中，因而導致^產^ 或在玻璃基板中產生高應力而導致破裂。甚至於中度地具& 有一形狀之玻璃無法放置於夾頭裝置之下方，因而導^形、 成顯示器電子部份之沉積薄膜不均勻。為了製造低應力^ /或低捲曲產物，需要對片狀物形狀根本地了解及減^最低

非平面性片狀物形狀能夠藉由一些處理過程因素產生 ，其包含在彈性溫度範圍内抽拉出帶狀物之彎曲及振動，其 向上游傳送進入黏彈性區域，以及"殊結”熱應力效應。該八 移動由切割帶狀物為分離片狀物或板狀物所致。形 =凍結應力所致，例如當非平坦時發生，當通過黏彈性溫度 細時在整個抽拉物片狀物中將產生溫度梯度。由於 多情況中抽拉出玻璃帶狀物非常薄(例如使用於顯示器裝° 置中玻璃)’相當大的雜應力需對形狀構成補償。即 狀物變形將釋除應力。娜式之形狀本質上為暫時性，’以 ^由於將▼狀物偽各別#狀物❿釋除《再分配 續將片狀物再切割為較小部份。 ’一 雖然片狀物職已作某種健檢氣需要精確的片狀 法雜鋪分糾狀 ^成。除此，雖然目前機械探測儀方法能夠某種程度地 物職，消除由於制產生重力為主之下垂效應 【發明内容】 本發明實施例提供-種量測玻璃物體以及特別是玻璃 ^方法，以測定出玻之形狀。本發明方法更進一步 包各在玻璃製造處理過程中測定出玻璃片之形狀。 穷戽，據t發财概摘#藉蛾具有預先決定平均 又及預先決定平均折射率之流體接觸以定位玻璃片而量 1317423 玻邮亦具有舰決定之平均密度及 ^距離之工間分佈。一旦距離之空間分佈決定出，破璃 ^形狀能夠使用距離量測之空間分佈計算出。優先 if Ϊ至少為玻翻平均贿之85%;更優先地i少 95(·取優紐^體平均統#於玻翻之平均密度。 在本發明另-項為揭示出玻璃片形狀裝置，1 ，容納流體之容器，至少—個感測器以量測至少：_個感測 ^至玻璃料社—組纽關炫離轉舰離之空間 刀佈’與感測器連通之計算裝置以計算出玻璃#之形狀以 及其中流體之平触歧彡、為玻翻平触紅85%。優 先地，體平均紐實壯雜賴狀平均密度。 藉由下列範例性說明以及參考附圖，本發明將更容易 了巧严其他目標，特性，詳細情況以及優點將變為更加清 楚’该範例之說明在任何情況並非在於作為限制。預期所 有這些附加系統，方法之性能及優點包含於該說明内，以及 屬於本發明之範圍，以及受到申請專利範圍保護。 【實施方式】 在下列作為說明用途及非限制用途之詳細說明中，範 例性實施例揭示出詳細情況以提供完全了解本發明。不過 ，業界熟知此技術者將受益於該詳細說明，本發明能夠實施 於其他不會脫離在此所揭示細節之實施例中。除此，已知 的裝置，方法及材料之說明能夠加以省略而並不會模糊本 發明之說明。儘可能地相同的參考數字表示相同元件。 本發明部份關於了解由帶狀物切割下玻璃板無重力影 響之形狀，例如量測玻璃板之形狀。本發明更進一步包含 減小之不想要扭曲，該扭曲當玻璃板或基板去除捲繞基本 形狀之元件加以平坦化所呈現出，該元件包含由帶狀物切 割下玻璃片或玻璃板整體形狀，以及使用所得到資訊以改 1317423 以及使不想要_喊為最低或加以消 採、两ί形成例如顯示於圖1玻璃帶狀物之溢流向下抽拉處 、畜ί王中，开’成換形物之溢流溝槽構件包含朝上敞開之 22由壁板部份24縱向側邊所界限，其終止於相對縱向 流唇狀物或堰26中上側寬度。堰26與楔形物構件 目對外側帶狀物形成表面連通。如圖所示，提供楔形 具有一對與堪26連通之垂直形成表面部份28,以 ，對向下傾斜會聚表面部份30,其終止於水平較 m娜成直的玻璃姉線處。人們了解表面部㈣ ’ 30提供於楔形物2〇每一縱向側邊處上。 炫融玻璃34藉由與溝槽22連通之傳送通道36供應至溝 “^通道斗22之原料可為單一端部，假如g要情況下 的/ 一對限制之觀38提供於溢流堰26上方緊鄰 引熔融玻璃34自由表面40溢流過溢 =6成為勿離之〜體，以及向下相對形成表面部份汾加 =32’在域齡為虛線之分離流體會細形成初始 之帶狀=,丨雜韻胁楔形物構件_ 32之下糾及個細銳率，顧速 狀物崎娜細職蚊輪 拉引滾軸優先地設計成與玻璃帶狀物接觸於外側 处，特別地在存在於帶狀物邊緣之加厚突出物内側區中 二，滾雛觸之玻璃邊緣部份在後續步驟中由玻 :厂對相反方向旋轉之拉引滾軸提供於帶狀物每一邊 當玻璃帶狀物42向下運行過裝置^_ 經歷複雜的結構性變化，不只實際尺寸變 等級之攸。挪雜__鱗崎i y 約半毫米厚度堅硬帶狀物之變化藉由小心

1317423 分=達成，其微妙地平衡機械及化學規格以達成由液體或 f滯性狀態轉變為固體或黏性狀態。在彈性溫度區域内， 帶狀物，切割線47切割下以形成玻璃片狀物或玻璃板。 儘管經由黏滯性-彈性區域轉變過程中對玻璃小心地 施以已知的溫度分佈，該玻璃帶暴露之熱溫度仍然會產生 使破璃1變形之應力，其由於殘餘應力再分配或釋除所致 。，由帶狀物產生之玻璃片形狀決定於帶狀物經過黏滯性 -彈性區域轉變過程中帶狀物之熱學經歷，及該經歷會發生 婕化。該應力及/或形狀之變化會危及一些依靠尺寸穩定 性之處理過程例如液晶顯示器製造中線路沉積於基板上。 例如’在觀液驗示种，&帶錄_下大的玻璃片本 身可再蝴為-組夠區段。每—區分_會導致應力之 釋除或再分配，以及後續之形狀變化。因而需要設計出一 種方法，其中由帶狀物切割出之玻璃片形狀可精確地決定 出。因而所得職訊可使用來改變被抽拉出玻璃帶狀物之 熱學經歷。 、圖2顯不出依據本發明決定玻璃物體例如玻璃片形狀 之實補。人們了解觸材法可制來量測物體。 =，本發__之玻翻只是雕性目的，以 作為限制性用i佘。 ⑽參考數字46表示之實施例，玻璃片48位於含有 ^容㈣中。麵片48可放置於流體表面上，或浸 ϋ細情況如底下所酬。_片具有預先決 及預先決定之平均折射率。流體亦具有預 二：5 i f岔度及預先決定之折射率。優先地，流體平 ί 片平均密度之85%;更優先地至少為9〇%; 、六㈣^95%。當流體密度至少為玻璃#平均密度 於玻璃片48為中等級密度，以及玻璃片為 年’璃片應雜持於流體52内已知的位置處而不 1317423 f要機械支撐歷時足以完成已知的量測 。適當的流體例如 1、祕rgl 11 e Inc.供應，其提供折射率相匹配之液體，浸 =液體’光學搞合液體，折射儀液體以及其他特別的液體。 統可容糾加以調整 . ’例如藉_如蒸發增域如、紐。舰魏之調整亦 =由混合兩種或趣具林随度液體賴，使得混合 物達到所需要預先決定之平均密度。例如，本公司製造之 ^gle 2000玻璃平均密度為2. 37g/cc。數種趙例如平均 密度為2.35g/ee之帛—麵以及平触絲2.45你之第 • 體可加以混合以铜平均密度為2. Wee之第三流體 。熟知此技術者了解能夠使用流體或具有所需要特性之流 體。 持續參考圖2，使職測器54以量測由感測器至玻璃片 表面^距離。玻璃片48包含面對感測器54之第一側邊56( 感測器側)，以及非面對感測器之第二側邊58。在實施例中 . ，感測側邊56稱為頂部侧邊56以及非感測側邊58稱為底部 側邊58。為了確保玻璃表面可被感測器54偵測出，需要要 求流體52之平均折射率可感測地不同於玻璃片肋之平均折 射率。流體平均折射率與玻璃平均折射率間之允許差值由 響數項目素例如感測器之靈敏性所決定。可加以變化，在已 知感測S無紐別賴#平均折射率與流體平均折射率間 差值之情况中，薄膜或塗膜(並未顯示出）可塗覆於玻璃片 48之表面，優先地塗覆於玻璃片之底侧58，使得感測器與玻 璃-塗膜界面間之距離能夠量測出。當人們量測薄膜表面 而非玻璃表面時，塗膜本身之量測例如假如塗膜黏附至頂 部側邊56(感測器側邊)會導致量測誤差。塗膜優先地並+ 元全地必萬地為不透明的，以及可由例如塗料，油墨或毕料 所構成。白色，不透明塗膜發現將達到極良好的結果:^ 過，塗膜折射率可感測地不同於流體折射率為可^受的。 第10 頁 1317423 可由聚合物軸所構成，其中聚合物折射率可感 均折射率。需要地，由塗膜施加於玻 制r 何應力不^以促使玻璃片產生額外的變形。基 二二贫塗覆於玻璃片之塗膜為連續性形式，例如為系列 t形狀。選擇性地，可量測玻璃片厚度為玻璃片 ίϋΪί氣以及與薄膜—玻璃界面距離之數據結合以產 生玻璃片感測側邊表面輪廓圖。 — 一旦破璃片48放置於流體52中，感測器54 :U慽測ϋ至玻翻表面之距離。感測器54可使 ^來1測感測器與玻璃片頂部表面％間炫離也，或感測 可使用來量測感測器與玻璃片底部表面58間^巨離。 ί可使財制dl及&，在任何狀鱗玻璃片之 厚度t能夠測定出為t备dl。感測器54可包含宜他孰 知的裝置例如為聲音❹指。諸裝置可包含簡單的雷射、、、 ίΞί 密的裝置例如Michelson干涉儀。感測器可

為時間為，礎的，其中感測之能量例如為在賴中具有已 知速度之聲音可加崎時。適當的_闕如纟_ Corporation製造之LT 8110共焦雷射位移感測器。雖 測器54可放置於流體絲上方， 因而有益地消除在流體表面60處之空氣_流體之界面。感 測器54可完全地浸潰於流體中。 〜 如先前所說明，人們並不需要直接地量測玻璃片4 部表面56以得到頂部表面之輪廟圖。例如，在塗膜塗至 底部表面58之情況，由制n至底輕面58處— 面之距離量測可達成以測定出底部表面之輪廊圖其1 併玻璃片已知厚度之數據以得到頂部表面56之輪廊: 常，對於使驗顯示器製造中之玻璃片，頂部及底部 質地平行減_轉有均自的騎，财約剔、於$ 。因而，只有單-表面之量測足明定$玻翻之形狀。

1317423 ，測器54與破璃片48間之相對移動允許在一組多個位 置處量測感測器至被量測玻璃片之距離。通常，量測位置 數目越多，為位置函數之玻璃的距離精確度越高，或玻璃片 表面輪廓能夠測定出。感測器54優先地相對於玻璃片48量 測表面在平行於玻璃片一般平面中移動。優先地，在玻璃 表面離散之點處進行量測。當玻璃片變為非常大時例如為 超過1平方米，感測器相對於玻翻之移動為特別需要的。 I測能夠在整個玻璃表面沿著平行線獨立點處進行量測， 或以非線性形式在預先決定位置處進行量測。量測距離及 位置能夠藉由計算裝置62繚製出以形成所需要表面輪廊圖 璃，片之形狀。選擇性地，特別地需要表面輪廓數 予模式此夠使用傳統模擬方法發展出。 在優先實施例中，-組多個量測能夠同時地藉由一组 ϋ排^陣列之感測器54同時地進行，如圖3所示。在該 中-__彳抓匕_械概優先地 似=;=進=4=需要時間類 J 片 48 可放J上 請/f'力的。優先地，假域_ 54相對於 48移動，被制之_奸崎縣 或假如使用-組多“測3器 _器於鐵台機，該裝 示出）或業界已知的方式運步粒馬達(並未顯 ^:置^器54移^^ 中移動。由於玻場片傾斜所導致之任何偏移應Si 1317423 知的以及因而調整量測。因而有可能多個感測器，或單一 感測器之移動範圍，以及玻璃片一般平面並不在平行平面 假如偏離平行為已知的。不過，該偏移為不想要的。’ 在本發明另一實施例中，玻璃片48可放置為垂直位置 即垂直於流體52之外露表面60如圖4所示。需要地因為节 體對玻璃片邊緣只提供有限之支撐，流體具有黏滯性相當 高足以避免玻璃片48在作量測所需要過程中沿著垂直軸明 顯地移動。可加以變化地，玻璃片可藉由支撐組件64例如 金屬線及夾頭懸吊於流體52中。優先地玻璃片懸吊於單 一位置處以避免支揮組件64使玻璃片48變形。在垂直排列 中，玻璃片量測變為更困難，因為人們通常需要經由容器壁 板量測玻璃片形狀。雷射測距裝置為需要的，以及容器^ 少一個壁板在雷射波長下為透明的。必需確保透明容σ器壁 板及容器内流體間之干擾，以及透明容器壁板以及透明"^ 器壁板外側環境(例如空氣)間之干涉在量測過程中加以補 償。有益地類似於先前實施例，在流體容器5〇處以及平行 於玻璃片之感測器陣列能夠使用來縮短量測時間以及 上述所說明困難性。 、 一旦一組至感測器之距離多個量測完成後，能夠使用 距離數據以藉由業界熟知之傳統方法測定出破璃片形狀。 例如，數據可使用於計算機程式中，例如Micr〇s〇ft Excei ，，以及繪製出以顯示表面輪廓。能夠使用更複雜分析以 評估數據，以及使用來由玻璃片整體解捲旋分離各別形狀 巧元。。例如，玻璃片可包含一個該各別形狀(形狀成元)為 平面，圓柱形，球面，橢圓形，圓柱开久拋物形以及雙曲線。 玻璃片表面輪廓包含單一形狀成元或該形狀之組合。 圖5特別地顯示出依據本發明優先實施例。如圖5所示 ’玻璃片48藉由接觸支稽構件65支樓於流體内分散點處。 即流體密細t地祕麵之絲(蚊纽麵密度之 第13 頁 1317423 85%2’使得破璃片下沉於流體内。因而，玻璃片幾乎地中声 ^於流翻，但是並树實如此。玻翻藉由在獨立點a 处玻璃片與支撐構件65接觸於流體内加以支撐。在流體 玻= 片所需要浮力大小當然地決定於量測所需要精確程度 ’二、最終地為終端使用者需求的函數。不過，人們發現合^ #離理鮮狀翻最大偏移值/與 里測=需要精確度I依據Fb<Fg(cLn/cU)關係作比較” 而測定其巾Fb為玻璃片上浮力以及Fg為玻璃片之重力 駚ί 65 玻璃片將有益地防止玻璃片在流 " ’ ^、由於流體内熱梯度而會景多響玻璃片之量測。 1觸支撐構一件64包含球形軸承放置於流體52内容器5〇底 65 ΐ 德灿?:、'能夠使辭種支撐排列，人們發現三點接觸支撐 在適當限制破璃片同時產生最小制干擾之間可 的鱗。即，支撐餅65幾細彡狀可以最佳化使 份祕4力解敗f轉械為最低。接 觸』之取佳放置為三角形，優先地為等邊三角形。

過面底積邊:=面積，_二:顯=水中平線同： ，面積A2為玻璃>{ 48邊，三角形66頂角 底=:厂 細可使用下列方法以決定出提供最佳支地在 第14 頁 1317423 圖6中，As等於1/3(Αι+Α2+Α〇,即Αι等於A2, A2等於A3, As等 ，A4,其中As代表直線7〇底下玻璃片48面積以及ai+a2+a4 專於在直線70上方玻璃片48面積;以及底邊&長度與底邊 &長度一半之比值等於玻璃片長度L與寬度w之比值。依據 上述標準對支撐構件65最佳佈置之解將很容易地被熟知此 技術者使用已知的方法達成，以及產生最佳支撐怖置。人 們了解上述幾何分析為嚴格的理論,支撐佈置並不需要非 常精確地^以及某種偏離最佳情況通常為可允許的。 貫際上，感測器荨級以及其相關之裝置，含有流體之容 器以及全部支撐構件合併使得玻璃片之"零平面”通常並不 充伤地平行於感測态裝置之平面。除此人們發現經由正常 運7將玻璃片放置於流體内而不沾附少量（約直徑） 空氣氣泡於賴#底下麟完全可能魏。綠氣泡提供 局部浮昇力以及傾斜通過玻璃片（氣泡替代一個支樓構件） 。因而，必需對原始偏移數據作改正使單一玻璃片多次量 測間之直接比較，或玻璃片對玻璃片之比較變為容易。已 發現藉由對量測點平面標定例如最小乘方法扣減，能夠產 生零改正或參考平舰及數據作比較。玻_ 輪廊圖能 夠對母一里測點计异至標定參考平面之距離而達成。該方 士之-維顯補齡糊7 +，其巾參考面(虛線)顯示為沿 ，玻璃片長度(或寬度)-組假設量測數據之標定。偏離標 定參考平面之偏移能夠由垂直軸決定出。當然，實際標定 能夠沿著二維而非所顯示單維進行。 一旦玻璃片48整體二維表面輪廓被測定出，該表面輪 廓形狀能觸由已知的分析技術纖旋為各卿狀成元 。各別形狀成元之訊息可回授至玻璃片製造處理過程以及 使用來改變應力及/或被抽拉出玻璃帶狀物之形狀。例如， 在玻璃可狀物溫度咼於彈性區域過程中，玻璃帶狀物暴露 於空間性及/或時間為基準之溫度分佈，其將對特別形狀之 第15 頁 1317423 成元作補償。溫度分佈能夠由先前量測玻璃片形狀曲線圖 數學模擬導出，以及施加於後續形成之玻璃帶狀物。 該分佈能夠藉由改變一組多個排列於要被抽拉出玻璃片一 ，或兩側之加熱器66溫度達成。有益地玻璃形成條件通 ，保持相當地穩定，使得玻璃帶狀物下游部份離線形狀之 量測(即由帶狀物分離之玻璃片）可使用來有效地改變帶狀 物之上游部份。如圖8所示，由楔形物2〇抽拉出部份玻璃帶 ^物42可加以切割以形成玻璃片，其中玻璃片以上述方式 置，1由至少一個量測器54量測出數據經由線路74傳送至 計算裝^ 62,其將玻璃片整體外形解捲旋為各別形狀成元 以及計算適當的溫度分佈以對形狀成元作改正。由計算裝 置6^計算出溫度分佈數據再使用來控制加熱器76，例如加 熱器控y器78,以及施加適當的溫度分佈於整個玻璃帶狀 物ϋ覓度。因而規定之溫度分佈之量測，分析及應用形成 回授系統，其有益地改正抽拉引起之形狀及/或後續形成玻 璃片中之應力。 必需強調上述所說明本發明之實施例，特別是優先實 施例係指作實施可能之範例，所揭示只作為了解本發明之 原理。本發明上述所說明實施例可作許多變化及改變但是 並不會脫離本發明原理及精神。例如，本發明可使用於其 他並不採用融合處理過程之玻璃製造操作中。所有這些改 變及變化均包含於所揭示範圍内以及以由下列申請^ 圍加以保護。 範例： 為了顯示在此所揭示玻璃量測方法之重現性，玻璃長 度及寬度尺寸分別為730mrax730nnn，其放置於Cargille ^ne 所提供液體鋁容器中。玻璃片藉由不鏽鋼球形軸承由底部. 支#。玻璃片厚度大約厚度為〇· 7ram以及密度約為2訂公 克/立方公分。流體密度為2.63公克/立方公分。球狀轴承 1317423 ΐίίίίί ^以及玻璃片排列於球狀轴承上，使得懸 f ㈣之f域為最低，玻翻巾央對準於 心，以及玻璃片中心線對準於三角形中心線。玻

旦、、第厂位置利用單一Keyence感測器作一組多個獨立 ^測，該感測器利用軌條及步進馬達驅動載台裝置相對於 破璃片表面移動，其能夠使感測器平行地及才睛玻璃片表 f作一維鶴。為了使玻縣面制變為料，玻璃底部 =刷塗，點。在作第一組量測後，玻璃片轉動9〇度，以及 —弟一組置;^。全部過程中，玻璃片在四個位置處量測，每 位^由先雜i旋轉9。度。每—後續位置產生表面輪廊 圖。在圖9A-9D中依序地顯示出輪廓圖。 圖9A-9D清楚地顯示出參考平面之偏移，對於刚·規 ，之長度該偏雜度為數絲，在玻制乡次放置即玻璃 片旋轉後具有良好的重現性。 【圖式簡單說明】 、第一圖為一般製造玻璃片融合處理過程之部份剖面透 視圖。 第二圖為依據本發明實施例之玻璃片量測裝置的侧面 剖面圖。 第二圖為依據本發明實施例之玻璃片量測裝置的透視 圖0 第四圖為依據本發明之玻璃片量測裝置另一實施例的 透視圖。 第五圖為依據本發明之玻璃片量測裝置實施例的透視 圖’ 玻璃片由一組多個接觸支撐所支撐。 ，六圖為第五圖支樓優先排列之輪廓表示圖。 ^第七圖為對假設量測數據標定之理想平面位置圖以決 疋出數據離平面之距離(偏移）。 第八圖為使用依據本發明玻璃量測系統實施例之玻璃 第17 頁 1317423 製造處理過程的示意圖。 第九圖A-D為表面輪廓圖，其顯示出玻璃片離參考面之 四個不同指向偏移，該指向彼此相隔90度。 附圖元件數字符號說明： 楔形物20;溝槽22;壁板部份24;堰26;表面部份 28;會聚表面部份30;根部32;熔融玻璃34;通道36;檔 板38;自由表面40;初始表面玻璃42;拉引滾軸44;切割 線47;實施例46;玻璃片48;容器50;流體52;感測器 54;第一側邊56;第二側邊58;流體表面60;計算機62;支 撐組件64, 65;三角形66;線條68;水平線70;加熱器76 ;加熱控制器78。

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Claims (1)

1317423 十、申請專利範圍： 1. 一種量測玻璃片之方法，該方法包含： 放置玻璃片與具有預先決定平均密度以及預先決定平均 折射率之流體接觸，玻璃片亦具有預先決定平均密度及預 先決定平均折射率； 里測由感测器至玻璃#表面上一組多個點u巨離以得到 感測器至表面距離之空間分佈； =距離量測之空間分佈計算玻翻之形狀;以及 9 触度至少為破璃片平均紐之娜。 少二 方法’其中流體之平均密度至 3不===;之方法’其中流體之平均折射率 ==¾法，其中量測步驟包含在感 5. 依據申請專利範圍第4項 片移動。 、万法，其中感測器相對於破璃 6. 依據申請專利範圍第丨項 置步驟之前塗覆塗膜至破填、’，、更進一步包含在放 7·依據申請專利範圍第6項^ ° 性的。 、去，其中塗覆塗膜為不連續 8.依據申請專利範圍第〗項 、 9·依據申請專利範圍第1項（，其中感測器包含雷射。 的。 、艾方法，其中感測器為聲音方式 10·依據申請專利範圍第丨項 中玻璃片藉由支撐構件支法，其中在量測步驟過程 11. 依據申請專利範圍第10牙項j中。 多個支撐構件支撐於流體中。、方法，其中玻璃片藉由一組 12. 依據申請專利範圍第】 、之方法，其中玻璃片在量測步 1317423 驟過程中為垂直的。 專·圍第1項之方法，其中形狀由至少-種 ，種類所構成，該形狀包含平研生，半球面，圓柱形，角錐 形，橢圓形，拋物線及雙曲線，或其組合情、、兄。 R依據申請專利範圍第13項之方法^中更進一步包含在 坡璃製造處理過程中使用該形狀。 依據巾請專利範圍第1項之方法，其中感測器與流體接 16. 依據申請專利範圍第1項之方法，其中量測包含一 組多個感測器。 17. —種量測玻璃片之裝置，其包含 流體； 容器以容納流體； =-個感測器以量測至少—個感測器至與流體接觸玻 個點間_以得到由感測器至表面距 ΐΐΐΐ’其齡麻連通崎糾之形狀;以及 其中流體之平均密度至少為玻璃片平 :=_第17項之裝置，其“片與-組多 項術其中支撐構件細 20. —種量測玻璃片之方法，其包含： 中，該流體具有預先決定平均以 平均折射率，玻·亦具有預先決定平均i产 折射率;其中流體平均密度至少為玻璃片 量測感測器至玻場片表面之距離。