CN117238735A - 除气装置、系统及方法 - Google Patents

Abstract

本申请属于材料除气装置技术领域，尤其是涉及一种除气装置、系统及方法。该除气装置包括腔体、第一电极、电气密封组件以及载物板；腔体设置有第一接口及第二接口；电气密封组件连接于腔体并密封第一接口，电气密封组件设置为能够接入第一电源以在腔体内产生电子束；载物板设置于腔体内并与电气密封组件间隔设置，第一电极经由第二接口连接于载物板，第一电极用于接入第二电源。该除气装置采用电子束轰击除气的方式，除气效果更佳。

Description

除气装置、系统及方法

技术领域

本申请属于材料除气装置技术领域，尤其是涉及一种除气装置、系统及方法。

背景技术

随着集成电路技术的快速发展，其对整个产业链中的设备技术和工艺方法提出了更高的要求。电子显微镜作为其产业链上的重要一环，尤其是真空对其正常运行起着非常重要的作用。为了使电子显微镜的电子束中的电子尽量不受阻碍地移动，电子显微镜的真空度通常需要达到高真空，甚至超高真空；电子显微镜工作时，整个电子束路径与待分析的样品一起都会置于高真空的环境，如果真空度不够高，电子枪的栅极与阳极间可能会产生极间放电进而烧断灯丝，电子束与残留空气粒子发生碰撞还会导致散射，这种散射会导致电子束中的电子无法到达样品，或者分析失真。

对于电子显微镜所需真空环境而言，材料的放气是真空环境中的主要气源。目前，主要通过加热手段以对置于真空环境的零部件进行加热除气，以降低材料中的含气量，然而这种除气效果较差。

发明内容

本申请提供了一种除气装置、系统及方法，以解决现有加热除气效果较差的技术问题。

根据本申请的一个方面，提供了一种除气装置，包括腔体、第一电极、电气密封组件以及载物板；腔体设置有第一接口及第二接口；电气密封组件连接于腔体并密封第一接口，电气密封组件设置为能够接入第一电源以在腔体内产生电子束；载物板设置于腔体内并与电气密封组件间隔设置，第一电极经由第二接口连接于载物板，第一电极用于接入第二电源。

在本申请可选的方案中，电气密封组件包括密封件、第二电极以及电子束发射源；密封件连接于腔体并盖合第一接口，第二电极连接于密封件并用于接入第一电源，电子束发射源连接于第二电极并位于腔体内，以在腔体内产生电子束。

在本申请可选的方案中，腔体还设有第四接口；除气装置还包括观察窗，观察窗活动连接于腔体以开合第四接口。

在本申请可选的方案中，除气装置还包括多个绝缘支撑件，多个绝缘支撑件连接于腔体并位于腔体内；载物板连接于多个绝缘支撑件。

在本申请可选的方案中，腔体还设置有第三接口，第三接口用于连接外部气路。

根据本申请的另一个方面，提供了一种除气系统，包括第一排气管路、第二排气管路、进气管路以及上述的除气装置；第一排气管路、第二排气管路以及进气管路均经由第三接口连通于腔体。

在本申请可选的方案中，第二排气管路包括第三泵；进气管路连通气源并设有第四阀，第四阀用于通断进气管路。

在本申请可选的方案中，第一排气管路包括主气路以及分支气路；主气路设置有依次布置的第三阀、第二泵以及第一泵，第三阀位于腔体与第二泵之间；分支气路的一端连接于主气路在第二泵与第一泵之间、另一端连接于腔体，且分支气路设置有依次布置的第二阀以及第一阀，第二阀相对第一阀靠近腔体设置。

根据本申请的又一个方面，提供了一种除气方法，根据上述的除气系统实现并包括：

在工件除气完成的情况下，让第一泵、第二泵维持开启，关闭第三阀、第二排气管路、第一电源及第二电源；

开启进气管路以对腔体破真空，直至腔体内的压力达到开启条件下；

关闭进气管路并打开腔体，以取出已除气的工件并放入待除气的工件后，密封腔体。

在本申请可选的方案中，在确认工件除气完成的情况下，让第一泵、第二泵维持开启，关闭第三阀、第二排气管路、第一电源及第二电源之前，还包括：

在除气系统上电后首次除气的情况下，将工件置于腔体内后密封腔体；

开启第一泵及第三阀，经由主气路以对腔体进行第一阶段抽真空，直至腔体内的压力达到第一预设压力；

开启第二泵以对腔体进行第二阶段抽真空，直至腔体内的压力达到第二预设压力；

开启第二排气管路以对腔体进行第三阶段抽真空，直至腔体内的压力达到第三预设压力；

开启第一电源及第二电源以对工件除气，第二电源的电压高于第一电源的电压。

在本申请可选的方案中，在确认工件除气完成的情况下，让第一泵、第二泵维持开启，关闭第三阀、第二排气管路、第一电源及第二电源之前，还包括：

在除气系统上电后非首次除气的情况下，开启第一阀及第二阀，让第一泵经由分支气路以对腔体第一阶段抽真空，直至腔体内的压力达到第一预设压力；

开启第三阀、并关闭第一阀及第二阀，让第二泵经由主气路对腔体第二阶段抽真空，直至腔体内的压力达到第二预设压力；

开启第二排气管路以对腔体第三阶段抽真空，直至腔体内的压力达到第三预设压力；

开启第一电源及第二电源以对工件除气。

综上所述，本申请提供的除气装置、系统及方法至少具有以下有益效果：

在本申请提供的除气装置中，第一电极连接载物板以连接第二电源，电气密封组件连接第一电源以用于产生电子束，并且第二电源的电压高于第一电源，以在载物板与电气密封组件形成电场以加速电子束，使得电子束轰击载物板上的工件。即，该除气装置采用电子束轰击除气的方式，除气效果更佳。

附图说明

为了更清楚地说明本申请具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍。显而易见地，下面描述中的附图是本申请的一些实施方式，对于本领域的技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为根据本申请其中一个实施例提供的除气系统的示意图简图；

图2为根据本申请其中一个实施例提供的除气装置的示意简图；

图3为根据本申请其中一个实施例提供的除气装置的装配图；

图4为根据本申请其中一个实施例提供的除气装置的爆炸图；

图5为根据本申请其中一个实施例提供的除气方法的步骤框图之一；

图6为根据本申请其中一个实施例提供的除气方法的步骤框图之二；

图7为根据本申请其中一个实施例提供的除气方法的步骤框图之三。

附图标记如下：

100、除气装置；101、第一密封垫；102、第二密封垫；103、104、顶丝；105、106、107、螺钉；

10、腔体；11、第一接口；12、第二接口；13、第三接口；14、第四接口；15、第五接口；

20、第一电极；

30、电气密封组件；31、密封件；32、第二电极；33、电子束发射源；

40、载物板；

50、观察窗；51、窗架；52、窗门；53、锁止件；D、透明窗口；

60、绝缘支撑件；

200、第一排气管路；210、主气路；211、第一泵；212、第二泵；213、第三阀；220、分支气路；221、第一阀；222、第二阀；

300、第二排气管路；301、第三泵；

400、进气管路；401、第四阀；

500、压力检测装置。

具体实施方式

在本申请的描述中，需要理解的是，如出现术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示方位或位置关系的描述，若无特殊的说明，则理解为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。

另外，如出现限定有“第一”、“第二”仅用于描述目的的特征，不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该被限定的特征。如出现“多个”的描述，一般含义是至少包括两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。

在本申请中，除非另有明确的规定和限定，如出现“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语，应做广义理解。例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接，可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。

在本说明书的描述中，如出现术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等，意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本申请的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不必须针对的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。此外，在不相互矛盾的情况下，本领域的技术人员可以将本说明书中描述的不同实施例或示例以及不同实施例或示例的特征进行结合和组合。

图1为根据本申请其中一个实施例提供的除气系统的示意图简图。请参阅图1，该除气系统包括除气装置100、第一排气管路200、第二排气管路300、进气管路400。

图2为根据本申请其中一个实施例提供的除气装置100的示意简图，图3为根据本申请其中一个实施例提供的除气装置100的装配图，图4为根据本申请其中一个实施例提供的除气装置100的爆炸图。请参阅图2至图4，该除气装置100包括腔体10、第一电极20、电气密封组件30以及载物板40。腔体10设有第一接口11及第二接口12。

应理解地，腔体10内为空腔，第一接口11及第二接口12均连通于空腔，对密封状态下的腔体10进行抽真空即可在空腔内形成真空环境。在图示实施例中，该腔体10的主体部分为圆柱形，主体部分的轴向一端为第一接口11，另外，该主体部分的周壁朝外伸出有三个管路，其中一个管路形成为第二接口12。

电气密封组件30连接于腔体10并密封第一接口11，电气密封组件30设置为能够接入第一电源以在腔体10内产生电子束。在本实施例中，电气密封组件30设置在第一接口11位置处并且部分伸入于腔体10中，电气密封组件30主要有两个作用，其一，用于密封腔体10；其二，接入电源以在腔体内产生电子束。

载物板40设置于腔体10内并与电气密封组件30间隔设置，第一电极20经由第二接口12连接于载物板40，第一电极20用于接入第二电源。需要说明的是，在通电状态下，第二电源的电压高于第一电源的电压。

在本实施例中，载物板40用于承放待除气的工件，载物板40与第一电极20处于同一电压并高于电气密封组件30处的电压，在载物板40与电气密封组件30均通电的情况下，电气密封组件30持续产生电子以形成电子束，并且在载物板40与电气密封组件30之间形成有电场，以加速电子束朝向载物板40移动，进而轰击位于载物板40上的工件。

可见，在本申请提供的除气装置中，采用电子轰击除气方式，电子轰击工件表面或孔隙中的气体分子，使得气体分子收到能量传递并被激发或解离，从而脱附离开工件表面，以达到除气目的。相较于传统加热除气方法，电子轰击除气方式更高效，可在短时间内达到理想的除气效果。

由上述可知，第一电源为低压电源，第二电源为高压电源。在具体应用中，低压电源的大约几伏特，高压电源为几千伏特，二者差距巨大。

在图4所示实施例中，第一电极20为真空电极，真空电极为一种在真空环境中工作的电极，其设有密封电气接口以与第二接口12对接并密封第二接口12，以确保腔体10的密封性，真空电极的导线柱穿过第二接口12连接于载物板40。

在具体应用中，在密封电气接口与第二接口12之间设有第一密封垫101，以避免真空电极的密封电气接口与第二接口12相接处漏气，保证相接处能够承受较大压力。密封电气接口与第二接口12通过螺钉105相连并将第一密封垫101夹设在二者之间。真空电极的导线柱与载物板40通过顶丝103进行固定，确保真空电极的导线柱与载物板40可靠连接，防止真空电极与载物板40之间因接触不良而出现打火现象。当然，第一电极20并不局限于真空电极，带有密封接口功能的电极即可。

在进一步可选的实施例中，电气密封组件30包括密封件31、第二电极32以及电子束发射源33。密封件31连接于腔体10并盖合第一接口11，第二电极32连接于密封件31并用于接入第一电源，电子束发射源33连接于第二电极32并位于腔体内，以在腔体10内产生电子束。

在本实施例中，密封件31用于密封第一接口11，以确保腔体10密封，第二电极32用于将外部的第一电源接入电子束发射源33，以给电子束发射源33供电进而产生电子。

在具体应用中，密封件31为馈电法兰，第二电极32为接线端子，电子束发射源33为灯丝。经由第二电极32接入的第一电源能够加热灯丝，使其发射大量的自由电子。灯丝包括例如钨丝、铼丝等。

请参阅图4，在一些可选的实施例中，腔体10还设有第四接口14。除气装置100还包括观察窗50，观察窗50活动连接于腔体10以开合第四接口14。

在本实施例中，观察窗50用于开合第四接口14，从而使得腔体10能够在密封状态及打开状态之间切换，在密封状态下能够对腔体10进行抽真空，在打开状态下能够经由第四接口14更换在载物板40上的工件。

请参阅图3，在进一步可选的实施例中，观察窗50设有透明窗口D。腔体10处于密封状态，通过透明窗口D即可观察到载物板40上的工件情况。

需要说明的是，电子束轰击于工件表面的过程中，电子束将一部分能量以热能形式传递给工件，工件升温，随着工件温度变高，表面出现发红现象，通过透明窗口D可观察到工件表面的颜色变化，从而确认工件除气情况。

请结合图3及图4，在图示实施例中，观察窗50包括窗架51、窗门52及锁止件53，窗架51连接于第四接口14，窗门52与窗架51枢转连接。第四接口14为从腔体10的主体部分周侧壁伸出的三个管路中口径最大者，便于取拿工件。

窗门52能够相对于窗架51枢转打开或枢转闭合，在枢转打开的情况下，第四接口14连通外界大气，腔体10处于打开状态，如此可上、下工件于载物板40上；在枢转闭合的情况下，锁止件53用于固定窗门52，此时可进行抽空真空。

另外，窗架51与第四接口14之间设有第二密封垫102，窗架51通过螺钉106进行固定并将第二密封垫102夹设在第四接口14与窗架51之间，通过第二密封垫102确保相接处密封性。

应理解地，可在窗门52上设置透明玻璃，以形成上述透明窗口D。在具体应用中，透明玻璃优先采用铅玻璃，避免电子轰击时产生的辐射危害工作人员。第一密封垫101及第二密封垫102均为铜密封垫片，以确保能够承受较高压力，特别是对于超高真空情况。

请参阅图4，在一些可选的实施例中，该除气装置100还包括过个绝缘支撑件60，多个绝缘支撑件60连接于腔体10并位于腔体10内，载物板40连接于多个绝缘支撑件60。

在本实施例中，通过在腔体10内设置绝缘支撑件60实现将载物板40固定安装于腔体10内，并且确保载物板40与腔体10绝缘。由前述可知，载物板40连接的第二电源为高压电源，通过绝缘支撑件60避免载物板40与腔体10通电，以确保该除气装置100的安全性。

在图4所示实施例中，该绝缘支撑件60呈柱状，其一端通过顶丝104连接于腔体10，另一端连接于载物板40并通过螺钉107进行固定。在具体应用中，该绝缘支撑件60为陶瓷柱，当然并不局限于此。

在一些可选的实施例中，该腔体10还设置有第三接口13，第三接口13用于连接外部气路。具体地，通过第三接口13对腔体10进行抽真空，以为电子束轰击除气提供真空环境，当然，工件除气完成后也是通过第三接口13进行泄压以破真空。对于本申请提供的除气系统，第一排气管路200、第二排气管路300以及进气管路400均经由第三接口13连通于腔体10。

在图示实施例中，第三接口13设置在腔体10的主体部分与第一接口11相对的轴向一端。

在一些可选的实施例中，该腔体10还设置有第五接口15，第五接口15为备用接口。在图示实施例中，第五接口15为从腔体10的主体部分周侧壁伸出的三个管路中的一者，并与第二接口12在腔体10的主体部分轴向上间隔设置，第五接口15相对于第二接口12靠近电气密封组件30。

在具体应用中，第一接口11、第二接口12、第三接口13、第四接口14以及第五接口15均设计为法兰接口。

在一些可选的实施例中，第二排气管路300包括第三泵301，进气管路400连通气源并设有第四阀401，第四阀401用于通断进气管路400。

在本实施例中，第三泵301作为第二排气管路300中的气体抽送设备，以对腔体10进行抽真空，启停第三泵301即为启停第二排气管路300。进气管路400可将气源与腔体10连通，并通过第四阀401控制气源与腔体10的通断，在满足条件的情况下可开启第四阀401以将气源与腔体10连通，以对腔体10破真空泄压。

在一些可选的实施例中，除气系统还包括压力检测装置500，压力检测装置500连接于腔体10。具体地，压力检测装置500用于检测腔体10中的真空压力，以用于确认腔体10内的压力是否满足相应预设压力。

在具体应用中，压力检测装置500包括例如真空规、空气压力计等，并可经由第五接口15与腔体10连通。

在一些可选的实施例中，第一排气管路200包括主气路210以及分支气路220。主气路210设置有依次布置的第三阀213、第二泵212以及第一泵211，第三阀213位于腔体10与第二泵212之间。

分支气路220的一端连接于主气路210在第二泵212与第一泵211之间、另一端连接于腔体10，且分支气路220设置有依次布置的第二阀222以及第一阀221，第二阀222相对第一阀221靠近腔体10设置。

在本实施例中，第一排气管路200用于对腔体10进行抽真空，第一泵211可经由主气路210或分支气路220以对腔体10进行抽真空，第二泵212仅可经由主气路210对腔体10进行抽真空。

第一阀221及第二阀222用于控制分支气路220的通断，第一阀221及第二阀222中的任一者处于关闭状态下，分支气路220处于断开状态，第一阀221及第二阀222均处于开启状态下，分支气路220处于开启状态。

第三阀213用于控制主气路210的通断，第三阀213处于关闭状态下，主气路210处于断开状态，第三阀213均处于开启状态下，主气路210处于开启状态。

在第三阀213处于关闭状态下、且在第一阀221及第二阀222中的至少一者处于关闭状态下，第一泵211及第二泵212均无法对腔体10进行抽真空。

图5为根据本申请其中一个实施例提供的除气方法的步骤框图之一。请参阅图5，该除气方法采用上述的除气系统实现并包括如下步骤。

步骤S31，在工件除气完成的情况下，让第一泵211、第二泵212维持开启，关闭第三阀213、第二排气管路300、第一电源及第二电源，第二电源的电压高于第一电源的电压；

步骤S32，开启进气管路400以对腔体10破真空，直至腔体10内的压力达到开启条件下；

步骤S33，关闭进气管路400并打开腔体10，以取出已除气的工件并放入待除气的工件后，密封腔体10。

可见，在本公开中，在上一工件进行除气完成后，不须关闭第一泵211及第二泵212，在更换工件的过程中，让第一泵211及第二泵212维持开启状态，如此避免频繁的开关第一泵211及第二泵212，延长第一泵211及第二泵212的使用寿命。

对于步骤S31，由前述可知，电子束轰击工件会使工件升温，在一些可选的实施例中，可通过观察窗50观察腔体10中的工件是否因高温发红以确认工件是否除气完成。或者，在另一些可选的实施例中，可通过获取工件温度以确认工件是否除气完成。

需要说明的是，对于步骤S32及步骤S33，在一些可选的实施例中，进气管路400的通断即由第四阀401切换，开启第四阀401即开启了进气管路400，使得气源与腔体10连通，从而对腔体10泄压。另外，气源提供的气体也能给工件进行降温。为了保护工件，优选气源为惰性气体气源，例如氮气等。应理解地，关闭第四阀401即关闭了进气管路400，使得气源与腔体10断开。

图6为根据本申请其中一个实施例提供的除气方法的步骤框图之二。请参阅图6，在一些可选的实施例中，在步骤S31之前还包括以下步骤。

步骤S11，在除气系统上电后首次除气的情况下，将工件置于腔体10内后密封腔体10；

步骤S12，开启第一泵211及第三阀213，经由主气路210以对腔体10进行第一阶段抽真空，直至腔体10内的压力达到第一预设压力；

步骤S13，开启第二泵212以对腔体10进行第二阶段抽真空，直至腔体10内的压力达到第二预设压力；

步骤S14，开启第二排气管路300以对腔体10进行第三阶段抽真空，直至腔体10内的压力达到第三预设压力；

步骤S15，开启第一电源及第二电源以对工件除气。

在本实施例中，步骤S11至步骤S15为该除气系统上电后对首个工件进行除气的流程，即这些步骤针对上电后首次除气的情况。需要说明的是，该除气系统下电后，第一泵211、第二泵212、第三阀213、第一阀221、第二阀222、第三泵301、第四阀401均处于关闭状态。

由于在步骤S11至步骤S15中，均未开启第一阀221及第二阀222，所以在步骤S31之后，第一阀221、第二阀222及第三阀213均处于关闭状态，尽管第一泵211及第二泵212维持开启状态，但主气路210及分支气路220均没有连通腔体10，第一泵211及第二泵212处于空作业状态，并不会影响破真空及工件更换。

图7为根据本申请其中一个实施例提供的除气方法的步骤框图之三。请参阅图7，在另一些可选的实施例中，在步骤S31之前还包括以下步骤。

步骤S21，在除气系统上电后非首次除气的情况下，开启第一阀221及第二阀222，让第一泵211经由分支气路220以对腔体10第一阶段抽真空，直至腔体10内的压力达到第一预设压力；

步骤S22，开启第三阀213、并关闭第一阀221及第二阀222，让第二泵212经由主气路210对腔体10第二阶段抽真空，直至腔体10内的压力达到第二预设压力；

步骤S23，开启第二排气管路300以对腔体10第三阶段抽真空，直至腔体10内的压力达到第三预设压力；

步骤S24，开启第一电源及第二电源以对工件除气。

在本实施例中，步骤S21至步骤S24为上电后除首个工件外的其它工件的除气流程，即这些步骤针对上电后非首次除气的情况下。由上述步骤S33可知，除气完成之后，腔体10内已经更换有待除气的工件。因而可跳转至步骤S21直接进行第一阶段抽真空，如此循环以对多个工件一一除气。

由前述可知，在上电后首次除气的情况下下，第一阶段抽真空经由主气路210实现。在本实施例中，即在上电后非首次除气的情况下中，第一阶段抽真空经由分支气路220实现。

另外，由于在步骤S22中关闭了第一阀221及第二阀222，所以在步骤S31之后，第一阀221、第二阀222及第三阀213均处于关闭状态。即，主气路210及分支气路220均没有连通腔体10，第一泵211及第二泵212处于空作业状态，并不会影响破真空及工件更换。

在上述这些实施例中，第一预设压力大于第二预设压力，第二预设压力大于第三预设压力，即第三预设压力最小，此时腔体10所对应的真空度最高。在一些可选的实施例中，通过压力检测装置500获取腔体10内的压力。

在上述这些实施例中，取放工件于腔体10可经由观察窗50及第四接口14，工件置于载物板40上。第二排气管路300的通断由第三泵301的启停控制，开启第三泵301即开启了第二排气管路300，相应地，停止第三泵301即关闭了第二排气管路300。

可见，在本申请公开的方法中，通过第一泵211、第二泵212以及第三泵301实现对腔体10进行三阶段抽真空，以使得腔体10的真空度达到超高真空，避免因腔体10真空度较差而导致电子束散射，甚至烧坏电子束发射源。即达到开启第一电源及第二电源的条件，以使得电子束发射源33产生电子，进而对工件进行电子束轰击除气。

在具体应用中，第一泵211为干泵，第二泵212为分子泵，第三泵301为离子泵。第一阀221、第二阀222及第三阀213均为角阀，第四阀401为手阀，当然并不局限于此，可根据需求调整。

综上所述，在本申请提供的方法中，对多个工件一一除气的情况下，可不关闭第一泵211及第二泵212的情况下，对腔体10破真空以及更换腔体10内的工件，减少第一泵211及第二泵212的开关次数，提升使用寿命。特别地，在第二泵212为分子泵的情况下，分子泵成本较高，如此利于降低成本。

尽管上面已经示出和描述了本申请的实施例，可以理解的是，上述实施例是示例性的，不能理解为对本申请的限制，本领域的技术人员在本申请的范围内可以对上述实施例进行变化、修改、替换和变型。

Claims (11)

1.一种除气装置，其特征在于，包括腔体、第一电极、电气密封组件以及载物板；

所述腔体设置有第一接口及第二接口；

所述电气密封组件连接于所述腔体并密封所述第一接口，所述电气密封组件设置为能够接入第一电源以在所述腔体内产生电子束；

所述载物板设置于所述腔体内并与所述电气密封组件间隔设置，所述第一电极经由所述第二接口连接于所述载物板，所述第一电极用于接入第二电源。

2.根据权利要求1所述的除气装置，其特征在于，

所述电气密封组件包括密封件、第二电极以及电子束发射源；

所述密封件连接于所述腔体并盖合所述第一接口，所述第二电极连接于所述密封件并用于接入所述第一电源，所述电子束发射源连接于所述第二电极并位于所述腔体内，以在所述腔体内产生电子束。

3.根据权利要求1所述的除气装置，其特征在于，

所述腔体还设有第四接口；

所述除气装置还包括观察窗，所述观察窗活动连接于所述腔体以开合所述第四接口。

4.根据权利要求1所述的除气装置，其特征在于，所述除气装置还包括多个绝缘支撑件，多个所述绝缘支撑件连接于所述腔体并位于所述腔体内；

所述载物板连接于多个所述绝缘支撑件。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的除气装置，其特征在于，所述腔体还设置有第三接口，所述第三接口用于连接外部气路。

6.一种除气系统，其特征在于，所述除气系统包括第一排气管路、第二排气管路、进气管路以及根据权利要求5中所述的除气装置；

所述第一排气管路、所述第二排气管路以及进气管路均经由所述第三接口连通于所述腔体。

7.根据权利要求6所述的除气系统，其特征在于，

所述第二排气管路包括第三泵；

所述进气管路连通气源并设有第四阀，所述第四阀用于通断所述进气管路。

8.根据权利要求6或7所述的除气系统，其特征在于，

所述第一排气管路包括主气路以及分支气路；

所述主气路设置有依次布置的第三阀、第二泵以及第一泵，所述第三阀位于所述腔体与所述第二泵之间；

所述分支气路的一端连接于所述主气路在所述第二泵与所述第一泵之间、另一端连接于所述腔体，且所述分支气路设置有依次布置的第二阀以及第一阀，所述第二阀相对所述第一阀靠近所述腔体设置。

9.一种除气方法，其特征在于，根据权利要求8所述的除气系统实现并包括：

在工件除气完成的情况下，让所述第一泵、所述第二泵维持开启，关闭第三阀、所述第二排气管路、所述第一电源及所述第二电源；

开启所述进气管路以对所述腔体破真空，直至所述腔体内的压力达到开启条件下；

关闭所述进气管路并打开所述腔体，以取出已除气的工件并放入待除气的工件后，密封所述腔体。

10.根据权利要求9所述的除气方法，其特征在于，所述在确认工件除气完成的情况下，让所述第一泵、所述第二泵维持开启，关闭第三阀、所述第二排气管路、所述第一电源及所述第二电源之前，还包括：

在除气系统上电后首次除气的情况下，将工件置于所述腔体内后密封所述腔体；

开启所述第一泵及所述第三阀，经由所述主气路以对所述腔体进行第一阶段抽真空，直至所述腔体内的压力达到第一预设压力；

开启所述第二泵以对所述腔体进行第二阶段抽真空，直至所述腔体内的压力达到第二预设压力；

开启所述第二排气管路以对所述腔体进行第三阶段抽真空，直至所述腔体内的压力达到第三预设压力；

开启所述第一电源及所述第二电源以对工件除气，所述第二电源的电压高于所述第一电源的电压。

11.根据权利要求9所述的除气方法，其特征在于，所述在确认工件除气完成的情况下，让所述第一泵、所述第二泵维持开启，关闭第三阀、所述第二排气管路、所述第一电源及所述第二电源之前，还包括：

在除气系统上电后非首次除气的情况下，开启所述第一阀及所述第二阀，让所述第一泵经由所述分支气路以对所述腔体第一阶段抽真空，直至所述腔体内的压力达到第一预设压力；

开启所述第三阀、并关闭所述第一阀及所述第二阀，让所述第二泵经由所述主气路对所述腔体第二阶段抽真空，直至所述腔体内的压力达到第二预设压力；

开启所述第二排气管路以对所述腔体第三阶段抽真空，直至所述腔体内的压力达到第三预设压力；

开启所述第一电源及所述第二电源以对工件除气。