KR20070036680A

KR20070036680A - 기판 검사 장치

Info

Publication number: KR20070036680A
Application number: KR1020060093479A
Authority: KR
Inventors: 도모카즈 기우치
Original assignee: 올림푸스 가부시키가이샤
Priority date: 2005-09-29
Filing date: 2006-09-26
Publication date: 2007-04-03
Also published as: CN1940541A; TW200714893A; JP2007093411A; KR100824395B1; TWI338775B; CN100578202C

Abstract

본 발명은 배면 투과 조명에 의하여 유리 기판 등의 외관 검사가 가능한 기판 검사 장치에 관한 것으로서, 종래의 기판 검사 장치에 있어서, 피검사 기판이 대형화됨에 따라, 구동부가 커지는 것과 백라이트 조명이 산란되어 필요한 밝기를 얻을 수 없는 점을 해결하는 것을 과제로 한다. 상기 과제를 해결하지 위해, 본 발명에 따른 기판 검사 장치(1)는, 피검사 기판 W를 유지하고 회동하는 홀더 회동 기구(3)와, 피검사 기판 W의 표면 W1과 반대 측의 배면 W2를 조사하는 백라이트(5)와, 백라이트(5)를 이동시키는 이동 수단(6)을 구비한다. 이동 수단(6)인 회동암(17)은 2개의 링크 레버(19, 20)와 고정 부재인 고정판(21)으로 구성되어 있다. 2개의 링크 레버(19, 20)는, 각각 일단(19a, 20a)에서 소정의 간격을 두고 독립적으로 지지부재(16)에 회동 가능하게 지지되어 있다. 또한, 타단(19b, 20b)에서 소정의 간격을 두고 독립적으로 고정판(21)에 회동 가능하게 지지되어 있다. 또한, 백라이트(5)는 고정판(21)에 고정되어 있다.

백라이트, 기판, 검사, 회동암, 조사, 조명, 지지 부재, 가이드

Description

기판 검사 장치{APPARATUS FOR INSPECTING A SUBSTRATE}

도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 기판 검사 장치를 전체적으로 나타내는 도면이다.

도 2는 본 발명의 제1 실시예에 따른 기판 검사 장치를 확대한 측면도이다.

도 3은 본 발명의 제2 실시예에 따른 기판 검사 장치를 확대한 측면도이다.

도 4는 본 발명의 제3 실시예에 따른 기판 검사 장치를 확대한 측면도이다.

도 5는 본 발명의 제4 실시예에 따른 기판 검사 장치를 확대한 측면도이다.

[부호의 설명]

1, 30, 40, 50: 기판 검사 장치 3: 홀더 회동 기구

5: 백라이트 6, 31, 41, 51: 이동 수단

7: 회동축(회동 중심) 16: 지지부재

17, 32, 42: 회동암 19, 20: 링크 레버

19a, 20a: 일단 19b, 20b: 타단

21: 고정판(고정 부재) 52: 가이드(슬라이더 기구)

53: 슬라이더(슬라이더 기구)

A: 검사 위치 B: 퇴피 위치

C: 조사 위치 D: 퇴피 위치

M1: 관찰 시야 P: 회동 영역

W: 피검사 기판 W1: 표면

W2: 배면

[특허 문헌 1] 일본국 특개 2000-66164호 공보

[특허 문헌 2] 일본국 특개평 11-94753호 공보

본 발명은, 배면 투과 조명에 의해 유리 기판 등의 외관 검사가 가능한 기판 검사 장치에 관한 것이다.

종래에는, 평면 표시 장치(FPD, Flat-Panel Display) 등의 제조 공정에 있어서, 유리 기판 등의 외관 검사를 행하는 것으로서, 피검사 기판의 표면 측으로부터의 낙사 조명(落射照明)에 의해 관찰하고, 또한 배면 측으로부터 투과 조명에 의해 관찰하여, 보다 상세하게 흠집 등의 결함 부분을 검출하는 방법이 시도되었다. 예를 들면, 피검사 기판을 요동(搖動) 가능하게 지지하는 요동 스테이지와 요동 스테이지 상의 기판 표면을 조사하는 반사 조명 수단과, 요동 스테이지 상의 기판을 배면으로부터 투과하는 투과 조명 수단을 구비한 기판 검사 장치가 제안되어 있다(예를 들면, 특허 문헌 1(일본국 특개 2000-66164호 공보)참조).

또한, 피검사 기판을 유지하는 피검사 기판 유지부에 대해, 상하 방향의 구 동력을 작용시키는 제1 구동 수단과, 회동 지지하는 회동 지지 수단과, 수평 방향으로 구동력을 작용시키는 제2 구동 수단을 구비한 장치 본체의 후방에, 외광의 반사를 방지하기 위한 ND 필터(neutral density filter)가 표면에 설치된 백라이트가 형성되어 있는 기판 검사 장치가 제안되어 있다(예를 들면, 특허 문헌 2(일본국 특개평 11-94753호 공보)참조).

그러나, 상기 특허 문헌 1의 기판 외관 검사 장치에 있어서는, 투과 조명 수단에 의해 요동 스테이지의 하방으로부터 조명하고, 검사자의 관찰 방향과 투과 조명의 방향이 상이하므로, 투과 조명을 효과적으로 관찰할 수 없었다. 또한, 투과 조명 수단이 요동 스테이지에 고착되고, 요동 스테이지와 함께 투과 조명 수단도 요동하는 장치가 제안되어 있지만, 요동 스테이지를 구동시키는 구동부는 투과 조명 수단과 함께 요동시키기 때문에, 특히 피검사 기판의 대형화에 따라, 구동부가 커지는 문제점이 있었다.

또한, 특허 문헌 2의 기판 검사 장치에 있어서는, 피검사 기판의 이동 범위의 후방에 위치하므로, 투과 조명에 의하여 관찰할 때, 피검사 기판과 백라이트의 거리가 떨어지게 된다.

그러므로, 특히 피검사 기판의 대형화에 수반하여, 백라이트의 조명이 산란되므로, 관찰에 필요한 밝기를 얻을 수 없는 문제가 있다.

본 발명은, 전술한 사정을 감안하여 이루어진 것으로서, 홀더 회동 기구에 회동 가능하게 유지된 피검사 기판을 낙사 조명에 의해 외관을 검사할 수 있고, 또한 효과적으로 배면 투과 조명에 의한 외관 검사를 할 수 있는 기판 검사 장치를 제공한다.

전술한 바와 같은 과제를 해결하기 위해, 본 발명의 하나의 측면(aspect)은, 피검사 기판을 유지하고, 검사할 때에 상기 피검사 기판을 검사 위치까지 이동시키고, 검사하지 않을 때는 퇴피 위치까지 이동시킬 수 있는 홀더 회동 기구와, 상기 피검사 기판을 관찰하는 표면 측과 반대 측인 배면 측에 위치하고, 상기 피검사 기판을 조사하는 백라이트를 구비하고, 상기 백라이트의 배면 투과 조명에 의해 상기 피검사 기판의 외관 검사를 행할 수 있는 기판 검사 장치로서, 상기 백라이트를 이동시킬 수 있는 이동 수단을 구비하고, 상기 이동 수단은, 배면 투과 조명에 의해 관찰할 때는, 상기 홀더 회동 기구에 의해 소정 각도로 설정된 상기 피검사 기판의 배면 측에 상기 백라이트를 접근시키고, 또한 표면 측으로부터의 낙사 조명에 의해 관찰할 때 및 상기 홀더 회동 기구가 회동할 때는, 상기 홀더 회동 기구의 회동 영역 외측으로 상기 백라이트를 이동시키는 것을 특징으로 하고 있다.

본 발명에 따른 기판 검사 장치에 의하면, 백라이트로부터의 배면 투과 조명에 의해 관찰할 때에는, 피검사 기판을 유지한 홀더 회동 기구를 검사 위치가 되도록 소정 각도로 설정한 후, 이동 수단에 의해 백라이트를 피검사 기판의 배면 측에 접근시킬 수 있다. 또한 표면 측으로부터의 낙사 조명에 의하여 관찰할 때 및 상기 홀더 회동 기구가 회동할 때는, 이동 수단에 의해 백라이트는 홀더 회동 기구의 회동 영역 외측으로 이동시킬 수 있다.

(제1 실시예)

도 1 및 도 2는 본 발명에 따른 제1 실시예를 나타내고 있다. 도 1에 기판 검사 장치의 전체도, 도 2에는 확대한 측면도를 나타낸다.

도 1에 나타낸 바와 같이, 기판 검사 장치(1)는, 외곽을 이루는 상자체(2)와, 피검사 기판 W를 유지한 기판 홀더(11)를 회동하는 홀더 회동 기구(3)와, 피검사 기판 W의 패턴이 형성된 표면 W1을 낙사 조명하는 낙사 조명 수단(4)과, 피검사 기판 W의 표면 W1와 반대 측의 배면 W2를 조사하는 백라이트(5) 및 백라이트(5)의 이동 수단(6)을 구비한다. 상자체(2)의 내벽면(2a)은, 광이 난반사하지 않도록 검은색으로 되어 있다. 또한, 홀더 회동 기구(3)는, 회동 중심에 설치된 회동축(7)과, 기단부에서 회동축(7)에 회동 가능하게 지지되는 한쌍의 회동암(8)과, 각각의 회동암(8)의 선단부에 고정되는 한쌍의 홀더 가이드부(9)와, 각각의 홀더 가이드부(9)를 따라서 이동 가능한 직사각형의 개구부를 가지는 기판 홀더(11)를 구비한다. 기판 홀더(11)의 개구부에는, 가는 봉형의 기판 지지부가 소정의 간격을 두고 복수개 가설되고, 상기 기판 지지부의 위에 피검사 기판 W의 배면을 흡착 유지하는 흡착 패드(10)가 소정의 간격을 두고 복수개 고정되어 있다. 또한, 홀더 회동 기구(3)는 구동부(12)를 구비하고, 구동부(12)가 가동함으로써, 회동암(8)이 회동축(7)을 중심으로 하여 회동 가능하게 하고 있다. 이로써 회동암(8)은, 검사자 M이 피검사 기판 W의 표면 W1을 육안으로 검사하기에 적합한 각도로 세워 올린 위치인 검사 위치 A로부터 홀더 가이드부(9)가 대략 수평이 되는 기판 건넴 위치 B까지 회동 가능하며, 또한 피검사 기판 W를 검사할 때, 검사 위치 A에서 피검사 기판 W 를 미소한 각도 범위, 예를 들면, ±5 ~ ±10°의 범위 내에서 요동시키는 것이 가능하다. 회동암(8)을 검사 위치 A에서 미소하게 요동시킴으로써, 피검사 기판 W의 표면 W1에 대한 낙사 조명 수단(4)의 입사각이 바뀌고, 패턴이나 결함에서 반사되는 산란광이나 회절광의 반사 조건을 양호하게 관찰할 수 있다.

또한, 낙사 조명 수단(4)은, 조명용 광원인 램프(13)와, 램프(13)로부터 조사되는 조명광이 반사되는 반사 미러(114)와, 반사 미러(14)에서 반사된 조명광을 수렴하고, 피검사 기판 W에 조사시키는 프레넬 렌즈(15, Fresnel lens)를 구비한다. 램프(13)는, 넓은 범위에 걸쳐서 조명 가능하며, 예를 들면 메탈 할라이드 램프(metal halide lamp), 나트륨 램프나 형광등 등이 있다.

백라이트(5)는, 면 조명 가능한 광원으로서, 예를 들면 형광등이나 LED의 집합체로 구성되어 있다. 또한, 이동 수단(6)은, 기단부에서 홀더 회동 기구(3)의 회동 영역 P로부터 외측 상방으로 고정된 지지 부재(16)에 지지되어 소정 각도로 세워 올린 홀더 가이드부(9), 또는 기판 홀더(11)의 배면 측까지 회동 가능한 암(17)과, 회동암(17)을 회동시키는 액츄에이터(18)로 구성된다. 암(17)은 2개의 링크 레버(19, 20)와 고정 부재인 고정판(21)으로 구성되어 있다. 2개의 링크 레버(19, 20)는, 각각 일단(19a, 20a)에서 소정의 간격을 두고 각각 별도로 지지부재(16)에 지지되어 있다. 또한, 타단(19b, 20b)에서 소정의 간격을 두고 각각 별도로 고정판(21)에 회동 가능하게 장착되고, 지지부재(16), 회동암(17)의 구성 요소인 링크 레버(19, 20), 및 고정판(21)에 의해, 크랭크 링크 기구가 구성되어 있다. 또한, 피검사 기판 W 측에 위치하는 링크 레버(19)의 길이에 비하여, 또 하나 의 링크 레버(20) 쪽이 더 길게 설정되어 있다. 액츄에이터(18)는, 보다 상세하게 설명하면 유압 실린더로서, 그 일단(18a)이 링크 레버(20)에 핀으로 결합되는 동시에, 그 타단(18b)도 벽체 등의 고정부에 핀으로 결합되어 있고, 이 상태에서 신축됨으로써, 회동암(17)을 회동시킬 수 있도록 하고 있다. 또한, 액츄에이터(18)는 구동부(22)와 접속되어 있고, 구동부(22)가 가동됨으로써 구동될 수 있도록 되어 있다. 또한, 고정판(21)에는 백라이트(5)가 고정되어 있다.

그리고, 도 2에 나타낸 바와 같이, 백라이트(5)는, 이동 수단(6)에 의해, 홀더 회동 기구(3)의 회동 영역으로서, 적어도 기판 홀더(11)가 회동하는 회동 영역 P의 외측의 퇴피 위치 D로부터 회동암(8) 및 피검사 기판 W를 육안 검사에 최적인 검사 위치 A에 세워 올려질 때의 피검사 기판 W의 배면 W2에 접근하는 조사 위치 C까지 이동할 수 있다. 또한, 백라이트(5)가 조사 위치 C에 위치할 때, 검사 위치 A에 위치하는 피검사 기판 W와 백라이트(5)가 대략 평행이 되도록, 회동암(17)과 백라이트(5)가 조립 장착되어 있다. 또한, 회동암(17)은 크랭크 링크 기구가 구성되고, 구성되는 링크 레버(19, 20)의 길이가 상이하므로, 조사 위치 C로부터 퇴피 위치 D까지 백라이트(5)가 이동함에 따라서, 백라이트(5)를 측면 방향에서 보았을 때의 수직 방향에 대한 각도가 연속적으로 변화된다. 그리고, 퇴피 위치 D에 위치할 때, 백라이트(5)가 측면 방향에서 보았을 때의 수직 방향에 대하여 경사지고, 또한 홀더 회동 기구(3)의 회동 영역 P와 상자체(2) 사이의 공간에 수용되도록 링크 레버(19, 20)의 길이가 설정되어 있다.

또한, 기판 검사 장치(1)에는, 조작반(23)이나 제어부(24)가 더 설치되고, 검사자 M에 의한 조작반(23)의 조작에 의해, 회동암(8)의 구동부(12)나 회동암(17)의 구동부(22)의 가동, 및 백라이트(5)나 낙사 조명 수단(4)에 의한 조명을 제어할 수 있도록 되어 있다. 또한, 백라이트(5)에는 센서(25)가 설치되어 있고, 기판 홀더(11)에 접근 하면 센서(25)가 감지하여, 제어부(24)에 신호가 송신되어, 자동적으로 정지하도록 구성되어 있다.

다음에, 기판 검사 장치(1)의 작용에 대하여 설명한다. 먼저, 도 1에 나타낸 바와 같이, 회동암(8)을 홀더 가이드부(9)가 수평이 되는 기판 건넴 위치 B에 배치하고, 도시하지 않은 반송 로봇에 의해 반송되는 피검사 기판 W를 되돌린다. 피검사 기판 W를 흡착 패드(10)로 흡착한 후, 회동암(8)을 회동시켜서 육안 검사를 행하는 검사 위치 A까지 기판 홀더(11)을 세워 올린다. 이 때, 백라이트(5)는, 홀더 회동 기구(3)의 회동 영역 P의 외측인 퇴피 위치 D에 배치하여 둔다. 그리고, 낙사 조명 수단(4)에 의해 피검사 기판 W의 표면 W1에 낙사 조명을 조사하고, 그 반사광의 변화를 관찰하여, 피검사 기판 W의 표면의 흠집 등의 결함 부분을 검출한다. 관찰할 때는, 홀더 가이드부(9) 상에서 기판 홀더(11)를 상하 방향으로 이동시킴으로써, 피검사 기판 W가 대형일지라도, 검사자 M은 시선을 상하로 움직일 필요가 없고, 또한 피검사 기판 W의 전체를 조사할 필요가 없으며, 낙사 조명 수단(4)의 조명하에서 피검사 기판 W를 상하 방향으로 이동시킴으로써, 피검사 기판 W 전체를 육안으로 검사할 수 있다. 또한, 육안으로 검사할 때, 예를 들면, ±10°의 범위 내에서 회동암(8)을 미세하게 이동시키면, 피검사 기판 W에 대한 낙사 조명 수단의 입사 각도를 미소하게 변화시키면서 결함 부분에서의 반사광의 변조를 조사하여, 더 상세하게 검사할 수 있다.

낙사 조명에 의한 외관 검사 시에, 상자체(2)의 내부에서 발생한 산란광이나 외래광이 상자체(2)의 내벽면(2a) 또는 백라이트(5)의 표면에서 반사되어 검사자 M에 도달하므로, 낙사 조명에 의한 피검사 기판 W로부터의 반사광에 외부로부터의 광이 혼입되어, 육안 관찰에 지장을 초래하는 경우가 있다. 그러나, 기판 검사 장치(1)에서는, 상자체(2)의 내벽면(2a)이 검은색으로 되어 있으므로, 외부로부터의 광이 내벽면(2a)에서 흡수되고, 검사자 M에 도달할 우려가 없다. 또, 백라이트(5)는, 퇴피 위치 D에서는 검사자 M의 관찰 시야 M1의 상측에 위치하고, 측방에서 보았을 때의 수직 방향에 대하여 경사져 있으므로, 혹시 외부로부터의 광이 백라이트(5)에 반사된다 하더라도, 상기 반사광이 검사자 M에 도달할 우려가 없다.

다음에, 도 2에 나타낸 바와 같이, 구동부(22)를 가동시키고, 액츄에이터(18)를 작동시킴으로써 회동암(17)을 회동시키고, 백라이트(5)를 퇴피 위치 D로부터 조사 위치 C로 이동시켜서, 피검사 기판 W의 배면 W2에 접근시킨다. 이 때, 센서(25)에 의해 백라이트(5)와 기판 홀더(11)의 거리를 감시하고 있으므로, 백라이트(5)와 기판 홀더(11)가 서로 접촉되어 파손될 우려는 없다. 다음에, 백라이트(5)를 점등시켜서, 백라이트(5)의 투과 조명에 의해 피검사 기판 W의 흠 등의 결함 부분을 검출한다. 그리고, 낙사 조명에 의한 외관 검사 시와 마찬가지로, 기판 홀더(11)를 상하로 이동시킴으로써, 피검사 기판 W의 전체를 검사한다. 그리고, 모든 검사가 완료된 후, 다시 회동암(17)을 회동시켜서, 백라이트(5)를 조사 위치 C로부터 퇴피 위치 D로 이동시키고, 회동암(8)이 기판 홀더(11)를 검사 위치 A로부 터 기판 건넴 위치 B로 회동시킨다. 그리고, 도시하지 않은 반송 로봇에 검사가 완료된 피검사 기판 W를 건네고, 새로운 피검사 기판 W를 받아서 다시 새로운 검사를 행한다.

이상과 같이, 기판 검사 장치(1)에서는, 이동 수단(6)에 의해, 백라이트(5)가 배면 투과 조사에 의한 외관 검사를 행하지 않을 때는 퇴피 위치 D에 위치하고, 배면 투과 조사에 의한 육안 검사를 행할 때만, 피검사 기판 W의 배면 W2에 접근하여 조사하므로, 조도가 저하되지 않고 효과적으로 투과 조명을 행할 수 있다. 또한, 백라이트(5)는 조사 위치 C로부터 퇴피 위치 D로 이동하는 것에 따라, 측면에서 보았을 때의 수직 방향에 대하여 각도를 변화시킬 수 있다. 그러므로, 백라이트(5)를 홀더 회동 기구(3)의 회동 영역 P와 상자체(2) 사이의 작은 공간에 퇴피, 수용시킬 수 있다. 또한, 이동 수단(6)으로 백라이트(5)를 이동시키는 방법은, 홀더 회동 기구(3)의 회동 영역 P의 상측을 중심으로 하는 원운동이 된다. 그러므로, 백라이트(5)를 조사 위치 C로부터 퇴피 위치 D까지 후퇴시키면서 상측으로 이동하는 행정(行程)을 2방향의 직선 운동을 반복적으로 행하는 것에 비해, 적은 장치 공간 및 이동 공간으로 효율적으로 행할 수 있다. 또한, 낙사 조명에 의한 육안 검사 시에는, 백라이트(5)는 퇴피 위치 D에 위치하고, 측면에서 보았을 때의 수직 방향으로 경사져 있으므로, 외부로부터의 광이 백라이트(5)로 반사되어도 낙사 조명에 의한 육안 검사에 지장을 초래하지 않는다. 또한, 백라이트(5)를 기판 홀더(11)와 별도로 형성함으로써, 피검사 기판 W가 2000mm, 3000mm로 대형화되어도, 이들 기구를 구동시키는 각각의 구동부(12, 22)를 별도로 형성하여, 구동부의 대형 화를 방지할 수 있다.

그리고, 이동 수단(6)의 회동암(17)은, 홀더 회동 기구(3)의 회동 영역 P의 상측에서 회동 가능하게 지지된다고 하였으나, 이에 한정되지는 않는다. 적어도, 홀더 회동 기구(3)의 회동 영역 P의 외측으로 지지되어 있고, 배면 조사에 의한 육안 검사 시에 백라이트(5)를 피검사 기판 W의 배면 W2에 접근시키고, 또한 낙사 조명에 의한 피검사 기판 W의 배면 W2를 육안 관찰 시에 홀더 회동 기구(3)의 회동 영역 P의 외측으로 백라이트(5)를 퇴피시킬 수 있으면 되고, 예를 들면, 회동 영역 P의 하방에 지지되어, 하방에 회전시키도록 구성될 수도 있다.

(제2 실시예)

도 3은, 본 발명에 따른 제2 실시예를 나타내고 있고, 기판 검사 장치를 확대한 측면도를 나타내고 있다. 본 실시예에서는, 전술한 실시예에서 사용한 부재와 공통의 부재에는 동일한 부호를 부여하고, 그에 대한 설명은 생략한다.

도 3에 나타낸 바와 같이, 본 실시예의 기판 검사 장치(30)에서, 백라이트(5)를 이동시키는 이동 수단(31)은, 기단부에서 한쌍의 회동암(8)의 회동축(7)과 동일 축상에 회동 가능하게 지지되는 회동암(32)과, 회동암(32)을 회동시키는 액츄에이터(33)로 구성되어 있다. 회동암(32)의 선단부에는 백라이트(5)가 고정되고, 홀더 가이드부(9)의 기판 건넴 위치 B의 하방인 퇴피 위치 D로부터 조사 위치 C까지 회동시킬 수 있다. 또, 액츄에이터(33)는, 그 일단(33a)이 회동암(32)에 핀 결합되고, 그 타단(33b)이 벽체 등의 고정부에 핀 결합되어 있고, 이 상태에서 신축함으로써, 회동암(32)을 회동시킬 수 있도록 하고 있다. 또한, 액츄에이터(33)는, 구동부(34)와 접속되어 있고, 구동부(34)가 가동됨으로써, 구동될 수 있도록 되어 있다.

본 실시예의 기판 검사 장치(30)에서도, 피검사 기판 W를 도시하지 않은 반송 로봇으로부터 건네받고, 회동암(8)이 검사 위치 A까지 회동될 때까지, 백라이트(5)는 홀더 회동 기구(3)의 회동 영역 P의 외측인 퇴피 위치 D에 위치하므로, 기판 홀더(11)에 간섭하지 않게 된다. 또한, 낙사 조명에 의한 외관 검사 시에는, 검사자 M의 관찰 시야 M1의 외측으로 위치하므로, 백라이트(5)에 외부로부터의 광이 입사되어도, 상기 반사광이 검사자 M에 도달하지 않으므로, 낙사 조명에 의한 육안 검사에 지장을 초래하지 않는다. 그리고, 홀더 회동 기구(3)의 회동 영역 P의 하방의 한정된 작은 공간에 백라이트(5)를 배치할 수 있고, 또한 백라이트(5)가 퇴피 위치 D로부터 조사 위치 C까지 이동할 수 있어서, 제1 실시예와 마찬가지로 효율적이다. 또, 본 실시예의 기판 검사 장치(30)에서는, 이동 수단(31)의 회동암(32)과 한쌍의 회동암(8)이 동일 축상에 지지되어 있다. 그러므로, 피검사 기판 W가 회동암(8)에 의해 어떠한 각도로 설정되어 있다 하더라도, 회동암(32)에 의해 백라이트(5)를 피검사 기판 W의 배면 W2과 평행하도록 접근시키고, 백라이트 조사에 의한 육안 검사를 양호하게 행할 수 있다.

(제3 실시예)

도 4는, 본 발명에 따른 제3 실시예를 나타내고 있고, 기판 검사 장치를 확대한 측면도를 나타내고 있다. 본 실시예에서는, 전술한 실시예에서 사용한 부재와 공통의 부재에는 동일한 부호를 부여하고, 그에 대한 설명을 생략한다.

도 4에 나타낸 바와 같이, 본 실시예의 기판 검사 장치(40)에서, 백라이트(5)를 이동시키는 이동 수단(41)은, 기단부에서 홀더 회동 기구(3)의 회동 영역 P의 상측으로 회동 가능하게 지지되는 회동암(42)과, 회동암(42)을 회동시키는 모터(43)로 구성되어 있다. 백라이트(5)는, 회동암(42)의 선단부에 고정되고, 조사 위치 C에 위치할 때, 피검사 기판 W와 평행하도록 설정되어 있다. 또한, 회동암(42)은 백라이트(5)를 홀더 회동 기구(3)의 회동 영역 P의 외측이며, 또한 검사자 M의 관찰 시야 M1의 외측인 퇴피 위치 D까지 이동시킬 수 있다.

본 실시예의 기판 검사 장치(40)에서도, 피검사 기판 W를 도시하지 않은 반송 로봇으로부터 건네받고, 회동암(8)이 검사 위치 A까지 회동할 때까지 , 백라이트(5)는 홀더 회동 기구(3)의 회동 영역 P의 외측인 퇴피 위치 D에 위치하므로, 기판 홀더(11)와 서로 간섭하지 않게 된다. 또한, 낙사 조명에 의한 외관 검사 시에는, 검사자 M의 관찰 시야 M1의 외측으로 위치하고, 백라이트(5)에서 반사된 반사광이 검사자 M에 도달하지 않으므로 검사에 지장을 초래하지는 않는다. 그리고, 홀더 회동 기구(3)의 회동 영역 P의 상측의 한정된 작은 공간에 백라이트(5)를 배치할 수 있고, 또한 백라이트(5)가 퇴피 위치 D로부터 조사 위치 C까지 이동 가능하므로, 제1 실시예와 마찬가지로 효율적이다.

그리고, 이동 수단(41)의 회동암(42)은 홀더 회동 기구(3)의 회동 영역 P의 상측으로 회동 가능하게 지지되어 있다 하였지만, 이에 한정되지 않고, 홀더 회동 기구(3)의 회동 영역 P의 하측으로 지지되고, 백라이트(5)의 퇴피 위치 D가 회동 영역 P의 하측이라 하더라도 마찬가지의 효과를 얻을 수 있다.

(제4 실시예)

도 5는, 본 발명에 따른 제4 실시예를 나타내고 있고, 기판 검사 장치를 확대한 측면도를 나타내고 있다. 본 실시예에서는, 전술한 실시예에서 사용한 부재와 공통의 부재에는 동일한 부호를 부여하고, 그에 대한 설명은 생략한다.

도 5에 나타낸 바와 같이, 본 실시예의 기판 검사 장치(50)에 있어서, 백라이트(5)를 이동시키는 이동 수단(51)은, 홀더 회동 기구(3)의 회동 영역 P의 상측에 위치하고, 검사 위치 A에서의 회동암(8)에 지지된 기판 홀더(11)와 대략 평행하게 설치되는 가이드(52)와, 가이드(52)에 끼워 맞추어지고 가이드(52)의 축방향으로 이동 가능한 슬라이더(53)로 슬라이더 기구가 구성되어 있다. 백라이트(5)는, 슬라이더(53)의 선단부에 고정되고, 슬라이더(53)에 의해, 검사 위치 A에서의 피검사 기판 W의 배면 W2에 접근하는 조사 위치 C로부터 홀더 회동 기구(3)의 회동 영역 P의 외측인 퇴피 위치 D까지 직선 이동하는 것이 가능하다.

본 실시예의 기판 검사 장치(50)에서도, 피검사 기판 W를 도시하지 않은 반송 로봇으로부터 건네받고, 회동암(8)이 검사 위치 A로 회동할 때까지, 백라이트(5)는 홀더 회동 기구(3)의 회동 영역 P의 외측인 퇴피 위치 D에 위치하므로, 기판 홀더(11)와 서로 간섭하지는 않는다. 또한, 낙사 조명에 의한 육안 검사 시에는, 백라이트(5)가 검사자 M의 관찰 시야 M1의 외측으로 위치하고, 백라이트(5)에 반사된 외부로부터의 광이 검사자 M에 도달하지 않으므로, 검사에 지장을 초래하지는 않는다.

그리고, 이동 수단(51)의 슬라이더(53)는 조사 위치 C로부터 홀더 회동 기 구(3)의 회동 영역 P의 상측의 퇴피 위치 D까지 이동 가능하다고 하였지만, 이에 한정되지는 않는다. 또한, 가이드(52)가 조사 위치 C로부터 홀더 회동 기구(3)의 회동 영역 P의 하측으로 이동 가능하도록 구성될 수도 있다.

이상, 본 발명의 실시예에 대하여 도면을 참조하여 상세하게 설명하였지만, 구체적인 구성은 상기 실시예에 한정되지 않고, 본 발명의 요지를 벗어나지 않는 범위 내의 설계 변경 등도 포함된다.

그리고, 센서(25)는, 백라이트(5)가 아니고, 한쌍의 회동암(8)에 장착되도록 구성될 수도 있다. 또한, 홀더 회동 기구(3)는, 홀더 가이드부(9) 상에서 기판 홀더(11)에 의해 홀더 가이드부(9)의 축 방향으로 이동 가능하다고 하였으나, 거기에 더하여 홀더 가이드부(9)에 기판 홀더(11)를 회동 가능하게 설치함으로써, 피검사 기판 W를 180°회전시키면, 기판 홀더(11) 상에 유지된 피검사 기판 W의 배면 W2에 대하여도 동일한 외관 검사를 행할 수 있게 된다.

본 발명에 의하면, 피검사 기판의 배면에 백라이트를 배치할 수 있으므로, 효과적인 배면 투과 조명에 의한 외관 검사를 행할 수 있다. 또한, 이동 수단에 의해 홀더 회동 기구의 회동 영역 외측으로 이동시킬 수 있으므로, 표면 측으로부터의 낙사 조명에 의한 관찰 시 및 상기 홀더 회동 기구의 회동 시에 지장을 초래하지 않는다. 또한, 백라이트의 이동 수단을, 피검사 기판을 회동시키는 홀더 회동 기구와는 상이한 기구로 형성함으로써, 이들 기구의 구동부가 대형화되지 않게 된다.

Claims

피검사 기판 W를 유지하고, 검사 시에는 상기 피검사 기판 W를 검사 위치 A까지 이동시키고, 비검사 시에는 퇴피 위치 B까지 이동시킬 수 있는 홀더 회동 기구(3)와,

상기 피검사 기판 W을 관찰하는 표면 W1 측과는 반대 측인 배면 W2 측에 위치하고, 상기 피검사 기판 W를 조사하는 백라이트(5)를 구비하고,

상기 백라이트(5)의 배면 투과 조명에 의해 상기 피검사 기판 W의 외관 검사를 행할 수 있는 기판 검사 장치로서,

상기 백라이트(5)를 이동시킬 수 있는 이동 수단을 구비하고, 상기 이동 수단은, 배면 투과 조명에 의한 관찰 시에는, 상기 홀더 회동 기구(3)에 의해 소정 각도로 설정된 상기 피검사 기판 W의 배면 측에 상기 백라이트(5)를 접근시키고, 또한 표면 측으로부터의 낙사 조명에 의한 관찰 시 및 상기 홀더 회동 기구(3)의 회동 시에는, 상기 홀더 회동 기구(3)의 회동 영역 외측으로 상기 백라이트(5)를 이동시키는 것을 특징으로 하는 기판 검사 장치.
제1항에 있어서,

상기 이동 수단은, 표면 측으로부터의 낙사 조명에 의한 관찰 시에, 상기 피검사 기판을 관찰하는 관찰 시야의 외측으로 상기 백라이트를 더 이동시키는 것을 특징으로 하는 기판 검사 장치.
제1항에 있어서,

상기 이동 수단은, 표면 측으로부터의 낙사 조명에 의한 관찰 시에, 상기 백라이트를 측면에서 보았을 때의 수직 방향에 대하여 더 경사지게 하는 것을 특징으로 하는 기판 검사 장치.
제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,

상기 이동 수단은, 상기 홀더 회동 기구의 상기 회동 영역 상측으로 회전 가능하게 지지된 회동암을 구비하고, 상기 백라이트는 상기 회동암에 설치되고, 상기 회동 영역 상측으로 회전 이동 가능한 것을 특징으로 하는 기판 검사 장치.
제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,

상기 이동 수단은, 상기 홀더 회동 기구의 상기 회동 영역 하측으로 회전 가능하게 지지된 회동암을 구비하고, 상기 백라이트는 상기 회동암에 설치되고, 상기 회동 영역 하측으로 회전 이동 가능한 것을 특징으로 하는 기판 검사 장치.
제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,

상기 이동 수단은, 상기 홀더 회동 기구의 회동 중심과 동일 축상에 회동 가능하게 지지된 회동암을 구비하고, 상기 백라이트는 상기 회동암에 설치되고, 상기 피검사 기판의 배면 측 후방으로 회전 이동 가능한 것을 특징으로 하는 기판 검사 장치.
제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,

상기 이동 수단은, 상기 홀더 회동 기구의 상기 회동 영역 상측으로 설치된 슬라이드 기구를 구비하고, 상기 백라이트는 상기 슬라이드 기구에 설치되고, 상기 회동 영역 상측으로 평행 이동 가능한 것을 특징으로 하는 기판 검사 장치.
제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,

상기 이동 수단은, 상기 홀더 회동 기구의 상기 회동 영역 하측에 설치된 슬라이드 기구를 구비하고, 상기 백라이트는 상기 슬라이드 기구에 설치되고, 상기 회동 영역 하측으로 평행 이동 가능한 것을 특징으로 하는 기판 검사 장치.
제4항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서,

상기 이동 수단의 상기 회동암은 2개의 링크 레버로 구성되고, 상기 링크 레버의 각각은, 그 일단이 상기 홀더 회동 기구의 회동 영역 외측의 상이한 위치에서 회동 가능하게 지지되고, 그 타단이 고정 부재의 상이한 위치에서 회동 가능하게 장착됨으로써 크랭크 링크 기구를 구성하고, 또한 상기 백라이트는 상기 고정 부재에 고정되는 것을 특징으로 하는 기판 검사 장치.
제9항에 있어서,

상기 회동암을 구성하는 2개의 상기 링크 레버는, 각각의 길이가 상이하게 설정되어 있는 것을 특징으로 하는 기판 검사 장치.