KR20070106142A - 반도체 소자 테스트 핸들러의 반도체 소자 방향 변환장치 - Google Patents
반도체 소자 테스트 핸들러의 반도체 소자 방향 변환장치 Download PDFInfo
- Publication number
- KR20070106142A KR20070106142A KR1020060038660A KR20060038660A KR20070106142A KR 20070106142 A KR20070106142 A KR 20070106142A KR 1020060038660 A KR1020060038660 A KR 1020060038660A KR 20060038660 A KR20060038660 A KR 20060038660A KR 20070106142 A KR20070106142 A KR 20070106142A
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- semiconductor device
- test
- rotating member
- seating
- base
- Prior art date
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
- G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
- G01R31/2851—Testing of integrated circuits [IC]
- G01R31/2855—Environmental, reliability or burn-in testing
- G01R31/286—External aspects, e.g. related to chambers, contacting devices or handlers
- G01R31/2865—Holding devices, e.g. chucks; Handlers or transport devices
- G01R31/2867—Handlers or transport devices, e.g. loaders, carriers, trays
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
- G01R31/26—Testing of individual semiconductor devices
- G01R31/2601—Apparatus or methods therefor
Abstract
Description
Claims (8)
- 핸들러 본체에 설치되는 베이스와;상기 베이스에 수직축을 중심으로 회전가능하게 설치되며, 그 상면에 반도체 소자가 안착되는 안착부가 형성된 회전부재와;상기 회전부재를 90도씩 회전시키는 구동부를 포함하여 구성된 반도체 소자 테스트 핸들러의 반도체 소자 방향 변환장치.
- 제 1항에 있어서, 상기 회전부재는,상기 베이스에 회전 가능하게 설치된 회전축부와,상기 회전축부의 상부에 결합되며, 상부면에 상기 안착부가 형성된 안착블록으로 구성된 것을 특징으로 하는 반도체 소자 테스트 핸들러의 반도체 소자 방향 변환장치.
- 제 2항에 있어서, 상기 회전부재는 상기 회전축부에 고정되게 결합되며, 상기 안착블록이 착탈 가능하게 고정되는 고정블록을 더 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 반도체 소자 테스트 핸들러의 반도체 소자 방향 변환장치.
- 제 3항에 있어서, 상기 안착블록의 하단부에 오목한 홈이 형성되고, 상기 고정블록에는 상기 안착블록의 홈에 탄성적으로 삽입되며 지지하는 볼과 상기 볼을 탄성적으로 지지하는 스프링으로 이루어진 볼플런저가 구비된 것을 특징으로 하는 반도체 소자 테스트 핸들러의 반도체 소자 방향 변환장치.
- 제 2항에 있어서, 상기 안착블록의 안착부에 안착블록의 하부까지 관통되는 관통공이 형성된 것을 특징으로 하는 반도체 소자 테스트 핸들러의 반도체 소자 방향 변환장치.
- 제 1항에 있어서, 상기 구동부는, 상기 베이스에 설치되는 모터와, 상기 모터의 축에 결합된 구동풀리와, 상기 구동풀리와 상기 회전부재의 외주면에 걸쳐져 연결되어 구동풀리의 회전력을 전달하는 동력전달벨트를 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 반도체 소자 테스트 핸들러의 반도체 소자 방향 변환장치.
- 제 6항에 있어서, 상기 동력전달벨트의 외측에서 상기 동력전달벨트를 내측으로 가압하도록 설치되어 동력전달벨트의 장력을 인가하는 적어도 1개의 장력인가용 풀리를 더 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 반도체 소자 테스트 핸들러의 반도체 소자 방향 변환장치.
- 제 1항에 있어서, 상기 회전부재는 복수개가 베이스에 일정 간격으로 일렬로 배열된 것을 특징으로 하는 반도체 소자 테스트 핸들러의 반도체 소자 방향 변환장치.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020060038660A KR100792726B1 (ko) | 2006-04-28 | 2006-04-28 | 반도체 소자 테스트 핸들러의 반도체 소자 방향 변환장치 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020060038660A KR100792726B1 (ko) | 2006-04-28 | 2006-04-28 | 반도체 소자 테스트 핸들러의 반도체 소자 방향 변환장치 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20070106142A true KR20070106142A (ko) | 2007-11-01 |
KR100792726B1 KR100792726B1 (ko) | 2008-01-11 |
Family
ID=39062171
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020060038660A KR100792726B1 (ko) | 2006-04-28 | 2006-04-28 | 반도체 소자 테스트 핸들러의 반도체 소자 방향 변환장치 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR100792726B1 (ko) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101017863B1 (ko) * | 2009-01-28 | 2011-03-04 | 에버테크노 주식회사 | 트레이 자세변환장치 |
US9720034B2 (en) | 2014-01-07 | 2017-08-01 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Semiconductor test device and method of operating the same |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100465372B1 (ko) * | 2002-05-14 | 2005-01-13 | 미래산업 주식회사 | 반도체 소자 테스트 핸들러용 캐리어 모듈 |
KR100532661B1 (ko) * | 2004-04-20 | 2005-12-01 | 미래산업 주식회사 | 콤팩트 카메라 모듈용 핸들러의 초점 검사용 인덱스테이블 |
-
2006
- 2006-04-28 KR KR1020060038660A patent/KR100792726B1/ko active IP Right Grant
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101017863B1 (ko) * | 2009-01-28 | 2011-03-04 | 에버테크노 주식회사 | 트레이 자세변환장치 |
US9720034B2 (en) | 2014-01-07 | 2017-08-01 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Semiconductor test device and method of operating the same |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR100792726B1 (ko) | 2008-01-11 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US8159252B2 (en) | Test handler and method for operating the same for testing semiconductor devices | |
US6844717B2 (en) | Test handler | |
KR100816071B1 (ko) | 전자부품 픽커 및 이를 구비한 핸들러용 헤드 어셈블리 | |
KR100253935B1 (ko) | 아이씨 착탈장치 및 그의 착탈 헤드 | |
JPWO2008139853A1 (ja) | 電子部品試験装置、電子部品試験システム及び電子部品の試験方法 | |
KR100792725B1 (ko) | 반도체 소자 테스트 핸들러 및 그의 제어방법 | |
US6209194B1 (en) | Apparatus for loading and unloading semiconductor device packages using servo motors | |
KR19990088192A (ko) | 트레이이송암,전자부품시험장치및트레이반송방법 | |
KR100785740B1 (ko) | 반도체 소자 테스트 핸들러용 로테이터 | |
KR100792726B1 (ko) | 반도체 소자 테스트 핸들러의 반도체 소자 방향 변환장치 | |
WO2005121739A1 (ja) | イメージセンサ用試験装置 | |
US5801527A (en) | Apparatus and method for testing semiconductor device | |
TWI396847B (zh) | Embedded devices, trays and electronic parts test equipment | |
JP3376784B2 (ja) | Ic試験装置 | |
US20020192059A1 (en) | Methods and apparatus for transferring electrical components | |
JP3850790B2 (ja) | 半導体素子テストハンドラ用素子整列装置 | |
KR100781336B1 (ko) | 반도체 소자 테스트 핸들러 및 그의 제어방법 | |
TW201931502A (zh) | 半導體元件測試載盤及其測試裝置與設備 | |
KR100428030B1 (ko) | 반도체 소자 테스트용 핸들러 | |
JP2004257980A (ja) | 半導体素子テスト用ハンドラ | |
KR100432353B1 (ko) | 반도체 소자 테스트 핸들러의 테스트 트레이 반송용로테이터 | |
KR100674418B1 (ko) | 반도체 소자 테스트용 테스트 챔버 유닛 | |
JPH09263326A (ja) | Ic試験用ic搬送装置 | |
KR100674416B1 (ko) | 반도체 소자 소팅장치 | |
KR100560730B1 (ko) | 반도체 소자 테스트용 핸들러 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A201 | Request for examination | ||
E902 | Notification of reason for refusal | ||
E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
GRNT | Written decision to grant | ||
G170 | Publication of correction | ||
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20130103 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20140103 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20150105 Year of fee payment: 8 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20160105 Year of fee payment: 9 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20170102 Year of fee payment: 10 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20180103 Year of fee payment: 11 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20190103 Year of fee payment: 12 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20200102 Year of fee payment: 13 |