KR20070018238A - 불소 포함 배기가스의 처리방법 및 이의 방법을 사용하기위한 흡착 컬럼 장치 - Google Patents

불소 포함 배기가스의 처리방법 및 이의 방법을 사용하기위한 흡착 컬럼 장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 불소 포함 배기가스의 처리방법 및 이의 방법을 사용하기 위한 흡착 컬럼 장치에 관한 것으로, 상세하게는 흡착 컬럼에 활성탄(active Carbon), 수산화 칼슘(Ca(OH)2) 및 탄산 칼슘(CaCO3)으로 이루어진 군으로부터 선택된 2종 이상의 처리제를 충진하고, 여기에 불소 포함 배기가스를 통과시켜 불소가스를 처리제에 흡착시키는 것을 특징으로 한다.

Description

불소 포함 배기가스의 처리방법 및 이의 방법을 사용하기 위한 흡착 컬럼 장치{Method for the abatement of waste gas comprising fluorine and its adsorption column device}
도 1은 불소 포함 배기가스의 처리를 위하여 종래에 사용한 습식처리장치를 나타낸 도이다.
도 2는 불소 포함 배기가스의 처리를 위하여 본 발명에 따른 흡착 컬럼 장치를 나타낸 도이다.
본 발명은 불소 포함 배기가스의 처리방법 및 이의 방법을 사용하기 위한 흡착 컬럼 장치에 관한 것이다.
최근 불소(F2) 화합물은 반도체 제조에 광범위하게 사용되어지는데, 이들 화합물은 고가이고, 특히 방출되면 환경에 유해하다. 또한, 불소가스 제조시 전해조로부터 불산(HF) 등의 불소계 화합물이 동시에 발생되어 불소가스와 공존하게 된다. 공정 중 필요에 의해 저순도 가스가 폐기되거나 운전중인 경우, 불소가 과량 함유된 상태로 가스를 간헐적으로 대기중, 즉 공정 외부로 배출하게 된다. 이때 배출되는 이러한 불소계 화합물은 대기오염 물질이므로 외부로 배출되기 전에 처리되어야 한다.
이를 위해, 종래에는 불소계 화합물을 알칼리 흡수액에 직접 반응시켜 불소계 화합물이 알칼리 흡수액에 흡수되도록 하는 습식처리방법을 이용하여 왔다. 도 1은 일반적인 알칼리 습식처리장치를 도시한 것이다. 도 1의 장치는 불소 포함 배기가스를 하부로 투입하여 알칼리 용액 펌프를 통해 순환하여 역류하는 알칼리 수용액과 접촉하게 하고 배출의 용이성을 위해 송풍기를 상부에 배치하여 습식 처리 후, 쉽게 대기중으로 방출하게 한다. 이러한 방법은 처리능력이 크고 적응성도 광범위한 우수한 정화 처리 방법이다. 그러나 이러한 방법은 처리 효율이 낮고, 불소 포함 배기가스를 완전히 정화하기 어려우며, 처리장치의 보수에 많은 노동력이 필요하고, 흡수액의 수분이 불소 제조 공정으로 역침투하여 최종 제품을 오염시킬 우려가 많다.
따라서, 불소 제조 공정에서 불소 포함 배기가스를 처리하는 방법으로 물리적인 흡착에 의한 건식처리방법, 또는 화학반응으로 불소가스를 고정시키는 건식처리방법이 채택되고 있다. 이들 불소가스의 화학적 성질과 반응성의 차이가 건식처리에 있어서 처리제 및 처리방법을 고려할 때 중요한 관점이 된다.
종래의 불소 포함 배기가스의 건식 처리 방법으로는 활성탄의 물리 흡착성을 이용한 처리방법이 있다. 활성탄 처리제는 값싸게 제조할 수 있고, 불소가스뿐만 아니라 각종 불소 포함 배기가스를 소량의 정화제로 다량 제거할 수 있다. 일반적 으로 활성탄을 처리제로서 사용하는 경우, 불소 포함 배기가스를 연속적으로 유통시켜 처리할 때 비교적 큰 정화능력이 얻어진다. 그러나 활성탄만으로는 불소 포함 배기가스를 처리할 수 없고, 급격한 반응으로 과량의 열을 발생할 수 있다.
따라서, 이를 방지하기 위하여 금속수산화물을 주성분으로 하고, 화학반응성을 이용한 처리제가 많이 사용되고 있다. 예를 들어, 수산화 스트론튬을 주성분으로 하는 산성가스의 처리제가 알려져 있다(일본국 특개평 9-99216호 공보). 수산화 스트론튬을 주성분으로 하는 산성가스의 처리제는 비교적 값싸게 제조할 수 있고, 동시에 불소가스뿐만 아니라 각종 불소 포함 배기가스를 소량의 처리제로 다량 제거하는 것이 가능하며, 활성탄과 같이 폭발적으로 반응할 위험성이 없어 안전하게 사용할 수 있다. 그러나 이 방법 또한 만족할 만한 처리 결과를 얻지 못하고 있다.
활성탄을 이용하는 다른 방법으로는, 활성탄에 할로겐화 알칼리금속을 점착시키는 방법(일본국 특개소 58-122025호 공보), 활성탄에 화학적인 알루민산 알칼리금속염 또는 알루민산 테트라알킬암모늄염을 점착시키는 방법(일본국 특개평 4-210236호 공보) 등이 제안되고 있으나, 아직 충분한 효과는 얻어지지 않고 있다.
또한, 활성탄을 사용하지 않는 화학반응에 의해 불소 포함 배기가스를 고정시키는 각종 처리제들도 개발되고 있다. 예를 들면 첫째, 산화동, 산화망간을 주성분으로 하는 금속산화물에 포름산나트륨을 점착시킨 처리제이다(일본국 특개평 9-234337호 공보). 이 처리제는 불소가스를 완전히 고정시킬 수 있다는 점에서 대단히 우수한 처리제로 작용하지만, 활성탄계의 처리제에 비해 제조 비용이 높고, 처리능력이 작은 단점이 있다. 둘째, 수산화 스트론튬과 산화철을 주성분으로 하는 처리제이다(일본국 특개평 7-308538호 공보). 이 처리제는 고농도 불소 포함 배기가스를 처리하는 능력은 우수하지만, 저농도의 불소 포함 배기가스에서는 상기한 산화동, 산화망간을 주성분으로 하는 금속산화물에 포름산나트륨을 점착시킨 처리제의 처리량에도 미치지 못하고, 또한 사용중에 수분이 증발하여 처리제가 건조됨으로, 결과적으로 처리능력이 저하되는 문제가 있다.
따라서, 불소 포함 배기가스를 대기중으로 방출하지 않고, 안전하고, 경제적으로 처리하기 위한 방법이 절실히 요구되고 있다.
이에, 본 발명자들은 대기중으로 방출되는 불소 포함 배기가스의 건식 처리에 있어서 경제적이고, 처리능력이 크며, 안전적이고 효율적으로 불소 포함 배기가스를 방출시키는 방법에 대해 연구하던 중, 활성탄(active Carbon), 수산화 칼슘(Ca(OH)2) 및 탄산 칼슘(CaCO3)으로 이루어진 군으로부터 선택된 2종 이상을 하나의 컬럼에 충진한 다음, 여기에 불소 포함 배기가스를 접촉 반응시킴으로써, 불소가스가 효율적으로 제거되는 것을 확인하고 본 발명을 완성하였다.
따라서, 본 발명은 흡착 컬럼을 이용한 불소 포함 배기가스의 처리방법을 제공하고자 한다.
또한, 본 발명은 상기 방법을 사용하기 위한 흡착 컬럼 장치를 제공하고자 한다.
본 발명은
1) 활성탄(active Carbon), 수산화 칼슘(Ca(OH)2) 및 탄산 칼슘(CaCO3)으로 이루어진 군으로부터 선택된 2종 이상의 처리제를 컬럼에 충진시키는 단계,
2) 불소 포함 배기가스를 상기 1)단계에서 제조한 컬럼 내부에 통과시켜 처리제에 흡착시키는 단계를 포함하는 불소 포함 배기가스의 처리방법을 제공한다.
또한, 본 발명은 하층부에 가스 유입구, 상층부에 가스 배출구로 구성되어 있으며, 컬럼 내부의 충진 공간에 활성탄(active Carbon), 수산화 칼슘(Ca(OH)2) 및 탄산 칼슘(CaCO3)으로 이루어진 군으로부터 선택된 2종 이상을 충진하고, 불소 포함 배기가스는 하부로 유입하여 상부로 배출하도록 구성되는 흡착 컬럼 장치를 제공한다.
이하, 본 발명에 대해 상세히 설명한다.
본 발명의 불소 포함 배기가스의 처리방법은 불소(F2), 불산(HF), 이산화탄소(CO2) 등을 포함하는 배기가스로부터 불소, 불산 및/또는 이산화탄소의 제거에 유용한 방법으로, 특히 불소의 제거에 유용하다.
본 발명의 불소 포함 배기가스의 처리방법에 사용되는 활성탄은, 흡착성이 우수하고, 처리제로서 사용이 가능한 입자직경을 갖는 것으로서, 특별히 한정되지는 않으나 통상적으로 그 비표면적이 700~2500 m2/g, 바람직하게는 1000~2500 m2/g이고, 수분 함량은 10 중량% 이하, 재의 함량은 6 중량% 이하, 메쉬 크기가 3~30 메쉬인 것이 바람직하다. 활성탄으로는 석탄계 활성탄, 목탄계 활성탄 및 야자껍질 활성탄으로 이루어진 군으로부터 선택된 1종 이상을 포함할 수 있으며, 특히 야자껍질 활성탄이 바람직하다.
활성탄은 불소 포함 배기가스와 반응시 폭발적으로 반응하므로, 불소 포함 배기가스의 건식처리에서는 소량의 활성탄을 사용하는 것이 바람직하다. 특히, 처리제 총중량에 대해 0.5~5 중량% 사용하는 것이 바람직하다.
본 발명의 불소 포함 배기가스의 처리방법에 사용되는 수산화 칼슘 및 탄산칼슘 처리제에 대한 설명은 다음과 같다.
F2 + CaCO3 -> CaF2 + CO2 + 0.5O2
2HF + CaCO3 -> CaF2 + H2O + CO2
CO2 + Ca(OH)2 -> CaCO3 + H2O
2HF + Ca(OH)2 -> 2H2O + CaF2
2F2 + Ca(OH)2 -> 2HF + CaF2 + O2
상기 반응식 1 내지 5와 같이 탄산 칼슘 및 수산화 칼슘은 전해조에서 발생되는 불소 제조공정 중 발생한 배기가스 중에 포함된 과량의 불소, 불산 및 이산화탄소 성분을 쉽게 제거할 수 있다. 이때, 배기가스와 처리제의 접촉 반응중 발생되는 다량의 수분은 처리제에 응축되어지면 처리제의 활성을 감소시켜 처리제의 효율이 떨어질 수 있으므로, 일정한 온도로 외부에서 열을 가해주는 것이 바람직하다. 외부 가열 온도는 50℃~150℃로 고온 증기를 이용하여 온도를 일정하게 유지시킨다. 처리제로 탄산 칼슘 또는 수산화 칼슘이 사용되는 경우, 탄산 칼슘은 처리제 총중량에 대해 30~97 중량%, 수산화 칼슘은 처리제 총중량에 대해 15~97 중량% 사용하는 것이 바람직하다. 만일 탄산칼슘을 30 중량% 이하로 사용시 탄산칼슘에 의한 불소(F2) 제거 효율이 감소하여 불소 포함 배기가스의 처리 능력이 감소하고, 97 중량% 이상을 사용하게 되면 이산화탄소(CO2)의 흡착능력이 약화되어 처리능력이 급격히 감소한다. 또한 수산화 칼슘을 15 중량% 이하로 사용시 수산화 칼슘에 의한 이산화탄소 제거 효율이 감소하여 불소 포함 배기가스의 처리 능력이 감소하고, 97 중량% 이상을 사용하게 되면 불소와 처리제간의 반응과정중 발생되는 과량의 불산(HF)으로 인해 흡착능력이 감소한다.
본 발명에 의한 불소 포함 배기가스의 처리 능력 측정은, 처리제를 통상의 컬럼에 충진시킨 다음, 여기에 불소 포함 배기가스를 통과시키면서 행해진다.
각 처리제는 컬럼의 하부에 활성탄, 수산화 칼슘 및 탄산 칼슘으로 이루어진 군으로부터 선택된 2종 이상을 일정 비율로 조합하여 충진한 후 50℃~150℃에서 불 활성 가스를 이용하여 3시간 정도 전처리하는 것이 바람직하다. 배기가스의 처리 측정은 25℃, 흡착 압력 0~1 ㎏/㎝2에서 실행할 수 있다. 이때 처리되는 배기가스 중 불소가스의 농도는 5 중량% 이하일때 가장 효율적이다. 처리제와 배기가스의 접촉시간은 불소 포함 배기가스의 농도에 따라 다르고, 일률적으로 특정할 수는 없으며, 선속도는 5㎝/sec 이하로 할 수 있다.
본 발명은 상기 처리제들을 컬럼에 충진하여 불소가스를 단독적으로 유입하여 처리하거나, 상기 처리제에 불소 포함 배기가스 외에 질소, 아르곤 및 헬륨으로 이루어진 군으로부터 선택된 적어도 하나의 가스를 주성분으로 하는 희석가스를 투입하고 혼합하여 흡착시킨 후 처리할 수 있다. 본 발명의 처리방법은 불소, 불산뿐만 아니라 이산화탄소와 같은 다른 유해가스도 처리할 수 있다.
본 발명에 따른 불소 포함 배기가스의 처리방법은 활성탄, 수산화 칼슘 및 탄산 칼슘을 단독으로 사용할 때보다 2종 이상을 복합적으로 조합하여 사용함으로써 처리제 단위 그램당 불소 포함 배기가스 처리량이 크게 증가한다.
따라서, 본 발명에 따른 불소 포함 배기가스의 처리방법은 습식법과 같은 고가의 펌프 및 주변 부속 장치의 필요없이 간단한 컬럼의 설치만으로 보다 효율적으로 배기가스를 제거할 수 있으므로, 설치 비용을 획기적으로 줄일 수 있어 경제적이다. 또한, 본 발명에 따른 불소 포함 배기가스의 처리방법은 처리능력이 크고, 배출 가스중 불소가스를 효율적으로 제거하며, 처리제로부터 탈착현상도 일어나지 않는 효과가 있으며, 특히 대규모 처리시 효과적이다.
본 발명에 따른 흡착 컬럼 장치에서, 컬럼은 그 재료에 특별히 한정되지 않으나, 내경 39.4㎜, 길이 100㎜의 SUS316L제의 재질로 제작할 수 있다. 또한, 상기 가스 유입구 및 가스 배출구는 플랜지 형태로 제작하는 것이 바람직하다.
본 발명의 컬럼 장치는 컬럼 가열 히터(Heating Jacket)를 추가로 구비할 수 있다. 컬럼 가열 히터는 불소 포함 배기가스와 처리제들 간의 접촉 반응중 반응성의 향상을 위하여 컬럼의 외부에 일정 발열을 할 수 있도록 설치한 것이며, 또한 온도 상승시 수산화칼슘의 용해도가 점차 낮아지는 원리를 이용하여 상온에서 과량의 수분 흡수로 인한 흡착 능력이 상실되는 것을 방지할 수 있다. 외부 가열은 스팀 또는 전기 히터에 의하여 공급될 수 있으며, 외부 온도는 50℃~150℃로 고온 증기를 이용하여 온도를 일정하게 유지시킨다. 상기 컬럼 가열 히터는 스팀 투입구, 응축수 배출구 및 컬럼 외부 표면을 순환하는 순환 공간으로 이루어질 수 있다.
이하, 본 발명의 이해를 돕기 위하여 바람직한 실시예를 제시한다. 그러나 하기의 실시예는 본 발명을 보다 쉽게 이해하기 위하여 제공되는 것일 뿐, 이에 의해 본 발명의 내용이 한정되는 것은 아니다.
실시예 1
내경 39.4㎜의 SUS316L의 원형통에 활성탄과 공업용 수산화 칼슘(100%, granule-type)을 4:96 중량비로 하여, 충진 무게가 20g, 충진 길이가 100㎜가 되도록 충진시켜 흡착 컬럼을 제조하였다. 불소 포함 배기가스와 반응시 폭발적으로 반응하는 경우가 있기 때문에, 소량의 활성탄의 비율로 충진해야 한다. 이 컬럼에 혼 합 가스인 HF(0.5 중량%) + F2(1.0 중량%) + CO2(0.5 중량%) + N2(98 중량%)를 만들어, 25℃, 압력 0.1kg/cm2, 선속도 2㎝/sec으로 연속해서 통과시켰다. 가스의 연속통과 과정에서, 출구가스의 일부를 실린지로 샘플링해서 가스 검지관 및 가스 검지기로 불소 포함 배기가스 처리량(흡착량)을 측정하였다.
실시예 2
상기 실시예 1에서 처리제로 활성탄과 수산화 칼슘 대신에 활성탄과 탄산칼슘을 4:96 중량비로 충진한 것을 제외하고는, 실시예 1과 동일한 방법으로 하여 불소 포함 배기가스 처리량(흡착량)을 측정하였다.
실시예 3
상기 실시예 1에서 처리제로 활성탄과 수산화 칼슘 대신에 수산화 칼슘과 탄산칼슘을 47:53 중량비로 충진한 것을 제외하고는, 실시예 1과 동일한 방법으로 하여 불소 포함 배기가스 처리량(흡착량)을 측정하였다.
실시예 4
상기 실시예 1에서 처리제로 활성탄과 수산화 칼슘 대신에 활성탄 : 수산화 칼슘 : 탄산칼슘을 1:46:52 중량비로 충진한 것을 제외하고는, 실시예 1과 동일한 방법으로 하여 불소 포함 배기가스 처리량(흡착량)을 측정하였다.
실시예 5
상기 실시예 1에서 처리제로 활성탄과 수산화 칼슘 대신에 활성탄 : 수산화 칼슘 : 탄산칼슘을 1:30:69 중량비로 충진한 것을 제외하고는, 실시예 1과 동일한 방법으로 하여 불소 포함 배기가스 처리량(흡착량)을 측정하였다.
실시예 6
상기 실시예 1에서 처리제로 활성탄과 수산화 칼슘 대신에 활성탄 : 수산화 칼슘 : 탄산칼슘을 1:23:76 중량비로 충진한 것을 제외하고는, 실시예 1과 동일한 방법으로 하여 불소 포함 배기가스 처리량(흡착량)을 측정하였다.
실시예 7
상기 실시예 1에서 처리제로 활성탄과 수산화 칼슘 대신에 활성탄 : 수산화 칼슘 : 탄산칼슘을 1:18:81 중량비로 충진한 것을 제외하고는, 실시예 1과 동일한 방법으로 하여 불소 포함 배기가스 처리량(흡착량)을 측정하였다.
실시예 8
상기 실시예 1에서 처리제로 활성탄과 수산화 칼슘 대신에 활성탄 : 수산화 칼슘 : 탄산칼슘을 2:63:35 중량비로 충진한 것을 제외하고는, 실시예 1과 동일한 방법으로 하여 불소 포함 배기가스 처리량(흡착량)을 측정하였다.
실시예 9
상기 실시예 1에서 처리제로 활성탄과 수산화 칼슘 대신에 활성탄 : 수산화 칼슘 : 탄산칼슘을 1:47:52 중량비로 충진한 것을 제외하고는, 실시예 1과 동일한 방법으로 하여 불소 포함 배기가스 처리량(흡착량)을 측정하였다.
비교예 1
상기 실시예 1에서 사용한 동일한 활성탄을 내경 39.4㎜의 SUS316L의 원형통에 충진길이가 100㎜가 되도록 충진시켜 흡착 컬럼을 제조하였다. 이 컬럼에 혼합 가스인 HF(0.5 중량%) + F2(1.0 중량%) + CO2(0.5 중량%) + N2(98 중량%)의 혼합 가스를 만들어 25℃, 대기압하, 선속도 2㎝/sec으로 연속해서 통과시켰다. 가스의 연속통과 과정에서, 출구가스의 일부를 실린지로 샘플링해서 가스 검지관 및 가스 검지기로 불소 포함 배기가스 처리량(흡착량)을 산출하였다.
비교예 2
상기 실시예 1에서 처리제로 활성탄과 수산화 칼슘 대신에 수산화 칼슘을 충진한 것을 제외하고는, 실시예 1과 동일한 방법으로 하여 불소 포함 배기가스 처리량(흡착량)을 측정하였다.
비교예 3
상기 실시예 1에서 처리제로 활성탄과 수산화 칼슘 대신에 탄산칼슘을 충진한 것을 제외하고는, 실시예 1과 동일한 방법으로 하여 불소 포함 배기가스 처리량(흡착량)을 측정하였다.
상기 실시예 1~9 및 비교예 1~3의 결과는 표 1에 나타내었다.
컬럼에 충진된 처리제 충진비 파괴시간 (min) 불소 포함 배기가스 처리량 [㎖(가스)/ g(처리제)] 투입전 가스
실시예 1 활성탄 + 수산화칼슘 4:96 901 676 HF + F2 + CO2 + N2
2 활성탄 + 탄산칼슘 4:96 952 714
3 수산화칼슘 + 탄산칼슘 47:53 1,255 941
4 활성탄 + 수산화칼슘 + 탄산칼슘 2:46:52 1,532 1,149
5 1:30:69 1,510 1,133
6 1:23:76 1,493 1,120
7 1:18:81 1,512 1,134
8 2:63:35 1,511 1,133
9 1:47:52 1,506 1,130
비교예 1 활성탄 - 749 562
2 수산화칼슘 - 839 629
3 탄산칼슘 - 835 626
표 1에 나타난 바와 같이, 처리제 1g당 불소 포함 배기가스 처리량은 컬럼에 충진된 처리제를 단독으로 사용할 때보다 2종 이상을 복합적으로 조합하여 사용할 때 크게 증가되는 것을 관찰할 수 있었다.
본 발명에 따른 불소 포함 배기가스의 처리방법은 흡착 컬럼에 활성탄(active Carbon), 수산화 칼슘(Ca(OH)2), 탄산 칼슘(CaCO3)으로 이루어진 군으로부터 선택된 2종 이상의 처리제를 충진하고, 여기에 불소 포함 배기가스를 통과시켜 불소가스를 처리제에 흡착시킴으로써, 배출 가스중 불소 포함 배기가스를 효율적으로 제거하며, 고가의 장치가 필요하지 않아 경제적이며, 처리능력이 크고, 처리제로부터 탈착현상도 일어나지 않는 효과가 있다. 따라서, 본 발명에 따른 불소 포함 배기가스의 처리방법은 특히 대규모 처리시 효과적이다.

Claims (10)

1) 활성탄(active Carbon), 수산화 칼슘(Ca(OH)2) 및 탄산 칼슘(CaCO3)으로 이루어진 군으로부터 선택된 2종 이상의 처리제를 컬럼에 충진시키는 단계,
2) 불소 포함 배기가스를 상기 1)단계에서 제조한 컬럼 내부에 통과시켜 처리제에 흡착시키는 단계를 포함하는 불소 포함 배기가스의 처리방법.
제1항에 있어서, 상기 1)단계에서 활성탄은 비표면적이 700~2500 m2/g이고, 수분 함량은 10 중량% 이하, 재의 함량은 6 중량% 이하, 메쉬 크기가 3~30 메쉬인 것을 특징으로 하는 불소 포함 배기가스의 처리방법.
제1항에 있어서, 상기 1)단계에서 활성탄은 석탄계 활성탄, 목탄계 활성탄 및 야자껍질 활성탄으로 이루어진 군으로부터 선택된 1종 이상을 포함하는 것을 특징으로 하는 불소 포함 배기가스의 처리방법.
제1항에 있어서, 상기 2)단계에서 불소 포함 배기가스는 불소, 불산 및 이산화탄소로 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 불소 포함 배기가스의 처리방법.
제4항에 있어서, 상기 불소 함유량이 5 중량% 이하인 것을 특징으로 하는 불 소 포함 배기가스의 처리방법.
제1항에 있어서, 상기 2)단계에서 불소 포함 배기가스를 흡착 온도 25℃, 흡착 압력 0~1 ㎏/㎝2, 선속도 5㎝/sec 이하인 컬럼 내부에 통과시키는 것을 특징으로 하는 불소 포함 배기가스의 처리방법.
하층부에 가스 유입구, 상층부에 가스 배출구로 구성되어 있으며, 컬럼 내부의 충진 공간에 활성탄(active Carbon), 수산화 칼슘(Ca(OH)2) 및 탄산 칼슘(CaCO3)으로 이루어진 군으로부터 선택된 2종 이상을 충진하고, 불소 포함 배기가스는 하부로 유입하여 상부로 배출하도록 구성되는 흡착 컬럼 장치.
제7항에 있어서, 상기 흡착 컬럼 장치에 추가로 컬럼 가열 히터를 포함하는 것을 특징으로 하는 흡착 컬럼 장치.
제8항에 있어서, 상기 컬럼 가열 히터는 스팀 또는 전기 히터에 의하여 열이 공급되며, 외부 온도는 50℃~150℃로 유지되는 것을 특징으로 하는 흡착 컬럼 장치.
제8항에 있어서, 상기 컬럼 가열 히터는 스팀 투입구, 응축수 배출구 및 컬 럼 외부 표면을 순환하는 순환 공간으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 흡착 컬럼 장치.
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