KR20070075075A - 다결정 실리콘 연마용 ｃｍｐ 슬러리 조성물 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 다결정 실리콘 연마용 CMP 슬러리 조성물에 관한 것으로서 초순수에 금속산화물로 구성된 연마입자를 배합하고, 첨가제로 이온성 고분자와 4급암모늄염기화합물을 동시에 포함하는 화학적 기계적 연마용 슬러리를 제공하는 것이다. 본 발명에 의해 연마균일도가 우수하고 선택비를 높인 다결정 실리콘 연마용 CMP 슬러리 조성물을 제공할 수 있다.
다결정 실리콘, CMP 슬러리, 금속산화물, 이온성 고분자, 4급암모늄염기화합물

Description

다결정 실리콘 연마용 ＣＭＰ 슬러리 조성물{Chemical mechanical polishing slurry composition for polishing Poly-Silicon film}
본 발명은 다결정 실리콘 연마용 CMP 슬러리 조성물에 관한 것으로 보다 상세하게는 식각 정지막인 소자 분리 산화막에 비해 다결정 실리콘에 대해 높은 연마 선택비를 가지고, 연마 균일도를 개선시키는 것을 특징으로 하는 슬러리로 플래쉬 메모리 소자의 자기 정렬 부유 게이트를 형성하는데 유용한 반도체 소자의 형성 방법에 관한 것이다.
반도체 디바이스는 고성능, 고집적화를 통해 512M 및 1G bit급의 DRAM으로 대표되는 ULSI시대로 돌입하고 있으며 디바이스 제조의 최소 가공 사이즈가 점점 작아짐에 따라 차세대 디바이스의 경우 70nm, 60nm 등의 선폭이 적용되어지고 있다.
집적 회로(IC)의 집적도가 증가함에 따라 소자의 크기를 최소화시키고 다층의 상호 연결(Multilevel interconnection)의 필요성이 대두되었는데, 이를 위해서는 리소그래피를 효과적으로 수행하여 피연마 재료를 전면적으로 평탄화시켜야 할 필요가 있다. 이런 가운데에 화학적 기계적 연마 기술이 새로운 평탄화 기술로서 주목받기 시작하였다. 고집적 반도체 소자는 도체 재료 및 절연체 재료를 반복적으로 증착하여 패턴을 형성시킴으로써 제조된다. 그러나, 만일 패턴을 형성시킬 때 각 재료층의 표면이 평탄화되어 있지 않으면 새로운 패턴층을 형성시키는 데에 많은 어려움이 따른다. 즉, 재료층 사이의 표면이 균일하지 못한 상태에서 계속 적층되어 가는 경우 굴절된 막질에 의해서 입사 광선이 난반사되어 현상 시 광 절연 패턴(photo resist pattern)이 부정확하게 되는 문제가 발생하게 된다. 따라서, 화학적 기계적 연마(Chemical Mechanical Polishing : 이하 CMP라 칭함) 공정의 필요성이 널리 대두되었으며, 특히 다결정 실리콘 물질은 반도체 공정에서 디바이스(Device)의 컨택트(contact)나 라인(Line) 형성 등과 같은 공정에 널리 사용되고 있어 CMP 공정의 중요성이 부각되고 있다.
CMP 기술의 원리는 웨이퍼를 연마패드 표면 위에 접촉하도록 한 상태에서 연마액(Slurry)을 공급하여 웨이퍼 표면을 화학적으로 반응시키면서 연마패드와 웨이퍼를 상대 운동시켜 물리적으로 웨이퍼 표면의 요철 부분을 평탄화하는 것이다.
반도체 CMP 공정에 사용되는 슬러리는 탈이온수, 금속산화물, pH 조절을 위한 염기 또는 산 그리고 연마속도 및 선택비 조절을 위한 첨가제 등을 포함하고 있다. 이중 금속 산화물은 발연법 또는 졸-겔(Sol-Gel)법으로 제조되어진 실리카(SiO2), 알루미나(Al2O3), 세리아(CeO2), 지르코니아(ZrO2), 티타니아(TiO2) 등이 주로 사용된다. 첨가제로는 다결정 실리콘에 대하여 높은 연마속도를 얻기 위하여 히 드록실 이온(Hydroxyl Ion)을 많이 생성시킴과 동시에 절연층에 대하여 낮은 연마속도를 얻기 위해 아민계열의 첨가제가 주로 사용된다.
예를 들어, 연마속도를 증가시키기 위한 방법으로서, 아미노에틸에탄올아민 등과 같은 에칭제를 첨가하는 방법이 개시되어 있고(미국특허 제 4,169,337호), SiO2 제조 시에 CeO2와 같은 타성분 입자를 소량 공침시킨 후 조성하여 제조하는 방법이 개시되어 있으며(미국특허 제 3,262,766호; 제 3,768,989호), 제조된 슬러리에 Ce(OH)4, NH4SO4, Fe(SO4) 등과 같은 무기염들을 첨가하는 방법이 개시되어 있다(Mechanism of Glass Polishing Vol.152,1729 및 1971). 또한, 실리카/아민/무기염/폴리하이드릭알콜(Polyhydricalcohol)로 구성된 슬러리(미국특허 제 4,169,337호), 실리카/아민으로 구성된 슬러리(미국특허 제 4,169,337호), 실리카/사급암모늄염으로 구성된 슬러리(미국특허 제 5,139,571호), 세리아/카르복시산/실리카로 구성된 슬러리(미국특허 제 5,759, 917호), 테트라메틸암모늄염/과수로 구성된 슬러리(미국특허 제 5,938,505호), 전자주게 화합물/TMAH/실리카로 구성된 슬러리(미국특허 제 6,009,604호) 등이 있는데, 이들 슬러리는 연마속도의 증대 및 선택도를 향상시키는 특성을 가지고 있다.
일반적인 다결정 실리콘 연마용 슬러리의 경우 절연 산화막을 정지막으로 하기 때문에 다결정 실리콘에 대해 높은 연마 선택비를 가지게 되는데, 이러한 높은 선택비로 인하여 다결정 실리콘 막이 화학적 기계적 작용에 의해 디싱(Dishing)이 발생하게 된다. 이러한 디싱 현상은 다결정 실리콘 CMP 공정 후 후속 사진 공정 (Photo) 에 영향을 주어 다결정 실리콘 라인 형성 시 높이 차를 유발하며 이에 따라 셀(cell) 내 전기적 특성 및 접촉 특성의 악화 원인이 된다.
따라서, 이러한 디싱 문제를 해결하고, 연마균일도를 향상시킬 수 있는 새로운 슬러리의 개발이 요구되어지고 있다.
본 발명의 목적은 상기와 같은 종래 기술의 문제점을 해결하고 더욱 우수한 선택도를 갖는 CMP 슬러리 조성물을 제공하기 위한 것으로, 초순수에 금속산화물로 구성된 연마입자를 배합하고, 첨가제로 이온성 고분자와 4급암모늄염기화합물을 동시에 포함하는 화학적 기계적 연마용 슬러리 조성물을 제공하는 것이다.
그러므로 본 발명에서는 다음의 성분들을 포함하는 것을 특징으로 하는 다결정 실리콘 연마용 CMP 슬러리 조성물이 제공된다.
(a) 금속산화물,
(b) 4급암모늄염기화합물, 및
(c) 이온성 고분자.
상기 이온성 고분자를 전체 CMP 슬러리 조성물에 대하여 0.001 내지 1중량% 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 이온성 고분자는 폴리아크릴산(Polyacrylic acid), 폴리아크릴산-코-말레산(Poly(acrylic acid-co-maleic acid)), 폴리아크릴아마이드-코-아크릴릭산 (poly(acylamide-co-acrylic acid)) 중의 하나 이상인 것을 특징으로 한다.
상기 4급암모늄염기화합물은 테트라메틸암모늄하이드록사이드 (Tetramethylammoniumhydroxide), 테트라에틸암모늄하이드록사이드 (Tetraethylammoniumhydroxide), 테트라프로필암모늄하이드록사이드(Tetrapropylammoniumhydroxide), 테트라부틸암모늄하이드록사이드(Tetrabutylammoniumhydroxide) 중의 하나 이상인 것을 특징으로 한다.
상기 4급암모늄염기화합물을 전체 CMP 슬러리 조성물에 대하여 0.01 내지 5중량% 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 금속산화물은 SiO2, Al2O3, CeO2, ZrO2 및 TiO2 중의 하나 이상이고, 금속산화물의 일차입자크기는 10 내지 200nm, 비표면적은 10 내지 300㎡/g인 것을 특징으로 한다.
상기 금속산화물을 전체 CMP 슬러리 조성물에 대하여 0.1 내지 30중량% 포함하는 것을 특징으로 한다.
이하, 본 발명을 보다 상세하게 설명한다.
본 발명에서는 (a) 금속산화물, (b) 4급암모늄염기화합물, (c) 이온성 고분 자를 포함하는 것을 특징으로 하는 다결정 실리콘 연마용 CMP 슬러리 조성물이 제공된다.
본 발명에서 사용할 수 있는 금속 산화물은 실리카(SiO2), 알루미나(Al2O3), 세리아(CeO2), 지르코니아(ZrO2), 티타니아(TiO2) 등으로 발연법이나 졸-겔(Sol-Gel)법으로 만들어진 것이면 어느 것이나 사용 가능하다.
이들 금속 산화물의 일차 입자 크기는 바람직하게는 10 내지 200nm, 보다 바람직하게는 20 내지 200nm(TEM 측정 결과)이고, 비표면적은 10 내지 300㎡/g인 경우가 바람직한데, 특히 실리카 입자인 경우에 탁월한 결과를 얻을 수 있다. 1차 입자가 10nm 미만으로 너무 작으면 연마속도(Removal Rate)가 떨어져 생산성(Throughput) 측면에서 바람직하지 못하고, 반대로 200nm를 초과하여 클 경우 대형입자(large particle)가 다량 존재하여 μ-스크래치를 유발함으로 또한 바람직하지 않다. 이들 금속산화물의 슬러리 내 함유량은 조성물 전량에 대해 0.1 내지 30wt%가 바람직하며, 보다 바람직하게는 1 내지 20wt%가 적절하다.
다결정실리콘 층의 적절한 연마속도를 유지시키기 위해서 pH는 9 이상의 영역이어야 하는데, 본 발명에서는 pH 조절을 위한 첨가제로서 4급암모늄염기화합물을 사용한다. 구체적인 첨가제로는 테트라메틸암모늄하이드록사이드(Tetramethylammoniumhydroxide), 테트라에틸암모늄하이드록사이드(Tetraethylammoniumhydroxide), 테트라프로필암모늄하이드록사이드(Tetrapropylammoniumhydroxide), 테트라부틸암모늄하이드록사이드 (Tetrabutylammoniumhydroxide) 중 어느 하나이상을 사용한다. 첨가량은 슬러리 총 중량의 0.01 내지 5중량%가 바람직하다. 보다 바람직하게는 0.01 내지 1중량%를 첨가할 경우에 보다 나은 성능을 가질 수 있다.
본 발명에서는 다결정 실리콘의 연마속도 조절 및 연마균일도 향상을 위해서 이온성 고분자를 사용한다. 본 발명에서 사용한 이온성 고분자는 음이온성 작용기를 포함한 고분자 폴리아크릴산(Polyacrylic acid), 폴리아크릴산-코-말레산(Poly(acrylic acid-co-maleic acid)), 양이온 작용기와 음이온 작용기의 공중합체 고분자 폴리아크릴아마이드-코-아크릴릭산(poly(acylamide-co-acrylic acid)) 중의 어느 하나이상을 사용한다.
첨가량은 슬러리 총 중량의 0.001 내지 1중량%가 바람직하며, 보다 바람직하게는 0.001 내지 0.5중량%를 첨가할 경우 보다 나은 성능을 가질 수 있다. 첨가량이 0.001중량%보다 작을 경우 다결정 실리콘 막질의 연마속도가 너무 커지고, 웨이퍼 가장자리부분의 연마가 상대적으로 많게 되어 연마균일도가 나빠지는 경향이 있으며, 1중량%보다 클 경우 슬러리 안정성이 급격히 저하되며 다결정 실리콘 막질의 연마속도가 너무 낮고, 웨이퍼 가장자리 부분의 연마가 되지 않아 연마균일도가 나빠질 우려가 있어 바람직하지 못하다.
본 발명은 이온성 고분자, 4급암모늄염기화합물, 금속 산화물을 모두 포함하였을 경우, 적절한 연마속도에 의해 절연산화막에 대한 다결정 실리콘 막질의 선택 비가 목표로 하는 20:1 내지 100:1이 될 수 있으며, 가장 좋은 연마균일도를 얻을 뿐만 아니라 디싱 현상을 줄일 수 있다.
이하, 실시예를 통하여 본 발명을 보다 구체적으로 설명하고자 하나, 이러한 실시예들은 단지 설명의 목적을 위한 것으로 본 발명을 제한하는 것으로 해석되어서는 안 된다.
[실시예 1]
초순수 12299.5g에 20w% TMAH 200g을 투입하고, 10분 후 폴리아크릴아마이드-코-아크릴릭산(poly(acylamide-co-acrylic acid)) 0.4g을 투입한다. 반응기에서 500rpm으로 교반을 하면서 20w% 콜로이달 실리카 2500g을 투입하여 충분히 교반시킨다. 이후 3미크론 필터를 사용하여 여과한 후 아래와 같은 조건에서 1분간 연마하였다. 연마에 의해 제거된 웨이퍼의 두께 변화로 연마속도를 측정하였고, 옵티프로브(Optiprobe) 장비를 사용하여 3mm 에지를 제외한 98포인트 분석으로 웨이퍼 연마균일도(With in Wafer Non Uniformity)를 평가하였다. 결과는 표 1에 나타내었다.
▷ 연마기 Model : UNIPLA 211 (세미콘테크社)
▷ 연마 패드 : IC1000/Suba lV K groove (Rodel社)
▷ 연마 대상 : F-Poly, PTEOS, 8" blanket wafer
▷ 연마조건
- Platen Speed : 70rpm
- Head Speed : 70rpm
- Pressure : 3.5psi
- Back Pressure : 0psi
- 온 도 : 25℃
- Slurry flow : 200㎖/min
[실시예 2]
실시예 1에서 폴리아크릴아마이드-코-아크릴릭산을 0.8g 투입한 것을 제외하고 실시예 1과 같은 방법으로 조성의 성분을 조합하고, 연마성능을 평가하였다. 결과는 표 1에 나타내었다.
[실시예 3]
실시예 1에서 폴리아크릴아마이드-코-아크릴릭산을 1.2g 투입한 것을 제외하고 실시예 1과 같은 방법으로 조성의 성분을 조합하고, 연마성능을 평가하였다. 결과는 표 1에 나타내었다.
Figure 112006002175971-PAT00001
[비교예 1]
실시예 1에서 폴리아크릴아마이드-코-아크릴릭산을 제외하고 실시예 1과 같은 방법으로 조성의 성분을 조합하고, 연마성능을 평가하였다. 결과는 표 2에 나타내었다.
[비교예 2]
실시예 1에서 TMAH를 제외하고 실시예 1과 같은 방법으로 조성의 성분을 조합하고, 연마성능을 평가하였다. 결과는 표 2에 나타내었다.
Figure 112006002175971-PAT00002
상기 결과를 통하여, 이온성 고분자와 4급암모늄염기화합물 각각을 사용했을 때 나타나는 웨이퍼의 표면결함이 두 물질을 동시에 사용했을 경우에 보다 크게 향상되며, 이 때 바람직한 선택비를 유지함을 확인할 수 있다. 따라서, 본 발명에 의해 디싱 문제를 해결함과 동시에 연마균일도가 우수하고 적절한 선택비를 갖는 다결정 실리콘 연마용 CMP 슬러리 조성물을 제공할 수 있다.

Claims (7)

  1. 다음의 성분들을 포함하는 것을 특징으로 하는 다결정 실리콘 연마용 CMP 슬러리 조성물;
    (a) 금속산화물,
    (b) 4급암모늄염기화합물, 및
    (c) 이온성 고분자.
  2. 제 1항에 있어서, 상기 이온성 고분자를 전체 CMP 슬러리 조성물에 대하여 0.001 내지 1중량% 포함하는 것을 특징으로 하는 다결정 실리콘 연마용 CMP 슬러리 조성물.
  3. 제 1항에 있어서, 상기 이온성 고분자는 폴리아크릴산(Polyacrylic acid), 폴리아크릴산-코-말레산(Poly(acrylic acid-co-maleic acid)), 폴리아크릴아마이드-코-아크릴릭산 (poly(acylamide-co-acrylic acid)) 중의 하나 이상인 것을 특징으로 하는 다결정 실리콘 연마용 CMP 슬러리 조성물.
  4. 제 1항에 있어서, 상기 4급암모늄염기화합물은 테트라메틸암모늄하이드록사이드(Tetramethylammoniumhydroxide), 테트라에틸암모늄하이드록사이드(Tetraethylammoniumhydroxide), 테트라프로필암모늄하이드록사이드(Tetrapropylammoniumhydroxide), 테트라부틸암모늄하이드록사이드(Tetrabutylammoniumhydroxide) 중의 하나 이상인 것을 특징으로 하는 다결정 실리콘 연마용 CMP 슬러리 조성물.
  5. 제 1항에 있어서, 상기 4급암모늄염기화합물을 전체 CMP 슬러리 조성물에 대하여 0.01 내지 5중량% 포함하는 것을 특징으로 하는 다결정 실리콘 연마용 CMP 슬러리 조성물.
  6. 제 1항에 있어서, 상기 금속산화물은 SiO2, Al2O3, CeO2, ZrO2 및 TiO2 중의 하나 이상이고, 금속산화물의 일차입자크기는 10 내지 200nm, 비표면적은 10 내지 300㎡/g인 것을 특징으로 하는 다결정 실리콘 연마용 CMP 슬러리 조성물.
  7. 제 1항에 있어서, 상기 금속산화물을 전체 CMP 슬러리 조성물에 대하여 0.1 내지 30중량% 포함하는 것을 특징으로 하는 다결정 실리콘 연마용 CMP 슬러리 조성물.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7005382B2 (en) * 2002-10-31 2006-02-28 Jsr Corporation Aqueous dispersion for chemical mechanical polishing, chemical mechanical polishing process, production process of semiconductor device and material for preparing an aqueous dispersion for chemical mechanical polishing
KR100582771B1 (ko) * 2004-03-29 2006-05-22 한화석유화학 주식회사 반도체 얕은 트렌치 소자 분리 공정용 화학적 기계적 연마슬러리

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20190063678A (ko) 2017-11-30 2019-06-10 김성호 기능성 아스콘 플랜트 시스템
KR20220144631A (ko) * 2021-04-20 2022-10-27 주식회사 케이씨텍 연마 슬러리 조성물

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