KR20070016905A - 유기 ｅｌ 레이저 복구 방법 및 레이저 복구 장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 유기 EL 소자의 결함부의 위치를 정확하게 파악하고, 레이저를 결함부에 국소적으로 조사하여, 결함부가 존재하는 화소를 그 화소 내의 유기 EL 소자 전체의 기능을 잃게 하지 않고 결함부 이외의 유기 EL 소자에 대해서는 그 발광 기능을 온전하게 유지시키면서, 그 화소 내의 유기 EL 소자 중에서 결함부의 부분만을 국소적으로 복구하는 방법과 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.

유기 EL 소자의 전압 전류 특성을 계측하고, 그 전압 전류 특성을 소정의 기준 전압 전류 특성과 비교함으로써 누설 전류의 유무를 판단하며, 유기 EL 소자에 발광 임계값 미만의 전압을 인가하여 누설 발광상을 취득하고, 누설 발광 부분에 레이저를 조사하여 복구하며, 유기 EL 소자에 유기 EL 소자의 발광 임계값 미만의 전압을 인가하여 누설 발광상이 없는 것과 전압 전류 특성을 계측하여 누설 전류가 감소한 것에 의해 올바르게 복구된 것을 확인한다.

Description

유기 ＥＬ 레이저 복구 방법 및 레이저 복구 장치{ORGANIC EL LASER REPAIR METHOD AND DEVICE}

도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 검사 장치의 구성을 도시한 블록도.

도 2는 결함부를 갖는 유기 EL 소자에 레이저를 조사하여 복구를 행한 실시예에 있어서의 레이저를 조사하기 전후의 임계값 미만 소자상을 도시한 도면으로서, 도 2의 (a)는 실시예에 있어서 레이저를 조사하기 전의 임계값 미만 소자상의 도면, 도 2의 (b)는 실시예에 있어서 레이저를 조사한 후의 임계값 미만 소자상의 도면.

도 3은 누설 발광상의 기인이 된 결함부에 레이저를 조사하기 전과 후의 유기 EL 소자의 전압 전류 특성도.

도 4는 본 발명의 제2 실시예에 따른 복구 방법을 도시한 흐름도.

〈도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명〉

101 : 제어용 컴퓨터

102 : 표시 장치

103 : 소스미터

105 : 촬상부

106 : 고감도 CCD 카메라

107 : 프로브부

108 : 현미경

109 : 유기 EL 소자

110 : 유지부

111 : 레이저 조사부

112 : 레이저 조정부

201 : 누설 발광상

202 : 흑점

301 : 결함부에 레이저를 조사하기 전의 유기 EL 소자의 전압 전류 특성을 도시한 그래프

302 : 결함부에 레이저를 조사한 후의 유기 EL 소자의 전압 전류 특성을 도시한 그래프

본 발명은 유기 EL의 결함 부분의 레이저에 의한 복구 방법 및 복구 장치에 관한 것이다.

최근, 표시 장치로서 유기 EL(Electro Luminescence) 소자를 이용한 유기 EL 표시 장치가 주목받고 있다. 이 유기 EL 소자는 자발광 소자로서, 시야각이 넓고, 배면광을 필요로 하지 않으면서 소비 전력도 적고, 또한 응답 속도도 빠르다고 하 는 우수한 특징을 갖고 있다.

유기 EL 소자는 양극과 음극 사이에 발광 기능을 갖는 유기 EL층을 끼우고, 또한 유기 EL층은 홀 수송층, 발광층 및 전자 수송층이 적층되는 구조로 되어 있다.

유기 EL 표시 장치는 이 유기 EL 소자를 기판에 매트릭스형으로 배치함으로써 구성된다.

이 유기 EL 소자의 결함에는 제조 과정에서 유기 EL층에 이물이 혼입되어 버림으로써 생기는 것도 많다. 이러한 결함을 갖는 유기 EL 소자에 대한 종래의 복구 방법 및 복구 장치로서는 결함부에 레이저를 조사하여 복구하는 복구 방법과 장치가 있었다. 이 종래의 레이저 복구 방법 및 장치에는 결함부를 정확하게 또한 국소적으로 파악하는 방법과 수단이 없고, 그 결과, 종래의 레이저 복구 방법 및 장치에 의한 복구는 그 결함이 존재하는 화소 전체의 기능을 잃게 하는 것이었다.

[특허 문헌 1] 일본 특허 공개 제2004-227852호 공보

이러한 결함을 갖는 유기 EL 소자의 고장을 해석한 결과, 유기 EL층에 혼입된 이물의 존재에 의해 양극과 음극 사이의 저항치가 정상적인 유기 EL 소자의 경우보다 작아지는 경우가 많고, 이 경우에는 이 화소의 일부의 결함 부분의 존재에 의해 결함 부분을 통해 전류가 흐르며, 그 결과 그 화소의 양극과 음극 사이의 전위차가 작아지고, 유기 EL 소자의 결함 부분 이외의 정상적인 부분도 통상의 발광을 하지 않게 되어 버렸다는 것을 확인할 수 있었다. 이러한 경우, 결함부의 위치 를 정확하게 파악하여 이물 부분만을 국소적으로 고저항화하는 복구가 가능하면, 양극에서 음극으로 결함 부분을 통해 흐르는 전류를 멈추게 할 수 있다. 그렇게 하면, 음극과 양극 사이의 전위차는 회복하고, 유기 EL 소자의 결함 부분 이외의 정상적인 부분은 다시 발광하는 것으로 생각되어 이러한 국소적인 결함을 국소적으로 고저항화함으로써, 화소 전체의 기능을 잃게 하지 않고 유기 EL 소자를 효과적으로 복구할 수 있다.

그래서, 본 발명은 결함부의 위치를 정확하게 파악하여 결함부를 레이저 조사에 의해 국소적으로 고저항화하고, 결함부가 존재하는 화소를 화소 전체의 기능을 잃지 않게 복구하는 복구 방법과 장치를 제공하는 것을 과제로 한다.

상기 과제를 해결하기 위해서, 청구항 제1항에 기재한 발명은 유기 EL 소자의 결함부를 발견하여, 결함부에 레이저를 조사하여 복구를 행하는 복구 방법으로서,

(a) 상기 유기 EL 소자에 발광 임계값 미만의 전압(이하 "임계값 미만 전압"이라고도 함)을 인가하여 상기 임계값 미만 전압이 인가되어 있는 상태의 상기 유기 EL 소자의 상(이하 "임계값 미만 소자상"이라고도 함)을 취득하는 단계와;

(b) 상기 단계 (a)에서 취득한 상기 임계값 미만 소자상을 관찰하여 상기 임계값 미만 소자상 중에서 발광하고 있는 상(이하 "누설 발광상"이라고도 함)을 발견한 경우에는, 발견된 누설 발광상을 표시하고 있는 표시 장치 상의 상기 발견된 누설 발광상을 마우스로 클릭함으로써 그 발견한 누설 발광상에 대응하는 유기 EL 소자의 누설 발광하고 있는 지점의 위치 정보를 파악하고, 그 위치 정보에 기초하여 상기 누설 발광상에 대응하는 상기 유기 EL 소자의 발광 지점에 레이저를 조사하며, 누설 발광상을 발견할 수 없는 경우에는 그 방법을 종료하는 단계와;

(c) 상기 단계 (b)에서 레이저가 조사된 상기 유기 EL 소자에 다시 상기 임계값 미만의 전압을 인가하여 상기 임계값 미만 전압이 인가되어 있는 상태의 상기 유기 EL 소자의 상기 임계값 미만 소자상을 취득하고, 상기 임계값 미만 소자상 중에서는 상기 단계 (b)에서 발견된 상기 누설 발광상을 더 이상 발견할 수 없게 됨으로써, 복구가 정상적으로 완료되었다고 판단하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.

또한, 청구항 제2항에 기재한 발명은 유기 EL 소자의 결함부를 발견하여, 결함부에 레이저를 조사하여 복구를 행하는 복구 방법으로서,

(a) 상기 유기 EL 소자에 발광 임계값 전압(이하 "발광 전압"이라고도 함)을 인가하여 상기 발광 전압이 인가되어 있는 상태의 상기 유기 EL 소자의 정상적인 발광상(이하 "정상 발광상"이라고도 함)을 취득하는 단계와;

(b) 상기 유기 EL 소자에 임계값 미만 전압을 인가하여 상기 임계값 미만 전압이 인가되어 있는 상태의 임계값 미만 소자상을 취득하는 단계와;

(c) 상기 단계 (a)에서 취득한 상기 정상 발광상을 참고로 하면서 상기 단계 (b)에서 취득한 상기 임계값 미만 소자상을 관찰하여 상기 임계값 미만 소자상 중에서 누설 발광상을 발견한 경우에는 발견된 누설 발광상을 표시하고 있는 표시 장치 상의 상기 발견된 누설 발광상을 마우스로 클릭함으로써 그 발견된 누설 발광상 에 대응하는 유기 EL 소자의 누설 발광하고 있는 지점의 위치 정보를 파악하고, 그 위치 정보에 기초하여 상기 누설 발광상에 대응하는 상기 유기 EL 소자의 발광 지점에 레이저를 조사하며, 누설 발광상을 발견할 수 없는 경우에는 그 방법을 종료하는 단계와;

(d) 상기 단계 (c)에서 레이저가 조사된 상기 유기 EL 소자에 다시 상기 임계값 미만 전압을 인가하여 상기 임계값 미만 전압이 인가되어 있는 상태의 상기 유기 EL 소자의 상기 임계값 미만 소자상을 취득하고, 상기 임계값 미만 소자상 중에서는 상기 단계 (c)에서 발견된 상기 누설 발광상을 더 이상 발견할 수 없게 됨으로써, 복구가 정상적으로 완료되었다고 판단하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.

또한, 청구항 제3항에 기재한 발명은 유기 EL 소자의 결함부를 발견하여, 결함부에 레이저를 조사하여 복구를 행하는 복구 방법으로서,

(a) 상기 유기 EL 소자의 전압 전류 특성을 취득하고, 그 전압 전류 특성으로부터 누설 전류값을 취득하는 단계와;

(b) 상기 유기 EL 소자에 발광 임계값 미만의 전압을 인가하여 상기 임계값 미만 전압이 인가되어 있는 상태의 상기 유기 EL 소자의 임계값 미만 소자상을 취득하는 단계와;

(c) 상기 단계 (a)에서 취득한 상기 임계값 미만 전압이 인가되어 있는 상태의 상기 임계값 미만 소자상을 관찰하여 상기 임계값 미만 소자상 중에서 누설 발광상을 발견한 경우에는 발견된 누설 발광상을 표시하고 있는 표시 장치 상의 상기 발견된 누설 발광상을 마우스로 클릭함으로써 그 발견한 누설 발광상에 대응하는 유기 EL 소자의 그 누설 발광하고 있는 지점의 위치 정보를 파악하고, 그 위치 정보에 기초하여 상기 누설 발광상에 대응하는 상기 유기 EL 소자의 발광 지점에 레이저를 조사하며, 누설 발광상을 발견할 수 없는 경우에는 그 방법을 종료하는 단계와;

(d) 상기 단계 (c)에서 레이저가 조사된 상기 유기 EL 소자에 다시 상기 임계값 미만의 전압을 인가하여 상기 임계값 미만 전압이 인가되어 있는 상태의 상기 임계값 미만 소자상을 취득하고, 상기 단계 (c)에서 발견된 상기 누설 발광상의 유무에 의해 레이저의 조사 효과를 판단하는 단계와;

(e) 상기 단계 (c)에서 레이저가 조사된 상기 유기 EL 소자의 전압 전류 특성을 취득하고, 누설 전류값도 취득하여, 그 누설 전류값이 상기 단계 (a)에서 취득한 누설 전류보다 감소하고 있음에 따라 단계 (c)에서의 레이저의 조사 효과를 판단하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.

또한, 청구항 제4항에 기재한 발명은 유기 EL 소자의 결함부를 발견하여, 결함부에 레이저를 조사하여 복구를 행하는 복구 방법으로서,

(a) 상기 유기 EL 소자의 전압 전류 특성을 취득하고, 그 전압 전류 특성으로부터 누설 전류값을 취득하는 단계와;

(b) 상기 유기 EL 소자에 상기 발광 전압을 인가하여 상기 발광 전압이 인가되어 있는 상태의 상기 유기 EL 소자의 정상 발광상을 취득하는 단계와;

(c) 상기 유기 EL 소자에 임계값 미만의 전압을 인가하여 상기 임계값 미만 전압이 인가되어 있는 상태의 상기 유기 EL 소자의 상기 임계값 미만 소자상을 취득하는 단계와;

(d) 상기 단계 (c)에서 취득한 상기 임계값 미만 전압이 인가되어 있는 상태의 상기 임계값 미만의 소자상을 관찰하여 상기 임계값 미만 소자상 중에서 누설 발광상을 발견한 경우에는 발견된 누설 발광상을 표시하고 있는 표시 장치 상의 상기 발견한 누설 발광상을 마우스로 클릭함으로써 그 발견된 누설 발광상에 대응하는 유기 EL 소자의 누설 발광하고 있는 지점의 위치 정보를 파악하고, 그 위치 정보에 기초하여 그 누설 발광상에 대응하는 상기 유기 EL 소자의 발광 지점에 레이저를 조사하며, 누설 발광상을 발견할 수 없는 경우에는 그 방법을 종료하는 단계와;

(e) 상기 단계 (d)에서 레이저가 조사된 상기 유기 EL 소자에 다시 상기 임계값 미만의 전압을 인가하여 상기 임계값 미만 전압이 인가되어 있는 상태의 상기 임계값 미만 소자상을 취득하고 관찰하여 상기 단계 (d)에서 발견된 상기 누설 발광상을 발견한 경우에는 다시 그 발견된 누설 발광상을 마우스로 클릭함으로써 그 발견한 누설 발광상에 대응하는 유기 EL 소자의 누설 발광하고 있는 지점의 위치 정보를 파악하고, 그 위치 정보에 기초하여 다시 그 누설 발광상에 대응하는 상기 유기 EL 소자의 발광 지점에 레이저를 조사하며, 발견할 수 없는 경우에는 다음 단계로 진행하는 단계와;

(f) 상기 단계 (d) 또는 (e)에서 레이저가 조사된 상기 유기 EL 소자에 다시 상기 발광 전압을 인가하여 상기 발광 전압이 인가되어 있는 상태의 상기 유기 EL 소자의 상기 정상 발광상을 취득하고, 그 정상 발광상을 상기 단계 (b)에서 취득한 상기 정상 발광상과 비교하여 새로운 누설 발광상을 발견할 수 없는 경우에는 다음 단계로 진행하며, 상기 정상 발광상에 새로운 누설 발광상이 발견된 경우에는 단계 (c)로 되돌아가는 단계와;

(g) 상기 단계 (d)에서 레이저가 조사된 상기 유기 EL 소자의 전압 전류 특성을 취득하고, 누설 전류값을 취득하여 그 누설 전류값이 상기 단계 (a)에서 취득한 누설 전류보다 감소하고 있는 경우에는 그 방법을 종료하고, 감소하지 않는 경우에는 단계 (c)로 되돌아가는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.

또한, 청구항 제5항에 기재한 발명은 청구항 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 기재한 복구 방법에 관한 것으로,

상기 임계값 미만 전압은 0 볼트 이상으로서 상기 유기 EL 소자가 정상인 경우의 발광 전압 개시 전압 이하인 것을 특징으로 한다.

또한, 청구항 제6항에 기재한 발명은 청구항 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 기재한 복구 방법에 관한 것으로,

상기 임계값 미만 전압은 역 바이어스가 되는 것으로서, 전압값은 O 볼트 이상이며 상기 유기 EL 소자의 역 바이어스에 대한 소정의 내압값 이하인 것을 특징으로 한다.

또한, 청구항 제7항에 기재한 발명은 유기 EL 소자의 복구를 행하는 복구 장치로서,

복구 대상인 상기 유기 EL 소자를 유지하는 수단(이하 "유기 EL 소자 유지 수단"이라고도 함)과;

상기 유기 EL 소자에 전압을 인가하는 수단(이하 "전압 인가 수단"이라고도 함)과;

상기 전압이 인가된 상기 유기 EL 소자를 촬상하는 촬상 수단(이하 "촬상 수단"이라고도 함)과;

상기 촬상 수단에 의해 촬상된 유기 EL 소자의 상을 표시하고 있는 표시 장치 상에서 그 상의 1 지점을 마우스로 클릭함으로써 그 상의 1 지점에 대응하는 유기 EL 소자의 1 지점의 위치 정보를 파악하는 수단(이하 "클릭 위치 파악 수단"이라고도 함)과;

상기 유기 EL 소자에 레이저를 조사하는 수단(이하 "레이저 조사 수단"이라고도 함)을 포함하는 것을 특징으로 한다.

또한, 청구항 제8항에 기재한 발명은 유기 EL 소자의 복구를 행하는 복구 장치로서,

복구 대상인 상기 유기 EL 소자를 유지하는 유기 EL 소자 유지 수단과;

상기 유기 EL 소자에 전압을 인가하는 전압 인가 수단과;

상기 유기 EL 소자의 전압 전류 특성을 계측하는 계측 수단(이하 "전압 전류 특성 계측 수단"이라고도 함)과;

상기 전압이 인가된 상기 유기 EL 소자를 촬상하는 촬상 수단과;

상기 촬상 수단에 의해 촬상된 유기 EL 소자의 상을 표시하고 있는 표시 장치 상에서 그 상의 1 지점을 마우스로 클릭함으로써 그 상의 1 지점에 대응하는 유 기 EL 소자의 1 지점의 위치 정보를 파악하는 클릭 위치 파악 수단과;

상기 유기 EL 소자에 레이저를 조사하는 레이저 조사 수단을 포함하는 것을 특징으로 한다.

또한, 청구항 제9항에 기재한 발명은 유기 EL 소자의 복구를 행하는 복구 장치로서,

복구 대상인 상기 유기 EL 소자를 유지하는 유기 EL 소자 유지 수단과;

상기 유기 EL 소자에 전압을 인가하는 전압 인가 수단과;

상기 전압이 인가된 상기 유기 EL 소자를 촬상하는 촬상 수단과;

상기 촬상 수단에 의해 촬상된 유기 EL 소자의 상을 표시하고 있는 표시 장치 상에서 그 상의 1 지점을 마우스로 클릭함으로써 그 상의 1 지점에 대응하는 유기 EL 소자의 1 지점의 위치 정보를 파악하는 클릭 위치 파악 수단과;

상기 유기 EL 소자에 레이저를 조사하는 레이저 조사 수단을 포함하고,

상기 레이저 조사 수단은 상기 촬상 수단이 촬상한 임계값 미만의 소자상 중에서 누설 발광상을 발견했을 때에 상기 클릭 위치 파악 수단이 파악한 상기 누설 발광상의 유기 EL 소자에 있어서의 위치 정보에 기초하여 상기 누설 발광상에 해당하는 상기 유기 EL 소자의 누설 발광 지점에 레이저를 조사할 수 있도록 구성되어 있는 것을 특징으로 한다.

또한, 청구항 제10항에 기재한 발명은 청구항 제7항 내지 제9항 중 어느 한 항에 기재한 복구 장치에 관한 것으로,

상기 임계값 미만 전압은 0 볼트 이상으로서 상기 유기 EL 소자가 정상적인 경우의 발광 전압 개시 전압 이하인 것을 특징으로 한다.

또한, 청구항 제11항에 기재한 발명은 청구항 제7항 내지 제9항 중 어느 한 항에 기재한 복구 장치에 관한 것으로,

상기 임계값 미만 전압은 역 바이어스가 되는 것으로서, 전압은 0 이상이며, 상기 유기 EL 소자의 역 바이어스에 대한 소정의 내압 이하인 것을 특징으로 한다.

또한, 청구항 제12항에 기재한 발명은 유기 EL 소자의 결함부를 발견하여, 결함부에 레이저를 조사하여 복구를 행하는 복구 방법에 관한 것으로서,

(a) 상기 유기 EL 소자에 발광 임계값 미만의 전압을 인가하여 상기 임계값 미만 전압이 인가되어 있는 상태의 상기 유기 EL 소자의 상을 취득하는 단계와;

(b) 상기 단계 (a)에서 취득한 상기 임계값 미만 소자상을 관찰하여 상기 임계값 미만 소자상 중에서 발광하고 있는 상을 발견한 경우에는, 그 누설 발광상에 대응하는 상기 유기 EL 소자의 발광 지점에 레이저를 조사하고, 누설 발광상을 발견할 수 없는 경우에는 그 방법을 종료하는 단계와;

(c) 상기 단계 (b)에서 레이저가 조사된 상기 유기 EL 소자에 다시 상기 임계값 미만의 전압을 인가하여 상기 임계값 미만 전압이 인가되어 있는 상태의 상기 유기 EL 소자의 상기 임계값 미만 소자상을 취득하고, 상기 임계값 미만 소자상 중에서는 상기 단계 (b)에서 발견된 상기 누설 발광상을 더 이상 발견할 수 없게 됨으로써, 복구가 정상적으로 완료되었다고 판단하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.

또한, 청구범위 제13항에 기재한 발명은 유기 EL 소자의 복구를 행하는 복구 장치에 관한 것으로서,

복구 대상인 상기 유기 EL 소자를 유지하는 수단과;

상기 유기 EL 소자에 상기 유기 EL 소자의 임계값 이하의 전압을 인가하는 수단과;

상기 임계값 이하의 전압이 인가된 상기 유기 EL 소자를 촬상하는 촬상 수단과;

상기 촬상 수단에 의해 촬상된 유기 EL 소자의 상을 표시하고 있는 표시 장치 상의 휘점에 대응하는 상기 유기 EL 소자 상의 대응 지점에 레이저를 조사하는 수단을 포함하는 것을 특징으로 한다.

(실시예)

이하, 도면을 참조하면서, 발명을 실시하기 위한 실시예 대해서 설명한다.

(제1 실시예)

도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 검사 장치의 구성을 도시한 블록도.

본 발명의 제1 실시예에 따른 검사 장치는 제어용 컴퓨터(101), 표시 장치(102), 유지부(110), 프로브부(107), 소스미터(103), 촬상부(105), 레이저 조사부(111) 및 레이저 조정부(112)를 포함한다. 제어용 컴퓨터(101)는 표시 장치(102), 유지부(110), 프로브부(107), 소스미터(103) 및 촬상부(105)를 제어한다. 복구 대상의 유기 EL 소자(109)는 유지부(110)에 배치되고, 프로브부(107)를 통해 소스미터(103)에 전기적으로 접속된다. 소스미터(103)는 제어용 컴퓨터(101)의 제어에 의해 지시된 전압을 유기 EL 소자(109)에 프로브부(107)를 통해 인가한다. 또한, 소 스미터(103)는 제어용 컴퓨터(101)의 제어에 의해 유기 EL 소자(109)의 전압 전류 특성을 계측하고, 그 계측된 데이터를 제어용 컴퓨터(101)에 송신한다. 촬상부(105)는 현미경(108) 및 고감도 CCD 카메라(106)를 포함하며, 제어용 컴퓨터(101)의 지시에 의해 소정의 조건으로 유기 EL 소자(109)를 촬상하고, 촬상 데이터를 제어용 컴퓨터(101)로 보낸다. 표시 장치(102)는 제어용 컴퓨터(101)의 지시에 의해 촬상부(105)가 촬상한 상을 화면에 표시한다. 유지부(110)는 XY 테이블을 구비하고 있고, 제어용 컴퓨터(101)의 제어에 의해 X 방향 및 Y 방향으로 독립적으로 이동한다.

레이저 조사부(111)는 유지부에 유지된 유기 EL 소자(109)에 레이저를 조사한다. 레이저빔이 조사되는 위치는 고정되어 있지만, 유지부(110)가 XY 방향으로 독립적으로 이동하기 때문에, 유기 EL 소자의 임의의 위치에 레이저빔을 조사할 수 있다.

제어용 컴퓨터(101)는 유지부(110)의 XY 방향의 이동을 제어하는 동시에 항상 유지부(110)의 위치를 기준 위치와의 XY 방향에 있어서의 위치의 차로서 파악하고 있다. 또한, 촬상부(106)의 중심축은 고정되어 있기 때문에, 유기 EL 소자 내의 촬상하는 위치를 바꾸기 위해서는 레이저 조사의 경우와 마찬가지로 유지부(110)가 XY 방향으로 이동한다. 이 경우에도 제어용 컴퓨터(101)는 촬상하는 위치를 바꾸기 위해서 유지부(110)를 기준 위치로부터 이동한 거리를 XY 방향의 각각에 대한 유지부 위치 데이터로서 항상 파악하고 있다. 또한, 제어용 컴퓨터(101)는 표시 장치(102)에 표시되어 있는 상의 1 지점이 마우스로 클릭되면, 마우스로 클릭된 유기 EL 소자 상의 위치 데이터를 클릭된 시점에서의 유지부(110)의 상기 유지부 위치 데이터에 기초하여 계산하고, 상기 클릭 위치를 파악하여 기억한다.

레이저 조사부(111)는 표시 장치에 표시된 상의 클릭된 1 지점에 대응하는 유기 EL 소자의 지점에 레이저빔을 조사하게 하는 경우에는, 제어용 컴퓨터(101)가 상기 클릭 위치에 기초하여 유기 EL 소자를 유지하는 유지부(110)를 이동시키고 나서, 레이저를 조사한다.

(제1 실시예의 효과)

본 발명의 제1 실시예에 따른 검사 장치를 사용함으로써, 유기 EL 소자가 갖는 결함부를 발견할 수 있는 동시에 결함부의 위치를 정확하게 파악할 수 있고, 발견한 경우에는 유기 EL 소자를 유지부(110)에 재배치하지 않고 레이저를 결함부에 조사할 수 있다. 종래에는 결함부를 발견하는 검사기는 레이저 조사 장치와는 다른 장치로서, 유기 EL 소자를 레이저 조사 장치에 재배치하고, 또한 결함부의 위치 조정도 별도로 행해야만 하여 복구 작업의 효율이 나빴다. 본 발명의 제1 실시예에 따른 검사 장치에 의하면, 결함부의 발견과 레이저 조사에 의한 복구를 동일한 장치에 의해 연속적으로 행할 수 있기 때문에, 유기 EL 소자의 재배치나 위치를 조정할 필요가 없어 복구 작업의 효율을 비약적으로 향상시킬 수 있다. 또한, 종래의 레이저 조사 장치로 복구한 경우에는 복구한 후에 올바르게 복구되었는지의 여부를 확인하기 위해서는 다시 검사 장치에 재배치하고, 위치를 조정하여 검사해야만 하였다. 이것에 대하여, 본 발명의 제1 실시예에 따른 검사 장치에 의한 경우에는 레이저를 조사한 후, 그 상태에서 즉시 복구 효과를 확인할 수 있다. 이 점으로부터 도 본 발명의 제1 실시예에 따른 검사 장치에 의하면, 복구 작업의 효율을 비약적으로 향상시킬 수 있는 동시에 복구 효과를 즉시 확인하고, 불충분한 경우에는 곧 다시 행하는 등으로 복구 미스 등을 감소시킬 수 있으며, 유기 EL 소자의 품질을 향상시키는 것으로도 이어진다.

(제2 실시예)

다음에, 본 발명의 제2 실시예에 따른 복구 방법에 대해서 설명한다.

도 4는 본 발명의 제2 실시예에 따른 복구 방법을 도시한 흐름도이다.

이하, 도 4와 도 1을 참조하면서 설명한다. 우선, 처음에 복구 대상인 유기 EL 소자를 유지부(110)에 배치하고, 소스미터(103)에 의해 유기 EL 소자(109)의 전압 전류 특성을 취득하여, 그 전압 전류 특성을 정상적인 유기 EL 소자의 전압 전류 특성에 기초하여 특정한 기준 전압 전류 특성과 비교하고, 복구 대상인 유기 EL 소자에 소위 누설 전류가 흐르고 있는지의 여부를 판단하여 누설 전류값을 취득한다(S401). 여기서, 누설 전류가 존재하는 경우에는 복구 대상인 유기 EL 소자는 어떠한 결함부를 갖고 있을 가능성이 높은 것으로 생각할 수 있다.

다음에, 유기 EL 소자(109)에 발광을 시작하는 임계값 전압을 인가하여 유기 EL 소자(109)가 발광하고 있는 발광상을 촬상부(105)의 CCD 카메라(106)와 현미경(108)에 의해 촬상한다(S402).

다음에, 임계값 미만의 전압을 유기 EL 소자(109)에 인가하여 임계값 미만의 발광상을 취득한다(S403).

다음에, 그 임계값 미만의 발광상 중에서 주위에 비하여 휘도가 높은 상이 있는지의 여부를 관찰한다(S404). 유기 EL 소자(109)가 결함부를 갖고 있지 않은 경우에는 임계값 미만의 전압이 인가된 경우에는 발광하지 않는다. 그러나, 결함부를 가지며 그 결함부를 통해 원래는 흘러서는 안되는 소위 누설 전류가 흐르고 있는 경우에는, 그 지점은 미약하더라도 발광하고, 그 발광 지점의 휘도는 주위에 비하여 높아지며, 그 결과 휘점이 되어 관측된다. 이 휘점에 대해서 실시예에 기초하여 설명한다. 도 2는 결함부를 갖는 유기 EL 소자에 레이저를 조사하여 복구를 행한 실시예에 있어서의 레이저를 조사하기 전후의 임계값 미만 소자상을 도시한 도면이다. 도 2의 (a)는 실시예에 있어서, 결함부를 갖는 유기 EL 소자에 임계값 미만의 전압을 인가하여 취득한 임계값 미만 소자상의 도면이다. 그 임계값 미만 소자상의 중앙에 누설 발광상(201)이 보인다.

누설 발광상을 발견할 수 없는 경우에는 종료한다. 누설 발광상을 발견한 경우에는 표시 장치(102)에 표시되어 있는 그 임계값 미만 소자상 중의 그 누설 발광상을 마우스로 클릭한다. 이 클릭에 의해 제어용 컴퓨터(101)는 유기 EL 소자(109)의 그 누설 발광상에 대응하는 결함부의 위치 정보를 정확하게 파악한다(S405). 도 2에 의해 설명하면, 마우스로 누설 발광상(201)을 클릭한다.

다음에, 유기 EL 소자(109)의 이 누설 발광상에 대응하는 결함부에 대하여 레이저를 조사한다(S406). 도 1에 도시된 복구 장치에 있어서는, 레이저 조사부의 광축은 고정되어 있기 때문에, 이 결함부를 그 위치 정보에 기초하여 유지부(110)를 XY 테이블에 의해 이동함으로써, 그 광축의 선단으로 그 결함부를 이동시켜 레이저를 조사한다. 그러나, 형태에 따라서는 유지부(110)를 이동시키는 것이 아니 라, 그 레이저 조사부의 광축을 이동시키는 것으로 하는 장치도 생각할 수 있다. 도 2에 의해 설명하면, 누설 발광상(201)에 대응하는 유기 EL 소자 상의 점에 레이저를 조사한다.

다음에, 레이저를 조사한 유기 EL 소자에 다시 임계값 미만의 전압을 인가하여 임계값 미만 소자상을 촬상부(105)에 의해 취득한다(S407).

다음에, 그 임계값 미만 소자상의 레이저를 조사한 부분에 대응하는 위치에 누설 발광상이 있는지의 여부를 검사한다. 도 2의 실시예에서는 누설 발광상(201)으로의 레이저 조사에 의해 결함부는 흑점(202)이 되었다. 도 2에 도시한 실시예와 같이 누설 발광상을 발견할 수 없는 경우에는, 임계값 전압을 인가하여 정상 발광상을 취득한다(S409). 임계값 미만 전압이 아니라 임계값 전압을 인가하는 이유는 누설 발광상의 기인이 된 결함부는 올바르게 복구되었다고 생각할 수 있지만, 주의를 위해 임계값 전압도 인가하여 유기 EL 소자로서의 통상의 발광이 올바르게 행해지는 것을 확인하기 위함이다. 한편, 누설 발광상이 발견된 경우에는 다시 그 누설 발광상에 레이저를 조사한다(S408). 아직 올바르게 복구되었다고는 판단할 수 없기 때문이다.

다음에, 단계 S408에 있어서, 누설 발광상을 발견할 수 없고, 임계값 전압을 인가하여 정상 발광상을 관찰하여 발광상에 이상이 없는 것을 확인한다(S410). 이상이 있다고 생각되는 경우에는 단계 S403으로 되돌아간다. 레이저 조사에 의해 새로운 결함부를 발생시키기 되었지만, 빠뜨린 별도의 결함부가 존재하고 있다고 생각되기 때문이다.

발광에 이상이 없는 경우에는 이번에는 전압 전류 특성을 계측하여 누설 전류값을 취득한다(S411). 다음에, 계측된 누설 전류값을 레이저를 조사하기 전에 취득한 누설 전류값과 비교한다(S412). 레이저 조사에 의한 복구의 효과를 누설 전류값의 비교에 의해 판단하기 위함이다. 누설 전류값이 감소하고 있는 경우에는 올바르게 복구가 된 것을 확인할 수 있다. 감소하지 않는 경우에는 단계 S403으로 되돌아간다(S412). 다시 결함부의 검사와 복구를 행하기 위함이다.

이 누설 전류에 의한 복구 효과에 대한 확인의 실시예에 대해서 설명한다.

도 3은 누설 발광상의 기인이 된 결함부에 레이저를 조사하기 전과 후의 유기 EL 소자의 전압 전류 특성이다. 도 3에 있어서, 부호 301은 결함부에 레이저를 조사하기 전의 유기 EL 소자의 전압 전류 특성을 도시한 그래프이다. 부호 302는 결함부에 레이저를 조사한 후의 유기 EL 소자의 전압 전류 특성을 도시한 그래프이다. 그래프(301)와 그래프(302)를 비교하면, 결함부로의 레이저 조사에 의해 레이저의 조사 이전에는 흐르고 있었던 전류가 레이저의 조사 후에는 거의 흐르지 않게 된 것을 확인할 수 있었다. 또한, 이 그래프(302)는 결함부를 갖지 않는 별도의 유기 EL 소자인 것과 동일하였다.

(제2 실시예의 효과)

본 발명의 제2 실시예에 따른 복구 방법에 의하면, 결함부의 발견과, 레이저 조사에 의한 복구와, 레이저 조사의 효과의 확인을 연속하여 행하는 것이 가능하다. 그 때문에, 복구의 효율은 비약적으로 향상되는 동시에 연속하여 행할 수 없는 경우에는 빠뜨리게 된 결함부를 발견할 수 있고, 종래의 레이저 복구 방법에 비하 여 복구 비용의 대폭적인 절감과 함께 유기 EL 소자의 품질도 향상시키는 것을 기대할 수 있다. 또한, 종래의 레이저 복구에서는 결함부의 위치 및 크기를 정확하게 파악할 수 없기 때문에 복구에 의해 화소 전체를 흑점화하는 경우가 통상이지만, 본 발명의 제2 실시예에 따른 복구 방법에 의하면 결함부의 위치 및 크기를 정확하게 파악할 수 있고, 결함부만을 국소적으로 흑점화하여 결함부가 존재하고 있을 때에는 정상 발광을 하지 않는 부분을 복구에 의해 다시 발광시킬 수 있다.

청구항 제1항에 기재한 발명에 따르면, 유기 EL 소자의 임계값 미만 전압을 인가하여 CCD 카메라에 의해 상기 유기 EL 소자의 임계값 미만 소자상을 촬상하고, 누설 발광상을 발견하여 표시 장치에 표시된 상기 누설 발광상을 마우스로 클릭함으로써, 그 누설 발광상에 대응하는 유기 EL 소자 상의 위치를 정확하게 파악할 수 있으며, 그 위치에 레이저를 조사함으로써, 결함 부분만을 국소적으로 고저항화하는 복구를 행할 수 있고, 이 복구에 의해 양극에서 음극으로 결함 부분을 통해 흐르는 전류를 멈추게 할 수 있다. 그 결과, 음극과 양극 사이의 전위차는 회복되어 유기 EL 소자의 결함 부분 이외의 정상적인 부분은 다시 발광을 시작한다. 이와 같이 국소적인 결함을 국소적으로 고저항화함으로써, 상기 결함이 존재하는 화소 중 상기 결함 부분의 기능은 잃게 되지만, 그 결함 이외의 부분의 기능을 잃지 않도록 유기 EL 소자를 효과적으로 복구할 수 있다.

또한, 청구항 제2항에 기재한 발명에 따르면, 청구항 제1항에 기재한 발명의 효과에 부가해서, 유기 EL 소자에 임계값 전압을 인가하여 정상적인 발광을 하고 있는 발광상을 CCD 카메라로 촬상하고, 그 촬상된 상을 참고로 하면서 누설 발광을 발견 및 해석함으로써, 보다 효과적으로 누설 발광상의 발견이라고 판단할 수 있게 된다.

또한, 청구항 제3항에 기재한 발명에 따르면, 청구항 제1항에 기재한 발명의 효과에 부가해서, 유기 EL 소자의 전압 전류 특성을 취득하고, 누설 전류값을 파악함으로써, 누설 전류값을 참고로 누설 발광의 유무를 판단할 수 있으며, 보다 정확하게 누설 발광을 발견할 수 있다. 또한, 레이저를 조사한 후에 다시 전압 전류 특성을 취득하고, 다시 누설 전류값을 취득하여, 레이저를 조사하기 전의 누설 전류값과 비교함으로써, 누설 전류값이 감소했는지의 여부를 확인할 수 있으며, 레이저 조사에 의해 올바르게 결함부를 복구할 수 있는지의 여부를 보다 정확하게 판단할 수 있다.

또한, 청구항 제4항에 기재한 발명에 따르면, 청구항 제3항에 기재한 발명의 효과에 부가해서, 유기 EL 소자에 임계값 전압을 인가하여 정상적인 발광을 하고 있는 발광상을 CCD 카메라로 촬상하고, 그 촬상된 상을 참고로 하면서 누설 발광을 발견 및 해석함으로써, 보다 효과적으로 누설 발광상의 발견이라고 판단할 수 있게 된다. 또한, 누설 발광상의 검사와 레이저 조사에 의한 복구, 그리고 복구가 올바르게 행해졌는지 여부의 판단 공정을 필요에 따라 반복함으로써, 미세한 결함부를 발견하여, 복구될 가능성이 증가된다고 하는 효과를 얻을 수 있다.

또한, 청구항 제5항에 기재한 발명에 따르면, 청구항 제1항 내지 제4항에 기재한 발명의 효과에 부가해서, 특정한 임계값 미만 전압에 있어서만 누설 발광을 하는 결함부의 발견이나 보다 많은 결함부가 누설 발광을 일으키기 쉬운 전압을 찾아내기 시작하여, 그 전압에 의해 검사함으로써, 결함부를 발견하는 작업 효율을 개선할 수 있게 된다.

또한, 청구항 제6항에 기재한 발명에 따르면, 청구항 제1항 내지 제4항에 기재한 발명의 효과에 부가해서, 유기 EL 소자의 전극에 역 바이어스를 인가하면 누설 발광을 하는 결함부의 발견이나 보다 많은 결함부가 누설 발광을 일으키기 쉬운 역 바이어스 전압을 찾아내기 시작하여, 그 전압에 의해 검사함으로써, 결함부를 발견하는 작업 효율을 개선할 수 있게 된다.

또한, 청구항 제7항에 기재한 발명에 따른 검사 장치에 의해 결함부의 발견과 레이저 조사에 의한 복구를 동일한 장치에 의해 연속적으로 행할 수 있기 때문에, 유기 EL 소자의 재배치나 위치를 조정할 필요가 없어 복구 작업의 효율을 비약적으로 향상시킬 수 있다. 또한, 종래의 레이저 조사 장치에 의해 복구한 경우에는 복구한 후에 올바르게 복구되었는지의 여부를 확인하기 위해서는 다시 검사 장치에 재배치하고, 위치 조정하여 검사해야만 하였다. 이것에 대하여, 청구항 제7항에 기재한 발명에 따른 검사 장치에 의한 경우에는, 레이저를 조사한 후, 그 상태에서 즉시 복구 효과를 확인할 수 있다. 이 점으로부터도 복구 작업의 효율을 비약적으로 향상시킬 수 있는 동시에 복구 효과를 즉시 확인하고, 불충분한 경우에는 곧 다시 행하는 등으로 복구 미스 등을 감소시킬 수 있으며, 유기 EL 소자의 품질을 향상시키는 것으로도 이어진다.

또한, 청구항 제8항에 기재한 발명에 따르면, 청구항 제7항에 기재한 발명의 효과에 부가해서, 유기 EL 소자의 결함부를 발견하는 공정에 있어서, 복구 대상인 유기 EL 소자의 전압 전류 특성을 참고로 할 수 있다고 하는 효과를 얻을 수 있다.

또한, 청구항 제9항에 기재한 발명에 따르면, 청구항 제8항에 기재한 발명의 효과에 부가해서, 보다 효율적으로 레이저를 조사할 수 있다.

또한, 청구항 제10항에 기재한 발명에 따르면, 청구항 제7항 내지 제9항에 기재한 효과에 부가해서, 특정한 상기 임계값 미만 전압에 있어서만 누설 발광을 하는 결함부의 발견이나 보다 많은 결함부가 누설 발광을 일으키기 쉬운 전압을 찾아내기 시작하여, 그 전압에 의해 검사함으로써, 결함부를 발견하는 작업 효율을 개선할 수 있게 된다.

또한, 청구항 제11항에 기재한 발명에 따르면, 청구항 제7항 내지 제9항에 기재한 효과에 부가해서, 유기 EL 소자의 전극에 역 바이어스를 인가하면 누설 발광을 하는 결함부의 발견이나 보다 많은 결함부가 누설 발광을 일으키기 쉬운 역 바이어스 전압을 찾아내기 시작하여, 그 전압에 의해 검사함으로써, 결함부를 발견하는 작업 효율을 개선할 수 있게 된다.

또한, 청구항 제12항에 기재한 발명에 따르면, 유기 EL 소자의 임계값 미만 전압을 인가하여 CCD 카메라에 의해 상기 유기 EL 소자의 임계값 미만 소자상을 촬상하고, 누설 발광상을 발견하여 표시 장치에 표시된 상기 누설 발광상에 대응하는 유기 EL 소자상의 결함 부분에 레이저를 조사함으로써, 결함 부분만을 국소적으로 고저항화하는 복구를 행할 수 있으며, 이 복구에 의해 양극에서 음극으로 결함 부분을 통해 흐르는 전류를 멈추게 할 수 있다. 그 결과, 음극과 양극 사이의 전위차 는 회복되어 유기 EL 소자의 결함 부분 이외의 정상적인 부분은 다시 발광을 시작한다. 이와 같이 국소적인 결함을 국소적으로 고저항화함으로써, 그 결함이 존재하는 화소 중 그 결함 부분의 기능은 잃게 되지만, 그 결함 이외의 부분의 기능을 잃지 않도록 유기 EL 소자를 효과적으로 복구할 수 있다.

또한, 청구항 제13항에 기재한 발명에 따르면, 청구항 제13항에 기재한 발명에 따른 검사 장치에 의해 결함부의 발견과 레이저 조사에 의한 복구를 동일한 장치에 의해, 또한 연속적으로 행할 수 있기 때문에, 유기 EL 소자의 재배치나 위치 조정할 필요가 없어 복구 작업의 효율을 비약적으로 향상시킬 수 있다. 또한, 종래의 레이저 조사 장치에 의해 복구한 경우에는 복구한 후에 올바르게 복구되었는지의 여부를 확인하기 위해서는 다시 검사 장치에 재배치하고, 위치 조정하여 검사해야만 하였다. 이것에 대하여, 청구항 제13항에 기재한 발명에 따른 검사 장치에 의한 경우에는 레이저를 조사한 후, 그 상태에서 즉시 복구 효과를 확인할 수 있다. 이 점으로부터도 복구 작업의 효율을 비약적으로 향상시킬 수 있는 동시에 복구 효과를 즉시 확인하고, 불충분한 경우에는 곧 다시 행하는 등으로 복구 미스 등을 감소시킬 수 있으며, 유기 EL 소자의 품질을 향상시키는 것으로도 이어진다.

또한, 청구항 제13항에 기재한 발명에 따른 검사 장치를 사용함으로써, 유기 EL 소자의 임계값 미만 전압을 인가하여 CCD 카메라에 의해 상기 유기 EL 소자의 임계값 미만 소자상을 촬상하고, 누설 발광상을 발견하여 표시 장치에 표시된 상기 누설 발광상에 대응하는 유기 EL 소자 상의 결함 부분에 레이저를 조사할 수 있게 되고, 결함 부분만을 국소적으로 고저항화하는 복구를 행할 수 있으며, 이 복구에 의해 양극에서 음극으로 결함 부분을 통해 흐르는 전류를 멈추게 할 수 있다. 그 결과, 음극과 양극 사이의 전위차는 회복되어 유기 EL 소자의 결함 부분 이외의 정상적인 부분은 다시 발광을 시작한다. 이와 같이 국소적인 결함을 국소적으로 고저항화함으로써, 상기 결함이 존재하는 화소 중 상기 결함 부분의 기능은 잃게 되지만, 그 결함 이외의 부분의 기능을 잃지 않도록 유기 EL 소자를 효과적으로 복구할 수 있다고 하는 효과를 얻을 수 있다.

Claims (13)

1. 유기 EL 소자의 결함부를 발견하여, 결함부에 레이저를 조사하여 복구를 행하는 복구 방법으로서,

   (a) 상기 유기 EL 소자에 발광 임계값 미만의 전압(이하 "임계값 미만 전압"이라고도 함)을 인가하여 상기 임계값 미만 전압이 인가되어 있는 상태의 상기 유기 EL 소자의 상(이하 "임계값 미만 소자상"이라고도 함)을 취득하는 단계와;

   (b) 상기 단계 (a)에서 취득한 상기 임계값 미만 소자상을 관찰하여 상기 임계값 미만 소자상 중에서 발광하고 있는 상(이하 "누설 발광상"이라고도 함)을 발견한 경우에는, 발견된 누설 발광상을 표시하고 있는 표시 장치 상의 상기 발견된 누설 발광상을 마우스로 클릭함으로써 그 발견된 누설 발광상에 대응하는 유기 EL 소자의 누설 발광하고 있는 지점의 위치 정보를 파악하고, 그 위치 정보에 기초하여 상기 누설 발광상에 대응하는 상기 유기 EL 소자의 발광 지점에 레이저를 조사하며, 누설 발광상을 발견할 수 없는 경우에는 그 방법을 종료하는 단계와;

   (c) 상기 단계 (b)에서 레이저가 조사된 상기 유기 EL 소자에 다시 상기 임계값 미만의 전압을 인가하여 상기 임계값 미만 전압이 인가되어 있는 상태의 상기 유기 EL 소자의 상기 임계값 미만 소자상을 취득하고, 상기 임계값 미만 소자상 중에서는 상기 단계 (b)에서 발견된 상기 누설 발광상을 더 이상 발견할 수 없게 됨으로써, 복구가 정상적으로 완료되었다고 판단하는 단계

   를 포함하는 것을 특징으로 하는 복구 방법.
2. 유기 EL 소자의 결함부를 발견하여, 결함부에 레이저를 조사하여 복구를 행하는 복구 방법으로서,

   (a) 상기 유기 EL 소자에 발광 임계값 전압(이하 "발광 전압"이라고도 함)을 인가하여 상기 발광 전압이 인가되어 있는 상태의 상기 유기 EL 소자의 정상적인 발광상(이하 "정상 발광상"이라고도 함)을 취득하는 단계와;

   (b) 상기 유기 EL 소자에 임계값 미만의 전압을 인가하여 상기 임계값 미만 전압이 인가되어 있는 상태의 임계값 미만 소자상을 취득하는 단계와;

   (c) 상기 단계 (a)에서 취득한 상기 정상 발광상을 참고로 하면서 상기 단계 (b)에서 취득한 상기 임계값 미만 소자상을 관찰하여 상기 임계값 미만 소자상 중에서 누설 발광상을 발견한 경우에는 발견된 누설 발광상을 표시하고 있는 표시 장치 상의 상기 발견된 누설 발광상을 마우스로 클릭함으로써 그 발견된 누설 발광상에 대응하는 유기 EL 소자의 누설 발광하고 있는 지점의 위치 정보를 파악하고, 그 위치 정보에 기초하여 상기 누설 발광상에 대응하는 상기 유기 EL 소자의 발광 지점에 레이저를 조사하며, 누설 발광상을 발견할 수 없는 경우에는 그 방법을 종료하는 단계와;

   (d) 상기 단계 (c)에서 레이저가 조사된 상기 유기 EL 소자에 다시 상기 임계값 미만의 전압을 인가하여 상기 임계값 미만 전압이 인가되어 있는 상태의 상기 유기 EL 소자의 상기 임계값 미만 소자상을 취득하고, 상기 임계값 미만 소자상 중에서는 상기 단계 (c)에서 발견된 상기 누설 발광상을 더 이상 발견할 수 없게 됨 으로써, 복구가 정상적으로 완료되었다고 판단하는 단계

   를 포함하는 것을 특징으로 하는 복구 방법.
3. 유기 EL 소자의 결함부를 발견하여, 결함부에 레이저를 조사하여 복구를 행하는 복구 방법으로서,

   (a) 상기 유기 EL 소자의 전압 전류 특성을 취득하고, 그 전압 전류 특성으로부터 누설 전류값을 취득하는 단계와;

   (b) 상기 유기 EL 소자에 발광 임계값 미만의 전압을 인가하여 상기 임계값 미만 전압이 인가되어 있는 상태의 상기 유기 EL 소자의 임계값 미만 소자상을 취득하는 단계와;

   (c) 상기 단계 (a)에서 취득한 상기 임계값 미만 전압이 인가되어 있는 상태의 상기 임계값 미만 소자상을 관찰하여 상기 임계값 미만 소자상 중에서 누설 발광상을 발견한 경우에는 발견된 누설 발광상을 표시하고 있는 표시 장치 상의 상기 발견된 누설 발광상을 마우스로 클릭함으로써 그 발견된 누설 발광상에 대응하는 유기 EL 소자의 누설 발광하고 있는 지점의 위치 정보를 파악하고, 그 위치 정보에 기초하여 상기 누설 발광상에 대응하는 상기 유기 EL 소자의 발광 지점에 레이저를 조사하며, 누설 발광상을 발견할 수 없는 경우에는 그 방법을 종료하는 단계와;

   (d) 상기 단계 (c)에서 레이저가 조사된 상기 유기 EL 소자에 다시 상기 임계값 미만의 전압을 인가하여 상기 임계값 미만 전압이 인가되어 있는 상태의 상기 임계값 미만 소자상을 취득하고, 상기 단계 (c)에서 발견된 상기 누설 발광상의 유 무에 의해 레이저의 조사 효과를 판단하는 단계와;

   (e) 상기 단계 (c)에서 레이저가 조사된 상기 유기 EL 소자의 전압 전류 특성을 취득하고, 누설 전류값도 취득하여, 그 누설 전류값이 상기 단계 (a)에서 취득한 누설 전류보다 감소하고 있음에 따라 단계 (c)에서의 레이저의 조사 효과를 판단하는 단계

   를 포함하는 것을 특징으로 하는 복구 방법.
4. 유기 EL 소자의 결함부를 발견하여, 결함부에 레이저를 조사하여 복구를 행하는 복구 방법으로서,

   (a) 상기 유기 EL 소자의 전압 전류 특성을 취득하고, 그 전압 전류 특성으로부터 누설 전류값을 취득하는 단계와;

   (b) 상기 유기 EL 소자에 상기 발광 전압을 인가하여 상기 발광 전압이 인가되어 있는 상태의 상기 유기 EL 소자의 정상 발광상을 취득하는 단계와;

   (c) 상기 유기 EL 소자에 임계값 미만의 전압을 인가하여 상기 임계값 미만 전압이 인가되어 있는 상태의 상기 유기 EL 소자의 상기 임계값 미만 소자상을 취득하는 단계와;

   (d) 상기 단계 (c)에서 취득한 상기 임계값 미만 전압이 인가되어 있는 상태의 상기 임계값 미만의 소자상을 관찰하여 상기 임계값 미만 소자상 중에서 누설 발광상을 발견한 경우에는 발견된 누설 발광상을 표시하고 있는 표시 장치 상의 상기 발견된 누설 발광상을 마우스로 클릭함으로써 그 발견된 누설 발광상에 대응하 는 유기 EL 소자의 누설 발광하고 있는 지점의 위치 정보를 파악하고, 그 위치 정보에 기초하여 상기 누설 발광상에 대응하는 상기 유기 EL 소자의 발광 지점에 레이저를 조사하며, 누설 발광상을 발견할 수 없는 경우에는 그 방법을 종료하는 단계와;

   (e) 상기 단계 (d)에서 레이저가 조사된 상기 유기 EL 소자에 다시 상기 임계값 미만의 전압을 인가하여 상기 임계값 미만 전압이 인가되어 있는 상태의 상기 임계값 미만 소자상을 취득하고 관찰하여 상기 단계 (d)에서 발견된 상기 누설 발광상을 발견한 경우에는 다시 그 발견된 누설 발광상을 마우스로 클릭함으로써 그 발견된 누설 발광상에 대응하는 유기 EL 소자의 누설 발광하고 있는 지점의 위치 정보를 파악하고, 그 위치 정보에 기초하여 다시 그 누설 발광상에 대응하는 상기 유기 EL 소자의 발광 지점에 레이저를 조사하며, 발견할 수 없는 경우에는 다음 단계로 진행하는 단계와;

   (f) 상기 단계 (d) 또는 (e)에서 레이저가 조사된 상기 유기 EL 소자에 다시 상기 발광 전압을 인가하여 상기 발광 전압이 인가되어 있는 상태의 상기 유기 EL 소자의 상기 정상 발광상을 취득하고, 그 정상 발광상을 상기 단계 (b)에서 취득한 상기 정상 발광상과 비교하여 새로운 누설 발광상을 발견할 수 없는 경우에는 다음 단계로 진행하며, 상기 정상 발광상에 새로운 누설 발광상이 발견된 경우에는 단계 (c)로 되돌아가는 단계와;

   (g) 상기 단계 (d)에서 레이저가 조사된 상기 유기 EL 소자의 전압 전류 특성을 취득하고, 누설 전류값을 취득하여 그 누설 전류값이 상기 단계 (a)에서 취득 한 누설 전류보다 감소하고 있는 경우에는 그 방법을 종료하고, 감소하지 않는 경우에는 단계 (c)로 되돌아가는 단계

   를 포함하는 것을 특징으로 하는 복구 방법.
5. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 임계값 미만 전압은 0 볼트 이상으로서 상기 유기 EL 소자가 정상인 경우의 발광 전압 개시 전압 이하인 것을 특징으로 하는 복구 방법.
6. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 임계값 미만 전압은 역 바이어스가 되는 것으로서, 전압값은 O 볼트 이상이며 상기 유기 EL 소자의 역 바이어스에 대한 소정의 내압값 이하인 것을 특징으로 하는 복구 방법.
7. 유기 EL 소자의 복구를 행하는 복구 장치로서,

   복구 대상인 상기 유기 EL 소자를 유지하는 수단(이하 "유기 EL 소자 유지 수단"이라고도 함)과;

   상기 유기 EL 소자에 전압을 인가하는 수단(이하 "전압 인가 수단"이라고도 함)과;

   상기 전압이 인가된 상기 유기 EL 소자를 촬상하는 촬상 수단(이하 "촬상 수단"이라고도 함)과;

   상기 촬상 수단에 의해 촬상된 유기 EL 소자의 상을 표시하고 있는 표시 장 치 상에서 그 상의 1 지점을 마우스로 클릭함으로써 그 상의 1 지점에 대응하는 유기 EL 소자의 1 지점의 위치 정보를 파악하는 수단(이하 "클릭 위치 파악 수단"이라고도 함)과;

   상기 유기 EL 소자에 레이저를 조사하는 수단(이하 "레이저 조사 수단"이라고도 함)

   을 포함하는 것을 특징으로 하는 복구 장치.
8. 유기 EL 소자의 복구를 행하는 복구 장치로서,

   복구 대상인 상기 유기 EL 소자를 유지하는 유기 EL 소자 유지 수단과;

   상기 유기 EL 소자에 전압을 인가하는 전압 인가 수단과;

   상기 유기 EL 소자의 전압 전류 특성을 계측하는 계측 수단(이하 "전압 전류 특성 계측 수단"이라고도 함)과;

   상기 전압이 인가된 상기 유기 EL 소자를 촬상하는 촬상 수단과;

   상기 촬상 수단에 의해 촬상된 유기 EL 소자의 상을 표시하고 있는 표시 장치 상에서 그 상의 1 지점을 마우스로 클릭함으로써 그 상의 1 지점에 대응하는 유기 EL 소자의 1 지점의 위치 정보를 파악하는 클릭 위치 파악 수단과;

   상기 유기 EL 소자에 레이저를 조사하는 레이저 조사 수단

   을 포함하는 것을 특징으로 하는 복구 장치.
9. 유기 EL 소자의 복구를 행하는 복구 장치로서,

   복구 대상인 상기 유기 EL 소자를 유지하는 유기 EL 소자 유지 수단과;

   상기 유기 EL 소자에 전압을 인가하는 전압 인가 수단과;

   상기 전압이 인가된 상기 유기 EL 소자를 촬상하는 촬상 수단과;

   상기 촬상 수단에 의해 촬상된 유기 EL 소자의 상을 표시하고 있는 표시 장치 상에서 그 상의 1 지점을 마우스로 클릭함으로써 그 상의 1 지점에 대응하는 유기 EL 소자의 1 지점의 위치 정보를 파악하는 클릭 위치 파악 수단과;

   상기 유기 EL 소자에 레이저를 조사하는 레이저 조사 수단

   을 포함하고,

   상기 레이저 조사 수단은 상기 촬상 수단이 촬상한 임계값 미만 소자상 중에서 누설 발광상을 발견했을 때에 상기 클릭 위치 파악 수단이 파악한 상기 누설 발광상의 유기 EL 소자에 있어서의 위치 정보에 기초하여 상기 누설 발광상에 해당하는 상기 유기 EL 소자의 누설 발광 지점에 레이저를 조사할 수 있도록 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 복구 장치.
10. 제7항 내지 제9항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 임계값 미만 전압은 0 볼트 이상으로서 상기 유기 EL 소자가 정상적인 경우의 발광 전압 개시 전압 이하인 것을 특징으로 하는 복구 장치.
11. 제7항 내지 제9항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 임계값 미만 전압은 역 바이어스가 되는 것으로서, 전압은 0 이상이며, 상기 유기 EL 소자의 역 바이어스에 대한 소정의 내압 이하인 것을 특징으로 하는 복구 장치.
12. 유기 EL 소자의 결함부를 발견하여, 결함부에 레이저를 조사하여 복구를 행하는 복구 방법으로서,

    (a) 상기 유기 EL 소자에 발광 임계값 미만의 전압을 인가하여 상기 임계값 미만 전압이 인가되어 있는 상태의 상기 유기 EL 소자의 상을 취득하는 단계와;

    (b) 상기 단계 (a)에서 취득한 상기 임계값 미만 소자상을 관찰하여 상기 임계값 미만 소자상 중에서 발광하고 있는 상을 발견한 경우에는, 그 누설 발광상에 대응하는 상기 유기 EL 소자의 발광 지점에 레이저를 조사하고, 누설 발광상을 발견할 수 없는 경우에는 그 방법을 종료하는 단계와;

    (c) 상기 단계 (b)에서 레이저가 조사된 상기 유기 EL 소자에 다시 상기 임계값 미만의 전압을 인가하여 상기 임계값 미만 전압이 인가되어 있는 상태의 상기 유기 EL 소자의 상기 임계값 미만 소자상을 취득하고, 상기 임계값 미만 소자상 중에서는 상기 단계 (b)에서 발견된 상기 누설 발광상을 더 이상 발견할 수 없게 됨으로써, 복구가 정상적으로 완료되었다고 판단하는 단계

    를 포함하는 것을 특징으로 하는 복구 방법.
13. 유기 EL 소자의 복구를 행하는 복구 장치로서,

    복구 대상인 상기 유기 EL 소자를 유지하는 수단과;

    상기 유기 EL 소자에 상기 유기 EL 소자의 임계값 이하의 전압을 인가하는 수단과;

    상기 임계값 이하의 전압이 인가된 상기 유기 EL 소자를 촬상하는 촬상 수단과;

    상기 촬상 수단에 의해 촬상된 유기 EL 소자의 상을 표시하고 있는 표시 장치 상의 휘점에 대응하는 상기 유기 EL 소자 상의 대응 지점에 레이저를 조사하는 수단

    을 포함하는 것을 특징으로 하는 복구 장치.

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