KR20080001953A - 카세트 입고 제어 장치 및 방법 - Google Patents

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김재현
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엘지.필립스 엘시디 주식회사
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Abstract

본 발명은 카세트에 기판을 보관하는 스토커에 카세트를 입고시키기 위한 제어 장치 및 방법에 관한 것으로서, 본 발명의 목적은 입력포트 제어장치와 1대1 관계로 정보를 교환하는 한편, 카세트 입고 에러가 발생되는 경우에 입력포트로부터 카세트를 출고시키지 않고서도 카세트 재입고를 위한 환경 설정을 자동적으로 수행할 수 있는, 카세트 입고 제어 장치 및 방법을 제공하는 것이다. 이를 위해 상기 본 발명에 따른 카세트 입고 제어장치는, 스토커의 카세트 입출력을 관리하는 카세트 입고 제어장치로부터 카세트 입고 에러 발생 정보를 입력받는 한편, 사용자에 의해 입력되는 자동제어 버튼 신호를 입력받기 위한 스위칭부와; 상기 스위칭부의 동작에 따라 카세트 출고 확인 신호를 발생하여 상기 입력포트 제어장치로 전송하기 위한 카세트 출고 확인부와; 상기 카세트 출고 확인 신호 발생 후 일정 시간이 경과한 후에 에러 확인 버튼 입력 신호를 상기 입력포트 제어장치로 전송하기 위한 제1 타이머와; 에러 확인 버튼 입력 신호 발생 후 상기 각 부의 동작 유지를 위한 전원을 공급하기 위한 전원 유지부; 및 상기 에러 확인 버튼 입력 신호 발생 후 일정 시간이 경과할 때까지 상기 카세트 출고 확인 상태를 유지하기 위한 제2 타이머를 포함한다.

Description

카세트 입고 제어 장치 및 방법{APPARATUS AND METHOD FOR CONTROLLING AN ENTERING OF A CASSETTE}
도 1은 클린룸 내의 액정표시장치 공정 라인에서 무인 반송차가 이용되는 일예를 나타낸 예시도.
도 2는 일반적인 스토커의 구성을 나타낸 일예시도.
도 3은 도 2에 도시된 스토커의 평면도.
도 4는 종래의 스토커의 일실시예 내부구성도.
도 5는 종래의 카세트 입고 제어 방법의 일실시예 흐름도.
도 6은 본 발명에 따른 카세트 입고 제어 장치가 적용된 스토커의 일실시예
내부구성도.
도 7은 본 발명에 따른 카세트 입고 제어 방법의 일실시예 흐름도.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 >
9 : 무인 반송차 10 : 스토커
20 : 공정장비 40 : 레일
15 : 카세트 30 : 스토커 아암
17 : 선반 21 : AGV 입력포트
23 : AGV 출력포트 29 : MGV 입/출력포트
본 발명은 카세트에 기판을 보관하는 스토커에 카세트를 입고시키기 위한 제어 장치 및 방법에 관한 것으로서, 특히, 카세트 입고 과정 중 에러가 발생될 경우에 대처할 수 있는 카세트 입고 제어 장치 및 방법에 관한 것이다.
일반적으로, 액정표시장치(Liquid Crystal Display ; 이하 "LCD"라 함)는 영상신호에 대응하도록 광빔의 투과량을 조절함에 의해 화상을 표시하는 대표적인 평판 표시장치이다. 특히, LCD는 경량화, 박형화, 저소비 전력구동 등의 특징으로 인해 그 응용범위가 점차 넓어지고 있는 추세에 있으며, 이러한 추세에 따라 LCD는 사무자동화(Office Automation) 장치 및 노트북 컴퓨터의 표시장치로 이용되고 있다.
한편, 상기 액정표시장치의 액정패널은 구동신호를 입력받는 박막트랜지스터기판(TFT 기판)(이하, 간단히 'TFT 기판'이라 함), 칼라필터층을 포함한 칼라필터 기판(C/F 기판)(이하, 간단히 'C/F 기판'이라 함) 및 박막트랜지스터기판과 칼라필터기판 사이에 개재된 액정층으로 구성된다.
상기와 같은 구조를 갖는 액정표시장치의 제조공정은 크게 기판 제조공정, 액정패널 제조공정 및 모듈 공정의 세 가지 공정으로 나뉘어진다.
먼저, 기판 제조공정은 세정된 유리기판을 사용하여 TFT 기판을 제조하는 공정 및 C/F 기판을 제조하는 공정으로 각각 나뉘어지는데, TFT 기판 제조공정은 하부 유리기판 상에 신호라인과, 복수의 박막트랜지스터 및 화소전극을 제조하는 공정을 말하며, C/F 기판 제조공정은 상부 유리기판 상에 블랙매트릭스(Blackmatirx)와, 칼라필터층과, 공통전극(ITO)을 순차적으로 제조하는 공정을 말한다.
다음으로, 액정패널 공정은 TFT 기판과 C/F 기판을 합착하고 그 사이에 액정을 주입하여 액정패널을 제조하는 공정으로서, 상기 액정패널 공정은 다시 배향막형성 공정, 러빙(Rubbing)공정, 셀 갭(Cell Gap)형성 공정, 어셈블리(Assembly) 공정, 셀 절단(Cell Cutting) 공정, 액정주입 공정, 편광 필름(Film) 부착 공정 등의 많은 단위공정으로 이루어진다.
마지막으로, 모듈공정은 액정패널과 신호처리 회로부를 연결시키는 공정으로서, 상기 모듈공정 역시 수많은 단위공정으로 이루어진다.
한편, 상기한 바와 같은 수많은 단위 공정들로 이루어진 액정표시장치의 제조공정은 일반적으로 클린룸에서 이루어지고 있으며, 어느 하나의 공정장비에서의 공정이 완료된 다수의 기판은 일단 카세트(Casset)에 적재된 후 무인 반송차(Automatic Guided Vehicle: AGV)에 의해 클린룸 내의 또 다른 공정장비로 이송된다.
도 1은 클린룸 내의 액정표시장치 공정 라인에서 무인 반송차가 이용되는 일예를 나타낸 예시도이다.
즉, 도 1에 도시된 바와 같이, 종래의 액정표시장치의 공정라인(클린룸)은 각 공정에 필요한 각종 공정장비(20)들, 각 공정장비들로 기판이 담겨진 카세트를 이동시키기 위한 수단인 무인 반송차(9), 무인 반송차의 이동을 위한 인지 수단으로 사용하기 위하여 클린룸의 바닥에 설치된 스파트 마크(Spot Mark)(41)로 구성된 레일(40) 및 다수의 카세트를 관리하기 위한 다수의 스토커(Stocker)(10)를 포함하여 구성된다.
한편, 상기한 바와 같은 LCD 장치의 기판 제조공정, 액정셀 제조공정 및 모듈 제조공정을 수행하기 위해서는, 기판이 각각의 공정에 사용되는 공정장비(20)로 순차적으로나 그룹형태로 반송 또는 이송되어져야만 한다. 또한, LCD 장치의 제조공정에서는 제조공정 상 일부의 공정장비(20)에 고장 발생시 고장 또는 수리를 위해 모든 제조공정 라인(line)을 중지시킬 수 없으므로 기판을 임시 저장할 수 있는 저장장치가 필요하다.
이를 위해 카세트(cassette)를 사용하여 다수의 기판을 낱장으로 저장 및 이송 가능하도록 할 수 있다. 또한, 다른 이유로 인하여 기판의 물량이 많아지고, 기판의 제조공정이 반복적으로 이루어질 경우 카세트를 보관 및 관리하기 위한 스토커(stocker)(10)가 필요하다.
도 2는 일반적인 스토커의 구성을 나타낸 일예시도로서, 도 1에 도시된 스토커(10)의 구성을 나타낸 것이며, 도 3은 도 2에 도시된 스토커의 평면도를 나타낸 것이다.
도 2 및 도 3을 참조하면, 일반적인 스토커는, 스토커(10) 내부의 시스템을 통제하는 SMC(Stocker Master Controller, 미도시)와, 이 SMC의 제어에 따라 카세트(15)를 로딩(loading) 또는 언로딩(unloading)하기 위한 스토커 아암(Arm)(30)과, 스토커 아암에 의해 로딩된 카세트를 각각 하나씩 보관하는 복수개의 선반(shelf)(17)과, 카세트를 운반하는 무인 반송차(AGV : Auto Guided Vehicle)(9)와 스토커(10)에 카세트(15)를 입고시키기 위해 카세트(15)를 내려놓기 위한 AGV 입력포트(21)와, 스토커(11)에 보관된 카세트(15)를 출고하여 AGV(9)에 인계하기 위한 AGV 출력포트(23)와, 작업자(25)에 의해 수동으로 이동되는 MGV(Manual Guided Vehicle)(27)를 사용하여 카세트(15)를 입출고하기 위한 MGV 입/출력포트(29) 등을 포함하여 구성된다.
이러한 구성을 갖는 스토커(10)에 카세트를 입고시키는 방법은 다음과 같다.
즉, AGV를 통해 카세트를 운반해와 AGV 입력포트(21)로 옮겨 놓거나 또는 MGV를 통해 운반해온 카세트를 사용자가 직접 MGV 입력포트(29)로 옮겨놓으면, 상기 스토커 아암(30)이 상기 카세트를 운반하여 선반(Shelf)(17)에 옮겨놓게 된다.
이하에서는 상기 AGV 입력포트(21) 또는 MGV 입력포트(29)를 통합하여 간단히 입력포트라 하겠다.
한편, 상기 입력포트(29)에 카세트를 옮겨 놓는 과정에서 각종 에러가 발생되면 상기 입력포트(29)에서는 카세트 입고 에러 출력과 함께 카세트를 다시 배출시키게 된다.
상기와 같은 카세트 입고 에러에 따른 과정을 도 4를 참고하여 설명하면 다음과 같다.
도 4는 종래의 스토커의 일실시예 내부구성도이며, 도 5는 종래의 카세트 입고 제어 방법의 일실시예 흐름도이다.
먼저, 상기한 바와 같이 AGV를 통해 운반되어온 카세트를 입력포트로 옮겨놓거나 또는 MGV를 통해 운반되어온 카세트를 사용자가 직접 입력포트로 옮겨놓는다(402).
카세트가 입력포트를 통해 입력되었음을 확인한 입력포트 제어장치(43)는 컨베이어를 통해 카세트를 내부로 입고시켜 상기 스토커 아암에 의해 입고시킬 준비를 하게 된다. 그러나, 상기 과정 중 에러가 발생되면(404), 상기 입력포트 제어장치(43)는 문자 또는 음성 또는 벨 소리 등을 이용하여 에러 메시지를 출력하는 한편(406), 카세트를 입력포트로부터 배출하게 된다(406).
즉, 타 공정장치에서 사용중인 것으로 판단되는 카세트 정보가 상기 입력포트 제어장치(43)로 입력되거나, 카세트의 관리 번호 등이 상기 입력포트 제어장치(43)로 잘못 입력되거나, 카세트가 상기 입력포트의 정 위치에 놓여지지 않은 것이 감지된 경우, 상기 입력포트 제어장치(43)는 에러 메시지를 출력한 후(406), 카세트를 배출시킴으로써, 사용자 또는 AVG가 반출해 가도록 한다. 이러한 과정은 상기 입력포트 제어장치가 스토커 제어장치(41)의 제어를 받아 이루어지게 된다.
이때, 사용자는 카세트를 상기 입력포트로부터 직접 출고해 내거나 또는 AGV를 통해 상기 카세트를 상기 입력포트로부터 출고해 내게 된다(408).
카세트를 상기 입력포트로부터 완전히 출고해낸 이후, 사용자는 입력포트 제어장치(43)를 통해 에러 확인 버튼을 입력하게 되며(410), 이에 따라 상기 입력포 트 제어장치(43)는 모든 시스템을 리셋시킴으로써, 또 다른 카세트를 입고 받을 준비를 하게 된다.
한편, 사용자는 카세트를 상기 입력포트에 재입고 시키게 되며(402), 상기 에러의 원인이 카세트 정보 입력과정에서 생긴 것이라면 상기 입력포트 제어장치(43)를 통해 에러 발생 원인에 대한 정보를 입력한다. 그러나, 단순히 카세트가 입력포트의 정위치에 놓여지지 않은 것이 에러의 발생 원인이라면 AGV를 통해 또는 직접 카세트를 운반하여 입력포트에 재입고시키는 과정을 수행하게 된다(402).
이후, 상기에서 설명된 에러 발생 확인 과정(402)이 재실행되며, 에러가 발생되지 않으면(404) 상기 입력포트 제어장치(43)는 카세트를 스토커 내부로 운반하여 상기 스토커 아암을 통해 지정된 선반으로 입고시키게 된다(414).
이때, 상기한 바와 같은 종래의 카세트 입고 제어 방법은, 에러 메시지가 출력된 후(406)에는, 일단 AGV를 통해 상기 입력포트에 놓여진 카세트를 출고시켜야 하므로(408) 상기 AGV의 동작을 위한 지연 시간이 발생된다는 문제점이 있다. 또한 사용자가 직접 상기 카세트를 출고시키는 경우에는 불필요하게 사람과 기판의 접촉이 발생되므로 기판에 불량이 발생될 수가 있으며, 다수의 기판이 탑재된 카세트를 운반하기 위한 많은 노력이 투입되어야만 한다는 문제점이 있다.
즉, 상기 카세트의 핸들링(Handling)은 클린룸 내부의 파티클(Particle) 발생의 주 원인이 될 뿐만 아니라, 카세트 핸들링을 위한 업무 부하가 크기 때문에, 가능한한 카세트의 핸들링은 줄여져야 함에도 불구하고, 상기와 같은 종래의 방법에 의하면, 에러 메시지 출력 후(406), 입력포트로부터 카세트를 일단 출고시켜야 하는 불필요한 공정이 더 수행되어져야 하므로, 기판 오염 및 공정 지연이 발생된다는 문제점이 있다.
따라서, 상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 목적은 입력포트 제어장치와 1대1 관계로 정보를 교환하는 한편, 카세트 입고 에러가 발생되는 경우에 입력포트로부터 카세트를 출고시키지 않고서도 카세트 재입고를 위한 환경 설정을 자동적으로 수행할 수 있는, 카세트 입고 제어 장치 및 방법을 제공하는 것이다.
상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명에 따른 카세트 입고 제어장치는, 스토커의 카세트 입출력을 관리하는 카세트 입고 제어장치로부터 카세트 입고 에러 발생 정보를 입력받는 한편, 사용자에 의해 입력되는 자동제어 버튼 신호를 입력받기 위한 스위칭부와; 상기 스위칭부의 동작에 따라 카세트 출고 확인 신호를 발생하여 상기 입력포트 제어장치로 전송하기 위한 카세트 출고 확인부와; 상기 카세트 출고 확인 신호 발생 후 일정 시간이 경과한 후에 에러 확인 버튼 입력 신호를 상기 입력포트 제어장치로 전송하기 위한 제1 타이머와; 에러 확인 버튼 입력 신호 발생 후 상기 각 부의 동작 유지를 위한 전원을 공급하기 위한 전원 유지부; 및 상기 에러 확인 버튼 입력 신호 발생 후 일정 시간이 경과할 때까지 상기 카세트 출고 확인 상태를 유지하기 위한 제2 타이머를 포함한다.
또한, 상기 카세트 입고 제어장치는, 상기 각 부의 동작 중 에러가 발생된 경우에 상기 각 부의 기능을 리셋시키기 위한 리셋부를 더 포함한다.
또한, 상기 스위칭부는, 상기 카세트 입고 에러 발생 정보가 상기 입력포트 제어장치로부터 입력됨에 따라 구동되며, 그 이후에 상기 자동제어 버튼 신호를 입력받는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 카세트 입고 제어방법은, 상기 입력포트 제어장치가 스토커의 입력포트에 놓여진 카세트를 인식하는 단계와; 상기 입력포트 제어장치가 상기카세트에 대한 정보 또는 입고 상태에 에러가 있는지를 판단하는 단계와; 상기 판단결과 에러가 발생되지 않은 경우에는 상기 카세트를 입고시켜 선반에 안착시키는 단계와; 상기 판단결과 에러가 발생된 경우, 상기 입력포트 제어장치가 에러신호를 발생하는 한편, 상기 카세트를 배출하도록 상기 입력포트를 제어하는 단계와; 상기 카세트 입고 제어장치가 상기 입력포트 제어장치로부터 에러신호를 입력받는 한편, 자동제어버튼 신호를 입력받는 단계와; 상기 카세트 입고 제어장치가 상기 카세트가 출고된 정보를 상기 입력포트 제어장치로 전송한 후 오류확인버튼 입력 신호를 상기 입력포트 제어장치로 전송하여 상기 입력포트 제어장치가 리셋 되도록 하는 자동 리셋 단계; 및 상기 입력포트 제어장치가 상기 오류확인버튼 입력 신호에 의해 리셋된 후 상기 입력포트에 입고되어 있는 카세트를 인식한 후 상기 에러 판단 단계를 재 수행하는 단계를 포함한다.
또한, 상기 자동 리셋 단계는, 상기 카세트 입고 제어장치가, 상기 입력포트에 카세트가 없음을 알리는 신호를 발생하여 상기 입력포트 제어장치로 전송하는 단계와; 상기 카세트 입고 제어장치가, 상기 신호가 발생된 후 소정의 시간이 경과된 후 오류 확인 버튼 입력 신호를 발생하여 상기 입력포트 제어장치로 전송하는 단계; 및 상기 카세트 입고 제어장치가, 상기 오류 확인 버튼 입력 신호 전송 후 소정의 시간을 지연시키는 단계를 포함한다.
또한, 상기 입력포트 제어장치는, 상기 자동 리셋 단계 동안, 상기 입력포트에 카세트가 실질적으로 입고되어 있음에도 불구하고, 상기 카세트 입고 제어장치로부터 전송되는 신호들에 의해 카세트가 입력포트에 없는 것으로 판단하는 것을 특징으로 한다.
상기 목적 외에 본 발명의 다른 목적 및 특징들은 첨부한 도면들을 참조한 실시예의 설명을 통하여 명백하게 드러나게 될 것이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예가 상세히 설명된다.
도 6은 본 발명에 따른 카세트 입고 제어 장치가 적용된 스토커의 일실시예 내부구성도이며, 도 7은 본 발명에 따른 카세트 입고 제어 방법의 일실시예 흐름도이다.
먼저, 도 6을 참조하여 본 발명에 따른 카세트 입고 제어장치가 적용된 스토커(80)의 구성이 설명된다.
즉, 도 6에 도시된 바와 같이 본 발명에 따른 카세트 입고 제어장치(50)가 적용된 스토커(80)는, 스토커 전체의 동작을 제어하기 위한 스토커 제어장치(60), 상기 스토커 제어장치의 제어에 따라 입력포트의 동작을 제어하기 위한 다수의 입 력포트 제어장치(70) 및 상기 다수의 입력포트 제어장치와 각각 통신을 수행하여 카세트 입고 과정을 제어하기 위한 다수의 카세트 입고 제어장치(50)를 포함하여 구성되어 있다.
한편, 상기 카세트 입고 제어장치(50)는, 카세트 입고 에러 발생 정보 및 사용자로부터 자동제어 버튼 신호를 입력받기 위한 스위칭부(52), 상기 스위칭부의 동작에 따라 카세트 출고 확인 신호를 발생하여 상기 입력포트 제어장치로 전송하기 위한 카세트 출고 확인부(53), 상기 카세트 출고 확인 신호 발생 후 일정 시간이 경과한 후에 에러 확인 버튼 입력 신호를 상기 입력포트 제어장치로 전송하기 위한 제1 타이머(54), 에러 확인 버튼 입력 신호 발생 후 상기 각 부의 동작 유지를 위한 전원을 공급하기 위한 전원 유지부(55), 상기 에러 확인 버튼 입력 신호 발생 후 일정 시간이 경과할 때까지 상기 카세트 출고 확인 상태를 유지하기 위한 제2 타이머(57) 및 상기 각 부의 동작 중 에러가 발생된 경우에 상기 각 부의 기능을 리셋시키기 위한 리셋부(57)를 포함하여 구성되어 있다.
이때, 상기 스위칭부(52)는 상기 카세트 입고 에러 발생 정보가 상기 입력포트 제어장치(70)로부터 입력됨에 따라 구동되며, 그 이후에 상기 자동제어 버튼 신호를 입력받을 수 있게 된다. 즉, 상기 자동제어 버튼 신호는 상기 카세트 입고 제어장치에 구비된 버튼을 통해 입력된다.
상기와 같은 구성을 갖는 카세트 입고 제어장치를 이용한 카세트 입고 제어 방법을 설명하면 다음과 같다.
먼저, AGV를 통해 운반되어온 카세트를 입력포트로 옮겨놓거나 또는 MGV를 통해 운반되어온 카세트를 사용자가 직접 입력포트로 옮겨놓는다(702).
카세트가 입력포트를 통해 입력되었음을 확인한 입력포트 제어장치(70)는 컨베이어를 통해 카세트를 내부로 입고시켜 상기 스토커 아암에 의해 입고시킬 준비를 하게 된다. 그러나, 상기 과정 중 에러가 발생되면(704), 상기 입력포트 제어장치(70)는 문자 또는 음성 또는 벨 소리 등을 이용하여 에러 메시지를 출력하는 한편, 카세트를 입력포트로부터 배출하게 된다(706).
즉, 타 공정장치에서 사용중인 것으로 판단되는 카세트 정보가 상기 입력포트 제어장치(70)로 입력되거나, 카세트의 관리 번호 등이 상기 입력포트 제어장치(70)로 잘못 입력되거나, 카세트가 상기 입력포트의 정 위치에 놓여지지 않은 것이 감지된 경우(704), 상기 입력포트 제어장치(70)는 에러 메시지를 출력한 후(706), 카세트를 배출시키게 된다.
이때, 상기 에러 메시지는 상기 카세트 입고 제어장치(60)의 스위칭부(52)로 전송되며, 상기 스위칭부를 통해 자동제어버튼 신호가 입력되면(708) 상기 카세트입고 제어장치(50)의 구동이 시작된다.
즉, 상기 스위칭부(52)를 통해 자동제어버튼 신호가 입력되면, 상기 카세트출고 확인부(53)는 상기 입력포트에 카세트가 없음을 알리는 신호를 발생하여 상기입력포트 제어장치(70)로 전송하게 된다(710). 상기 과정에 의해 상기 입력포트 제어장치(70)는 입력포트에 실질적으로 카세트가 놓여져 있음에도 불구하고 카세트가 없는 상태로 인식하게 된다.
한편, 상기 제1 타이머(54)는 상기 과정(710)의 신호가 발생된 후 소정의 시 간(약 2초)이 지나면 오류 확인 버튼 입력 신호를 발생하여 상기 입력포트 제어장치(70)로 전송하게 된다(712).
이때, 카세트가 없음을 알리는 신호가 발생(710)된 즉시 오류 확인 버튼이 입력되면(712), 상기 입력포트 제어장치(70)가 카세트 출고 및 오류 확인 버튼 입력이 동시에 일어난 것으로 인식하게 되며, 이로 인해 회로에 오류가 발생될 수 있기 때문에 본 발명에서는 상기 제1 타이머를 두어 소정의 시간이 경과된 후 오류 확인 버튼 입력 신호를 발생(712)하도록 하고 있다.
상기 과정(712)을 통해 오류 확인 버튼 입력 신호가 발생되면 상기 입력포트 제어장치(70)는 리셋되어 새로운 카세트를 입고 받을 준비를 하게 되나, 상기 카세트 입고 제어장치는 카세트 재입고를 위한 과정을 수행해야 하므로, 상기 전원 유지부(55)는 상기 각 부의 전원을 유지하도록 하는 기능을 수행한다(714).
한편, 상기 제2 타이머는 소정의 시간(약 2초)이 경과될 때까지 상기 오류 확인 버튼 입력 신호를 유지하게 된다(716). 즉, 상기 과정들(708 내지 714)이 진행되는 동안 입력포트에 실질적으로 카세트가 놓여져 있음에도 불구하고 카세트가 없다는 신호를 상기 카세트 입고 제어장치(60)가 가상적으로 발생하여 상기 입력포트 제어장치(70)로 전송한 것이기 때문에, 상기 오류 확인 버튼 입력 신호 발생(712) 후 출고 확인 상태 유지 과정(716)를 거치지 않는다면, 상기 입력포트 제어장치(70)는 오류 확인 버튼 입력 신호 발생과 함께 카세트가 입력포트에 놓여져 있음을 감지하게 되므로, 회로 동작 중 오류가 발생될 수 있다.
즉, 상기 출고 확인 상태 유지 과정(716)을 거치는 동안, 상기 입력포트 제 어장치(70)의 센서는 상기 입력포트에 놓여진 카세트를 인식하게 되므로(718), 만약 상기 유지 과정이 없다면, 카세트 출고 확인 상태와 카세트 입고 확인 상태가 동시에 발생되어 전체 시스템의 동작에 오류가 발생될 수도 있기 때문이다.
따라서, 사용자는 상기 입력포트 제어장치(70)가 카세트 입고를 인식한 상태에서(718) 상기 에러의 원인이 카세트 정보 입력과정에서 생긴 것이라면 상기 입력포트 제어장치(70)를 통해 에러 발생 원인에 대한 정보를 입력할 뿐, 별도의 카세트 운반과정을 거칠 필요가 없다.
한편, 상기한 바와 같이 종래에는 카세트 입고 과정에서 오류가 발생되면, 입력포트에 이미 놓여져 있던 카세트를 출고시킨 후 오류 확인 버튼을 입력시켰으나, 본 발명에 의하면, 카세트 입고 과정에서 오류가 발생된 경우라도, 입력포트에 이미 놓여져 있던 카세트를 출고시킬 필요가 없으며, 상기 카세트 입고 제어장치(50)가 가상적으로 카세트가 없음을 알리는 신호를 상기 입력포트 제어장치(70)로 전송하며, 이후 소정의 시간이 지나면 오류 확인 버튼 입력 신호를 자동적으로 상기 입력포트 제어장치(70)로 전송하게 된다.
따라서, 사용자가 단순히 자동제어버튼만을 선택하게 되면, 상기 카세트 입고 제어장치(50)가, 카세트 출고 정보 및 오류확인버튼 입력신호를 순차적으로 발생시켜 상기 입력포트 제어장치(70)로 전송하게 되므로, 사용자는 카세트를 출고 및 입고시킬 필요가 없으며, 따라서, 공정시간이 단축될 수 있을 뿐만 아니라, 카세트 운반에 의한 카세트 내부의 기판 오염이 방지될 수 있다.
상술된 바와 같은 본 발명은 카세트를 스토커에 입고시키는 과정에서 에러가 발생된 경우, 스토커의 카세트 입력포트에 이미 놓여져 있는 카세트를 다시 반출시켰다가 재입고 시켜야 하는 문제점을 해결함으로써, 작업 지연을 방지할 수 있다는 우수한 효과가 있다.
또한, 본 발명은 카세트 반출 및 재입고 과정에서 카세트 핸들링에 의한 파티클 발생을 방지할 수 있다는 우수한 효과가 있다.
이상 설명한 내용을 통해 당업자라면 본 발명의 기술사상을 일탈하지 아니하는 범위에서 다양한 변경 및 수정이 가능함을 알 수 있을 것이다. 따라서, 본 발명의 기술적 범위는 명세서의 상세한 설명에 기재된 내용으로 한정되는 것이 아니라 특허 청구의 범위에 의해 정하여 져야만 할 것이다.

Claims (6)

  1. 스토커의 카세트 입출력을 관리하는 카세트 입고 제어장치로부터 카세트 입고 에러 발생 정보를 입력받는 한편, 사용자에 의해 입력되는 자동제어 버튼 신호를 입력받기 위한 스위칭부와;
    상기 스위칭부의 동작에 따라 카세트 출고 확인 신호를 발생하여 상기 입력포트 제어장치로 전송하기 위한 카세트 출고 확인부와;
    상기 카세트 출고 확인 신호 발생 후 일정 시간이 경과한 후에 에러 확인 버튼 입력 신호를 상기 입력포트 제어장치로 전송하기 위한 제1 타이머와;
    에러 확인 버튼 입력 신호 발생 후 상기 각 부의 동작 유지를 위한 전원을 공급하기 위한 전원 유지부; 및
    상기 에러 확인 버튼 입력 신호 발생 후 일정 시간이 경과할 때까지 상기 카세트 출고 확인 상태를 유지하기 위한 제2 타이머를 포함하는 카세트 입고 제어장
    치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 각 부의 동작 중 에러가 발생된 경우에 상기 각 부의 기능을 리셋시키기 위한 리셋부를 더 포함하는 카세트 입고 제어장치.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 스위칭부는,
    상기 카세트 입고 에러 발생 정보가 상기 입력포트 제어장치로부터 입력됨에 따라 구동되며, 그 이후에 상기 자동제어 버튼 신호를 입력받는 것을 특징으로 하는 카세트 입고 제어장치.
  4. 입력포트 제어장치 및 카세트 입고 제어장치를 포함하는 스토커에 적용되는 카세트 입고 제어 방법에 있어서,
    상기 입력포트 제어장치가 스토커의 입력포트에 놓여진 카세트를 인식하는 단계와;
    상기 입력포트 제어장치가 상기 카세트에 대한 정보 또는 입고 상태에 에러가 있는지를 판단하는 단계와;
    상기 판단결과 에러가 발생되지 않은 경우에는 상기 카세트를 입고시켜 선반에 안착시키는 단계와;
    상기 판단결과 에러가 발생된 경우, 상기 입력포트 제어장치가 에러신호를 발생하는 한편, 상기 카세트를 배출하도록 상기 입력포트를 제어하는 단계와;
    상기 카세트 입고 제어장치가 상기 입력포트 제어장치로부터 에러신호를 입력받는 한편, 자동제어버튼 신호를 입력받는 단계와;
    상기 카세트 입고 제어장치가 상기 카세트가 출고된 정보를 상기 입력포트 제어장치로 전송한 후 오류확인버튼 입력 신호를 상기 입력포트 제어장치로 전송하여 상기 입력포트 제어장치가 리셋 되도록 하는 자동 리셋 단계; 및
    상기 입력포트 제어장치가 상기 오류확인버튼 입력 신호에 의해 리셋된 후 상기 입력포트에 입고되어 있는 카세트를 인식한 후 상기 에러 판단 단계를 재 수행하는 단계를 포함하는 카세트 입고 제어 방법.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 자동 리셋 단계는,
    상기 카세트 입고 제어장치가, 상기 입력포트에 카세트가 없음을 알리는 신호를 발생하여 상기 입력포트 제어장치로 전송하는 단계와;
    상기 카세트 입고 제어장치가, 상기 신호가 발생된 후 소정의 시간이 경과된 후 오류 확인 버튼 입력 신호를 발생하여 상기 입력포트 제어장치로 전송하는 단계; 및
    상기 카세트 입고 제어장치가, 상기 오류 확인 버튼 입력 신호 전송 후 소정의 시간을 지연시키는 단계를 포함하는 카세트 입고 제어 방법.
  6. 제 4 항에 있어서,
    상기 입력포트 제어장치는,
    상기 자동 리셋 단계 동안, 상기 입력포트에 카세트가 실질적으로 입고되어 있음에도 불구하고, 상기 카세트 입고 제어장치로부터 전송되는 신호들에 의해 카세트가 입력포트에 없는 것으로 판단하는 것을 특징으로 하는 카세트 입고 제어 방법.
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