KR20140130851A - 웨이퍼 컨테이너 - Google Patents

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KR20140130851A
KR20140130851A KR1020130049338A KR20130049338A KR20140130851A KR 20140130851 A KR20140130851 A KR 20140130851A KR 1020130049338 A KR1020130049338 A KR 1020130049338A KR 20130049338 A KR20130049338 A KR 20130049338A KR 20140130851 A KR20140130851 A KR 20140130851A
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조승열
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(주)Sy이노베이션
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Abstract

본 발명은 웨이퍼 컨테이너에 관한 것으로, 일 측이 개구되고 내부공간을 형성하며, 일 측이 뚜껑부와 탈착되게 결합되어 내부공간이 밀폐되고, 내부공간에 하나 이상의 웨이퍼가 수용되는 케이스부를 포함한다. 또한, 본 발명에 따른 웨이퍼 컨테이너는 서로 대향하도록 케이스부의 내측에 각각 구비되며 웨이퍼가 횡방향으로 위치하도록 웨이퍼의 외측부분을 지지하는 웨이퍼 가이드부를 포함한다.

Description

웨이퍼 컨테이너{APPARATUS FOR STORAGE AND TRANSPORT OF WAFER}
본 발명은 웨이퍼 컨테이너에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 반도체 공정에서 웨이퍼의 손상이나 파손을 최소화하고, 웨이퍼의 안전한 저장과 이송을 가능하게 하는 웨이퍼 컨테이너에 관한 것이다.
근래에 컴퓨터와 같은 정보 매체의 급속한 보급에 따라 반도체 장치도 발전하고 있다. 반도체 장치는 고속으로 동작하는 동시에 대용량의 저장 능력을 가진다. 이에 따라 반도체 장치의 제조공정은 집적도, 신뢰도 및 응답속도 등을 향상시키기 위해 지속적으로 발전하고 있다. 반도체 장치의 집적도, 신뢰도 및 응답속도 등의 향상을 위해서는 고집적화가 필요하다.
반도체 장치는 막 형성, 패턴 형성, 금속 배선 형성 등과 같은 일련의 단위 공정들을 순차적 수행을 통해 제조된다. 단위 공정들이 수행될 때 웨이퍼들의 저장과 이송은 필수적이다. 반도체 장치의 제조공정에서 단위 공정들이 순차적으로 진행될 때, 웨이퍼(wafer)의 이송에 따라 미세입자가 빈번하게 발생된다.
이때 미세입자는 웨이퍼에 흡착되어 웨이퍼를 오염시키고, 미세입자의 흡착은 정전기력에 의해 일어나게 된다. 따라서, 미세입자가 웨이퍼에 흡착된 경우 세정을 수행하여도 용이하게 제거되지 않는다. 고집적화를 위한 반도체 장치의 제조공정에서는 미세입자(particle)에도 심각한 영향을 받게 된다. 따라서, 미세입자에 의한 웨이퍼의 오염을 최소화시켜야 한다.
미세입자에 의한 웨이퍼의 오염을 최소화하기 위해 웨이퍼 이송을 위한 이송장치를 사용한다. 이러한 이송장치는 웨이퍼의 이송에 따른 미세입자의 발생을 최소화하며, 미세입자가 웨이퍼에 흡착되는 것을 방지하기 위한 것이다. 이송장치는 웨이퍼의 이송 및/또는 저장을 위한 것으로 다양하게 소개되고 있다.
해당 종래기술로 한국공개특허 제2006-0058676호, 전자 부품의 제조시 플레이트 형태의 기판을 저장 및/또는 이송을 위한 장치가 있다. 해당 종래기술은 복수의 웨이퍼를 저장 및/또는(이하, 및이라고 함) 이송할 수 있도록 한다는 효과를 가진다. 그러나 해당 종래기술은 저장 및 이송되는 웨이퍼가 많아지고 대형화될수록 웨이퍼의 저장 공간에 한계를 가져온다. 또한, 종래기술은 웨이퍼가 저장된 상태에서 이송될 때 웨이퍼의 유동을 발생시켜 웨이퍼의 파손이나 미세입자를 발생시킬 수 있다.
본 발명에 따른 웨이퍼 컨테이너는 다음과 같은 과제의 해결을 목적으로 한다.
첫째, 반도체 장치의 제조공정에서 발생되는 미세입자의 발생을 최소화시켜, 미세입자로 인한 웨이퍼의 손상을 방지하는 것을 목적으로 한다.
둘째, 웨이퍼의 저장 및 이송 시 웨이퍼를 안전하게 지지하고, 웨이퍼의 유동을 방지하여 웨이퍼의 파손을 방지하는 것을 목적으로 한다.
본 발명의 해결과제는 이상에서 언급된 것들에 한정되지 않으며, 언급되지 아니한 다른 해결과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해되어 질 수 있을 것이다.
본 발명의 일 측면에 따른 웨이퍼 컨테이너는
일 측이 개구되고 내부공간을 형성하며, 상기 일 측이 뚜껑부와 탈착되게 결합되며, 상기 내부공간에 복수의 웨이퍼가 수용되는 케이스부; 및
다단으로 이루어져 서로 대향하도록 상기 케이스부의 내측에 각각 구비되며, 웨이퍼가 횡방향으로 위치되도록 웨이퍼의 하부면을 지지하는 웨이퍼 가이드부를 포함하며,
상기 웨이퍼 가이드부는 종방향으로 길이를 가지며, 서로 평행하도록 상기 케이스부의 내측면에 복수 개 구비되는 기둥부;
복수개가 상호 이격배치되면서 다단으로 구비되며, 상기 케이스부의 내측면을 향하는 일 구간이 상기 기둥부의 각각과 일체로 결합되고, 인입된 웨이퍼의 테두리구간 하부면을 지지할 수 있도록 상기 케이스부의 내부공간을 향하는 타 구간이 횡방향으로 각각 연장되어 형성되며, 하나 이상의 개구를 형성하는 지지부; 및
상기 개구를 관통하며 결합됨으로써, 상기 지지부의 상부면에 상기 상부돌기를 형성하고 상기 지지부의 하부면에 상기 하부돌기를 형성하는 돌기부재를 포함할 수 있다.
일 실시예에 따라, 상기 지지부에서 횡방향으로 연장형성되는 타 구간은 웨이퍼가 인입되는 방향으로 절곡될 수 있다.
일 실시예에 따라, 상기 상부돌기 및 하부돌기는 서로 대칭되는 형상일 수 있다.
일 실시예에 따라, 상기 상부돌기 및 하부돌기는 서로 비대칭되는 형상일 수 있다.
일 실시예에 따라, 상기 하부돌기의 종방향 길이는 상기 상부돌기의 종방향 길이에 비해 더 길 수 있다.
일 실시예에 따라, 상기 하부돌기는 상기 지지부의 아래에 놓인 웨이퍼의 테두리구간 상부면에 닿도록 배치되고, 상기 상부돌기는 상기 지지부의 위에 놓인 웨이퍼의 테두리구간 하부면과 접촉하며,
상기 하부돌기는, 상기 지지부의 아래에 놓인 웨이퍼의 테두리구간 상부면에 접촉될 경우에 상기 하부돌기의 접촉면적이 상기 지지부의 위에 놓인 웨이퍼의 테두리구간 하부면과 상기 상부돌기가 접촉하는 접촉면적에 비해 좁을 수 있다.
일 실시예에 따라, 상기 하부돌기의 직경과 상기 상부돌기의 직경은 서로 상이할 수 있다.
일 실시예에 따라, 상기 지지부에 형성된 개구는 원형 형태, 테두리가 절골된 형태 또는 다각형 형태 중 어느 하나 이상의 형태로 이루어질 수 있다.
일 실시예에 따라, 상기 지지부에 형성된 개구는 상기 케이스부의 내측으로 연장형성되어 길이를 가지는 형태 또는 웨이퍼가 상기 케이스부에 인입되는 방향으로 연장형성되어 길이를 가지는 형태로 이루어질 수 있다.
일 실시예에 따라, 상기 돌기부재가 상기 개구와 결합된 상태에서, 상기 상부돌기와 상기 하부돌기 사이 구간의 횡단면 형상은 상기 개구의 형상과 대응될 수 있다.
일 실시예에 따라, 상기 돌기부재는 탄성력있고 대전방지 효과를 가지는 실리콘(Silicone) 또는 저밀도폴리에틸렌(Low Density Polyethylene: LDPE)으로 형성될 수 있다.
본 발명에 따른 웨이퍼 컨테이너는 다음과 같은 효과를 가진다.
첫째, 케이스부의 내부공간에 서로 대향하도록, 케이스부의 내측에 각각 웨이퍼 가이드부가 구비되고, 웨이퍼 가이드부의 지지부에 돌기부재가 관통결합되어 지지부의 상부면 및 하부면에 돌기를 형성하고, 돌기부재에 의해 웨이퍼가 지지됨으로써, 웨이퍼의 유동으로 인한 미세입자 발생을 최소화해 미세입자로 인한 웨이퍼의 손상을 방지할 수 있다.
둘째, 돌기부재에 의해 상부면 및 하부면에 돌기가 형성된 지지부가 위치고정부에 일체형으로 결합되어, 웨이퍼가 웨이퍼 가이드부에 삽입되어 저장 및 이송 될때 웨이퍼의 위치를 고정시킴으로써, 웨이퍼를 안전하게 지지하고, 웨이퍼의 유동이 방지되어 웨이퍼의 파손을 방지할 수 있다.
셋째, 종래의 웨이퍼 컨테이너는 웨이퍼 가이드 상의 돌기부를 형성하기 위해 돌기부와 지지부를 일체로 사출하고 별도로 웨이퍼 가이드를 사출한 다음, 각각 사출된 웨이퍼 가이드와 지지부를 결합하는 방식으로 제조함으로써 두 번의 사출 공정으로 인하여 제조 비용이 높았으나, 본 발명에서는 웨이퍼 가이드와 지지부를 한 번의 사출로 성형하고 돌기부재를 결합함으로써 제조 공정과 제조 비용을 절감할 수 있다.
넷째, 종래의 웨이퍼 컨테이너는 돌기부와 지지부를 일체로 사출 성형하므로 지지부까지 돌기부를 구성하는 고가의 소재로 형성하여야 하였으나, 본 발명의 경우에는 돌기부재와 지지부의 소재가 각각 다를 수 있어 재료비를 절감할 수 있다.
다섯째, 웨이퍼 컨테이너는 웨이퍼를 수평 방향으로 적재하지만 운송할 때에 웨이퍼를 수직으로 놓인 상태에서 이동하는데, 탄성력있는 돌기 부재에 의해 이동하는 동안 웨이퍼의 유격이 최소화될 수 있다.
본 발명의 효과는 이상에서 언급된 것들에 한정되지 않으며, 언급되지 아니한 다른 효과들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해되어 질 수 있을 것이다.
도 1은 본 발명에 따른 웨이퍼 컨테이너를 설명하는 도면이다.
도 2 내지 도 4는 본 발명에 따른 웨이퍼 컨테이너의 웨이퍼 가이드부를 설명하는 도면이다.
도 5는 본 발명에 따른 웨이퍼 컨테이너의 웨이퍼 가이드부를 보다 상세하게 설명하기 위한 도면이다.
도 6은 본 발명에 따른 웨이퍼 컨테이너의 돌기부재를 설명하는 도면이다.
도 7은 본 발명에 따른 웨이퍼 컨테이너의 지지부를 설명하는 도면이다.
도 8은 본 발명에 따른 웨이퍼 컨테이너의 웨이퍼 가이드부를 보다 상세하게 설명하기 위한 다른 도면이다.
이하 본 발명의 실시예에 대하여 첨부된 도면을 참조하여 그 구성 및 작용을 설명한다.
도 1은 본 발명에 따른 웨이퍼 컨테이너를 설명하는 도면이다. 도 1에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 웨이퍼 컨테이너(100)는 일 측이 개구되고 내부공간을 형성하며, 상기 일 측이 뚜껑부(121)와 탈착되게 결합되며, 상기 내부공간에 복수의 웨이퍼(110)가 수용되는 케이스부(120)를 포함한다.
또한, 본 발명에 따른 웨이퍼 컨테이너(100)는 다단으로 이루어져 서로 대향하도록 케이스부(120)의 내측에 각각 구비되며, 웨이퍼(110)가 횡방향으로 위치되도록 웨이퍼(110)의 하부면을 지지하는 웨이퍼 가이드부(130)를 포함한다.
일 실시예에 있어서, 케이스부(120)는 뚜껑부(121)가 결합할 수 있도록 뚜껑 프레임(122)이 형성되며, 케이스부(120)의 내측면을 형성하는 4개의 측면판(123)을 포함한다. 또한, 케이스부(120)는 4개의 측면판(123)을 각각 연결하는 저면판(124)을 포함한다.
케이스부(120)는 개구된 일 측이 뚜껑부(121)와 끼움결합 등의 다양한 방식으로 결합된다. 뚜껑부(121)는 케이스부(120)와의 결합 및 분리를 위한 잠금장치(미도시)를 구비할 수 있다. 또한, 뚜껑부(121)는 케이스부(120)와 결합하여 일 측면의 역할을 하게 된다.
케이스부(120)에서 4개의 측면판(123) 중 대향하는 2개의 측면판(123)에는 웨이퍼 가이드부(130)가 형성된다. 2개의 측면판(123)은 케이스부(120)의 서로 대향하는 내측을 의미한다. 케이스부(120)는 본딩에 의한 결합, 끼움결합, 볼트 및 너트에 의한 결합 등 다양한 결합방식으로 각 측면판(123)이 결합된다. 케이브부(120)는 각 측면판(123)이 결합된 상태에서 저면판(124)이 하부에서 결합되어 내부 공간을 형성하게 된다.
케이스부(120)에서 측면판(123)과 저면판(124)의 형상, 크기, 소재 등은 어느 하나에 국한되지 않을 것이다. 뚜껑 프레임(122)은 각 측면판(123)의 일 측과 저면판(124)의 일 측이 결합되어 이루어진다. 케이스부(120)의 내부공간에는 웨이퍼 가이드부(130) 이외에 일반적으로 웨이퍼 컨테이너에 구비되는 장치들이 구비될 수 있다.
도 2 내지 도 4는 본 발명에 따른 웨이퍼 컨테이너의 웨이퍼 가이드부를 설명하는 도면이다. 도 2는 도 1을 a 화살표 방향에서 바라본 형상을 도시한 것이다. 웨이퍼 가이드부(130)는 케이스부(120)의 내부공간에 구비된다. 웨이퍼 가이드부(130)는 케이스부(120)의 내부공간에서 서로 대향되도록, 케이스부(120)의 양쪽 내측면에 각각 구비된다.
웨이퍼 가이드부(130)는 로봇에 의해 개별적으로 이송되는 웨이퍼(110)를 횡방향으로 보관한다. 웨이퍼 가이드부(130)는 도 2 및 도 4에 도시된 바와 같이, 종방향으로 간격을 형성하고 있으며, 이 간격은 웨이퍼(110)가 보관될 때 웨이퍼(110)간의 간격이 된다.
도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이 웨이퍼 가이드부(130)는 종방향으로 길이를 가지며, 서로 대향하도록 케이스부(120)의 내측에 각각 구비되는 기둥부(131)를 포함한다. 또한, 웨이퍼 가이드부(130)는 복수개가 상호 이격배치되면서 다단으로 구비되며, 케이스부(121)의 내측면을 향하는 일 구간이 각 기둥부(131)와 일체형 또는 분리형으로 각각 결합되고, 인입(引入)된 웨이퍼(110)의 테두리구간 하부면을 지지할 수 있도록, 케이스부(121)의 내부공간을 향하는 타 구간이 횡방향으로 각각 연장형성되는 지지부(132)를 포함한다. 지지부(132)에서 횡방향으로 연장 형성되는 타 구간은 웨이퍼가 인입되는 방향으로 절곡된다.
또한, 종방향으로 길이를 가지며, 각 지지부(132)의 일 말단에 결합되는 위치고정부(133)을 더 포함한다. 위치고정부(133)는 각각의 지지부(132)의 일 말단과 일체형으로 이루어진다. 위치고정부(133)는 웨이퍼(110)가 로봇에 의해 케이스부(120) 내부에 구비된 웨이퍼 가이드부(130)에 이송될 때, 웨이퍼(110)가 이동되는 방향의 테두리부분과 접하게 된다.
따라서, 웨이퍼(110)는 지지부(132)가 구비된 위치를 벗어나지 않고 안전하게 지지부(132) 상에 위치하게 된다. 위치고정부(133)는 웨이퍼(110)가 로봇에 의해 횡방향으로 이송되어 지지부(132)에 위치되었을 때, 웨이퍼(110)가 횡방향으로 미세하게 움직이는 것을 방지하여, 웨이퍼 컨테이너(100)의 이송 시 웨이퍼(110)의 파손을 방지한다.
웨이퍼 가이드부(130)는 케이스부(121)의 양쪽 내측면에 구비된 각 기둥부(131)와 결합되고, 추가적으로 말단이 위치고정부(133)와 결합될 수 있다. 웨이퍼 가이드부(130)는 도 2에 도시된 바와 같이, 도 1에서 a방향의 바라봤을 때 다단으로 이루어진 형상이다.
도 4는 도 2에서 이점쇄선의 원으로 표시된 부분을 별도의 사시도 형태로 도시한 것이다. 또한, 도 4는 도 3에서 이점쇄선의 원으로 표시된, 도 3의 a부분을 별도의 사시도 형태로 도시한 것이다. 도4에 도시된 바와 같이, 웨이퍼 가이드부(130)는 지지부(132) 간의 간격을 형성한다. 이때, 지지부(132)는 종방향으로 간격을 형성하며, 기둥부(131) 및 위치고정부(133)와 일체형 또는 분리형으로 결합된다.
복수로 이루어진 지지부(132)에는 로봇에 의해 복수의 웨이퍼(110)가 도 3에 도시된 바와 같이 하나씩 개별적으로 삽입(이송)되어 위치하게 된다. 여기서, 도 3은 도 2에 도시된 본 발명을 횡방향으로 단면처리한 후 화살표로 표시된 a방향으로 본 발명에 따른 웨이퍼 컨테이너(100)를 바라본 형상을 도시한 것이다. 웨이퍼(110)가 삽입되는 과정에서 웨이퍼(110) 표면이 손상되는 것을 방지할 수 있도록 지지부(132) 간의 간격을 형성한다.
지지부(132)간의 간격은 웨이퍼(110)의 두께보다 넓게 형성하는 것이 바람직하다. 웨이퍼 가이드부(130)는 웨이퍼(110)의 미세한 움직임에 의한, 웨이퍼(110)의 파손을 방지하고 지지하기 위해, 지지부(133)에 하나 이상의 돌기를 형성한다.
도 5는 본 발명에 따른 웨이퍼 컨테이너의 웨이퍼 가이드부를 보다 상세하게 설명하기 위한 도면이다. 도 5는 도 4에서 이점쇄선의 원으로 표시한 b를 a로 표시한 화살표 방향으로 바라보고 도시한 것이다. 도 5에 도시된 바와 같이, 지지부(132)는 하나 이상의 개구(135)를 형성한다. 또한, 지지부(132)는 개구(135)를 관통하며 결합되어, 지지부(132)의 상부면에 상부돌기(134a) 및 하부면에 하부돌기(134b)를 형성하는 돌기부재(134)를 더 포함한다.
돌기부재(134)는 지지부(132)에 관통하며 결합되어, 지지부(132)의 상부면과 하부면에 각각 돌기를 형성한다. 돌기부재(134)는 지지부(132)에 형성된 개구(135)에 끼움결합된다. 돌기부재(134)는 바람직하게는 탄성력있고 대전방지 효과를 가지는 실리콘(Silicone) 또는 저밀도폴리에틸렌(Low Density Polyethylene: LDPE) 등으로 이루어진다.
돌기부재(134)가 관통되어 결합될 수 있도록 하는 지지부(132)에 형성된 개구(135)의 직경은 어느 하나에 국한되지 않을 것이다. 아울러, 돌기부재(134)의 형상 또는 크기도 어느 하나에 국한되지 않을 것이며, 이는 자명할 것이다.
웨이퍼 가이드부(130)의 지지부(132)에 구비되는 돌기는 지지부(132)의 상부면과 하부면에 복수로 형성되어 일체형으로 이루어질 수도 있다. 지지부(132)의 상부면과 하부면에 돌기가 일체형으로 이루어질 경우, 돌기부재(134)는 지지부(132)에 관통되지 않고 상부면과 하부면에 각각 형성된다.
도 6은 본 발명에 따른 웨이퍼 컨테이너의 돌기부재를 설명하는 도면이다. 도 6은 웨이퍼 가이드부(130)의 지지부(132)에 관통 결합되는 돌기부재(134)의 단면도이다. 도 6의 단면처리는 도 4에 도시된 웨이퍼 가이드부(130)를 종방향으로 단면처리하여 화살표로 표시된 a방향에서 바라본 것이다. 돌기부재(134)의 종단면 형상은 상하가 서로 대칭 또는 비대칭되는 형상이다.
돌기부재(134)는 도 6의 <a> 및 <b>와 같이, 기준선을 기준으로 그 형상이 서로 대칭을 이룬다. 이는 상부돌기(134a) 및 하부돌기(134b)는 대칭선을 기준으로 서로 대칭되는 형상인 것을 의미한다.
예를 들어 돌기부재(134)는 대칭으로 이루어진 아령(dumbbell)과 같은 형상으로 이루어질 수 있다. 이때, 돌기부재(134)는 기준선을 기준으로 상부 및 하부의 직경이 기준선이 존재하는 부분인 중앙부의 직경보다 넓게 형성된다.
돌기부재(134)는 도 6의 <c>와 같이, 기준선을 기준으로 상부와 하부의 형상이 서로 비대칭으로 이루어질 수도 있다. 이는 상부돌기(134a) 및 하부돌기(134b)는 서로 비대칭되는 형상인 것을 의미한다. 돌기부재(134)가 서로 비대칭 형상으로 이루어지는 것을 용이하게 설명하기 기준선을 도면에 도시한다.
지지부(132)에서 상부면 및 하부면의 돌기 형성을 위한 돌기부재(134)와 개구(135)의 개수는 복수로 이루어지며, 어느 하나의 개수로 국한되지는 않을 것이다. 아울러, 돌기부재(134)의 크기 등은 어느 하나에 국한되지 않을 것이다.
본 발명에서 돌기부재(134)는 도 6의 <d>, <e>, <f>와 같이, 하부돌기(134b)의 종방향 길이는 상부돌기(134a)의 종방향 길이에 비해 더 길게 형성될 수 있다. 따라서, 도 8에 도시된 바와 같이, 하부돌기(134b)가 웨이퍼(110)의 테두리구간 상부면을 지지할 수도 있을 것이다. 돌기부재(134)는 하부돌기(134b)가 웨이퍼(110)의 테두리구간 상부면에 배치될 수 있으므로, 웨이퍼 컨테이너(100)의 이동 시 웨이퍼(110)의 상하 움직임을 최소화할 수 있다.
본 발명에서 돌기부재(134)는 도 6의 <d>, <e>, <f>와 같이, 하부돌기(134b)의 직경과 상부돌기(134a)의 직경은 서로 상이할 수 있다. 예를 들어, 상부돌기(134a)의 형상이 도 6을 기준으로 사각형으로 이루어진다면 하부돌기(134b)는 원형으로 이루어질 수 있다. 상부돌기(134a)와 하부돌기(134b) 형상의 조합은 어느 하나에 국한되지 않을 것이다.
본 발명에서 돌기부재(134)는 상부돌기(134a) 및 하부돌기(134b)의 직경이 서로 상이하고, 종방향 길이가 서로 상이하게 형성되며, 웨이퍼(110)에 접촉되는 접촉면이 상이하게 형성될 수 있을 것이다.
도 7은 본 발명에 따른 웨이퍼 컨테이너의 지지부를 설명하는 도면이다. 도 7은 도 5에서 화살표로 표시된 a방향에서 지지부(132)를 바라본 형상을 도시한 것이다. 지지부(132)에 형성된 개구(135)의 개수는 도 7에 도시된 바와 같이 다양하게 구현될 수 있다. 또한, 개구(135)의 형상도 다양하게 구현될 수 있다.
지지부(132)에 형성된 개구(135)는 도 7의 <a>와 같이 원형 형태로 이루어질 수 있다. 개구(135)는 도 7의 <b> 및 <c>와 같이 다각형 형태 또는 테두리가 절곡된 형태로 이루어질 수 있다. 또한, 개구(135)는 도 7의 <c>에 도시된 바와 같이, 지지부(132)에 형성된 개구(135)는 케이스부(121)의 내측으로 연장형성되어 길이를 가지는 형태 또는 웨이퍼(110)가 케이스부(121)에 인입되는 방향으로 연장형성되어 길이를 가지는 형태로 이루어질 수 있다.
돌기부재(134)가 개구(135)와 결합된 상태에서, 상부돌기(134a)와 하부돌기(134b) 사이 구간의 횡단면 형상은 개구(135)의 형상과 대응되는 형상으로 이루어진다.
도 8은 본 발명에 따른 웨이퍼 컨테이너의 웨이퍼 가이드부를 보다 상세하게 설명하기 위한 다른 도면이다. 도 8에 도시된 바와 같이, 돌기부재(134)는 상부돌기(134a)와 하부돌기(134b)의 길이가 서로 상이하게 형성될 수 있다. 상부돌기(134a)와 하부돌기(134b)의 길이가 서로 상이하게 형성될 경우, 하부돌기(134b)는 웨이퍼(110)의 테두리구간 상부면과 접촉하고, 상부돌기(134a)는 웨이퍼(110)의 테두리구간 하부면과 접촉하게 된다.
이때, 웨이퍼(110)의 테두리구간 상부면과 하부돌기(134b)가 접촉하는 접촉면적은 웨이퍼(110)의 테두리구간 하부면과 상부돌기(134a)가 접촉하는 접촉면적에 비해 좁게 형성된다. 웨이퍼(110)의 테두리구간 상부면과 하부돌기(134b)가 접촉하고, 웨이퍼(110)의 테두리구간 하부면과 상부돌기(134a)가 접촉하므로, 웨이퍼 컨테이너(100) 이동 시 내부공간에 배치된 웨이퍼(110)의 상하 움직임을 최소화할 수 있다.
도 8에 도시된 바와 같이, 하부돌기(134b)의 길이가 상부돌기(134a)의 길이보다 길게 형성된 경우, 하부돌기(134b)의 길이는 웨이퍼(110)가 인입될 때 인입을 방해하지 않을 정도의 웨이퍼(110)와 하부돌기(134b) 사이의 간격을 형성하게 될 것이다. 웨이퍼(110)와 하부돌기(134b) 사이의 웨이퍼(110) 인입 간섭을 방지하기 위해 웨이퍼(110) 인입을 위한 로봇암(미도시)의 이동경로를 기 설정하게 될 것이다.
도 1 내지 도 8에서 설명한 본 발명에 따른 웨이퍼 컨테이너는 케이스부(120)의 내부공간에 서로 대향하도록, 케이스부(120)의 내측에 각각 웨이퍼 가이드부(130)가 구비되고, 웨이퍼 가이드부(130)의 지지부(132)에 돌기부재(134)가 관통결합되어 지지부(132)의 상부면 및 하부면에 돌기를 형성하고, 돌기부재(134)에 의해 웨이퍼가 지지됨으로써, 웨이퍼의 유동으로 인한 미세입자 발생을 최소화해 미세입자로 인한 웨이퍼의 손상을 방지할 수 있다.
또한, 돌기부재(134)에 의해 상부면 및 하부면에 돌기가 형성된 지지부(132)가 위치고정부(133)에 일체형으로 결합되어, 웨이퍼(110)가 웨이퍼 가이드부(130)에 삽입되어 저장 및 이송 될때 웨이퍼(110)의 위치를 고정시킴으로써, 웨이퍼(110)를 안전하게 지지하고, 웨이퍼(110)의 유동이 방지되어 웨이퍼(110)의 파손을 방지할 수 있다.
본 실시예 및 본 명세서에 첨부된 도면은 본 발명에 포함되는 기술적 사상의 일부를 명확하게 나타내고 있는 것에 불과하며, 본 발명의 명세서 및 도면에 포함된 기술적 사상의 범위 내에서 당업자가 용이하게 유추할 수 있는 변형 예와 구체적인 실시예는 모두 본 발명의 권리범위에 포함되는 것이 자명하다고 할 것이다.
100: 웨이퍼 컨테이너 110: 웨이퍼
120: 케이스 121: 뚜껑부
122: 뚜껑프레임 123: 측면판
124: 저면판 130: 웨이퍼 가이드부
131: 기둥부 132: 지지부
133: 위치고정부 134: 돌기부재
134a: 상부돌기 134b: 하부돌기
135: 개구

Claims (11)

  1. 일 측이 개구되고 내부공간을 형성하며, 상기 일 측이 뚜껑부와 탈착되게 결합되며, 상기 내부공간에 복수의 웨이퍼가 수용되는 케이스부; 및
    다단으로 이루어져 서로 대향하도록 상기 케이스부의 내측에 각각 구비되며, 웨이퍼가 횡방향으로 위치되도록 웨이퍼의 하부면을 지지하는 웨이퍼 가이드부를 포함하며,
    상기 웨이퍼 가이드부는 종방향으로 길이를 가지며, 서로 평행하도록 상기 케이스부의 내측면에 복수 개 구비되는 기둥부;
    복수개가 상호 이격배치되면서 다단으로 구비되며, 상기 케이스부의 내측면을 향하는 일 구간이 상기 기둥부의 각각과 일체로 결합되고, 인입된 웨이퍼의 테두리구간 하부면을 지지할 수 있도록 상기 케이스부의 내부공간을 향하는 타 구간이 횡방향으로 각각 연장되어 형성되며, 하나 이상의 개구를 형성하는 지지부; 및
    상기 개구를 관통하며 결합됨으로써, 상기 지지부의 상부면에 상기 상부돌기를 형성하고 상기 지지부의 하부면에 상기 하부돌기를 형성하는 돌기부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 컨테이너.
  2. 제1항에 있어서, 상기 지지부에서 횡방향으로 연장형성되는 타 구간은 웨이퍼가 인입되는 방향으로 절곡된 것을 특징으로 하는 웨이퍼 컨테이너.
  3. 제1항에 있어서, 상기 상부돌기 및 하부돌기는 서로 대칭되는 형상인 것을 특징으로 하는 웨이퍼 컨테이너.
  4. 제1항에 있어서, 상기 상부돌기 및 하부돌기는 서로 비대칭되는 형상인 것을 특징으로 하는 웨이퍼 컨테이너.
  5. 제4항에 있어서, 상기 하부돌기의 종방향 길이는 상기 상부돌기의 종방향 길이에 비해 더 긴 것을 특징으로 하는 웨이퍼 컨테이너.
  6. 제4항에 있어서,
    상기 하부돌기는 상기 지지부의 아래에 놓인 웨이퍼의 테두리구간 상부면에 닿도록 배치되고, 상기 상부돌기는 상기 지지부의 위에 놓인 웨이퍼의 테두리구간 하부면과 접촉하며,
    상기 하부돌기는, 상기 지지부의 아래에 놓인 웨이퍼의 테두리구간 상부면에 접촉될 경우에 상기 하부돌기의 접촉면적이 상기 지지부의 위에 놓인 웨이퍼의 테두리구간 하부면과 상기 상부돌기가 접촉하는 접촉면적에 비해 좁은 것을 특징으로 하는 웨이퍼 컨테이너.
  7. 제4항에 있어서, 상기 하부돌기의 직경과 상기 상부돌기의 직경은 서로 상이한 것을 특징으로 하는 웨이퍼 컨테이너.
  8. 제1항에 있어서, 상기 지지부에 형성된 개구는 원형 형태, 테두리가 절골된 형태 또는 다각형 형태 중 어느 하나 이상의 형태로 이루어진 것을 특징으로 하는 웨이퍼 컨테이너.
  9. 제1항에 있어서, 상기 지지부에 형성된 개구는 상기 케이스부의 내측으로 연장형성되어 길이를 가지는 형태 또는 웨이퍼가 상기 케이스부에 인입되는 방향으로 연장형성되어 길이를 가지는 형태로 이루어진 것을 특징으로 하는 웨이퍼 컨테이너.
  10. 제8항 또는 제9항에 있어서,
    상기 돌기부재가 상기 개구와 결합된 상태에서,
    상기 상부돌기와 상기 하부돌기 사이 구간의 횡단면 형상은 상기 개구의 형상과 대응되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 컨테이너.
  11. 청구항 1에 있어서, 상기 돌기부재는 탄성력있고 대전방지 효과를 가지는 실리콘(Silicone) 또는 저밀도폴리에틸렌(Low Density Polyethylene: LDPE)으로 형성되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 컨테이너.
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