KR20070043672A - 유압식 진동방지장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 가공챔버와, 가요성 벽에 의해 부분적으로 형성되는 보상챔버 및 상기 가요성 벽을 커버하는 커버를 부분적으로 형성하는 탄성체에 의해 상호 연결되는 2개의 경질 강성부재를 갖는 유압식 진동방지장치에 관한 것으로, 상기 가요성 벽은 림과 일체적인 주변영역을 갖는 것을 특징으로 한다.

진동방지, 진공, 가요성 벽, 탄성체

Description

유압식 진동방지장치{Hydraulic antivibration device}

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 진동방지 지지부를 통한 수직 단면도.

도 2는 도 1의 상세한 도면.

도 3은 가요성 벽이 림(rim) 상에 오버몰딩되어 있는 실시예에서의 도 2와 유사한 상세한 도면.

도 4는 상기 가요성 벽이 커버 상에 성형이 완료되었으나 액체가 장치내에 아직 도입되기 이전의 상태를 나타내는 조립공정 중의 조립된 장치를 나타내는 도 1과 유사한 도면.

도 5는 진공상태가 이루어진 후 다음의 단계를 나타내는 도면.

본 발명은 링크(linking) 및 댐핑(damping)을 목적으로 차량 샤시 및 엔진과 같은 2개의 경질부재(rigid element) 사이에 개재되는 유압식 진동방지장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는, 이러한 장치들중, 두 개의 부재가 일체화되도록 연결하는 제1 및 제2 경질부재와; 상기 제1 경질부재에 고정된 단부와 상기 제2경질부재에 고정된 베이스 사이에 연장되는 탄성체(elastomer body)와; 상기 탄성체에 의해 부분적으로 형성되며 액체가 채워지는 가공챔버와; 자유롭게 변형가능한 가요성 벽에 의해 부분적으로 형성되며 액체가 채워지는 보상챔버(compensation chamber)와; 상기 보상챔버와 가공챔버를 구획하는 견고한 경계벽과; 상기 2개의 챔버를 서로 연통시키는 교축통로(throttled passage) 및; 바닥 및 환형 측벽을 포함하고 실질적으로 컵 형상의 내면을 갖는 커버를 포함하는 유압식 진동방지장치에 관한 것이다.

이러한 유압식 진동방지장치가, 예를 들어, 미국특허 제5,833,219호에 개시되어 있다. 이러한 장치는 상기 가요성 부재(또한, "벨로우즈(bellows)"라고 도 칭함) 위에 일반적으로 커버 형상을 갖는 보호부재의 조립을 필요로 한다. 이는 상기 가요성 벽을 견고한 경계벽에 대하여 소정의 위치에서 상기 탄성체 및 제2 경질부재에 위치결정시키기 위해 별도의 전기자(armature) 상에 형성된다.

본 발명의 목적은 이러한 유압식 진동방지장치의 제조 및 조립을 보다 개선 및 단순화시키는 것이다.

이를 위해, 본 발명에 따르면, 이러한 해당 종류의 유압식 진동방지장치에 있어서, 상기 가요성 벽은 상기 커버의 환형 측벽과 일체인 주변영역을 갖는다.

이러한 배열에 의해, 전체 부품의 수가 감소하고, 상기 보호커버의 조립작업이 없어지며, 상기 벨로우즈의 이동을 위해 사용할 수 있는 전체 부피가 증가될 수도 있다.

이에 따라, 본 발명의 진동방지장치는 제조하기가 간편하고 저렴하게 되며 종래의 진동방지장치 보다 더욱 효율적이게 된다.

양호한 실시예에서는 다음의 배열들 중의 하나 이상을 사용할 수 있다:

- 상기 커버는, 환형 측벽으로부터 중심축에 대하여 방사상으로 외측을 향해 연장되어 상기 가요성 벽의 주변영역에 의해 커버되는 림(rim)을 또한 포함하며, 상기 가요성 벽의 주변영역은 적어도 상기 림과 견고한 경계벽 사이에서 가압된다;

- 상기 커버의 림과 가요성 벽의 주변영역은 영구적인 연결에 의해 서로 접합된다;

- 상기 연구적인 연결은, 오버 몰딩(over-molding), 접착제 연결 및 기계적 연결로 이루어지는 그룹에서 선택된다;

- 상기 림은 2개의 마주하는 주면(main faces)과 상기 2개의 마주하는 주면 사이에서 연장되는 다수의 홀을 포함하고, 상기 가요성 벽은 상기 다수의 홀 내부를 완전히 관통하여 적어도 부분적으로는 상기 림의 2개의 마주하는 주면을 넘어 연장된다;

- 상기 커버는, 상기 가요성 벽과 커버의 내면에 의해 형성되는 체적이 대기와 연결되도록 공기 통로를 또한 포함한다;

- 상기 가요성 벽의 재료는 탄성체이다;

- 상기 탄성체는, 열가소성 플라스틱, 천연고무 및 합성물질(synthetic substances) 구체적으로는 베가프렌(Vegaprene®)으로 이루어지는 그룹으로부터 선택된다;

- 상기 가요성 벽은 커버의 내면에 직접 성형된다;

- 상기 커버의 재료는 상기 가요성 벽에 자연스럽게 부착되지 않도록 된다:

- 상기 커버는 합성 혼합물(sythetic compounds) 및 금속으로 이루어진 그룹으로부터 선택된 재료로 만들어 진다;

이밖에, 본 발명의 다른 목적은 2개의 경질부재 사이에 개재되는 유압식 진동방지장치를 제조하는 방법으로서, 상기 진동방지장치는:

- 두 개의 부재가 일체화되도록 연결하는 제1 및 제2 경질부재와;

- 상기 제1 경질부재에 고정된 단부와 상기 제2경질부재에 고정된 베이스 사이의 중심축에 대하여 연장되는 탄성체와;

- 상기 탄성체에 의해 부분적으로 형성되며 액체가 채워지는 가공챔버와;

- 자유롭게 변형가능한 가요성 벽에 의해 부분적으로 형성되며 액체가 채워지는 보상챔버와;

- 상기 보상챔버와 가공챔버를 구획하며 상기 2개의 챔버를 서로 연통시키는 통로를 포함하는 견고한 경계벽과;

- 베이스 및 환형 측벽을 포함하고 실질적으로 컵 형상의 내면을 갖는 커버를 포함하며, 상기 커버는 상기 가요성 벽을 커버하고, 상기 커버의 환상 측벽은 제2 경질부재에 고정되며, 상기 가요성 벽은 상기 커버의 환상 측벽과 일체인 주변영역을 갖는다,

상기 방법은 적어도:

(a) 상기 커버의 내벽에 의해 부분적으로 한정되는 내부 체적 내에 가요성 벽을 성형하는 단계를 포함한다.

상기 방법의 변형예로서, 상기 단계(a)에서 커버 상에 성형된 가요성 벽은 가요성 벽의 주변영역 외측의 커버에 부착되지 않으며; 상기 방법은 또한 상기 단계(a) 이후에 적어도 다음의 단계를 더 포함한다:

(b) 제2 경질부재와, 경계벽 및 커버를 함께 조립함으로써, 상기 가공챔버, 보상챔버 및 교축통로를 형성하는 내부 체적을 한정하는 단계와;

(c) 상기 내부 체적을 진공상태에 놓음으로써, 상기 가요성 벽을 커버의 내면으로부터 가요성 벽의 주변영역 외측으로 분리시키는 단계와;

(d) 상기 진공을 일정한 양의 액체와 교환하는 단계; 및

(e) 상기 내부 체적을 밀봉하는 단계.

실시예

첨부된 도면에서는 일치하거나 유사한 부재에 대해서는 동일한 참조부호가 부여된다.

또한, 다음의 설명에서는 "위(up)", "아래(down)", "상부(top)", "하부(bottom)", "베이스(base)", "수직(vertical)", "수평(horizontal)"과 같은 용어는 단지 설명을 보다 쉬고 명확하게 하기 위하여 사용되며 본 발명의 장치의 정상적인 위치관계를 나타내는 것으로 이러한 용어에 한정되는 것은 아니다.

도 1에 도시된 유압식 진동방지장치는 제1 경질 강성부재(1)와 제2 경질 강성부재(2)를 포함하며, 상기 제1 및 제2 경질 강성부재는 지지 및 댐핑을 위한 외 부 몸체들 사이에 부착되도록 처리된다. 이하, 특정 실시예에 있어서;

- 상기 제1 경질 강성부재(1)는, 경질 베이스(11)와, 지지부 상에 고정하는 데 사용되도록 위쪽으로 연장되는 스터드 볼트(12)를 포함하고;

- 상기 제제 경질 강성부재(2)는 서로 용접된 2개의 겹쳐진 환상 플레이트(21, 22)에 의해 형성되는 견고한 링의 형태로 형성되어 다수의 연결 포인트(23)와 함께 배열된다.

상기 진동방지장치는,

- 상기 제1 경질 강성부재의 베이스(11) 상에 오버몰딩(overmolded)되는 상부(31)와

- 상기 제2 경질 강성부재의 상부 플레이트(21)의 위쪽으로 구부러진 환상부(24) 상에 오버몰딩되는 환상 베이스(32)

사이의 중심축(X)에 대해 연장되며, 벨 형상으로 형성되는 탄성체(elastomer body:3)를 또한 포함한다.

상기 탄성체는 지지가능한 외부 몸체의 정적인 힘(static forces)과 동적인 힘(dynamic force)을 흡수할 수 있도록 충분한 압축강도를 나타낸다.

견고한 경계벽(6)이 또한 상기 탄성체(3)의 베이스(32) 및 제2 경질 강성부재(2)에 배치 및 고정된다. 이러한 견고한 경계벽(6)은, 경계벽(6)의 한쪽 면으로부터 다른 쪽 면으로 유체의 연통을 허용하며 예를 들어 상기 견고한 경계벽의 주편을 따라 배치되는 수축 통로(7)를 형성할 수도 있다. 또한 상기 견고한 경계벽(6)은, 본 분야에 널리 공지되어 있는 바와 같이, 낮은 진폭과 상대적으로 큰 주 파수를 갖는 진동을 더 필터링하기 위해 디커플링 밸브(decoupling valve:8)를 포함할 수도 있다. 이 경우, 상기 견고한 경계벽(6)은 상기 디커플링 밸브(8)의 이동을 제한하기 위하여 구멍이 뚫린 평평한 상하 플레이트(9, 10)를 포함할 수도 있다.

가요성 벽(4)은 상기 견고한 경계벽(6)에 대하여 밀봉적으로 위치됨으로써, 상기 탄성체(3)와 가요성 벽(4) 사이에 액체가 채워지는 밀봉된 체적을 형성한다. 상기 밀봉된 체적은:

- 상기 탄성체와 견고한 경계벽 사이의 체적에 의해 형성되는 가공챔버(A)와,

- 상기 견고한 경계벽과 가요성 벽에 사이의 체적에 의해 형성되는 보상챔버(B)를 형성한다.

상기 가요성 벽(4)은, 변형가능한 바람직하게는 탄력적인 재료로 만들어 진다. 예를 들면, 상기 재료는 적절한 직물로 보강 또는 보강되지 않은 탄성체일 수도 있다. 이러한 탄성재료로는, 예를 들어, 베가프렌(Vegaprene®), 천연고무 및 합성물질(synthetic substances) 또는 열가소성 플라스틱 탄성체가 사용될 수도 있다.

상기 가요성 벽(4)은 커버(5)에 의해 커버되어 일체적으로 연결된다. 상기 커버는, 예를 들어, 금속 또는 플라스틱 재료로 만들어질 수 있으며, 상기 금속재료로는, 예를 들어, 강철, 알루미늄 또는 다른 적절한 금속재료가 사용될 수 있다.

도 2에 보다 상세히 도시한 바와 같이, 상기 커버(5)는 실질적으로 컵 형상 을 가지며, 중심축(X)에 대해 대칭이고, 수평베이스(51)와, 상기 수평베이스(51)로부터 위쪽으로 연장되는 환상 측벽(52) 및 상기 환상 측벽(52)으로부터 중심축(X)에 대해 외측으로 연장되는 수평림(3)을 포함한다.

상기 베이스(51)에는, 가요성 벽(4)과 커버(5) 사이에 형성된 체적이 변할 때, 상기 장치의 작동 동안 압력 균등화를 이루기에 적합한 공기 통로(55)가 제공된다. 상기 베이스(51)의 내면과, 환상 측벽(52) 및 림(53)은 가요성 벽(4)이 성형되는 몰드의 하나의 한계면(delimitating surface)으로서 사용하기에 적합하다.

상기 림(53)은, 상기 견고한 경계벽(6)에 대해 가압될 때, 제2 경질 강성부재(2)와 함께 상기 장치의 내부 체적의 누수 방지 분할선(leak proof separation)을 이루도록 상기 가요성 벽(4)과 림(53)을 적절히 배치하는 것뿐만 아니라 상기 가요성 벽(4)을 통합시키는 2가지 목적을 갖는다. 이를 위해, 상기 림(53)의 상부면은 가요성 벽(4)의 주변과 결합되고, 상기 림은, 림과 상기 경계벽 사이에서의 가요성 벽(4) 주변부가 삽입된 상태에서, 제2 경질 강성부재(2)의 하부 플레이트(22)에 부속된 구부러진 탭(25)에 의해 상기 경계벽(6)에 대해 고정된다.

선택적으로, 상기 가요성 벽(4)의 주변부는, 오버몰딩 및 기계적 연결과 같은 접착제가 아닌 영구적인 연결방법에 의해 림에 연결될 수 있다는 사실에 주의해야 한다. 예를 들면, 도 3에 도시된 바와 같이, 상기 림(53)은 림의 마주하는 2개의 주면(main faces) 사이에서 연장되는 다수의 홀(54)을 포함할 수 있으며, 상기 가요성 벽은 상기 다수의 홀(54) 내부를 완전히 관통하여 (도 3의 예에서) 림의 마주하는 2개의 주면 위에 적어도 부분적으로 연장되고, 상기 가요성 벽(4)은 상기 림(53)의 상부면을 전체적으로 커버하여 상기 림의 하면 아래에서 버섯형상의 돌기부(40)를 형성한다.

상술된 진동방지장치의 작동은 다음과 같다: 비교적 낮은 주파수(예, 20Hz보다 낮음)와 비교적 높은 진폭(예, 1mm보다 높음)의 진동축 이동이 상기 제1 및 제2 경질 강성부재(1,2) 사이에 적용되면, 상기 탄성체(3)가 수축함으로써, 액체가 가공챔버(A)로부터 수축 통로(7)를 통해 보상챔버(B)로 이동하게 된다. 이러한 액체의 이동은, 상기 수축 통로(7)의 공진 주파수 부근에서의 특정한 효율성을 가지고 상기 제1 및 제2 경질 강성부재(1,2)에 가해지는 진동을 감쇄시킨다.

비교적 높은 주파수(예, 20Hz보다 높음)와 비교적 낮은 진폭(예, 1mm보다 낮음)의 진동축 이동이 상기 제1 및 제2 경질 강성부재 사이에 적용되면, 이러한 이동은, 본 분야에 공지되어 있는 바와 같이, 디커플링 밸브(8)에 의해 필터링된다.

상기 진동방지장치의 조립공정은,

- 벨 형상의 탄성체(3)에 의해 함께 연결되는 제1 및 제2 경질 강성부재(1,2)와,

- 상기 탄성체의 베이스(32)에 안전하고 밀봉적으로 결합되는 경계벽(6)으로 이루어진 부분 조립체를 제공하는 하는 단계를 포함한다.

이밖에도, 상기 조립공정은:

- 커버(5)를 다이(die)에 삽입하여 상기 다이와 커버(5)의 내벽에 의해 부분적으로 제한되는 내부 체적을 형성하는 단계와;

- 상기 내부 체적 내에 가요성 벽(4)을 몰딩하는 단계를 포함한다.

바람직하게는, 상기 가요성 벽(5)과 커버(5)의 재료는, 가요성 벽의 성형이후, 이러한 2부분이 서로 자연스럽게 부착되지 않도록 선택된다. 이러한 부착은 성형 이전에 접착제로 코팅된 림(53)의 상부면 상에서만 일어나게 된다.

도 3의 변형예에 있어서, 상기 가요성 벽의 탄성체가 홀(54) 내로 흘러들어가 가요성 벽(4)과 림(53) 간의 영구적인 기계적 연결을 이루기 때문에, 접착제는 사용되거나 또는 사용되지 않을 수도 있다.

상기 커버(5)의 내면 상에 가요성 벽(4)의 성형이 이루어진 후, 상기 커버와 가요성 벽을 포함하는 부분 조립체가 2개의 강성부재(1,2)와, 탄성체(3) 및 경계벽(6)을 포함하는 상술된 부분 조립체에 밀봉적으로 조립됨으로써, 도 4에 도시된 바와 같이, 액체를 수용하기로 되어 있는 내부 체적을 형성한다. 이러한 단계에 있어서, 상기 내부 체적은 밀봉되지 않는 대신, 구멍(13)을 통해 대기와 연통된다. 상기 구멍(13)은, 예를 들어, 제1 경질 강성부재(1)의 베이스(11)와 탄성체의 상부(31)에 구멍을 냄으로써 형성된다.

그런다음, 상기 구멍은 진공원(vacuum source)에 연결되고, 이에 따라, 상기 내부 체적은 진공 상태에 놓이게 됨으로써, 도 5에 도시된 바와 같이, 상기 가요성 벽을 커버의 내면으로부터 가요성 벽의 주변영역 외측으로 분리한다.

그 후, 액체는 상기 진공상태를 액체와 교환하기 위해 내부 체적으로 분사되고, 상기 내부 체적은, 예를 들어, 상기 구멍(13)에 마개(14)를 삽입함으로써(도 1참조) 마침내는 밀봉된다. 보다 구체적으로 말하면, 상기 진공은, 가공챔버(A)와, 보상챔버(B) 및 액체로 채워질 수축 통로(7)로 구성되는 전체 내부 체적이 공기 방 울로부터 자유롭게 되도록 하며, 견고한 경계벽(6)이나 커버(5)와 접촉함이 없이 상기 가요성 벽의 자유로운 이동이 허용되도록 액체의 매우 한정된 체적만큼 교환된다.

내부 체적을 진공상태로 하는 공정의 일 예로서, 내부에 액체를 분사하여 이러한 체적을 밀봉시키는 방법이, 예를 들어, 일본특허 제1 790 487호에 설명되어 있다.

상기 유압식 진동방지장치를 채우는 다른 방법으로는 미리 압축된 탄성체(3)와 함께 액체 욕조에 잠겨진 상태에서 전체 장치의 조립작업을 실행하는 것이다. 일단 조립 및 밀봉되면, 상기 탄성체(3)는 원래의 상태로 회복될 수 있으며, 따라서, 상기 공정에서는 상기 가요성 벽(5)을 커버(5)로부터 분리한다.

이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명의 유압식 진동방지장에 따르면, 상기 유압식 진동방지장치의 제조 및 조립을 보다 개선 및 단순화시킬 수 있게 된다.

Claims (13)

1. 2개의 경질부재 사이에 개재되는 유압식 진동방지장치로서,

   - 두 개의 부재가 일체화되도록 연결하는 제1 및 제2 경질부재와;

   - 상기 제1 경질부재에 고정된 단부와 상기 제2경질부재에 고정된 베이스 사이의 중심축에 대하여 연장되는 탄성체와;

   - 상기 탄성체에 의해 부분적으로 형성되며 액체가 채워지는 가공챔버와;

   - 자유롭게 변형가능한 가요성 벽에 의해 부분적으로 형성되며 액체가 채워지는 보상챔버와;

   - 상기 보상챔버와 가공챔버를 구획하며 상기 2개의 챔버를 서로 연통시키는 통로를 포함하는 견고한 경계벽과;

   - 베이스 및 환형 측벽을 포함하고 실질적으로 컵 형상의 내면을 갖는 커버를 포함하며, 상기 커버는 상기 가요성 벽을 커버하고, 상기 커버의 환상 측벽은 제2 경질부재에 고정되는 것을 특징으로 하는 유압식 진동방지장치.
2. 제 1 항에 있어서, 상기 커버는, 환형 측벽으로부터 중심축에 대하여 방사상으로 외측을 향해 연장되어 상기 가요성 벽의 주변영역에 의해 커버되는 림(rim)을 또한 포함하며, 상기 가요성 벽의 주변영역은 적어도 상기 림과 견고한 경계벽 사이에서 가압되는 것을 특징으로 하는 유압식 진동방지장치.
3. 제 2 항에 있어서, 상기 커버의 림과 가요성 벽의 주변영역은 영구적인 연결에 의해 서로 접합되는 것을 특징으로 하는 유압식 진동방지장치.
4. 제 3 항에 있어서, 상기 연구적인 연결은, 오버 몰딩(over-molding), 접착제 연결 및 기계적 연결로 이루어지는 그룹에서 선택되는 것을 특징으로 하는 유압식 진동방지장치.
5. 제 4 항에 있어서, 상기 림은 2개의 마주하는 주면(main faces)과 상기 2개의 마주하는 주면 사이에서 연장되는 다수의 홀을 포함하고, 상기 가요성 벽은 상기 다수의 홀 내부를 완전히 관통하여 적어도 부분적으로는 상기 림의 2개의 마주하는 주면을 넘어 연장되는 것을 특징으로 하는 유압식 진동방지장치.
6. 제 1 항에 있어서, 상기 커버는, 상기 가요성 벽과 커버의 내면에 의해 형성되는 체적이 대기와 연결되도록 공기 통로를 또한 포함하는 것을 특징으로 하는 유압식 진동방지장치.
7. 제 1 항에 있어서, 상기 가요성 벽은 탄성체로 형성되는 것을 특징으로 하는 유압식 진동방지장치.
8. 제 7 항에 있어서, 상기 탄성체는, 열가소성 플라스틱, 천연고무 및 합성물 질(synthetic substances) 구체적으로는 베가프렌(Vegaprene®)으로 이루어지는 그룹으로부터 선택되는 것을 특징으로 하는 유압식 진동방지장치.
9. 제 7 항에 있어서, 상기 가요성 벽은 커버의 내면에 직접 성형되는 것을 특징으로 하는 유압식 진동방지장치.
10. 제 9 항에 있어서, 상기 커버는 상기 가요성 벽에 자연스럽게 부착되지 않게 되는 것을 특징으로 하는 유압식 진동방지장치.
11. 제 10 항에 있어서, 상기 커버는 합성 혼합물(sythetic compounds) 및 금속으로 이루어진 그룹으로부터 선택된 재료로 만들어지는 것을 특징으로 하는 유압식 진동방지장치.
12. 2개의 경질부재 사이에 개재되는 유압식 진동방지장치를 제조하는 방법으로서, 상기 진동방지장치는:

    - 두 개의 부재가 일체화되도록 연결하는 제1 및 제2 경질부재와;

    - 상기 제1 경질부재에 고정된 단부와 상기 제2경질부재에 고정된 베이스 사이의 중심축에 대하여 연장되는 탄성체와;

    - 상기 탄성체에 의해 부분적으로 형성되며 액체가 채워지는 가공챔버와;

    - 자유롭게 변형가능한 가요성 벽에 의해 부분적으로 형성되며 액체가 채워 지는 보상챔버와;

    - 상기 보상챔버와 가공챔버를 구획하며 상기 2개의 챔버를 서로 연통시키는 통로를 포함하는 견고한 경계벽과;

    - 베이스 및 환형 측벽을 포함하고 실질적으로 컵 형상의 내면을 갖는 커버를 포함하고, 상기 커버는 상기 가요성 벽을 커버하며, 상기 커버의 환상 측벽은 제2 경질부재에 고정되고, 상기 가요성 벽은 상기 커버의 환상 측벽과 일체인 주변영역을 가지며,

    상기 방법은 적어도:

    (a) 상기 커버의 내벽에 의해 부분적으로 한정되는 내부 체적 내에 가요성 벽을 성형하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 유압식 진동방지장치를 제조하는 방법.
13. 제 12 항에 따른 유압식 진동방지장치를 제조하는 방법으로서,

    - 상기 단계(a)에서 커버 상에 성형된 가요성 벽은 가요성 벽의 주변영역 외측의 커버에 부착되지 않으며;

    - 상기 방법은 또한 상기 단계(a) 이후에 적어도:

    (b) 제2 경질부재와, 경계벽 및 커버를 함께 조립함으로써, 상기 가공챔버, 보상챔버 및 교축통로를 형성하는 내부 체적을 한정하는 단계와;

    (c) 상기 내부 체적을 진공상태에 놓음으로써, 상기 가요성 벽을 커버의 내면으로부터 가요성 벽의 주변영역 외측으로 분리시키는 단계와;

    (d) 상기 진공을 일정한 양의 액체와 교환하는 단계; 및

    (e) 상기 내부 체적을 밀봉하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 유압식 진동방지장치를 제조하는 방법

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