KR20070019931A - Rf 전력 발생기용 구동 신호를 발생하기 위한 방법 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (21)
- 플라즈마 공정에 RF 전력을 공급하는 적어도 2개의 RF 전력 발생기(3, 4)의 구동 신호들(C, D)을 발생하기 위한 방법으로서, 각각이 하나의 RF 전력 발생기(3, 4)를 구동하는 적어도 2개의 구동 신호들(C, D)은 RF 발생기 구동 수단(2)에서 발생되는 것인, 상기 구동 신호들(C, D)을 발생하기 위한 방법에 있어서,각각의 구동 신호(C, D)는 하나의 함수 발생기(13, 14), 특히 디지털 함수 발생기, 양호하게는 디지털 사인 발생기에 의해 발생되는 것을 특징으로 하는, 구동 신호 발생 방법.
- 제1항에 있어서, 상기 구동 신호들(C, D)의 서로에 관한 위상 및/또는 주파수 관계가 조절되는 것을 특징으로 하는, 구동 신호 발생 방법.
- 제1항 또는 제2항에 있어서, 적어도 2개의 구동 신호들(C, D)은 상이한 주파수를 갖는 것을 특징으로 하는, 구동 신호 발생 방법.
- 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 구동 신호들(C, D)은 상기 RF 발생기 구동 수단(2)의 적어도 하나의 디지털 인터페이스를 통해 조절되는 것을 특징으로 하는, 구동 신호 발생 방법.
- 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 구동 신호들(C, D)은 특히 FPGA 또는 프로세서와 같은 프로그래머블 로직 컴포넌트를 통해 조절되는 것을 특징으로 하는, 구동 신호 발생 방법.
- 제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 구동 신호들(C, D)의 위상 위치는, 1㎲ 내지 10s, 양호하게는 1ms 내지 2s, 더욱 양호하게는 100 ms 내지 1s의 기간에 걸쳐 변경되는 것인, 구동 신호 발생 방법.
- 제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서, 위상 위치 변경의 속도는 특히 %/s 로 조절되는 것을 특징으로 하는, 구동 신호 발생 방법.
- 제1항 내지 제7항 중 어느 한 항에 있어서, 적어도 하나의 구동 신호(C, D)는 주파수-변조 또는 위상-변조되는 것을 특징으로 하는, 구동 신호 발생 방법.
- 제1항 내지 제8항 중 어느 한 항에 있어서, 특히 플라즈마 공정에서 아크의 검출시와 같은 사전설정가능한 이벤트의 경우에, 적어도 2개의 구동 신호들(C, D)의 위상 관계가 특히 갑작스럽게 변경되는 것을 특징으로 하는, 구동 신호 발생 방법.
- 제1항 내지 제9항 중 어느 한 항에 있어서, 사전설정가능한 이벤트의 경우 에, 특히 플라즈마 공정에서 아크의 검출시에, 적어도 하나의 구동 신호(C, D)는 일시적으로 인터럽트되는 것을 특징으로 하는, 구동 신호 발생 방법.
- 제1항 내지 제10항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 구동 신호들(C, D)의 주파수들은 1 내지 6 MHz의 정수배, 특히 3.39MHz의 정수배로 선택되는 것을 특징으로 하는, 구동 신호 발생 방법.
- 제1항 내지 제11항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 디지털 주파수 발생기들(13, 14)은 공통의 클럭 주파수에 의해 구동되는 것을 특징으로 하는, 구동 신호 발생 방법.
- 플라즈마 공정에 RF 전력을 공급하는 적어도 2개의 RF 발생기들(3, 4)을 구동하기 위한 RF 발생기 구동 수단(2)으로서, 상기 RF 발생기 구동 수단(2)은 적어도 2개의 구동 신호들(C, D)을 발생하는 것인, 상기 RF 발생기 구동 수단(2)에 있어서,상기 구동 수단은, 각각의 구동 신호(C, D)에 대해 특히 사인 발생기와 같은 디지털 함수 발생기(13, 14)를 포함하는 하나의 신호 발생 구성(10, 11)을 포함하는 것을 특징으로 하는, RF 발생기 구동 수단.
- 제13항에 있어서, 상기 함수 발생기(13, 14)는 DDS(Direct Digital Synthesizer)로서 설계되는 것을 특징으로 하는, RF 발생기 구동 수단.
- 제13항 또는 제14항에 있어서, 상기 신호 발생 구성(10, 11)은 상기 디지털 함수 발생기(13, 14)의 하류(downstream)에 배치된 필터 수단(15, 16)을 포함하는 것을 특징으로 하는, RF 발생기 구동 수단.
- 제13 내지 15항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 신호 발생 구성(10, 11)은 각각의 구동 신호(C, D)를 발생하는 비교기(17, 18)를 포함하는 것을 특징으로 하는, RF 발생기 구동 수단.
- 제13항 내지 제16항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 신호 발생 구성(10, 11)을 구동하기 위해 프로세서(12)가 제공되는 것을 특징으로 하는, RF 발생기 구동 수단.
- 제13항 내지 제17항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 신호 발생 구성(10, 11) 및/또는 프로세서(12)에 접속된 클럭 신호를 발생하기 위해 발진기(19)가 제공되는 것을 특징으로 하는, RF 발생기 구동 수단.
- 제13항 내지 제18항 중 어느 한 항에 있어서, 특히 시리얼 인터페이스 및/또는 사용자 인터페이스와 같은 적어도 하나의 인터페이스(20)가 제공되는 것을 특징 으로 하는, RF 발생기 구동 수단.
- 제13항 내지 제19항 중 어느 한 항에 있어서, 프로그래머블 로직 컴포넌트가 제공되는 것을 특징으로 하는, RF 발생기 구동 수단.
- 제13항 내지 제20항 중 어느 한 항에 기재된 RF 발생기 구동 수단(2)에 의해 구동되는 적어도 2개의 RF 발생기(3, 4)를 포함하는 RF 플라즈마 여기 구성(1).
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