KR20080030209A - 프로브 유니트 조립체 및 이를 이용한 평판 표시 장치의검사 방법 - Google Patents
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Abstract
본 발명의 일 실시예에 따른 프로브 유니트 조립체는 홈을 가지는 배열틀, 상기 배열틀의 홈에 설치되며 평판 표시 소자의 패드부와 접촉하는 접촉핀을 가지는 복수개의 도전판, 배열틀 및 도전판을 덮는 결합체를 포함하는 프로브 유니트, 그리고 결합체에 부착되는 쇼팅 몸체, 쇼팅 몸체 아래에 부착되며, 패드부와 접촉하는 쇼팅 패드를 포함하는 쇼팅바를 포함하는 것이 바람직하다. 따라서, 본 발명에 따른 프로브 유니트 조립체 및 이를 이용한 평판 표시 장치의 검사 방법은 쇼팅바를 이용하여 평판 표시 장치의 손상 유무만을 먼저 판단한 후, 프로브 유니트를 이용하여 검사 공정을 진행하므로 미리 평판 표시 장치의 손상 유무를 판단 할 수 있어 검사 공정을 신속하게 정확하게 진행할 수 있다.
프로브유니트, 쇼팅바, 조립체, 액정표시장치, 프로브, 접촉핀
Description
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 프로브 유니트 조립체를 포함하는 프로브 장치로 액정 표시 장치의 패드부를 검사하는 상태를 나타낸 사시도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 프로브 유니트의 저면도이다.
도 3은 도 2의 프로브 유니트를 III-III선을 따라 잘라 도시한 단면도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 쇼팅바의 저면도이다.
도 5는 도 4의 쇼팅바를 IV-IV선을 따라 잘라 도시한 단면도이다.
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 프로브 유니트 및 쇼팅바가 결합된 프로브 유니트 조립체의 저면도이다.
도 7은 도 6의 프로브 유니트 조립체를 VI-VI선을 따라 잘라 도시한 단면도이다.
도 8 및 도 10은 본 발명의 일 실시예에 따른 프로브 유니트 조립체를 이용하여 검사 공정을 수행하는 상태를 순서대로 도시한 도면이다.
도 9는 쇼팅 패드가 패드부에 접촉된 상태를 상세히 도시한 정면도이다.
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>
10: 평판 표시 장치 12: 패드부
14: 지지대 130: 프로브 유니트
131: 배열틀 132: 도전판
133: 접촉핀 140: 결합체
150: 쇼팅바 151: 쇼팅 패드
152: 쇼팅 몸체 153: 실리콘 고무
154: 도전성 물질
본 발명은 프로브 유니트 조립체 및 이를 이용한 평판 표시 장치의 검사 방법에 관한 것으로서, 평판 표시 장치의 이상 유무를 전기적으로 검사하는 프로브 유니트 조립체 및 이를 이용한 평판 표시 장치의 검사 방법에 관한 것이다.
일반적으로 액정 표시 장치 등의 평판 표시 장치는 그 제조 과정 중 또는 제조 완료 후에 부분적 또는 전체적인 전기적 검사를 거쳐 양품과 불량품을 선별하게 된다. 이러한 전기적 검사 과정에는 외부로부터 각종 전기적 신호를 전달하고 평판 표시 장치의 응답 신호를 검출하여 분석하는 검사 장치가 사용되며, 이러한 검사 장치와 평판 표시 장치의 패드부를 전기적으로 연결시키기 위해서는 프로브(probe)와 같은 접촉핀이 형성된 프로브 유니트 조립체가 사용된다.
즉, 프로브 유니트 조립체는 평판 표시 장치의 신호선 패드부에 접촉한 후 검사 신호를 인가하여 평판 표시 장치의 화면 점등 상태 및 컬러 구현 상태에서 불량 여부를 검사한다.
최근의 고집적 추세에 따라 평판 표시 장치의 패드부의 간격이 대략 50㎛이내로 좁아지고 있으므로 패드부와 접촉해야 하는 접촉핀의 두께가 얇아져서 접촉핀의 강도가 약해지게 된다. 이에 따라 장시간 또는 수백 회 검사 공정을 진행하는 경우 접촉핀이 부러지거나 손상될 위험이 높아진다.
이와 같이 손상된 접촉핀을 이용하여 검사 공정을 진행하는 경우, 평판 표시 장치의 불량 판정이 나오더라도 평판 표시 장치 자체가 불량인지, 프로브 유니트 조립체의 접촉핀이 불량인지 판별하기 어렵게 된다.
본 발명의 기술적 과제는 평판 표시 장치의 불량 여부를 미리 판단하여 검사 속도 및 불량 검출 능력을 향상 시킨 프로브 유니트 조립체 및 이를 이용한 평판 표시 장치의 검사 방법을 제공하는 것이다.
본 발명의 일 실시예에 따른 프로브 유니트 조립체는 홈을 가지는 배열틀, 상기 배열틀의 홈에 설치되며 평판 표시 소자의 패드부와 접촉하는 접촉핀을 가지는 복수개의 도전판, 상기 배열틀 및 도전판을 덮는 결합체를 포함하는 프로브 유니트, 그리고 상기 결합체에 부착되는 쇼팅 몸체, 상기 쇼팅 몸체 아래에 부착되며, 상기 패드부와 접촉하는 쇼팅 패드를 포함하는 쇼팅바를 포함하는 것이 바람직하다.
또한, 상기 결합체에는 나사홈이 형성되어 있는 것이 바람직하다.
또한, 상기 쇼팅바에는 상기 나사홈과 대응되는 위치에 나사공이 형성되어 있는 것이 바람직하다.
또한, 상기 프로브 유니트와 쇼팅바는 상기 나사홈과 나사공을 관통하는 나사에 의하여 결합되는 것이 바람직하다.
또한, 상기 쇼팅 패드는 실리콘 고무에 도전성 물질이 혼재되어 있는 구조인 것이 바람직하다.
또한, 상기 도전성 물질은 철, 니켈, 코발트, 구리 또는 상기 물질을 피복한 수지 입자 중에서 선택된 어느 하나인 것이 바람직하다.
또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 프로브 유니트 조립체를 이용한 평판 표시 장치의 검사 방법은 접촉체를 가지는 프로브 유니트 및 쇼팅 패드를 가지는 쇼팅바로 이루어진 프로브 유니트 조립체를 이동하여 상기 쇼팅 패드를 평판 표시 장치의 패드부에 접촉시키는 단계, 상기 쇼팅 패드를 통해 상기 패드부에 신호를 공급하여 상기 평판 표시 장치의 손상 유무를 판별하는 단계, 상기 프로브 유니트 조립체를 이동하여 상기 접촉핀을 상기 패드부에 접촉시키는 단계, 그리고 상기 접촉핀을 통해 상기 패드부에 신호를 공급하여 상기 평판 표시 장치의 색 구현 상태를 검사하는 단계를 포함하는 것이 바람직하다.
또한, 누름 수단을 이용하여 상기 쇼팅 패드를 가압하여 상기 패드부에 접촉시키는 것이 바람직하다.
그러면, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 본 발명의 실시예에 대하여 첨부한 도면을 참고로 하여 상세히 설명한다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다.
이제 본 발명의 실시예에 따른 프로브 유니트 조립체 및 이를 이용한 평판 표시 장치의 검사 방법에 대하여 도면을 참고로 하여 상세하게 설명한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 프로브 유니트 조립체를 포함하는 프로브 장치로 액정 표시 장치의 패드부를 검사하는 상태를 나타낸 사시도이다.
도 1에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 프로브 장치는 프로브 블록(20), 프로브 블록(20)의 하단에 장착되어 검사를 수행하는 프로브 유니트 조립체(30)를 포함한다. 프로브 유니트 조립체(30)는 프로브 유티트(130)과 쇼팅바(150)를 포함하며, 프로브 유니트(130)의 끝부분에는 접촉핀(133)이 설치되어 있다.
접촉핀(133)을 지지대(14) 위에 탑재되어 있는 평판 표시 장치(10)의 패드부(12)에 접촉시켜 검사 신호를 인가함으로써 평판 표시 장치(10)의 화면 점등 상태 및 색구현 상태를 검사한다.
이하에서, 프로브 유니트 조립체(30)에 대하여 상세히 설명한다.
도 2에는 본 발명의 일 실시예에 따른 프로브 유니트의 저면도가 도시되어 있고, 도 3에는 도 2의 프로브 유니트를 III-III선을 따라 잘라 도시한 단면도가 도시되어 있다.
도 2 및 도 3에 도시한 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 프로브 유니트 조립체(30)를 이루는 프로브 유니트(130)는 배열틀(131), 배열틀(131) 내부에 설치되어 있는 복수개의 도전판(132) 및 도전판(132) 아래에 설치되어 도전판(132)을 덮는 결합체(140)를 포함한다.
배열틀(131)은 전체적으로 박스형상을 이루고 있으며, 내부에 넓은 홈을 가지고 있다. 배열틀(131)에는 2개의 관통봉(135)이 형성되어 있으며, 관통봉(135)은 배열틀(131)의 양측벽에 고정되어 있다.
배열틀(131)의 넓은 홈에는 복수개의 도전판(132)이 패드부(12)의 간격에 맞춰 50㎛ 정도의 미소 피치 간격을 유지하며 평행하게 배열되어 있다. 도전판(132)의 길이 방향이 관통봉(135)의 길이 방향과 수직한 방향이 되도록 도전판(132)은 배치되고, 관통봉(135)은 복수개의 도전판(132)을 모두 관통하여 도전판(132)을 배열틀(131)에 고정시킨다. 도전판(132) 간의 간격 사이에는 실리콘 패드(도시하지 않음) 등이 삽입되어 있다.
도전판(132)의 한쪽 끝부분에는 평판 표시 장치(10)의 패드부(12)와 접촉하는 접촉핀(133)이 형성되어 있고, 도전판(132)의 다른 쪽 끝부분에는 검사 장치(도시하지 않음)에 연결되는 연결핀(134)이 형성되어 있다.
결합체(140)는 복수개의 도전판(132)을 덮을 수 있도록 소정의 두께를 가진 강판으로 이루어지며, 결합체(140)의 중앙에는 3개의 나사홈(141)이 형성되어 있다. 그리고, 결합체(140)의 가장 자리부에는 3개의 가이드핀(142)이 형성되어 있다. 결합체(140)는 도전판(132)의 거의 대부분을 덮고 있으나, 접촉핀(133)이 형성된 부위는 덮고 있지 않다. 이는 접촉핀(133)이 외부로 돌출되어 패드부(12)에 닿을 수 있도록 하기 위함이다.
도 4에는 본 발명의 일 실시예에 따른 쇼팅바의 저면도가 도시되어 있고, 도 5에는 도 4의 쇼팅바를 IV-IV선을 따라 잘라 도시한 단면도가 도시되어 있다.
도 4 및 도 5에 도시한 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 프로브 유니트 조립체(30)를 이루는 쇼팅바(150)는 쇼팅 몸체(152) 및 쇼팅 몸체(152) 아래에 부착되어 있는 쇼팅 패드(151)를 포함한다.
쇼팅 몸체(152)는 그 위 부분이 결합체(140)에 부착되는 금속제 지지판이며,쇼팅 몸체(152)에는 배열틀(131)의 나사홈(141)에 대응되는 위치에 나사공(155)이 형성되어 있고, 가이드 핀(142)에 대응되는 위치에 가이드 홈(156)이 형성되어 있다. 가이드 핀(142) 및 가이드 홈(156)은 프로브 유니트(130)가 쇼팅바(150)와 정밀하게 결합할 수 있도록 한다.
쇼팅 패드(151)는 복수개의 패드부(12)와 전체적으로 접촉하여 패드부(12)를 단락시키는 역할을 한다. 쇼팅 패드(151)는 대부분 실리콘 고무(153)로 이루어지며, 여기에 도전성 물질(154)이 혼합되어 있다. 이러한 도전성 물질(154)은 철, 니켈, 코발트, 구리 또는 이러한 금속을 피복한 수지 입자 중에서 선택된 어느 하나일 수 있다.
상기에서 설명한 프로브 유니트(130) 및 쇼팅바(150)를 결합시켜 프로브 유니트 조립체를 완성하며, 도 6 및 도 7에는 프로브 유니트 조립체가 도시되어 있다.
도 6에는 본 발명의 일 실시예에 따른 프로브 유니트 및 쇼팅바가 결합된 프로브 유니트 조립체의 저면도가 도시되어 있고, 도 7에는 도 6의 프로브 유니트 조 립체를 VI-VI선을 따라 잘라 도시한 단면도가 도시되어 있다.
도 6 및 도 7에 도시한 바와 같이, 가이드핀(142) 및 나사(157)에 의해 프로브 유니트(130) 및 쇼팅바(150)는 서로 고정 결합되어 있다.
쇼팅 몸체(152)의 가이드홈(156) 내부에 결합체(140)의 가이드핀(142)이 삽입되어 있으며, 쇼팅 몸체(152)의 나사공(155)과 결합체(140)의 나사홈에는 나사(157)가 삽입되어 쇼팅 몸체(152)와 결합체(140)가 나사결합되어 있다.
도 6의 프로브 유니트(130) 및 쇼팅바(150)가 결합된 구조는 게이트 및 데이터 패드부(12)가 모두 존재하는 평판 표시 장치(10)에 대한 프로브 유니트 조립체(30)의 결합 구조를 나타낸다. 이는 쇼팅바(150)의 쇼팅 패드(151)와 패드부(12)간의 접촉 공정 및 프로브 유니트(130)의 접촉핀(133)과 패드부(12)간의 접촉 공정을 위해 수평 이동 시 프로브 유니트 조립체(30)와 검사 장치(도시하지 않음)간의 간섭을 제거하기 위한 구조이다.
한편, 게이트 패드 또는 데이터 패드가 하나만 존재하는 평판 표시 장치에서는 검사 장치(도시하지 않음)가 X축 또는 Y축 중 어느 한 축 방향으로 수평 이동하면 되므로 프로브 유니트(130)와 쇼팅바(150)간의 결합 구조는 변경될 수 있다.
도 8 및 도 10에는 본 발명의 일 실시예에 따른 프로브 유니트 조립체를 이용하여 검사 공정을 수행하는 상태를 순서대로 도시하였다.
우선, 도 8에 도시한 바와 같이, 프로브 유니트(130) 및 쇼팅바(150)로 이루어진 프로브 유니트 조립체(30)는 소정 거리만큼 수평 및 수직 이동하여 쇼팅 패드(151)를 평판 표시 장치(10)의 패드부(12)에 접촉시킨다. 따라서, 쇼팅 패 드(150)를 복수개의 패드부(12)와 전체적으로 접촉시켜 패드부(12)를 단락시키고 신호를 공급함으로써 평판 표시 장치(10)의 손상 유무를 판별한다.
도 9에는 쇼팅 패드가 패드부에 접촉된 상태를 상세히 도시하였다.
도 9에 도시한 바와 같이, 쇼팅 패드(151)를 패드부(12)에 접촉시키는 경우 누름 수단(도시하지 않음)을 이용하여 쇼팅 패드(151)를 가압하여 패드부(12)에 일정한 압력을 균등하게 전달한다. 누름 수단에 의한 압력은 평판 표시 장치의 구조 및 패드부 수에 따라 상이하나 2 내지 5kgf 인 것이 바람직하다.
이 때, 쇼팅 패드(151)는 탄력성 있는 실리콘 고무(153)로 이루어지므로 패드부(12)의 높이에 차이가 있는 경우에도 접촉되지 않은 패드부(12) 없이 모든 패드부(12)가 접촉이 된다. 따라서, 패드부(12)마다 균일한 신호가 인가될 수 있다.
다음으로, 도 10에 도시한 바와 같이, 소정 거리만큼 수평 및 수직 이동하여 프로브 유니트(130)의 접촉핀(133)을 패드부(12)에 접촉시킴으로써 평판 표시 장치(10)의 색 구현 상태를 검사하는 전체 테스트(full contact test) 또는 그로스 테스트(gross test) 등의 검사 공정을 진행한다.
이와 같이, 우선 쇼팅바(150)를 이용하여 평판 표시 장치(10)의 손상 유무만을 먼저 판단한 후, 이상이 없는 것으로 판단되면 프로브 유니트를 이용하여 검사 공정을 진행하여 색 구현 상태 및 전체적인 정밀 검사를 수행한다.
불량 접촉핀(133)으로 인해 평판 표시 장치(10)에 신호가 인가되지 않는 경우에도 쇼팅 패드(151)를 이용하여 평판 표시 장치(10)에 불량이 없음을 검사한 후, 접촉핀(133)으로 검사 공정을 진행하므로 접촉핀(133)의 불량에 의하여 신호가 인가되지 않아 색 구현이 되지 않더라도 평판 표시 장치(10)의 불량이 아닌 것으로 판단할 수 있다. 따라서, 접촉핀(133)을 교체한 후 다시 검사 공정을 진행하게 되므로 완벽하게 모든 불량을 검출할 수 있다.
한편, 상기의 접촉핀(133) 및 쇼팅 패드(151)를 이용한 검사 방법은 평판 표시 장치의 구조 및 검사 환경에 따라 순서가 변경될 수 있으며, 두 가지 검사 방법 중 한 가지만을 선택하여 검사할 수도 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 프로브 유니트 조립체 및 이를 이용한 평판 표시 장치의 검사 방법은 액정 표시 장치 등의 평판 표시 장치에만 한정되는 것은 아니며, 각종 소자의 불량 유무 검사를 위하여 사용될 수도 있다.
본 발명에 따른 프로브 유니트 조립체 및 이를 이용한 평판 표시 장치의 검사 방법은 쇼팅바를 이용하여 평판 표시 장치의 손상 유무만을 먼저 판단한 후, 프로브 유니트를 이용하여 검사 공정을 진행하므로 미리 평판 표시 장치의 손상 유무를 판단 할 수 있어 검사 공정을 신속하게 정확하게 진행할 수 있다.
또한, 종래의 프로브 유니트에 쇼팅바를 결합하여 제조하므로 별도의 비용이 발생하지 않는다.
또한, 쇼팅바와 프로브 유니트를 결합한 상태로 검사 공정을 진행하므로, 간편하게 소정의 위치 이동만으로 2개의 검사 공정을 수행할 수 있다.
또한, 쇼팅 패드는 실리콘 고무에 전도성 물질이 혼재되어 있으므로, 쇼팅 패드의 높이가 일정하지 않은 경우에도 모든 쇼팅 패드에 균일한 검사 신호가 인가 될 수 있게 하여 검사 능력을 향상시킨다.
이상에서 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 상세하게 설명하였지만, 당해 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 수 있을 것이다. 따라서, 본 발명의 권리 범위는 이에 한정되는 것은 아니고 다음의 청구범위에서 정의하고 있는 본 발명의 기본 개념을 이용한 당업자의 여러 변형 및 개량 형태 또한 본 발명의 권리범위에 속하는 것이다.
Claims (8)
- 홈을 가지는 배열틀, 상기 배열틀의 홈에 설치되며 평판 표시 소자의 패드부와 접촉하는 접촉핀을 가지는 복수개의 도전판, 상기 배열틀 및 도전판을 덮는 결합체를 포함하는 프로브 유니트, 그리고상기 결합체에 부착되는 쇼팅 몸체, 상기 쇼팅 몸체 아래에 부착되며, 상기 패드부와 접촉하는 쇼팅 패드를 포함하는 쇼팅바를 포함하는 프로브 유니트 조립체.
- 제1항에서,상기 결합체에는 나사홈이 형성되어 있는 프로브 유니트 조립체.
- 제2항에서,상기 쇼팅바에는 상기 나사홈과 대응되는 위치에 나사공이 형성되어 있는 프로브 유니트 조립체.
- 제3항에서,상기 프로브 유니트와 쇼팅바는 상기 나사홈과 나사공을 관통하는 나사에 의하여 결합되는 프로브 유니트 조립체.
- 제1항에서,상기 쇼팅 패드는 실리콘 고무에 도전성 물질이 혼재되어 있는 구조인 프로브 유니트 조립체.
- 제5항에서,상기 도전성 물질은 철, 니켈, 코발트, 구리 또는 상기 물질을 피복한 수지 입자 중에서 선택된 어느 하나인 프로브 유니트 조립체.
- 접촉체를 가지는 프로브 유니트 및 쇼팅 패드를 가지는 쇼팅바로 이루어진 프로브 유니트 조립체를 이동하여 상기 쇼팅 패드를 평판 표시 장치의 패드부에 접촉시키는 단계,상기 쇼팅 패드를 통해 상기 패드부에 신호를 공급하여 상기 평판 표시 장치의 손상 유무를 판별하는 단계,상기 프로브 유니트 조립체를 이동하여 상기 접촉핀을 상기 패드부에 접촉시키는 단계, 그리고상기 접촉핀을 통해 상기 패드부에 신호를 공급하여 상기 평판 표시 장치의 색 구현 상태를 검사하는 단계를 포함하는 프로브 유니트 조립체를 이용한 평판 표시 장치의 검사 방법.
- 제7항에서,누름 수단을 이용하여 상기 쇼팅 패드를 가압하여 상기 패드부에 접촉시키는 프로브 유니트 조립체를 이용한 평판 표시 장치의 검사 방법.
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Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101010534B1 (ko) * | 2009-04-29 | 2011-01-24 | 주식회사 크라또 | 비주얼검사용 머니퓰레이터부 및 프로브블록부를 구비한 프로브 유닛 |
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| KR101102020B1 (ko) * | 2004-09-30 | 2012-01-04 | 엘지디스플레이 주식회사 | 액정표시패널 및 그 제조방법 |
| KR100611608B1 (ko) | 2005-11-15 | 2006-08-11 | 주식회사 코디에스 | 평판형 디스플레이 검사 방법 및 평판형 디스플레이 검사용유닛 |
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2006
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Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101010534B1 (ko) * | 2009-04-29 | 2011-01-24 | 주식회사 크라또 | 비주얼검사용 머니퓰레이터부 및 프로브블록부를 구비한 프로브 유닛 |
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| Publication number | Publication date |
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| KR101312079B1 (ko) | 2013-09-26 |
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