KR200165369Y1 - 반송 웨이퍼의 카운트 장치 - Google Patents
반송 웨이퍼의 카운트 장치 Download PDFInfo
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Abstract
본 고안은 웨이퍼의 수량의 현재 카운트된 양을 확인할 수 있도록 개선시킨 반송 웨이퍼의 카운트 장치에 관한 것으로서, 웨이퍼의 유무를 낱장별로 센싱하는 카운트보드와, 상기 카운트보드에서 센싱된 웨이퍼의 낱장별 유무에 대한 신호를 출력하는 센싱신호처리부, 상기 센싱신호처리부로부터 입력된 신호로 공정챔버로 출입되는 웨이퍼의 수량을 카운트하고 상기 공정챔버의 공정 및 웨이퍼의 반송을 제어하는 컨트롤부를 포함하여 구성된 반송 웨이퍼의 카운트 장치에 있어서, 상기 카운트보드에서 웨이퍼를 센싱할 때 마다 실시간으로 전송되는 센싱신호가 상기 센싱신호처리부를 통해 상기 컨트롤부로 공급되도록 연결되고, 상기 컨트롤부로부터 상기 센싱신호를 공급받아서 실시간으로 처리하여 웨이퍼 카운트 상태를 시각적으로 표시하는 디스플레이수단이 구성되어 이루어진다.
따라서, 현재 카운트보드에서 체크된 웨이퍼의 카운트 매수가 디스플레이되며, 웨이퍼 카운트 에러지점도 쉽게 알 수 있으므로, 설비 및 공정의 관리가 용이해지는 효과가 있다
Description
본 고안은 반송 웨이퍼의 카운트 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 현재 카운트되는 웨이퍼의 수량을 수시로 확인할 수 있고, 시스템 에러가 발생된 경우에 용이하게 현재 카운트된 웨이퍼 양을 확인할 수 있도록 개선시킨 반송 웨이퍼의 카운트 장치에 관한 것이다.
통상, 웨이퍼를 가공하여 반도체장치를 제조하는 공정에는 산화, 확산, 사진식각, 증착 및 이온주입등 여러 가지 단위 공정들이 포함되어 있으며, 이들 공정을 수행하기 위한 설비간 또는 설비내부로는 웨이퍼 로딩을 위한 반송장치가 구성되어 있다.
웨이퍼의 반송은 로봇(Robot) 또는 척(Chuck)과 같은 것으로 이루어지며, 이러한 이송장치로 웨이퍼는 공정챔버 내부에 로딩(Loading)되거나 언로딩(Unloading)된다.
그리고, 로딩되는 웨이퍼의 수량은 제1도에 구성된 카운트보드(Count Board)(10)의 각 슬롯(Slot)에 구성된 수·발광(도시되지 않음) 어셈블리(Assembly)로 구성된 센서에 의한 센싱(Sensing)을 이용하여 체크된다.
즉, 카운트보드(10)의 각 센서는 현재 해당 슬롯에의 웨이퍼 유무 상태를 센싱하며, 이 센싱상태는 센싱신호 처리부(12)에서 감지한다. 즉 구성에 따라 다를수 있지만 센싱신호처리부(12)로 정해진 레벨 이상의 전압이 센서를 통하여 인가되면 웨이퍼가 해당 슬롯에 존재하는 것이고, 정해진 레벨 이하의 전압이 센서를 통하여 인가되면 웨이퍼가 해당 슬롯에 없는 것이다.
그러면 센싱신호처리부(12)는 카운트보드(10)의 센서에 의하여 센싱된 신호에 대한 에러(Error)를 체크한 후 컨트롤부(14)로 공급하고, 컨트롤부(14)에서는 입력된 신호로 현재 웨이퍼의 수량을 카운트 한다. 그리고, 컨트롤부(14)는 이렇게 카운트된 웨이퍼에 대해 공정챔버(16)에서 공정을 수행시키기 전에 반송부(18)에 의하여 보트(Boat)에 실리는 웨이퍼의 수량을 확인한다.
그러나, 전술한 종래의 반송 웨이퍼의 카운트 장치는 반송부(18)에 의하여 공정챔버(16)의 보트로 웨이퍼 이송을 완료하고, 보트가 공정챔버(16)로 무빙(Moving)이 완료된 후에만 액정 디스플레이장치(20)로 웨이퍼의 수량을 디스플레이하도록 구성되었다.
그러므로, 웨이퍼가 이송되는 중도에 설비이상으로 에러가 발생하면, 현재 반송된 웨이퍼의 수량 및 카운트 에러 위치를 즉시 체크할 수 없기 때문에 공정설비의 관리가 어려운 문제점이 있었다.
본 고안의 목적은, 현재 공정챔버로 반송되는 웨이퍼의 실재 수량을 수시로 확인할 수 있도록 카운트되는 양을 디스플레이시키기 위한 반송 웨이퍼의 카운트 장치를 제공하는 데 있다.
제1도는 종래의 반송 웨이퍼의 카운트 장치를 나타내는 블록도이다.
제2도는 본 고안에 따른 반송 웨이퍼의 카운트 장치의 실시예를 나타내는 블록도이다.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
10 : 카운트보드 12 : 센싱신호처리부
14 : 컨트롤부 16 : 공정챔버
18 : 반송부 20 : 액정 디스플레이장치
22 : 세그먼트
상기 목적을 달성하기 위한 본 고안에 따른 반송 웨이퍼의 카운트 장치는, 웨이퍼의 유무를 낱장별로 센싱하는 카운트보드와, 상기 카운트보드에서 센싱된 웨이퍼의 낱장별 유무에 대한 신호를 출력하는 센싱신호처리부, 상기 센싱신호처리부로부터 입력된 신호로 공정챔버로 출입되는 웨이퍼의 수량을 카운트하고 상기 공정챔버의 공정 및 웨이퍼의 반송을 제어하는 컨트롤부를 포함하여 구성된 반송 웨이퍼의 카운트 장치에 있어서, 상기 카운트보드에서 웨이퍼를 센싱할 때 마다 실시간으로 전송되는 센싱신호가 상기 센싱신호처리부를 통해 상기 컨트롤부로 공급되도록 연결되고, 상기 컨트롤부로부터 상기 센싱신호를 공급받아서 실시간으로 처리하여 웨이퍼 카운트 상태를 시각적으로 표시하는 디스플레이수단이 구성되어 이루어진다. 그리고, 디스플레이수단은 발광다이오드(LED)로 구성된 세그먼트(Segment)로 이루어짐이 바람직하다.
이하, 본 고안의 구체적인 실시예를 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
제2도는 본 고안에 따른 실시예이고, 제2도에 있어서 제1도와 동일부품은 동일부호로 나타내며, 중복된 구성 설명은 생략한다.
실시예는 센싱신호처리부(12)가 카운트보드(10) 상의 슬롯별 웨이퍼의 존재를 감지한 신호를 컨트롤부(14)로 인가하도록 구성되어 있고, 컨트롤부(14)는 반송부(18)와 공정챔버(16)를 제어하도록 구성되어 있으며, 컨트롤부(14)로부터 인가되는 정보를 디스플레이하도록 액정 디스플레이장치(20)가 구성되어 있다. 그리고, 컨트롤부(14)에는 현재 카운트되고 있는 웨이퍼의 수량 및 에러가 발생한 경우 발생위치를 디스플레이하도록 발광다이오드로 구성된 세그먼트(22)가 연결되어 있다.
전술한 바와 같이 구성됨에 의하여 본 고안에 따른 실시예는 현재 카운트되고 있는 웨이퍼의 양, 즉 보트로 반송되거나 보트에서 반송됨에 따른 카운트보드(10) 상의 웨이퍼 수량이 컨트롤부(14)에 의하여 체크되어 세그먼트(22)로 인가된다.
그러면, 세그먼트(22)는 컨트롤부(14)로부터 제공되는 내용을 디스플레이한다. 그리고 세그먼트(22)에서의 디스플레이는 각 구성 발광다이오드의 발광 상태의 가변으로 이루어진다. 그 디스플레이되는 웨이퍼의 수 또는 에러발생위치를 작업자가 쉽게 확인하기 위해서는 눈에 잘 띄는 위치에 세그먼트(22)가 구성됨이 바람직하다.
즉 웨이퍼가 보트로 이송되는 상태에서 한 로트의 단위 수량의 범위 내에서 카운트가 이루어지며, 로트가 25매의 웨이퍼로 구성된 경우 25매의 웨이퍼 카운트가 완료되면 보트로 웨이퍼가 모두 실린 상태이다.
이 과정에서 설비이상으로 에러가 발생하면, 세그먼트(22)에는 현재 카운트한 수량이 그대로 디스플레이되어 반송이 어느 정도까지 이루어진 상태에서 설비의 에러(Error)로 인한 가동중단이 발생되었는지 쉽게 확인할 수 있다.
그리고, 웨이퍼의 카운트보드(10) 상에서 에러가 발생한 경우 이 에러 발생지점을 지정하는 코드를 세그먼트(22)로 디스플레이시킴으로써 작업자는 특정 슬롯에서 에러가 발생한 것을 인식하고 즉시 그에 대한 조치를 취할 수 있다. 그러므로 이로 인한 웨이퍼의 손상이 방지된다.
따라서, 본 고안에 의하면 현재 카운트보드에서 체크된 웨이퍼의 카운트 매수가 디스플레이되며, 웨이퍼 카운트 에러지점도 쉽게 알 수 있으므로 설비 및 공정의 관리가 용이해지는 효과가 있다.
이상에서 본 고안은 기재된 구체예에 대해서만 상세히 설명되었지만 본 고안의 기술사상 범위 내에서 다양한 변형 및 수정이 가능함은 당업자에게 있어서 명백한 것이며, 이러한 변형 및 수정이 첨부된 실용신안등록청구범위에 속함은 당연한 것이다.
Claims (1)
- (정정) 웨이퍼의 유무를 낱장별로 센싱하는 카운트보드와, 상기 카운트보드에서 센싱된 웨이퍼의 낱장별 유무에 대한 신호를 출력하는 센싱신호처리부, 상기 센싱신호처리부로부터 입력된 신호로 공정챔버로 출입되는 웨이퍼의 수량을 카운트하고 상기 공정챔버의 공정 및 웨이퍼의 반송을 제어하는 컨트롤부를 포함하여 구성된 반송 웨이퍼의 카운트 장치에 있어서, 상기 카운트보드에서 웨이퍼를 센싱할 때 마다 실시간으로 전송되는 센싱 신호가 상기 센싱신호처리부를 통해 상기 컨트롤부로 공급되도록 연결되고, 상기 컨트롤부로부터 상기 센싱신호를 공급받아서 실시간으로 처리하여 웨이퍼 카운트 상태를 시각적으로 표시하는 디스플레이수단이 구성됨을 특징으로 하는 반송 웨이퍼의 카운트 장치.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR2019960015755U KR200165369Y1 (ko) | 1996-06-13 | 1996-06-13 | 반송 웨이퍼의 카운트 장치 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR2019960015755U KR200165369Y1 (ko) | 1996-06-13 | 1996-06-13 | 반송 웨이퍼의 카운트 장치 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR980005430U KR980005430U (ko) | 1998-03-30 |
| KR200165369Y1 true KR200165369Y1 (ko) | 2000-01-15 |
Family
ID=19458479
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR2019960015755U KR200165369Y1 (ko) | 1996-06-13 | 1996-06-13 | 반송 웨이퍼의 카운트 장치 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR200165369Y1 (ko) |
-
1996
- 1996-06-13 KR KR2019960015755U patent/KR200165369Y1/ko not_active IP Right Cessation
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR980005430U (ko) | 1998-03-30 |
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