KR20060091732A - 제논(Xe) 개스 절약 및 진공불량 방전관튜브 선별단속형 HID 램프제조용 글로브박스 - Google Patents
제논(Xe) 개스 절약 및 진공불량 방전관튜브 선별단속형 HID 램프제조용 글로브박스 Download PDFInfo
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Abstract
본 발명은 HID 램프 방전관 제조용 글로브 박스에 있어서, 진공라인(11)과 불활성 기체 인입라인(12) 및 매니폴더 캡이 구비된 매니폴더(10); 상기 매니폴더의 일단의 외주면에 위치하여 원통형으로 구비되는 스트로킹 슬리브(20); 매니폴더(10)와 일정 간극(32)(33)을 두도록 위치하여 스트로킹 슬리브(20)와 결합된 압착 스페이서(30); 상기 매니폴더(10)로부터 압착 스페이서(30)까지 관통되는 방전관 튜브 안착 홀(40); 상기 매니폴더(10)와 스트로킹 슬리브(20)를 결합시키는 링크(50); 및 상기 링크의 회전작용에 의하여 압착 스페이서와 스트로킹 슬리브의 상승에 따라 방전관 튜브(4) 외주면과 매니폴더(10) 사이에 기밀이 유지되도록 하는 압착오링(60)으로 이루어진 HID 램프 방전관 튜브 실링 장치가 하나 이상 구비된 것을 특징으로 한다. 또한 본 발명에 의하면 각각의 방전관 튜브(4) 제작용 매니폴더(10)에 진공용 밸브(61)와 기체인입용 밸브(62)를 별도로 설치하여, 진공공정 중에 전체진공도가 불량할 경우 각 매니폴더의 진공밸브를 닫아서 전체 진공도가 복원됨을 확인함을 통하여 진공불량인 방전관 튜브를 선별적으로 단속할 수 있고, 또한 잔류하는 Xe 개스를 진공밸브(61)와 기체인입용 밸브(62) 사이에 국한시켜서 고가의 Xe 개스 손실량을 극소화할 수 있는 HID 램프 제조용 글로브박스를 제작할 수 있는 장점이 있다.
글로브 박스, HID(High Intensity Discharge), Xe개스 절약형, 진공불량 방전관튜브 선별단속형
Description
도 1. HID 램프 방전관 구성도.
도 2. 종래의 글로브 박스에서 캡으로 임시 밀봉된 HID 램프 방전관 튜브.
도 3. 글로브 박스의 정면사시도.
도 4. 본 발명에 따른 HID 램프 방전관 튜브 실링 장치의 단면도.
도 5. 링크에 의한 스트로킹 슬리브와 압착 스페이서의 상승 작동도.
도 6. 압착 스페이서의 상승으로 압착되는 압착 오링에 의하여 기밀이 이루어지는 자동 단면도.
도 7. 종래의 HID 방전관 제조장치의 진공 및 기체인입 개념도.
도 8. 본 발명의 HID 방전관 제조장치의 진공 및 기체인입 개념도.
도 9. 본 발명에 따른 글로브 박스의 측면 단면도.
도 10. HID 램프 방전관 튜브 실링 장치가 다수 결합된 본 발명에 따른 글로브 박스의 배면도.
-도면의 주요부분에 대한 부호의 설명-
1 - 방전관 2-전극
3 - 방전관 내부 4 - 방전관 튜브
5 - 실링위치 6 - 방전관 튜브캡
10 - 매니폴더 11 - 진공라인
12 - 기체 인입라인 13 - 매니폴더 캡
14, 17 - 오링 15 - 매니폴더 플렌지
20 - 스트로킹 슬리브 21, 31 - 체결나사
30 - 압착 스페이서 32, 33 - 간극
40 - 방전관 튜브 안착홀 50 - 링크
51 - 레바 회전축 52 - 링크회전축
53 - 링크 고정축 54 - L자형 레바
55 - 링크바 56 - 링크 연결바
60 - 압착 오링 61 - 진공용 밸브
62 - 기체인입라인용 밸브 100 - HID 램프 방전관 실링장치
101 - 글로브 박스 본체 102 - 조절유닛
103 - 보조챔버 104 - 글로브
105 - 정면창 106 - 글로브 박스 내부
107 - 배면창 108 - 글로브 박스 본체 배면
109 - 글로브 박스 본체 바닥면 110 - 글로브 박스 본체 모서리면
본 발명은 HID 램프 방전관 제조용 글로브 박스에 관한 것으로서, 특히 HID 램프의 방전관 제작용 글로브 박스에서 HID 램프의 튜브가 안착된 상태에서 공기와 접촉하지 않고 열에 의하여 직접 실링하여 HID 램프의 방전관을 제작할 수 있는 장치에 관한 것이다.
기존에 사용하고 있는 할로겐 램프는 조사성능을 향상시키는데 한계가 있기 때문에 보다 성능이 뛰어난 램프로서 개발된 것이 HID 램프(High Intensity Discharge Lamp)이다. HID 램프는 도 1에 도시된 바와 같이 방전관(1) 안의 양쪽 끝단에 방전을 위한 텅스텐 전극(2)이 고정되어 있고 방전관 내부(3)에는 고압의 제논가스와 잘 처리된 요드화 나트륨, 요오드화 스칸듐 등 메탈할라이드계 금속 화합물이 소량 들어 있어 전원이 인가되면 방전관 내부에 들어있는 제논 가스와 여러 금속화합물이 여기(excitation) 방전되며 양쪽의 리드선에 연결된 전극으로 35W의 작은소비 전력을 소모시커 많은 빛을 발하는 원리를 갖는다. HID 램프는 필라멘트 방전이 아니기 때문에 필라멘트의 단선으로 인한 번거로운 교체가 필요 없으며 할로겐 램프와 대비하여 볼 때, 수명은 5배 이상이고 3배 이상의 고휘도를 발하므로 야간 운전 시 시야 확보를 극대화할 수 있다는 등의 효과가 있다.
그러나, HID 램프 방전관 제조 시 불활성 기체와 함께 금속 화합물을 방전관 내부(3)에 장입하여 실링해야 하고 방전관 내부에 장입 시, 수분 또는 산소 등 오염원이 함께 포함될 경우 램프의 수명 단축은 물론, 발광 특성도 저하되는 문제가 있다.
이러한 이유로 인하여 종래에는 HID 램프 방전관 제조 시, 외부 환경과의 차단을 위하여 글로브 박스 내에서 방전관 튜브(4) 내에 전극과 금속 화합물을 장입한후, 방전관 튜브(4)를 방전관 튜브캡(6)으로 임시로 막은 후 글로브 박스 외부로 꺼내어 외부의 또 다른 매니폴더 장치에서 진공처리 후 불활성 기체 인입한 후 실링위치(5)를 토치의 불꽃을 이용하여 방전관 튜브를 실링하는 과정을 거쳐야 하는 번거로움이 있다.
또한, 방전관을 상기 매니폴더에 연결하는 과정에서 방전관 튜브캡(6)을 제거하고 매니폴더 라인에 결합시켜야 하므로 방전관 튜브캡(6)을 제거하는 순간에 수분을 함유한 외기에 노출됨에 따라, 방전관 튜브 내부가 오염될 가능성이 있었으므로 HID 램프의 성능을 저하시키는 원인을 제공하였다.
한편, 앞서 언급한 글로브 박스는 대기 중의 수분에 민감한 물질을 포장하거나 또는 수분이나 산소에 민감한 화합물을 불활성 기체 분위기에서 안전하게 실험하는 등의 용도로 고안된 장치로서, 도 3에 도시된 통상의 글로브 박스가 제안되어 있는 바, 상술하면, 글로브 박스 본체(101), 조절유닛(102), 보조챔버(103), 진공펌프로 구성되어 있으며, 글로브 박스 본체(101)는 작업자가 작업하는 손을 넣고 작업하는 글로브(104), 정면창(105)으로 구성되어 있고, 조절유닛(102)에는 불활성 기체 및 진공 조절 장치들을 포함하고 있다.
따라서, 종래의 글로브 박스의 특성 상 글로브 박스 내에서 토치의 불꽃으로 방전관 튜브의 실링작업이 불가능하기 때문에 앞서 언급한 바와 같이 방전관 튜브의 실링작업은 글로브 박스 외부에서 수행되어야만 하였다.
또한, 이와 같은 HID 방전관 램프를 동시에 다수 제작하기 위해서는 도 7에 도시된 바와 같은 형태를 취해 왔는데, 여러 개의 방전관 튜브(4)에 Xe 개스를 동시에 주입하기 위해서는 진공라인(11)과 진공용 밸브(61)를 이용하여 진공처리 후, 이들을 닫고 기체인입라인(12)과 기체인입라인용 밸브(62)를 통하여 Xe 개스를 주입하게 된다. 이때 Xe 개스를 주입하기 위해 각 매니폴더(10) 사이에는 매우 긴 기체라인이 연결되어 있는데, 개스 주입 후 기체인입용 밸브(62)와 매니폴도캡(13)을 닫고 작업을 수행하는데 이 경우 이들 기체라인에 Xe 개스가 그대로 잔류하게 되며, 이들 잔류 Xe 개스는 다음번 작업시 진공공정 중 그대로 대기로 배기 방출되어, 매우 고가의 Xe 개스가 다량 손실되는 불합리한 점이 있어 왔다.
또한, 방전관 튜브(4) 중에는 간혹 튜브 자체의 결함으로 인해 진공처리 되지않은 진공불량 튜브가 있는데 이 경우 도 7에 도시된 바와 같이, 진공공정 중 어느 하나의 방전과 튜브의 진공불량으로 인한 전체 진공도 저하 상황이 발생한다 해도 그 불량 튜브를 확인할 수 없어서, 전체 공정을 중단하고 모든 방전관 튜브(4)를 모두 다시 설치해야 하는 큰 불합리성이 있어 왔다.
본 발명은 상술한 바와 같은 글로브 박스 내에서의 HID 램프 방전관 튜브를 실링하지 못함으로 인한 문제점들을 극복하고자 안출된 것으로서, 본 발명에 따른 글로브 박스는 글로브 박스 내에서 방전관 튜브 내에 금속 화합물과 전극을 장입한 후 글로브 박스 외부의 매니폴더로 옮겨 실링작업을 수행하지 않고, 방전관 튜브 실링장치가 결합된 글로브 박스에서 직접 실링 작업을 함으로써 임시 캡의 사용으 로 인한 번거로움과 외부 공기와 수분의 노출에 따른 램프의 성능 저하를 방지할 수 있는 HID 램프 방전관 제조용 글로브 박스를 제공함에 그 목적이 있는 것이다.
본 발명은 HID 램프 방전관 제조용 글로브 박스에 관한 것으로서 본 발명에 따른 HID 램프 방전관 제조용 글로브 박스는 HID 램프 방전관 튜브 실링장치(100)가 결합된 글로브 박스에서 HID 램프 방전관 튜브가 안착된 상태에서 직접 실링함으로써 발광특성이 좋은 HID 램프의 방전관을 간편하게 제작할 수 있는 것으로서, 진공라인과 불활성 기체 인입라인 및 매니폴더 캡이 구비된 매니폴더(10); 상기 매니폴더의 일단의 외주면에 위치하여 원통형으로 구비되는 스트로킹 슬리브(20); 매니폴더(10)와 일정 간극(32)(33)을 두도록 위치하여 스트로킹 슬리브(20)와 결합된 압착 스페이서(30); 상기 매니폴더(10)로부터 압착 스페이서(30)까지 관통되는 방전관 튜브 안착홀(40); 상기 매니폴더와 스트로킹 슬리브를 결합시키는 링크(50); 및 상기 링크의 회전작용에 의하여 압착 스페이서(30)와 스트로킹 슬리브(20)의 상승에 따라 방전관 튜브(4) 외주면과 매니폴더(10) 사이에 기밀이 유지되도록 하는 압착 오링으로 이루어진 HID 램프 방전관 튜브 실링 장치(100)를 하나 이상 구비하는 것을 특징으로 한다.
이하, 본 발명에 따른 HID 램프 방전관 제조용 글로브 박스를 첨부된 도면을 바탕으로 상세히 설명한다.
도 4는 본 발명에 따른 HID 램프 방전관 튜브 실링 장치의 단면도이고, 도 5은 링크에 의한 스트로킹 슬리브와 압착 스페이서의 상승 작동도이며, 도 6은 압착 스페이서의 상승으로 압착되는 오링에 의하여 방전관 튜브의 외주면과 매니폴더 사이에 기밀이 이루어지는 작동 단면도이고, 도 7은 본 발명에 따른 HID 램프 방전관튜브 실링 장치가 결합된 글로브 박스의 측면 단면도이며, 도 8은 HID 램프 방전관튜브 실링 장치가 다수가 글로브 박스 배면에 결합된 본 발명에 따른 글로브 박스의 배면도이다.
도 4에 도시된 바에서 알 수 있듯이, 본 발명에 따른 HID 램프 방전관 제조용 글로브 박스에 결합되는 HID 램프 방전관 튜브 실링 장치(100)의 구성요소 가운데 매니폴더(10)는 HID 램프 방전관 튜브(4) 내부의 수분, 산소 등의 이물질을 제거하고 제논(Xe), 아르곤(Ar) 등의 불활성 기체 분위기를 제공하기 위하여 진공조건을 제공하는 진공라인(11)과 불활성 기체를 공급하는 기체 인입라인(12)이 구비되며, 매니폴더(10)가 글로브 박스 내부(106)로부터 격리되어 기밀을 유지하도록 매니폴더(10)의 일단에 매니폴더 캡(13)과 오링(14)이 배치된다.
매니폴더(10)의 외주면을 상하로 미끄러지도록 원통형으로 구비된 스트로킹 슬리브(20)가 매니폴더(10)의 일단 외주면에 위치하며, 스트로킹 슬리브(20)와 결합된 압착 스페이서(30)의 외주면에 매니폴더(10) 일단의 내주면에 맞닿아 압착 스페이서(30)가 매니폴더(10) 쪽으로 상승할 수 있도록 간극(32, 33)을 구비하도록 위치한다. 스트로킹 슬리브(20)와 압착 스페이서(30)의 결합방법은 어느 방법이건 무방하나, 간단하게 결합과 분해를 할 수 있도록 스트로킹 슬리브(20)와 압착 스페이서(30)의 결합부위에 각각 나사산이 형성된 체결나사(21)(31)로 구성됨이 바람직하다.
매니폴더 캡(13)이 제거된 상태에서 글로브 박스 내부로부터 방전관 튜브 (4)를 안착할 수 있도록 매니폴더(10)로부터 압착 스페이서(30)까지 관통되는 방전관 튜브 안착홀(40)이 구비되며, 상기 방전관 튜브 안착홀(40)의 직경은 방전관(1)의 최대 직경보다 크게 구성된다.
도 5 및 도 6에 도시된 바와 같이, 방전관 튜브 안착홀(40)과 매니폴더(10) 사이에는, 압착 오링(60)이 위치함으로써, 압착 스페이서(30)의 상승에 의하여 상기 압착 오링(60)은 방전관 튜브 안착홀(40) 내 안착된 방전관 튜브(4)의 외주면과 밀착되어 매니폴더(10) 내에 기밀이 유지되도록 하는 역할을 한다.
압착 스페이서(30)의 상승 및 하강 작용은, 압착 스페이서(30)와 결합된 스트로킹 슬리브(20)와 매니폴더(10)를 연결하는 한쌍의 링크(50)에 의하여 이루어진다.
도 5에 도시된 바와 같이 링크(50)는 매니폴더(10)의 중심축에 서로 대칭되도록 위치하여 매니폴더(10)와 결합되는 레바 회전축(51), 스트로킹 슬리브(20)에 결합된 링크 고정축(53), L자형 레바(54) 및 링크 고정축(53)에 결합된 링크바(55)를 결합시키는 링크 회전축(52)으로 이루어지며, 상기 한쌍의 링크가 같은 힘을 받을 수 있도록 L자형 레바(54) 각각의 일단에 링크 연결바(56)가 결합된다.
도 5와 도 6에 도시된 바와 같이 사용자가 링크 연결바(56)를 하강시킴에 따라 L자형 레바(54)가 레바 회전축(51)을 힌지축으로 하여 일정각도 회전하면 링크바(55)가 중심축선 상에 놓이게 됨에 따라 링크 고정축(53)과 스트로킹 슬리브(20)가 상승하여 스트로킹 슬리브(20)와 결합된 압착 스페이서(30)가 상승하여 압착 오 링(60)을 가압함으로써 방전관 튜브(4)의 외주면과 맞닿아 기밀이 이루어지게 된다.
앞서 설명한 HID 램프 방전관 튜브 실링 장치(100)는, 글로브 박스의 본체(101)에 매니폴더에 구비된 플렌지(15)와의 체결에 의하여 결합되며, 글로브 박스 본체(101)와 매니폴더 플렌지(15) 사이에는 기밀을 유지하기 위하여 오링(17)이 구비되는 것이 바람직하다.
앞서 설명한 대로 본 발명의 가장 큰 특징은 고가의 Xe 개스 손실량을 최소화해서 경제성을 높이고, 진공불량인 방전관 튜브를 선별적으로 단속해서 작업성을 높이는 것이다. 도 8에 도시한 대로 진공공정 중 어느 한 방전관 튜브(4)의 진공불량으로 인해 전체 진공도가 불량하게 나타날 경우, 각각의 매니폴더(10)의 진공용 밸브(61)를 하나씩 닫았을 때 전체 진공도가 복원된다면 그 매니폴더 내부의 방전관튜브(4)가 진공불량인 것으로 판명되는 것이며 이 경우 그 매니폴더용 진공용 밸브(61)와 Xe 기체 인입용 밸브(62)만 닫게 되면 전체 공정을 중단함 없이 효율적으로 작업을 진행하게 되는 장점이 있다. 또한 도 8에서 알 수 있듯이 기체인입용 라인(12)과 기체인입용 밸브(62)를 통하여 Xe 개스를 주입하여 작업을 완료하면, 다음번 작업시 진공공정 중에 대기로 방출되어 손실되는 Xe 개스의 양이 진공용 밸브(61)와 기체인입용 밸브(62) 사이에 잔류했던 Xe 개스의 양으로 국한되게 되므로 고가의 Xe 개스 손실량을 극소화 할 수 있는 획기적인 장점이 있다.
본 발명에 따른 HID 램프 방전관 튜브 실링 장치(100)는 어느 방향이건 설치 가능하나 글로브 박스 전면에는 작업자용 글로브가 위치해 있고 작업자가 글로브를 통하여 글로브 박스 내에서 방전관에 발광물질과 전극을 장입하는 작업을 한 후 방전관 튜브(4)를 HID 램프 방전관 튜브 실링 장치의 방전관 튜브 안착홀(40)에 안착시키기 용이하도록 글로브 박스의 배면에 위치하는 것이 바람직하다. 특히 HID 램프 방전관 튜브 실링 장치가 배면에 수평으로 위치하는 경우 장입된 발광물질이 방전관 튜브 외부로 흩어질 수 있고, 배면에 수직으로 배치하는 경우는 글로브 박스 아래쪽에 위치한 진공펌프, 진공트랩 등 글로브 박스 부속 설비들로 인한 장애로 토치로 실링작업을 수행하는데 어려움이 있으므로 본 발명에 따른 글로브 박스의 측면도를 도시한 도 9에서와 같이 HID 램프 방전관 튜브 실링 장치(100)는 글로브 박스 본체 배면(108)과 글로브 박스 본체 바닥면(109)과 연결된 글로브 박스 본체 모서리 면(110)에 결합되는 것이 더욱 바람직하다.
HID 램프 방전관 튜브 실링 장치(100)는 작업 생산성을 위하여 하나 이상을 설치할 수 있으며, 작업자가 글로브 박스의 배면에서의 작업이 용이하도록 배면창(107)을 구비할 수 있다.
본 발명에 따른 HID 램프 제작용 글로브 박스에서의 HID 램프의 방전관의 제작방법은 다음과 같다.
글로브 박스의 보조 챔버를 통하여 HID 램프 제작용 글로브 박스 내에 전극, 발광물질인 금속 화합물, 일측에 전극이 고정되어 구비된 방전관 튜브(4)를 넣고 진공펌프를 이용하여 산소와 수분 등의 이물질을 제거하고 글로브 박스 내가 불활성 기체인 아르곤(Ar) 분위기 하에 있도록 한다. 이때에는 매니폴더 캡(13)이 매니폴더와 체결된 상태이며, 글로브 박스 내는 아르곤에 의한 약간의 양압이 걸리도록 한다.
방전관 튜브 내에 금속 화합물과 전극을 장입한 후 매니폴더 캡(13)을 열어 방전관 튜브 안착홀(40)로 방전관 튜브가 열린 방향이 글로브 박스 내부 방향으로 위치하도록 방전관 튜브(4)를 밀어 넣어 실링위치(5)가 방전관 튜브 안착홀(40) 외부로 노출되도록 고정시킨다. 이때에는 앞서 언급한 바와 같이 글로브 박스 내(106)에는 불활성 기체에 의한 양압 상태이므로 매니폴더 캡을 연다 하여도 글로브 박스 내에서 방전관 튜브 안착홀(40)로 불활성 기체가 흐르게 되므로 방전관 튜브(4) 내는 외부 환경과는 접촉하지 않는다.
방전관 튜브(4)를 적절한 위치에서 고정시킨 후 링크(50)를 이용하여 압착 스페이서(30)를 상승시켜 압착 오링(60)과 방전관 튜브(4)가 밀착되어 기밀이 유지되도록 한 후에 진공라인(11)과 기체공급 라인(12)을 통하여 진공과 Xe 등의 불활성 기체의 인입을 반복한 후 최종적으로 Xe 등 불활성 기체를 방전관 튜브 내에 채운 후 실링위치를 토치의 불꽃을 이용하여 직접 실링하여 HID 램프의 방전관의 제작을 완료한다.
한편, 상기의 실시예는 본 발명에 의한 HID 램프 제작용 글로브 박스의 작동 구조 이해를 용이하게 하기위한 바람직한 일 실시시예를 설명한 것이며, 본 발명의 작동원리에서 벗어남이 없이 실시가능한 모든 실시예와 실시예의 수정은 본 발명의 권리범위에 포함된다.
본 발명에 따른 HID 램프 제작용 글로브 박스 내에서 방전관 튜브에 금속 화 합물과 전극을 장입한 후 글로브 박스 외부의 분리된 매니폴더로 옮겨 실링 작업하지 않고, 방전관 실링장치가 결합된 글로브 박스에서 직접 실링 작업을 함으로서 방전관의 제조공정이 간편하고, 종래의 제조방법에서 존재하던 임시 캡의 제거 시 외기에의 노출로 인한 외부 공기와 수분에 노출에 따른 램프의 성능 저하를 방지할수 있는 장점이 있다. 또한 본 발명의 진공라인과 기체인입라인의 구성 특성 상, 고가의 Xe 개스 손실량을 극소화 할 수 있어서 경제성을 높일 수 있으며, 진공불량인 방전관 튜브를 선별적으로 단속할 수 있어서 작업의 효율성을 높일 수 있다.
Claims (3)
- HID 램프 방전관 제조용 글로브 박스에 있어서,진공라인(11), 불활성 기체 인입라인(12) 및 매니폴더 캡(13)이 구비된 매니폴더(10);상기 매니폴더의 일단의 외주면에 위치하여 원통형으로 구비되는 스트로킹 슬리브(20);매니폴더와 일정 간극(32)(33)을 두도록 위치하여 스트로킹 슬리브와 결합된 압착 스페이서(30);상기 매니폴더로부터 압착 스페이서까지 관통되는 방전관 튜브 안착홀(40);상기 매니폴더와 스트로킹 슬리브를 결합시키는 링크(50);및 상기 링크의 회전작용에 의하여 압착 스페이서와 스트로킹 슬리브의 상승에 따라 램프관 외주면과 매니폴더 사이에 기밀이 유지되도록 하는 압착 오링(60);으로 이루어진 HID 램프 방전관 튜브 실링 장치(100)를 하나 이상 구비하는 것을 특징으로 하는 HID 램프 제조용 글로브 박스.
- 제 1항에 있어서,HID 램프 방전관 제작용 글로브 박스 내에서 방전관 튜브(4)에 전극과 발광 물질을 장입한 후, HID 램프 방전관 제작용 글로브 박스에 결합된 HID 램프 방전관 실링 장치(100)의 방전관 튜브 안착홀(40) 내에 방전관 튜브(4)가 안착된 상태에서 실링위치에 직접 실링하는 것을 특징으로 하는 HID 램프의 방전관의 제조방법.
- 제 1항에 있어서,각각의 방전관 튜브(4) 제작용 매니폴더(10)에 진공용 밸브(61)와 기체인입용 밸브(62)를 별도로 설치하여, 진공공정 중에 전체진공도가 불량할 경우 각 매니폴더의 진공밸브를 닫아서 전체 진공도가 복원됨을 확인함을 통하여 진공불량인 방전관 튜브를 선별적으로 단속할 수 있고, 또한 잔류하는 Xe 개스를 진공밸브(61)와 기체인입용 밸브(62) 사이에 국한시켜서 고가의 Xe 개스 손실량을 극소화함을 특징으로 하는 HID 램프 제조용 글로브박스.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020050012112A KR20060091732A (ko) | 2005-02-15 | 2005-02-15 | 제논(Xe) 개스 절약 및 진공불량 방전관튜브 선별단속형 HID 램프제조용 글로브박스 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020050012112A KR20060091732A (ko) | 2005-02-15 | 2005-02-15 | 제논(Xe) 개스 절약 및 진공불량 방전관튜브 선별단속형 HID 램프제조용 글로브박스 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR20060091732A true KR20060091732A (ko) | 2006-08-22 |
Family
ID=37593410
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1020050012112A KR20060091732A (ko) | 2005-02-15 | 2005-02-15 | 제논(Xe) 개스 절약 및 진공불량 방전관튜브 선별단속형 HID 램프제조용 글로브박스 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR20060091732A (ko) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100815466B1 (ko) * | 2007-04-18 | 2008-03-20 | (주)엠오텍 | 승강장치가 구비된 글로브 박스 |
| KR100850746B1 (ko) * | 2007-04-18 | 2008-08-06 | (주)엠오텍 | 세라믹 아크튜브 제작용 글로브박스 |
-
2005
- 2005-02-15 KR KR1020050012112A patent/KR20060091732A/ko not_active Application Discontinuation
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| KR100815466B1 (ko) * | 2007-04-18 | 2008-03-20 | (주)엠오텍 | 승강장치가 구비된 글로브 박스 |
| KR100850746B1 (ko) * | 2007-04-18 | 2008-08-06 | (주)엠오텍 | 세라믹 아크튜브 제작용 글로브박스 |
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