KR20070083591A - 액체 정량 토출 장치 - Google Patents

Abstract

저장 용기내의 액체를 소정량씩 토출하고, 액체 토출의 휴지(休止)중에 저장 용기의 액체에 부압을 작용시키는 부압계를 갖는 액체 정량 토출 장치에서, 저장용기에 부압을 작용시키는 부압계를, 부압 발생 수단과, 그 부압 발생 수단에 연통하여, 저장 용기내를 원하는 부압력으로 조정하는 전공레귤레이터와, 그 전공레귤레이터와 저장 용기 사이에 배설된 압력 센서와, 그 압력 센서로부터의 신호에 기초하여 상기 전공레귤레이터를 제어하고 저장 용기내를 원하는 부압력으로 조정하는 제어 수단으로 구성되며, 액체정량토출장치의 전원투입 직후로부터 안정된 부압력을 확보하고, 전원투입 직후로부터 사용가능한 것이 특징인 액체 정량 토출 장치에 대한 발명이다.

Description

액체 정량 토출 장치 {DEVICE FOR DISCHARGING FIXED QUANTITY OF LIQUID}

본 발명은, 페이스트 형상 또는 크림 형상을 나타내는 전자재료나, 접착제 그 외의 중고점도 액체 재료, 점도가 경시적으로 변화하는 액체 재료, 저점도 액체 재료 등을, 시린지로부터 고정밀도로 토출할 수 있는 토출 장치에 관한 것으로서, 특히, 전원 투입 후 즉시, 정밀도가 좋은 정량 토출 (작업) 을 실시할 수 있는 액체 정량 토출 장치에 관한 것이다.

이 종의 종래 기술에 관계되는 정량 토출 장치로서는, 예를 들어, 일본 공개특허공보 평3-217271호에 기재된 것이 알려져 있다.

이 액체 정량 토출 장치는, 토출용 전자 밸브를 통하여 시린지와, 에어 공급원 및 에어 흡인원의 접속을 초래하고, 그 토출용 전자 밸브와 에어 공급원의 사이에는 전자 밸브측에서부터 순차적으로 어큠레이터 및 압력 조정용 감압 밸브를, 또, 토출용 전자 밸브와 에어 공급원의 사이에는, 전자 밸브측에서부터 순차적으로 어큠레이터 및 흡인 부압용 감압 밸브를 각각 배설 (配設) 하는 것에 있어서, 토출용 전자 밸브에, 소정의 시간에 걸쳐서 토출 신호를 출력함과 함께, 압력 조정용 감압 밸브 및 흡인부압용 감압 밸브의 각각에, 시린지 내의 액체의, 적어도 잔량에 따른 압력 설정 신호를 출력하는 제어부를 설치한 것이다. 이러한 정량 토출 장치에 있어서, 압력 조정용 감압 밸브 및 흡인부압용 감압 밸브를 전공 (電空) 레귤레이터에 의해 구성한 실시예가 회로도와 함께 개시되어 있다.

여기서, 「전공레귤레이터」란, 일본 특허공보 평7-50418호에 기재되어 있는 바와 같이, 2 차측의 압력을 조정할 때에, 자신이 갖는 압력 센서를 이용하여 압력을 검출하고, 그 검출한 검출 압력치와 설정 압력치를 비교하여, 그 비교 결과에 따라, 자신이 갖는 전자 밸브를 제어함으로써 파일럿실에 대해 공기압 펄스를 공급하고, 파일럿실에 연결된 흡기 밸브체 또는 배기 밸브체를 개폐하여, 메인 밸브로부터 토출되는 토출 압력을 설정 압력치로 조정하는 장치이고, 그 자체 공지된 것이다.

그런데, 이러한 종래 기술에 있어서는, 정량 토출 장치의 전원 투입 직후의 시린지 내의 부압력은, 전원 투입 후, 잠시 지나고 나서 시린지 내의 부압력과 비교하여, 불규칙하다는 것을 알 수 있었다.

즉, 누액 방지를 위해 시린지 내의 액재에 작용시키는 부압력이, 전원 투입 직후에는 안정성이 결여되어 있고, 부압 부족인 경우에는, 시린지에 연통하고 선단에 토출구를 갖는 노즐로부터 액재가 흘러 떨어지거나 또는 부압과잉의 경우에는, 노즐 선단에서부터 외기를 흡입해 버린다고 하는 문제가 있었다.

발명의 개시

본 발명은, 이러한 문제를 해결하여, 토출 장치의 전원 투입 직후부터 안정된 부압력을 확보하고, 전원 투입 직후로부터 안정적으로 사용할 수 있는 액재 토출 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

그래서, 본 발명자는, 종래 기술이 가지고 있는 상기 문제를 해결하기 위해서, 예의 연구를 거듭한 결과, 이하와 같은 발명을 완성하기에 이르렀다.

즉, 본 발명은, 저장 용기내의 액체를 소정량씩 토출하고, 액체 토출의 휴지중에 저장 용기내의 액체에 부압을 작용시키는 부압계를 갖는 액체 정량 토출 장치에서,

상기 저장 용기의 부압을 작용시키는 부압계를, 부압 발생 수단과, 그 부압 발생 수단으로 연통하여, 저장 용기내를 원하는 부압력으로 조정하는 전공레귤레이터와, 그 전공레귤레이터와 저장 용기 사이에 배설된 압력 센서와, 그 압력 센서로부터의 신호에 기초하여, 상기 전공레귤레이터를 제어하고 저장 용기내를 원하는 부압력으로 조정하는 제어 수단으로 구성한 것을 특징으로 하는 액체 정량 토출 장치이다.

본 발명에 의하면, 전원 투입 직후부터 액체가 안정된 토출 작업ㆍ도포 작업을 실시할 수 있으므로, 사용전의 난기 (暖機) 운전이 불필요해지고, 또, 신속하게 작업을 개시할 수 있으므로, 불필요한 대기 시간을 배제하여, 작업을 효율적으로 실시할 수 있는 효과가 있다.

도 1 은, 본 발명에 관계되는 정량 토출 장치의 일 실시형태를 나타내는 회로도이다.

발명을 실시하기 위한 최선의 형태

이하, 본 발명에 관계되는 액체 정량 토출 장치의 일 실시형태를 첨부도면에 나타내는 바에 기초하여 설명한다.

도 1 은, 액체 정량 토출 장치의 회로도이고, 도면 중, 실선은 압력 회로를, 파선은 신호 회로를 각각 가리킨다.

여기에서는, 충전된 액체의 토출을 실시하는 시린지 (1) 에, 거기에 액체 토출용 가압력을 공급하는 가압 기체 공급 수단 (2) (도시에서는, 컴프레서 (2a) 및, 그 하류측에 배설한 압력 조정용 레귤레이터 (2b)) 이, 2 위치 전환 가능한 토출 밸브 (3) 를 통하여 접속되어 있음과 함께 , 그 시린지 (1) 내로 액체 유지용 부압력을 공급하는 부압공급 수단 (4) (도시에서는, 부압력 조정용 전공레귤레이터 (4a) 및 그 하류측의 이젝터 (4b)) 이, 2 위치 전환 가능한 대기 개방 밸브 (6) 를 통하여 상기 토출 밸브 (3) 에 접속되어 있다.

즉, 시린지 (1) 에 연통하고 있는 토출 밸브 (3) 는, 위치 전환에 의해, 가압 기체 공급 수단 (2) 또는 부압공급 수단 (4) 중 어느 일방에 연통하게 되어 있다.

이러한 구성에 의하면, 제어수단 (5) 으로부터의 신호에 기초하는 토출 밸브 (3) 의 작동에 의해, 가압기체공급 수단 (2) 또는 대기 개방 밸브 (6) 의 어느 일방이 시린지 (1) 에 연통하도록 제어됨과 함께, 동일하게 제어수단 (5) 으로부터 신호에 기초하는 대기 개방 밸브 (6) 의 작동에 의해, 부압공급 수단 (4) 또는 대기 개방구 (7) 의 어느 일방이 토출 밸브 (3) 에 연통하도록 제어된다.

따라서, 토출 밸브 (3) 가, 대기 개방 밸브 (6) 로 시린지 (1) 에 연통하는 포트 위치에 있을 때, 시린지 (1) 는, 부압공급 수단 (4) 또는 대기 개방구 (7) 의 어느 일방에 연통하게 된다.

본 발명에 있어서는, 시린지 (1) 내에 저장된 액체의 토출은, 제어수단 (5) 으로부터의 신호에 의해, 토출 밸브 (3) 를 도시된 포트 위치에서 시프트시켜, 시린지 (1) 내의 액체 잔량 그 외에 따라 레귤레이터 (2b) 에 의해 조정된 소요 가압력을, 시린지 (1) 내에 소요 시간 공급함으로써 실시된다.

상기 시린지 (1) 로부터 소정량의 액체 토출을 끝냈을 때는, 제어 수단 (5) 에 의해, 토출 밸브 (3) 를 도시된 포트 위치로 복귀시킴과 함께, 대기 개방 밸브 (6) 를 도시된 포트 위치로부터 시프트시켜, 시린지 내의 가압된 기체를 대기로 방출시킨 후에, 적절한 시간을 두고 대기 개방 밸브 (6) 을 도시된 포트 위치로 되돌림으로써, 부압공급 수단 (4) 에 의해 적절한 부압력이 시린지 (1) 내의 액체 재료에 작용한다.

여기에서, 가압 기체 공급 수단 (2) 의 압력 조정용 레귤레이터 (2b) 는, 컴프레서 (2a) 로부터 가압 기체를 소요 압력으로 감압하기 위해 기능하고, 이러한 레귤레이터 (2b) 로부터 하류측의 기체 압력은, 압력 센서 (8a) 에 의해 측정할 수 있다.

또, 부압공급 수단 (4) 의 이젝터 (4b) 는, 통과 기체의 유량에 따른 크기의 부압력을 발생시키고, 부압력 조정용 전공레귤레이터 (4a) 는, 상기 이젝터 (4b) 가 만드는 부압력을 소요 압력으로 하기 위해 기능한다. 그리고, 이 부압력 조 정용 전공레귤레이터 (4b) 로부터 하류측의 부압력은, 압력 센서 (8b) 에 의해 측정할 수 있다.

또한, 토출 작업 대기 중에는, 토출 밸브 (3) 및 대기 개방 밸브 (6) 의 포트 위치가, 시린지 (1) 와 부압공급 수단 (4) 을 연통시키는 위치가 된다.

그리고, 압력 센서 (8b) 에 의해 부압력 조정용 전공레귤레이터 (4b) 의 하류측 압력이 계측된다. 압력 센서 (8b) 에 의해 계측된 압력은, 제어수단 (5) 으로 송신되어, 제어수단 (5) 에 있어서는 원하는 압력인지 아닌지가 판단되어, 필요에 따라 부압력 조정용 전공레귤레이터 (4b) 를 제어하여, 압력 센서 (8b) 로 계측되는 부압력이 원하는 압력이 되도록 조정된다.

이상 설명한 바와 같이, 본 발명은, 페이스트 형상 또는 크림 형상을 나타내는 전자재료나, 접착제 그 외의 중고점도 액체 재료, 점도가 경시적으로 변화하는 액체 재료, 저점도 액체 재료 등을, 전원 투입 직후로부터 즉석에서 고정밀도로 정량 토출할 수 있는 액체 토출 장치를 제공하는 것이고, 특히, LSI 등의 반도체 제조의 분야에 있어서 유효하게 사용된다.

Claims (1)

1. 저장 용기내의 액체를 소정량씩 토출하고, 액체 토출의 휴지(休止)중에 저장 용기의 액체에 부압을 작용시키는 부압계를 갖는 액체 정량 토출 장치에 있어서,

   상기 부압계를, 부압 발생 수단과, 그 부압 발생 수단에 연통하여, 저장 용기내를 원하는 부압력으로 조정하는 전공레귤레이터와, 그 전공레귤레이터와 저장 용기 사이에 배설된 압력 센서와, 그 압력 센서로부터의 신호에 기초하여 상기 전공레귤레이터를 제어하고 저장 용기내를 원하는 부압력으로 조정하는 제어 수단으로 구성한 것을 특징으로 하는 액체 정량 토출 장치.

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