KR20060058521A - 전자회로 검사용 프로브카드 - Google Patents

Abstract

본 발명은 전자회로 검사용 프로브카드에 관한 것이다. 이는 기판에 소정 패턴으로 형성되어 있는 회로의 이상유무를 체크하기 위한 것으로서, 기판의 상부에서 기판에 대해 승강하는 헤드부와, 상기 헤드부의 하부에 설치되며 하향 연장되고 헤드부의 하강시 그 하단부가 회로의 검사부위에 접하는 다수의 프로브핀(probe pin)을 갖는 핀부를 포함하여 구성되는 전자회로 검사용 프로브카드에 있어서, 상기 핀부는, 그 연장길이가 상호 다른 두 가지 종류 이상의 프로브핀으로 구성된 것을 특징으로 한다.

상기와 같이 이루어지는 본 발명의 전자회로 검사용 프로브카드는, 회로기판상의 정상적인 회로형성여부를 체크함은 물론 특히 기판에 형성되어 있는 검사대상 부위의 특성에 따라 프로브핀의 길이를 다르게 구성함으로써 프로브핀이 누르는 힘을 부위별로 차등화하여 미세한 검사부위라 하더라도 검사부위에 프로프핀 자국이 발생하지 않아 검사에 의한 회로의 파손이나 변형을 막을 수 있다.

Description

전자회로 검사용 프로브카드{Probe card for inspecting electronic circuit}

도 1은 전자회로 검사용 프로브카드의 기본 개념을 설명하기 위하여 개략적으로 도시한 사시도이다.

도 2는 종래의 전자회로 검사용 프로브카드의 문제점을 설명하기 위하여 도시한 도면이다.

도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 전자회로 검사용 프로브카드의 구성 및 동작 메카니즘을 설명하기 위하여 도시한 도면이다.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>

11,31:프로브카드(probe card) 13:헤드부

14:핀부 15,33:프로브핀(probe pin)

17:기판 19:크리티컬에어리어(critical area)

본 발명은 전자회로 검사용 프로브카드에 관한 것이다.

플렉시블 필름기판이나 인쇄회로기판(이하, 기판이라 칭함)에서의 각종부품 의 정확한 실장 및 적절한 회로의 형성여부는 제품의 신뢰성과 직결된다. 따라서 회로의 요소요소에 프로브핀을 접촉시켜 회로의 단선이나 쇼트 등의 상태를 점검하는 검사공정이 필수적으로 수행되고 있다.

이러한 검사공정을 위해 여러 종류의 검사장비가 사용되고 있는데, 이는 테스터에 연결된 다수의 프로브핀을 기판의 해당 검사부위에 전기적으로 접촉시켜 전류의 흐름을 감지함으로써 검사를 수행하는 기본 원리에 따른 것이다.

한편, 전자기술의 첨단화의 추세에 따라 상기 검사를 필요로 하는 기판에는 매우 집적된 고밀도 전자부품이 장착되기 마련인데, 상기한 고밀도 전자부품이 실장될 위치(도 1의 크리티컬에어리어(19))에는 전자부품 내부의 전기회로와 기판상의 회로를 전기적으로 연결하는 매우 미세한 회로가 마련된다.

도 1은 전자회로 검사용 프로브카드의 기본 개념을 설명하기 위하여 개략적으로 도시한 사시도이다. 도 1에는 크리티컬에어리어(19)내의 회로만 부분적으로 도시하였고 나머지 전체적인 회로는 생략하였다.

도시한 바와같이, 검사할 회로가 형성되어 있는 기판(17)의 상부에 프로브카드(11)가 위치하고 있다. 상기 프로브카드(11)는 외부의 테스터를 포함하는 여러 장비와 연결된 상태로 기판(17)에 대해 상하로 승강 운동하며 정상적인 회로의 형성여부를 체크한다.

상기 프로브카드(11)는, 기판(17)의 상부에서 승강 운동하는 헤드부(13)와, 상기 헤드부(13)의 하부에 위치하며 헤드부(13)가 하강하여 기판(17)측으로 근접함에 따라 회로에 접하는 핀부(14)를 포함한다.

또한 상기 핀부(14)는 상기 헤드부(13)의 하부에 설치되며 하향 연장되고 그 하단부가 회로의 검사부위에 접하는 수 많은 프로브핀(15)을 갖는다. 상기 헤드부(13)에 설치되는 프로브핀(15)의 배열패턴은 검사할 기판의 회로형상에 종속하여 결정됨은 물론이다.

도면부호 19는 상기한 크리티컬에어리어(critical area)이다. 상기 크리티컬에어리어(19)는 예컨대 반도체패키지와 같은 고밀도 전자부품이 실장되는 장소이다. 공지의 사실과 같이 고밀도 전자부품에는 소정 패턴의 회로가 집적 형성되어 있으므로 이러한 전자부품과 기판(17) 회로간의 인터커넥팅을 담당하는 회로가 상기 크리티컬에어리어(19)에 형성되는 것이다.

특히 상기한 크리티컬에어리어(19)내의 회로는 다른 부위에 비하여 매우 미세하므로 보다 가늘고 적절한 크기의 프로브핀(15)의 사용이 요구되며 프로브핀으로 강하게 누를 경우 회로가 변형되거나 단락되기도 한다.

도 2는 종래의 전자회로 검사용 프로브카드의 문제점을 설명하기 위하여 도시한 도면이다.

도시한 바와같이, 종래의 프로브카드(11)는, 외부로부터 동력을 전달받아 승강하는 헤드부(13)와, 상기 헤드부(13)의 하부에 설치되며 하향 연장된 다수의 프로프핀(15)을 갖는 핀부(14)를 포함하여 구성된다.

상기한 바와같이 핀부(14)를 구성하는 프로브핀(15)의 배열 패턴은 기판(17)에 형성되어 있는 검사부위인 회로의 형상에 따르므로, 상기 크리티컬에어리어(19)내의 회로를 검사할 프로브핀(15)은 매우 밀집되어 있음을 알 수 있다.

그러나 상기한 종래의 프로브카드(11)는, 상기 프로브핀(15)의 하향 연장길이(L1)가 모두 일정하므로, 회로에 프로브핀(15)의 하단부를 접촉시키기 위하여 헤드부(13)를 화살표 F방향으로 누를 때 상기 크리티컬에어리어(19)에 위치하는 회로가 파손될 수 있다는 문제가 있었다.

상기한 바와같이 크리티컬에어리어(19)에 위치하는 회로는 매우 가늘고 미세하므로, 상기 프로브핀(15)으로 미세한 부위를 누를 경우 눌린 부위에 프로브핀의 자국이 생겨 회로의 변형이 발생할 수 있는 것이다. 이와 같이 발생하는 변형의 정도가 심할 경우에는 예컨대 플립칩의 부착이 정상적으로 이루어지지 않아 제품의 불량이 야기된다.

이러한 변형의 문제를 해결한다고 화살표 F방향의 가압력을 약하게 조절 할 수 도 있겠지만, 이는 크리티컬에어리어(19)이외의 다른 부분의 회로 검사를 부정확하게 하는 또 다른 문제를 발생한다.

본 발명은 상기 문제점을 해소하고자 창출한 것으로서, 회로기판상의 정상적인 회로형성여부를 체크함은 물론 특히 기판에 형성되어 있는 검사대상 부위의 특성에 따라 프로브핀의 길이를 다르게 구성함으로써 프로브핀이 누르는 힘을 부위별로 차등화하여 미세한 검사부위라 하더라도 검사부위에 프로프핀 자국이 발생하지 않아 검사에 의한 회로의 파손이나 변형을 막을 수 있는 전자회로 검사용 프로브카드를 제공함에 목적이 있다.

상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명은, 기판에 형성되어 있는 전자회로의 이상유무를 체크하기 위한 것으로서, 기판의 상부에서 기판에 대해 승강하는 헤드부와, 상기 헤드부의 하부에 설치되며 하향 연장되고 헤드부의 하강시 그 하단부가 회로의 검사부위에 접하는 다수의 프로브핀(probe pin)을 갖는 핀부를 포함하여 구성되는 전자회로 검사용 프로브카드에 있어서, 상기 핀부는, 그 연장길이가 상호 다른 두 가지 종류 이상의 프로브핀으로 구성된 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 핀부는 두 가지 종류의 프로브핀으로 구성되고, 핀의 길이차이는 30마이크로미터 내지 50마이크로미터인 것을 특징으로 한다.

아울러, 상기 기판은 플렉시블 필름기판 또는 PCB기판인 것을 특징으로 한다.

이하, 본 발명에 따른 하나의 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 보다 상세히 설명하기로 한다.

도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 전자회로 검사용 프로브카드의 구성 및 동작 메카니즘을 설명하기 위하여 도시한 도면이다.

상기한 도면부호와 동일한 도면부호는 동일한 기능의 동일한 부재를 가리킨다.

도면을 참조하면, 본 실시예에 따른 전자회로 검사용 프로브카드(31)는, 검사할 기판(19)의 상부에 승강 가능하게 설치되는 헤드부(13)와, 상기 헤드부(13)의 하부에 설치되며 다수의 프로브핀(15,33)을 포함하는 핀부(14)로 구성된다.

상기 프로브핀(15,33)은 헤드부(13)에 지지된 상태로 수직으로 하향 연장되 고 헤드부(13)의 하강 이동에 따라 기판(19)의 검사부위에 그 하단부가 접하여 회로의 정상적 형성 유무를 판단하는 기본 기능을 담당하는 것이다.

특히 상기 핀부(14)에는 그 길이가 상호 다른 두 가지 종류의 프로브핀(15,33)이 구비된다. 상기 프로브핀(15,33)에 있어서 상대적으로 짧은 프로브핀(33)은 기판(17)상의 크리티컬에어리어(19)의 상부에 위치하여 크리티컬에어리어(19)에 포함되어 있는 회로를 검사한다. 나머지 프로브핀(15)은 상기 크리티컬에어리어(19) 이외의 부위에 형성되어 있는 회로를 검사하는 것임은 물론이다.

상기와 같이 크리티컬에어리어(19)내의 회로를 검사하기 위한 프로프핀(33)을 다른 프로브핀(15)에 비해 짧게 함으로써, 헤드부(13)를 기판(19)에 대해 화살표 F방향으로 가압하더라도 프로브핀(33)에 의한 크리티컬에어리어(19) 내측 회로의 손상이 발생하지 않는다.

즉 헤드부(13)를 화살표 F방향으로 하향 가압하되, 프로브핀(15)이 크리티컬에어리어(19)이외의 검사부위에 충분한 압력으로 접속할 수 있을 정도로 가압하더라도, 상기 프로브핀(33)은 그 길이가 상대적으로 짧으므로 회로에 가하는 힘이 프로브핀(15)의 경우보다 작아 그만큼 크리티컬에어리어(19)내의 회로에 인가되는 하중이 적고 그에 따라 크리티컬에어리어(19)내의 검사부위의 손상이 발생할 가능성이 적어지는 것이다.

상기한 프로브핀(15,33)에 있어서, 상대적으로 길이가 긴 프로브핀(15)의 길이(L1)와 짧은 프로브핀(33)의 길이(L2)의 차이(L3)는 경우에 따라 달라지지만 대략 30마이크로미터 내지 50마이크로미터 정도로 할 수 있다.

이상, 본 발명을 구체적인 실시예를 통하여 상세하게 설명하였으나, 본 발명은 상기 실시예에 한정하지 않고, 본 발명의 기술적 사상의 범위내에서 통상의 지식을 가진 자에 의하여 여러 가지 변형이 가능하다.

상기와 같이 이루어지는 본 발명의 전자회로 검사용 프로브카드는, 회로기판상의 정상적인 회로형성여부를 체크함은 물론 특히 기판에 형성되어 있는 검사대상 부위의 특성에 따라 프로브핀의 길이를 다르게 구성함으로써 프로브핀이 누르는 힘을 부위별로 차등화하여 미세한 검사부위라 하더라도 검사부위에 프로프핀 자국이 발생하지 않아 검사에 의한 회로의 파손이나 변형을 막을 수 있다.

Claims (3)

1. 기판에 형성되어 있는 전자회로의 이상유무를 체크하기 위한 것으로서, 기판의 상부에서 기판에 대해 승강하는 헤드부와, 상기 헤드부의 하부에 설치되며 하향 연장되고 헤드부의 하강시 그 하단부가 회로의 검사부위에 접하는 다수의 프로브핀(probe pin)을 갖는 핀부를 포함하여 구성되는 전자회로 검사용 프로브카드에 있어서,

   상기 핀부는, 그 연장길이가 상호 다른 두 가지 종류 이상의 프로브핀으로 구성된 것을 특징으로 하는 전자회로 검사용 프로브카드.
2. 제 1항에 있어서,

   상기 핀부는 두 가지 종류의 프로브핀으로 구성되고, 핀의 길이차이는 30마이크로미터 내지 50마이크로미터인 것을 특징으로 하는 전자회로 검사용 프로브카드.
3. 제 1항 또는 제 2항에 있어서,

   상기 기판은 플렉시블 필름기판 또는 PCB기판인 것을 특징으로 하는 전자회로 검사용 프로브카드.

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