KR20070010876A - 기판 결함 수정장치 및 방법 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (24)
- 극초단 레이저 펄스를 갖는 레이저 빔을 발생시키는 레이저 발생부와;상기 레이저 빔을 제1 경로와 제2 경로로 분리시키는 광학변조기(Optic Modulator)와;상기 제1 경로로 분리된 상기 레이저 빔을 집광하여 기판에 조사하는 대물렌즈부와;상기 대물렌즈부에 대한 거리 조절이 가능한 스테이지부와;상기 광학변조기의 작동을 제어하는 변조 제어부를 포함하는 기판 결함 수정장치.
- 제1항에 있어서,상기 레이저 펄스의 폭은 30 펨토세컨드(femto second) 내지 10 피코세컨드(pico second)인 기판 결함 수정장치.
- 제1항에 있어서,상기 레이저 발생부와 상기 광학변조기 사이에 상기 레이저 빔의 파장을 변환시키는 파장변환기가 개재되는 기판 결함 수정장치.
- 제1항에 있어서,상기 기판은 액정표시장치용 컬러필터 기판이며, 상기 레이저 빔의 파장은 200nm 내지 400nm인 기판 결함 수정장치.
- 제1항에 있어서,상기 레이저 펄스의 반복율(repetition rate)은 1kHz 내지 120MHz인 기판 결함 수정장치.
- 제1항에 있어서,상기 광학변조기(Optic Modulator)는 음향 광학변조기(Acoustic Optic Modulator) 또는 전자 광학변조기(Electro Optic Modulator)인 기판 결함 수정장치.
- 제1항에 있어서,상기 제2 경로로 분리된 상기 레이저 빔을 수광하는 빔덤프(Beam dump)를 더 포함하는 기판 결함 수정장치.
- 제1항에 있어서,상기 레이저 발생부와 상기 광학변조기 사이에 상기 레이저 빔을 상기 광학변조기에 대해 차단하는 셔터가 개재되는 기판 결함 수정장치.
- 제1항에 있어서,상기 광학변조기와 상기 대물렌즈부 사이에 상기 레이저 빔을 확대하는 빔확대기(Beam expander) 또는 상기 레이저 빔의 강도분포를 가우시안(Gaussian) 형태에서 플랫탑(Flat-top) 형태로 변경하는 빔성형기(Beam shaper)가 개재되는 기판 결함 수정장치.
- 제1항에 있어서,상기 결함을 촬영하는 촬상카메라와, 상기 촬상카메라로부터 신호를 수신하여 상기 결함의 위치 정보를 출력하는 위치 측정부를 더 포함하는 기판 결함 수정장치.
- 제10항에 있어서,상기 촬상카메라로부터 신호를 수신하여 상기 대물렌즈부의 촛점에 관한 정보를 출력하는 자동 초점 시스템(Auto focus system)을 더 포함하는 기판 결합 수정장치.
- 제1항에 있어서,상기 기판상에서 상기 결함의 높이를 광학적 방법으로 측정하는 3차원 비접촉 높이 측정기를 더 포함하는 기판 결함 수정장치.
- 제12항에 있어서,상기 변조 제어부는 상기 결함의 수정에 필요한 상기 레이저 펄스의 양을 계산하여 그에 상응하는 신호를 상기 광학변조기에 전송하고, 상기 광학변조기는 상기 신호에 대응하여 상기 레이저 빔을 분리시키는 기판 결함 수정장치.
- 제10항 또는 제12항에 있어서,상기 결함의 크기에 대응하여 상기 레이저 빔이 조사되는 영역의 크기를 조 정하는 가공슬릿과, 상기 가공슬릿의 이동 또는 회전을 제어하는 슬릿 제어부를 더 포함하는 기판 결함 수정장치.
- 제14항에 있어서,상기 가공슬릿의 모양은 사각형인 기판 결함 수정장치.
- 대물렌즈부에 대해 소정의 거리를 유지하도록 조절된 스테이지부에 기판을 거치시켜 상기 기판의 결함을 수정하는 방법에 있어서,(a) 극초단 레이저 펄스를 갖는 레이저 빔을 발생시키는 단계;(b) 상기 결함의 수정에 필요한 레이저 펄스의 양에 대응하여 상기 레이저 빔을 제1 경로와 제2 경로로 분리시키는 단계; 및(c) 상기 제1 경로로 분리된 상기 레이저 빔을 집광하여 상기 기판에 조사하는 단계를 포함하는 기판 결함 수정방법.
- 제16항에 있어서,상기 단계 (a)와 상기 단계 (b) 사이에 상기 레이저 빔을 수광하여 상기 기판을 구성하는 재질에 흡수가 잘 되는 파장영역으로 상기 레이저 빔의 파장을 변환 시키는 단계를 더 포함하는 기판 결함 수정방법.
- 제16항에 있어서,상기 레이저 펄스의 폭은 30 펨토세컨드(femto second) 내지 10 피코세컨드(pico second)인 기판 결함 수정방법.
- 제16항에 있어서,상기 레이저 빔의 파장은 200나노미터(nano meter) 내지 400나노미터(nano meter)인 기판 결함 수정방법.
- 제16항에 있어서,상기 레이저 펄스의 반복율(repetition rate)은 1kHz 내지 120MHz인 기판 결함 수정방법.
- 제16항에 있어서,상기 단계 (b) 또는 상기 단계 (c)는 상기 제2 경로로 분리된 상기 레이저 빔을 빔덤프(Beam dump)에서 수광하는 단계를 더 포함하는 기판 결함 수정방법.
- 제16항에 있어서,상기 단계 (b)는 빔확대기(Beam expander)에 의해 상기 레이저 빔을 확대하는 단계 또는 빔성형기(Beam shaper)에 의해 상기 레이저 빔의 강도분포를 가우시안(Gaussian) 형태에서 플랫탑(Flat-top) 형태로 변경하는 단계를 더 포함하는 기판 결함 수정방법.
- 제16항에 있어서,상기 단계 (a) 또는 상기 단계 (b)는 상기 결함을 촬영하여 상기 결함의 위치를 측정하는 단계 및 상기 기판상에서 상기 결함의 높이를 광학적 방법으로 측정하는 단계를 더 포함하는 기판 결함 수정방법.
- 제23항에 있어서,상기 단계 (c)는 상기 결함의 크기 및 형상에 대응하는 크기 및 형상을 갖는 가공슬릿에 상기 레이저 빔을 투과시키는 단계를 더 포함하는 기판 결함 수정방법.
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