JP5389543B2 - 研磨パッド - Google Patents
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Description
10 研磨ユニット
26,26A 研磨パッド
28 保持テーブル(チャックテーブル)
50 半導体ウエーハ
52 緩衝層
54 研磨液供給貫通孔
56 研磨層
56a 研磨面
56b 非研磨面
58 放射状溝
60 同心状円形溝
62 研磨液吐出口
64 研磨液供給源
Claims (5)
- 研磨面と該研磨面と反対側の非研磨面を有する研磨層と、該研磨層の該非研磨面上に貼着された緩衝層とを備えた研磨パッドであって、
該緩衝層の中央に形成され、研磨液供給源に接続される研磨液供給貫通孔と、
該緩衝層及び該研磨層の何れか一方に形成され、一端が該研磨液供給貫通孔に連通して該研磨パッドの外周方向に放射状に伸長する複数の放射状研磨液流路と、
該研磨層の該研磨面に同心状に形成された複数の円形溝と、
該放射状研磨液流路と該円形溝との交点が連通してなる複数の研磨液吐出口とを具備し、
該放射状研磨液流路の他端は、少なくとも前記複数の円形溝のうち最外周の円形溝に至ることを特徴とする研磨パッド。 - 前記放射状研磨液流路は、前記研磨層の前記非研磨面に形成された複数の放射状溝から構成される請求項1記載の研磨パッド。
- 前記放射状研磨液流路は、前記緩衝層の前記研磨層との接合面に形成された放射状溝から構成される請求項1記載の研磨パッド。
- 前記研磨層は、少なくとも砥粒と該砥粒を結合する結合材とを含む請求項1〜3の何れかに記載の研磨パッド。
- 前記緩衝層はフェルトから構成される請求項1〜4の何れかに記載の研磨パッド。
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