KR20080025143A - Blackening surface treated copper foil and electromagnetic wave shielding conductive mesh for front panel of plasma display using the blackening surface treated copper foil - Google Patents

Blackening surface treated copper foil and electromagnetic wave shielding conductive mesh for front panel of plasma display using the blackening surface treated copper foil Download PDF

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KR20080025143A
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쓰토무 히구치
미쓰요시 마쓰다
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미쓰이 긴조꾸 고교 가부시키가이샤
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Abstract

A blackening surface treated copper foil capable of improving a phenomenon of causing clouding of the surface of an adhesive layer exposed between mesh circuits on completion of etching of a conductive mesh used for shielding a plasma display panel against an electromagnetic wave. The blackening surface treated copper foil is used which is a surface treated copper foil having a blackening treated surface provided on the surface of an untreated electrolytic copper foil, characterized in that the untreated electrolytic copper foil has a surface of which surface roughness Ra is up to 45 nm as measured with a three-dimensional surface structure analysis microscope, and the surface is provided with a blackening treated surface. The surface of the untreated electrolytic copper foil provided with a blackening treated surface more preferably has a surface roughness Rz of up to 850 nm as measured with a three-dimensional surface structure analysis microscope. ® KIPO & WIPO 2008

Description

흑색화 표면 처리 동박 및 그 흑색화 표면 처리 동박을 이용한 플라즈마 디스플레이의 전면 패널용 전자파 차폐 도전성 메시{BLACKENING SURFACE TREATED COPPER FOIL AND ELECTROMAGNETIC WAVE SHIELDING CONDUCTIVE MESH FOR FRONT PANEL OF PLASMA DISPLAY USING THE BLACKENING SURFACE TREATED COPPER FOIL}TECHNICAL WAVE SHIELDING CONDUCTIVE MESH FOR FRONT PANEL OF PLASMA DISPLAY USING THE BLACKENING SURFACE TREATED COPPER FOIL}

본 발명은 흑색화 표면 처리 동박 및 그 흑색화 표면 처리 동박을 이용한 플라즈마 디스플레이의 전면(前面) 패널용 전자파 차폐 도전성 메시에 관한 것이다.The present invention relates to a blackened surface-treated copper foil and an electromagnetic shielding conductive mesh for a front panel of a plasma display using the blackened surface-treated copper foil.

플라즈마 디스플레이 패널의 쉴드용 도전성 메시는 금속화 섬유 직물에서 도전성 메시로 변천해 왔다. 그리고, 근래에는 유리나 플라스틱 기판의 표면에 은이나 ITO 등 투명성이 뛰어난 투명 도전막을 이용하여 도전성 메시 대신으로 하는 기술이 채용되기도 하나, 이들 투명 도전성 피막은 고주파 영역에서의 전자기 쉴드성이 도전성 메시에 비해 떨어진다. 따라서, 금속박을 이용해 에칭 가공하여 얻어지는 전자파 차폐 도전성 메시가 주류인 것에는 변화가 없다.BACKGROUND OF THE INVENTION Conductive meshes for shields in plasma display panels have changed from metallized fiber fabrics to conductive meshes. In recent years, a technique of using a transparent conductive film having excellent transparency such as silver or ITO on the surface of a glass or plastic substrate is used instead of the conductive mesh. However, these transparent conductive films have high electromagnetic shielding properties in comparison with the conductive mesh. Falls. Therefore, there is no change in the electromagnetic wave shielding conductive mesh obtained by etching using metal foil as the mainstream.

금속박을 이용한 전자파 차폐 도전성 메시의 제조 방법에는 몇 가지 기법이 채용되고 있다. 그 중 대표적인 제조 방법에 관하여 설명한다. 즉, 도 5의 (a)에 나타낸 바와 같이, PET 필름(4)을 준비하고, 그 표면에 접착제층(5)을 마련함으로써 도 5의 (b)에 나타내는 상태로 한다. 그리고, 도 5의 (c)에 나타내는 바와 같 이, 접착제층(5) 위에 흑색화 처리면(3)을 구비한 흑색화 표면 처리 동박(2)을, 당해 흑색화 처리면(3)이 상기 접착제층(5)에 접촉하도록 접착시킨다. 그리고, 도 5의 (d)에 나타내는 바와 같이, 흑색화 표면 처리 동박(2)이 표면에 마련된다.Several techniques are employ | adopted for the manufacturing method of the electromagnetic shielding conductive mesh using metal foil. Among them, a typical manufacturing method will be described. That is, as shown to Fig.5 (a), the PET film 4 is prepared and the adhesive bond layer 5 is provided in the surface, and it is set as the state shown to Fig.5 (b). And as shown in FIG.5 (c), the blackening surface treated copper foil provided with the blackening process surface 3 on the adhesive bond layer 5, The said blackening process surface 3 is the said Adhesion is made to contact the adhesive layer 5. And blackening surface treatment copper foil 2 is provided in the surface, as shown in FIG.5 (d).

그리고, 그 흑색화 표면 처리 동박(2) 위에 도 5의 (e)에 나타내는 바와 같이 에칭 레지스트층(6)을 형성하고, 당해 에칭 레지스트층(6)에 도 6의 (f)에 나타내는 바와 같이 도전성 메시 패턴(7)을 노광하고, 도 6의 (g)에 나타내는 바와 같이 현상하여 에칭 레지스트 패턴 형상을 형성하고, 에칭함으로써, 도 6의 (h)에 나타내는 상태가 된다. 이때, 에칭 레지스트층(6)을 박리함으로써 도 6의 (i)에 나타내는 상태가 된다.Then, an etching resist layer 6 is formed on the blackened surface-treated copper foil 2 as shown in FIG. 5E, and as shown in FIG. 6F in the etching resist layer 6. The conductive mesh pattern 7 is exposed, developed as shown in Fig. 6G to form an etching resist pattern shape, and etched, thereby bringing the state shown in Fig. 6H. At this time, the etching resist layer 6 is peeled off, and the state shown in FIG.

이어서, 도 7의 (j)에 나타내는 바와 같이, 전면(前面) 필터를 구성하는 제1 투명 기판(9a)을 도전성 메시(8)에 접촉시키고 프레스함으로써, 도 7의 (k)에 나타내는 바와 같이 도전성 메시(8)를 접착제층(5) 안으로 밀어넣어 투명화 처리를 행한다. 그리고, 도 7의 (l)에 나타내는 바와 같이 PET 필름(4)을 박리한다. 마지막으로, 도 7의 (m)에 나타내는 바와 같이, 접착제층(5)과 제2 투명 기판(9b)을 접착시켜, 전면 필터(1)가 완성되게 된다.Subsequently, as shown in FIG. 7 (j), the first transparent substrate 9a constituting the front filter is brought into contact with the conductive mesh 8 and pressed, as shown in FIG. 7 (k). The conductive mesh 8 is pushed into the adhesive layer 5 to perform a transparent treatment. And the PET film 4 is peeled off as shown to Fig.7 (l). Finally, as shown in FIG.7 (m), the adhesive agent layer 5 and the 2nd transparent substrate 9b are adhere | attached, and the front surface filter 1 is completed.

비특허 문헌 1: PDP 재료의 기술 동향 히타치 카세이 테크니컬 리포트 제33호(1999-7)Non-Patent Document 1: Technical Trends of PDP Materials Hitachi Kasei Technical Report 33 (1999-7)

특허 문헌 1: 일본 특허 공개 평11-186785호 공보Patent Document 1: Japanese Patent Laid-Open No. 11-186785

특허 문헌 2: 일본 특허 공개 제2000-315889호 공보Patent Document 2: Japanese Patent Application Laid-Open No. 2000-315889

특허 문헌 3: 일본 특허 공개 제2004-35918호 공보Patent Document 3: Japanese Patent Laid-Open No. 2004-35918

특허 문헌 4: 일본 특허 공개 제2004-162144호 공보 Patent Document 4: Japanese Patent Application Laid-Open No. 2004-162144

특허 문헌 5: 일본 특허 공개 제2004-107786호 공보Patent Document 5: Japanese Patent Application Laid-Open No. 2004-107786

특허 문헌 6: 일본 특허 공개 제2004-137588호 공보Patent Document 6: Japanese Patent Application Laid-Open No. 2004-137588

[발명이 해결하고자 하는 과제][Problem to Solve Invention]

그러나, 최근의 전력 절약의 요구에 따라, 플라즈마 발생 신호 전압을 200V에서 50V 레벨을 목표로 하여 개발이 진행되고 있으며, 당해 전압의 저하에 수반되는 휘도의 감소에 대응하여, 도전성 메시의 회로폭을 세선화하여, 도전성 메시에 의한 전면 유리 패널의 피복률을 감소시키는 방향으로 나아가고 있다.However, in accordance with recent demands for power saving, development is in progress aiming at a plasma generation signal voltage of 200V to 50V level, and in response to a decrease in luminance accompanying a decrease in the voltage, the circuit width of the conductive mesh is increased. It has become thin and advanced in the direction which reduces the coverage of the front glass panel by a conductive mesh.

한편, 도전성 메시 자체는 전면 패널 안에 삽입되어, 전면 글래스를 통하여 표면에서 눈으로 직접 확인가능하므로, 이 도전성 메시로 가공되는 표면 처리 동박의 한 면은 양호한 블랙 마스크를 만들어 내기 위해, 다갈색으로부터 흑색의 암색(暗色) 상태로 처리되어 투과광의 휘도를 끌어올리도록 할 필요가 있다.On the other hand, since the conductive mesh itself is inserted into the front panel and can be seen directly from the surface to the eye through the front glass, one side of the surface-treated copper foil processed with this conductive mesh is formed from dark brown to black to produce a good black mask. It is necessary to process in a dark state to raise the brightness of transmitted light.

또한, 장래적으로 텔레비전 지상파 방송의 전파의 디지털화가 예정되어 있으며, 화상 신호의 전달 속도도 고속화되고 또한 고해상도화에 대응한 화상의 고정밀화가 요구되고 있다.Further, digitalization of radio waves of television terrestrial broadcasting is expected in the future, and the transmission speed of image signals is also increased, and high definition of images corresponding to high resolution is required.

이상과 같은 현상을 고려하여, 전자파 차폐 도전성 메시의 메시 회로간을 빠져나가는 빛을, 보다 선명하고 고휘도인 것을 사용하면, 다음과 같은 문제가 있었다. 도 7의 (i)에 나타내는 바와 같이 도전성 메시 형상의 에칭이 종료되면, 회로간에 노출된 접착제층(5)의 표면 형상은 흑색화 표면 처리 동박(2)의 흑색화 처리면(3)의 형상을 전사하고 있는 것이 된다. 이 전사 형상은 접착제층을 구성하는 구성 성분에 따라서도 다르지만, 도 8의 (i) 내지 도 8의 (k)의 투명화 처리를 가한 이후에도 소실되지 않고 제1 투명 기판(9a)과의 계면에 잔존하는 경우가 있다.In view of the above phenomena, when the light passing through the mesh circuit of the electromagnetic wave shielding conductive mesh is used more sharply and with higher brightness, there are the following problems. As shown in FIG.7 (i), when the etching of an electroconductive mesh shape is complete | finished, the surface shape of the adhesive bond layer 5 exposed between circuits is the shape of the blackening process surface 3 of the blackening surface-treated copper foil 2 It is being transferred. This transfer shape is also different depending on the constituent components constituting the adhesive layer, but remains at the interface with the first transparent substrate 9a without being lost even after applying the transparent treatment of FIGS. 8 (i) to 8 (k). There is a case.

이와 같은 경우, 당해 전사 형상에 의해 흐림(clouding)을 일으켜 장해가 되기 때문에, 메시 회로간을 빠져나가는 빛의 휘도를 감소시켜 선명한 화상이 얻어지지 않게 된다. 이와 같은 물리적 요인으로 화상의 품질을 향상시킬 수 없게 되면, 화상 데이터를 아무리 잘 연산 처리하여 화소의 발광 제어를 행하여 의사(擬似) 윤곽 장해를 해소하려고 해도 한계가 생긴다.In such a case, clouding is caused by the transfer shape to cause an obstacle, so that the luminance of light passing through the mesh circuits is reduced, so that a clear image is not obtained. If the quality of an image cannot be improved due to such a physical factor, there is a limit even if an attempt is made to solve the pseudo contour obstacle by performing the pixel data control by performing the computation of the image data so well.

이상으로부터, 도전성 메시 형상의 에칭이 종료되어 회로간에 노출된 접착제층의 표면 형상이 흐림 현상을 일으키는 현상이 관찰되어, 이 문제가 일어나지 않는 흑색화 처리면을 구비하는 동박이 요구되어 왔다. 이 문제를 해결하기 위해, 흑색화 처리면을 형성하는 미처리 동박의 표면을 상기 특허 문헌 3 내지 특허 문헌 6에 개시된 기술을 채용하는 등을 하여, 보다 저프로파일화된 동박을 사용하는 것이 시도되어 왔다. 이하, 특허 문헌 3 내지 상기 특허 문헌 6에 개시된 기술을 간단히 설명한다.From the above, the phenomenon that the surface shape of the adhesive bond layer exposed between the circuits was terminated by the etching of the conductive mesh shape was observed to cause a blur phenomenon, and a copper foil having a blackening treatment surface on which this problem does not occur has been demanded. In order to solve this problem, the surface of the untreated copper foil which forms a blackening process surface is employ | adopted the technique disclosed by the said patent documents 3-6, etc., and it has been tried to use the low profile copper foil. . Hereinafter, the technique disclosed by patent document 3-the said patent document 6 is demonstrated briefly.

특허 문헌 3에는, 황산 산성 동도금액을 이용한 전해 동박의 제조 방법에 있어서, 디알릴디알킬암모늄(Diallyl dialkyl ammonium)염과 이산화황의 공중합체를 함유하는 황산 산성 동도금액을 이용하는 것을 특징으로 하는 전해 동박의 제조 방법이 제창되고, 당해 황산 산성 동도금액에는 폴리에틸렌 글리콜과 염소와 3-머캅토-1-술폰산을 함유하는 것이 바람직하다고 되어 있다. 그리고 절연 기재에 대향하는 면의 조도(粗度)(석출면 거칠기)가 작고, 두께 10㎛인 전해 동박의 경우, 촉침식(觸針式) 조도계로 Rz=1.0±0.5㎛ 정도의 저프로파일(조도)이 얻어지고 있다.Patent Literature 3 discloses an electrolytic copper foil comprising a sulfuric acid copper plating solution containing a copolymer of diallyl dialkyl ammonium salt and sulfur dioxide in a method for producing an electrolytic copper foil using a sulfuric acid acidic copper plating solution. It is said that it is desirable to contain polyethylene glycol, chlorine, and 3-mercapto-1-sulfonic acid in the sulfuric acid acidic copper plating solution. In the case of electrolytic copper foil having a small roughness (precipitation surface roughness) of the surface facing the insulating substrate and having a thickness of 10 μm, a low profile of about Rz = 1.0 ± 0.5 μm with a tactile roughness meter ( Illuminance) is obtained.

특허 문헌 4에는, 석출면의 표면 거칠기가 작고 신장률이 뛰어난 전해 동박을 제조하는 방법으로서, 황산 산성 동도금액의 전기 분해에 의한 전해 동박의 제조 방법에서, 폴리에틸렌 글리콜과 염소와 3-머캅토-1-술폰산을 함유하는 것을 특징으로 하는 황산 산성 동도금액을 이용하는 것이 제창되어 있다. 그리고, 절연 기재와의 접착면의 조도(석출면 거칠기)가 작고, 두께 10㎛인 전해 동박의 경우, 촉침식 조도계로 Rz=1.5±0.5㎛ 정도의 저프로파일(조도)이 얻어지고 있다.Patent Document 4 describes a method for producing an electrolytic copper foil having a small surface roughness of the precipitated surface and excellent in elongation. In the method for producing an electrolytic copper foil by electrolysis of an acidic copper sulfate acid solution, polyethylene glycol, chlorine and 3-mercapto-1 It is proposed to use a sulfuric acid acidic copper plating solution characterized by containing sulfonic acid. And the roughness (precipitation surface roughness) of the adhesive surface with an insulating base material is small, and in the case of the electrolytic copper foil with a thickness of 10 micrometers, the low profile (roughness) of about Rz = 1.5 +/- 0.5 micrometer is obtained with a stylus roughness meter.

특허 문헌 5에는, 1분자 중에 1개 이상의 에폭시기를 가지는 화합물과 아민 화합물을 부가 반응시킴으로써 얻어지는 특정 골격을 가지는 아민 화합물과 유기 황 화합물을 첨가제로서 포함하는 동전해액을 전해 동박의 제조에 이용하는 것이 개시되어 있다. 그리고, 이 제조 방법에 의해 얻어지는 전해 동박은 그 실시예의 기술로부터 촉침식 조도계로 표면 거칠기 Rz가 0.90㎛ ~ 1.20㎛ 범위가 되어 있다.Patent Literature 5 discloses using a coin dissolving solution containing an amine compound and an organic sulfur compound having a specific skeleton obtained by addition reaction of a compound having at least one epoxy group and an amine compound in one molecule, as an additive, for the production of an electrolytic copper foil. have. And the surface roughness Rz of the electrolytic copper foil obtained by this manufacturing method is 0.90 micrometer-1.20 micrometer with the stylus roughness meter from the technique of the Example.

특허 문헌 6에는, 1분자 중에 1개 이상의 에폭시기를 가지는 화합물과 아민 화합물을 부가 반응시킨 후, 질소를 4급화함으로써 얻어지는 특정 골격을 가지는 4급 아민 화합물과 유기황 화합물을 첨가제로서 포함하는 동전해액을 전해 동박의 제조에 이용하는 것이 개시되어 있다. 그리고, 이 제조 방법에 의해 얻어지는 전해 동박은 그 실시예의 기술로부터 촉침식 조도계로 표면 거칠기 Rz가 0.94㎛ ~ 1.23㎛ 범위가 되어 있다.Patent Literature 6 discloses a coin dissolving solution containing a quaternary amine compound and an organosulfur compound having a specific skeleton obtained by quaternizing nitrogen after addition reaction of a compound having at least one epoxy group and an amine compound in one molecule. It is disclosed to use for manufacture of an electrolytic copper foil. And the surface roughness Rz of the electrolytic copper foil obtained by this manufacturing method is 0.94 micrometer-1.23 micrometers by the stylus roughness meter from the technique of the Example.

따라서, 이러한 제조 방법을 이용하여 전해 동박을 제조하면, 확실히 뛰어난 저프로파일의 석출면이 형성되고, 저프로파일 전해 동박으로서는 극히 뛰어난 성질을 나타낸다. 그러나, 이러한 저프로파일 동박을 이용하더라도 품질 편차가 크고, 도전성 메시 형상의 에칭이 종료되어 회로간에 노출된 접착제층의 표면 형상이 흐림 현상을 일으키는 현상이 관찰되어, 상기 문제를 해결하는 데는 이르지 못하였다.Therefore, when an electrolytic copper foil is manufactured using such a manufacturing method, the precipitation surface of the outstanding low profile will be surely formed, and it shows the extremely outstanding property as a low profile electrolytic copper foil. However, even when using such a low profile copper foil, the quality variation was large and the phenomenon that the surface shape of the adhesive layer exposed between the circuits was terminated because the etching of the conductive mesh shape was terminated was observed, which did not solve the problem. .

[과제를 해결하기 위한 수단][Means for solving the problem]

여기서, 본 발명자들은 연구를 거듭한 결과, 이하에 나타내는 바와 같은 흑색화 처리면을 구비하는 표면 처리 동박을 이용함으로써, 상기 과제를 달성하는데 이르렀다.Here, as a result of intensive studies, the inventors of the present invention have achieved the above problems by using a surface-treated copper foil having a blackened surface as shown below.

상기 과제를 달성하기 위해, 미처리 전해 동박의 표면에 흑색화 처리면을 마련하는 표면 처리 동박으로서, 상기 미처리 전해 동박은 3차원 표면 구조 해석 현미경을 이용하여 측정한 표면 거칠기 Ra가 45㎚ 이하의 표면을 가지고 당해 표면에 흑색화 처리면을 마련한 것을 특징으로 하는 흑색화 표면 처리 동박을 이용한다.In order to achieve the said subject, as a surface-treated copper foil which provides a blackening process surface on the surface of an untreated electrolytic copper foil, the untreated electrolytic copper foil has the surface roughness Ra measured using the three-dimensional surface structure analysis microscope the surface of 45 nm or less In addition, the blackening surface-treated copper foil which uses the blackening treatment surface on the said surface is used.

그리고, 상기 미처리 전해 동박의 흑색화 처리면을 마련하는 면은 3차원 표면 구조 해석 현미경을 이용하여 측정한 표면 거칠기 Rz가 850㎚ 이하인 것이 바람직하다.And as for the surface which provides the blackening process surface of the said untreated electrolytic copper foil, it is preferable that surface roughness Rz measured using the three-dimensional surface structure analysis microscope is 850 nm or less.

또한, 상기 미처리 전해 동박의 흑색화 처리면을 마련하는 면은 JIS B 0601에 준거하여 측정했을 때의 표면 거칠기(Rzjis)가 0.8㎛ 미만의 저프로파일이고, 또한 광택도(Gs(60°))가 400 이상인 것이 바람직하다.In addition, the surface which provides the blackening process surface of the said unprocessed electrolytic copper foil has a low profile whose surface roughness (Rzjis) is less than 0.8 micrometer when measured based on JIS B 0601, and also glossiness (Gs (60 degrees)). It is preferable that is 400 or more.

상기 흑색화 처리면에 녹 방지 처리층을 구비하는 것인 것이 바람직하다.It is preferable to provide a rust prevention process layer in the said blackening process surface.

상기 흑색화 처리면은 광택도 [Gs(60°)]가 35 이하인 것이 바람직하다.It is preferable that glossiness [Gs (60 degrees)] of the said blackening process surface is 35 or less.

그리고, 당해 흑색화 처리면은 니켈계 흑색화 처리면 또는 코발트계 흑색화처리면의 어느 하나를 이용하는 것이 바람직하다.As the blackening treatment surface, it is preferable to use either a nickel-based blackening treatment surface or a cobalt-based blackening treatment surface.

이상과 같이 기술한 흑색화 표면 처리 동박을 이용함으로써, 고품질의 플라즈마 디스플레이의 전면 패널용 전저파 차폐 도전성 메시를 제공하는 것이 가능해진다. By using the blackened surface-treated copper foil described above, it becomes possible to provide the high-frequency shielding conductive mesh for the front panel of a high quality plasma display.

[발명의 효과][Effects of the Invention]

본 발명에 따른 흑색화 표면 처리 동박은, 그 표면의 평탄성이 뛰어나고, 당해 흑색화 표면 처리 동박을 이용하여 도전성 메시를 제조하고 에칭이 종료되어 회로간에 노출된 접착제층의 표면에 흐림 현상을 일으키는 정도가 낮기 때문에, 플라즈마 디스플레이 패널의 휘도를 열화시키지 않고, 화소의 발광 제어에 의한 의사 윤곽 장해의 해소에 크게 기여할 수 있다.The blackening surface-treated copper foil which concerns on this invention is excellent in the flatness of the surface, the grade which produces an electroconductive mesh using this blackening surface-treated copper foil, and the etching is complete | finished and the clouding phenomenon arises on the surface of the adhesive bond layer exposed between circuits. Since is low, it is possible to greatly contribute to eliminating pseudo contour obstacles by controlling light emission of the pixel without degrading the luminance of the plasma display panel.

또한, 본 발명에 따른 흑색화 표면 처리 동박의 흑색화 처리면은, 니켈계 흑색화 처리면 또는 코발트계 흑색화 처리면의 어느 하나를 채용하는 것이 바람직하고, 어느 일정한 조건에서 형성된 흑색화 처리는 분말의 탈락이 없고, 또한 양호한 흑색을 발휘하며, 그 흑색화 처리층은 통상의 동 에칭 프로세스로 에칭 제거가 가능하다. 따라서, 프린트 배선판을 제조하는 프로세스를 사용하여 고품질의 플라즈마 디스플레이 패널의 전자파 차폐 도전성 메시를 제공할 수 있게 한다.In addition, it is preferable that the blackening process surface of the blackening surface-treated copper foil which concerns on this invention employ | adopts either nickel-based blackening process surface or cobalt-based blackening process surface, and the blackening process formed on a certain condition is There is no powder falling off, and a good black color is exhibited, and the blackening process layer can be etched away by a normal copper etching process. Thus, the process of manufacturing a printed wiring board can be used to provide a high quality electromagnetic shielding conductive mesh of a plasma display panel.

도 1은 10000배의 고배율로 SEM(scanning electron microscope) 관찰했을 때 의 흑색화 표면 처리 동박의 관찰상이다.1 is an observation image of a blackened surface-treated copper foil when SEM (scanning electron microscope) is observed at a high magnification of 10,000 times.

도 2는 10000배의 고배율로 SEM 관찰했을 때의 흑색화 표면 처리 동박의 관찰상이다.2 is an observation image of a blackened surface-treated copper foil when SEM observation is performed at a high magnification of 10,000 times.

도 3은 도 1과 같은 표면을 500배의 저배율로 SEM 관찰했을 때의 흑색화 표면 처리 동박의 관찰상이다.FIG. 3 is an observation image of a blackened surface-treated copper foil when SEM observation of the surface as shown in FIG. 1 is performed at 500 times lower magnification. FIG.

도 4는 도 2와 같은 표면을 500배의 저배율로 SEM 관찰했을 때의 흑색화 표면 처리 동박의 관찰상이다.4 is an observation image of a blackened surface-treated copper foil when SEM observation of the surface as shown in FIG. 2 is performed at 500 times lower magnification.

도 5는 플라즈마 디스플레이 패널의 전자파 차폐 도전성 메시의 제조 프로세스를 나타내기 위한 단면 모식도이다.5 is a schematic cross-sectional view for illustrating a manufacturing process of an electromagnetic shielding conductive mesh of a plasma display panel.

도 6은 플라즈마 디스플레이 패널의 전자파 차폐 도전성 메시의 제조 프로세스를 나타내기 위한 단면 모식도이다.6 is a schematic cross-sectional view for illustrating a manufacturing process of an electromagnetic shielding conductive mesh of a plasma display panel.

도 7은 플라즈마 디스플레이 패널의 전자파 차폐 도전성 메시의 제조 프로세스를 나타내기 위한 단면 모식도이다. 7 is a schematic cross-sectional view for illustrating a manufacturing process of an electromagnetic shielding conductive mesh of a plasma display panel.

[부호의 설명][Description of the code]

1…전면(前面) 필터One… Front filter

2…흑색화 표면 처리 동박 2… Blackening Surface Treatment Copper Foil

3…흑색화 처리면3... Blackened surface

4…PET 필름4… PET film

5…접착제층5... Adhesive layer

6…에칭 레지스트층6... Etching resist layer

7…도전성 메시 패턴7... Conductive mesh pattern

8…도전성 메시(전자파 차폐 도전성 메시) 8… Conductive Mesh (Electromagnetic Shielding Conductive Mesh)

9a…제1 투명 기판9a... First transparent substrate

9b…제2 투명 기판9b... Second transparent substrate

본 발명에 따른 흑색화 처리면을 구비하는 표면 처리 동박은, 이하와 같은 형태를 가진다. 즉, 미처리 전해 동박의 표면에 흑색화 처리면을 구비하는 표면 처리 동박으로서, 상기 미처리 전해 동박은 3차원 표면 구조 해석 현미경을 이용하여 측정한 표면 거칠기 Ra가 45㎚ 이하의 표면을 가지고, 당해 표면에 흑색화 처리면을 마련한 것을 특징으로 하는 흑색화 표면 처리 동박을 이용한다.The surface-treated copper foil provided with the blackening process surface which concerns on this invention has the following forms. That is, as a surface-treated copper foil which has a blackening process surface on the surface of an untreated electrolytic copper foil, the said unprocessed electrolytic copper foil had the surface roughness Ra measured using the three-dimensional surface structure analysis microscope, the surface of 45 nm or less, and the said surface The blackened surface-treated copper foil is used, which provided the blackening process surface.

미처리 동박: 먼저 미처리 동박에 관하여 설명한다. 여기서 말하는 미처리 동박이란, 벌크 동의 박 위에 아무런 녹 방지 등의 표면 처리를 가하지 않은 것으로, 전해 동박 또는 압연 동박을 모두 이용하는 것이 가능하다. 그러나, 전해 동박을 이용하는 것이 비용적 측면에서 바람직하다. 이 전해 동박은 드럼 형상을 한 회전 음극과, 이 회전 음극의 형상을 따라 대향배치되는 납계 양극 등과의 사이에 황산구리계 용액을 흘리고, 전해 반응을 이용하여 동을 회전 음극의 드럼 표면에 석출시키고, 이 석출된 동이 박 상태가 되어 회전 음극으로부터 연속해서 박리되어 권취되는 것이다. 이 단계의 동박이 미처리 동박이다.Untreated copper foil: First, an untreated copper foil is demonstrated. The untreated copper foil here does not apply any surface treatment, such as antirust, to a bulk copper foil, and can use both an electrolytic copper foil or a rolled copper foil. However, it is preferable to use an electrolytic copper foil from a cost point of view. This electrolytic copper foil flows a copper sulfate type solution between the drum-shaped rotating cathode, the lead-based anode etc. which are arrange | positioned along the shape of this rotating cathode, and deposits copper on the drum surface of a rotating cathode using an electrolytic reaction, The precipitated copper is in a foil state and is continuously peeled off and wound up from the rotating cathode. Copper foil of this stage is an untreated copper foil.

이 미처리 동박의 회전 음극과 접촉한 상태에서 박리된 면은 경면(鏡面) 마무리된 회전 음극 표면의 형상이 전사된 것이 되며, 일반적으로 광택면이라고 칭해 진다. 이 회전 음극 표면의 거칠기를 지나치게 매끄럽게 하면 석출된 동이 곧바로 회전 음극 표면에서 박리되어 양호한 전해 동박은 얻어지지 않는다. 이에 대해, 석출면이었던 쪽의 미처리 박의 표면 형상은 석출되는 동의 결정 성장 속도가 결정면마다 다르기 때문에, 통상은 산형(山形)의 요철 형상을 나타내는 것이 되며, 이것을 조면(석출면)이라고 칭한다. 그러나, 어느 일정한 조건에서 제조되는 전해 동박의 경우, 광택면보다 낮은 요철 형상의 석출면이 얻어지는 경우가 있다.The surface which peeled in the state which contacted the rotating cathode of this untreated copper foil is what the shape of the surface of the rotating cathode surface mirrored | finished was transferred, and is generally called a gloss surface. If the roughness of the surface of the rotating cathode is excessively smooth, the deposited copper is immediately peeled off the surface of the rotating cathode, and a good electrolytic copper foil is not obtained. On the other hand, since the surface shape of the untreated foil of the side which was the precipitation surface differs for each crystal surface of the copper crystal growth rate which precipitates, it usually shows a mountain-shaped uneven | corrugated shape, and this is called roughness (precipitation surface). However, in the case of the electrolytic copper foil manufactured on some fixed conditions, the uneven shape precipitation surface lower than a gloss surface may be obtained.

이러한 전해 동박 중에서도 미처리 전해 동박의 흑색화 처리면을 마련하는 면이 3차원 표면 구조 해석 현미경을 이용하여 측정한 표면 거칠기 Ra가 45㎚ 이하의 표면을 구비하면, 전술한 바와 같이, 플라즈마 디스플레이 패널의 전면 패널에 넣는 도전성 메시 형상의 에칭이 종료되어 메시 회로간에 노출된 접착제층의 표면 형상이 흐림 현상을 일으키지 않도록 할 수 있다. 후술하는 바와 같이, 이 흐림의 발생 현상을 대체(代替)하여 평가하는 방법으로서, 에폭시계 접착제를 본 발명에 따른 표면 처리 동박의 흑색화 처리면에 도포하여 건조시키고, 당해 표면 처리 동박을 전면 에칭함으로써 제거하여 접착제 시트 상태로 하여, 헤이즈 미터(일본 전색 공업 주식회사제 탁도계 NDH2000)를 이용하여 그 헤이즈(흐림)를 측정하였다. 이하, 이 시험을 헤이즈 측정 시험이라고 칭한다. 실시예에서는 헤이즈의 값을 나타낸다.Among the electrolytic copper foils, if the surface providing the blackened surface of the untreated electrolytic copper foil has a surface roughness Ra measured using a three-dimensional surface structure analysis microscope having a surface of 45 nm or less, as described above, The etching of the conductive mesh shape to be placed in the front panel is terminated so that the surface shape of the adhesive layer exposed between the mesh circuits does not cause blur. As will be described later, as a method of evaluating the occurrence of this cloudy phenomenon, an epoxy-based adhesive is applied to the blackened surface of the surface-treated copper foil according to the present invention and dried, and the surface-treated copper foil is subjected to full etching. It removed by making it into the adhesive sheet state, and the haze (cloudiness) was measured using the haze meter (turbidimeter NDH2000 by Nippon Denshoku Industries Co., Ltd.). Hereinafter, this test is called haze measurement test. In an Example, the value of haze is shown.

상술한 바와 같이, 플라즈마 디스플레이 패널의 전면 패널에 넣는 도전성 메시 형상의 에칭이 종료되어 메시 회로간에 노출된 접착제층의 표면 형상이 흐림 현상을 일으켜 투과광의 휘도를 낮춘다고 하는 것은 종래부터 지적되어 왔다. 이때, 당업자 사이에서는 미처리 동박 및 표면 처리 동박의 흑색화 처리면의 조도와의 관계를 생각해 왔다. 그리고, 그러한 표면을 도 1 및 도 2에 나타내는 바와 같은 1500배 이상의 고배율로 SEM 관찰했을 때에 매끄럽게 보이는 표면을 만들어 내고, 또한 촉침식 조도계를 이용하여 거칠기를 모니터해 왔다. 도 1 및 도 2는 헤이즈 측정 시험에서의 헤이즈 값이 명확히 다른 것이지만, 큰 차이는 보이지 않는다.As described above, it has conventionally been pointed out that the etching of the conductive mesh shape to be placed in the front panel of the plasma display panel is terminated and the surface shape of the adhesive layer exposed between the mesh circuits causes blurring to lower the luminance of transmitted light. At this time, the person skilled in the art has considered the relationship with the roughness of the blackening process surface of an untreated copper foil and a surface-treated copper foil. Then, when the SEM was observed at a magnification of 1500 times or higher as shown in Figs. 1 and 2, the surface appeared smooth, and the roughness was monitored using a stylus roughness meter. 1 and 2 show clearly different haze values in the haze measurement test, but no significant difference is seen.

그러나, 본 발명자들이 연구를 거듭한 결과, 당해 흐림 현상을 상기 관점에서 해결하고자 해도 불가능하다는 결론에 이르렀다. 여기서, 도 1 및 도 2의 차이가 없었던 표면 처리 동박의 표면을 500배의 저배율로 SEM 관찰했을 때의 모습을 도 3 및 도 4에 나타내고 있다. 이 도 3 및 도 4의 양상은 확실히 차이가 보이고 있다. 즉, 고배율로 했을 때의 좁은 영역 및 촉침식 조도계로 측정한 단거리 스캔에서의 조도에서는 헤이즈 값과의 관계를 알 수 없다. 따라서, 영역 스캔을 행할 수 있는 3차원 표면 구조 해석 현미경을 이용하여 144㎛×108㎛ 영역에서의 조도 값을 채용함으로써, 매크로적으로 본 표면의 평탄성을 문제로 하였다.However, as a result of extensive studies by the present inventors, it has been concluded that the blur phenomenon cannot be solved even from the above point of view. Here, FIG. 3 and FIG. 4 show the state when the surface of the surface-treated copper foil which did not have the difference of FIG. 1 and FIG. 2 was observed by SEM at 500 times the low magnification. 3 and 4 clearly show a difference. That is, the relationship with a haze value cannot be known about the narrow area | region at the time of high magnification, and the illuminance in the short range scan measured with the stylus type illuminometer. Therefore, by employing the illuminance value in the region of 144 µm x 108 µm using a three-dimensional surface structure analysis microscope capable of region scanning, the flatness of the surface viewed macroscopically was a problem.

또한, 당해 미처리 동박의 표면의 거칠기를 3차원 표면 구조 해석 현미경을 이용하여 측정한 표면 거칠기 Rz로 표현하면, 850㎚ 이하의 표면을 구비할 때, 상술한 바와 같이, 플라즈마 디스플레이 패널의 전면에 넣는 도전성 메시 형상의 에칭이 종료되어 메시 회로간에 노출된 접착제층의 표면 형상이 흐림 현상을 생기지 않도록 할 수 있다고 말할 수 있다.In addition, when the roughness of the surface of the untreated copper foil is expressed by the surface roughness Rz measured using a three-dimensional surface structure analysis microscope, when the surface having a surface of 850 nm or less is provided, it is placed on the front surface of the plasma display panel as described above. It can be said that the etching of the conductive mesh shape is terminated so that the surface shape of the adhesive layer exposed between the mesh circuits does not cause blur.

여기서, 3차원 표면 구조 해석 현미경을 이용한 거칠기 측정에 관하여 설명한다. 본 발명에서는, Zygo사제 NewView5032를 이용해 100배의 대물렌즈를 이용하 여, 레이저에 의한 표면의 요철 측정을 행하였다. 그리고, 이때 파장 3㎛ 이하의 고공간 주파수 성분 및 파장 10㎛ 이상의 저공간 주파수 성분을 컷하도록 문턱값을 정하고, 측정 결과로부터 Ra 및 Rz를 구하였다. 따라서, 여기서 말하는 Ra 및 Rz는 촉침식 조도계로 구한 거칠기는 아니다.Here, roughness measurement using a three-dimensional surface structure analysis microscope will be described. In the present invention, the surface irregularities were measured by a laser using a 100 times objective lens using NewView5032 manufactured by Zygo. And at this time, the threshold value was determined so that the high spatial frequency component of wavelength 3 micrometers or less and the low spatial frequency component of wavelength 10 micrometers or more were cut, and Ra and Rz were calculated | required from the measurement result. Therefore, Ra and Rz here are not the roughness calculated | required by the stylus roughness meter.

파장 3㎛ 이하의 고공간 주파수 성분을 컷하도록 문턱값을 정한 것은, 파장 3㎛ 이하의 영역에서는 흑색화 처리를 행하기 전후의 미처리 박 및 표면 처리박을 이용한 헤이즈 시험에서 육안으로 관찰하여 흐림 현상의 수준에 차이가 있어도 그 차이를 예민하게 파악할 수 없어 헤이즈 값에 차이가 생기지 않기 때문에 헤이즈 시험에 적정한 범위는 아니라고 판단하였기 때문이다. 한편, 파장 10㎛ 이상의 저공간 주파수 성분을 컷하도록 문턱값을 정한 것은, 파장 10㎛ 이상이 되면 너무 큰 요철이 생기게 되며, 상술한 바와 같이 너무 큰 요철은 흐림의 발생과는 관계가 없어져 헤이즈 값을 측정해도 의미가 없는 것이 되기 때문이다.The threshold value was set so as to cut a high spatial frequency component having a wavelength of 3 μm or less, which was observed visually in a haze test using an untreated foil and a surface treated foil before and after the blackening treatment in a region having a wavelength of 3 μm or less. This is because it was judged that it was not an appropriate range for the haze test because there was no difference in the haze value even if there was a difference in the level of keratin. On the other hand, the threshold value is set so as to cut low spatial frequency components with a wavelength of 10 μm or more, when the wavelength is 10 μm or more, too large unevenness occurs. As described above, too large unevenness is not related to the occurrence of haze and the haze value. It is because it becomes meaningless even if it measures.

또한, 흑색화 처리면을 마련하는 상기 미처리 전해 동박의 표면은 JIS B 0601에 준거한 촉침식 조도계로 측정했을 때의 표면 거칠기(Rzjis)가 0.8㎛ 미만의 저프로파일을 가지는 것으로서 관찰할 수 있다. 그리고, 이 표면 거칠기와 아울러, 그 광택도(Gs(60°))가 400 이상이 되는 것이 바람직하다. 일반적으로, 미처리 전해 동박의 평활성을 나타내는 지표로서 Rzjis의 값이 이용되어 왔다. 그러나, Rzjis만으로는 요철의 높이 방향의 정보밖에 얻어지지 않으며, 요철의 ‘주기’나 ‘기복’ 등의 정보를 얻을 수 없다. 따라서, 미처리 전해 동박 표면의 요철의 ‘주기’나 ‘기복’의 정보가 포함된 파라미터인 광택도라고 하는 개념을 이용하여, 이것을 표면 거칠기와 조합함으로써, 종래의 저프로파일 전해 동박의 석출면과의 차이를 명확하게 파악할 수 있게 된다.In addition, the surface of the said untreated electrolytic copper foil which provides a blackening process surface can be observed as having a low profile whose surface roughness (Rzjis) when measured with the stylus roughness meter based on JIS B 0601 is less than 0.8 micrometer. In addition to this surface roughness, the glossiness (Gs (60 °)) is preferably 400 or more. In general, the value of Rzjis has been used as an index indicating the smoothness of untreated electrolytic copper foil. However, Rzjis alone can only obtain information in the height direction of the unevenness, and cannot obtain information such as 'period' or 'relief' of the unevenness. Therefore, by using the concept of glossiness, which is a parameter containing information of 'period' and 'relief' of the unevenness of the surface of the untreated electrolytic copper foil, by combining this with the surface roughness, the surface of the conventional low profile electrolytic copper foil The difference can be clearly understood.

그리고, 이 미처리 전해 동박의 표면은 가능한 한 매끄러울수록 흑색화 표면 처리 동박의 매끄러운 흑색화 처리면의 형성에 유리하게 된다. 일반적으로, 상기 특허 문헌 3 내지 특허 문헌 6에 개시된 제조 방법을 트레이스하여 전해 동박을 제조해 보면, 석출면측의 조도(Rzjis) 값이 0.8㎛를 넘는 수준이다. 이에 대해, 본 발명에서 이용하는 미처리 동박의 표면 거칠기는 후술하는 제조 방법을 채용하면, 석출면측의 표면 거칠기(Rzjis)가 0.6㎛ 이하의 저프로파일을 얻는 것도 가능해진다. 여기서, 특별히 표면 거칠기의 하한치를 한정하고 있지 않지만 조도의 하한은 경험적으로 0.1㎛ 정도이다. 이러한 것으로부터, 본 발명에 따른 흑색화 표면 처리 동박의 흑색화 처리면의 형성에는 석출면측의 표면 거칠기(Rzjis)가 0.6㎛ 이하, 또한 그 광택도(Gs(60°))가 600 이상으로 하는 것이 보다 바람직하다. 한편, 이상에서 기술한 표면 거칠기의 실제 측정에서는, 그 측정치에 일정한 편차가 생기는 것은 당연하며, 보증할 수 있는 측정치의 하한은 0.2㎛ 정도라고 생각한다.And as the surface of this untreated electrolytic copper foil is as smooth as possible, it becomes advantageous for formation of the smooth blackening process surface of blackening surface-treated copper foil. In general, when the electrolytic copper foil is manufactured by tracing the production method disclosed in the Patent Documents 3 to 6, the roughness (Rzjis) value on the precipitation surface side is at a level exceeding 0.8 µm. On the other hand, when the surface roughness of the untreated copper foil used by this invention employ | adopts the manufacturing method mentioned later, it becomes possible to obtain the low profile whose surface roughness Rzjis on the precipitation surface side is 0.6 micrometer or less. Here, although the lower limit of surface roughness is not specifically limited, The lower limit of roughness is about 0.1 micrometer empirically. From this, the surface roughness Rzjis on the precipitation surface side is 0.6 µm or less, and the glossiness (Gs (60 °)) is 600 or more for formation of the blackened surface of the blackened surface-treated copper foil according to the present invention. It is more preferable. On the other hand, in the actual measurement of the surface roughness described above, it is natural that a constant deviation occurs in the measured value, and it is considered that the lower limit of the measured value that can be guaranteed is about 0.2 μm.

본 발명에서 이용한 광택도의 측정은 전해 동박의 흐름 방향(MD 방향)을 따라 당해 동박의 표면에 입사각 60°로 측정광을 조사하고, 반사각 60°로 반사된 빛의 강도를 측정한 것으로, 일본 전색 공업 주식회사제 광택도계 VG-2000형을 이용하여, 광택도 측정 방법인 JIS Z 8741-1997에 준거하여 측정하였다. 그 결과, 상기 특허 문헌 3 내지 특허 문헌 6에 개시된 제조 방법을 트레이스하여, 18㎛ 두께의 전해 동박을 제조하고, 그 석출면의 광택도 [Gs(60°)]를 측정하면, 250 ~ 380 정도 범위에 들어간다. 이에 대해, 본 발명에 따른 전해 동박은 광택도 [Gs(60°)]가 400을 넘어, 보다 매끄러운 표면을 가짐을 알 수 있다. 또한, 실시예에 나타내는 바와 같이, 조건의 최적화에 의해 광택도 [Gs(60°)] 700 이상도 가능해진다. 한편, 여기에서도, 광택도의 상한치를 정하지 않지만, 경험적으로 판단하여 780 정도가 상한이 된다.The glossiness used in the present invention was measured by irradiating measurement light on the surface of the copper foil along the flow direction (MD direction) of the electrolytic copper foil at an incident angle of 60 ° and measuring the intensity of light reflected at a reflection angle of 60 °. It measured according to JIS Z 8741-1997 which is a glossiness measuring method using the glossmeter VG-2000 type from the full color industry corporation. As a result, traces the production methods disclosed in Patent Documents 3 to 6 to produce an electrolytic copper foil having a thickness of 18 µm, and measuring the glossiness [Gs (60 °)] of the precipitated surface, about 250 to 380. Enter the range. On the other hand, it can be seen that the electrolytic copper foil according to the present invention has a glossiness [Gs (60 °)] of over 400 and has a smoother surface. Moreover, as shown in the Example, glossiness [Gs (60 degrees)] 700 or more can also be attained by optimization of conditions. In addition, here, although the upper limit of glossiness is not determined, about 780 is an upper limit on an empirical judgment.

이상에서 기술해 온 본 발명에 따른 표면 처리 동박의 흑색화 처리면을 형성하는 미처리 동박의 표면은 상기 전해 동박의 광택면이 아닌 석출면이다. 이 수준의 평활성을 회전 음극의 표면에 요구하는 것은 곤란하고, 석출된 동이 전기 석출과 동시에 회전 음극 표면으로부터 박리되기 쉬워지기 때문이다.The surface of the untreated copper foil which forms the blackening process surface of the surface-treated copper foil which concerns on this invention described above is a precipitation surface rather than the gloss surface of the said electrolytic copper foil. This is because it is difficult to require this level of smoothness on the surface of the rotating cathode, and the precipitated copper is likely to peel off from the surface of the rotating cathode simultaneously with electroprecipitation.

상술해 온 미처리 동박의 제조에는, 이하의 제조 조건을 이용하는 것이 바람직하다. 3-머캅토-1-프로판술폰산(이하, ‘MPS’라고 칭한다.) 또는 비스(3-술폰프로필)디설파이드(이하, ‘SPS’라고 칭한다.)의 적어도 1종과, 환상(環狀) 구조를 가지는 4급 암모늄염 중합체와 염소를 첨가하여 얻어진 황산계 동전해액을 이용하는 것이 바람직하다. 이 조성의 황산계 동전해액을 이용함으로써, 상술한 품질을 가지는 미처리 동박의 제조가 가능해진다. 여기서 이용하는 황산계 동전해액에 포함되는 MPS 또는 SPS, 환상 구조를 가지는 4급 암모늄염 중합체, 염소의 3성분의 존재를 필수로 한다. 한편, 본 발명에서 말하는 황산계 동전해액의 동 농도는 50g/l ~ 120g/l, 자유 황산 농도가 60g/l ~ 250g/l 정도의 용액을 상정하고 있다.It is preferable to use the following manufacturing conditions for manufacture of the unprocessed copper foil mentioned above. At least one of 3-mercapto-1-propanesulfonic acid (hereinafter referred to as 'MPS') or bis (3-sulfonpropyl) disulfide (hereinafter referred to as 'SPS') and a cyclic structure It is preferable to use the sulfuric acid-based coin solution obtained by adding a quaternary ammonium salt polymer having chlorine and chlorine. By using the sulfuric acid-based coin dissolving liquid of this composition, manufacture of the untreated copper foil which has the above-mentioned quality is attained. The presence of the three components of MPS or SPS, the quaternary ammonium salt polymer which has a cyclic structure, and chlorine contained in a sulfuric acid type | mold solution used here is essential. On the other hand, the copper concentration of the sulfuric acid-based coin solution according to the present invention assumes a solution having a concentration of 50 g / l to 120 g / l and a free sulfuric acid of about 60 g / l to 250 g / l.

당해 황산계 동전해액 중의 MPS 또는 SPS의 합산 농도는 0.5ppm ~ 100ppm인 것이 바람직하고, 보다 바람직하게 0.5ppm ~ 50ppm, 더욱 바람직하게 1ppm ~ 30ppm 이다. 이 MPS 또는 SPS의 합산 농도가 0.5ppm 미만의 경우에는 전해 동박의 석출면이 거칠어져, 저프로파일 전해 동박을 얻는 것이 곤란해진다. 한편, MPS 또는 SPS의 합산 농도가 100ppm을 넘더라도, 얻어지는 전해 동박의 석출면이 평활화되는 효과는 향상되지 않으며, 폐수 처리의 비용 증가를 야기할 뿐이다. 한편, 본 발명에서 말하는 MPS 또는 SPS란, MPS염 및 SPS염도 포함한 의미로 사용하고 있으며, 농도의 기재값은 나트륨염으로서의 3-머캅토-1-프로판술폰산나트륨(이하, ‘MPS-Na’이라고 칭한다.)으로서의 환산치이다.It is preferable that the sum total concentration of MPS or SPS in the said sulfuric acid type | system | group solution is 0.5 ppm-100 ppm, More preferably, it is 0.5 ppm-50 ppm, More preferably, it is 1 ppm-30 ppm. When the combined concentration of this MPS or SPS is less than 0.5 ppm, the precipitation surface of the electrolytic copper foil becomes rough, and it becomes difficult to obtain a low profile electrolytic copper foil. On the other hand, even if the combined concentration of MPS or SPS exceeds 100 ppm, the effect of smoothing the precipitated surface of the obtained electrolytic copper foil is not improved and only causes an increase in the cost of wastewater treatment. Meanwhile, MPS or SPS used in the present invention is used in the meaning including MPS salt and SPS salt, and the stated value of the concentration is 3-mercapto-1-propanesulfonic acid sodium salt (hereinafter referred to as 'MPS-Na'). It is a conversion value as.

그리고, MPS는 본 발명에 따른 황산계 동전해액 중에서는 2량체화하는 경우가 있으며 이 경우에 SPS 구조가 되고 있다. 따라서, MPS 또는 SPS의 합산 농도란, 3-머캅토-1-프로판술폰산 단량체나 MPS-Na 등 염류의 이외에 SPS로서 첨가된 것 및 MPS로서 전해액 중에 첨가된 후 SPS 등에 중합화된 변성물도 포함하는 농도이다. 이하, MPS의 구조식을 화학식 1로, SPS의 구조식을 화학식 2로 나타낸다.In the sulfuric acid-based coin solution according to the present invention, MPS may be dimerized, and in this case, SPS structure is obtained. Therefore, the combined concentration of MPS or SPS includes those added as SPS in addition to salts such as 3-mercapto-1-propanesulfonic acid monomer and MPS-Na, and modified products polymerized in SPS and the like after being added in electrolyte solution as MPS. Concentration. Hereinafter, the structural formula of MPS is represented by Chemical Formula 1, and the structural formula of SPS is represented by Chemical Formula 2.

Figure 112008002575360-PCT00001
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Figure 112008002575360-PCT00002
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그리고, 본 발명에 따른 전해 동박의 제조 방법에 이용하는 황산계 동전해액 중의 4급 암모늄염 중합체의 농도는 1ppm ~ 150ppm인 것이 바람직하고, 보다 바람직하게 10ppm ~ 12Oppm, 더욱 바람직하게 15ppm ~ 40ppm이다. 여기서, 환상 구조를 가지는 4급 암모늄염 중합체로서 다양한 것을 이용하는 것이 가능하지만, 저프로파일의 석출면을 형성하는 효과를 고려하면, 디알릴디메틸염화암모늄(Diallyl dimethyl ammonium chloride)(이하 ‘DDAC’라고 칭한다) 중합체를 이용하는 것이 가장 바람직하다. DDAC는 중합체 구조를 취할 때에 환상 구조를 이루는 것으로, 환상 구조의 일부가 4급 암모늄의 질소 원자로 구성되게 된다. 그리고, DDAC 중합체는 상기 환상 구조가 4원환 ~ 7원환 중 어느 하나 또는 이것들의 혼합물인 것으로 생각되기 때문에, 여기에서는 이들 중합체 중 5원환 구조를 취하고 있는 화합물을 대표로 하여, 화학식 3으로서 이하에 나타내었다. 이 화학식 3에서 알 수 있는 바와 같이, DDAC 중합체란, DDAC가 2량체 이상의 중합체 구조를 취하고 있는 것이다. In addition, the concentration of the quaternary ammonium salt polymer in the sulfuric acid-based coin solution used in the method for producing an electrolytic copper foil according to the present invention is preferably 1 ppm to 150 ppm, more preferably 10 ppm to 12 ppm, still more preferably 15 ppm to 40 ppm. Here, a variety of quaternary ammonium salt polymers having a cyclic structure can be used, but considering the effect of forming a low profile precipitation surface, diallyl dimethyl ammonium chloride (hereinafter referred to as 'DDAC') Most preferably, a polymer is used. DDAC forms a cyclic structure when taking a polymer structure, and part of the cyclic structure is composed of nitrogen atoms of quaternary ammonium. In addition, since the DDAC polymer is considered to be one of the four- to seven-membered rings or a mixture thereof, the cyclic structure is represented by the following formula (3) as a representative of a compound having a five-membered ring structure among these polymers. It was. As can be seen from the general formula (3), the DDAC polymer is one in which DDAC has a dimer or more polymer structure.

그리고, 이 황산계 동전해액 중의 DDAC 중합체의 농도가 1ppm 미만인 경우에는, MPS 또는 SPS의 합산 농도를 아무리 높여도 전해 동박의 석출면이 거칠어져, 저프로파일 전해 동박을 얻는 것이 곤란해진다. 한편, 황산계 동전해액 중의 DDAC 중합체의 농도가 150ppm을 넘어도 동의 석출 상태가 불안정해져, 저프로파일 전해 동박을 얻는 것이 곤란해진다.And when the density | concentration of the DDAC polymer in this sulfuric acid type | system | group solution is less than 1 ppm, even if it raises the sum total density | concentration of MPS or SPS, the precipitation surface of an electrolytic copper foil becomes rough, and it becomes difficult to obtain a low profile electrolytic copper foil. On the other hand, even if the concentration of the DDAC polymer in the sulfuric acid-based coin solution exceeds 150 ppm, the precipitation state of copper becomes unstable, and it becomes difficult to obtain a low profile electrolytic copper foil.

또한, 상기 황산계 동전해액 중의 염소 농도는 5ppm ~ 60ppm인 것이 바람직하다. 이 염소 농도가 5ppm 미만인 경우에는 전해 동박의 석출면이 거칠어져 저프로파일을 유지할 수 없게 된다. 한편, 염소 농도가 60ppm을 넘으면 전해 동박의 조면이 거칠어져 전기 석출 상태가 안정되지 않아, 저프로파일의 석출면을 형성할 수 없게 된다.In addition, the chlorine concentration in the sulfuric acid-based coin solution is preferably 5ppm to 60ppm. When this chlorine concentration is less than 5 ppm, the precipitation surface of an electrolytic copper foil becomes rough and it cannot become low profile. On the other hand, when the chlorine concentration exceeds 60 ppm, the rough surface of the electrolytic copper foil becomes rough, and the electric precipitation state is not stabilized, and a low profile precipitation surface cannot be formed.

이상과 같이, 상기 황산계 동전해액 중의 MPS 및/또는 SPS와 DDAC 중합체와 염소의 성분 밸런스가 가장 중요하며, 이것들의 양적 밸런스가 상기 범위를 벗어나면, 결과적으로 상기 품질의 미처리 동박을 얻을 수 없게 된다.As mentioned above, the balance of components of MPS and / or SPS, DDAC polymer and chlorine in the sulfuric acid-based coin solution is most important, and if these quantitative balances are out of the above ranges, as a result, untreated copper foil of the above quality cannot be obtained. do.

그리고, 상기 황산계 동전해액을 이용하여 미처리 동박을 제조하는 경우에는 액온은 20℃ ~ 60℃, 보다 바람직하게 40℃ ~ 55℃로 하고, 전류 밀도는 15A/d㎡ ~ 90A/d㎡, 보다 바람직하게 50A/d㎡ ~ 70A/d㎡으로 전기분해하는 것이 바람직하다. 액온이 20℃ 미만의 경우에는 석출 속도가 저하되어 신장률 및 인장 강도 등의 기계적 물성의 편차가 커진다. 한편, 액온이 60℃를 넘으면 증발 수분량이 증가해 액 농도의 변동이 빨라, 얻어지는 전해 동박의 석출면이 양호한 평활성을 유지할 수 없다. 또한, 전류 밀도가 15A/d㎡ 미만의 경우에는 동의 석출 속도가 늦어 공업적 생산성이 떨어진다. 한편, 전류 밀도가 90A/d㎡을 넘는 경우에는 얻어지는 미처리 동박의 석출면의 거칠기가 커져, 저프로파일을 유지할 수 없다.In the case of producing the untreated copper foil using the sulfuric acid-based coin dissolving solution, the liquid temperature is 20 ° C. to 60 ° C., more preferably 40 ° C. to 55 ° C., and the current density is 15 A / dm 2 to 90 A / dm 2, Preferably, electrolysis is performed at 50 A / dm 2 to 70 A / dm 2. If the liquid temperature is less than 20 ° C, the precipitation rate is lowered, and the variation in mechanical properties such as elongation and tensile strength is increased. On the other hand, when liquid temperature exceeds 60 degreeC, the amount of evaporation moisture will increase, and fluctuation | variation of liquid concentration will be fast, and the precipitation surface of the electrolytic copper foil obtained cannot maintain favorable smoothness. In addition, when the current density is less than 15 A / dm 2, the precipitation rate of copper is slow, resulting in low industrial productivity. On the other hand, when a current density exceeds 90 A / dm <2>, the roughness of the precipitation surface of the untreated copper foil obtained becomes large and it cannot maintain a low profile.

또한, 상기 흑색화 처리면에 녹 방지 처리층을 구비하는 것도 바람직하다. 본 발명에 따른 표면 처리 동박의 장기 보존성을 확보할 수 있기 때문이다. 이 녹 방지 처리층에는 흑색화 처리면의 변색을 일으키지 않고, 또한 동에칭액에 의해 용이하게 용해가능한 것이면, 아연, 황동 등의 무기 녹 방지층, 벤조트리아졸(benzotriazole), 이미다졸(imidazole) 등의 유기 녹 방지층 등의 어느 하나를 이용하는 것이 가능하다.Moreover, it is also preferable to provide a rust prevention process layer in the said blackening process surface. It is because long-term storage property of the surface-treated copper foil which concerns on this invention can be ensured. In this antirust treatment layer, inorganic discoloration prevention layers such as zinc and brass, benzotriazole, imidazole, and the like can be used as long as they do not cause discoloration of the blackened surface and can be easily dissolved by copper etching solution. It is possible to use either an organic rust prevention layer or the like.

흑색화 표면 처리 동박: 상기 미처리 동박의 표면에 흑색화 처리면을 마련하고, 그 흑색화 처리면은 광택도 [Gs(60°)]가 35 이하인 것이 바람직하다. 광택도가 35를 넘으면, 소위 흑광(黑光)하는 상태가 되어 금속 광택이 눈에 띄게 된다.Blackening surface-treated copper foil: It is preferable that the blackening process surface is provided in the surface of the said untreated copper foil, and the glossiness [Gs (60 degrees)] of the blackening process surface is 35 or less. If the glossiness exceeds 35, it becomes a so-called black light state and the metallic luster becomes conspicuous.

그리고, 이 흑색화 처리면의 형성은 이하에 기술하는 바와 같은 각종 제조 방법을 채용할 수 있다.And the formation of this blackening process surface can employ | adopt various manufacturing methods as described below.

[니켈계 흑색화 처리 방법 ][Nickel-based Blackening Treatment Method]

니켈계 흑색화 처리 방법으로는 이하에 기술하는 흑색화 처리 방법을 채용하 는 것이 양호한 흑색화 처리가 되고, 또한 동에칭액으로 제거가 가능해지는 점에서 바람직하다.As the nickel-based blackening treatment method, it is preferable to employ the blackening treatment method described below in that it becomes a good blackening treatment and can be removed with a copper etching solution.

상술한 미처리 동박의 석출면상에 황산니켈층을 형성한다. 이 황산니켈층은 황산니켈(5수화물)을 10g/l ~ 300g/l 포함하고, 수산화 알칼리 금속염으로 pH를 5.5 ~ 6.0 범위로 한 황산니켈 도금액을 이용하여, 1A/d㎡ 이상의 전류 밀도로 전기분해함으로써, 흑색의 니켈 도금층으로 형성한다. 여기서, 황산니켈 도금액 중의 황산니켈(5수화물)이 10g/l 미만이 되면, 형성되는 황산니켈층의 전착(電着) 속도가 늦어지고, 또한 황산니켈층의 두께가 불균일해지는 경향이 강해진다. 이에 대해, 황산니켈(5수화물)이 300g/l를 넘으면, 형성되는 황산니켈층의 색조가 양호한 흑색화 상태가 아니게 된다. 이 황산니켈 도금액에는 pH 완충제를 포함하지 않는 점에 특징이 있다.The nickel sulfate layer is formed on the precipitation surface of the above-mentioned untreated copper foil. This nickel sulfate layer contains 10 g / l to 300 g / l of nickel sulfate (pentahydrate) and is supplied at a current density of 1 A / dm 2 or more by using a nickel sulfate plating solution having a pH range of 5.5 to 6.0 with alkali metal hydroxide salts. By decomposition, it forms in a black nickel plating layer. Here, when nickel sulfate (pentahydrate) in a nickel sulfate plating liquid is less than 10 g / l, the electrodeposition rate of the nickel sulfate layer formed will become slow, and the thickness of a nickel sulfate layer will become nonuniform. On the other hand, when nickel sulfate (pentahydrate) exceeds 300 g / l, the color tone of the nickel sulfate layer formed will not become a favorable blackening state. This nickel sulfate plating solution is characterized in that it does not contain a pH buffer.

또한, 이때의 황산니켈 도금액의 용액 pH는 5.5 ~ 6.0 범위로 조정한다. 이 범위가 아니면 양호한 흑색을 얻을 수 없다. 이 pH 조정에는 수산화나트륨 또는 수산화칼륨 등의 수산화 알칼리 금속염을 이용한다.In addition, the solution pH of the nickel sulfate plating liquid at this time is adjusted to the range of 5.5-6.0. If it is out of this range, a favorable black color cannot be obtained. Alkali hydroxide metal salts, such as sodium hydroxide or potassium hydroxide, are used for this pH adjustment.

그리고, 전기분해를 행할 때의 전류 밀도에는 1A/d㎡ 이상의 전류를 이용한다. 상술한 황산니켈 도금액은 과잉의 전해 전류를 흘려도, 형성되는 도금면의 평활성은 유지된다. 따라서, 본 발명에서는, 일반적으로 이용되는 pH 완충제를 의도적으로 이용하지 않도록 하여 도금 처리함으로써, 전기분해시의 음극 표면 근방에서의 pH 상승을 적극적으로 이용하게 하였다. 즉, 실질적으로 강알칼리 환경하에서 전기 분해를 행함으로써, 황산니켈층에 니켈 산화물 등을 포함시켜, 흑색의 도금 피막을 형성한다. 따라서, 특별히 전류 밀도의 상한을 둘 필요는 없으며, 공정에 있어서의 생산성을 고려하여 임의로 정하면 된다.In addition, a current of 1 A / dm 2 or more is used for the current density at the time of performing electrolysis. In the nickel sulfate plating solution described above, even if an excessive electrolytic current flows, the smoothness of the plated surface to be formed is maintained. Therefore, in the present invention, the plating treatment is performed without using the pH buffer generally used intentionally, so that the increase in pH in the vicinity of the negative electrode surface during electrolysis is actively used. That is, by performing electrolysis substantially in a strong alkali environment, nickel oxide etc. are included in a nickel sulfate layer, and a black plating film is formed. Therefore, the upper limit of the current density does not need to be set in particular, and may be arbitrarily determined in consideration of the productivity in the process.

그리고, 니켈계 흑색화 처리의 경우, 흑색화 처리면 위에 녹 방지 처리층으로서 아연-니켈 합금층을 마련하는 것이 특히 바람직하다. 니켈계 흑색화 처리층의 동전해액에 의한 에칭 제거의 용해 프로모터가 되기 때문이다. 이 아연-니켈 합금층의 형성 등에 관해서는 후술한다.In the case of nickel-based blackening treatment, it is particularly preferable to provide a zinc-nickel alloy layer as a rust prevention treatment layer on the blackening treatment surface. This is because it becomes a dissolution promoter for etching removal by the coin dissolution solution of the nickel-based blackening treatment layer. Formation of the zinc-nickel alloy layer and the like will be described later.

이상의 공정을 거쳐, 수세하고 건조함으로써 흑색화 표면 처리 동박을 얻는다. 여기에서의 수세 방법, 건조 방법에 특별한 한정은 없으며, 통상 생각할 수 있는 방식을 채용하는 것이 가능하다.The blackened surface-treated copper foil is obtained by washing with water and drying through the above process. There is no restriction | limiting in particular in the washing method and the drying method here, It is possible to employ | adopt the method which can be normally considered.

[코발트계 흑색화 처리 방법][Cobalt-based blackening treatment method]

코발트계 흑색화 처리 방법으로는 이하에 기술하는 2종류의 코발트계 흑색화 처리 방법 A 및 코발트계 흑색화 처리 방법 B 중 어느 하나를 채용하는 것이 양호한 흑색화 처리가 되고, 또한 동에칭액으로 제거가 가능해지는 점에서 바람직하다.As the cobalt-based blackening treatment method, it is preferable to adopt one of the two types of cobalt-based blackening treatment method A and the cobalt-based blackening treatment method B described below to obtain a satisfactory blackening treatment. It is preferable at the point which becomes possible.

코발트계 흑색화 처리 방법 A: 이 코발트계 흑색화 처리 방법은 무교반욕(無攪拌浴)을 이용하는 경우의 흑색화 처리 방법이다. 상술한 미처리 동박의 석출면상에 황산코발트 도금층을 형성하는 것이다. 이 황산코발트 도금층은 황산코발트(7수화물)를 8g/l ~ 10g/l 포함하고, pH를 4.0 이상 범위로 한 황산코발트 도금액을 무교반욕으로서 사용하고, 2A/d㎡ 이상의 전류 밀도로 전기분해하여, 흑색계의 황산코발트 도금층을 형성하는 것이다. 즉, 용액 교반을 행하지 않는 경우의 황산코발트 도금 조건이다. 여기서, 황산코발트 도금액 중의 황산코발트(7수화물)가 8g/l 미만이 되면, 형성되는 황산코발트 도금층의 전착 속도가 늦어지고, 또한 황산니켈층의 두께가 불균일해지는 경향이 강해진다. 이에 대해, 황산코발트(7수화물)가 10g/l를 넘으면, 형성되는 황산코발트 도금층의 색조가 양호한 흑색화 상태가 아니게 된다.Cobalt-based blackening treatment method A: This cobalt-based blackening treatment method is a blackening treatment method in the case of using an unstirred bath. A cobalt sulfate plating layer is formed on the precipitation surface of the above-mentioned untreated copper foil. This cobalt sulfate plating layer contains 8 g / l to 10 g / l of cobalt sulfate (hexahydrate), and uses a cobalt sulfate plating solution having a pH of 4.0 or more as an unstirred bath, and electrolysis at a current density of 2 A / dm 2 or more. To form a black cobalt sulfate plating layer. That is, it is the cobalt sulfate plating condition in the case of not performing solution stirring. When the cobalt sulfate (hexahydrate) in the cobalt sulfate plating solution is less than 8 g / l, the electrodeposition rate of the cobalt sulfate plating layer to be formed is slowed, and the thickness of the nickel sulfate layer becomes uneven. On the other hand, when cobalt sulfate (7-hydrate) exceeds 10 g / l, the color tone of the cobalt sulfate plating layer formed will not be in a favorable blackening state.

또한, 이때의 황산코발트 도금액의 용액 pH는 4.5 ~ 5.5 범위를 목표로 조정하는 것이 바람직하다. 이 범위에서, 높은 수율로 양호한 흑색의 코발트 도금층을 얻을 수 있다. 이 pH 조정을 행하고자 수산화나트륨 또는 수산화칼륨 등의 다른 전해질을 첨가하는 것은 바람직하지 않다. 코발트 도금층의 흑색이 금속색으로 변질되기 쉬워지기 때문이다.In addition, it is preferable to adjust the solution pH of the cobalt sulfate plating liquid at the target of 4.5-5.5 range at this time. Within this range, a good black cobalt plating layer can be obtained with high yield. It is not preferable to add another electrolyte such as sodium hydroxide or potassium hydroxide to make this pH adjustment. This is because black of the cobalt plating layer tends to be changed into a metallic color.

따라서, 용액 pH는 용액 중의 금속 이온 농도를 일정하게 유지함으로써, 결과적으로 4.0 이상의 범위로 안정화시킨다. 이와 같이 용액 중의 코발트 이온 농도를 안정화시키기 위해서는, 용해성의 코발트 전극을 이용하여 전착된 코발트 이온분을 용해공급시키거나, 금속 이온 농도를 연속적으로 모니터하여 수산화코발트를 이용해 적정량 첨가함으로써, 코발트 이온 농도를 안정화시키는 기법 등을 채용하는 것이 바람직하다.Thus, the solution pH is stabilized in the range of 4.0 or more by keeping the concentration of metal ions in the solution constant. In order to stabilize the cobalt ion concentration in the solution as described above, the cobalt ion concentration is dissolved by supplying the cobalt ion powder electrodeposited using a soluble cobalt electrode, or by continuously monitoring the metal ion concentration and adding an appropriate amount using cobalt hydroxide. It is preferable to employ techniques such as stabilization.

그리고, 전기분해를 행할 때의 전류 밀도에는 2A/d㎡ 이상의 전류를 이용한다. 상술한 황산코발트 도금액은 과잉의 전해 전류를 흘려, 어느 정도 미세한 요철을 가지는 도금면이 형성되어도, 거기에서 분말 탈락 현상이 일어나는 일은 적다. 따라서, 특히 전류 밀도의 상한을 둘 필요는 없으며, 기술 상식에 비추어 공정에 있어서의 생산성을 고려해 임의로 정하면 된다.And the electric current density at the time of electrolysis uses 2 A / dm <2> or more. The cobalt sulfate plating solution described above causes an excessive electrolytic current, and even if a plated surface having a slight unevenness is formed, powder dropout phenomenon rarely occurs there. Therefore, it is not necessary to particularly set an upper limit of the current density, and may be arbitrarily determined in consideration of the productivity in the process in view of technical common sense.

이상의 공정을 거치면, 수세하고 건조함으로써 황산코발트 도금층을 흑색화 처리면으로 하는 흑색화 표면 처리 동박을 얻는다. 여기에서의 수세 방법, 건조 방법에 특별한 한정은 없으며, 통상 생각할 수 있는 방식을 채용하는 것이 가능하다.After passing through the above process, it washes and dries and the blackening surface-treated copper foil which makes a cobalt sulfate plating layer a blackening process surface is obtained. There is no restriction | limiting in particular in the washing method and the drying method here, It is possible to employ | adopt the method which can be normally considered.

코발트계 흑색화 처리 방법 B: 여기에서는, 교반욕을 이용한 경우의 흑색화 처리 방법을 설명한다. 이하의 조건을 채용함으로써, 무교반의 황산코발트 도금욕에 의해 형성한 황산코발트 도금층과 마찬가지로 치밀한 흑색화 처리면이 된다.Cobalt-based blackening treatment method B: Here, the blackening treatment method in the case of using a stirring bath is demonstrated. By employ | adopting the following conditions, it becomes a dense blackening process surface similarly to the cobalt sulfate plating layer formed by the unstirred cobalt sulfate plating bath.

상술한 미처리 동박의 석출면상에 황산코발트(7수화물)를 10g/l ~ 40g/l 포함하고, pH를 4.0 이상, 액온 30℃ 이하로 한 황산코발트 도금액을 교반욕으로서 사용해 4A/d㎡ 이하의 전류 밀도로 전기분해하여, 흑색계의 황산코발트 도금층을 형성한다. 즉, 여기서 코발트계 흑색화 처리 방법 A와 근본적으로 다른 것은, 황산코발트 도금을 행할 때 상기 황산코발트 도금액을 교반하면서 전기분해하는 점이다. 이 황산코발트 농도는, 황산코발트 농도가 낮을수록 양호한 흑색화 상태를 만들어 내는 것이 가능한 경향이 있다. 그러나, 황산코발트 도금액 중의 황산코발트(7수화물)가 10g/l 미만이 되면, 교반욕을 채용하여 형성되는 황산코발트 도금층의 전착 속도가 늦어지고, 또한 황산니켈층의 두께가 불균일해지는 경향이 강해져 공업적 생산성이 부족한 결과가 되는 것이다. 이에 대해, 황산코발트(7수화물)가 40g/l를 넘으면, 형성되는 황산코발트 도금층이 치밀한 요철을 형성하기 어려워져, 결과적으로 양호한 흑색화 상태가 아니게 된다.The cobalt sulfate plating solution containing 10 g / l to 40 g / l of cobalt sulfate (7-hydrate) on the precipitated surface of the untreated copper foil described above and having a pH of 4.0 or more and a liquid temperature of 30 ° C. or lower is used as a stirring bath of 4 A / dm 2 or less. Electrolysis is carried out at a current density to form a black cobalt sulfate plating layer. That is, the fundamental difference from the cobalt-based blackening treatment method A is that the cobalt sulfate plating solution is electrolyzed while stirring the cobalt sulfate plating. This cobalt sulfate concentration tends to be able to produce a good blackening state as the cobalt sulfate concentration is lower. However, when the cobalt sulfate (hexahydrate) in the cobalt sulfate plating solution is less than 10 g / l, the electrodeposition rate of the cobalt sulfate plating layer formed by employing a stirring bath is slowed, and the thickness of the nickel sulfate layer tends to be uneven. The result is a lack of enemy productivity. On the other hand, when cobalt sulfate (7-hydrate) exceeds 40 g / l, the cobalt sulfate plating layer formed will become difficult to form dense unevenness, and as a result will not be in a favorable blackening state.

또한, 이때의 황산코발트 도금액의 용액 pH는 4.0 이상이며, 특히 4.5 ~ 5.5 범위를 목표로 조정하는 것이 바람직하다. 이 범위에서 높은 수율로 양호한 흑색의 코발트 도금층을 안정적으로 얻는 것이 가능하다. 이 pH 조정에는 수산화나트륨 또는 수산화칼륨 등의 다른 전해질을 첨가하는 것은 바람직하지 않다. 코발트 도금층의 흑색이 금속색으로 변질되기 쉬워지는 것은 상술한 바와 같다. 그리고, 용액 pH는 용액 중의 금속 이온 농도를 일정하게 유지시킴으로써, 결과적으로 4.0 이상의 범위로 안정화시키는 것도 상술한 바와 같다.In addition, the solution pH of the cobalt sulfate plating solution at this time is 4.0 or more, and it is preferable to adjust especially 4.5 to 5.5 range. Within this range, it is possible to stably obtain a good black cobalt plating layer with a high yield. It is not preferable to add another electrolyte such as sodium hydroxide or potassium hydroxide in this pH adjustment. It is as mentioned above that black of a cobalt plating layer becomes easy to change into metal color. The solution pH is also as described above by stabilizing the concentration of metal ions in the solution, resulting in a range of 4.0 or more.

그리고, 이때의 황산코발트 도금액은 그 액온을 30℃ 이하로 하여 이용하는 것이 바람직하다. 이때의 액온은 낮을수록 양호한 흑색화 처리면을 얻을 수 있는 경향이 있다. 액온을 30℃ 이하로 설정하면 보다 양호한 흑색화 처리면을 얻는 것이 가능해진다.In addition, it is preferable to use the cobalt sulfate plating liquid at this time, making the liquid temperature 30 degrees C or less. The lower the liquid temperature at this time, the better the blackening treatment surface tends to be obtained. If the liquid temperature is set to 30 ° C. or lower, it is possible to obtain a better blackened surface.

그리고, 전기분해를 행할 때의 전류 밀도에는 4A/d㎡ 이하의 전류를 이용한다. 이 범위에서 동박 표면을 조화(粗化) 처리하지 않아도 유기재 등과의 밀착성이 뛰어난 양호한 미세 요철을 가지는 황산코발트 도금층을 형성할 수 있다. 통상, 요철이 있는 흑색계의 도금 표면을 얻으려면, 과도한 그을림 도금(燒けめっき) 영역에 들어가는 전해 전류를 흘리는 방법이 채용된다. 그러나, 여기에서는 전기 분해에 이용하는 전류 밀도가 작은 것일수록, 안정적으로 양호한 흑색화 처리가 가능해지는 경향이 있다. 따라서, 가능한 한 작은 전류 밀도를 채용하면 되지만, 공업적인 생산성을 고려하면 전류 밀도 0.5A/d㎡을 하한치로 판단할 수 있다. 한편, 전류 밀도가 4A/d㎡을 넘으면, 상기 제1 표면 처리 동박의 제조 방법 A에서 조화 처리가 행해지지 않은 동박 표면에 흑색화 처리를 가한 것과 마찬가지 수준의 흑색화 처리면이 되어, 제조 방법 B를 채용하는 의미가 없어지게 된다. 또한, 상술한 전류 밀 도의 범위에서 형성한 흑색화 처리면은 거기에서 분말 탈락 현상이 일어나는 일도 없다.And the electric current of 4 A / dm <2> or less is used for the current density at the time of electrolysis. It is possible to form a cobalt sulfate plating layer having good fine unevenness that is excellent in adhesion to an organic material and the like even without roughening the surface of the copper foil in this range. Usually, in order to obtain the black-plated surface with unevenness, a method of flowing an electrolytic current flowing into an excessively burned plating region is employed. However, in this case, the smaller the current density used for electrolysis, the more stable blackening treatment tends to be possible. Therefore, although the current density should be adopted as small as possible, considering the industrial productivity, the current density of 0.5 A / dm 2 can be determined as the lower limit. On the other hand, when a current density exceeds 4 A / dm <2>, it will become the blackening process surface of the same level as blackening process was performed to the copper foil surface which is not subjected to roughening process in the manufacturing method A of the said 1st surface treatment copper foil, and a manufacturing method The meaning of adopting B is lost. In addition, the powder blackening process surface formed in the range of the current density mentioned above does not generate | occur | produce a powder fall-out phenomenon there.

이상의 공정을 거쳐 수세하고 건조함으로써 황산코발트 도금층을 흑색화 처리면으로 하는 표면 처리 동박을 얻는다. 여기에서의 수세 방법, 건조 방법에 특별한 한정은 없으며, 통상 생각할 수 있는 방식을 채용하는 것이 가능하다.Water-washed and dried through the above process, and the surface-treated copper foil which makes a cobalt sulfate plating layer into a blackening process surface is obtained. There is no restriction | limiting in particular in the washing method and the drying method here, It is possible to employ | adopt the method which can be normally considered.

녹 방지 처리: 상기와 같이 하여 얻어진 흑색화 표면 처리 동박의 표면에 녹 방지 처리를 가하는 것이 바람직하다. 따라서, 여기에서는 녹 방지 처리층의 형성 공정에 관하여 설명한다. 종래부터 알려진 이미다졸, 벤조트리아졸 등의 유기 녹 방지, 일반적으로 이용되고 있는 아연 또는 황동 등의 아연 합금에 의한 무기 녹 방지 등을 이용하는 경우에 관해서는 특별히 설명을 요하는 것은 아니며 통상적인 방법에 따르면 된다고 생각하여 여기에서의 상세한 설명은 생략한다.Rust prevention treatment: It is preferable to apply a rust prevention treatment to the surface of the blackening surface treatment copper foil obtained by making it above. Therefore, the formation process of a rust prevention process layer is demonstrated here. The use of conventionally known organic rust prevention such as imidazole and benzotriazole, and inorganic rust prevention by zinc alloys such as zinc or brass, which are generally used, does not require special explanation, The detailed description thereof will be omitted since it is considered to be followed.

이하, 녹 방지 처리층을 아연-니켈 합금 도금액 또는 아연-코발트 합금 도금액을 이용해 도금 처리하여 형성하는 경우에 관하여 기술한다. 먼저, 아연-니켈 합금 도금에 관하여 설명한다. 여기서 이용하는 아연-니켈 합금 도금액에 특별히 한정은 없지만 일례를 들면, 황산니켈을 이용하여 니켈 농도가 1g/l ~ 2.5g/l, 피로인산아연을 이용하여 아연 농도가 0.1g/l ~ 1g/l, 피로인산칼륨 50g/l ~ 500g/l, 액온 20℃ ~ 50℃, pH 8 ~ pH 11, 전류 밀도 0.3A/d㎡ ~ 10A/d㎡의 조건 등을 채용한다.Hereinafter, the case where the antirust process layer is formed by plating by using a zinc-nickel alloy plating solution or a zinc-cobalt alloy plating solution will be described. First, zinc-nickel alloy plating will be described. There is no particular limitation on the zinc-nickel alloy plating solution used here. For example, the nickel concentration is 1 g / l to 2.5 g / l using nickel sulfate and the zinc concentration is 0.1 g / l to 1 g / l using zinc pyrophosphate. , Potassium pyrophosphate 50 g / l to 500 g / l, liquid temperature 20 ° C. to 50 ° C., pH 8 to pH 11, and current density of 0.3 A / dm 2 to 10 A / dm 2.

이어서, 아연-코발트 합금 도금에 관하여 설명한다. 여기서 이용하는 아연-코발트합금 도금액에 특별히 한정은 없지만 일례를 들면, 황산코발트를 이용하여 코발트 농도가 1g/l ~ 2.5g/l, 피로인산아연을 이용하여 아연 농도가 0.1g/l ~ 1g/l, 피로인산칼륨 50g/l ~ 500g/l, 액온 20℃ ~ 50℃, pH 8 ~ pH 11, 전류 밀도 0.3A/d㎡ ~ 10A/d㎡의 조건 등을 채용한다. 이 아연-코발트 합금 도금과 후술하는 크로메이트 처리를 조합한 녹 방지 처리층은 특히 뛰어난 내식성을 나타낸다.Next, zinc-cobalt alloy plating is demonstrated. The zinc-cobalt alloy plating solution used herein is not particularly limited, but for example, the cobalt concentration is 1 g / l to 2.5 g / l using cobalt sulfate and the zinc concentration is 0.1 g / l to 1 g / l using zinc pyrophosphate. , Potassium pyrophosphate 50 g / l to 500 g / l, liquid temperature 20 ° C. to 50 ° C., pH 8 to pH 11, and current density of 0.3 A / dm 2 to 10 A / dm 2. The antirust process layer which combined this zinc-cobalt alloy plating and the chromate treatment mentioned later shows especially outstanding corrosion resistance.

또한, 녹 방지 처리로서 동박의 표면에 아연-니켈 합금층 또는 아연-코발트 합금층 등을 형성한 후에 크로메이트층을 형성하면, 보다 뛰어난 내식성을 얻는 것이 가능해진다. 즉, 상술한 녹 방지 처리층의 형성 후에 크로메이트 처리 공정을 마련하면 된다. 이 크로메이트 처리 공정에서는 크로메이트 용액과 당해 동박 표면을 접촉시킨 치환 처리나, 크로메이트 용액 중에서 전기분해하여 크로메이트 피막을 형성하는 전기분해 크로메이트 처리의 어느 방법을 채용해도 무방하다. 또한, 여기서 이용하는 크로메이트 용액에 관해서도 통상적인 방법에서 이용되는 범위의 것을 사용하는 것이 가능하다. 그리고, 그 후 수세하고 건조함으로써, 보다 내식성이 뛰어난 흑색화 표면 처리 동박을 얻는다.Moreover, when forming a chromate layer after forming a zinc-nickel alloy layer, a zinc-cobalt alloy layer, etc. on the surface of copper foil as a rust prevention process, it becomes possible to obtain more excellent corrosion resistance. That is, what is necessary is just to provide the chromate processing process after formation of the above-mentioned antirust process layer. In this chromate treatment step, either the substitution treatment in which the chromate solution and the copper foil surface are brought into contact with each other, or the electrolytic chromate treatment in which the chromate film is electrolyzed in the chromate solution may be employed. Moreover, also about the chromate solution used here, it is possible to use the thing of the range used by a conventional method. And the water-washed and dried after that, and blackening surface-treated copper foil which is more excellent in corrosion resistance is obtained.

<전자파 차폐 도전성 메시> 상술한 본 발명에 따른 흑색화 표면 처리 동박은, 그 표면의 평탄성이 뛰어나고, 당해 흑색화 표면 처리 동박을 이용해 도전성 메시를 제조하고 에칭이 종료되어 회로간에 노출된 접착제층의 표면에 흐림 현상을 일으키지 않기 때문에, 플라즈마 디스플레이 패널의 휘도를 열화시키지 않고, 화소의 발광 제어에 의한 의사 윤곽 장애의 해소에 크게 기여할 수 있다.<Electromagnetic shielding conductive mesh> The blackening surface-treated copper foil which concerns on this invention mentioned above is excellent in the flatness of the surface, manufactured the conductive mesh using this blackening surface-treated copper foil, and the etching is complete | finished, and Since blurring does not occur on the surface, it is possible to greatly contribute to the elimination of the pseudo contour disturbance by the emission control of the pixel without deteriorating the luminance of the plasma display panel.

또한, 본 발명에서 흑색화 처리면의 형성에 이용하는 흑색화 처리는, 분말의 탈락이 없고, 또한 양호한 흑색을 발휘하며, 그 흑색화 처리층은 통상의 동에칭 프 로세스로 에칭 제거가 가능하다. 따라서, 프린트 배선판을 제조하는 프로세스를 사용하여 용이하게 임의의 형상으로 가공하는 것이 가능하다. 이러한 것을 고려하면, 플라즈마 디스플레이 패널의 전면 패널에 넣어지는 전자파 차폐 도전성 메시의 용도로 최적인 것이라고 말할 수 있다.In addition, the blackening process used for formation of a blackening process surface in this invention does not fall out of a powder, and exhibits favorable black color, and the blackening process layer can be etched out by a normal copper etching process. Therefore, it is possible to easily process to arbitrary shapes using the process of manufacturing a printed wiring board. Considering this, it can be said that it is optimal for the use of the electromagnetic shielding conductive mesh put in the front panel of the plasma display panel.

이하, 실시예를 들어, 촉침식 조도계와 3차원 표면 구조 해석 현미경을 이용하여 측정한 거칠기의 관계에 대하여 기술한다. 촉침식 조도계와 3차원 표면 구조 해석 현미경 모두 동일한 대상에 대해 조도라고 하는 같은 지표를 얻기 위해 이용하는 것이므로, 이것들의 값이 일치할 것으로 통상적으로 생각된다. 그러나, 촉침식 조도계의 경우에는 촉침 곡률 반경에 의존하고, 3차원 표면 구조 해석 현미경의 경우에는 프로브 빔 지름에 의존하여, 측정 정확도가 다르기 때문에, 그 측정치가 다른 것이 통상적이다. 일반적으로, 측정 표면에 일정 수준의 요철이 존재하는 경우에는, 촉침식 조도계의 거칠기 측정치가 3차원 표면 구조 해석 현미경을 이용한 거칠기 측정치보다 큰 값이 되는 경향이 있다. 한편, 측정 표면이 평탄하여 기복이 없는 저프로파일의 표면이 될수록, 촉침식 조도계의 거칠기 측정치가 3차원 표면 구조 해석 현미경을 이용한 거칠기 측정치보다 작은 값이 되는 경향이 있다.Hereinafter, the relationship between the roughness measured using the stylus roughness meter and the three-dimensional surface structure analysis microscope is described, for example. Since both the tactile roughness meter and the three-dimensional surface structure analysis microscope are used to obtain the same index of roughness for the same object, it is generally considered that these values will coincide. However, since the measurement accuracy is different in the case of a stylus roughness meter and in the case of a three-dimensional surface structure analytical microscope depending on the probe beam diameter, the measurement is different. In general, when a certain level of unevenness exists on the measurement surface, the roughness measurement value of the stylus roughness meter tends to be larger than the roughness measurement value using a three-dimensional surface structure analysis microscope. On the other hand, as the measurement surface becomes flat and the surface of the low profile without undulation, the roughness measurement value of the stylus roughness meter tends to be smaller than the roughness measurement value using a three-dimensional surface structure analysis microscope.

실시예 1Example 1

이하, 미처리 동박의 제조, 흑색화 표면 처리 동박의 제조, 에칭 시험 결과, 헤이즈 측정 시험 결과의 순으로 설명한다.Hereinafter, it demonstrates in order of manufacture of an untreated copper foil, manufacture of a blackening surface treatment copper foil, an etching test result, and a haze measurement test result.

미처리 동박의 제조: 황산계 동전해액으로서 황산구리 용액으로서 동 농도 80g/l, 자유 황산 140g/l, MPS 농도 5ppm, DDAC 중합체(센카(주)제 유니센스 FPA100L을 사용) 3ppm, 염소 농도 10ppm, 액온 50℃의 용액을 이용해, 전류 밀도 6OA/d㎡으로 전기분해하여 18㎛ 두께의 미처리 박을 얻었다. 이 미처리 동박의 티타늄제 전극의 표면 형상이 전사된 광택면은 Rzjis(촉침식 조도계)=1.02㎛이고, 다른 면의 석출면의 조도 및 광택도는 Ra(3차원 표면 구조 해석 현미경)=29.2㎚, Rz(3차원 표면 구조 해석 현미경)=200㎚, Ra(촉침식 조도계)=0.12㎛, Rzjis(촉침식 조도계)=0.47㎛, 광택도 [Gs(60°)]=699였다.Preparation of untreated copper foil: copper sulfate solution as copper sulfate solution, copper concentration 80g / l, free sulfuric acid 140g / l, MPS concentration 5ppm, DDAC polymer (using UNICEN FPA100L manufactured by Senka Co., Ltd.) 3ppm, chlorine concentration 10ppm, liquid temperature Using a 50 ° C. solution, electrolysis was carried out at a current density of 60 A / dm 2 to obtain an untreated foil having a thickness of 18 μm. The polished surface to which the surface shape of the titanium electrode of this untreated copper foil was transferred was Rzjis (Tamper roughness meter) = 1.02 micrometer, and the roughness and glossiness of the precipitation surface of the other surface were Ra (3-dimensional surface structure analysis microscope) = 29.2 nm , Rz (three-dimensional surface structure analysis microscope) = 200 nm, Ra (tactile roughness meter) = 0.22 m, Rzjis (tactile roughness meter) = 0.47 m, glossiness [Gs (60 °)] = 699.

흑색화 표면 처리 동박의 제조: 그리고, 상술한 미처리 동박을 산세척 처리하여 청정화를 행하였다. 이 산세척 처리 조건은 농도 100g/l, 액온 30℃의 묽은 황산 용액을 이용하고 침지 시간 30초로 하였다.Production of blackening surface-treated copper foil: And the untreated copper foil mentioned above was pickled and cleaned. This pickling treatment condition was a dipping time of 30 seconds using a dilute sulfuric acid solution having a concentration of 100 g / l and a liquid temperature of 30 ° C.

그리고, 산세척 처리가 종료되면 상기 미처리 동박의 석출면에 황산니켈층을 형성하였다. 황산니켈층의 형성은 황산니켈(5수화물)을 100g/l, 수산화나트륨으로 pH를 6.0으로 조정하고 액온 30℃로 한 황산니켈 도금액을 이용하여, 1A/d㎡의 전류 밀도로 전기분해함으로써, 흑색의 황산니켈 도금층으로 형성하였다.After the pickling process was completed, a nickel sulfate layer was formed on the precipitated surface of the untreated copper foil. The formation of the nickel sulfate layer was performed by electrolyzing at a current density of 1 A / dm 2 using a nickel sulfate plating solution having a nickel sulfate (pentahydrate) adjusted to pH 6.0 with 100 g / l and sodium hydroxide and having a liquid temperature of 30 ° C., A black nickel sulfate plating layer was formed.

또한, 녹 방지 처리로서 흑색의 황산니켈 도금층의 형성이 종료된 동박의 양면에, 아연-니켈 합금 도금액을 이용해 도금 처리하여 양면에 아연-니켈 합금층을 형성하였다. 아연-니켈 합금층은 황산니켈을 이용하여 니켈 농도가 2.0g/l, 피로인산아연을 이용하여 아연 농도가 0.5g/l, 피로인산칼륨 250g/l, 액온 35℃, pH 10, 전류 밀도 5A/d㎡의 조건으로 5초간 전기분해하여 양면에 균일하고 평활하게 전기 석출시켰다.In addition, the zinc-nickel alloy layer was formed on both surfaces by plating by using a zinc-nickel alloy plating solution on both surfaces of the copper foil in which the formation of the black nickel sulfate plating layer was completed as a rust prevention process. The zinc-nickel alloy layer has nickel concentration of 2.0g / l using nickel sulfate, zinc concentration of 0.5g / l using zinc pyrophosphate, potassium pyrophosphate 250g / l, liquid temperature 35 ℃, pH 10, current density 5A Electrolysis was carried out for 5 seconds under the condition of / dm 2 to be uniformly and smoothly electroprecipitated on both sides.

상기 아연-니켈 합금층의 형성이 종료되면, 순수를 충분히 샤워링하여 세정 하고, 전열기로 분위기 온도를 150℃로 한 건조로 내에 4초간 대류시켜 수분을 날려 보내어, 매우 양호한 색조의 흑색화 처리면을 구비한 표면 처리 동박을 얻었다. 이 흑색화 표면 처리 동박의 흑색화 처리면의 광택도 [Gs(60°)]는 27이었다. 또한, 당해 흑색화 처리면에 점착성 테이프를 붙였다가 떼어내는 것에 의한 테이프 테스트에서 분말 탈락 현상도 확인할 수 없었다.When the formation of the zinc-nickel alloy layer is completed, the pure water is sufficiently showered and washed, and condensed for 4 seconds in a drying furnace having an atmospheric temperature of 150 ° C. with an electric heater to blow out moisture, thereby producing a blackened surface of very good color tone. The surface-treated copper foil provided with this was obtained. The glossiness [Gs (60 °)] of the blackened surface of this blackened surface-treated copper foil was 27. In addition, powder dropout phenomenon could not be confirmed by the tape test by sticking and peeling an adhesive tape to the said blackening process surface.

에칭 시험: 상기와 같이 하여 얻어진 흑색화 표면 처리 동박의 양면에 에칭 레지스트로 되는 드라이 필름을 붙였다. 그리고, 흑색화 처리면측의 드라이 필름에만, 전자파 차폐 도전성 메시를 시작하기 위한 시험용 마스크 필름을 겹쳐, 메시 피치 200㎛, 메시선폭 10㎛, 메시 바이어스 각도 45°이고, 주위에 메시 전극부를 가지는 도전성 메시 패턴을 자외선 노광하였다. 이때, 동시에 반대면의 에칭 레지스트층의 전면(全面)에도 자외선 노광함으로써, 이후의 현상에 의해 제거할 수 없게 하였다. 그 후, 알칼리 용액을 이용하여 현상하고, 에칭 레지스트 패턴을 형성하였다.Etching test: The dry film which becomes an etching resist was stuck to both surfaces of the blackening surface treatment copper foil obtained by making it above. The conductive film having a mesh pitch of 200 mu m, a mesh line width of 10 mu m, a mesh bias angle of 45 DEG, and a superimposed mask film for starting the electromagnetic wave shielding conductive mesh are superposed only on the dry film on the blackened surface. The pattern was exposed to ultraviolet light. At this time, ultraviolet rays were also exposed to the entire surface of the etching resist layer on the opposite side, so that it could not be removed by subsequent development. Then, it developed using alkaline solution and the etching resist pattern was formed.

그리고, 동에칭액인 염화동에칭액을 이용하여 흑색화 처리면측에서 동에칭한 후, 에칭 레지스트층을 박리함으로써, 전자파 차폐 도전성 메시를 제조하였다. 그 결과, 에칭 잔존물도 없이 매우 양호한 에칭이 행해졌다.Then, copper etching was performed on the blackening treatment surface side using a copper chloride etching solution as the copper etching solution, and then the etching resist layer was peeled off to prepare an electromagnetic wave shielding conductive mesh. As a result, very good etching was performed without etching residues.

헤이즈 측정 시험: 상기 흑색화 표면 처리 동박의 흑색화 처리면에, 이하와 같이 하여 수지 필름층을 형성하였다. 먼저, o-크레졸 노볼락형 에폭시 수지(동도화성 주식회사제 YDCN-704), 용제에 가용성인 방향족 폴리아미드 수지 폴리머, 용제로서의 시클로펜타논과의 혼합 바니시로서 시판되는 일본 화약 주식회사제의 BP3225-50P를 원료로 이용하였다. 그리고, 이 혼합 바니시에 경화제로서의 페놀 수지에 대일본 잉크 주식회사제의 VH-4170 및 경화촉진제로서 시코쿠 화성 공업 주식회사제의 2E4MZ를 첨가하여 이하에 나타내는 배합 비율을 가지는 수지 혼합물로 하였다.Haze measurement test: The resin film layer was formed in the blackening process surface of the said blackening surface treatment copper foil as follows. First, BP3225-50P made by Nippon Kayaku Co., Ltd. which is commercially available as a mixed varnish with an o-cresol novolak-type epoxy resin (YDCN-704 manufactured by Dongwha Chemical Co., Ltd.), an aromatic polyamide resin polymer soluble in a solvent, and cyclopentanone as a solvent. It was used as a raw material. The mixed varnish was added with VH-4170 manufactured by Nippon Ink Co., Ltd. and 2E4MZ manufactured by Shikoku Kasei Kogyo Co., Ltd. as a curing accelerator, to obtain a resin mixture having a blending ratio shown below.

수지 혼합물: o-크레졸 노볼락형 에폭시 수지 38중량부Resin mixture: 38 parts by weight of o-cresol novolac epoxy resin

방향족 폴리아미드 수지 폴리머 50중량부50 parts by weight of aromatic polyamide resin polymer

페놀 수지 18중량부Phenolic resin 18 parts by weight

경화촉진제 0.1중량부0.1 part by weight of curing accelerator

이 수지 혼합물을 또한 메틸에틸케톤을 이용하여 수지 고형분을 30중량%로 조정함으로써 수지 용액으로 하였다. 상기와 같이 하여 제조한 수지 용액을 그라비아 코터를 이용하여 상술한 흑색화 표면 처리 동박의 흑색화 처리면에 도포하였다. 그리고, 5분간의 풍건(風乾)을 행하고, 그 후 140℃의 가열 분위기 중에서 3분간의 건조 처리를 행하여, 수지층을 40㎛ 두께로 한 수지 부착 동박 상태로 하였다. 그리고, 이 상태에서 흑색화 표면 처리 동박을 표면 전체에 에칭하여, 수지 필름 단독으로 해서 이것을 헤이즈 측정용 시료로 하였다. 이 시료의 헤이즈 측정을 행한 결과, 5.8%였다.This resin mixture was further used as the resin solution by adjusting resin solid content to 30 weight% using methyl ethyl ketone. The resin solution prepared as mentioned above was apply | coated to the blackening process surface of the blackening surface treatment copper foil mentioned above using the gravure coater. And air drying for 5 minutes was performed, the drying process was performed for 3 minutes in the heating atmosphere of 140 degreeC after that, and it was set as the copper foil with resin which made the resin layer 40 micrometers thick. And blackening surface-treated copper foil was etched in the whole surface in this state, and it was set as the resin film alone, and this was made into the sample for haze measurement. The haze measurement of this sample was found to be 5.8%.

실시예 2Example 2

이하, 미처리 동박의 제조, 흑색화 표면 처리 동박의 제조, 에칭 시험 결과, 헤이즈 측정 시험 결과의 순으로 설명한다.Hereinafter, it demonstrates in order of manufacture of an untreated copper foil, manufacture of a blackening surface treatment copper foil, an etching test result, and a haze measurement test result.

미처리 동박의 제조: 실시예 1과 같은 방법으로 제조한 미처리 동박을 이용 하였다. 따라서, 이 미처리 동박의 티타늄제 전극의 표면 형상이 전사된 광택면의 Rzjis, 다른 면의 석출면의 조도 및 광택도는 실시예 1과 같다.Preparation of untreated copper foil: The untreated copper foil manufactured by the method similar to Example 1 was used. Therefore, the roughness and glossiness of the Rzjis of the glossy surface to which the surface shape of the titanium electrode of this untreated copper foil was transferred, and the precipitation surface of the other surface are the same as that of Example 1.

흑색화 표면 처리 동박의 제조: 그리고, 상술한 미처리 동박을 실시예 1과 마찬가지로 산세척 처리하여 청정화를 행하였다.Manufacture of blackening surface-treated copper foil: And the untreated copper foil mentioned above was pickled-treated like Example 1 and cleaned.

그리고, 산세척 처리가 종료되면, 상기 미처리 동박의 석출면에 황산코발트 도금층을 형성하였다. 황산코발트 도금층의 형성은 황산코발트(7수화물)를 10g/l, pH를 5.0으로 조정하고, 액온을 30℃로 한 황산코발트 도금액을 무교반욕으로서 사용하고, 2A/d㎡의 전류 밀도로 8초간 전기분해함으로써, 흑색의 황산코발트 도금층(환산 두께가 320mg/㎡)으로서 형성하였다. 이때 용액 중의 코발트 이온 농도의 조정은 특별히 행하지 않았다. 단시간 전기분해이기 때문에 금속 이온 농도의 조정은 불필요하다고 생각했기 때문이다. 그리고, 이 실시예에서는 특별한 녹 방지 처리는 행하지 않았다.And when the pickling process was completed, a cobalt sulfate plating layer was formed on the precipitation surface of the untreated copper foil. The formation of the cobalt sulfate plating layer was performed by adjusting the cobalt sulfate (hexahydrate) to 10 g / l and pH to 5.0, using a cobalt sulfate plating solution having a liquid temperature of 30 ° C. as an unstirred bath, for 8 seconds at a current density of 2 A / dm 2. By electrolysis, it formed as a black cobalt sulfate plating layer (thickness 320 mg / m <2>). At this time, the cobalt ion concentration in the solution was not particularly adjusted. This is because it is thought that adjustment of the metal ion concentration is unnecessary because of the short time electrolysis. In this example, no special rust prevention treatment was performed.

이상의 공정을 거쳐, 순수를 충분히 샤워링하여 세정하고, 전열기로 분위기 온도를 150℃로 한 건조로 내에 4초간 대류시켜 수분을 날려 보내어, 매우 양호한 색조의 흑색화 처리면을 구비한 흑색화 표면 처리 동박을 얻었다. 이 흑색화 표면 처리 동박의 흑색화 처리면의 광택도 [Gs(60°)]는 25였다. 또한, 당해 흑색화 처리면에 점착성 테이프를 붙였다가 떼어내는 것에 의한 테이프 테스트에서 분말 탈락 현상도 확인할 수 없었다.Through the above steps, the pure water is sufficiently showered and washed, and condensed for 4 seconds in a drying furnace having an atmospheric temperature of 150 ° C. with an electric heater to blow out moisture, and the blackening surface treatment is provided with a blackened surface of very good color tone. Copper foil was obtained. The glossiness [Gs (60 °)] of the blackened surface of this blackened surface-treated copper foil was 25. In addition, powder dropout phenomenon could not be confirmed by the tape test by sticking and peeling an adhesive tape to the said blackening process surface.

에칭 시험: 상기와 같이 하여 얻어진 흑색화 표면 처리 동박을 이용하여, 실시예 1과 마찬가지로 전자파 차폐 도전성 메시를 제조하였다. 그 결과, 에칭 잔존 물도 없이 매우 양호한 에칭이 행해졌다.Etching test: The electromagnetic wave shielding conductive mesh was produced like Example 1 using the blackening surface-treated copper foil obtained as mentioned above. As a result, very good etching was performed without etching residual water.

헤이즈 측정 시험: 상기 실시예 1과 같은 방법으로 수지 부착 동박 상태로 하여, 이 상태에서 흑색화 표면 처리 동박을 표면 전체에 에칭하여, 수지 필름 단독으로 해서 이것을 헤이즈 측정용 시료로 하였다. 이 시료의 헤이즈 측정을 행한 결과, 5.5%였다. Haze measurement test: It was made into the copper foil state with resin by the method similar to the said Example 1, In this state, the blackening surface-treated copper foil was etched on the whole surface, it was made as the resin film alone, and it was set as the sample for haze measurement. It was 5.5% when the haze measurement of this sample was performed.

실시예 3Example 3

이하, 미처리 동박의 제조, 흑색화 표면 처리 동박의 제조, 에칭 시험 결과, 헤이즈 측정 시험 결과의 순으로 설명한다.Hereinafter, it demonstrates in order of manufacture of an untreated copper foil, manufacture of a blackening surface treatment copper foil, an etching test result, and a haze measurement test result.

미처리 동박의 제조: 실시예 1과 같은 방법으로 제조한 미처리 동박을 이용하였다. 따라서, 이 미처리 동박의 티타늄제 전극의 표면 형상이 전사된 광택면의 Rzjis, 다른 면의 석출면의 조도 및 광택도는 실시예 1과 같다.Preparation of untreated copper foil: The untreated copper foil manufactured by the method similar to Example 1 was used. Therefore, the roughness and glossiness of the Rzjis of the glossy surface to which the surface shape of the titanium electrode of this untreated copper foil was transferred, and the precipitation surface of the other surface are the same as that of Example 1.

흑색화 표면 처리 동박의 제조: 그리고, 상술한 미처리 동박을 실시예 1과 마찬가지로 산세척 처리하여 청정화를 행하였다.Manufacture of blackening surface-treated copper foil: And the untreated copper foil mentioned above was pickled-treated like Example 1 and cleaned.

그리고, 산세척 처리가 종료되면, 상기 미처리 동박의 석출면에 황산코발트 도금층을 형성하였다. 황산코발트 도금층의 형성은 황산코발트(7수화물)를 20g/l, pH를 5.5로 조정하고, 액온을 27℃로 한 황산코발트 도금액을 교반욕으로서 사용하고, 1A/d㎡의 전류 밀도로 15초간 전기분해함으로써, 흑색의 황산코발트 도금층(환산 두께가 334mg/㎡)으로 형성하였다. 이때 용액 중의 코발트 이온 농도의 조정은 특별히 행하지 않았다. 단시간 전기분해이기 때문에 금속 이온 농도의 조정은 불필요하다고 생각했기 때문이다. 그리고, 이 실시예에서는 특별한 녹 방지 처리는 행 하지 않았다.And when the pickling process was completed, a cobalt sulfate plating layer was formed on the precipitation surface of the untreated copper foil. The formation of the cobalt sulfate plating layer was performed by adjusting the cobalt sulfate (hexahydrate) to 20 g / l and pH to 5.5, using a cobalt sulfate plating solution having a liquid temperature of 27 ° C. as a stirring bath, for 15 seconds at a current density of 1 A / dm 2. By electrolysis, it formed into the black cobalt sulfate plating layer (conversion thickness 334 mg / m <2>). At this time, the cobalt ion concentration in the solution was not particularly adjusted. This is because it is thought that adjustment of the metal ion concentration is unnecessary because of the short time electrolysis. In this embodiment, no special rust prevention treatment was performed.

이상의 공정을 거쳐 순수를 충분히 샤워링하여 세정하고, 전열기로 분위기 온도를 150℃로 한 건조로 내에 4초간 대류시켜 수분을 날려 보내어, 매우 양호한 색조의 흑색화 처리면을 구비한 흑색화 표면 처리 동박을 얻었다. 이 흑색화 표면 처리 동박의 흑색화 처리면의 광택도 [Gs(60°)]는 26이었다. 또한, 당해 흑색화 처리면에 점착성 테이프를 붙였다가 떼어내는 것에 의한 테이프 테스트에서 분말 탈락 현상도 확인할 수 없었다. Pure water is thoroughly showered and washed through the above steps, and condensed for 4 seconds in a drying furnace with an atmospheric temperature of 150 ° C. with an electric heater to blow out moisture to form a blackened surface-treated copper foil having a blackened surface of very good color tone. Got. The glossiness [Gs (60 °)] of the blackened surface of this blackened surface-treated copper foil was 26. In addition, powder dropout phenomenon could not be confirmed by the tape test by sticking and peeling an adhesive tape to the said blackening process surface.

에칭 시험: 상기와 같이 하여 얻어진 흑색화 표면 처리 동박을 이용하여, 실시예 1과 마찬가지로 전자파 차폐 도전성 메시를 제조하였다. 그 결과, 에칭 잔존물도 없이 매우 양호한 에칭이 행해졌다.Etching test: The electromagnetic wave shielding conductive mesh was produced like Example 1 using the blackening surface-treated copper foil obtained as mentioned above. As a result, very good etching was performed without etching residues.

헤이즈 측정 시험: 상기 실시예 1과 같은 방법으로 수지 부착 동박 상태로 하여, 이 상태에서 흑색화 표면 처리 동박을 표면 전체에 에칭하여, 수지 필름 단독으로 해서 이것을 헤이즈 측정용 시료로 하였다. 이 시료의 헤이즈 측정을 행한 결과, 5.4%였다.Haze measurement test: It was made into the copper foil state with resin by the method similar to the said Example 1, In this state, the blackening surface-treated copper foil was etched on the whole surface, it was made as the resin film alone, and it was set as the sample for haze measurement. The haze measurement of this sample was found to be 5.4%.

실시예 4Example 4

이하, 미처리 동박의 제조, 흑색화 표면 처리 동박의 제조, 에칭 시험 결과, 헤이즈 측정 시험 결과의 순으로 설명한다.Hereinafter, it demonstrates in order of manufacture of an untreated copper foil, manufacture of a blackening surface treatment copper foil, an etching test result, and a haze measurement test result.

미처리 동박의 제조: 황산계 동전해액으로서 황산구리 용액으로서, 동 농도 80g/l, 자유 황산 140g/l, SPS 농도 10ppm, DDAC 중합체(센카(주)제 유니센스 FPA100L을 사용) 20ppm, 염소 농도 22ppm, 액온 50℃의 용액을 이용하고, 전류 밀 도 60A/d㎡으로 전기분해하여 18㎛ 두께의 미처리 박을 얻었다. 이 미처리 동박의 티타늄제 전극의 표면 형상이 전사된 광택면은 Rzjis(촉침식 조도계)=1.02㎛이고, 다른 면의 석출면의 조도 및 광택도는 Ra(3차원 표면 구조 해석 현미경)=26㎚, Rz(3차원 표면 구조 해석 현미경)=180㎚, Ra(촉침식 조도계)=0.10㎛, Rzjis(촉침식 조도계)=0.30㎛, 광택도 [Gs(60°)]=735였다.Preparation of untreated copper foil: Copper sulfate solution as copper sulfate solution, copper concentration 80g / l, free sulfuric acid 140g / l, SPS concentration 10ppm, DDAC polymer (using Senka Co., Ltd. unisex FPA100L) 20ppm, chlorine concentration 22ppm, Using a solution having a liquid temperature of 50 ° C., electrolysis was performed at a current density of 60 A / dm 2 to obtain an untreated foil having a thickness of 18 μm. The polished surface to which the surface shape of the titanium electrode of this untreated copper foil was transferred was Rzjis (Tampering roughness meter) = 1.02 micrometer, and the roughness and glossiness of the precipitation surface of the other surface were Ra (3-dimensional surface structure analysis microscope) = 26 nm. , Rz (three-dimensional surface structure analysis microscope) = 180 nm, Ra (tactile roughness meter) = 0.10 m, Rzjis (tactile roughness meter) = 0.30 m, glossiness [Gs (60 °)] = 735.

이하, 실시예 3과 마찬가지로 하여 흑색화 표면 처리 동박을 얻었다. 이 흑색화 표면 처리 동박의 흑색화 처리면의 광택도 [Gs(60°)]는 26이었다. 또한, 당해 흑색화 처리면에 점착성 테이프를 붙였다가 떼어내는 것에 의한 테이프 테스트에서 분말 탈락 현상도 확인할 수 없었다.Hereinafter, it carried out similarly to Example 3, and obtained blackening surface-treated copper foil. The glossiness [Gs (60 °)] of the blackened surface of this blackened surface-treated copper foil was 26. In addition, powder dropout phenomenon could not be confirmed by the tape test by sticking and peeling an adhesive tape to the said blackening process surface.

에칭 시험: 상기와 같이 하여 얻어진 흑색화 표면 처리 동박을 이용하여, 실시예 1과 마찬가지로 전자파 차폐 도전성 메시를 제조하였댜. 그 결과, 에칭 잔존물도 없이 매우 양호한 에칭이 행해졌다.Etching test: The electromagnetic wave shielding conductive mesh was produced like Example 1 using the blackening surface-treated copper foil obtained as mentioned above. As a result, very good etching was performed without etching residues.

헤이즈 측정 시험: 상기 실시예 1과 같은 방법으로 수지 부착 동박 상태로 하여, 이 상태에서 흑색화 표면 처리 동박을 표면 전체에 에칭하여, 수지 필름 단독으로 해서 이것을 헤이즈 측정용 시료로 하였다. 이 시료의 헤이즈 측정을 행한 결과, 5.2%였다.Haze measurement test: It was made into the copper foil state with resin by the method similar to the said Example 1, In this state, the blackening surface-treated copper foil was etched on the whole surface, it was made as the resin film alone, and it was set as the sample for haze measurement. It was 5.2% when the haze measurement of this sample was performed.

비교예Comparative example

비교예에서는 이하에 기술하는 제조 방법으로 미처리 동박을 제조하여, 상기 실시예 2의 흑색화 표면 처리를 가하고 헤이즈 측정 시험을 행한 결과를 나타낸다. 따라서, 미처리 동박의 제조 및 헤이즈 측정 시험 결과에 관해서만 설명한다. 그 밖의 조건은 실시예 2와 같다.In a comparative example, the untreated copper foil is manufactured with the manufacturing method described below, the blackening surface treatment of the said Example 2 is added, and the haze measurement test is shown. Therefore, only the manufacture of an untreated copper foil and the haze measurement test result are demonstrated. Other conditions are the same as in Example 2.

[비교예 1]Comparative Example 1

미처리 동박의 제조: 특허 문헌 3에 개시된 실시예 1의 추적 실험으로서, 황산구리(시약)와 황산(시약)을 순수에 용해하여 황산구리(5수화물 환산) 280g/l, 자유 황산 농도 90g/l로 하고, 디알릴디알킬암모늄염과 이산화황의 공중합체(닛토 방적 주식회사제, 상품명 PAS-A-5, 중량 평균 분자량 4000:4ppm)와 폴리에틸렌 글리콜(평균 분자량 1000:10ppm)과 3-머캅토-1-프로판술폰산(1ppm)을 첨가하고, 또한 염화 나트륨을 이용하여 염소 농도를 20ppm으로 조제한 황산 산성 동도금액을 제조하였다.Preparation of untreated copper foil: As a tracking experiment of Example 1 disclosed in Patent Document 3, copper sulfate (reagent) and sulfuric acid (reagent) were dissolved in pure water to obtain copper sulfate (pentahydrate equivalent) of 280 g / l and free sulfuric acid concentration of 90 g / l. , Copolymer of diallyldialkylammonium salt and sulfur dioxide (manufactured by Nitto Spinning Co., Ltd., brand name PAS-A-5, weight average molecular weight 4000: 4 ppm), polyethylene glycol (average molecular weight 1000: 10 ppm), and 3-mercapto-1-propane Sulfonic acid (1 ppm) was added, and sulfuric acid acidic copper plating solution was prepared by using sodium chloride to prepare a chlorine concentration of 20 ppm.

그리고, 음극으로서 티타늄판 전극을 이용하고, 표면을 2000번의 연마지(硏磨紙)를 이용해 연마를 행하였다. 표면 거칠기를 Ra로 0.20㎛로 조정하였다. 그리고, 양극에는 납판(鉛板)을 이용하여 상기의 전해액을 액온 40℃, 전류 밀도 50A/d㎡으로 전기분해를 행하여, 18㎛ 두께의 미처리 동박을 얻었다. 이 미처리 동박의 조도 및 광택도는 티타늄제 전극의 표면 형상이 전사된 광택면은 Rzjis(촉침식 조도계)=1.02㎛이고, 다른 면의 석출면의 조도 및 광택도는 Ra(3차원 표면 구조 해석 현미경)=124.5㎚, Ra(3차원 표면 구조 해석 현미경)=1532㎚, Ra(촉침식 조도계)=0.18㎛, Rzjis(촉침식 조도계)=0.88㎛, 광택도 [Gs(60°)]=283이었다.And the surface was grind | polished using the titanium plate electrode as a cathode, and the surface was grind | polished 2000 times. Surface roughness was adjusted to 0.20 mu m with Ra. And the positive electrode was electrolyzed at 40 degreeC and current density of 50 A / dm <2> with the said electrolyte solution using the lead plate for the positive electrode, and the 18-micrometer-thick untreated copper foil was obtained. The roughness and glossiness of this untreated copper foil was Rzjis (Temperature Roughness Meter) = 1.02 µm, and the roughness and glossiness of the precipitated surface of the other surface were Ra (three-dimensional surface structure analysis). Microscope) = 124.5 nm, Ra (3-D Surface Structure Analysis Microscope) = 1532 nm, Ra (Tamper Roughness Meter) = 0.18 µm, Rzjis (Tamper Roughness Meter) = 0.88 µm, Glossiness [Gs (60 °)] = 283 It was.

그 후, 실시예 2와 마찬가지로 하여 흑색화 표면 처리 동박을 얻었다. 이 흑색화 표면 처리 동박의 흑색화 처리면의 광택도 [Gs(60°)]는 22였다. 또한, 당해 흑색화 처리면에 점착성 테이프를 붙였다가 떼어내는 것에 의한 테이프 테스트에서 분말 탈락 현상도 확인할 수 없었다.Thereafter, a blackened surface-treated copper foil was obtained in the same manner as in Example 2. The glossiness [Gs (60 °)] of the blackened surface of this blackened surface-treated copper foil was 22. In addition, powder dropout phenomenon could not be confirmed by the tape test by sticking and peeling an adhesive tape to the said blackening process surface.

헤이즈 측정 시험: 상기 실시예 1과 같은 방법으로 수지 부착 동박 상태로 하여, 이 상태에서 흑색화 표면 처리 동박을 표면 전체에 에칭하여, 수지 필름 단독으로 해서 이것을 헤이즈 측정용 시료로 하였다. 이 시료의 헤이즈 측정을 행한 결과, 12.3%였다.Haze measurement test: It was made into the copper foil state with resin by the method similar to the said Example 1, In this state, the blackening surface-treated copper foil was etched on the whole surface, it was made as the resin film alone, and it was set as the sample for haze measurement. The haze measurement of this sample was found to be 12.3%.

[비교예 2]Comparative Example 2

미처리 동박의 제조: 황산계 동전해액으로서 황산구리 용액으로서 동 농도 80g/l, 자유 황산 140g/l, DDAC 중합체(센카(주)제 유니센스 FPA100L을 사용), 염소 농도 15ppm, 액온 50℃의 용액을 이용하고, 전류 밀도 60A/d㎡으로 전기분해하여, 18㎛ 두께의 미처리 동박을 얻었다. 이 미처리 동박의 조도 및 광택도는 티타늄제 전극의 표면 형상이 전사된 광택면은 Rzjis(촉침식 조도계)=1.02㎛이고, 다른 면의 석출면의 조도 및 광택도는 Ra(3차원 표면 구조 해석 현미경)=422㎚, Rz(3차원 표면 구조 해석 현미경)=5240㎚, Ra(촉침식 조도계)=0.57㎛, Rzjis(촉침식 조도계)=3.80㎛, 광택도 [Gs(60°)]=0.7이었다.Preparation of untreated copper foil: A copper sulfate solution, a copper sulfate solution of 80 g / l, a free sulfuric acid 140 g / l, a DDAC polymer (using UNICEN FPA100L manufactured by Senka Co., Ltd.), a chlorine concentration of 15 ppm and a solution temperature of 50 ° C. It used and electrolyzed at the current density of 60 A / dm <2>, and obtained the untreated copper foil of 18 micrometers thickness. The roughness and glossiness of this untreated copper foil was Rzjis (Temperature Roughness Meter) = 1.02 µm, and the roughness and glossiness of the precipitated surface of the other surface were Ra (three-dimensional surface structure analysis). Microscope) = 422 nm, Rz (3-dimensional surface structure analysis microscope) = 5240 nm, Ra (tactile roughness meter) = 0.57 µm, Rzjis (tactile roughness meter) = 3.80 µm, glossiness [Gs (60 °)] = 0.7 It was.

그 후, 실시예 2와 마찬가지로 하여 흑색화 표면 처리 동박을 얻었다. 이 흑색화 표면 처리 동박의 흑색화 처리면의 광택도 [Gs(60°)]는 0.5였다. 또한, 당해 흑색화 처리면에 점착성 테이프를 붙였다가 떼어내는 것에 의한 테이프 테스트에서 분말 탈락 현상도 확인할 수 없었다.Thereafter, a blackened surface-treated copper foil was obtained in the same manner as in Example 2. The glossiness [Gs (60 °)] of the blackened surface of this blackened surface-treated copper foil was 0.5. In addition, powder dropout phenomenon could not be confirmed by the tape test by sticking and peeling an adhesive tape to the said blackening process surface.

헤이즈 측정 시험: 상기 실시예 1과 같은 방법으로 수지 부착 동박 상태로 하여, 이 상태에서 흑색화 표면 처리 동박을 표면 전체에 에칭하여, 수지 필름 단 독으로 해서 이것을 헤이즈 측정용 시료로 하였다. 이 시료의 헤이즈 측정을 행한 결과, 42.0%였다.Haze measurement test: It was made into the copper foil state with resin by the method similar to the said Example 1, In this state, the blackening surface-treated copper foil was etched on the whole surface, it was made into the resin film alone, and it was set as the sample for haze measurement. The haze measurement of this sample was found to be 42.0%.

[비교예 3]Comparative Example 3

미처리 동박의 제조: 황산계 동전해액으로서 황산구리 용액으로서, 동 농도 80g/l, 자유 황산 140g/l, DDAC 중합체 농도 4ppm(센카(주)제 유니센스 FPA10OL을 사용), 저분자량 아교(수평균분자량 1560:6ppm), 염소 농도 15ppm, 액온 50℃의 용액을 이용하고, 전류 밀도 60A/d㎡으로 전기분해하여 18㎛ 두께의 미처리 동박을 얻었다. 이 미처리 동박의 조도 및 광택도는 티타늄제 전극의 표면 형상이 전사된 광택면은 Rzjis(촉침식 조도계)=1.02㎛이고, 다른 면의 석출면의 조도 및 광택도는 Ra(3차원 표면 구조 해석 현미경)=360㎚, Rz(3차원 표면 구조 해석 현미경)=4530㎚, Ra(촉침식 조도계)=0.42㎛, Rzjis(촉침식 조도계)=3.89㎛, 광택도 [Gs(60°)]=1.1이었다.Preparation of untreated copper foil: Copper sulfate solution as copper sulfate solution, copper concentration 80 g / l, free sulfuric acid 140 g / l, DDAC polymer concentration 4 ppm (using Unisce FPA10OL manufactured by Senka Co., Ltd.), low molecular weight glue (number average molecular weight) 1560: 6 ppm), a chlorine concentration of 15 ppm and a solution temperature of 50 ° C. were used to electrolyze at a current density of 60 A / dm 2 to obtain an untreated copper foil having a thickness of 18 μm. The roughness and glossiness of this untreated copper foil was Rzjis (Temperature Roughness Meter) = 1.02 µm, and the roughness and glossiness of the precipitated surface of the other surface were Ra (three-dimensional surface structure analysis). Microscope) = 360 nm, Rz (three-dimensional surface structure analysis microscope) = 4530 nm, Ra (tactile roughness meter) = 0.42 µm, Rzjis (tactile roughness meter) = 3.89 µm, glossiness [Gs (60 °)] = 1.1 It was.

그 후, 실시예 2와 마찬가지로 하여 흑색화 표면 처리 동박을 얻었다. 이 흑색화 표면 처리 동박의 흑색화 처리면의 광택도 [Gs(60°)]는 0.5였다. 또한, 당해 흑색화 처리면에 점착성 테이프를 붙였다가 떼어내는 것에 의한 테이프 테스트에서 분말 탈락 현상도 확인할 수 없었다.Thereafter, a blackened surface-treated copper foil was obtained in the same manner as in Example 2. The glossiness [Gs (60 °)] of the blackened surface of this blackened surface-treated copper foil was 0.5. In addition, powder dropout phenomenon could not be confirmed by the tape test by sticking and peeling an adhesive tape to the said blackening process surface.

헤이즈 측정 시험: 상기 실시예 1과 같은 방법으로 수지 부착 동박 상태로 하여, 이 상태에서 흑색화 표면 처리 동박을 표면 전체에 에칭하여, 수지 필름 단독으로 해서 이것을 헤이즈 측정용 시료로 하였다. 이 시료의 헤이즈 측정을 행한 결과, 45.0%였다.Haze measurement test: It was made into the copper foil state with resin by the method similar to the said Example 1, In this state, the blackening surface-treated copper foil was etched on the whole surface, it was made as the resin film alone, and it was set as the sample for haze measurement. It was 45.0% when the haze measurement of this sample was performed.

본 발명에 따른 흑색화 표면 처리 동박은, 그 흑색화 처리 표면의 평탄성이 뛰어나고, 당해 흑색화 표면 처리 동박을 이용하여 도전성 메시를 제조하고 에칭이 종료되어 회로간에 노출된 접착제층의 표면에 흐림 현상을 일으키는 정도가 낮기 때문에, 플라즈마 디스플레이 패널의 휘도를 열화시키지 않고, 화소의 발광 제어에 의한 의사 윤곽 장해의 해소에 크게 기여할 수 있다.The blackened surface-treated copper foil which concerns on this invention is excellent in the flatness of the blackened surface, and produced the conductive mesh using this blackened surface-treated copper foil, and the etching is complete | finished and the blur phenomenon on the surface of the adhesive bond layer exposed between circuits. Because of the low degree of occurrence of the fluorescence, it is possible to greatly contribute to eliminating pseudo contour obstacles by controlling the light emission of the pixel without degrading the luminance of the plasma display panel.

또한, 본 발명에 따른 흑색화 표면 처리 동박의 흑색화 처리면은, 일정한 조건에서 형성된 니켈계 흑색화 처리면 또는 코발트계 흑색화 처리면으로서 가지는 흑색화 처리를 채용하면, 분말의 탈락이 없고, 또한 양호한 흑색을 발휘하며, 그 흑색화 처리층은 통상의 동 에칭 프로세스로 에칭 제거가 가능하다. 따라서, 특별한 설비 투자를 요하지 않으며, 프린트 배선판을 제조하는 프로세스를 사용하여 고품질의 블랙 마스크의 플라즈마 디스플레이 패널의 전자파 차폐 도전성 메시를 제공할 수 있게 한다.Moreover, if the blackening process surface of the blackening surface-treated copper foil which concerns on this invention adopts the blackening process which has as a nickel-based blackening process surface or cobalt-based blackening process surface formed on the fixed conditions, there will be no powder fall-off, In addition, it exhibits good black color, and the blackening treatment layer can be etched away by a common copper etching process. Therefore, no special facility investment is required, and the process of manufacturing a printed wiring board can be used to provide a high-frequency black mask plasma display panel of an electromagnetic shielding conductive mesh.

Claims (7)

미처리 전해 동박의 표면에 흑색화 처리면을 마련하는 표면 처리 동박으로서, 상기 미처리 전해 동박은 3차원 표면 구조 해석 현미경을 이용하여 측정한 표면 거칠기 Ra가 45㎚ 이하인 표면을 가지고, 상기 표면에 흑색화 처리면을 마련한 것을 특징으로 하는 흑색화 표면 처리 동박.A surface-treated copper foil that provides a blackened surface on the surface of an untreated electrolytic copper foil, wherein the untreated electrolytic copper foil has a surface having a surface roughness Ra of 45 nm or less measured using a three-dimensional surface structure analysis microscope, and blackened to the surface. The blackening surface-treated copper foil characterized by providing the process surface. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 미처리 전해 동박의 흑색화 처리면을 마련하는 면은, 3차원 표면 구조 해석 현미경을 이용하여 측정한 표면 거칠기 Rz가 850㎚ 이하인 흑색화 표면 처리 동박.The surface which provides the blackening process surface of the said untreated electrolytic copper foil is blackening surface-treated copper foil whose surface roughness Rz measured using the three-dimensional surface structure analysis microscope is 850 nm or less. 제1항 또는 제2항에 있어서,The method according to claim 1 or 2, 상기 미처리 전해 동박의 흑색화 처리면을 마련하는 면은, JIS B 0601에 준거하여 측정했을 때의 표면 거칠기(Rzjis)가 0.8㎛ 미만의 저프로파일이고, 또한 광택도(Gs(60°))가 400 이상인 흑색화 표면 처리 동박.The surface which provides the blackening process surface of the said unprocessed electrolytic copper foil has the low profile whose surface roughness (Rzjis) is less than 0.8 micrometer when measured based on JISB0601, and the glossiness (Gs (60 degrees)) Blackening surface-treated copper foil which is 400 or more. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,The method according to any one of claims 1 to 3, 상기 흑색화 처리면에 녹 방지 처리층을 갖추는 것을 특징으로 하는 흑색화 표면 처리 동박.The blackening surface-treated copper foil provided with the antirust process layer on the said blackening process surface. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,The method according to any one of claims 1 to 4, 상기 흑색화 처리면은 광택도 [Gs(60°)]가 35 이하인 흑색화 표면 처리 동박.The said blackening process surface is the blackening surface-treated copper foil whose glossiness [Gs (60 degrees)] is 35 or less. 제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,The method according to any one of claims 1 to 5, 상기 흑색화 처리면은 니켈계 흑색화 처리면 또는 코발트계 흑색화 처리면인 흑색화 표면 처리 동박.The blackened surface-treated copper foil is a nickel-based blackened surface or a cobalt-based blackened surface. 제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 기재된 흑색화 표면 처리 동박을 이용한 플라즈마 디스플레이의 전면(前面) 패널용 전자파 차폐 도전성 메시.An electromagnetic wave shielding conductive mesh for a front panel of a plasma display using the blackened surface-treated copper foil according to any one of claims 1 to 6.
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