KR101340990B1 - 기판 로딩 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 기판을 공정 장비로 로딩 또는 언로딩하기 위한 기판 로딩 장치에 관한 것으로서, 본 발명의 목적은, 로더에 카세트가 안착되면 로봇 아암의 위치가 카세트의 위치에 맞게 보정되어 기판을 이재할 수 있도록 하는 기판 로딩 장치를 제공하는 것이다. 이를 위해 본 발명의 실시예에 따른 기판 로딩 장치는, 카세트가 놓여지는 위치정보를 생성하기 위한 위치정보 생성부를 구비하는 로더; 상기 카세트로부터 기판을 로딩 또는 언로딩하기 위한 로봇; 상기 위치정보 생성부로부터 전송된 위치정보를 이용하여 상기 로봇의 위치를 보정할 보정정보를 생성하며, 상기 보정정보에 따라 상기 로봇을 구동하여 상기 카세트로부터 기판을 로딩 또는 언로딩하기 위한 제어부를 포함한다.

Description

기판 로딩 장치{APPARATUS FOR LOADING A SUBSTRATE}
도 1은 클린룸 내의 액정표시장치 공정 라인에서 무인 반송차가 이용되는 일예를 나타낸 예시도.
도 2는 일반적인 공정장비의 평면도를 나타낸 예시도.
도 3은 일반적인 기판 로딩 장치의 일예시도.
도 4는 본 발명에 따른 기판 로딩 장치의 일실시예 구성도.
도 5는 본 발명에 따른 기판 로딩 장치의 일실시예 사용 상태도.
도 6 내지 도 8은 본 발명에 적용되는 위치정보 생성부의 다양한 예시도.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 >
40 : 카세트 50 : 로더
60 : 로봇 70 : 제어부
90 : 위치정보 생성부
본 발명은 기판을 로딩 또는 언로딩하는 장치에 관한 것으로서, 특히, 기판을 공정 장비로 로딩 또는 언로딩하기 위한 기판 로딩 장치에 관한 것이다.
액정표시장치(Liquid Crystal Display)는 영상신호에 대응하도록 광빔의 투과량을 조절함에 의해 화상을 표시하는 대표적인 평판 표시장치이다. 특히, LCD는 경량화, 박형화, 저소비 전력구동 등의 특징으로 인해 그 응용범위가 점차 넓어지고 있는 추세에 있으며, 이러한 추세에 따라 LCD는 사무자동화(Office Automation) 장치 및 노트북 컴퓨터의 표시장치로 이용되고 있다.
액정표시장치는 액정패널과 상기 액정패널에 광을 조사하는 백라이트 유닛으로 구분된다. 이러한 액정패널 및 백라이트 유닛은 일체화된 형태로 체결되어야 함과 아울러 외부의 충격에 의하여 손상되지 않도록 케이스로 보호되어 있다.
액정패널은 구동신호를 입력받는 박막트랜지스터 기판(TFT 기판)(이하, 간단히 'TFT 기판'이라 함), 칼라필터층을 포함한 칼라필터기판(C/F 기판)(이하, 간단히 'C/F 기판'이라 함) 및 TFT 기판과 C/F 기판 사이에 개재된 액정층으로 구성된다.
상기와 같은 구조를 갖는 액정표시장치의 제조공정은 크게 기판 제조공정, 액정패널 제조공정 및 모듈 공정의 세 가지 공정으로 나뉘어지며, 상기 공정들은 수많은 세부 단위 공정들로 이루어진다.
상기한 바와 같이 수많은 단위 공정들로 이루어진 액정표시장치의 제조공정은 일반적으로 클린룸에서 이루어지고 있으며, 어느 하나의 공정장비에서의 공정이 완료된 다수의 기판은 일단 카세트(Casset)에 적재된 후 무인 반송차(Automatic Guided Vehicle: AGV) 등의 이송장치에 의해 클린룸 내의 또 다른 공정장비로 이송된다.
도 1은 클린룸 내의 액정표시장치 공정 라인에서 무인 반송차가 이용되는 일예를 나타낸 예시도이다.
종래의 액정표시장치의 공정라인(클린룸)은 도 1에 도시된 바와 같이, 각 공정에 필요한 각종 공정장비(20)들, 각 공정장비들로 기판이 담겨진 카세트를 이동시키기 위한 수단인 무인 반송차(9), 무인 반송차의 이동을 가이드하기 위한 레일(40) 및 다수의 카세트를 관리하기 위한 다수의 스토커(Stocker)(10)를 포함하여 구성된다.
도 2는 일반적인 공정장비의 평면도를 나타낸 예시도로서, 도 1에 도시된 공정장비(20)를 보다 세부적으로 나타낸 것이다.
일반적인 공정장비(20)는 도 2에 도시된 바와 같이, 공정을 거치게될 기판이 수십 매씩 내부에 적재된 기판 실장 카세트(30a)가 놓여지는 로더(Loader)(22a), 기판에 대해 실질적으로 각종 공정을 수행하는 공정 수행 라인(EQ)(23), 기판 실장 카세트에 놓여진 기판을 공정 수행 라인으로 옮기기 위한 로봇(21a), 기판이 탑재되어 있지 않은 공 카세트(30b)가 놓여지는 언로더(Unloader)(22b) 및 공정 수행 라인을 거친 기판을 공 카세트(30b)로 옮기기 위한 로봇(21b)을 포함하여 구성되어 있다.
즉, 무인 반송차(9)에 의해 공정장비(20)의 로더(22a)에 투입된 기판 실장 카세트(30a)는, 다시 공 카세트(30b) 상태로 상기 무인 반송차(9)에 의해 언로더(22b)에 놓여진 후, 공정을 거친 기판이 재탑재된 상태에서 무인 반송차(9)에 의해 또 다른 공정장비 등으로 이송된다.
도 3은 일반적인 기판 로딩 장치의 일예시도로서, 도 2에 도시된 로더(22a)에 기판 실장 카세트(30a)가 놓여진 상태를 나타내고 있다.
일반적인 기판 로딩 장치는 도 3에 도시된 바와 같이, 기판 실장 카세트(30a)가 놓여지는 로더(22a) 및 상기 기판 실장 카세트에 실장되어 있는 기판을 공정 수행 라인(23)으로 이송하기 위한 로봇(21a)을 포함하고 있으며, 도면에 도시되어 있지는 않지만 상기 로더(22a)의 클램프(22a-1) 및 상기 로봇(21a)을 구동하기 위한 제어부를 더 포함하고 있다.
상기 로더(22a) 중 기판 실장 카세트(30a)가 놓여지는 상부면에는 클램프(22a-1) 및 상기 클램프가 이동되는 클램프 홀(22a-2)이 형성되어 있다.
상기 로봇(21a)의 로봇 아암은 실질적으로 기판(1)을 기판 실장 카세트(30a)로부터 이재하여 공정 수행 라인(23)으로 이송하게 된다.
상기 제어부는 상기 클램프(22a-1) 및 로봇(21a)의 구동을 제어하는 기능을 수행하고 있으나, 상기 클램프(22a-1) 및 로봇(21a)은 별도의 제어부에 의해 개별적으로 구동될 수도 있다.
상기와 같은 구성을 갖는 일반적인 기판 로딩 장치가 카세트(30a)로부터 공정 수행 라인(23)으로 기판(1)을 이송하는 공정은 다음과 같다.
먼저, 기판 실장 카세트(30a)가 무인 반송차(9) 등에 의해 이송되어 로 더(22a)의 상단에 놓여지면, 상기 제어부에 의해 클램프(22a-1)가 구동되며, 상기 클램프(22a-1)에 의해 상기 기판 실장 카세트(30a)가 정위치로 정렬된다.
상기 제어부는 로봇(21a)을 구동하게 되며, 로봇(21a)은 기판 실장 카세트(30a)에 놓여져 있는 기판(1)을 이재하여 공정 수행 라인(23)으로 기판을 이송하게 된다.
그러나, 상기한 바와 같은 종래의 기판 로딩 장치에서, 로봇(21a)이 기판(1)을 이재하는 경우에는, 로봇(21a)의 로봇 아암 및 카세트의 위치가 정렬되지 않는 경우가 발생될 수 있으며, 이로인해 기판이 파손될 수 있다는 문제점이 있다.
즉, 클램프(22a-1)의 동작을 담당하는 실린더(Cylinder) 등의 고장에 의해 기판 실장 카세트(30a)가 정위치로 정렬되어 있지 못한 경우에는 로봇 아암이 기판을 정확히 이재할 수 없으며, 이로 인해 로봇 아암과 기판이 충돌하는 경우가 발생될 수 있다. 더욱이, 클램프(22a-1)의 동작에 문제가 발생된 로더(22a)는 그 사용이 중지되어야 하므로, 기판의 제조 공정이 지연되는 문제가 발생될 수도 있다.
또한, 클램프(22a-1)가 정비에 의해 정상적으로 작동되는 경우에도, 기판 실장 카세트(30a)의 위치와 로봇 아암의 위치가 재정렬될 수 있도록, 로봇 아암의 위치가 재조정되어야 하므로, 그에 따른 공정 지연 문제가 발생될 수 있다.
따라서, 상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 목적은, 로더에 카세트가 안착되면 로봇 아암의 위치가 카세트의 위치에 맞게 보정되어 기판을 이재 할 수 있도록 하는 기판 로딩 장치를 제공하는 것이다.
상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 실시예에 따른 기판 로딩 장치는, 카세트가 놓여지는 위치정보를 생성하기 위한 위치정보 생성부를 구비하는 로더; 상기 카세트로부터 기판을 로딩 또는 언로딩하기 위한 로봇; 상기 위치정보 생성부로부터 전송된 위치정보를 이용하여 상기 로봇의 위치를 보정할 보정정보를 생성하며, 상기 보정정보에 따라 상기 로봇을 구동하여 상기 카세트로부터 기판을 로딩 또는 언로딩하기 위한 제어부를 포함한다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예가 상세히 설명된다.
도 4는 본 발명에 따른 기판 로딩 장치의 일실시예 구성도이다. 또한, 도 5는 본 발명에 따른 기판 로딩 장치의 일실시예 사용 상태도로서, 도 4에 도시된 기판 로딩 장치가 사용되는 상태를 나타낸 예시도이다.
본 발명에 따른 기판 로딩 장치는 도 4 및 도 5에 도시된 바와 같이, 카세트가 놓여지는 위치정보를 생성하기 위한 로더(50), 상기 카세트로부터 기판을 로딩 또는 언로딩하기 위해 로봇 아암(62)을 갖는 로봇(60), 상기 로더로부터 전송된 위치정보를 이용하여 상기 로더에 놓여진 상기 카세트의 좌표정보를 산출한 후 상기 좌표정보에 따라 상기 로봇의 로봇 아암(62)의 위치를 보정하여 상기 카세트로부터 기판을 로딩 또는 언로딩하기 위한 제어부(70)를 포함하여 구성되어 있다.
상기 로봇(60)은 상기 카세트(40)로부터 기판을 로딩 또는 언로딩하기 위한 것으로서, 기판이 놓여지는 로봇 아암(62) 및 상기 로봇 아암을 지지하기 위한 본체(61)를 포함하여 구성되어 있다.
상기 제어부(70)는 상기 로더(50)를 통해 수신된 상기 카세트의 위치정보를 이용하여 상기 로봇 아암(62)과 카세트(40)와의 간격 및 틀어짐 정보 등을 분석하기 위한 것으로서, 로봇 아암이 카세트로부터 기판을 로딩 또는 언로딩할 수 있는, 로봇 아암과 카세트 간의 최적의 간격 등을 포함하는 정렬정보를 사용자로부터 입력받기 위한 입력기(73), 입력기를 통해 입력된 정렬정보를 저장하기 위한 저장기(74), 상기 로더와의 통신을 통해 위치정보를 전송받기 위한 인터페이스(71), 인터페이스를 통해 전송된 상기 카세트의 위치정보와 상기 저장기에 저장된 정렬정보를 이용하여, 상기 카세트의 상기 로더(50) 상에서의 좌표정보를 분석한 후, 상기 좌표정보에 따라 상기 로봇을 구동하여, 상기 카세트로부터 기판을 이재할 수 있는 정렬위치로 로봇 아암이 이동되도록 하는 제어기(72) 및 상기 제어기에 의해 출력되는 각종 정보들을 사용자가 모니터링할 수 있도록 출력하기 위한 출력기(75)를 포함한다.
상기 로더(50)는 카세트(40)가 안착되는 곳으로서, 카세트(40)가 놓여지는 상기 로더(50)의 상단에는 상기 카세트가 놓여지는 위치정보를 생성할 수 있는 위치정보 생성부(90)가 구비되어 있다. 상기 위치정보 생성부(90)는, 로더(50) 상에 안착되어 있는 카세트의 위치정보를 생성하기 위한 것으로서, 이하에서 도 6 내지 도 8을 참조하여 설명되는 바와 같이, 다양한 형태로 구성될 수 있다.
도 6 내지 도 8은 본 발명에 적용되는 위치정보 생성부의 다양한 예시도로서, 상기 위치정보 생성부(90)는 도 4 및 도 5에서 설명된 상기 로더(50)의 상단부에 형성되어, 카세트의 위치정보를 생성하는 기능을 수행한다. 이하에서는 각각의 위치정보 생성부를 이용한 본 발명의 동작방법이 설명된다.
본 발명의 제1 실시예에 적용되는 위치정보 생성부는 도 6에 도시된 바와 같이 광센서(91)로 구성되어 있다.
즉, 로더(50)의 상단에 구비되어 있는 상기 위치정보 생성부(90)에는 다수의 광센서(91)가 상기 로더(50)의 전면에 걸쳐 일정한 좌표배열을 갖도록 배치되어 있으며, 상기 광센서(91)들 각각은 상기 제어부(70)와 연결되어 있다. 상기 광센서(91)는 빛을 출사시키는 발광부와 반사된 빛을 수광하는 수광부로 구성될 수 있어서, 출사된 후 반사된 빛을 감지하여 상기 제어부(70)로 전송하게 된다. 또한, 상기 광센서(91) 각각은 일정한 위치정보를 가지고 있으며, 상기 위치정보는 상기 제어부(70)의 저장기(74)에 저장되어 있다.
상기와 같은 구성을 갖는 상기 위치정보 생성부(90)의 상단에 카세트(40)가 놓여지게 되면, 상기 제어부(70)는 상기 광센서(91)를 구동하여 빛을 출사시키게 되며, 출사된 빛은 상기 카세트(40)가 놓여져있는 상단으로 진행하게 된다. 이때, 상기 카세트가 놓여져 있는 부분에서는 상기 빛이 반사되며, 반사된 빛은 상기 수광부로 입사된다. 상기 카세트의 하단에는 상기 빛을 반사시킬 수 있는 반사판이 부착되어 있을 수도 있다. 즉, 상기 위치정보 생성부(90)의 상단은 빛이 통과될 수 있는 투명한 재질로 구성되어 있어서, 상기 카세트(40)가 놓여있지 않은 부분에서 는 빛이 그대로 직진하게 되지만, 상기 카세트(40)가 놓여져 있는 부분에서는 빛이 반사되어 수광부를 통해 수광된다.
상기 광센서(91)로 빛이 수광되면, 상기 수광정보는 상기 제어부(70)로 전송된다.
상기 제어부(70)는 상기 저장기(74)에 저장되어 있는 상기 광센서(91)들 각각의 위치정보와, 상기 수광정보가 전송된 광센서(91)에 대한 위치정보를 분석하여, 상기 카세트(40)의 상기 로더(50) 상에서의 좌표정보를 추출하게 된다.
상기 제어부(70)는 상기 좌표정보를 상기 정렬정보와 분석하여 상기 로봇 아암(62)의 위치를 보정할 보정정보를 생성하게 된다. 즉, 상기 좌표정보는 상기 카세트의 로더(50) 상에서의 현재의 상태를 나타내는 것이고, 상기 정렬정보는 상기 카세트가 상기 좌표정보를 갖는 상태에서 보정되어야할 상기 로봇 아암(62)의 위치에 대한 정보를 나타내는 것이므로, 상기 좌표정보와 정렬정보를 비교 분석하여 보정정보를 생성하게 된다.
상기 보정정보가 생성되면, 상기 제어부(70)는 상기 보정정보에 따라 상기 로봇(60)을 구동하여 상기 로봇 아암(62)이 상기 카세트(40)의 기판을 언로딩할 수 있는 상태로 움직이도록 한다.
상기 로봇 아암(62)의 위치가 상기 보정정보에 따라 보정되면, 상기 제어부(70)는 상기 로봇(60)을 구동하여 상기 로봇 아암(62)이 기판을 언로딩하도록 한다.
상기 로봇 아암(62)이 기판을 언로딩하게 되면, 상기 제어부(70)는 상기 로 봇(60)을 제어하여 상기 로봇 아암(62)이 상기 공정 수행 라인(23)으로 향하게 한다.
상기 로봇 아암(62)이 상기 공정 수행 라인(23)에 위치되면, 상기 제어부(70)는 상기 로봇(60)을 제어하여 상기 기판이 상기 공정 수행 라인(23)으로 로딩되도록 한다.
본 발명의 제2 실시예에 적용되는 위치정보 생성부는 도 7에 도시된 바와 같이 스위치(92, 93)로 구성되어 있다.
즉, 로더(50)의 상단에 구비되어 있는 상기 위치정보 생성부(90)에는 다수의 스위치(92, 93)가 상기 로더(50)의 전면에 걸쳐 일정한 좌표배열을 갖도록 배치되어 있다. 상기 스위치는 상기 위치정보 생성부(90)의 상부면에 형성되어 있는 제1 스위치(93) 및 하부면에 형성되어 있는 제2 스위치(92)로 구성되어 있으며, 상기 제 2 스위치(92)들 각각은 상기 제어부(70)와 연결되어 있다. 상기 제2 스위치(92)들 각각은 일정한 위치정보를 가지고 있으며, 상기 위치정보는 상기 제어부(70)의 저장기(74)에 저장되어 있다.
상기와 같은 구성을 갖는 상기 위치정보 생성부(90)의 상단에 카세트(40)가 놓여지게 되면, 상기 제1 스위치(93) 는 상기 카세트(40)에 눌려져 상기 제2 스위치(92)와 결합되며, 이때, 상기 제1 스위치(93) 및 제2 스위치(92)는 전기적으로 연결되어, 상기 제2 스위치로부터 전기신호가 상기 제어부(70)로 전송된다. 즉, 상기 위치정보 생성부(90)의 상단은 상기 카세트(40)의 무게에 의해 눌려질 수 있는 재질로 구성되어 있어서, 상기 카세트(40)가 놓여진 부분에 위치되어 있는 상기 제 1 스위치(93)는 상기 카세트에 의해 눌려져 제2 스위치는 전기적으로 연결되며, 이로인해 제2 스위치로부터 전기신호가 발생되어 상기 제어부(70)로 전송된다.
상기 제어부(70)는 상기 저장기(74)에 저장되어 있는 상기 제2 스위치(92)들 각각의 위치정보와, 상기 전기신호가 전송된 제2 스위치(92)에 대한 위치정보를 분석하여, 상기 카세트(40)의 상기 로더(50) 상에서의 좌표정보를 추출하게 된다.
상기 제어부(70)는 상기 좌표정보를 상기 정렬정보와 분석하여 상기 로봇 아암(62)의 위치를 보정할 보정정보를 생성하게 된다. 즉, 상기 좌표정보는 상기 카세트의 로더(50) 상에서의 현재의 상태를 나타내는 것이고, 상기 정렬정보는 상기 카세트가 상기 좌표정보를 갖는 상태에서 보정되어야할 상기 로봇 아암(62)의 위치에 대한 정보를 나타내는 것이므로, 상기 좌표정보와 정렬정보를 비교 분석하여 보정정보를 생성하게 된다.
상기 보정정보가 생성되면, 상기 제어부(70)는 상기 보정정보에 따라 상기 로봇(60)을 구동하여 상기 로봇 아암(62)이 상기 카세트(40)의 기판을 언로딩할 수 있는 상태로 움직이도록 한다.
상기 로봇 아암(62)의 위치가 상기 보정정보에 따라 보정되면, 상기 제어부(70)는 상기 로봇(60)을 구동하여 상기 로봇 아암(62)이 기판을 언로딩하도록 한다.
상기 로봇 아암(62)이 기판을 언로딩하게 되면, 상기 제어부(70)는 상기 로봇(60)을 제어하여 상기 로봇 아암(62)이 상기 공정 수행 라인(23)으로 향하게 한다.
상기 로봇 아암(62)이 상기 공정 수행 라인(23)에 위치되면, 상기 제어부(70)는 상기 로봇(60)을 제어하여 상기 기판이 상기 공정 수행 라인(23)으로 로딩되도록 한다.
본 발명의 제3 실시예에 적용되는 위치정보 생성부는 도 8에 도시된 바와 같이 발광부(94)와 촬영부(95)로 구성되어 있다.
즉, 로더(50)의 상단에 구비되어 있는 상기 위치정보 생성부(90)의 하부면에는 발광부(94)가 상기 로더(50)의 전면에 걸쳐 일정한 좌표배열을 갖도록 배치되어 있다. 그러나, 하나의 발광부(94)가 상기 위치정보 생성부의 전면을 비출 수 있는 조건이 구비된다면, 하나의 발광부(94)가 상기 위치정보 생성부(90)의 하부면에 구비될 수도 있다. 상기 촬영부(95)는 상기 발광부(94)에 의한 빛을 이용하여 상기 위치정보 생성부(90)의 전면을 촬영하는 기능을 수행한다. 즉, 상기 카세트(40)가 놓여진 부분과 놓여지지 않은 부분은 상기 발광부(94)에 의해 서로 다른 음영을 가지게 되며, 이러한 음영의 차이를 상기 촬영부(95)가 촬영하게 되는 것이다. 상기 촬영부(50)에 의해 촬영된 상기 위치정보 생성부(90)의 상단면에 대한 위치정보는상기 제어부(70)의 저장기(74)에 저장되어 있다.
상기와 같은 구성을 갖는 상기 위치정보 생성부(90)의 상단에 카세트(40)가 놓여지게 되면, 상기 제어부(70)는 상기 발광부(94)를 제어하여 빛을 출사시키는 한편, 상기 촬영부(95)를 구동하여 상기 위치정보 생성부(90)의 상단면을 촬영하게 된다.
상기 제어부(70)는 상기 저장기(74)에 저장되어 있는 상기 위치정보와, 상기 촬영부(95)를 통해 촬영된 영상의 음영을 비교하므로써, 상기 카세트(40)의 상기 로더(50) 상에서의 좌표정보를 추출하게 된다.
상기 제어부(70)는 상기 좌표정보를 상기 정렬정보와 분석하여 상기 로봇 아암(62)의 위치를 보정할 보정정보를 생성하게 된다. 즉, 상기 좌표정보는 상기 카세트의 로더(50) 상에서의 현재의 상태를 나타내는 것이고, 상기 정렬정보는 상기 카세트가 상기 좌표정보를 갖는 상태에서 보정되어야할 상기 로봇 아암(62)의 위치에 대한 정보를 나타내는 것이므로, 상기 좌표정보와 정렬정보를 비교 분석하여 보정정보를 생성하게 된다.
상기 보정정보가 생성되면, 상기 제어부(70)는 상기 보정정보에 따라 상기 로봇(60)을 구동하여 상기 로봇 아암(62)이 상기 카세트(40)의 기판을 언로딩할 수 있는 상태로 움직이도록 한다.
상기 로봇 아암(62)의 위치가 상기 보정정보에 따라 보정되면, 상기 제어부(70)는 상기 로봇(60)을 구동하여 상기 로봇 아암(62)이 기판을 언로딩하도록 한다.
상기 로봇 아암(62)이 기판을 언로딩하게 되면, 상기 제어부(70)는 상기 로봇(60)을 제어하여 상기 로봇 아암(62)이 상기 공정 수행 라인(23)으로 향하게 한다.
상기 로봇 아암(62)이 상기 공정 수행 라인(23)에 위치되면, 상기 제어부(70)는 상기 로봇(60)을 제어하여 상기 기판이 상기 공정 수행 라인(23)으로 로딩되도록 한다.
상기 설명은, 본 발명이, 카세트(40)에 실장되어 있는 기판을 공정 수행 라인(23)으로 이송하는 경우를 일예로 설명하고 있으나, 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니며, 따라서, 본 발명은 공 카세트에 기판을 실장하는 공정에도 적용될 수 있다.
즉, 공정 수행 라인(23)을 거친 기판을 또 다른 장소로 이송해 가기 위하여, 로더에 공 카세트가 놓여지면, 제어부(70)는 상기한 바와 같은 과정에 의해 로봇 아암(62)의 위치를 보정시킬 보정정보를 생성하게 된다. 상기와 같은 보정정보가 생성되면, 상기 제어부(70)는 상기 로봇(60)의 로봇 아암(62)을 구동하여 공정 수행 라인(23)으로부터 기판을 언로딩한다. 제어부(70)는 상기 보정정보에 따라 로봇 아암(62)의 구동 정보를 보정하여, 기판이 안착된 로봇 아암(62)이 카세트 내부로 삽입되어, 카세트 내부에 기판을 로딩시킬 수 있도록 할 수 있다.
상술된 바와 같은 본 발명은 로더에 안착되는 카세트의 위치 틀어짐을 보정하기 위하여 클램프 등을 이용할 필요가 없으므로, 클램프 구동 상의 문제 등으로 인해 로더 자체를 사용하지 못하게 되는 문제점을 방지할 수 있다는 우수한 효과가 있다.
이상 설명한 내용을 통해 당업자라면 본 발명의 기술사상을 일탈하지 아니하는 범위에서 다양한 변경 및 수정이 가능함을 알 수 있을 것이다. 따라서, 본 발명의 기술적 범위는 명세서의 상세한 설명에 기재된 내용으로 한정되는 것이 아니 라 특허 청구의 범위에 의해 정하여 져야만 할 것이다.

Claims (6)

  1. 상단에 카세트가 안착되고, 상기 상단에 안착된 카세트의 위치정보를 생성하는 위치정보 생성부를 포함한 로더;
    상기 로더 상에 안착된 카세트로부터 기판을 로딩 또는 언로딩하기 위한 로봇;
    상기 위치정보 생성부로부터 전송된 위치정보를 이용하여 상기 로봇의 위치를 보정할 보정정보를 생성하며, 상기 보정정보에 따라 상기 로봇을 구동하여 상기 카세트로부터 기판을 로딩 또는 언로딩하기 위한 제어부를 포함하고,
    상기 위치정보 생성부는,
    상기 카세트에 의해 눌려지는 면에 배치되어 있는 제1 스위치; 및
    상기 위치정보 생성부의 하부면에, 상기 제1 스위치와 1대1로 마주보도록 배치되어 있는 제2 스위치를 포함하며,
    상기 제1 스위치가 상기 카세트에 의해 눌려져 상기 제2 스위치와 전기적으로 연결되면, 상기 제2 스위치로부터 상기 카세트의 위치정보를 나타내는 전기적인 신호가 발생되어 상기 제어부로 전송되는 기판 로딩 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 제어부는,
    상기 로봇과 상기 카세트 간의 간격에 대한 정보를 포함하는 정렬정보를 사용자로부터 입력받기 위한 입력기;
    상기 입력기를 통해 입력된 상기 정렬정보를 저장하기 위한 저장기;
    상기 로더와의 통신을 통해 상기 로더로부터 상기 위치정보를 전송받기 위한 인터페이스;
    상기 위치정보와 상기 정렬정보를 이용하여 상기 보정정보를 생성하고, 상기 보정정보에 따라 상기 로봇이 보정위치로 이동하고 상기 카세트로부터 상기 기판을 로딩 또는 언로딩하도록 상기 로봇을 구동하기 위한 제어기; 및
    상기 제어기에 의해 출력되는 정보들을 사용자가 모니터링할 수 있도록 출력하기 위한 출력기를 포함하는 기판 로딩 장치.
  3. 삭제
  4. 삭제
  5. 삭제
  6. 삭제
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