JP2000061245A - ガスフイルタおよびそれを用いたガス検知器ならびに除害装置 - Google Patents
ガスフイルタおよびそれを用いたガス検知器ならびに除害装置Info
- Publication number
- JP2000061245A JP2000061245A JP10232130A JP23213098A JP2000061245A JP 2000061245 A JP2000061245 A JP 2000061245A JP 10232130 A JP10232130 A JP 10232130A JP 23213098 A JP23213098 A JP 23213098A JP 2000061245 A JP2000061245 A JP 2000061245A
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- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Fluid Adsorption Or Reactions (AREA)
- Gas Separation By Absorption (AREA)
- Drying Of Semiconductors (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】従来の除害装置は排ガスの成分および触媒部の
温度状態によっては、触媒部以降において腐食性ガス、
例えば弗酸系のガスが発生することがある。この場合除
害装置外に腐食性ガスを排出してしまうばかりでなく、
ガス検知器のガラス製部品が腐食され、閉塞が発生する
という問題がある。 【解決手段】粒状ガラスを用いて腐食性ガスをフイルタ
リングする。また、粒状ガラスと他のフイルタリング手
段を併用しフイルタリングする。さらに、このような特
徴を備えたガス検知器または、除害装置である。 【効果】本発明のフイルタリング方法によれば、容易に
腐食性ガスをフイルタリングすることが可能である。ま
た、これをガス検知器に採用することにより腐食性ガス
による閉塞を防止することが可能となる。また、これを
除害装置に採用することにより副生成物である腐食性ガ
スの排出を防止することが可能となる。
温度状態によっては、触媒部以降において腐食性ガス、
例えば弗酸系のガスが発生することがある。この場合除
害装置外に腐食性ガスを排出してしまうばかりでなく、
ガス検知器のガラス製部品が腐食され、閉塞が発生する
という問題がある。 【解決手段】粒状ガラスを用いて腐食性ガスをフイルタ
リングする。また、粒状ガラスと他のフイルタリング手
段を併用しフイルタリングする。さらに、このような特
徴を備えたガス検知器または、除害装置である。 【効果】本発明のフイルタリング方法によれば、容易に
腐食性ガスをフイルタリングすることが可能である。ま
た、これをガス検知器に採用することにより腐食性ガス
による閉塞を防止することが可能となる。また、これを
除害装置に採用することにより副生成物である腐食性ガ
スの排出を防止することが可能となる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体装置および
それを用いた製造方法に係り、特に腐食性ガスを含む排
ガスのフイルタに関し、さらに、このフイルタを搭載し
たガス検知器、除害装置等に関する。
それを用いた製造方法に係り、特に腐食性ガスを含む排
ガスのフイルタに関し、さらに、このフイルタを搭載し
たガス検知器、除害装置等に関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体工程中には、エッチング工程を代
表に多くの種類の化学ガスが頻繁に用いられている。こ
れら工程において用いられた排ガスは多段階のフイルタ
リング方法を用いて無害化され排出される必要があり、
多くのガスフイルタ、それを用いた除害装置が考案さ
れ、使用されている。
表に多くの種類の化学ガスが頻繁に用いられている。こ
れら工程において用いられた排ガスは多段階のフイルタ
リング方法を用いて無害化され排出される必要があり、
多くのガスフイルタ、それを用いた除害装置が考案さ
れ、使用されている。
【０００３】図１は半導体装置の一般的な除害装置を示
した概略図であり、特に一酸化炭素（ＣＯ）を含むガス
を無害化する除害装置を示したものである。図１におい
て、参照符号‘１’は排ガス流入管を、‘２’は吸着剤
を、‘３，５，６，７’は第１、第２、第３および第４
ガス管を、‘４’は触媒部を、‘８’はフイルタを、
‘９’は一酸化炭素用ガス検知器をそれぞれ示す。
した概略図であり、特に一酸化炭素（ＣＯ）を含むガス
を無害化する除害装置を示したものである。図１におい
て、参照符号‘１’は排ガス流入管を、‘２’は吸着剤
を、‘３，５，６，７’は第１、第２、第３および第４
ガス管を、‘４’は触媒部を、‘８’はフイルタを、
‘９’は一酸化炭素用ガス検知器をそれぞれ示す。
【０００４】排ガス流入管１に流入されたＣＯを含んだ
排ガスは、吸着剤２において酸性ガスが除去される。そ
の後、触媒部４において一酸化炭素が二酸化炭素となり
第２ガス管５を通して排出される。
排ガスは、吸着剤２において酸性ガスが除去される。そ
の後、触媒部４において一酸化炭素が二酸化炭素となり
第２ガス管５を通して排出される。
【０００５】一酸化炭素の濃度を監視するために第２ガ
ス管５に第３ガス管６を接続し、ガス検知器９を設け
る。ガス検知器９に吸引されたガスは濃度検知後、第４
ガス管７を通して第２ガス管５と合流する。
ス管５に第３ガス管６を接続し、ガス検知器９を設け
る。ガス検知器９に吸引されたガスは濃度検知後、第４
ガス管７を通して第２ガス管５と合流する。
【０００６】また、この種の検知器においては排ガス中
に検知器に対しての干渉ガス（例えばＣＯ検知器に対し
てアルコール類）が含まれていると、ガス検知器９が誤
警報を発する。これを防止するため、ガス検知器９の前
段に活性炭を主成分とした干渉ガスフイルタ８が取り付
けられている。
に検知器に対しての干渉ガス（例えばＣＯ検知器に対し
てアルコール類）が含まれていると、ガス検知器９が誤
警報を発する。これを防止するため、ガス検知器９の前
段に活性炭を主成分とした干渉ガスフイルタ８が取り付
けられている。
【０００７】しかしながら前記従来のガス検知器は後述
される下記問題点により、機能が低下することが多く、
頻繁な点検、校正を必要としていた。
される下記問題点により、機能が低下することが多く、
頻繁な点検、校正を必要としていた。
【０００８】前記吸着剤２は排ガスに含まれる酸性ガス
を吸着するものであるが、排ガスの成分および触媒部２
の温度状態によっては、触媒部２以降において腐食性ガ
ス、例えば弗酸系のガスが発生することがある。この場
合除害装置外に腐食性ガスを排出してしまうばかりでな
く、ガス検知器９のガラス製部品が腐食され、閉塞が発
生し機能低下もしくは機能停止を引き起こす。
を吸着するものであるが、排ガスの成分および触媒部２
の温度状態によっては、触媒部２以降において腐食性ガ
ス、例えば弗酸系のガスが発生することがある。この場
合除害装置外に腐食性ガスを排出してしまうばかりでな
く、ガス検知器９のガラス製部品が腐食され、閉塞が発
生し機能低下もしくは機能停止を引き起こす。
【０００９】ガス検知器９の機能停止は、一酸化炭素の
濃度の確認が不可能となるという安全上の問題だけでは
なく、除害装置に接続しているガス消費設備の安定稼動
を妨げるという問題がある。
濃度の確認が不可能となるという安全上の問題だけでは
なく、除害装置に接続しているガス消費設備の安定稼動
を妨げるという問題がある。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】本発明は前記のような
問題点を解決するために案出されたものであり、腐食性
ガスのフイルタリング方法を提供するにその目的があ
る。
問題点を解決するために案出されたものであり、腐食性
ガスのフイルタリング方法を提供するにその目的があ
る。
【００１１】かつ、本発明の他の目的は前記フイルタリ
ング方法を用いることにより長期間安定して稼動するガ
ス検知器ならびに除害装置を提供することである。
ング方法を用いることにより長期間安定して稼動するガ
ス検知器ならびに除害装置を提供することである。
【００１２】
【課題を解決するための手段】請求項１記載のフイルタ
は腐食性ガス（ガラスを腐食する性質のもの）を粒状ガ
ラスに晒し反応させることを特徴とする。（ガラスが粒
状であることにより、反応生成物による目詰まりが起き
にくいという効果を有する。） 請求項２記載のフイルタは、前記粒状ガラスによる腐食
性ガスのフイルタリング手段を他のフイルタリング手段
と組み合わせることを特徴とする。（ガラスが粒状であ
ることにより、他のフイルタに混合して使用する場合に
ハウジング形状等に影響されずに容易に入れることが可
能であるという効果を有する。また、組み合わせるフイ
ルタリング手段は特に目的および方法を問わず、容易に
腐食性ガスの除去機能を付加することができるという効
果を有する。）請求項３記載のガス検知器は、吸引部の
前段に前記フイルタリング手段を用いることを特徴とす
る。腐食性ガスによる検知器内部のガラス部品の劣化お
よび閉塞をふせぎ長期間にわたり安定した稼動を行うこ
とができるという効果を有する。
は腐食性ガス（ガラスを腐食する性質のもの）を粒状ガ
ラスに晒し反応させることを特徴とする。（ガラスが粒
状であることにより、反応生成物による目詰まりが起き
にくいという効果を有する。） 請求項２記載のフイルタは、前記粒状ガラスによる腐食
性ガスのフイルタリング手段を他のフイルタリング手段
と組み合わせることを特徴とする。（ガラスが粒状であ
ることにより、他のフイルタに混合して使用する場合に
ハウジング形状等に影響されずに容易に入れることが可
能であるという効果を有する。また、組み合わせるフイ
ルタリング手段は特に目的および方法を問わず、容易に
腐食性ガスの除去機能を付加することができるという効
果を有する。）請求項３記載のガス検知器は、吸引部の
前段に前記フイルタリング手段を用いることを特徴とす
る。腐食性ガスによる検知器内部のガラス部品の劣化お
よび閉塞をふせぎ長期間にわたり安定した稼動を行うこ
とができるという効果を有する。
【００１３】請求項４記載の除害装置は前記ガス検知器
を搭載していることを特徴とする。吸着剤の寿命による
酸性ガスの通過、触媒部以降での腐食性ガスの副生成が
あった場合でもそれに影響されず安定してガス検知をお
こない、除害が確実に行われているか監視することがで
きるという効果を有する。
を搭載していることを特徴とする。吸着剤の寿命による
酸性ガスの通過、触媒部以降での腐食性ガスの副生成が
あった場合でもそれに影響されず安定してガス検知をお
こない、除害が確実に行われているか監視することがで
きるという効果を有する。
【００１４】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態を図面に
基づいて説明する。
基づいて説明する。
【００１５】（実施例１）図２は、請求項１記載の発明
に係るガスフイルタの実施例を示す図である。
に係るガスフイルタの実施例を示す図である。
【００１６】ハウジング内に粒状ガラス１０を充填した
だけの簡単な構造である。入口と出口は網１１等で粒状
ガラスの散乱を防止する。この場合、粒状ガラスの形状
は特に真球である必要はなく、ハウジングに充填した際
に適度な隙間が生じ、ガスの流路が確保されるものであ
ればよい。例えばビーズ状のものは反応のための表面積
が広く、またガスの流路も広くなるため、フイルタリン
グ効果と閉塞の防止の両方において好ましい。またハウ
ジングの材質に透明なものを使用すれば反応生成物によ
る閉塞の状況が確認しやすい。
だけの簡単な構造である。入口と出口は網１１等で粒状
ガラスの散乱を防止する。この場合、粒状ガラスの形状
は特に真球である必要はなく、ハウジングに充填した際
に適度な隙間が生じ、ガスの流路が確保されるものであ
ればよい。例えばビーズ状のものは反応のための表面積
が広く、またガスの流路も広くなるため、フイルタリン
グ効果と閉塞の防止の両方において好ましい。またハウ
ジングの材質に透明なものを使用すれば反応生成物によ
る閉塞の状況が確認しやすい。
【００１７】上述のような構成によれば閉塞しにくいフ
イルタリング手段を得ることができる。
イルタリング手段を得ることができる。
【００１８】（実施例２）図３は請求項２記載の発明に
係るガスフイルタの実施例を示す図である。粒状の活性
炭１２を充填したガスフイルタの一部を粒状ガラス層１
３に変更したものである。図のように粒状ガラスを層状
に配置すればフイルタリング効果は大きいが、特に閉塞
を嫌う部分に使用する場合は活性炭と粒状ガラスをラン
ダムに混合すればよい。また、図では活性炭ガスフイル
タとの組み合わせを示したが、活性炭以外の素材を使用
したもの、例えば濾紙を使用したもの、あるいはガスの
吸着以外を目的としたもの、例えば集塵を目的としたも
のとの組み合わせも考えられる。
係るガスフイルタの実施例を示す図である。粒状の活性
炭１２を充填したガスフイルタの一部を粒状ガラス層１
３に変更したものである。図のように粒状ガラスを層状
に配置すればフイルタリング効果は大きいが、特に閉塞
を嫌う部分に使用する場合は活性炭と粒状ガラスをラン
ダムに混合すればよい。また、図では活性炭ガスフイル
タとの組み合わせを示したが、活性炭以外の素材を使用
したもの、例えば濾紙を使用したもの、あるいはガスの
吸着以外を目的としたもの、例えば集塵を目的としたも
のとの組み合わせも考えられる。
【００１９】上述のような構成によれば、実施例１の効
果に加え、新たに設置スペースを設けることなく既存の
フイルタに腐食性ガスのフイルタリング機能を付加する
ことが可能となる。
果に加え、新たに設置スペースを設けることなく既存の
フイルタに腐食性ガスのフイルタリング機能を付加する
ことが可能となる。
【００２０】（実施例３）請求項３記載のガス検知器は
実施例１、２に示すフイルタリング手段をガス検知器の
前段に採用するものである。ガス検知器の内部にフイル
タを組み込んでも良いが外付けとした方が交換作業が容
易であり視認性も良い。図１の第３ガス管６に新たに実
施例１に示すフイルタを追加してもよいし、フイルタ８
の内部に実施例２に示すように既存のフイルタを利用す
るとスペースファクターの面で好ましい。これにより、
ガス検知器に腐食性ガスが流入した場合でもガラス製部
品の腐食による閉塞が起こらず安定した動作が得られ
る。
実施例１、２に示すフイルタリング手段をガス検知器の
前段に採用するものである。ガス検知器の内部にフイル
タを組み込んでも良いが外付けとした方が交換作業が容
易であり視認性も良い。図１の第３ガス管６に新たに実
施例１に示すフイルタを追加してもよいし、フイルタ８
の内部に実施例２に示すように既存のフイルタを利用す
るとスペースファクターの面で好ましい。これにより、
ガス検知器に腐食性ガスが流入した場合でもガラス製部
品の腐食による閉塞が起こらず安定した動作が得られ
る。
【００２１】（実施例４）請求項４記載の除害装置は実
施例３に示すガス検知器を採用するものである。また、
ガス検知器以外にも図１に示す第２ガス配管５に採用す
ることにより除害装置外に腐食性ガスを排出することが
なく好ましい。
施例３に示すガス検知器を採用するものである。また、
ガス検知器以外にも図１に示す第２ガス配管５に採用す
ることにより除害装置外に腐食性ガスを排出することが
なく好ましい。
【００２２】
【発明の効果】以上述べたように、本発明のフイルタリ
ング方法によれば、容易に腐食性ガスをフイルタリング
することが可能である。また、これをガス検知器に採用
することにより腐食性ガスによる閉塞を防止することが
可能となる。また、これを除害装置に採用することによ
り副生成物である腐食性ガスの排出を防止することが可
能となる。
ング方法によれば、容易に腐食性ガスをフイルタリング
することが可能である。また、これをガス検知器に採用
することにより腐食性ガスによる閉塞を防止することが
可能となる。また、これを除害装置に採用することによ
り副生成物である腐食性ガスの排出を防止することが可
能となる。
【図１】除害装置の概略図。
【図２】本発明の一実施例を示す要部断面図１。
【図３】本発明の一実施例を示す要部断面図２。
１．排ガス流入管
２．吸着剤
３．第１ガス管
４．触媒部
５．第２ガス管
６．第３ガス管
７．第４ガス管
８．フイルタ
９．一酸化炭素用ガス検知器
１０．粒状ガラス
１１．網
１２．活性炭層
１３．粒状ガラス層
Claims (4)
- 【請求項１】粒状ガラスを用いて腐食性ガスをフイルタ
リングすることを特徴とするガスフイルタ。 - 【請求項２】粒状ガラスと他のフイルタリング手段を併
用しフイルタリングすることを特徴とするガスフイル
タ。 - 【請求項３】請求項１あるいは請求項２記載のガスフイ
ルタを備えていることを特徴とするガス検知器。 - 【請求項４】請求項１あるいは請求項２記載のガスフイ
ルタが搭載されていることを特徴とする除害装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10232130A JP2000061245A (ja) | 1998-08-18 | 1998-08-18 | ガスフイルタおよびそれを用いたガス検知器ならびに除害装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10232130A JP2000061245A (ja) | 1998-08-18 | 1998-08-18 | ガスフイルタおよびそれを用いたガス検知器ならびに除害装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000061245A true JP2000061245A (ja) | 2000-02-29 |
Family
ID=16934478
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10232130A Withdrawn JP2000061245A (ja) | 1998-08-18 | 1998-08-18 | ガスフイルタおよびそれを用いたガス検知器ならびに除害装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000061245A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100684201B1 (ko) | 2005-08-09 | 2007-02-20 | 주식회사 효성 | 불소 포함 배기가스의 처리방법 및 이의 방법을 사용하기위한 흡착 컬럼 장치 |
| WO2018083063A1 (de) * | 2016-11-02 | 2018-05-11 | Lehmann & Voss & Co. Kg | Filtervorrichtung |
-
1998
- 1998-08-18 JP JP10232130A patent/JP2000061245A/ja not_active Withdrawn
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100684201B1 (ko) | 2005-08-09 | 2007-02-20 | 주식회사 효성 | 불소 포함 배기가스의 처리방법 및 이의 방법을 사용하기위한 흡착 컬럼 장치 |
| WO2018083063A1 (de) * | 2016-11-02 | 2018-05-11 | Lehmann & Voss & Co. Kg | Filtervorrichtung |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20051101 |