KR20080031317A - 운동 안내 장치의 제조 방법 및 이 방법을 이용하여제조되는 운동 안내 장치 - Google Patents

운동 안내 장치의 제조 방법 및 이 방법을 이용하여제조되는 운동 안내 장치 Download PDF

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KR20080031317A
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히데까즈 미찌오까
겐지로오 이세
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티에치케이 가부시끼가이샤
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Abstract

본 발명은 구름 이동체를 이용하는 운동 안내 장치의 구름 마찰면 및 미끄럼 마찰면 중 적어도 일부의 마찰면을, 지석을 이용한 연삭 가공에 의해 성형하는 연삭 가공 공정과, 상기 연삭 가공 공정에서 발생한 마찰면 상의 문제점을 무해화하기 위해, 상기 연삭 가공 공정에 의해 성형된 마찰면에 대해 피닝 처리를 실시하는 표면 처리 공정을 포함하는 처리를 실행한다. 이러한 처리 공정을 경유하여 운동 안내 장치를 제조함으로써, 마찰면에 생긴 상처 등의 문제점의 무해화 및 피로 강도와 미끄럼 이동성, 장치 수명을 향상시킬 수 있고, 주행 거리 시험에 있어서도 계산 수명을 대폭으로 상회하는 주행 거리를 달성하였다. 이에 의해, 지석을 이용한 연삭 가공에 의해 마찰면 혹은 전주면 상에 상처가 발생하였다고 해도, 처리 대상 부재의 허용 치수 정밀도에 영향을 미치지 않고 상처를 무해화하는 것이 가능해진다.
운동 안내 장치, 연삭 가공, 지석, 전주면, 구름 이동체

Description

운동 안내 장치의 제조 방법 및 이 방법을 이용하여 제조되는 운동 안내 장치 {PROCESS FOR PRODUCING MOTION GUIDE APPARATUS AND MOTION GUIDE APPARATUS PRODUCED BY THE PROCESS}
본 발명은 운동 안내 장치의 제조 방법 및 이 방법을 이용하여 제조되는 운동 안내 장치에 관한 것으로, 특히 가공 시에 발생하는 마찰면(구름 이동체의 전주면을 포함하는 말임) 상의 문제점을 무해화하는 기술을 채용한 운동 안내 장치의 제조 방법 및 이 방법을 이용하여 제조되는 운동 안내 장치에 관한 것이다.
종래부터 리니어 가이드나 직선 안내 장치, 볼 스플라인 장치, 볼 나사 장치 등과 같은 구름 이동체를 이용하는 운동 안내 장치에 있어서는, 이러한 장치를 구성하는 부재가 구름 이동체를 개재하여 반복해서 구름 이동ㆍ미끄럼 이동 압력을 받으므로, 구름 이동체와의 마찰면에는 높은 표면 품질이 요구되고 있었다.
그리고, 이와 같은 마찰면은 지석을 이용한 연삭 가공에 의해 성형되는 것이 일반적이지만, 지석 연삭에 있어서는, 연삭 중에 지석으로부터 탈락되는 지립의 맞물림에 의해 마찰면의 표면에 상처를 발생시키는 경우가 있었다. 마찰면 상의 상처는 운동 안내 장치의 장치 수명에 중요한 영향을 미치기 때문에, 그대로 잔류시키면 안된다. 한편, 마찰면은 구름 이동체의 전주로(轉走路)를 형성하는 것이므 로, 연삭 가공에 의해 성형된 허용 치수 정밀도를 유지해야만 한다는 제약도 있다. 따라서, 종래에는, 일단 마찰면 상에 상처가 발생하게 되면, 마찰면의 허용 치수 정밀도를 유지하면서 상처를 제거하는 것이 곤란하기 때문에, 문제점이 발생한 부재에 대해서는 폐기시킬 수밖에 없다는 것이 실정이었다.
특허문헌 1 : 일본 특허 출원 공개 평05-078859호 공보
그런데, 마찰면의 허용 치수 정밀도를 어느 정도 유지하면서 금속 표면의 개질을 행하는 기술로서는, 숏 피닝이나 하드 숏 피닝이라 불리는 처리 기술이 알려져 있다. 이들 처리 기술은 피로 강도 향상에 유효한 것이므로, 기어나 스프링 등의 기구 부품의 표면 개질에 이용되고 있다(예를 들어, 상기 특허문헌 1 참조).
그러나, 숏 피닝이나 하드 숏 피닝으로 대표되는 종래의 표면 개질 기술은 금속 표면의 성질을 변경(혹은, 제어)하는 것을 목적으로 개발된 방법이고, 마찰면 상에 발생한 상처(예를 들어, 지립의 맞물림에 의한 수㎛ 내지 수십㎛ 정도의 상처)의 제거를 고려한 것은 아니었다.
본 발명은 상술한 과제의 존재를 감안하여 이루어진 것이며, 지석을 이용한 연삭 가공에 의해 마찰면 혹은 전주면 상에 발생한 상처를, 마찰면 혹은 전주면의 허용 치수 정밀도를 유지한 상태에서 무해화할 수 있는, 새로운 피닝 처리 기술의 제공을 목적으로 하는 것이다. 또한, 본 발명은 마찰면 혹은 전주면 상의 상처를 무해화할 뿐만 아니라, 피로 강도와 미끄럼 이동성을 향상시키고, 또한 장치 수명도 향상시킬 수 있다는, 종래 기술에서는 불가능했던 효과를 발휘할 수 있는 새로운 피닝 처리 기술의 제공도 목적으로 하는 것이다.
본 발명에 관한 운동 안내 장치의 제조 방법은 구름 이동체를 이용하는 운동 안내 장치의 구름 마찰면 및 미끄럼 마찰면 중 적어도 일부의 마찰면을, 지석을 이용한 연삭 가공에 의해 성형하는 연삭 가공 공정과, 상기 연삭 가공 공정에서 발생한 마찰면 상의 문제점을 무해화하기 위해, 상기 연삭 가공 공정에 의해 성형된 마찰면에 대해 피닝 처리를 실시하는 표면 처리 공정을 포함하는 처리를 실행하는 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명에 관한 다른 운동 안내 장치의 제조 방법은 구름 이동체 전주면을 구비하는 궤도 부재와, 상기 구름 이동체 전주면에 대향하는 부하 구름 이동체 전주면을 구비하는 이동 부재와, 상기 구름 이동체 전주면과 상기 부하 구름 이동체 전주면에 의해 구성되는 부하 전주로 내에 구름 이동 가능하게 설치되는 복수의 구름 이동체를 가짐으로써, 상기 이동 부재가 상기 궤도 부재의 축선 방향 또는 주위 방향으로 왕복 운동 가능 또는 회전 운동 가능해지는 운동 안내 장치의 제조 방법이며, 지석을 이용한 연삭 가공에 의해 상기 이동 부재에 상기 부하 구름 이동체 전주면을 성형하는 연삭 가공 공정과, 상기 이동 부재에 있어서의 적어도 상기 부하 구름 이동체 전주면을 포함하는 영역에 대해 피닝 처리를 행함으로써, 상기 연삭 가공 공정에서 발생한 상기 부하 구름 이동체 전주면 상의 문제점을 무해화하는 표면 처리 공정을 포함하는 처리를 실행하는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 관한 운동 안내 장치의 제조 방법에서는 상기 표면 처리 공정에 있어서 실시되는 피닝 처리에 의해, 상기 부하 구름 이동체 전주면의 표면 거칠기를 Ra로 0.4 ㎛ 이하로 할 수 있다.
또한, 본 발명에 관한 운동 안내 장치의 제조 방법에 있어서, 상기 피닝 처리는 미립자 피닝 처리인 것으로 할 수 있다.
또한, 본 발명에 관한 운동 안내 장치의 제조 방법에 있어서, 상기 표면 처리 공정에는 상기 피닝 처리 후에 실행되는 배럴 처리가 포함되는 것으로 할 수 있다.
상술한 방법을 이용하여 제조되는 본 발명에 관한 운동 안내 장치는 구름 이동체 전주면을 구비하는 궤도 부재와, 상기 구름 이동체 전주면에 대향하는 부하 구름 이동체 전주면을 구비하는 이동 부재와, 상기 구름 이동체 전주면과 상기 부하 구름 이동체 전주면에 의해 구성되는 부하 전주로 내에 구름 이동 가능하게 설치되는 복수의 구름 이동체를 가짐으로써, 상기 이동 부재가 상기 궤도 부재의 축선 방향 또는 주위 방향으로 왕복 운동 가능 또는 회전 운동 가능해지는 운동 안내 장치이며, 상기 구름 이동체 전주면 및 상기 부하 구름 이동체 전주면 중 적어도 일부의 전주면이, 피닝 처리를 받았고, 또한 표면 거칠기가 Ra로 0.4 ㎛ 이하인 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 발명의 개요는 본 발명의 필요한 특징의 전체를 열거한 것은 아니고, 이들 특징군의 서브 콤비네이션도 또한 발명이 될 수 있다.
본 발명에 따르면, 가령 지석을 이용한 연삭 가공에 의해 마찰면 혹은 전주면 상에 상처가 발생하였다고 해도, 처리 대상 부재의 허용 치수 정밀도에 영향을 미치지 않고 상처를 무해화하는 것이 가능한 새로운 피닝 처리 기술을 제공할 수 있다. 또한, 이러한 피닝 처리 기술에 따르면, 마찰면 혹은 전주면 상의 상처를 무해화할 뿐만 아니라, 피로 강도와 미끄럼 이동성을 향상시키고, 또한 장치 수명도 향상시킬 수 있다.
도1A는 본 발명에 관한 운동 안내 장치의 제조 방법에 의해 제조된 리니어 가이드 장치의 일 형태를 예시하는 외관 사시도이다.
도1B는 도1A에서 도시한 리니어 가이드 장치가 구비하는 무한 순환로를 설명하기 위한 단면도이다.
도2는 표1에서 나타낸 각 실험 조건으로 처리를 받은 리니어 가이드 장치의 주행 거리 시험의 결과를 나타내는 도면이다.
도3은 표1에서 나타낸 실험 조건마다의 미립자 피닝 처리 전후에 있어서의 표면 거칠기(Ra)를 나타내는 도면이다.
도4는 본 발명에 관한 운동 안내 장치의 제조 방법에 의해 제조된 스플라인 장치의 일 형태를 예시하는 외관 사시도이다.
도5A는 본 발명에 관한 운동 안내 장치를 회전 베어링 장치로서 구성한 경우의 일 형태를 예시하는 부분 종단 사시도이다.
도5B는 도5A에 도시하는 회전 베어링 장치의 종단면을 도시하는 도면이다.
[부호의 설명]
40 : 리니어 가이드 장치
41 : 궤도 레일
41a : 구름 이동체 전주면
42, 62 : 볼
43 : 이동 블록
43a : 부하 구름 이동체 전주면
52 : 부하 전주로
53 : 무부하 전주로
55 : 방향 전환로
60 : 스플라인 장치
61 : 스플라인 축
61a : 구름 이동체 전주면
63 : 외통
64 : 유지기
70 : 회전 베어링 장치
71 : 내륜
72 : 내측 궤도면
73 : 외륜
74 : 외측 궤도면
75 : 궤도로
77 : 롤러
이하, 본 발명을 실시하기 위한 적합한 실시 형태에 대해, 도면을 이용하여 설명한다. 또한, 이하의 실시 형태는 각 청구항에 관한 발명을 한정하는 것은 아니고, 또한 실시 형태 중에서 설명되어 있는 특징의 조합 전체가 발명의 해결 수단에 필수라고는 할 수 없다.
또한, 본 명세서에 있어서의 「운동 안내 장치」는, 예를 들어 공작 기계 등에 이용되는 구름 베어링 전반이나 진공 중에 사용되는 무윤활 베어링, 리니어 가이드나 직선 안내 장치, 볼 스플라인 장치, 볼 나사 장치, 롤러 나사 장치, 크로스 롤러 링 등과 같은 모든 구름 이동ㆍ미끄럼 이동 동작을 수반하는 장치를 포함하는 것이다.
본 실시 형태에 관한 운동 안내 장치의 제조 방법은, 도1A 및 도1B에 도시한 바와 같은 리니어 가이드 장치로서 구성되는 운동 안내 장치에 대해 적용하는 것이 가능하다. 여기서, 도1A는 본 발명에 관한 운동 안내 장치의 제조 방법에 의해 제조된 리니어 가이드 장치의 일 형태를 예시하는 외관 사시도이다. 또한, 도1B는 도1A에서 도시한 리니어 가이드 장치가 구비하는 무한 순환로를 설명하기 위한 단면도이다.
우선, 도1A 및 도1B에 예시하는 리니어 가이드 장치(40)의 구성에 대해 설명하면, 본 실시 형태에 관한 운동 안내 장치로서의 리니어 가이드 장치(40)는 궤도 부재로서의 궤도 레일(41)과, 궤도 레일(41)에 다수의 구름 이동체로서 설치되는 볼(42…)을 개재하여 슬라이드 가능하게 설치된 이동 부재로서의 이동 블록(43)을 구비하고 있다. 궤도 레일(41)은 그 길이 방향과 직교하는 단면이 개략 직사각 형 상으로 형성된 긴 부재이고, 그 표면(상면 및 양 측면)에는 볼이 구를 때의 궤도가 되는 구름 이동체 전주면(41a…)이 궤도 레일(41)의 전체 길이에 걸쳐서 형성되어 있다.
여기서, 궤도 레일(41)은 직선적으로 신장하도록 형성되는 경우도 있고, 곡선적으로 신장하도록 형성되는 경우도 있다. 또한, 구름 이동체 전주면(41a…)의 개수는 좌우에 2조씩 합계 4조 설치되어 있지만, 그 조 수는 리니어 가이드 장치(40)의 용도 등에 따라서 변경할 수 있다.
한편, 이동 블록(43)에는 구름 이동체 전주면(41a…)과 각각 대응하는 위치에 부하 구름 이동체 전주면(43a…)이 설치되어 있다. 궤도 레일(41)의 구름 이동체 전주면(41a…)과 이동 블록(43)의 부하 구름 이동체 전주면(43a…)에 의해 부하 전주로(52…)가 형성되고, 복수의 볼(42…)이 끼워져 있다. 또한, 이동 블록(43)에는 각 구름 이동체 전주면(41a…)과 평행하게 신장하는 4조의 무부하 전주로(53…)와, 각 무부하 전주로(53…)와 각 부하 전주로(52…)를 연결하는 방향 전환로(55…)가 형성되어 있다. 1개의 부하 전주로(52) 및 무부하 전주로(53)와, 이들을 연결하는 한 쌍의 방향 전환로(55)의 조합에 의해 1개의 무한 순환로가 구성된다(도1B 참조).
그리고, 복수의 볼(42…)이, 부하 전주로(52)와 무부하 전주로(53)와 한 쌍의 방향 전환로(55, 55)로 구성되는 무한 순환로에 무한 순환 가능하게 설치됨으로써, 이동 블록(43)이 궤도 레일(41)에 대해 상대적으로 왕복 운동 가능하게 되어 있다.
이상과 같은 구성을 구비하는 본 실시 형태에 관한 리니어 가이드 장치(40)에 있어서는, 그 특징적인 점으로서, 구름 이동체 전주면(41a…) 및 부하 구름 이동체 전주면(43a…) 중 적어도 일부의 전주면이, 미립자 피닝 처리를 받았고, 또한 그 미립자 피닝 처리를 받은 전주면의 표면 거칠기가 Ra로 0.4 ㎛ 이하인 것을 들 수 있다.
이 미립자 피닝 처리를 포함하는 본 실시 형태에 관한 리니어 가이드 장치(40)의 제조 방법에 대해 설명하면, 우선 지석을 이용한 연삭 가공에 의해 리니어 가이드 장치(40)를 구성하는 부재에 대해 구름 이동체가 접촉하는 마찰면이 성형된다(연삭 가공 공정). 또한, 이 마찰면은 도1A 및 도1B에 예시하는 리니어 가이드 장치(40)이면, 궤도 레일(41)에 있어서의 구름 이동체 전주면(41a…)이나 이동 블록(43)에 있어서의 부하 구름 이동체 전주면(43a…) 등의 전주면에 상당한다.
다음에, 연삭 가공 공정에서 성형된 마찰면에 대해 미립자 피닝 처리가 실시된다(표면 처리 공정). 이 미립자 피닝 처리를 행하는 장치에 대해서는, 종래의 숏 피닝이나 하드 숏 피닝 등에서 이용되고 있는 블라스터 장치를 이용하면 좋고, 궤도 레일(41)이나 이동 블록(43) 등의 부재에 대해, 입자 직경이 40 ㎛ 내지 80 ㎛ 정도인 매우 미세한 샷을 후술하는 본 발명 특유의 처리 조건으로 내리치게 된다. 또한, 미립자 피닝 처리가 실시되는 영역은 적어도 마찰면을 포함하고 있으면 좋고, 궤도 레일(41)이나 이동 블록(43) 전체에 대해 미립자 피닝 처리를 행해도 좋다. 이 미립자 피닝 처리의 실행은 연삭 가공 공정에서 발생할 우려가 있는 지립 맞물림 상처 등의 문제점을 무해화하는 역할을 완수하고 있다.
여기서, 미립자 피닝 처리가 마찰면 상에 발생한 지립 맞물림 상처 등의 문제점을 무해화하는 메커니즘에 대해서는, 40 ㎛ 내지 80 ㎛ 정도의 매우 미세한 샷의 격돌에 의해, (1) 상처의 유해부(볼록부)가 튀어나오고, (2) 샷의 격돌에 의해 순간적으로 열이 발생하여 상처 주변의 금속을 순간적으로 녹이고, 그 후의 급랭에 의해 상처가 소실되고, (3) 샷의 격돌에 의한 열에 의해 상처가 완전히 소실되지 않을 때까지도, 구름 이동체의 구름 이동ㆍ미끄럼 이동 운동에 영향이 없을 때까지 극소화하여 무해화하는 등이 고려된다.
또한, 본 실시 형태에 관한 미립자 피닝 처리는 40 ㎛ 내지 80 ㎛ 정도의 매우 미세한 샷을 이용하여 마찰면 상을 두들겨 펴는 것뿐이므로, 그 치수 변화는 수㎛ 오더이고, 구름 이동체 전주면(41a…)이나 부하 구름 이동체 전주면(43a…) 등의 전주면이 필요로 하는 허용 치수 정밀도를 충분히 만족시키는 것이 가능하다.
또한, 본 실시 형태에 관한 운동 안내 장치의 제조 방법에 있어서, 상술한 표면 처리 공정에는 미립자 피닝 처리 후에 실행되는 배럴 처리가 포함되는 것으로 하는 것도 가능하다. 즉, 미립자 피닝 처리는 구름 이동체 전주면(41a…)이나 부하 구름 이동체 전주면(43a…) 등의 전주면이 필요로 하는 허용 치수 정밀도를 충분히 만족시킨 상태에서 상처를 무해화할 수 있는 것이지만, 피닝 처리 후의 전주면은 연삭면보다도 표면 거칠기가 약간 저하되는 것은 피할 수 없다. 그래서, 미립자 피닝 처리가 행해진 전주면에 대해 배럴 처리를 행함으로써, 표면 거칠기의 개선을 행하는 것이 적합하다.
배럴 처리의 구체적인 내용으로서는, 예를 들어 알루미늄 가루나 마이카(운 모편), 임팩트 미디어(금속구, 지석 소편, 지립, 천연 및 인조의 돌덩어리, 석영, 모래, 가죽, 톱밥 등), 공작액 등이 들어간 배럴 용기에 처리 대상이 되는 궤도 레일(41)이나 이동 블록(43)을 넣어 진동시켜 교반하면 된다. 이러한 처리에 의해 미립자 피닝 처리를 받은 전주면 표면의 요철이 일부 제거되어 매끄러운 전주면을 얻을 수 있다. 또한, 배럴 용기에는 상술한 것 외에, 방청 작용, 연마 작용의 촉진을 위해 컴파운드를 가하는 것도 적합하다.
덧붙여서 말하면, 본 실시 형태에 관한 운동 안내 장치의 제조 방법에 있어서, 배럴 처리의 실시는 반드시 필수는 아니고, 제조 대상이 되는 운동 안내 장치의 사용 환경이나 제품 사양 등에 따라서 적절하게 채용ㆍ비채용을 결정하면 된다.
다음에, 본 실시 형태에 관한 미립자 피닝 처리의 구체적인 실시 조건을 설명한다. 즉, 본 발명자들은 종래부터 알려져 있는 숏 피닝이나 하드 숏 피닝 등의 종래의 피닝 처리를 개량하고, 종래에는 불가능했던 허용 치수 정밀도를 유지하면서 마찰면 상에 발생한 상처 등의 문제점을 무해화하는 새로운 피닝 처리의 처리 조건을 발견한 것이다.
표1은 발명자들이 행한 미립자 피닝 처리의 실험 조건을 나타내는 표이다. 종래의 숏 피닝이나 하드 숏 피닝이 채용하는 샷 입자 직경 약 800 ㎛에 대해 40 ㎛ 내지 80 ㎛ 정도의 매우 미세한 샷을 채용하고 있고, 상처를 적절하게 무해화하기 위한 처리가 행해지고 있다.
[표1] 실험 조건
Figure 112008006262873-PCT00001
표2는 표1에서 나타낸 실험 조건마다의 결과를 나타내고 있다. 또한, 도2는 표1에서 나타낸 각 실험 조건으로 처리를 받은 리니어 가이드 장치(40)의 주행 거 리 시험의 결과를 나타내는 도면이다. 표2로부터도 명백한 바와 같이, 입도# 400의 비즈를 15초간 내리친(비교 1) 것 이외에는 연삭 상처를 무해화할 수 있었다. 또한, 특히 도2에서 도시한 바와 같이 본 실시 형태에 관한 미립자 피닝 처리가 실시된 리니어 가이드 장치(40)는 모두 계산 수명인 400 ㎞를 대폭으로 초과하는 주행 거리를 달성하였다. 특히, (발명 1)의 조건으로 행한 미립자 피닝 처리에서는 계산 수명 400 ㎞의 2배 이상의 882 ㎞라는 주행 거리를 실현할 수 있었다. 이는, 본 실시 형태에 관한 미립자 피닝 처리가, 상처 등의 문제점을 무해화할 뿐만 아니라, 피로 강도와 미끄럼 이동성을 향상시키고, 또한 장치 수명도 개선하는 것이 가능하다는, 종래 기술에서는 실현 불가능했던 효과를 발휘하는 것을 나타내고 있다. 또한, 미립자 피닝 처리가 미처리이고 상처가 잔존한 상태의 리니어 가이드 장치와, 본 실시 형태에 관한 미립자 피닝 처리를 받은 리니어 가이드 장치와의 주행 거리의 차가 분명한 것은 물론이다.
[표2] 실험 조건마다의 결과
Figure 112008006262873-PCT00002
또한, 도3은 표1에서 나타낸 실험 조건마다의 미립자 피닝 처리 전후에 있어서의 표면 거칠기(Ra)를 나타내는 도면이지만, 상처를 제거할 수 없었던 (비교 1)의 실험 조건 이외에는 표면 거칠기가 약간 악화되어 있는 것을 알 수 있다. 이는, 상처 등의 문제점을 무해화하기 위해서는 약간의 표면 거칠기를 희생으로 해야만 하지만, 구름 이동ㆍ미끄럼 이동 동작을 수반하는 운동 안내 장치에 있어서 일반적으로 필요하게 되어 있는 표면 거칠기가 Ra로 0.4 ㎛ 이하인 값을 달성하는 조건(배럴 처리의 실시를 포함함)을 채용하면, 본 발명에 관한 미립자 피닝 처리가 보다 큰 문제점의 무해화도 가능한 것을 나타내고 있다.
이상, 본 발명의 적합한 실시 형태에 대해 설명하였지만, 본 발명의 기술적 범위는 상기 실시 형태에 기재된 범위로는 한정되지 않는다. 상기 실시 형태에는 다양한 변경 또는 개량을 가하는 것이 가능하다. 즉, 본 발명에 관한 운동 안내 장치의 제조 방법의 표면 처리 공정에 있어서 실시되는 처리 조건은 표1에 나타내는 발명 조건만으로 한정되는 것이 아니라, 상처 등의 문제점을 무해화할 수 있고, 또한 표면 거칠기가 Ra로 0.4 ㎛ 이하인 값을 달성할 수 있는 조건이면, 처리 대상이 되는 금속 재료나 운동 안내 장치에 요구되는 성능 등에 따라서 적절하게 적합한 조건을 채용할 수 있다.
또한, 본 실시 형태에서는 본 발명에 관한 운동 안내 장치가 리니어 가이드 장치(40)로서 구성되는 경우를 예시하여 설명하였지만, 예를 들어, 도4에 도시된 바와 같은 스플라인 장치(60)에 대해서도 본 발명에 관한 운동 안내 장치의 제조 방법을 적용하는 것이 가능하다.
여기서, 도4에 도시되는 스플라인 장치(60)의 구성을 간단하게 설명하면, 스플라인 장치(60)는 궤도 부재로서의 스플라인 축(61)과, 그 스플라인 축(61)에 다수의 구름 이동체로서의 볼(62…)을 개재하여 이동 가능하게 설치된 이동 부재로서의 원통 형상의 외통(63)을 갖고 있다. 스플라인 축(61)의 표면에는, 볼(62)의 궤도가 되고, 스플라인 축(21)의 축선 방향으로 연장되는 구름 이동체 전주면(61a…)이 형성되어 있다. 스플라인 축(61)에 설치되는 외통(63)에는 구름 이동체 전주면(61a)에 대응하는 부하 구름 이동체 전주면이 형성된다. 이들 부하 구름 이동체 전주면에는 구름 이동체 전주면(61a…)이 신장하는 방향으로 신장하는 복수개의 돌 기가 형성되어 있다. 외통(63)에 형성한 부하 구름 이동체 전주면과 스플라인 축(61)에 형성한 구름 이동체 전주면(61a) 사이에서 부하 전주로가 형성된다. 부하 전주로의 이웃에는 하중으로부터 해방된 볼(62…)이 이동하는 무부하 복귀 통로가 형성되어 있다. 외통(63)에는 복수의 볼(62…)을 서킷 형상으로 정렬ㆍ유지하는 유지기(64)가 조립되어 있다. 그리고, 복수의 볼(62…)이 외통(63)의 부하 구름 이동체 전주면과 스플라인 축(61)의 구름 이동체 전주면(61a) 사이에 구름 이동 가능하게 설치되고, 무부하 복귀 통로를 개재하여 무한 순환하도록 설치됨으로써, 외통(63)이 스플라인 축(61)에 대해 상대적으로 왕복 운동 가능하게 되어 있다.
이와 같은 스플라인 장치(60)를 구성하는 부재 중, 구름 이동체 전주면(61a…)과 부하 구름 이동체 전주면 중 적어도 한쪽에 대해, 본 발명에 관한 피닝 처리를 실시하는 것이 가능하다. 스플라인 장치(60)를 본 발명에 관한 운동 안내 장치의 제조 방법에 의해 제조함으로써, 상처가 없는 구름 이동체 전주면(61a…) 및 부하 구름 이동체 전주면이 실현되고, 또한 피로 강도와 미끄럼 이동성, 장치 수명이 향상된 스플라인 장치(60)를 얻을 수 있다.
또한, 본 발명에 관한 운동 안내 장치의 제조 방법에 의해 제조되는 운동 안내 장치는, 도5A 및 도5B에 도시한 바와 같은 회전 베어링 장치로서 구성하는 것이 가능하다. 여기서, 도5A는 본 발명에 관한 운동 안내 장치를 회전 베어링 장치로서 구성한 경우의 일 형태를 예시하는 부분 종단 사시도이다. 또한, 도5B는 도5A에 도시하는 회전 베어링 장치의 종단면을 도시하는 도면이다.
도5A 및 도5B에 도시한 바와 같이, 회전 베어링 장치(70)로서 구성되는 운동 안내 장치는 외주면에 단면 V자 형상의 내측 궤도면(72)을 갖는(궤도 부재 또는 이동 부재로서의) 내륜(71)과, 내주면에 단면 V자 형상의 외측 궤도면(74)을 갖는(이동 부재 또는 궤도 부재로서의) 외륜(73)과, 내측 궤도면(72)과 외측 궤도면(74)에 의해 형성되는 단면 대략 직사각 형상의 궤도로(75) 사이에 구름 이동 가능하게 교차 배열되는 복수의 구름 이동체로서의 롤러(77…)를 가짐으로써, 내륜(71) 및 외륜(73)이 주위 방향으로 상대적인 회전 운동을 행하는 것이다.
이와 같은 회전 베어링 장치(70)를 구성하는 부재 중, 적어도 내측 궤도면(72) 및 외측 궤도면(74) 중 어느 한쪽에 대해, 본 발명에 관한 피닝 처리를 실시하는 것이 가능하다. 회전 베어링 장치(70)를 본 발명에 관한 운동 안내 장치의 제조 방법에 의해 제조함으로써, 상처가 없는 내측 궤도면(72) 및 외측 궤도면(74)이 실현되고, 또한 피로 강도와 미끄럼 이동성, 장치 수명이 향상된 회전 베어링 장치(70)를 얻을 수 있다.
또한, 본 발명은 상술한 리니어 가이드 장치, 스플라인 장치, 회전 베어링 장치뿐만 아니라, 직선 안내 장치나 구름 베어링 등의 모든 운동 안내 장치에 적용하는 것이 가능하다. 그와 같은 변경 또는 개량을 가한 형태도 본 발명의 기술적 범위에 포함될 수 있는 것이, 특허청구의 범위의 기재로부터 명백하다.

Claims (6)

  1. 구름 이동체를 이용하는 운동 안내 장치의 구름 마찰면 및 미끄럼 마찰면 중 적어도 일부의 마찰면을, 지석을 이용한 연삭 가공에 의해 성형하는 연삭 가공 공정과,
    상기 연삭 가공 공정에서 발생한 마찰면 상의 문제점을 무해화하기 위해, 상기 연삭 가공 공정에 의해 성형된 마찰면에 대해 피닝 처리를 실시하는 표면 처리 공정을 포함하는 처리를 실행하는 것을 특징으로 하는 운동 안내 장치의 제조 방법.
  2. 구름 이동체 전주면을 구비하는 궤도 부재와,
    상기 구름 이동체 전주면에 대향하는 부하 구름 이동체 전주면을 구비하는 이동 부재와,
    상기 구름 이동체 전주면과 상기 부하 구름 이동체 전주면에 의해 구성되는 부하 전주로 내에 구름 이동 가능하게 설치되는 복수의 구름 이동체를 가짐으로써, 상기 이동 부재가 상기 궤도 부재의 축선 방향 또는 주위 방향으로 왕복 운동 가능 또는 회전 운동 가능해지는 운동 안내 장치의 제조 방법이며,
    지석을 이용한 연삭 가공에 의해 상기 이동 부재에 상기 부하 구름 이동체 전주면을 성형하는 연삭 가공 공정과,
    상기 이동 부재에 있어서의 적어도 상기 부하 구름 이동체 전주면을 포함하 는 영역에 대해 피닝 처리를 실시함으로써, 상기 연삭 가공 공정에서 발생한 상기 부하 구름 이동체 전주면 상의 문제점을 무해화하는 표면 처리 공정을 포함하는 처리를 실행하는 것을 특징으로 하는 운동 안내 장치의 제조 방법.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 표면 처리 공정에 있어서 실시되는 피닝 처리에 의해 상기 부하 구름 이동체 전주면의 표면 거칠기가 Ra로 0.4 ㎛ 이하로 되는 것을 특징으로 하는 운동 안내 장치의 제조 방법.
  4. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 피닝 처리는 미립자 피닝 처리인 것을 특징으로 하는 운동 안내 장치의 제조 방법.
  5. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 표면 처리 공정에는 상기 피닝 처리 후에 실행되는 배럴 처리가 포함되는 것을 특징으로 하는 운동 안내 장치의 제조 방법.
  6. 구름 이동체 전주면을 구비하는 궤도 부재와,
    상기 구름 이동체 전주면에 대향하는 부하 구름 이동체 전주면을 구비하는 이동 부재와,
    상기 구름 이동체 전주면과 상기 부하 구름 이동체 전주면에 의해 구성되는 부하 전주로 내에 구름 이동 가능하게 설치되는 복수의 구름 이동체를 가짐으로써, 상기 이동 부재가 상기 궤도 부재의 축선 방향 또는 주위 방향으로 왕복 운동 가능 또는 회전 운동 가능해지는 운동 안내 장치이며,
    상기 구름 이동체 전주면 및 상기 부하 구름 이동체 전주면 중 적어도 일부의 전주면이, 피닝 처리를 받았고, 또한 표면 거칠기가 Ra로 0.4 ㎛ 이하인 것을 특징으로 하는 운동 안내 장치.
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Families Citing this family (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWM437400U (en) * 2011-12-30 2012-09-11 Kuo-Le Tsao Roller type linear slider
JP5962977B2 (ja) * 2012-07-09 2016-08-03 株式会社ジェイテクト ラック軸支持装置およびこれを用いたステアリング装置
CN102922430A (zh) * 2012-11-18 2013-02-13 田欣利 利用弹性覆层喷丸提高工程陶瓷磨削断裂强度的方法
JP5713074B2 (ja) 2013-09-27 2015-05-07 千住金属工業株式会社 摺動部材
JP2015105742A (ja) * 2013-12-02 2015-06-08 日本精工株式会社 直動案内装置及びその製造方法
JP6211669B2 (ja) * 2015-11-30 2017-10-11 Thk株式会社 運動案内装置およびアクチュエータ
CN110194255B (zh) * 2019-05-21 2020-12-08 哈尔滨工程大学 一种auv在输水隧洞内运动的光学引导方法

Family Cites Families (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3073022A (en) * 1959-04-03 1963-01-15 Gen Motors Corp Shot-peening treatments
US3638464A (en) * 1968-07-22 1972-02-01 Minnesota Mining & Mfg Shot peening
US4581913A (en) * 1983-07-27 1986-04-15 Luster Finish, Inc. Method for improving the release and finish characteristics of metal stamping dies
JP3886170B2 (ja) * 1995-03-02 2007-02-28 株式会社ジェイテクト 転がり部品
DE69614366T2 (de) * 1995-11-21 2002-05-23 Koyo Seiko Co Mechanisches teil
US6346788B1 (en) * 1997-02-05 2002-02-12 Smc Kabushiki Kaisha Actuator and apparatus for controlling the same
JP2000088071A (ja) * 1998-09-18 2000-03-28 Smc Corp 電動アクチュエータ
JP2000205275A (ja) * 1999-01-19 2000-07-25 Nsk Ltd 転がり摺動部品
JP2001193743A (ja) * 1999-11-02 2001-07-17 Nsk Ltd 転がり軸受
JP2003118309A (ja) * 2001-10-15 2003-04-23 Nsk Ltd 駆動車軸用ハブユニット軸受
JP2004003595A (ja) * 2001-11-15 2004-01-08 Nippon Parkerizing Co Ltd 自動車パワートレイン用転がり軸受
JP2003184883A (ja) * 2001-12-20 2003-07-03 Nissan Motor Co Ltd 軸受摺動部材
EP1353092B1 (en) * 2002-04-11 2009-06-17 NSK Ltd., Linear motion device
JP2004011793A (ja) * 2002-06-07 2004-01-15 Okuma Corp 直動ガイド
JP3990254B2 (ja) * 2002-10-17 2007-10-10 Ｎｔｎ株式会社 総ころタイプの転がり軸受
JP2005054900A (ja) * 2003-08-05 2005-03-03 Doshisha 転がり直動装置
JP2005147352A (ja) * 2003-11-19 2005-06-09 Nsk Ltd 転がり軸受
JP2005195150A (ja) * 2004-01-09 2005-07-21 Koyo Seiko Co Ltd 転動装置

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