KR20060126286A

KR20060126286A - 웨이퍼 캐리어

Info

Publication number: KR20060126286A
Application number: KR1020050048057A
Authority: KR
Inventors: 박경식
Original assignee: 삼성전자주식회사
Priority date: 2005-06-04
Filing date: 2005-06-04
Publication date: 2006-12-07

Abstract

본 발명은 웨이퍼 캐리어에 관한 것으로, 보다 상세하게는 내부에 웨이퍼를 수납하여 취급하는데 사용하는 웨이퍼 캐리어에 관한 것이다. 이를 위한 본 발명의 웨이퍼 캐리어는 반도체 소자의 생산에 사용되는 웨이퍼를 취급하기 위한 웨이퍼 캐리어에서, 상하가 개방되어 상기 웨이퍼가 수납되는 공간을 형성하는 프레임; 상기 프레임의 양 측벽 내부에 일정한 간격으로 돌출되어 사이에 상기 웨이퍼가 장착되는 복수의 슬롯; 및 상기 프레임의 하부에 형성된 받침대를 구비하고, 적어도 상기 슬롯은 완충 부재로 형성된 것을 특징으로 한다. 본 발명에 의하여 각 생산 공정의 중간에 웨이퍼 캐리어 상의 웨이퍼를 검사하기 위하여 웨이퍼를 하나씩 끄집어내서 검사한 후에 다시 슬롯 사이로 웨이퍼를 넣을 때 발생하는 충격을 완충 부재로 형성된 슬롯 또는 측벽에 의해서 감소시켜 웨이퍼의 모서리가 깨지는 것을 방지하는 효과가 있다.

캐리어, 슬롯, 완충 부재, 웨이퍼

Description

웨이퍼 캐리어{Wafer carrier }

도1은 반도체 소자의 생산에서 웨이퍼를 취급하기 위한 종래의 웨이퍼 캐리어를 보여주는 사시도.

도2는 본 발명의 일 실시예에 따른 웨이퍼 캐리어를 보여주는 사시도.

*도면의 주요부분에 대한 부호의 설명*

10, 100 : 웨이퍼 캐리어 20, 200 : 프레임

21, 210 : 슬롯 22, 220 : 받침대

23, 230 : 측벽

본 발명은 웨이퍼 캐리어에 관한 것으로, 보다 상세하게는 내부에 웨이퍼를 수납하여 취급하는데 사용하는 웨이퍼 캐리어에 관한 것이다.

통상적으로 반도체 소자가 형성되는 기판으로 사용되는 웨이퍼는 한 공정에서 작업이 완료되면 다음 공정으로 이동시키는데 생산의 효율성을 위하여 25장 정 도의 웨이퍼를 하나의 고정 구조물에 수납하여 한꺼번에 취급한다.

이렇게 웨이퍼를 처리하기 위하여 사용하는 취급하기 위한 고정 구조물로 웨이퍼 캐리어가 사용된다.

도1은 반도체 소자의 생산에서 웨이퍼를 취급하기 위한 종래의 웨이퍼 캐리어를 보여주는 사시도이다.

도1에 도시된 바와 같이, 종래의 웨이퍼 캐리어(10)는 프레임(20), 슬롯(21) 및 받침대(22)를 구비한다.

프레임(10)은 상하가 개방되어 웨이퍼(도면에 표시하지 않음)가 수납되는 공간을 형성하고, 프레임(10)의 양 측벽(23) 내부에 일정한 간격으로 돌출된 복수의 슬롯(21) 사이에 웨이퍼가 장착되어 수납된다. 슬롯(21)은 프레임(10)과 일체형으로 연장되어 형성된다.

프레임(10)의 하부에는 프레임(10)에서 연장되어 형성된 한 쌍의 받침대(22)가 형성되어 있다. 한 쌍의 받침대(22)는 상기 웨이퍼 캐리어(10)를 평면에 지지하여 균형을 유지하는 역할을 하고, 프레임(10)에서 연장되어 일체형으로 형성된다.

프레임(21)의 하부에서는 슬롯(21) 사이의 거리가 좁아지도록 경사지게 형성하여 슬롯(21) 사이에 수납된 웨이퍼가 일정한 높이 이하로 내려가지 않도록 한다.

종래의 웨이퍼 캐리어(10)를 반도체 소자의 생산 공정에 사용하는 경우 특히 각 생산 공정의 중간에 웨이퍼 캐리어(10) 상의 모든 웨이퍼를 검사하는 단계에서는 웨이퍼를 하나씩 끄집어내서 검사한 후에 다시 슬롯(21) 사이로 웨이퍼를 넣을 때 발생하는 충격에 의해서 웨이퍼의 모서리가 깨지는 일이 자주 발생한다.

그런데 이렇게 웨이퍼 캐리어에서 웨이퍼가 깨지면 웨이퍼 캐리어 내의 모든 웨이퍼가 한꺼번에 오염되어 대량의 불량이 발생하고, 바로 깨지지 않고 충격에 의해서 웨이퍼가 약해진 상태에서 다음 반도체 제조 장비 내부에서 깨지는 일도 발생한다.

이로 인하여 반도체 제조 장비의 생산이 중단되고 유지보수 작업 및 세정 작업을 실시하여야하기 때문에 생산성 손실이 매우 커지는 문제가 있다.

따라서 본 발명은 상기의 문제점을 해결하기 위하여 이루어진 것으로, 본 발명의 목적은 반도체 소자의 생산에서 작업자가 웨이퍼를 취급하는 도중에 웨이퍼의 모서리와 웨이퍼 캐리어가 부딪히는 충격으로 웨이퍼가 깨지는 것을 방지하기 위하여 웨이퍼와 부딪히는 부분이 완충 작용을 할 수 있는 웨이퍼 캐리어를 제공하는데 있다.

상기의 목적을 달성하기 위한 본 발명의 실시예에 따른 웨이퍼 캐리어는 반도체 소자의 생산에 사용되는 웨이퍼를 취급하기 위한 웨이퍼 캐리어에서, 상하가 개방되어 상기 웨이퍼가 수납되는 공간을 형성하는 프레임; 상기 프레임의 양 측벽 내부에 일정한 간격으로 돌출되어 사이에 상기 웨이퍼가 장착되는 복수의 슬롯; 및 상기 프레임의 하부에 형성된 받침대를 구비하고, 적어도 상기 슬롯은 완충 부재로 형성된 것을 특징으로 한다.

바람직한 실시예에 있어서, 상기 완충 부재는 코르크, 고무, 합성수지로 이 루어진 군에서 선택 되고, 상기 프레임의 측벽 내부는 상기 완충 부재로 형성된 것을 특징으로 한다.

이하 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 실시예를 상세히 설명한다.

도2는 본 발명의 일 실시예에 따른 웨이퍼 캐리어를 보여주는 사시도이다.

도2에 도시된 바와 같이, 반도체 소자의 생산에 사용되는 웨이퍼를 취급하기 위한 본 발명의 웨이퍼 캐리어(100)는 프레임(200), 슬롯(210) 및 받침대(220)를 구비한다.

프레임(100)은 상하가 개방되어 웨이퍼(도면에 표시하지 않음)가 수납되는 공간을 형성하여, 상부의 개방된 입구를 통하여 웨이퍼를 수납한다. 프레임(100)의 양 측벽(230) 내부에 일정한 간격으로 돌출된 복수의 슬롯(210)은 그 사이에 웨이퍼를 한 장씩 구분하여 수납하는 역할을 한다.

슬롯(210)은 코르크, 고무 및 합성수지로 이루어진 군에서 선택된 완충 부재로 형성한다. 또한 상기 슬롯(210) 사이의 측벽(230) 내부에 상기 완충 부재를 첨가하거나 측벽(230) 내부를 완충 부재로 형성하는 것이 바람직하다.

프레임(100)의 하부에는 프레임(100)에서 연장되어 형성된 한 쌍의 받침대(220)가 형성되어 있다. 한 쌍의 받침대(220)는 상기 웨이퍼 캐리어(100)를 평면에 지지하여 균형을 유지하는 역할을 하고, 프레임(100)에서 연장되어 일체형으로 형성된다.

프레임(100)의 양 측벽 내부에 형성된 슬롯(210)은 양 측벽에서 대칭으로 형 성되고, 돌출된 슬롯(210) 사이에 웨이퍼가 수납된다. 그리고 프레임(100)의 마주 보는 측벽에 형성된 슬롯(210)은 프레임(210)의 상부에서 일정한 거리를 즉 웨이퍼의 직경 보다 슬롯(210)의 돌출된 길이만큼 작은 거리를 유지하며 대칭으로 배치되어 있다.

그리고 프레임(210)의 하부에서는 슬롯(210) 사이의 거리가 좁아지도록 경사지게 형성하여 슬롯(210) 사이에 수납된 웨이퍼가 일정한 높이 이하로 내려가지 않도록 한다.

이렇게 형성된 본 발명의 웨이퍼 캐리어(100)를 반도체 소자의 생산 공정에 사용하면 단단하고 깨지기 쉬운 웨이퍼의 모서리가 상기 웨이퍼 캐리어(100)의 모서리에 부딪히는 경우에도 웨이퍼가 깨지는 것을 방지한다.

특히 각 생산 공정의 중간에 웨이퍼 캐리어(100) 상의 모든 웨이퍼를 검사하는 단계에서는 웨이퍼를 하나씩 끄집어내서 검사한 후에 다시 슬롯(210) 사이로 웨이퍼를 넣을 때가 발생하는 충격이 감소되어 웨이퍼가 깨지지는 것을 방지한다.

이상에서, 본 발명의 구성 및 동작을 상기한 설명 및 도면에 따라 도시하였지만, 이는 예를 들어 설명한 것에 불과하며 본 발명의 기술적 사상 및 특허청구 범위를 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 변화 및 변경이 가능함은 물론이다.

상술한 바와 같이 본 발명에 의하면, 반도체 소자의 생산 공정에서 웨이퍼를 한꺼번에 취급하기 위하여 사용하는 웨이퍼 캐리어에서 각 생산 공정의 중간에 웨이퍼 캐리어 상의 웨이퍼를 검사하기 위하여 웨이퍼를 하나씩 끄집어내서 검사한 후에 다시 슬롯 사이로 웨이퍼를 넣을 때 발생하는 충격을 완충 부재로 형성된 슬롯 또는 측벽에 의해서 감소시켜 웨이퍼의 모서리가 깨지는 것을 방지하는 효과가 있다.

Claims

반도체 소자의 생산에 사용되는 웨이퍼를 취급하기 위한 웨이퍼 캐리어에서,

상하가 개방되어 상기 웨이퍼가 수납되는 공간을 형성하는 프레임;

상기 프레임의 양 측벽 내부에 일정한 간격으로 돌출되어 사이에 상기 웨이퍼가 장착되는 복수의 슬롯; 및

상기 프레임의 하부에 형성된 받침대를 구비하고,

적어도 상기 슬롯은 완충 부재로 형성된 것을 특징으로 하는 웨이퍼 캐리어.
제1항에 있어서,

상기 완충 부재는 코르크, 고무, 합성수지로 이루어진 군에서 선택 된 것을 특징으로 하는 웨이퍼 캐리어.
제1항에 있어서,

상기 프레임의 측벽 내부는 상기 완충 부재로 형성된 것을 특징으로 하는 웨이퍼 캐리어.