KR20070031220A

KR20070031220A - 직사각형 기판의 양면 연마 장치 및 양면 연마 방법

Info

Publication number: KR20070031220A
Application number: KR1020060083006A
Authority: KR
Inventors: 고바야시 가즈오; 츠지 가츠히로
Original assignee: 가부시키가이샤 오카모도 코사쿠 기카이 세이사쿠쇼
Priority date: 2005-09-14
Filing date: 2006-08-30
Publication date: 2007-03-19
Also published as: KR100926025B1

Abstract

중앙부에 기판 수납 포켓부가 형성된 캐리어, 상기 캐리어의 좌우 직선 이동 기구, 회전 축심을 연마 패드의 중심점으로부터 벗어나게 한 한 쌍의 편심 직사각형 연마 패드로서, 이 한 쌍의 직사각형 연마 패드의 연마면을 평행하게 하여 다른 축심에서 회전하도록 배치한 한 쌍의 편심 직사각형 연마 패드, 상기 편심 직사각형 연마 패드의 승강 기구 및 회전 구동 기구, 및 상기 기판 수납 포켓부에 수납된 기판과 편심 직사각형 연마 패드가 접하는 면에 연마액을 공급하는 연마액 공급 수단을 구비하는 직사각형 기판의 양면 연마 장치를 제공한다.

캐리어의 기판 수납 포켓부 내에 직사각형 기판을 유지하고, 상기 기판을 역방향으로 회전하는 한 쌍의 편심 직사각형 연마 패드 사이를 통과시켜, 상기 직사각형 기판의 양면을 동시에 연마하는 직사각형 기판의 연마 방법에 있어서,

상기 한 쌍의 편심 직사각형 연마 패드를 그 연마면을 평행하게 하여 다른 축심에서 회전하도록 배치하고, 상기 직사각형 기판을 상기 편심 직사각형 연마 패드 사이에 일정 시간 멈추게 함과 동시에, 상기 직사각형 기판의 연마 중에 상기 직선 이동 캐리어를 간헐적으로 좌우로 왕복 요동시킴으로써 상기 직사각형 기판의 양면을 연마하는 직사각형 기판의 연마 방법을 제공한다.

연마 장치, 연마 방법

Description

직사각형 기판의 양면 연마 장치 및 양면 연마 방법{DOUBLE FACE PLANE POLISHING MACHINE AND METHOD FOR POLISHING RECTANGULAR WORKPIECE}

도 1 은 직사각형 기판의 양면 연마 장치의 일부분을 개략적으로 나타낸 사시도이다.

도 2 는 양면 연마 장치의 연마 헤드부의 일부분을 개략적으로 나타낸 단면도이다.

도 3 은 기판을 양면 연마 가공하고 있을 때의 기판과 편심 직사각형 연마 패드의 움직임을 나타내는 평면도이다.

도 4 는 캐리어의 평면도이다.

도 5 는 직사각형 기판을 보유하고 있는 캐리어의 단면도이다.

도면의 주요 부호의 설명

1, 2 편심 직사각형 연마 패드

1c, 2c 편심 직사각형 연마 패드의 회전 축심

3 직사각형 유리 기판

4 캐리어

5 연마 헤드

6a, 6b 중공 스핀들

100 양면 연마 장치

200 기판의 위치 결정 장치

300 기판의 반송로봇

[특허 문헌 1] 일본 공개특허공보 제2003-255291호

[특허 문헌 2] 일본 공개특허공보 제2004-21016호

[특허 문헌 3] 일본 공개특허공보 제2005-3845호

[특허 문헌 4] 일본 공개특허공보 평6-218667호

[특허 문헌 5] 일본 공개특허공보 제2003-255291호

[특허 문헌 6] 일본 공개특허공보 제2004-122351호

본 발명은 유리 기판, 석영 기판, 사파이어 기판, GaAs 기판, 규소 기판 등의 직사각형 기판의 양면을 동시에 연마하여 기판을 평탄화함과 동시에 그 두께를 감소시키는 양면 연마 장치 및 직사각형 기판의 양면 평탄화 방법에 관한 것이다. 특히, 이 직사각형 기판의 양면 연마 장치는 액정이 유리판 사이에 주입된 액정 표시 장치용 유리판, 플랫 패널·디스플레이용 유리 적층판 또는 유리판 내면에 전극이 형성되고, 그 유리판 사이에 액정이 주입된 표시 장치용 유리 기판의 양면을 연마할 때에 사용된다.

액정이 유리판 사이에 주입된 액정 표시 장치용 유리판 또는 유리판 내면에 전극이 형성되고, 그 유리판 사이에 액정이 주입된 표시 장치용 유리 기판은 알려져 있으며, 액정 표시판에 사용되고 있다. (예를 들어, 특허 문헌 1, 특허 문헌 2 및 특허 문헌 3 참조).

통상, 이 액정 표시판에 사용되는 직사각형 유리판은 표면을 연삭 또는 랩 (lap) 가공하여 두께를 감소시키고, 또한 그 연삭면 또는 랩면을 에칭 또는 일면씩 혹은 양면을 동시 연마 가공하여 평탄화하고 있다.

이러한 두께가 얇은 직사각형 유리판의 연마 방법으로서, 직사각형 유리판의 양면을 연마 패드로 동시에 연마하는 방법 (a) 과 일면씩 연마하는 방법 (b) 이 이루어지고 있다. 전자 (a) 의 양면 연마 방법으로서, 예를 들어, 외주에 기어부를 형성함과 동시에, 다직사각형으로 형성된 직사각형 유리판의 크기에 대응하는 크기의 구멍부 (포켓부) 가 뚫려 형성된 캐리어 본체부와, 상기 직사각형 유리판의 각부를 제외하는 단부와 상기 캐리어 본체부에 뚫려 형성된 상기 구멍부의 상기 직사각형 유리판의 각부에 대응하는 부위를 제외하는 둘레부와의 사이에 배치된 직사각형 유리판 지지 부재를 가지고, 상기 캐리어 본체부를 강도가 높은 재료에 의해 형성되고, 적어도 상기 직사각형 유리판 지지 부재의 상기 직사각형 유리판과의 접촉 부위를 상기 직사각형 유리판과 맞닿게 해도 상기 직사각형 유리판의 파손을 발생시키기 어려운 유연성 재료에 의해 형성한 캐리어를 사용하여, 직사각형 유리판을 캐리어에 지지시킨 후에, 양면 연마 장치의 구동 장치에 의해 캐리어 본체부의 기어부를 통하여 캐리어를 회전시킴과 동시에, 연마 패드의 축심을 동축 상으로 하 여 형성된 한 쌍의 원형상 연마 패드를 직사각형 유리판의 표리면에 슬라이딩 마찰시켜 직사각형 유리판의 양면 연마를 행하는 것이다 (예를 들어, 특허 문헌 4 참조).

또한, 한 쌍의 직사각형 유리 기판을 구비한 액정 셀의 종횡 치수를 제품 사이즈로 가공한 후에, 연마 헤드의 축심을 동축 상으로 하여 형성된 한 쌍의 원형상 연마 패드를 액정 셀 (직사각형 유리판) 의 표리면에 슬라이딩 마찰시켜 액정 셀을 박형으로 연마하는 액정 표시 장치의 연마 방법에 있어서, 액정 구동용 드라이버가 장착되는 일방의 유리 기판 상에 스페이서 부재를 형성하여, 액정 셀을 연마하는 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치의 제조 방법도 제안되어 있다 (예를 들어, 특허 문헌 5 참조).

후자 (b) 의 대형 직사각형 유리판을 일면씩 연마 패드로 연마하는 방법으로서, 예를 들어 직사각형 유리판을 점착할 수 있는 막체가 설치된 막프레임에 직사각형 유리판을 점착하고, 그 막프레임을 캐리어에 부착하는 공정, 또는 직사각형 유리판을 점착할 수 있는 막체가 설치된 막프레임을 캐리어에 부착하고, 그 막프레임에 직사각형 유리판을 점착하는 공정과, 그 막프레임이 부착된 캐리어와 연마 패드 (정반) 를 상대적으로 접근시켜, 상기 막체에 점착된 직사각형 유리판의 연마면을 상기 연마 패드에 눌러 연마하는 공정과, 직사각형 유리판의 연마 종료 후, 상기 캐리어로부터 상기 막프레임을 떼어내고, 그 막프레임로부터 상기 직사각형 유리판을 떼어내는 공정, 또는 직사각형 유리판의 연마 완료 후, 상기 막프레임로부터 상기 직사각형 유리판을 떼어내고, 상기 캐리어로부터 상기 막프레임을 떼어내 는 공정을 갖는 것을 특징으로 하는 직사각형 유리판의 연마 방법이 제안되어 있다 (예를 들어, 특허 문헌 6 참조).

직사각형 유리판의 표리면을 일면씩 연마해가는 방법 (b) 은 연마 중의 직사각형 유리판의 연마 장치 바깥으로 튀어나가는 경우가 거의 발생하지 않는다는 이점을 갖지만, 일면씩 연마해가기 때문에 연마 가공 공정을 많이 형성할 필요가 있고, 연마 도중에 직사각형 유리판의 표리를 역전시키는 공정이 필요해지므로, 직사각형 유리판의 표리면을 동시에 연마하는 양면 연마 장치와 비교하면 연마 장치 설비가 대형화 되어, 풋프린트가 크다는 결점이 있다. 양면 연마 장치는 일면씩 연마해가는 방법과 비교하면 연마 시간이 짧다는 이점을 갖지만, 두께가 1㎜ 이하로 얇은 직사각형 유리판이면 연마 중에 직사각형 유리판이 캐리어 내에서 연마 장치 바깥으로 튀어나갈 우려가 있다.

본 발명자는 밥알을 양손바닥으로 쥐어 주먹밥으로 형성할 때의 주먹밥 형상이 되는 움직임의 원리에 주목하고, 손바닥의 스핀 방향이 상하 역방향인 것, 상하 손바닥의 회전축이 어긋나 있는 것 및, 손바닥이 약간 좌우로 요동하고 있는 것이 밥알을 양손바닥 내측에서 바깥으로 비산시키지 않고 주먹밥 형상으로 쥐어지는 것에 막대한 영향을 미치고 있는 것으로 이해하여, 손바닥의 움직임을 직사각형 유리판의 양면 연마 장치의 연마 패드에 이용하고, 밥알의 움직임을 캐리어에 응용함으로써 본 발명에 이르렀다.

청구항 1 의 발명은,

중앙부에 기판 수납 포켓부가 형성된 캐리어,

그 캐리어의 좌우 직선 이동 기구,

회전 축심을 연마 패드의 중심점으로부터 벗어나게 한 한 쌍의 편심 직사각형 연마 패드로서, 이 한 쌍의 직사각형 연마 패드의 연마면을 평행하게 하여 다른 축심에서 회전하도록 배치한 한 쌍의 편심 직사각형 연마 패드,

상기 편심 직사각형 연마 패드의 승강 기구 및 회전 구동 기구, 및

상기 기판 수납 포켓부에 수납된 기판과 편심 직사각형 연마 패드가 접하는 면에 연마액을 공급하는 연마액 공급 수단,

을 구비하는 직사각형 기판의 양면 연마 장치를 제공한다.

청구항 2 의 발명은,

캐리어의 기판 수납 포켓부 내에 직사각형 기판을 유지하고, 이 기판을 역방향으로 회전하는 한 쌍의 편심 직사각형 연마 패드 사이를 통과시켜, 상기 직사각형 기판의 양면을 동시에 연마하는 직사각형 기판의 연마 방법에 있어서, 상기 한 쌍의 편심 직사각형 연마 패드를 그 연마면을 평행하게 하여 다른 축심에서 회전하도록 배치하고, 상기 직사각형 기판을 상기 편심 직사각형 연마 패드 사이에 일정 시간 멈추게 함과 동시에, 상기 직사각형 기판의 연마 중에 상기 직선 이동 캐리어를 간헐적으로 좌우로 왕복 요동시킴으로써 상기 직사각형 기판의 양면을 연마하는 것을 특징으로 하는 직사각형 기판의 연마 방법을 제공한다.

발명의 효과

직사각형 기판을 좌우 방향으로 요동시키면서 서로 역방향으로 회전하는 편심 직사각형 연마 패드로 직사각형 기판의 양표면을 연마 가공하기 때문에, 연마된 직사각형 기판의 네 귀퉁이의 두께와 다른 장소의 두께 차가 작고, 두께 분포가 양호한 직사각형 기판이 얻어진다. 또한, 서로의 편심 직사각형 연마 패드의 회전 축심이 이간되어 있는 한 쌍의 편심 직사각형 연마 패드의 회전 방향이 상호 역방향이기 때문에, 얇은 직사각형 기판이 연마 가공 중에 캐리어의 포켓부로부터 튀어나가지 않는다.

발명을 실시하기 위한 최선의 형태

이하, 도면을 사용하여 본 발명을 더욱 상세히 설명한다.

도 1 은 직사각형 기판의 양면 연마 장치의 일부분을 나타낸 사시도, 도 2 는 양면 연마 장치의 연마 헤드부의 일부분을 나타낸 단면도이고, 도 3 은 직사각형 기판을 양면 연마 가공하고 있을 때의 직사각형 기판과 편심 직사각형 연마 패드의 움직임을 나타내는 평면도, 도 4 는 캐리어의 평면도 및 도 5 는 유리판을 협지한 캐리어의 단면도이다.

도 1 에 있어서, (100) 은 직사각형 기판의 양면 연마 장치, (1) 은 상측의 편심 직사각형 연마 패드, (2) 는 하측의 편심 직사각형 연마 패드, (3) 은 직사각형 기판 (워크 피스), (4) 는 캐리어, (5) 는 연마 헤드, (6) 은 스핀들, (7) 은 에어 실린더, (8) 은 캐리어 이동 기구, (9) 는 지지대, (10) 은 안내 레일, (11) 은 소형 서브 모터, (12) 는 기대, (13) 은 벽재이다. (200) 은 직사각형 기판의 위치 결정 장치, (201) 은 롤 컨베이어, (202) 는 롤 형상 브러쉬, (203) 은 위 치 결정 기구, (203a) 는 푸시바, (203b, 203c) 는 위치 결정 둑이다. (300) 은 직사각형 기판의 반송 로봇, (301) 은 아암, (302) 는 진공 흡착 핸드이다.

양면이 연마 가공된 직사각형 기판 (3) 은 위치 결정 장치 (200) 의 롤 컨베이어 (201) 상을 활주하여, 롤 형상 브러시 (202) 사이를 통과하여 위치 결정 기구 (203) 의 둑 (203b, 203c) 에 우단부가 맞닿아 접촉하고, 이어서, 푸쉬 바 (203a) 를 전진시켜 직사각형 기판 (3) 의 후단부를 눌러 우단 귀퉁이부를 둑 (203b) 에 맞닿도록함으로써 반송 로봇 (300) 에 대한 직사각형 기판 (3) 의 좌표 위치가 결정된다. 반송 로봇 (300) 의 진공 흡착 핸드 (302) 에 의해 직사각형 기판 (3) 을 흡착하기 전에 푸쉬 바 (203a) 는 후퇴된다.

도 2 에 나타내는 양면 연마 장치 (100) 의 연마 헤드 (5a, 5b) 에서, 원반 형상 지지체의 표면에 연마포를 붙인 편심 직사각형 연마 패드 (정반) (1, 2) 는 그 연마면 (1b, 2b) 을 서로 평행하게 하여 캐리어 (4) 에 유지된 직사각형 기판 (3) 을 사이에 끼워 각각의 편심 직사각형 연마 패드의 회전 축심 (1c, 2c) 을 벗어나게 하여 상하로 배치된다. 편심 직사각형 연마 패드 (1, 2) 는 중공 스핀들 (회전축) (6a, 6b) 에 축지지되어 있다. 연마제는 펌프 (P) 에 의해 배관 (62), 로터리 조인트 (63) 를 거쳐 중공 회전축 (6a, 6b) 내에 형성된 관 (64) 에 공급되어 상기 연마 패드 (1, 2) 의 연마포 (1a, 1b) 를 습윤시킨다. 연마 패드는 부착 프레임 (70) 에 지지되고, 이 부착 프레임의 하부에 형성된 슬라이더 (71) 는 칼럼 (80) 에 형성된 가이드 레일 (72) 위를 전후 방향으로 이동 가능하도록 되어 있고, 연마 패드 (1) 를 캐리어 (4) 의 좌우 이송 방향에 대하여 직교하는 방향으로 전진 후퇴시킬 수 있는 구조로 되어 있다.

중공 스핀들 (6a, 6b) 은 원동기 (M₁), 풀리 (82), 기어 (81, 83) 등을 구비한 회전 구동 장치에 의해, 소정의 회전수, 예를 들어 10∼180cm^-1로 서로 반대 방향으로 회전 가능하다.

중공 스핀들 (6a, 6b) 의 내실과 관 (64) 사이의 공간 (65) 에는 로터리 조인트 (63) 에 접속된 관 (66) 을 경유하여 도시되어 있지 않은 콤프레서로부터 가압 공기가 공급된다. 또한, 도시되어 있지 않은 진공 펌프에 의해 공간 (65) 내의 기체는 배기된다.

가공 전의 편심 직사각형 연마 패드 (1, 2) 의 간격 (원위치) 은 가공되는 직사각형 기판 (3) 의 두께에 의해 조정된다. 편심 직사각형 연마 패드 (1, 2) 의 크기는 피연마물인 직사각형 기판과 닮은꼴로 1.3∼2.0배인 치수가 바람직하다.

연마포 (1a, 2a) 의 소재로는 다이아몬드 가루 함유 폴리우레탄폼 시트, 다이아몬드 가루 함유 폴리아미드 섬유를 부직포 형상으로 가공하고, 이를 우레탄프리폴리머로 굳힌 시트형상물 등이 사용된다.

연마제로는 물, 세리아, 알루미나, 다이아몬드, 실리카계 연마제 슬러리가 사용된다. 연마제는 피연마물의 기판 종류에 따라 다르지만, 유리 기판에는 세리아계 연마제 슬러리, 규소 기판에는 콜로이드성 실리카계 슬러리, 사파이어 기판에는, 알루미나계 슬러리와 다이아몬드계 슬러리가 바람직하다.

편심 직사각형 연마 패드 (1, 2) 는 그 대각선 교점 (중심점) 에서 10∼80㎜ 벗어난 위치가 회전 축심 (1c, 2c) 이 되도록 상기 중공 스핀들 (6a, 6b) 에 축지지되어 있다. 이들 한 쌍의 편심 직사각형 연마 패드 (1, 2) 는 그 연마면 (1a, 2a) 을 평행하게 하여 캐리어 (4) 에 대하여 점대칭이 되도록 설치된다. 이들 한 쌍의 편심 직사각형 연마 패드 (1, 2) 의 회전 축심 (1c, 2c) 간 거리는 20∼160㎜ 가 바람직하다. 이들 한 쌍의 편심 직사각형 연마 패드 (1, 2) 의 스핀들축 (6a, 6b) 의 회전 방향은 역방향이고, 편심 직사각형 연마 패드 (1, 2) 의 회전수는 10∼200 min^-1, 편심 직사각형 연마 패드의 직사각형 기판 (3) 에 대한 가압력은, 20∼100g/㎠ 가 바람직하다. 직사각형 기판의 연마시, 캐리어 (4) 는 좌우로 간헐적으로 요동된다. 캐리어 (4) 의 요동 속도는 80∼200㎝/분, 진폭은 25∼100㎜ , 요동 주기는 2∼20회/분이 바람직하다. 직사각형 기판 (3) 의 연마 처리분은 기판의 소재, 용도에 의존하나 2∼100㎛ 가 바람직하다.

캐리어 (4) 는 도 4 및 도 5 에 나타내는 바와 같이, 직사각형을 오려낸 형상의 금속제 캐리어 프레임체 (4a) 의 내측에, 중앙부에 직사각형 기판 수납 포켓부 (4b) 가 형성된 수지제 가소성 유지재 (4c) 가 배치되고, 이 수지제 가소성 유지재의 직사각형 기판 (3) 과 접하는 직사각형 기판 수납 포켓부의 4 모퉁이에는 직사각형 기판의 모퉁이부에 닿지 않도록 릴리프 공간 (4d, 4e, 4f, 4g) 이 형성되어 있고, 직사각형 기판의 액정 주입구 밀봉재 (4j), 액정 흡인구 밀봉재 (4k) 의 근방 위치에도 릴리프 공간 (4h, 4i) 이 형성되어 있다. 직사각형 기판이 세로 193.4㎜, 가로 256.6㎜ 의 치수인 경우, 모퉁이부 릴리프 공간 (4d, 4e, 4f, 4g) 은 직사각형 기판 모퉁이부를 중심으로 3.5㎜ 반지름의 릴리프 구멍이 형성되고, 액정 주입구 밀봉재 근방 위치의 릴리프 공간 (4h, 4i) 치수는 폭 30㎜ 에 걸쳐 3㎜ 의 갭이 생기도록 형성되어 있다.

금속제 캐리어 프레임체 (4a) 는 스테인레스, 알루미늄, 주철, 황동 등을 소재로 한다. 수지제 가소성 유지재 (4c) 는 유리 섬유 보강 에폭시 수지, 유리 섬유 보강 아라미드 수지, 유리 섬유 보강 폴리이미드 수지 등을 소재로 한다.

캐리어 (4) 는 캐리어 이동 기구 (8) 에 전후단이 협지되고, 이 캐리어 이동 기구 (8) 를 소형 서브 모터 (11) 의 구동을 받은 볼나사 (도시되어 있지 않음) 가 회전 구동하여, 안내 레일 (10) 위를 캐리어 이동 기구 (8) 가 활주함으로써 행하여진다. 이 캐리어 (4) 에는 그 폭방향 중앙부에서, 또한 길이 방향으로 소정의 간격 0.5∼1㎜ 을 유지하여 직사각형 기판 (3) 의 외형보다도 약간 큰 포켓부 (4a) 가 복수 개 형성되어 있다. 포켓부 (4a) 의 안쪽에는 가소성 고무판 (4b) 을 형성하는 것이 좋다. 직사각형 기판 (3) 을 포켓부 (4a) 에 걸어 맞추었을 때, 기판 (3) 의 양면이 캐리어 벨트 (4) 의 양면으로부터 연마 처리분을 초과하여 돌출 가능하도록 캐리어 (4) 의 두께는 직사각형 기판 (3) 의 두께보다 얇다.

도 3 에 나타내는 바와 같이, 캐리어 (4) 를 간헐적으로 좌우 방향으로 요동시키면서 회전 축심 (1c, 2c) 에서 회전하는 편심 직사각형 연마 패드 (1, 2) 를 역방향으로 회전시켜 직사각형 기판 (3) 의 양면을 동시에 연마하기 때문에, 편심 직사각형 연마 패드의 연마포 (1a, 2a) 가 국소적으로 마모되는 것이 억제되어 직 사각형 연마 패드의 수명 향상을 꾀할 수 있고, 편심 직사각형 연마 패드의 마모에 의한 표면 평탄 형상의 변형이 방지되어, 직사각형 기판 (3) 의 평탄도 향상, 두께의 균일성 향상을 꾀할 수 있다.

연마 개시점은 편심 직사각형 연마 패드 (1) 와 편심 직사각형 연마 패드 (2) 의 간격이 캐리어 (4) 에 유지되는 직사각형 기판 (3) 의 두께보다 0.05㎜∼0.1mm 정도 크게 설정하는 것이 바람직하다. 직사각형 기판 (3) 에의 연마 랜싱량 조정은 에어 실린더 (7) 의 승강에 의해 이루어진다. 직사각형 기판 (3) 이 소정량 연마되면 편심 직사각형 연마 패드 (1, 2) 를 캐리어 (4) 로부터 멀리한다.

직사각형 기판의 연마 가공을 효율적으로 행하기 위해서, 도 1 에 나타내는 바와 같은 양면 연마 장치 (100) 복수개를 병렬로 설치하는 것이 좋다. 양면 연마 장치 (100) 는 예를 들어, 예비 연마, 마무리 연마 또는 예비 연마, 중간 마무리 연마, 정밀 마무리 연마와 같이 각각 연마 패드, 연마 조건을 바꾸어 행한다. 각각의 연마 공정에서 사용하는 편심 직사각형 연마 패드의 연마포 탄성률, 다이아몬드 가루 지립 번수나 함유율도 당연히 다르게 되고, 연마 시간, 편심 직사각형 연마 패드의 회전 속도도 달라진다. 예를 들어, 3단계의 연마 가공시에는, 편심 직사각형 예비 연마 패드의 다이아몬드 지립에는 #100∼#325 의 다이아몬드 지립이, 중간 마무리 연마 패드의 다이아몬드 지립에는 #600∼#2000 의 다이아몬드 지립을, 정밀 마무리 연마 패드의 다이아몬드와 지립에는 #3000∼#8000 의 다이아몬드 지립을 사용한다.

2단의 연마 공정에서, 예비 연마에 있어서의 연마 처리분량은 전체 처리분량의 60∼95% 로 하는 것이 연마 속도의 밸런스를 확보하고, 또한 유리 표면의 크랙 등의 표면 결함을 발생시키지 않고 전체로서 단시간에 연마 가공을 완료하는 데에 있어서 바람직하고, 75∼85% 로 하는 것이 더욱 바람직하다. 3단 연마 공정에서, 전체의 연마 두께량의 배분을 예비 연마 60∼85%, 중간 마무리 연마 13∼35%, 정밀 마무리 연마 2∼5% 로 하는 것이 바람직하다. 예를 들어, 0.60㎜ 두께의 직사각형 액정 표시용 유리판의 양면으로부터 50㎛ 제거하여 0.5㎜ 두께의 직사각형 액정 표시용 유리 기판으로 할 때에는, 2단 연마 공정의 경우, 예비 연마 가공으로 0.52㎜ 두께로 한다. 3단 연마 공정의 경우, 예비 연마 가공으로 0.53㎜ 두께, 중간 마무리 연마 가공으로 0.502㎜ 두께, 정밀 마무리 연마 가공으로 0.500㎜ 두께로 한다.

직사각형 기판 (3) 으로서, 소다 석회 실리카계 유리, 붕규산계 유리, 알미노 규산계 유리, 알미노 붕산계 유리, 무알칼리 저팽창 유리, 고왜점 고팽창 규산 유리, 결정화 유리 등의 유리 기판 외에, 석영 기판, 사파이어 기판, GaAs 기판, 규소 기판 등의 직사각형 기판이 피연마 가공물이 된다.

본 발명의 한 쌍의 편심 직사각형 연마 패드를 사용하여, 액정 표시판용 유리 적층체를 좌우 방향으로 요동시키면서 양면 연마하는 방법은, 두께 분포가 균일한 액정 표시판용 유리 적층체를 얻을 수 있다.

Claims

중앙부에 기판 수납 포켓부가 형성된 캐리어,

상기 캐리어의 좌우 직선 이동 기구,

회전 축심을 연마 패드의 중심점으로부터 벗어나게 한 한 쌍의 편심 직사각형 연마 패드로서, 이 한 쌍의 직사각형 연마 패드의 연마면을 평행하게 하여 다른 축심에서 회전하도록 배치한 한 쌍의 편심 직사각형 연마 패드,

상기 편심 직사각형 연마 패드의 승강 기구 및 회전 구동 기구, 및

상기 기판 수납 포켓부에 수납된 기판과 편심 직사각형 연마 패드가 접하는 면에 연마액을 공급하는 연마액 공급 수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 직사각형 기판의 양면 연마 장치.
캐리어의 기판 수납 포켓부 내에 직사각형 기판을 유지하고, 상기 기판을 역방향으로 회전하는 한 쌍의 편심 직사각형 연마 패드 사이를 통과시켜, 상기 직사각형 기판의 양면을 동시에 연마하는 직사각형 기판의 연마 방법에 있어서,

상기 한 쌍의 편심 직사각형 연마 패드를 그 연마면을 평행하게 하여 다른 축심에서 회전하도록 배치하고, 상기 직사각형 기판을 상기 편심 직사각형 연마 패드 사이에 일정 시간 멈추게 함과 동시에, 상기 직사각형 기판의 연마 중에 상기 직선 이동 캐리어를 간헐적으로 좌우로 왕복 요동시킴으로써 상기 직사각형 기판의 양면을 연마하는 것을 특징으로 하는 직사각형 기판의 연마 방법.