KR20070039115A

KR20070039115A - 진공 압력 제어 시스템

Info

Publication number: KR20070039115A
Application number: KR1020077002520A
Authority: KR
Inventors: 테츠야 토요다
Original assignee: 씨케이디 가부시키 가이샤
Priority date: 2004-07-05
Filing date: 2005-06-14
Publication date: 2007-04-11
Also published as: CN1969241A; CN100580601C; KR101117747B1; JP4335085B2; JP2006018767A; WO2006003786A1

Abstract

본 발명은, 진공 압력 센서의 이상, 반응실의 누출, 배관의 막힘 등의 시스템의 이상을 조기에 검지하는 것이 가능한 진공 압력 제어 시스템을 제공하기 위해 이루어진 것이며, 퍼텐쇼미터(18)를 이용하여 얻은 진공 비례 개폐 밸브(16)의 밸브 개도가 미리 설정한 설정값(X1)에 도달한 때에(S22: YES), 압력 센서(14, 15)를 이용하여 얻은 반응실(10)의 진공 압력이 미리 설정된 설정값(X2)보다도 큰 경우(S24: NO), 진공 압력 센서의 이상, 반응실의 누출, 배관의 막힘 등의 시스템의 이상이 발생하고 있다고 판단하고 이상시 처리를 행한다(S25). 그리고 설정값(X1, X2)은, 진공 압력 센서의 이상, 반응실의 누출, 배관의 막힘 등의 각종 이상을 적절히 검출하는 것이 가능하도록 실험 등에 의해 미리 구해 둔다.

진공 압력 센서, 진공 압력 제어 시스템, 진공 비례 개폐 밸브,

Description

진공 압력 제어 시스템{VACUUM PRESSURE CONTROL SYSTEM}

본 발명은, 반도체 제조 장치로 사용되는 진공 압력 제어 시스템에 관련한다. 더욱 상세하게는, 시스템의 각종 이상을 검지하는 것이 가능한 진공 압력 제어 시스템에 관한 것이다.

종래, 예를 들면, 반도체 제조 장치의 CVD 장치에 있어서는, 반응실 내를 감압상태, 즉, 진공 상태로 유지하면서, 박막재료를 구성하는 원소로 된 재료 가스를, 웨이퍼 위에 공급하고 있다. 예를 들면, 도 14에 도시한 CVD 장치에 있어서는, 진공용기인 반응실(10) 내의 웨이퍼에 대하여, 반응실(10)의 입구(11)에서 재료 가스를 공급함과 동시에, 반응실(10)의 출구(12)에서 진공 포트(13)로 배기하는 것에 의해, 반응실(10) 내를 진공 상태로 유지하고 있다.

이때, 반응실(10) 내의 진공 압력을 일정하게 유지할 필요가 있지만, 그 일정값은, 여러 가지의 조건에 의해서 변하며, 대기압 또는 대기압에 가까운 저진공(低眞空)에서 고진공(高眞空)까지의 넓은 범위에 도달한다. 그래서, 대기압에 가까운 저진공에서 고진공까지의 넓은 범위에 도달하며, 진공 압력을 정밀하고 양호하게 일정하게 유지할 필요가 있다. 또한 반응실(10) 내의 웨이퍼에 형성되는 박막의 품질을 한층 향상시키기 위해, 반응실(10) 내로 파티클이 상승하는 것을 방지 하는 관점에서, 반응실(10) 내의 진공 압력을 대기압 또는 대기압에 가까운 저진공에서 목표 진공 압력값으로까지 도달되는 진공화 과정에 있어서, 반응실(10) 내에서 가스가 배출되는 진행 과정을 충분히 행할 필요도 있다.

이런 필요성을 만족시키기 위한 진공압력 제어 시스템으로서, 예를 들면, 특개 2000-163137호 공보에 개시되어 있는 것이 있다. 이 시스템에서는, 진공 비례 개폐 밸브의 개도를 조작하여, 진공 용기 내의 진공 압력을 외부에서 주어진 또는 미리 컨트롤러에 설정된 목표 진공 압력 변화 속도를 더욱 변화시키는 것에 의해, 진공 용기 내에서 가스를 배출시키는 진행 과정을 충분히 행하고, 진공 용기 내에서 파티클이 상승하는 것을 방지함과 동시에, 진공 용기 내에서 가스를 배출시킬 때에, 진공 용기 내의 진공 압력 변화 속도를 자유롭게 제어하는 것이 가능하도록 되어 있다.

보다 구체적으로는, 진공 압력 센서로 계측된 반응실 내의 진공 압력에 대하여 얻은 목표 진공 압력 변화 속도로 변화된 진공 압력값을, 내부 코멘드(command)로서 순차발생시켜 가며, 순차 발생하는 내부 코멘드를 피드백 제어의 목표값으로 하며, 피드백 제어의 목표값을 순차 변경하는 것에 의해, 피드백 제어를 추종제어로 하여 실행하도록 되어 있다. 이것에 의해, 이 진공 압력 제어 시스템에서는, 반응실 내의 진공 압력을 목표 진공 압력 변화 속도를 더욱 일률적으로 변화시키는 것이 가능하도록 되어 있다.

특허문헌 1: 특개2000-163137호 공보

그러나, 상기한 종래의 진공 압력 제어 시스템에서는, 예를 들면, 「진공압력 센서의 이상」,「반응실의 누출(leak)」,「배관의 막힘」 등의 이상은, 오페레이터(operater) 등에 의해서 발견된 후에, 그 대책처치(對策處置)가 실행된다. 즉, 시스템 자체에서 이상을 검지하는 것이 가능하지 않은 문제가 있다.

그래서, 본 발명은 상기한 과제를 해결하기 위하여 이루어진 것이고, 진공 압력 센서의 이상, 반응실의 누출, 배관의 막힘 등의 시스템의 이상을 조기에 검지하는 것이 가능한 진공 압력 제어 시스템을 제공하는 것을 과제로 한다.

상기 과제를 해결하기 위해 이루어진 본 발명에 관한 진공 압력 제어 시스템은, 진공 용기와 진공 펌프를 접속하는 배관 위에 있고 개도(開度)를 변화시키는 것에 의해 상기 진공 용기 내의 진공 압력을 변화시키는 진공 비례 개폐 밸브와, 상기 진공 용기 내의 진공 압력을 계측하는 진공 압력 센서와, 상기 진공 압력 센서의 출력에 기초하여 상기 진공 비례 개폐 밸브의 개도를 제어하는 컨트롤러를 가지는 진공 압력 제어 센서에 있어서, 상기 컨트롤러는, 시스템이 정상으로 작동할 때의 상기 진동 압력 센서의 출력과 상기 진공 비례 개폐 밸브의 개도와의 관계를 미리 기억하고 있고, 상기 진공 압력 센서의 출력에 기초를 둔 상기 진공 비례 개폐 밸브의 개도 제어를 행하고 있는 때에, 상기 진공 압력 센서의 실제의 출력과 상기 진공 비례 개폐 밸브의 실제의 개도와의 관계와, 상기 기억된 상기 진공 압력 센서의 출력과 진공 압력 비례 개폐 밸브의 개도와의 관계를 비교하는 것에 의해 시스템의 이상을 검지하는 것을 특징으로 한다.

이 진공 압력 제어 시스템에서는, 컨트롤러가 진공 용기 내의 진공 압력을 계측하는 진공 압력 센서와, 진공 압력 센서의 출력에 기초하여 진공 비례 개폐 밸브의 개도를 제어하며, 진공 용기 내의 압력을 하강시킨다(도 5 참조). 여기서, 시스템이 정상인 경우에는, 진공 압력 센서의 출력과 진공 비례 개폐 밸브의 개도와는, 항상 일정한 관계를 가진다. 그래서, 그래서, 이 진공 압력 제어 시스템에서는, 이와 같은 정상시의 진공 압력 센서의 출력과 진공 비례 개폐 밸브의 개도와의 관계를 컨트롤러에 기억시키고 있다.

그리고, 진공 압력 제어 시스템에 있어서, 「진공 압력 센서의 이상」, 「진공 용기의 누출」, 「배관의 막힘」 등의 이상이 발생한 경우에는, 상기한 진공 압력 센서의 출력과 진공 비례 개폐 밸브의 개도의 일정한 관계가 무너진다. 즉, 진공 압력 센서의 실제의 출력과 진공 비례 개폐 밸브의 실제의 개도와의 관계가, 컨트롤러에 기억되어 있는 관계와 일치하지 않게 된다. 이 때문에, 진공 압력 센서의 출력에 기초를 둔 진공 비례 개폐 밸브의 개도 제어를 행하고 있을 때에, 진공 압력 센서의 실제의 출력과 진공 비례 개폐 밸브의 실제의 개도와의 관계와, 컨트롤러에 기억된 진공 압력 센서의 출력과 진공 비례 개폐 밸브의 개도와의 관계를 비교하는 것에 의해, 상기한 시스템의 이상을 조기에 검출하는 것이 가능하다.

또한, 상기 과제를 해결하기 위해 이루어진 본 발명에 관한 다른 형태의 진공 압력 제어 시스템은, 진공 용기와 진공 펌프를 접속하는 배관 위에 있고 개도를 변화시키는 것에 의해 상기 진공 용기 내의 진공 압력을 변화시키는 진공 비례 개폐 밸브와, 상기 진공 용기 내의 진공 압력을 계측하는 진공 압력 센서와, 상기 진공 압력 센서의 출력에 기초하여 상기 진공 비례 개폐 밸브의 개도를 제어하는 컨트롤러를 가지는 진공 압력 제어 시스템에 있어서, 상기 컨트롤러는, 상기 진공 압력 센서의 출력에 기초를 둔 상기 진공 비례 개폐 밸브의 개도 제어를 행하고 있을 때에, 상기 진공 비례 밸브의 개도가 미리 설정된 소정 개도에 도달한 때에, 상기 진공 압력 센서의 출력이 미리 설정된 소정값보다 더 큰 경우, 시스템에 이상이 발생하고 있다고 판단하는 것을 특징으로 한다.

이 진공 압력 제어 시스템에서도, 컨트롤러가 진공 용기 내의 진공 압력을 계측하는 진공 압력 센서와, 진공 압력 센서의 출력에 기초하여 진공 비례 개폐 밸브의 개도를 제어하며, 진공 용기 내의 압력을 하강시킨다(도 5 참조). 여기서, 시스템이 정상인 경우에는, 진공 압력 센서의 출력과 진공 비례 개폐 밸브의 개도는, 항상 일정한 관계를 가진다. 이 때문에, 상기 진공 비례 개폐 밸브의 개도가 미리 설정된 소정 개도에 도달한 때의 진공 압력 센서의 출력을 예측하는 것이 가능하다.

그리고, 진공 용기 내의 압력은 하강하고 있기 때문에, 진공 비례 개폐 밸브의 개도가 미리 설정된 소정 개도에 도달한 때에, 진공 압력 센서의 출력이 미리 설정된 소정값보다 큰 경우에는 시스템에 이상이 발생하고 있다고 생각된다. 그래서, 이 진공 압력 제어 시스템에서는, 진공 압력 센서의 출력에 기초를 둔 진공 비례 개폐 밸브의 개도 제어를 행하고 있는 때에, 진공 비례 개폐 밸브의 개도가 미리 설정된 소정 개도에 도달한 때에, 진공 압력 센서의 출력이 미리 설정된 소정값보다 큰 경우, 시스템에 이상이 발생하고 있다고 판단하는 것이다. 이것에 의해, 시스템의 이상을 조기에 검출하는 것이 가능하다.

여기서, 시스템의 이상을 검지하기 위해 설정하는 진공 비례 개폐 밸브의 소정 개도 및 진공 압력 선세의 소정 개도는, 검지하려고 하는 이상에 가장 적합한 실험 등에 의해 구할 수 있어 좋다. 따라서, 미리 설정된 진공 비례 개폐 밸브의 소정 개도 및 진공 압력 센서의 소정 개도의 조합은, 한 쌍의 경우도 있으면 복수 쌍의 경우도 있을 수 있다.

본 발명에 관한 진공 압력 제어 시스템에 있어서는, 상기 컨트롤러는, 시스템의 이상을 검지하기 위해, 상기 진공 비례 개폐 밸브의 개도 대신에 상기 진공 비례 개폐 밸브에 입력하는 조작 전압을 사용하는 것도 가능하다.

또는, 본 발명에 관한 진공 압력 제어 시스템에 있어서는, 상기 컨트롤러는, 시스템의 이상을 검지하기 위해, 상기 진공 비례 전자 밸브의 개도 대신에 상기 진공 비례 개폐 밸브에 공급된 조작 공기압을 사용하는 것도 가능하다.

이와 같이 하는 것에 의하여, 진공 비례 개폐 밸브의 개도를 검출하는 구성(예를 들면, 퍼텐쇼미터(potentiometer) 등)이 구비되어 있지 않은 밸브에서 시스템을 구축하여도, 시스템의 이상을 조기에 검지하는 것이 가능하다.

본 발명에 관한 진공 압력 제어 시스템에 있어서는, 상기 컨트롤러는, 시스템의 이상을 검지, 또는 시스템에 이상이 발생하고 있다고 판단한 때에, 이를 통지하는 것이 바람직하다.

이것에 의해, 오페레이터가 시스템의 이상을 조기에 아는 것이 가능하고, 그 후의 대책조치를 신속히 행하는 것이 가능하기 때문이다. 또한, 「통지」에는, 청각에 대한 것이나 시각에 대한 것 등이 전부 포함되고, 단일 수단으로의 통지(예를 들면, 경고음만 등)나 복합 수단으로의 통지(예를 들면, 경고음 및 경고 표시 등)의 어느 쪽이어도 좋다.

또한, 본 발명에 관한 진공 압력 제어 시스템에 있어서는, 상기 컨트롤러는, 시스템의 이상을 검지, 또는 시스템에 이상이 발생하고 있다고 판단한 때에, 상기 진공 비례 밸브를 시스템의 안전 방향으로 동작시키는 것이 바람직하다.

여기서, 시스템의 안전 방향은 각 시스템의 구성에 의하여 다르기 때문에, 「진공 비례 개폐 밸브를 시스템의 안전 방향으로 동작시키다」에서는, 「밸브를 닫는다」, 「밸브를 연다」, 또는 「밸브 개도를 유지한다」의 어느 한쪽에 해당하는 것으로 된다. 즉, 이 진공 압력 제어 시스템에서는, 이상시에 있어서 각 시스템의 안정성을 높이기 위해, 컨트롤러에 의하여 진공 비례 개폐 밸브의 동작이 제어된다. 이 때문에, 이상시의 대처를 자동적으로 행하는 것이 가능하기 때문에 시스템의 안정성을 보다 한층 높이는 것이 가능하다.

본 발명에 관한 진공 압력 제어 시스템에 의하면, 상기한 수단에 의해서, 진공 압력 센서의 이상, 반응실의 누출, 배관의 막힘 등의 시스템의 이상을 조기에 검지하는 것이 가능하다.

도 1은 실시의 형태의 진공 압력 제어 시스템의 개략을 도시한 블록도이다.

도 2는 진공 비례 개폐 밸브가 차단된 상태에 있을 때의 단면도이다.

도 3은 진공 비례 개폐 밸브가 열린 상태에 있을 때의 단면도이다.

도 4는 실시의 형태의 진공 압력 제어 시스템의 개략을 도시한 블록도이다.

도 5는 진공 압력 변화 속도 제어 모드에 있어서, 진공 비례 개폐 밸브의 컨덕턴스(밸브 개도)를 변화시켜, 설정된 일정한 속도로 반응실 내의 압력을 저하시키고 있는 모습을 도시한 도면이다.

도 6은 진공 압력 변화 속도 제어 모드의 처리 내용을 도시한 플로우 차트이다.

도 7은 진공 압력 변화 속도 제어 모드의 준비 시간 처리의 내용을 도시한 플로우 차트이다.

도 8은 진공 압력 변화 속도 제어 모드의 실행 시간 처리 내용을 도시한 플로우 차트이다.

도 9는 정상시의 진공 압력 변화 속도 제어 모드에서의 반응실의 압력 변화와 진공 비례 개폐 밸브의 밸브 개도의 변화의 일례를 도시한 도면이다.

도 10은 밸브의 상승량을 끌어올리는 처리의 입력 신호를 도시한 도면이다.

도 11은 이상이 검출되고 이상시 처리가 실시되는 경우의 반응실의 압력 변화와 진공 비례 개폐 밸브의 밸브 개도의 변화의 일례를 도시한 도면이다.

도 12는 이상이 검출되고 이상시 처리가 실시되는 경우의 반응실 압력 변화와 진공 비례 개폐 밸브의 밸브 개도의 변화의 일례를 도시한 도면이다.

도 13은 이상이 검출되고 이상시 처리가 실시되는 경우의 반응실 압력 변화와 진공 비례 개폐 밸브의 밸브 개도의 변화의 일례를 도시한 도면이다.

도 14는 CVD 장치 및 그 배기계(排氣系)의 개요를 도시한 도면이다.

부호의 설명

10 CVD 장치의 반응실

14, 15 진공 압력 센서

16 진공 비례 개폐 밸브

18 퍼텐쇼미터(potentiometer)

20 컨트롤러

이하, 본 발명의 진공 압력 제어 시스템을 구체화한 가장 적절한 실시의 형태에 관하여 도면에 기초를 두어 상세히 설명한다. 거기서, 도 1은 종래 기술의 란에서 도시한 도 14에 대한, 본 실시의 형태에 관한 진공 압력 제어 시스템의 블록도를 도시한다. 본 실시의 형태에 관한 진공 압력 제어 시스템은, 컨트롤러(20), 공기압 제어부(30), 조작부(40)인 진공 비례 개폐 밸브(16), 검출부(60)인 진공 압력 센서(14, 15)를 포함한다.

컨트롤러(20)는, 인터페이스(interface) 회로(21) 진공 압력 제어 회로(22), 시퀀스(sequence) 제어 회로(23)를 포함한다. 인터페이스 회로(21)는, 컨트롤러(20)의 전면 밸브의 버튼(button)을 이용한 현장 입력에 의한 신호, 및, 컨트롤러(20)의 후면 밸브의 커넥터(connector)를 이용한 원격 입력에 의한 신호를, 진공 압력 제어 회로(22)나 시퀀스 제어 회로(23) 등에 적당한 신호로 변환하는 것이다. 또한, 컨트롤러(20)는, 후술할 것처럼, 정상시의 진공 압력 센서의 출력과 진공 비례 개폐 밸브의 개도의 일정한 관계를 기억하고 있고, 이 일정한 관계와, 진공 압력 센서의 실제의 출력과 진공 비례 개폐 밸브의 실제의 개도의 관계를 비교하여 시스템의 이상을 검지(판단)하는 것이다.

진공 압력 제어 회로(22)는, 도 14의 반응실(10) 내의 진공 압력에 대한 피드백 제어를 PID제어로 실행시킨 회로이다. 시퀀스 제어 회로(23)는, 인터페이스 회로(21)에서 주어진 동작 모드에 따르서, 공기압 제어부(30) 내의 제1 전자 밸브(34)의 구동코일(SV1)과 제2 전자 밸브(35)의 구동코일(SV2)에 대하여, 미리 정해진 동작을 시키는 회로이다.

공기압 제어부(30)는, 위치 제어 회로(31), 펄스 드라이브(pulse drive) 회로(32), 시간 개폐 동작 밸브(33), 제1 전자 밸브(34), 제2 전자 밸브(35)를 포함한다. 위치 제어 회로(31)는, 진공 압력 제어 회로(22)에서 주어진 밸브 개도 지령값과, 진공 비례 개폐 밸브(16)에 설치된 퍼텐쇼미터(18)에서 증폭기(amplifier, 19)를 이용하여 주어진 밸브 개도 계측값을 비교하여, 진공 비례 개폐 밸브(16)의 밸브의 위치를 제어하는 것이다. 펄스 드라이브 회로(32)는, 위치 제어 회로(31)에서의 제어 신호에 기초하여, 시간 개폐 동작 밸브(33)에 펄스 신호를 송신하는 것이다.

시간 개폐 동작 밸브(33)는, 도시하지 않은 급기측비례(給氣側比例) 밸브 및 배기측비례(排氣側比例) 밸브를 내장하는 것이며, 펄스 드라이브 회로(32)에서의 펄스 신호에 따라서, 급기측비례 밸브 및 배기측비례 밸브를 시간 개폐 동작시키는 것이고, 제2 전자 밸브(35)와 제1 전자 밸브(34)를 이용하여, 진공 비례 개폐 밸브(16)의 공기압 실린더(41)(후술할 도 2, 도 3 참조) 내의 공기 압력을 조정하는 것이다.

조작부(40)인 진공 비례 개폐 밸브(16)는, 도 14에 관하여 말하면, 반응실(10)에서 진공 펌프(13)까지의 배기계의 컨덕턴스(conductance)를 변화시키는 것이다. 도 2, 도 3에 진공 비례 개폐 밸브(16)의 단면도를 도시한다. 도시한 것처럼, 그 중앙에는, 피스톤 로드(43)가 설치되어 있다. 그리고, 피스톤 로드(43)에 대하여, 진공 비례 개폐 밸브(16)의 상부인 공기압 실린더(41) 내에 있어서, 피스톤(44)이 고정되며, 진공 비례 개폐 밸브(16)의 하부인 벨로스(bellows)식 포펫(poppet) 밸브(42) 내에 있어서, 포펫 밸브 본체(45)가 고정되어 있다. 따라서, 공기압 실린더(41)에 의해 포펫 밸브 본체(45)를 이동시키는 것이 가능하다.

이 진공 비례 개폐 밸브(16)에서는, 공기압 실린더(41) 내로 공급 포트(18A)를 이용하여 압축 공기가 공급되지 않고, 공기압 실린더(41) 내가 배기 포트(18B)를 이용하여 배기 라인을 연통한 때는, 공기압 실린더(41) 내의 복귀판(46)에 의한 하향의 가세력이 피스톤(44)에 작용하기 때문에, 도 2에 도시한 것처럼, 포펫 밸브 본체(45)는 밸브 시트(47)에 밀착하며, 진공 비례 개폐 밸브(16)는 차단된 상태로 된다.

한편, 공기압 실린더(41) 내에 급기 포트(18A)를 이용하여 압축 공기가 공급되는 때는, 공기압 실린더(41) 내의 복귀판(46)에 의한 하향의 가세력과, 공기압 실린더(41) 내의 압축 공기에 의한 상향의 압력이 피스톤(44)에 동시에 작동하기 때문에, 이 균형에 따라서, 도 3에 도시한 것처럼, 포펫 밸브 본체(45)는 밸브 시트(47)에서 떨어지며, 진공 비례 개폐 밸브(16)는 열린 상태로 된다.

따라서, 포펫 밸브 본체(45)가 밸브 시트(47)에서 떨어진 거리는, 밸브의 상승량으로서, 공기압 실린더(41)에 대하여 압축 공기의 공급과 배기로 조작하는 것이 가능하다. 또한, 포펫 밸브 본체(45)가 밸브 시트(47)에서 떨어진 거리는, 밸브의 상승량으로서, 피스톤(44)에 연결된 슬라이드 레버(slide lever)(48)를 이용하여, 퍼텐쇼미터(18)로 계측된 것이고, 진공 비례 개폐 밸브(16)의 개도에 상당한 것이다.

검출부인 진공 압력 센서(14, 15)는, 도 14의 반응실(10) 내의 진공 압력을 계측하는 캐퍼시턴스 마노미터(capacitance manometer)이다. 여기서는, 계측된 진공 압력의 범위에 따라서, 두 개의 캐퍼시턴스 마노미터를 구분하여 사용하고 있다.

이와 같은 구성을 가지는 본 실시의 형태에 관한 진공 압력 제어 시스템에서는, 동작 모드로서, 강제 폐쇄 모드(CLOSE)를, 컨트롤러(20)에서 선택하면, 시퀀스 제어 회로(23)는, 제1 전자 밸브(34) 및 제2 전자 밸브(35)를 도 1에 도시한 것처럼 작동시킨다. 이것에 의해, 공기압 실린더(41) 내는 압축 공기가 공급되지 않고, 공기압 실린더(41) 내는 배기 라인과 연통되기 때문에, 공기압 실린더(41) 내의 공기압이 대기압으로 되며, 진공 비례 개폐 밸브(16)는 차단된 상태로 된다.

또한, 동작 모드로서, 진공 압력 제어 모드(PRESS)를, 컨트롤러(20)에서 선택하면, 시퀀스 제어 회로(23)는, 제1 전자 밸브(34)를 동작시키는 것에 의해, 시 간 개폐 동작 밸브(33)와 공기압 실린더(41)를 연통시킨다. 이것에 의해, 진공 비례 개폐 밸브(16)의 공기압 실린더(41) 내의 공기 압력이 조정되며, 밸브의 상승량이, 공기압 실린더(41)로 조작될 수 있는 상태로 된다.

또한, 이때, 진공 압력 제어 회로(22)는, 현장 입력 또는 원격 입력으로 지시된 목표 진공 압력값을 목표값으로 하는 피드백제어를 개시한다. 즉, 도 14에 있어서, 진공 압력 센서(14, 15)로 반응실(10) 내의 진공 압력값을 계측하고, 그것과 목표 진공 압력값과의 차이(제어 편차)에 따라서, 진공 비례 개폐 밸브(16)의 밸브 상승량을 조작하며, 배기계의 컨덕턴스를 변화시키는 것에 의해, 반응실(10) 내의 진공 압력을 목표 진공 압력값으로 일정하게 유지한다.

또한, 진공 압력 제어 회로(22)에 있어서는, 피드백 제어의 제어 편차가 클 때는, 피드백 제어의 조작량을 최대로 하고 있기 때문에, 피드백 제어의 속도 응답성이 충분히 확보되어 있다. 한편, 피드백 제어의 제어 편차가 작은 때는, 미리 조정된 시간 상수(time constant)로 단계적으로 이행하기 때문에, 반응실(10) 내의 진공 압력을 안정한 상태로 유지하는 것이 가능하다.

구체적으로는, 도 4의 블록도와 같이, 진공 압력 센서(14, 15)로 계측된 반응실(10) 내의 진공 압력값을 비례 미분 회로(比例微分回路)(105, 106)에 의해 조정된 값은, 현장 입력 또는 원격 입력으로 지시된 목표 진공 압력값과 비교한 후, 비례 적분 회로(比例積分回路)(102, 103)에 입력된다. 그 후, 직렬로 접속된 적분 회로(104)는, 입력 제어 회로(31)로 출력하기 때문에, 0~5V의 범위의 전압을 출력한다. 적분 회로(104)의 시간 상수는, 적분시간 조정 회로(101)에 의해 결정된다.

진공 압력 센서(14, 15)의 계측값이, 목표 진공 압력값에 대하여 떨어져 있을 때에는, 내부 연산 회로에 의해 적분 회로의 적분 시간이 극히 작게 되도록 동작한다. 이것에 의해, 적분 회로(104)는, 무한대의 데인(deign)을 지속하는 증폭회로로서 기능한다.

즉,

(진공 압력 센서(14, 15)의 계측값) ＞ (목표 진공 압력값)

로 되는 경우는, 적분 회로(104)의 최대값인 5V가, 위치 제어 회로(31)에 대하여 출력된다. 그 결과, 진공 비례 개폐 밸브(16)는 급속히 여는 방향으로 동작한다. 한편,

(진공 압력 센서 14, 15의 계측값) ＜ (목표 진공 압력값)

로 되는 경우는, 적분 회로(104)의 최소값인 0V가 위치 제어 회로(31)에 대하여 출력된다. 그 결과, 진공 비례 개폐 밸브(16)는, 급속히 닫히는 방향으로 동작한다.

이러한 동작에 의해, 진공 비례 개폐 밸브(16)의 밸브 개도는, 목표 진공 압력값으로 하기 위한 위치의 근처까지, 최단시간으로 도달할 수 있다. 그 후, 목표 진공 압력값으로 하기 위한 위치의 근처까지 도달했다고 판단한 적분 시간 조정 회로(101)는, 그 위치에서 진공 압력을 안정한 상태로 유지하기 위해, 미리 조정된 적분 회로(104)의 시간 상수로 단계적으로 이행하는 동작을 행한다.

게다가, 본 실시의 형태에 관한 진공 압력 제어 시스템에서는, 동작 모드로서, 진공 압력 변화 속도 제어 모드(SVAC)를, 컨트롤러(20)에서 선택하면, 반응 실(10) 내의 진공 압력을 목표 진공 압력에 도달시킨 때에, 반응실(10) 내의 진공 압력 변화 속도까지도 제어하는 것이 가능하다.

이와 같이, 진공 압력 변화 속도 제어 모드(SVAC)에서는, 피드백 제어를 행하는 것에 의해, 도 5에 도시한 것처럼, 진공 비례 개폐 밸브(16)의 컨덕턴스(밸브 개도)를 변화시키며, 설정된 일정한 속도로 반응실(10) 내의 압력을 저하시키고 있다. 이 때문에, 진공 압력 제어 시스템에 있어서, 「진공 압력 센서(14, 15)의 이상」, 「반응실(10)의 누출」, 또는 「배관의 막힘」 등의 이상이 발생하고 있는 경우에는, 진공 압력 변화 속도 제어 모드(SVAC)에 있는 시점에서, 「진공 비례 밸브(16)의 밸브 개도」와 「진공 압력 센서(14, 15)의 값」과의 관계가 도 5에 도시한 것처럼 되지 않는다. 그리고, 이 현상을 이용하여, 본 실시의 형태에 관한 진공 압력 제어 밸브 시스템에서는, 상기한 이상을 검지하도록 되어 있다.

따라서, 본 실시의 형태에 관한 진공 압력 제어 시스템의 동작에 관하여, 도 6~도 9를 참조하면서 설명한다. 도 6은, 진공 압력 변화 속도 제어 모드(SVAC)에 관한 플로우 차트이다. 도 7은 진공 압력 변화 속도 제어 모드(SVAC)의 준비 시간에 관한 플로우 차트이다. 도 8은, 진공 압력 변화 속도 제어 모드(SVAC)의 실행 시간에 관한 플로우 차트이다. 도 9는, 정상시의 진공 압력 변화 속도 제어 모드(SVAC)에서의 반응실의 압력 변화와 진공 비례 개폐 밸브(16)의 밸브 개도의 변화의 일례를 도시한 도면이다. 또한, 진공 압력 변화 속도 제어 모드(SVAC)는, 강제 폐쇄 모드(CLOSE)에서 이행하는 것으로 한다.

진공 압력 변화 속도 제어 모드(SVAC)는, 도 6에 도시한 것처럼, 두 가지의 서브 루틴(sub routine), 즉, 준비 시간 처리와 실행 시간 처리의 두 가지를 실행한다. 그리고, 진공 압력 변화 속도 제어 모드(SVAC)를, 컨트롤러(2)에서 선택하면, 우선, 준비 시간 처리가 실행된다.

그러면, 먼저, 반응실(10) 내의 현재의 진공 압력을 진공 압력 센서(14, 15)를 이용하여 얻는다(S1). 여기서는, 반응실(10) 내의 현재의 진공 압력은 대기압 V0이기 때문에(도 9 참조), 대기압 V0가 얻어진다.

다음으로, 진공 비례 개폐 밸브(16)의 밸브 개도를 퍼텐쇼미터(18)를 이용하여 얻는다(S2). 그리고, 얻은 밸브 개도가 설정값(X1)에 도달하고 있는지를 판단한다(S3). 이때, 밸브 개도가 설정값(X1)에 도달하고 있는 경우에는(S3: YES), 반응실(10) 내의 현재의 진공 압력을 진공 압력 센서(14, 15)를 이용하여 얻는다(S4). 그리고, 얻은 반응실(10) 내의 현재의 진공 압력이 설정값(X2) 이하인지를 판단한다(S5). 이때, 반응실(10) 내의 현재의 진공 압력이 설정값(X2)보다 큰 경우에는(S5: NO), 이상이 발생하고 있다고 판단하며, 진공 압력 변화 속도 제어 모드(SVAC)를 종료하고 이상시 처리를 행한다(S6).

여기서, 설정값(X1)은, 시스템의 이상의 검지(판단)를 행하기 때문에 역치(threshold amount)이다. 즉, 진공 비례 개폐 밸브(16)의 밸브 개도가 설정값(X1)에 도달한 때에 시스템의 이상 검지 처리가 실행된다. 또한, 설정값(X2)는, 이상 검지 처리가 실행된 때에, 시스템에 이상이 발생하고 있는지를 판단하기 때문에 역치이다. 즉, 이상 검지 처리가 실행되며, 반응실(10) 내의 현재의 진공 압력이 설정값(X2)보다 큰 경우에, 시스템에 이상이 발생하고 있다고 판단한다.

한편, 밸브 개도가 설정값(X1)에 도달하지 않은 경우(S3:NO), 또는 반응실(10) 내의 현재의 진공 압력이 설정값(X2) 이하인 경우에는(S5:YES), 밸브의 상승량을 끌어올리는 처리를 한다(S7). 여기서는, 강제 폐쇄 모드(CLOSE)에서 이행되기 때문에, 진공 압력 변화 속도 제어 모드(SVAC)가 선택된 때는, 진공 비례 개폐 밸브(16)는 차단된 상태에 있다. 그래서, 도 10에 도시한 바처럼, 진공 비례 개폐 밸브(16)의 밸브 상승량의 끌어올림이 함수적으로 변화하도록, 바이어스 제어 회로(110)가 위치 제어 회로(31)에 지력 전압을 출력하고, 위치 제어 회로(31)가 펄스 드라이브 제어 회로(32)에 제어 신호를 발신한다(도 4 참조). 여기서는, 일례로서, 시간(t1)을 10초로 하고, 밸브의 상승량의 값을 0.1266㎜로 한다.

그리고, 시간(t1)인 10초가 경과했는지를 판단한다(S8). 시간(t1)인 10초가 경과했다고 판단한 때는(S8: YES), S11로 진행되지만, 시간(t1)인 10초가 경과하지 않았다고 판단한 때는(S3: NO), S9로 진행하고, 반응실(10) 내의 현재의 진공 압력을 진공 압력 센서(14, 15)를 이용하여 얻는다. 그 후, 반응실(10) 내의 진공 압력에 관하여, 약간의 압력 강하가 있는지를 판단한다(S10). 약간의 압력 강하가 없다고 판단한 때는(S10: NO), S2로 돌아오고, 상술한 처리를 반복한다. 또한, 여기서는, 약간의 압력 강하를, 266Pa 이상의 압력 강하로 한다.

한편, 266Pa 이상의 압력 강하가 있다고 판단한 때는(S10: YES), 시간(t1)인 10초가 경과했다고 판단한 때(S3: YES)와 마찬가지로, S11로 진행한다. S11에서는, 반응실(10) 내의 진공 압력에 관한 피드백 제어의 목표값이, 현재의 진공 압력에서 266Pa를 뺀 값(V1)(도 9 참조)으로 설정된다.

그 후, 진공 비례 개폐 밸브(16)의 밸브 개도를 퍼텐쇼미터(18)를 이용하여 얻는다(S12). 그리고, 얻은 밸브 개도가 설정값(X1)에 도달하고 있는지를 판단한다(S13). 이때, 밸브 개도가 설정값(X1)에 도달하고 있는 경우에는(S13: YES), 반응실(10) 내의 현재의 진공 압력을 진공 압력 센서(14, 15)를 이용하여 얻는다(S14). 그리고, 얻은 반응실(10) 내의 현재의 진공 압력이 설정값(X2) 이하인지를 판단한다(S15). 이때, 반응실(10) 내의 현재의 진공압력이 설정값(X2)보다 큰 경우에는(S15: NO), 이상이 발생하고 있다고 판단하며, 진공 압력 변화 속도 제어 모드(SVAC)를 종료하고 이상시 처리를 행한다(S16).

한편, 밸브 개도가 설정값(X1)에 도달하지 않은 경우(S13: NO), 또는 반응실(10) 내의 현재의 진공 압력이 설정값(X2) 이하인 경우에는(S15: YES), 반응실(10) 내의 진공 압력에 관하여, 현재의 진공 압력에서 266Pa를 뺀 값(V1)(도 9 참조)을 목표값으로 한 피드백 제어를, 소정의 시간(여기서는, 10초)이 경과할 때까지 정치제어(定値制御)로서 행한다(S17). 그리고, 피드백 제어를 개시하고 10초가 경과했다고 판단하면(S18: YES), 실행 시간 처리로 이행한다.

또한, S6 및 S16의 이상시 처리는, 시스템에 이상이 생기고 있는 것을 통지하며, 진공 비례 제어 밸브(16)를 안전 방향으로 작동시킨다. 본 실시의 형태에서는, 진공 비례 제어 밸브(16)를 닫는 방향으로 작동시키지만, 시스템에 있어서는, 밸브를 여는 방향으로 작동시킨 경우, 또는 현상의 밸브 개도를 유지하는 경우도 있을 수 있다. 시스템에 있어서 안전 방향이 다르기 때문이다. 따라서, 이상시 처리에서는, 각 시스템에 맞는 밸브 동작을 행하도록 설정해 두면 좋다. 또한, 「 통지」에서는, 청각에 대한 것이나 시각에 대한 것 등이 전부 포함되고, 단일 수단으로의 통지(예를 들면, 경고음만 등등)나 복합 수단으로의 통지(예를 들면, 경고음 및 경고 표시 등)의 어느 쪽이어도 좋다.

실행 시간 처리에서는, 우선, 진공 비례 개폐 밸브(16)의 밸브 개도를 퍼텐쇼미터(18)를 이용하여 얻는다(S21). 그리고 얻은 밸브 개도가 설정값(X1)에 도달하고 있는지를 판단한다(S22). 이때, 밸브 개도가 설정값(X1)에 도달하고 있는 경우에는(S22: YES), 반응실(10) 내의 현재의 진공 압력을 진공 압력 센서(14, 15)를 이용하여 얻는다(S23). 그리고, 얻은 반응실(10) 내의 현재의 진공 압력이 설정값(X2) 이하인지를 판단한다(S24). 이때, 반응실(10) 내의 현재의 진공 압력이 설정값(X2)보다도 큰 경우에는(S24: NO), 이상이 발생하고 있다고 판단하며, 진공 압력 변화 속도 제어 모드(SVAC)를 종료하고 이상시 처리를 행한다(S25).

한편, 밸브 개도가 설정값(X1)에 도달하지 않은 경우(S22:NO), 또는 반응실(10) 내의 현재의 진공 압력이 설정값(X2) 이하인 경우에는(S24: YES), 현장입력 또는 원격입력으로 지시된 목표 진공 압력값을 얻는다(S26). 또한, 반응실(10) 내의 현재의 진공 압력을 진공 압력 센서(14, 15)를 이용하여 얻는다(S27). 그리고, 반응실(10) 내의 현재의 진공압력이 목표 진공 압력값에 도달했는지를 판단한다(S28). 반응실(10) 내의 현재의 진공 압력이 목표 진공 압력값에 도달하고 있지 않은 경우에는(S28:NO), 현장입력 또는 원격입력으로 지시된 목표 진공 압력 변화 속도를 얻는다(S29).

또한, 반응실(10) 내의 현재의 진공 압력값을 진공 압력 센서(14, 15)를 이 용하여 얻는다(S30). 그리고, S30에서 얻은 현재의 반응실(10)의 진공 압력값에 대해, S29에서 얻은 목표 진공 압력 변화 속도로 변화시킨 진공 압력값을, 내부 코멘드(command)로서 컨트롤러(20)에서 발생시킨다. 그리고, 내부 코멘드를 피드백 제어의 목표값으로 하고, 피드백 제어의 목표를 변경한다(S31). 그 후, 피드백 제어를 행한다(S32).

구체적으로는, 도 4의 블록도에 도시된 것처럼, 현장압력 또는 원격입력으로 지시된 목표 진공 압력값이나 진공 압력 변화 속도는, 인터페이스 회로(21)(도 1 참조)에서 0~5V의 범위의 전압으로 출력되며, 내부 코멘드 발생 회로(111)에 입력된다. 내부 코멘드 발생 회로(111)에서는, 현재의 반응실(10)의 진공 압력값에서, 진공 압력 변화 속도의 크기에 대하여, 소정의 진공 압력값을 빼고, 그 값을 피드백 제어의 목표값으로서 출력한다.

한편, 반응실(10) 내의 현재의 진공 압력이 목표 진공 압력값에 도달하고 있는 경우에는(S28:YES), S26에서 얻은 목표 진공 압력값을 피드백 제어의 목표값으로 설정한다. 그 후, 피드백 제어를 행한다(S32).

또는, S32의 피드백 제어는, 동작 모드가 진공 압력 변화 속도 제어 모드(SVAC)에서 변경되지 않은 한 속행된다.

여기서, 이상이 검출되어 이상시 처리가 행해지는 경우에 관하여 도 11~도 13에 도시한 구체예를 참조하면서 설명한다. 도 11은, 진공 압력 센서(14, 15)에 이상이 발생한 상태를 도시하는 도면이다. 도 12는, 반응실(10)의 누출시의 상태를 도시한 도면이다. 도 13은, 배관이 막힌 상태를 도시한 도면이다.

우선, 진공 압력 센서(14, 15)에 이상이 발생하고, 도 11에 도시한 것처럼, 반응실(10)의 압력이 내리지 않은 경우에는, 시각(t2)에서 진공 비례 개폐 밸브(16)의 밸브 개도가 설정값(X1)에 도달한다. 이때, 반응실(10)의 진공 압력이 설정값(X2) 이하로 되지 않는다.

결국, 시각(t2)이 진공 압력 변화 속도 제어 모드(SVAC) 개시에서 10초가 경과하지 않은 경우에는, 도 7의 S3~S6의 처리에서 시스템에 이상이 발생하고 있다고 판단된다. 그리고, 진공 비례 개폐 밸브(16)를 닫은 이상시 처리가 실행된다. 한편, 시각(t2)이 진공 압력 변화 속도 제어 모드(SVAC) 개시에서 10초가 경과하고 있는 경우에는, 도 7의 S13~S16의 처리에서 시스템에 이상이 발생하고 있다고 판단된다. 그리고, 진공 비례 개폐 밸브(16)를 닫은 이상시 처리를 실행한다.

다음으로, 반응실(10)에 누출이 발생하고, 도 12에 도시된 것처럼, 반응실(10)의 압력 강하 도중에서 압력이 내리지 않은 경우에는, 시각(t3)에서 진공 비례 개폐 밸브(16)의 밸브 개도가 설정값(X1)에 도달한다. 이때, 반응실(10)의 진공 압력이 설정값(X2) 이하로 되지 않는다.

결국, 시각(t3)이 반응실(10)의 압력 강하 개시에서 10초가 경과하지 않은 경우에는, 도 7의 S13~S16의 처리에서 시스템에 이상이 발생하고 있다고 판단된다. 그리고, 진공 비례 개폐 밸브(16)를 닫은 비상시 처리가 실행된다. 한편, 시각(t3)이 반응실(10)의 압력 강하 개시에서 10초가 경과하고 있는 경우에는, 도 8의 S22~S25의 처리에서 시스템에 이상이 발생하고 있다고 판단된다. 그리고 진공 비례 개폐 밸브(16)를 닫은 이상시 처리가 실행된다.

최후로, 배관이 막히고, 도 12에 도시된 것처럼, 반응실(10)의 압력 강하 도중에서 압력이 내리지 않은 경우에는, 시각(t4)에서 진공 비례 개폐 밸브(16)의 밸브 개도가 설정값(X1)에 도달한다. 이때, 반응실(10)의 진공 압력이 설정값(X2) 이하로 되지 않는다.

결국, 시각(t4)이 반응실(10)의 압력 강하 개시에서 10초가 경과하고 있지 않은 경우에는, 도 7의 S13~S16의 처리에서 시스템에 이상이 발생하고 있다고 판단된다. 그리고, 진공 비례 개폐 밸브(16)를 닫은 이상시 처리가 실행된다. 한편, 시각(t3)이 반응실(10)의 압력 강하 개시에서 10초가 경과하고 있는 경우에는, 도 8의 S22~S25의 처리에서 시스템에 이상이 발생하고 있다고 판단된다. 그리고, 진공 비례 개폐 밸브(16)를 닫은 이상시 처리가 실행된다.

한편, 정상시에는, 도 9에 도시된 것처럼, 시각(t)의 진공 비례 개폐 밸브(16)의 밸브 개도가 설정값(X1)에 도달하지만, 이때의 반응실(10)의 진공압력이 설정값(X2)보다도 작기 때문에, 시스템에 이상이 발생하고 있지 않다고 판단된다.

이와 같이, 본 실시의 형태에 관한 진공 압력 제어 시스템에서는, 진공 압력 센서(14, 15), 반응실(10)의 누출, 또는 배관의 막힘 등의 시스템의 이상을 신속히 검지하는 것이 가능하다. 그리고, 이상을 검지한 경우에는, 이를 통지함과 동시에, 진공 비례 개폐 밸브(16)를 닫는다. 그러나, 비상에 안정성의 높은 공기압 제어 시스템을 구축하는 것이 가능하다.

또는, 상기한 각종 이상을 검출하기 위해 설정하여 둔 설정값(X1, X2)는, 각각의 이상을 적절히 검출하는 것이 가능하도록 실험 등에 의해 미리 구해 두면 좋 다.

여기서, 진공 비례 개폐 밸브(16)와 같이 밸브 개도를 검지하는 구조(퍼텐쇼미터(18))가 마련되지 않은 밸브를 사용하는 경우에는, 시스템의 이상을 검지하기 위해, 밸브 개도를 사용하는 대신에 밸브에 입력하는 조작 전압 또는 밸브에 공급되는 조작 공기압을 사용하도록 하면 좋다. 이것에 의해, 밸브의 개도를 검출하는 구조가 마련되지 않은 밸브에서 시스템을 구축하여도, 시스템의 이상을 조기에 검지하는 것이 가능하다.

이상, 상세히 설명한 것처럼 본 실시의 형태에 관한 진공 압력 제어 시스템에서는, 컨트롤러(20)가, 진공 비례 개폐 밸브(16)의 밸브 개도가 미리 설정된 설정값(X1)에 도달한 때에 반응실(10)의 진공 압력이 미리 설정된 설정값(X2)보다도 큰 경우, 시스템에 이상이 발생하고 있다고 판단한다. 그리고, 설정값(X1, X2)은, 각종 이상을 적절히 검출하는 것이 가능하도록 실험 등에 의해 미리 구할 수 있던 것이다. 따라서, 본 실시의 형태에 관한 진공 압력 제어 시스템에 의하면, 진공 압력 센서(14, 15), 반응실(10)의 누출, 또는 배관의 막힘 등의 시스템의 이상을 신속히 검지하는 것이 가능하다. 그리고, 이상을 검지한 경우에는, 이를 통지함과 동시에, 진공 비례 개폐 밸브(16)를 닫는다. 따라서, 비상에 안정성의 높은 진공 압력 제어 시스템을 구축하는 것이 가능하다.

또는, 상기한 실시의 형태는 단순한 예시에 지나지 않고, 본 발명을 모두 한정한 것이 아니며, 그 요지를 일탈하지 않는 범위 내에서 각종의 개량, 변형이 가 능한 것은 물론이다. 예를 들면, 상기한 실시의 변형에 있어서는, 본 발명이 CVD 장치의 반응실(10)에 대하여 적용한 경우를 예시하였지만, 그 이외의 반도체 제조 라인의 진공 용기에 관해서도 본 발명을 적용하는 것이 가능하다.

Claims

진공 용기와 진공 펌프를 접속하는 배관 위에 있고 개도를 변화시키는 것에 의해 상기 진공 용기 내의 진공 압력을 변화시키는 진공 비례 개폐 밸브와, 상기 진공 용기 내의 진공 압력을 계측하는 진공 압력 센서와, 상기 진공 압력 센서의 출력에 기초하여 상기 진공 비례 개폐 밸브의 개도를 제어하는 컨트롤러를 가지는 진공 압력 제어 시스템에 있어서,

상기 컨트롤러는,

시스템이 정상으로 작동할 때의 상기 진공 압력 센서의 출력과 상기 진공 비례 개폐 밸브의 개도와의 관계를 미리 기억하고 있고,

상기 진공 비례 개폐 밸브의 개도를 변화시켜 설정된 일정의 속도로 상기 진공 용기 내의 압력을 저하시키는 진공 압력 변화 속도 제어 모드가 선택된 때에, 상기 진공 압력 센서의 실제의 출력과 상기 진공 비례 개폐 밸브의 실제의 개도와의 관계와, 상기 기억된 상기 진공 압력 센서의 출력과 상기 진공 비례 개폐 밸브의 개도와의 관계를 비교하는 것에 의해 시스템의 이상을 검지하는 것을 특징으로 하는 진공 압력 제어 시스템.
진공 용기와 진공 펌프를 접속하는 배관 위에 있고 개도를 변화시키는 것에 의해 상기 진공 용기 내의 진공 압력을 변화시켜 진공 비례 개폐 밸브와, 상기 진공 용기 내의 진공 압력을 계측하는 진공 압력 센서와, 상기 진공 압력 센서의 출 력에 기초하여 상기 진공 비례 개폐 밸브의 개도를 제어하는 컨트롤러를 가지는 진공 압력 제어 시스템에 있어서,

상기 컨트롤러는, 상기 진공 비례 개폐 밸브의 개도를 변화시켜 설정된 일정의 속도로 상기 진공 용기 내의 압력을 저하시키는 진공 압력 변화 속도 제어 모드가 선택된 때에, 상기 진공 비례 개폐 밸브의 개도가 미리 설정된 소정 개도에 도달한 때에, 상기 진공 압력 센서의 출력이 미리 설정된 소정값보다 큰 경우, 시스템에 이상이 발생하고 있다고 판단하는 것을 특징으로 하는 진공 압력 제어 시스템.
제1항 또는 제2항에 있어서,

상기 컨트롤러는, 시스템의 이상을 검지하기 위해, 상기 진공 비례 개폐 밸브의 개도 대신에 상기 진공 비례 개폐 밸브에 입력하는 조작 전압을 사용하는 것을 특징으로 하는 진공 압력 제어 시스템.
제1항 또는 제2항에 있어서,

상기 컨트롤러는, 시스템의 이상을 검지하기 위해, 상기 진공 비례 개폐 밸브의 개도 대신에 상기 진공 압력 비례 개폐 밸브에 공급되는 조작 공기압을 사용하는 것을 특징으로 하는 진공 압력 제어 시스템.
제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,

상기 컨트롤러는, 시스템의 이상을 검지, 또는 시스템에 이상이 발생하고 있다고 판단한 때에, 이를 통지하는 것을 특징으로 하는 진공 압력 제어 시스템.
제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,

상기 컨트롤러는, 시스템의 이상을 검지 또는 시스템에 이상이 발생하고 있다고 판단한 때에, 상기 진공 비례 개폐 밸브를 시스템의 안전 방향으로 동작시키는 것을 특징으로 하는 진공 압력 제어 시스템.