KR20060083644A - 액정 표시 장치용 검사 장치 및 그 방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명에 따른 액정 표시 장치용 검사 장치는 복수개의 프로브 유니트, 프로브 유니트에 다채널의 신호를 인가하는 다채널 신호 발생기를 포함하고, 프로브 유니트는 복수개의 프로브 및 그 사이에 개재되어 있는 절연 물질로 이루어지는 것이 바람직하다. 따라서, 본 발명에 따른 액정 표시 장치용 검사 장치 및 그 방법은 수개의 프로브를 묶어서 검사함으로써 인접 신호간의 쇼트를 검출할 수 있다. 또한, 쇼팅 바 방식에 비해 저항이 적으므로 완성된 액정 표시 장치와 거의 동등한 신호를 발생시켜 검사할 수 있으므로 카메라를 이용한 자동검사에 충분한 화질을 얻을 수 있다. 또한, 적외선 카메라를 이용하여 신호선의 불량에 의한 전류의 이상에 의해 유발되는 적외선의 변동을 감지함으로써 불량 위치를 정확하게 검출한다.
액정표시장치, 쇼팅바, 프로브, 다채널신호발생기, 적외선카메라

Description

액정 표시 장치용 검사 장치 및 그 방법{TEST APPARATUS AND METHOD FOR LIQUID CRYSTAL DISPLAY}
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 액정 표시 장치용 검사 장치의 사시도이고,
도 2는 도 1의 액정 표시 장치용 검사 장치를 이용하여 목시 검사를 진행하는 상태를 도시한 사시도이고,
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 액정 표시 장치용 검사 장치를 이용한 검사 방법의 순서도이고,
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 액정 표시 장치용 검사 장치를 이용한 검사 방법에 의해 검출된 불량 셀에 리페어 공정을 진행한 상태의 셀의 단면도이고,
도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 검사 장치의 도면이고,
도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 검사 장치를 이용하여 검사하는 방법을 순서대로 도시한 도면이다.
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>
50: 다채널 신호 발생기 60: 프로브 유니트
60a: 홀
본 발명은 액정 표시 장치용 검사 장치 및 그 방법에 관한 것이다.
액정 표시 장치는 현재 가장 널리 사용되고 있는 평판 표시 장치 중 하나로서, 전계 생성 전극이 형성되어 있는 두 장의 표시판과 그 사이에 삽입되어 있는 액정층으로 이루어져, 전극에 전압을 인가하여 액정층의 액정 분자들을 재배열시킴으로써 액정층을 통과하는 빛의 투과율을 조절하는 표시 장치이다.
액정 표시 장치 중에서도 현재 주로 사용되는 것은 전계 생성 전극이 두 표시판에 각각 구비되어 있는 것이다. 이중에서도 한 표시판에는 복수의 화소 전극이 행렬의 형태로 배열되어 있고 다른 표시판에는 하나의 공통 전극이 표시판 전면을 덮고 있는 구조의 액정 표시 장치가 주류이다. 이 액정 표시 장치에서의 화상의 표시는 각 화소 전극에 별도의 전압을 인가함으로써 이루어진다. 이를 위해서 화소 전극에 인가되는 전압을 스위칭하기 위한 삼단자 소자인 박막 트랜지스터를 각 화소 전극에 연결하고 이 박막 트랜지스터를 제어하기 위한 신호를 전달하는 게이트선과 화소 전극에 인가될 전압을 전달하는 데이터선을 표시판에 설치한다.
액정 표시 장치의 불량을 검사하기 위해서 비주얼 인스펙션(visual inspection)을 실시하게 된다.
액정 표시 장치가 고집적화됨에 따라 신호선 사이의 간격이 줄어들게 되고, 줄어든 간격에 대응하는 정교한 프로브를 핀 투 핀(pin to pin) 방식으로 신호선에 접촉시키는 경우에 정렬 오차에 의한 접촉 불량의 문제가 발생하게 된다.
이를 방지하기 위해 쇼팅 바(shorting bar)로 게이트선을 2개의 블록으로, 데이터선을 3개의 블록별로 따로 묶어 분리하여 유사한 구동 조건으로 비주얼 인스펙션을 진행한다. 그리고, 쇼팅 바를 통해 검사를 진행한 후, 레이저를 사용하여 쇼팅 바와 배선의 연결을 끊는다.
그러나, 이 경우, 에지 그라인딩(edge grinding)이 되지 않은 상태에서 반송되므로 먼지 또는 이물에 의한 불량을 유발하며, 쇼팅 바로 복수개의 신호선을 묶어서 신호를 인가하므로 매우 큰 저항에 의해 불균일한 구동을 초래하는 문제점이 있다. 또한, 액정 표시 장치의 상하부 기판이 부착된 상태에서 비주얼 인스펙션이 진행되므로 별도의 리페어(repair) 방법이 없다.
한편, CCD 카메라 또는 지정된 문턱 전압을 이용하여 신호선의 이상 유무를 검사하거나, 전기적인 신호를 이용하여 단락 유무를 검사하거나, 전기장 감지 센서를 이용하여 단락 유무를 검사하였다.
그러나, 카메라를 이용한 검사는 결함부분이 작은 경우에는 부적당하고, 전기적인 방법은 오픈 외에는 검사하기 어렵고, 전기장을 이용하는 방법은 전기장의 미세한 기울기로 검사하기 어렵다.
본 발명의 기술적 과제는 검사 기능이 향상된 액정 표시 장치용 검사 장치 및 그 방법을 제공하는 것이다.
본 발명에 따른 액정 표시 장치용 검사 장치는 복수개의 프로브 유니트, 상기 프로브 유니트에 다채널의 신호를 인가하는 다채널 신호 발생기를 포함하고, 상기 프로브 유니트는 복수개의 프로브 및 그 사이에 개재되어 있는 절연 물질로 이루어지는 것이 바람직하다.
또한, 상기 복수개의 프로브는 상기 절연 물질에 형성된 홀에 프로브 블록으로 연결되는 것이 바람직하다.
또한, 상기 프로브 블록에는 동일한 신호가 인가되는 것이 바람직하다.
또한, 본 발명에 따른 액정 표시 장치용 검사 방법은 상하부 기판이 부착된 모기판을 복수개의 셀로 절단하는 단계, 상기 절단된 셀의 단부를 그라인딩하는 단계, 복수개의 프로브 유니트, 상기 프로브 유니트에 다채널의 신호를 인가하는 다채널 신호 발생기를 포함하고, 상기 프로브 유니트는 복수개의 프로브 및 그 사이에 개재되어 있는 절연 물질로 이루어지는 검사 장치를 이용하여 목시 검사하는 단계, 상기 목시 검사에 의해 불량 셀로 판정된 경우에는 리페어 공정을 진행하는 단계, 상기 리페어 공정이 완료된 셀에 편광판을 부착하는 단계를 포함하는 것이 바람직하다.
또한, 상기 리페어 공정은 이물질이 위치하는 화소에 광 차단막을 부착하는 것이 바람직하다.
또한, 본 발명에 따른 액정 표시 장치용 검사 장치는 기판 위의 복수개의 신호선에 테스트 전압을 인가하는 신호 발생기, 상기 신호 발생기의 테스트 전압에 의한 전류에 의해 유발되는 적외선을 감지하는 적외선 카메라를 포함하는 것이 바 람직하다.
또한, 상기 신호선의 쇼트 또는 오픈 부분에서는 이상 전류에 의해 이상 적외선이 검출되는 것이 바람직하다.
그러면, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 본 발명의 실시예에 대하여 첨부한 도면을 참고로 하여 상세히 설명한다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다.
이제 본 발명의 실시예에 따른 액정 표시 장치용 검사 장치 및 그 방법 및 그 제조 방법에 대하여 도면을 참고로 하여 상세하게 설명한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 액정 표시 장치용 검사 장치의 사시도이고, 도 2는 도 1의 액정 표시 장치용 검사 장치를 이용하여 목시 검사를 진행하는 상태를 도시한 사시도이다.
도 1 및 도 2에 도시한 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 액정 표시 장치용 검사 장치는 복수개의 프로브 유니트(probe unit)(60) 및 다채널 신호 발생기(50)를 포함한다.
프로브 유니트(60)는 복수개의 프로브(61) 및 그 사이에 개재되어 있는 절연 물질(62)로 이루어진다. 그리고, 복수개의 프로브(61) 각각에는 복수개의 홀(60a)이 형성되어 있으며, 이러한 홀(60a)을 통해 연결된 프로브(61)에는 동일한 신호가 인가된다.
즉, 프로브 유니트(60)의 복수개의 프로브 중 3개 또는 6개 등의 신호만큼 묶인 프로브 블록(probe block)에는 동일한 신호를 인가한다. 예컨대, 데이터선을 3개의 신호로 묶을 경우에는 3개의 홀이 형성되고, 프로브 유니트에는 각각의 홀에 의해 연결된 3개의 프로브 블록이 형성된다. 또한, 데이터선을 6개의 신호로 묶을 경우에는 6개의 홀이 형성되고, 프로브 유니트에는 각각의 홀에 의해 연결된 6개의 프로브 블록이 형성된다.
이러한 프로브 유니트(60)는 채널의 수와 홀의 수의 곱만큼의 프로브로 이루어지는 것이 바람직하며, 프로브 유니트(60)의 프로브의 수는 액정 표시 장치의 TAB IC 블록에 해당하는 패드 수와 동일하다. 즉, SXGA(1280x1024의 해상도)의 경우에는 3840개의 패드가 형성되어 있고, TAB IC는 10개가 부착되므로, TAB IC 블록(D1 내지 D10)에 해당하는 패드 수는 384개가 된다. 따라서, 384개의 프로브로 된 프로브 유니트(60)가 사용된다.
프로브 유니트(60)는 다채널 신호 발생기(multi channel signal generator)와 연결선(65)을 통해 연결된다.
설명의 편의를 위해, SXGA의 경우에 다채널 신호 발생기에서 서로 다른 64채널의 신호를 발생하여 384개의 프로브 및 64개의 홀을 가지는 프로브 유니트(60)에 신호를 인가하는 경우를 예로 들어 이하에서 설명한다.
이 때, 다채널 신호 발생기에서 발생한 제1 채널 신호는 제1 홀을 통해 연결된 6개의 프로브를 통해 액정 표시 장치의 6개의 패드에 인가된다. 동일하게 제2 채널 신호도 제2 홀을 통해 연결된 6개의 프로브를 통해 액정 표시 장치의 6개의 패드에 인가된다. 또한, 나머지의 채널 신호도 동일하다.
따라서, 제1 채널 신호는 제1 프로브, 제65 프로브, 제129 프로브, 제193 프로브, 제257 프로브 등 6개의 프로브에 인가된다. 이러한 6개의 프로브는 제1 프로브 블록을 형성한다. 동일하게 제2 채널 신호는 제2 프로브, 제66 프로브, 제130 프로브, 제194 프로브, 제258 프로브 등 6개의 프로브에 인가된다. 이러한 6개의 프로브는 제2 프로브 블록을 형성한다. 또한, 나머지 제3 내지 제64 채널 신호도 동일하며 제3 내지 제64 프로브 블록을 형성한다.
SXGA(1280x1024의 해상도)의 경우에, 3개의 신호로 데이터선을 묶는 경우에는 1280개의 데이터선을 묶어서 신호를 인가하므로, 매우 큰 저항에 의해 신호가 왜곡된다. 그러나, 3840개의 데이터선을 64개의 다채널 신호로 분리하면 60개의 데이터선을 묶어서 동일한 신호를 384개의 프로브로 데이터선의 패드에 직접 접촉하여 인가할 수 있으므로 RC 지연(delay)이 줄어 신호 왜곡을 줄일 수 있다.
또한, 신호 사이의 오픈 및 쇼트를 검사할 수 있으므로 목시 검사 외에 전기적인 검사도 가능하다.
또한, 프로브 유니트(60) 및 다채널 신호 발생기를 이용하여 인접한 신호를 비교할 수 있으므로, 모든 종류의 쇼트를 검출할 수 있다.
즉, 다채널 신호 발생기에서 발생한 64개 채널의 신호를 384개의 프로브를 가지는 프로브 유니트(60)에 인가하고, 이러한 프로브 유니트(60)를 액정 표시 장치의 3840개의 패드에 접촉시킨다.
이 때, 액정 표시 장치의 TAB IC 블록은 10개, TAB IC 블록 내의 패드 블록은 6개인 경우에, 프로브 유니트(60)를 접촉하면, 3840개의 패드 중 1번, 65번, 129번, 193번, 257번, 325번 등에 동일 신호가 걸린다.
따라서, 1번 및 2번, 2번 및 3번, 3번 및 4번, 4번 및 5번, 내지 3839번 내지 3840번 등 인접 신호간 쇼트를 검출할 수 있다.
또한, 1번 게이트선, 1번 유지전극선 또는 1번 데이터선간의 쇼트를 검출할 수 있고, 다채널 신호 발생기에 의해 쇼트 신호를 읽으면 불량 유무를 판단할 수 있다.
이와 같이, 프로브를 묶음으로써 인접 신호간의 쇼트를 검출할 수 있다.
또한, 쇼팅 바 방식에 비해 저항이 적으므로 완성된 액정 표시 장치와 거의 동등한 신호를 발생시켜 검사할 수 있으므로 카메라를 이용한 자동검사에 충분한 화질을 얻을 수 있다.
또한, 제품 구동과 목시 검사 호환이 가능하므로 언제든지 품질 수준, 불량률 및 검출 항목에 따라 검사기를 변경하지 않고 구동 방법을 변경하여 호환성있는 시스템을 구축할 수 있다. 즉, 종래의 모듈 테스트에서는 고정된 구동 조건만을 검사할 수 있었으나, 다채널 신호 발생기를 이용하여 TAB IC 별로 최적화된 신호 패턴을 구현할 수 있어서 비균일성 등의 불량 검출이 가능하다.
또한, 쇼트 불량을 검출하기 위해 복잡한 쇼팅 바를 형성하지 않아도 되므로 쇼팅 바에 의한 정전기의 발생을 방지할 수 있다.
독립된 채널을 통해 핀 투 핀 누설(pin to pin leakage)을 측정할 수 있으므로 프로브의 정렬 오차에 의한 접촉 불량과 구별할 수 있으므로 효과적으로 쇼트성 라인 불량을 검출할 수 있다.
도 3에는 본 발명의 일 실시예에 따른 액정 표시 장치용 검사 장치를 이용한 검사 방법의 순서도를 도시하였다.
도 3에 도시한 바와 같이, 상하부 기판이 부착된 모기판을 복수개의 셀로 절단한다(S110). 다음으로, 절단된 셀의 단부를 그라인딩하여 미세한 크랙을 제거한다(S120). 다음으로, 검사 장치를 이용하여 목시 검사를 진행한다(S130). 이때, 불량 셀인 경우에는 리페어 공정을 진행한다(S140). 다음으로, 리페어 공정인 완료된 셀에 편광판을 부착한다(S150).
이와 같이, 에지 그라인딩 후에 목시 검사를 할 수 있으므로, 미세한 크랙(crack)에 의한 기판의 깨짐 불량을 확인 할 수 있다.
도 4에는 본 발명의 일 실시예에 따른 액정 표시 장치용 검사 장치를 이용한 검사 방법에 의해 검출된 불량 셀에 리페어 공정을 진행한 상태의 셀의 단면도가 도시되어 있다.
도 4에 도시한 바와 같이, 액정 셀은 화소 전극(82)과 접촉 보조 부재(86, 88)를 가지는 박막 트랜지스터 기판(100)에 공통 전극(270), 색필터(230) 및 블랙 매트릭스(220)가 형성되어 있는 색필터 기판(200)이 부착되어 있다.
절연 기판(110) 위에 게이트 배선(24, 25, 26)이 형성되어 있다. 게이트 배선(24, 25, 26)은 가로 방향으로 뻗어 있는 게이트선(25) 및 게이트선(25)에 연결되어 있는 박막 트랜지스터의 게이트 전극(26)을 포함한다. 게이트선(25)의 일단(24)은 외부 회로와의 연결을 위하여 폭이 확장되어 있다.
기판(110) 위에는 질화 규소(SiNx) 따위로 이루어진 게이트 절연막(30)이 게이트 배선(24, 25, 26)을 덮고 있다.
게이트 전극(26)의 게이트 절연막(30) 상부에는 비정질 규소 등의 반도체로 이루어진 반도체층(40)이 형성되어 있으며, 반도체층(40)의 상부에는 실리사이드 또는 n형 불순물이 고농도로 도핑되어 있는 n+ 수소화 비정질 규소 따위의 물질로 만들어진 저항성 접촉층(55, 56)이 각각 형성되어 있다.
저항성 접촉층(55, 56) 및 게이트 절연막(30) 위에는 2중층으로 이루어져 있는 데이터 배선(65, 66, 68)이 형성되어 있다. 데이터 배선(65, 66, 68)은 세로 방향으로 형성되어 게이트선(25)과 교차하여 화소를 정의하는 데이터선 및 데이터선의 분지이며 저항성 접촉층(55)의 상부까지 연장되어 있는 소스 전극(65), 소스 전극(65)과 분리되어 있으며 게이트 전극(26)을 중심으로 하여 소스 전극(65)의 반대쪽 저항성 접촉층(56) 상부에 형성되어 있는 드레인 전극(66)을 포함한다. 이 때, 데이터선의 일단(68)은 외부 회로와의 연결을 위하여 폭이 확장되어 있다.
데이터 배선(65, 66, 68) 및 이들이 가리지 않는 반도체층(40) 상부에는 질화규소(SiNx), PECVD(plasma enhanced chemical vapor deposition) 방법에 의하여 증착된 a-Si:C:O 막 또는 a-Si:O:F 막(저유전율 CVD막), 및 아크릴계 유기 절연막 등으로 이루어진 보호막(70)이 형성되어 있다. PECVD 방법에 의하여 증착된 a-Si:C:O 막과 a-Si:O:F 막(저유전율 CVD막)은 유전 상수가 4이하(유전 상수는 2에서 4사이의 값을 가진다.)로 유전율이 매우 낮다. 따라서, 두께가 얇아도 기생 용량 문제가 발생하지 않는다. 또 다른 막과의 접착성 및 스텝 커버리지(step coverage)가 우수하다. 또한 무기질 CVD막이므로 내열성이 유기 절연막에 비하여 우수하다. 아울러 PECVD 방법에 의하여 증착된 a-Si:C:O 막과 a-Si:O:F 막(저유전율 CVD막)은 증착 속도나 식각 속도가 질화 규소막에 비하여 4~10배 빠르므로 공정 시간 면에서도 매우 유리하다.
보호막(70)에는 드레인 전극(66) 및 데이터선의 일단(68)을 각각 드러내는 접촉 구멍(76, 78)이 형성되어 있으며, 게이트 절연막(30)과 함께 게이트선의 일단(24)을 드러내는 접촉 구멍(74)이 형성되어 있다. 이때, 게이트선 및 데이터선의 일단(24, 68)을 드러내는 접촉 구멍(74, 78)은 각을 가지거나 원형의 다양한 모양으로 형성될 수 있으며, 면적은 2mm×0㎛를 넘지 않으며, 0.5mm×5㎛ 이상인 것이 바람직하다.
보호막(70) 위에는 접촉 구멍(76)을 통하여 드레인 전극(66)과 전기적으로 연결되어 있으며 화소 영역에 위치하는 화소 전극(82)이 형성되어 있다. 또한, 보호막(70) 위에는 접촉 구멍(74, 78)을 통하여 각각 게이트선의 일단(24) 및 데이터선의 일단(68)과 연결되어 있는 접촉 보조 부재(86, 88)가 형성되어 있다. 여기서, 접촉 보조 부재(86, 88)는 IZO(indium zinc oxide)층과 ITO(indium tin oxide)층(862, 882)의 이중층으로 이루어질 수 있다. 여기서, 화소 전극(82)은 게이트선(25)과 중첩되어 유지 축전기를 이루며, 유지 용량이 부족한 경우에는 게이트 배선(24, 25, 26)과 동일한 층에 유지 용량용 배선을 추가할 수도 있다.
또, 화소 전극(82)은 데이터선과도 중첩하도록 형성하여 개구율을 극대화할 수 있다. 이처럼 개구율을 극대화하기 위하여 화소 전극(82)을 데이터선과 중첩시켜 형성하더라도 보호막(70)의 저유전율 CVD막 등으로 형성하면 이들 사이에서 형성되는 기생 용량은 문제가 되지 않을 정도로 작게 유지할 수 있다.
그리고, 화소 전극(82)과 보호막(180) 위에 액정의 배향을 결정하는 배향막(11)을 형성한다. 그리고, 배향막(11) 위에 액정 표시 장치의 셀 갭을 유지하기 위한 스페이서(320)를 형성한다. 그리고, 박막 트랜지스터 기판의 테두리에 밀봉재(310)를 형성한다. 그리고, 밀봉재(310)의 외부에는 박막 트랜지스터 기판의 화소 전극(82)을 색필터 기판의 공통 전극(270)에 접촉시켜 전위를 인가하기 위한 쇼트(60)를 형성한다. 그리고, 박막 트랜지스터 기판의 밀봉재(310) 내부에는 액정을 주입하여 액정층(3)을 형성한다.
셀의 박막 트랜지스터 기판(110) 및 색필터 기판(210) 위의 불량 화소 위치에 광 차단막(8a, 8b)을 형성한다. 이러한 광 차단막(8a, 8b)은 잉크, 페인트, 금속 재질 등으로 형성하는 것이 바람직하다.
즉, VA 모드의 화소 내부에 형성된 이물질(7)에 의해 액정이 수직 배향되지 않아 누설되는 빛을 광 차단막(8a, 8b)이 차단한다. 따라서, 누설되는 빛이 경미한 수준으로 시인되도록 하여 불량 수준을 약화시킨다.
그리고, 이러한 셀의 박막 트랜지스터 기판(110), 색필터 기판(210) 및 광차단막(8a, 8b)의 외부에 상부 편광판(22) 및 하부 편광판(12)을 부착한다.
한편, 셀 내의 쇼트 또는 오픈 위치를 정확하게 검출하는 검사 장치 및 방법에 대해 이하에서 상세히 설명한다.
도 5에는 본 발명의 다른 실시예에 따른 검사 장치가 도시되어 있고, 도 6에는 본 발명의 일 실시예에 따른 검사 장치를 이용하여 검사하는 방법이 도시되어 있다.
도 5에 도시한 바와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 검사 장치는 기판(110) 위의 복수개의 신호선에 테스트 전압을 인가하는 신호 발생기(400), 신호 발생기(400)의 테스트 전압에 의한 전류에 의해 유발되는 적외선(301)을 감지하는 적외선 카메라(300)를 포함한다.
기판(110)은 스테이지(1) 위에 탑재되어 있으며, 기판(110)에는 신호 발생기(400)에서 테스트 전극(410, 420)을 통해 테스트 전압이 인가된다. 이 때, 신호선의 쇼트 또는 오픈 부분에서는 다른 신호선과 다른 전류가 흐르게 된다. 이러한 전류의 이상을 적외선 카메라(300)를 이용하여 적외선(301)으로 감지하고, 이미지 분석기(310)에 의해 적외선 이미지를 분석함으로써 불량 위치를 정확하게 검출한다.
즉, 쇼트가 발생한 위치에는 저항으로 인한 이상 전류가 흐르고, 이러한 이상 전류에 의해 유발되는 적외선을 적외선 카메라(300)를 이용하여 검출함으로써 쇼트 발생 위치를 정확하게 검출한다.
도 6에 도시한 바와 같이, 본 발명의 다른 실시예에 따른 액정 표시 장치의 검사 방법은 우선, 액정 셀을 분류한다. 즉, 모 기판을 복수개의 액정 셀로 분류한다(S100). 그리고, 각각의 액정 셀에 게이트선, 데이터선 및 유지전극선에 테스트 전압을 인가하여 신호선의 전류를 측정한다(S200). 그리고, 측정된 전류가 일 정 수준을 초과하는 지 여부를 확인한다(S300). 그리고, 측정된 전류가 일정 수준을 초과한 경우에는 초과한 기판만 불량으로 인지하여 리페어 장치로 반송한다(S400). 그리고, 적외선 장치를 이용하여 이상 전류에 의해 유발된 적외선을 감지하여 쇼트 또는 오픈 위치를 확인한다(S500). 그리고, 확인된 쇼트 또는 오픈 위치를 레이저를 이용하여 절단또는 연결함으로써 불량을 제거한다(S600). 그리고, 리페어 장치에서 셀을 반출한다(S700). 그리고, 상기 전류 측정 단계에서 양호한 셀로 판명된 셀과 함께 다음 공정으로 반송한다(S800).
이와 같이, 박막 트랜지스터 기판 제조 단계에서 불량 좌표를 정확하게 인식하면 수리 공정이 용이하고 신뢰성 있게 수리를 할 수 있으므로 수율하락 없이 제품의 생산이 가능하다.
본 발명에 따른 액정 표시 장치용 검사 장치 및 그 방법은 복수개의 프로브를 묶어서 검사함으로써 인접 신호간의 쇼트를 검출할 수 있다. 또한, 쇼팅 바 방식에 비해 저항이 적으므로 완성된 액정 표시 장치와 거의 동등한 신호를 발생시켜 검사할 수 있으므로 카메라를 이용한 자동검사에 충분한 화질을 얻을 수 있다.
또한, 적외선 카메라를 이용하여 신호선의 불량에 의한 전류의 이상에 의해 유발되는 적외선의 변동을 감지함으로써 불량 위치를 정확하게 검출한다.
이상에서 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 상세하게 설명하였지만, 당해 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 수 있을 것이다. 따라서, 본 발명의 권리 범위는 이에 한정되는 것은 아니고 다음의 청구범위에서 정의하고 있는 본 발명의 기본 개념을 이용한 당업자의 여러 변형 및 개량 형태 또한 본 발명의 권리범위에 속하는 것이다.

Claims (7)

  1. 복수개의 프로브 유니트,
    상기 프로브 유니트에 다채널의 신호를 인가하는 다채널 신호 발생기
    를 포함하고,
    상기 프로브 유니트는 복수개의 프로브 및 그 사이에 개재되어 있는 절연 물질로 이루어지는 액정 표시 장치용 검사 장치.
  2. 제1항에서,
    상기 복수개의 프로브는 상기 절연 물질에 형성된 홀에 프로브 블록으로 연결되는 액정 표시 장치용 검사 장치.
  3. 제1항에서,
    상기 프로브 블록에는 동일한 신호가 인가되는 액정 표시 장치용 검사 장치.
  4. 상하부 기판이 부착된 모기판을 복수개의 셀로 절단하는 단계,
    상기 절단된 셀의 단부를 그라인딩하는 단계,
    복수개의 프로브 유니트, 상기 프로브 유니트에 다채널의 신호를 인가하는 다채널 신호 발생기를 포함하고, 상기 프로브 유니트는 복수개의 프로브 및 그 사이에 개재되어 있는 절연 물질로 이루어지는 검사 장치를 이용하여 목시 검사하는 단계,
    상기 목시 검사에 의해 불량 셀로 판정된 경우에는 리페어 공정을 진행하는 단계,
    상기 리페어 공정이 완료된 셀에 편광판을 부착하는 단계
    를 포함하는 액정 표시 장치용 검사 방법.
  5. 제4항에서,
    상기 리페어 공정은 이물질이 위치하는 화소에 광 차단막을 부착하는 액정 표시 장치용 검사 방법.
  6. 기판 위의 복수개의 신호선에 테스트 전압을 인가하는 신호 발생기,
    상기 신호 발생기의 테스트 전압에 의한 전류에 의해 유발되는 적외선을 감지하는 적외선 카메라
    를 포함하는 액정 표시 장치용 검사 장치.
  7. 제1항에서,
    상기 신호선의 쇼트 또는 오픈 부분에서는 이상 전류에 의해 이상 적외선이 검출되는 액정 표시 장치용 검사 장치.
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