KR20060051081A

KR20060051081A - 세정방법 및 그것을 실시하기 위한 세정액 공급장치

Info

Publication number: KR20060051081A
Application number: KR1020050083275A
Authority: KR
Inventors: 마사히코 야스카와; 요시키 코바야시
Original assignee: 제비오스 코포레이션
Priority date: 2004-09-10
Filing date: 2005-09-07
Publication date: 2006-05-19
Also published as: TW200610591A; CN1745911A; JP2006075776A

Abstract

[과제]

피세정물상에 세정액의 피막이 형성되는 것을 방지함과 함께, 피세정물상으로의 세정액 및 이물의 역류도 방지 가능하게 한 세정방법을 제공하는 것.

[해결수단]

피세정물에 대해서 연속해 세정액을 내뿜는 세정 방법에 있어서, 유속 14~17m/sec에서, 고압의 세정액을 연속해 피세정물에 내뿜는 것과 동시에, 이 연속해 내뿜고 있는 세정액을 20~50c/sec의 주기로 유속 100~120 m/sec까지 상승시켜, 세정액에 강약을 더하는 것을 특징으로 하고 있다. 따라서, 본 발명에서는, 세정액에 강약을 더하는 것에 의해 피세정물에 내뿜어진 세정액을 불어 날려 버리기 때문에 피세정물상에 세정액의 피막이 형성되는 일이 없고, 또, 피세정물에 대해서 연속해 세정액을 내뿜고 있기 때문에 피세정물에 맞부딪친 세정액을 항상 제거한 이물 등과 함께 피세정물상로부터 흘리는 것이 가능하여 피세정물상으로의 역류를 방지하는 것이 가능하다.

세정방법 및 세정장치

Description

세정방법 및 그것을 실시하기 위한 세정액 공급장치{CLEANING METHOD AND CLEANING AGENT SUPPLY APPARATUS THEREFOR}

[도 1] 본 발명의 세정 방법의 제 1 실시예를 설명하기 위한 그래프이다.

[도 2] 본 발명의 세정 방법의 제 l 실시예에 있어서의 다른 형태를 설명하기 위한 그래프이다.

[도 3] 본 발명의 세정 방법의 제 l 실시예에 있어서의 다른 형태를 설명하기 위한 그래프이다.

[도 4] 본 발명의 세정 방법의 제 l 실시예에 있어서의 다른 형태를 설명하기 위한 그래프이다.

[도 5] 본 발명의 세정 방법의 제 l 실시예를 실시하기 위해서 이용하는 세정액 공급 수단의 구성을 설명하기 위한 도이다.

[도 6] 본 발명의 세정 방법의 제 1 실시예를 실시하기 위해서 이용하는 실린더를 설명하기 위한 도이다.

[도 7] 본 발명의 세정 방법의 제 l 실시예를 실시하기 위해서 이용하는 실린더를 설명하기 위한 도이다.

[도 8] 본 발명의 세정 방법의 제 1 실시예를 실시하기 위해서 이용하는 로터리식의 공급건을 설명하기 위한 도이다.

[도 9] 본 발명의 세정 방법의 제 l 실시예를 실시하기 위해서 이용하는 세정액 공급 장치의 작용를 설명하기 위한 도이다.

[도 10] 본 발명의 세정 방법의 제 1 실시예를 실시하기 위해서 이용하는 세정액 공급 장치의 작용을 설명하기 위한 도이다.

[도 11] 분사 노즐을 설명하기 위한 도이다.

[도 12] 본 발명의 세정 방법의 제 2 실시예를 실시하기 위해서 이용하는 세정액 공급 수단의 구성을 설명하기 위한 도이다.

[도 13] 본 발명의 세정 방법의 제 2 실시예를 설명하기 위한 그래프이다.

[부호의 설명]

1 , 21 세정액　공급 수단

2 , 22 실린더

3 , 23 펌프

4 , 24a , 24b 분사 노즐

6 에어 공급 수단 (압축기)

7 실린더 본체

70l 이동 공간

702 구동 에어 공급구

703 세정액주입구

704 세정액방출구

8 피스톤

80l 확대부

802 홈

9 O링

11 피세정물

12 반송 수단

13a , 13b , 25 , 27a , 27b 세정액반송용 호스

31 로터리식 공급건

32 본체부

33 세정액공급로

34 세정액방출로

35 구동부

36 세정액반송로

37 클리어런스

[기술분야]

본 발명은, 액정 패널 제조, PDP 패널 제조, 유기 EL 패널 제조, FED 패널 제조, 프린트 기판 제조, 반도체 제조, 필름 제조, 판 제조 그 외 전자기기 부품 등의 제조공정에서 사용되는 세정 방법 및 그것을 실시하기 위한 세정액 공급 장치 와 관련되고, 보다 상세하게는, 피세정물에 대해서 연속적으로 고압의 세정액을 내뿜는 것과 동시에, 이 세정액에 강약을 더한 것, 및, 피세정물에 대해서 연속적으로 고압의 세정액을 내뿜는 것과 동시에 이 연속한 세정액의 분사와 평행하여, 강약을 부여한 세정액을 피세정물에 분사하는 것을 특징으로 한 세정 방법 및 그것을 실시하기 위한 세정액 공급 장치에 관한다.

[배경기술]

근년의 플랫 패널 디스플레이 (액정, PDP, EL, FED 등) 반도체, 프린트 기판, 필름, 전자기기 부품 등의 진보의 고정밀화에는 눈부시고, 특히 플랫 패널 디스플레이의 제조 프로세스, 고집적 반도체소자의 제조 프로세스에 대해서는, 보다 고도의 초정밀 세정이 필요하게 되고 있다.

또, 패턴의 미세화, 고집적화와 함께, 취급하는 액정 유리, PDP 유리, 실리콘웨이퍼는 대형화하고 있어, 액정 유리에서는 1870×2200mm, PDP 유리에서는 2150×2350mm, 실리콘웨이퍼에서는 300mm 지름으로 이행하는 현상에 있지만, 세정은 전공정의 40~60% 를 차지해, 수율 향상에 중요한 역할을 담당하는 프로세스가 되고 있다.

여기서, 종래로부터의 세정 방법의 하나로서 채용되고 있는, 세정액을 피세정물에 내뿜는 방법 (「물 끼얹는 방식」)에 대해 설명하면, 이 물 끼얹는 방식에서는, 피세정물에 대해서, 세정액을 고압으로, 샤워식, 스프레이식으로 연속해 내뿜는 방법이며, 이 방법에 의하면, 세정액의 액압에 의해 피세정물에 부착한 이물 등을 제거할 수가 있다고 하는 이점이 있다.

그렇지만, 이 방법에서는, 세정액을 연속하여 피세정물에 맞부딪치게 하기 때문에, 피세정물에 세정액의 피막이 형성되어 버려, 세정액의 충돌에너지를 피막이 간섭해 흡수 해 버린다고 하는 문제점이 지적되고 있다.

그래서, 이와 같은 문제점을 해결하는 방법으로서 세정액을 간헐적으로, 다시말해 펄스적으로 피세정물에 내뿜는 방법 (「펄스 세정」)이 제안되고 있다.

즉, 이 펄스 세정에서는, 밸브의 개폐를 행하는 것으로, 피세정물에 내뿜는 세정액을 간헐적으로 하는 방법이며, 이 방법에 의하면, 피세정물상에 세정액의 피막이 형성되는 것을 방지할 수가 있다.

{특허 문헌 l}특허 제 2942992호 공보

그런데, 피세정물에 대해서 세정액을 연속적으로 내뿜는 경우에는, 항상 피세정물상에 세정액이 맞혀지기 때문에, 피세정물상의 세정액은 항상, 피세정물상으로부터 외측으로 밀려흐르고 있어 그것에 의해, 세정액의 액압에 의해 피세정물로부터 박리된 이물 등은 세정액이 흐르는 것과 동시에 피세정물상으로부터 흘러 가 제거되지만, 세정액을 간헐적으로 내뿜었을 경우에는, 피세정물상에 세정액이 맞부딪히지 않는 순간이 존재하게 되어, 이 때에, 이미 피세정물상에 분무되고 있는 세정액이 역류 해 버릴 우려가 생각된다. 그렇다면 , 피세정 물상의 세정액의 역류와 함께, 일단 피세정물상으로부터 밀려난 이물 등도 역류 해 버려, 이 상태로 피세정물이 다음 공정으로 이동해 버린다고 하는 사태의 발생이 충분히 생각되어진다.

따라서, 전술한 펄스 세정에서는, 피세정물상에 세정액의 피막이 형성되는 것은 방지할 수 있지만, 그 한편, 세정액 및 이물의 역류를 불러일으킨다고 하는 문제점이 있다.

그래서, 본 발명은, 피세정물에 대해서 세정액을 내뿜는 세정 방법에 대해, 피세정물 위에 세정액의 피막이 형성되는 것을 방지할 수 있는 것과 동시에, 피세정물상에의 세정액 및 이물의 역류도 방지 가능하게 한 세정 방법 및 그것을 실시하기 위한 세정액 공급 장치를 제공하는 것을 과제로 하고 있다.

[과제를 해결하기 위한 수단]

본 발명의 세정 방법은, 피세정물에 대해서 연속하여 고압의 세정액을 내뿜는 세정 방법에 대해, 상기 연속하여 내뿜고 있는 세정액의 정상 연속류에 강약을 더하는 것을 특징으로 하고 있다.

그리고, 이 세정 방법을 실시하기 위한 본 발명의 세정액 공급 장치는, 피세정물에 대해서 세정액을 내뿜기 위한 분사 노즐과 당해 분사 노즐에 연결된 상기 분사 노즐에 고압의 세정액을 공급하기 위한 펌프를 가짐과 동시에, 상기 펌프와 상기 분사 노즐간에, 펌프보다 공급되는 세정액에 파동적인 강약을 더하기 위한 실린더를 개재시킨 것을 특징으로 하고 있다.

또, 본 발명의 세정 방법은, 피세정물에 대해서 연속하여 고압의 세정액을 내뿜는 세정 방법에 있어서, 이 연속한 세정액의 분사와 평행하여, 피세정물에 대해서, 강약을 부여한 세정액을 내뿜는 것을 특징으로 하고 있다.

그리고, 이 세정 방법을 실시하기 위한 본 발명의 세정액 공급 장치는, 세정 액 공급용 펌프와 당해 세정액 공급용 펌프에 연결된 연속류분사 노즐과 상기 세정액 공급용 펌프보다 공급되는 세정액에 파동적인 강약을 더하기 위한 실린더를 개입시켜 상기 세정액 공급용 펌프에 연결된 피동류분사 노즐을 갖춘 것을 특징으로 하고 있다.

[발명을 실시하기 위한 최선의 형태]

본 발명의 세정 방법에서는, 피세정물에 대해서, 8MPa~15MPa의 고압의 세정액을 유속 14~17m/sec로 연속해 내뿜는 것과 동시에, 이 연속해 내뿜고 있는 세정액의 정상 연속류의 유속을, 20~50c/sec의 주기로, 유속 100~120m/sec까지 파동적으로 상승시킨다.

그리고, 이 방법을 실시하기 위한 본 발명의 세정액 공급 장치에서는, 피세정물에 대해서 세정액을 내뿜기 위한 분사 노즐과, 당해 분사 노즐에 연결된 상기 분사 노즐에 고압의 세정액을 공급하기 위한 펌프를 가짐과 동시에, 상기 펌프와 상기 분사 노즐간에는, 펌프보다 공급되는 세정액에 파동적인 강약을 더하기 위한 실린더를 개재시키고 있다.

여기서, 상기 실린더로서는, 실린더 본체와 당해 실린더 본체간에 왕복 이동 가능하게 삽장된 피스톤을 갖추어 상기 실린더 본체는, 세정액주입구와 세정액방출구를 구비하고, 상기 피스톤은, 상기 세정액주입구 및 세정액방출구에 연통 가능한 배치로 주방향을 따라 형성한 홈과 상기 세정액주입구 및 세정액방출구에 연통 가능한 배치로 상기 홈에 연속하고, 상기 홈보다 얕게 형성한 클리어런스를 구비한 것을 이용하면 좋고, 또, 그 외 실린더로서 세정액공급로 및 세정액방출로가 형성 된 본체부와 당해 본체부내에 회동이 자유롭게 삽장된, 방사상으로 한 세정액반송로를 내부에 가지는 구동부와 당해 구동부의 외주측과 상기 본체부의 내주측에 형성한 클리어런스를 구비한 것을 이용해도 괜찮다.

또, 본 발명의 세정 방법의 다른 형태에서는, 8MPa~15MPa의 고압의 세정액을 유속 14~17m/sec로 피세정물에 내뿜는 것과 동시에, 이 연속한 분사와 병행하여, 20~50c /sec의 주기로, 8MPa~15Mpa의 고압의 세정액을 유속 l00~120m/sec로 피세정물에 내뿜는다.

그리고, 이 방법을 실시하기 위한 본 발명의 세정액 공급 장치에서는, 세정액 공급용 펌프와 당해 세정액 공급용 펌프에 연결된 연속류분사 노즐과 상기 세정액 공급용 펌프보다 공급되는 세정액에 파동적인 강약을 더하기 위한 실린더를 개입시켜 상기 세정액 공급용 펌프에 연결된 파동류분사 노즐을 갖추고 있다.

여기서, 상기 실린더로서는, 실린더 본체와 당해 실린더 본체간에 왕복 이동 가능하게 삽장된 피스톤을 갖추고, 상기 실린더 본체는 세정액주입구와 세정액방출구를 구비하고, 상기 피스톤은, 상기 세정액주입구 및 세정액방출구에 연통 가능한 배치로 주방향을 따라 형성한 홈을 구비한 것을 이용하면 좋고, 그 외 실린더로서 세정액공급로 및 세정액방출로가 형성된 본체부와 당해 본체부내에 회동이 자유롭게 삽장된, 방사상으로 한 세정액반송로를 내부에 가지는 구동부를 구비한 것을 이용해도 좋다.

{실시예 l}

본 발명의 세정 방법의 실시예에 대해 도면을 참조해 설명하면, 도 1은 본 실시예의 세정 방법을 설명하기 위한 그래프이며, 도에서, 횡방향이 시간축이다. 또, 그림에서 A 는, 피세정물에 내뿜는 세정액의 유속을 나타내고 있고, 따라서, 도에서 사선으로 표시한 부분이, 피세정물에 분무된 세정액의 액량이다.

즉, 본 실시예의 세정 방법에서는, 항상, 연속적으로 소정량의 세정액을 피세정물에 내뿜고 있어 그것과 함께, 이 연속해 내뿜는 세정액의 정상 연속류에 파동적인 강약을 더하는 것을 특징으로 하고 있다.

그리고, 본 실시예에서는, 8MPa~15MPa의 고압의 세정액을 유속 14~17m/sec로 연속적으로 피세정물에 내뿜는 것과 동시에, 20~50c/sec의 주기로, 이 연속해 내뿜고 있는 세정액의 유속을, 최고 유속 l00~120m/sec까지, 파동적으로 상승시키고 있다.

따라서, 본 실시예의 세정 방법에 의하면, 연속해 세정액을 내뿜고 있기 때문에, 피세정물에 맞부딪힌 세정액은, 항상, 제거한 이물 등과 함께 피세정물상으로부터 흘러 가, 피세정물상에 역류하지 않음과 동시에, 주기적으로 세정액에 강약을 더해, 이것에 의해, 피세정액에 분무된 세정액을 불어 날려 버리기 때문에, 피세정물상에 세정액의 피막이 형성되지 않고, 이것에 의해 피세정물에 부착된 이물 등을 유효하게 제거할 수가 있다.

또, 세정액의 연속류에 의해 비교적 작은 이물 등을 제거할 수 있는 것과 동시에, 파동류에 의해 큰 이물 등을 제거할 수가 있어 효율적으로 이물의 제거 등을 실시하는 것이 가능하다.

덧붙여 도 2 내지 도 4 는 본 실시예의 다른 형태를 나타내는 그래프이다. 즉, 도 1 에 대해서는, 연속해 내뿜고 있는 세정액에 정기적인 주기로 강약을 더하는 것과 동시에 그 강약을 동일하게 하고 있지만, 즉, 세정액파형의 파고, 진폭, 주파수를 동일하게 하고 있지만, 도 2 에 나타낸 형태에서는, 주파수는 일정하게 하고 있지만 그 파고를 다른 것으로 하고 있다. 또, 도 3 에 나타낸 형태에서는, 파고를 동일하게 하고 있지만 주파수 및 진폭을 변경하고 있다. 더욱, 도 4 에 나타낸 형태에서는, 주파수, 파고 및 진폭 모두 다르게 하고 있다. 그리고, 이러한 형태로 하는 것으로, 보다 효과적으로, 이물의 제거 등을 실시하는 것을 가능하게 하고 있다. 즉, 본 발명에서는, 연속류에 강약을 더해주면 좋고, 반드시 정기적인 주기로 강약을 더할 필요는 없고, 또, 강약의 정도도 일정하게 할 필요는 없다.

다음에, 이러한 특징을 가지는 본 실시예의 세정 방법을 실시하기 위해서 이용하는 본 발명의 세정액 공급 수단의 실시예에 대해 설명하면, 도 5 는, 본 실시예의 세정액 공급 수단의 한 형태의 구성을 나타낸 도이며, 도에서 l 이 세정액 공급 수단이다.

그리고, 이 세정액 공급 수단 (1)은, 피세정물에 대해서 세정액을 내뿜기 위한 분사 노즐 (4)과 이 분사 노즐 (4)에 고압의 세정액을 공급하기 위한 펌프 (3)를 가지고 있고, 게다가, 상기 펌프 (3)와 분사 노즐 (4)과의 사이에는, 분사 노즐 (4) 보다 분무되는 세정액에 파동적인 강약을 더하기 위한 실린더 (2)를 배치하고 있어, 이것에 의해, 피세정물에 내뿜는 세정액의 연속류에 주기적으로 강약을 부여하는 것을 가능하게 하고 있다. 덧붙여 도에서 (13a), (13b)는 세정액을 반송하기 위한 반송용 호스이다.

여기서, 상기 실린더 (2)에 대해 도 6을 참조해 설명하면, 이 실린더 (2)는, 실린더본체 (7)와 이 실린더 본체 (7) 내를 왕복 이동 가능하게 한 피스톤 (8)을 갖추고 있다.

그리고, 상기 피스톤 (8)은, 도 7에 나타내듯이, 양단 부분의 외경을 크게 하여 이 부분을 확대부 (80l)로 하고 있고, 또, 긴 쪽 방향을 따라 중앙 부분 근방에서, 소정간격의 폭으로 한 홈 (802)을, 주방향으로 형성하고 있다. 더욱, 이 홈 (802)에 연속해, 상기 홈 (802)보다 얕게 형성한 클리어런스 (803)를 주방향 전역에 형성하고 있다.

한편, 상기 실린더 본체 (7)의 내부에는, 피스톤 (8)에 있어서의 확대부 (801)가 소정 범위만 이동 가능한 이동 공간 (701)이 형성되고 있어, 이 이동 공간 (70l)에 연통하도록 하여, 실린더 본체 (6)의 긴 쪽 방향의 양단벽에는 각각, 구동 에어 공급구 (702)가 형성되고 있다. 그리고, 사용에 즈음해서는 이 구동 에어 공급구 (702)에 압축기 등의 에어 공급 수단 (6)이 연결되고 (도 5 참조), 이것에 의해, 구동 에어 공급구 (702)에 번갈아 실린더 본체 (7)의 구동 공간 (70l) 내에 에어를 공급하는 것으로, 에어압력에 의해 피스톤 (8)을, 그 긴 쪽 방향으로 왕복 이동 가능하게 하고 있는 것과 동시에, 그 이동을, 상기 확대부 (801)가 이동 공간 (70l) 내를 이동 가능한 범위로 제한하고 있다. 덧붙여 도 6 및 도 7에서 9 는, 씰 용의 O링이다.

다음에, 상기 실린더 본체 (7)의 측벽 임의의 개소에는 세정액주입구 (703)가 형성됨과 함께, 이 세정액주입구 (703)에 대향하는 배치로, 상기 실린더 본체 (7)의 측벽에는, 반송용 호스 (13b)를 개입시켜 세정액분사 노즐 (4)에 연결되는 세정액방출구 (704)가 형성되고 있다. 그리고, 세정액 공급용 펌프 (3)에 연결된 반송용 호스 (13a)가 세정액주입구 (703)에 연결되어 분사 노즐 (4)에 연결된 반송용 호스 (13b)가 세정액방출구 (704)에 연결되고 있다.

따라서, 이 실린더 (2)를 이용하는 것으로, 피스톤 (8)에 있어서의 홈 (802)이 세정액주입구 (703) 및 세정액방출구 (704)로 연통하고 있지 않을 때에는, 클리어런스 (803)를 개입시켜, 항상 소량의 세정액이 세정액분사 노즐 (4)에 공급되는 것과 동시에, 피스톤 (8) 의 이동에 따라 상기 피스톤 (8)에 있어서의 홈 (802)이 세정액주입구 (703) 및 세정액방출구 (704)로 연통했을 때에는, 분사 노즐 (4)에 공급되는 세정액의 양이 증가해, 이것에 의해, 이 실린더 (2) 를 개입시킨 세정액은, 주기적으로 파동적인 강약이 부여된 것이 된다.

덧붙여 세정액주입구 (703) 및 세정액방출구 (704)는 반드시 한 쌍으로 할 필요는 없고, 각각을 복수개소에 형성해도 좋다. 또, 실린더 (2)에 연결하는 분사 노즐 (4)에 관해서도 반드시 1 개로 할 필요는 없고, 복수개의 분사 노즐을 갖추어도 괜찮다.

다음에, 이와 같이 구성되는 세정액 공급 장치 (l)를 이용한 세정 방법의 작용에 대해 설명하면, 도 9 및 도 10 에 있어서 11 은 피세정물이며, 또 12 는 피세정물을 반송하기 위한 컨베이어 등의 반송 수단이다. 그리고, 반송 수단 (12)은, 광체(筐體) (120l)와 이 광체 (120l)에 회동이 자유롭게 갖춘 복수본의 반송용 롤러 (1202)와, 이 반송용 롤러 (1202)를 회동하기 위한 모터 등의 구동 수단 (도시 하지 않음)을 갖추어, 구동 수단을 구동시키는 것으로 롤러 (1202)를 회전시켜, 이것에 의해, 롤러 (1202)상에 재치한 피세정물을 반송 가능하게 하고 있다.

또, 본 실시예에서 상기 분사 노즐 (4)은, 내부에 공동부(空洞部) (401)를 가진 장척상물(長尺狀物)로써, 도 11에 긴 쪽 방향으로 향한 단면도로 나타낸 것처럼, 긴 쪽 방향으로 직교하는 하단부에는 분사구멍 (402)을 가지고, 또 측벽에는 세정액반송용 호스 (13b)가 연결되는 공급구 (403)를 가지고 있어 반송 수단 (12)의 윗쪽에 배치되어 분사구멍 (402)보다 피세정물 (11)에 대해서 세정액을 분사 가능하게 하고 있다.

그리고, 본 실시예의 세정 방법에서는, 피스톤 (8)의 위치를 조정하여 피스톤 (8)에 형성한 홈 (802)이 세정액주입구 (703) 및 세정액방출구 (704)로 연통하지 않는 상태로 해 두고, 우선, 펌프 (3) 보다, 세정액을, 8MPa~15MPa의 고압으로 공급해, 이것에 의해, 클리어런스 (803)를 개입시켜, 분사 노즐 (4) 보다, 반송 수단 (12)에 의해 반송 되고 있는 피세정물 (l l) 에 대해서 소량의 세정액을 내뿜는다.

다음에, 이 상태로, 실린더 본체 (7)에 형성한 구동 에어 공급구 (702)의 쌍방으로, 주기적으로 교대로 에어를 공급해, 이것에 의해 피스톤 (8)을 왕복 이동시킨다. 그러면, 피스톤 (8)이 이동하는 과정에서 홈 (802)이 세정액주입구 (703) 및 세정액방출구 (704)로 연통함과 함께 분사 노즐 (4)에 공급되는 세정액의 양이 증가해 가고, 홈 (802)으로 세정액주입구 (703) 및 세정액방출구 (704)가 완전하게 연통했을 때를 정점으로서 분사 노즐 (4)을 개입시켜 피세정물에 분무되는 세정액 이 파동적으로 강약이 부여한 것이 된다.

따라서, 본 실시예에 의하면, 피세정물에 대해서 항상 세정액을 내뿜는 것과 동시에, 이 세정액에 주기적으로 강약을 부여하는 것이 가능해진다. 그리고 이 때, 피스톤 (8)의 이동 스피드를 바꾸는 것으로, 또, 홈 (802)과 세정액주입구 (703) 및 세정액방출구 (704)와의 연통 비율을 바꾸는 것으로, 즉, 홈 (802)과 세정액주입구 (703) 및 세정액방출구 (704)가 완전하게는 연통하지 않는 경우를 마련하는 것으로, 세정액파형의 주파수, 파고, 진폭을 용이하게 바꾸는 것이 가능하기 때문에, 도 2 내지 도 4 에 나타낸 것 같은 세정액의 강약은 용이하게 가능하다.

덧붙여 연속해 내뿜고 있는 세정액에 파동적으로 강약을 더하는 방법으로서는, 반드시 전술한 실린더를 이용할 필요는 없고, 그 외, 로터리식의 공급건을 이용해도 괜찮다. 즉, 도 8 은 이 로터리식 공급건 (31)의 구조를 설명하기 위한 단면도이며, 이 로터리식의 공급건 (31)에서는, 세정액공급로 (33) 및 세정액방출로 (34)가 형성된 본체부 (32)의 내부에, 세정액반송로 (36)가 방사상으로 형성된 구동부 (35)를 회동이 자유롭게 삽장하고 있다. 또, 구동부 (35)의 외주측과 본체부 (32)의 내주측에는 소정간격으로 한 클리어런스 (37)를 형성하고 있다. 그리고, 이 구성에 의해, 세정액공급로 (33)로부터 공급된 세정액은 항상, 상기 클리어런스 (37)를 개입시켜 세정액방출로 (34) 보다 분사 노즐에 공급되고, 이것에 의해 피세정물에 연속적으로 세정액이 분무된다.

그리고, 그것과 함께, 구동부 (35)가 회전하는 과정에서 세정액반송로 (36)가 세정액공급로 (33) 및 세정액방출로 (34)와 연통했을 때에는, 상기 클리어런스 (37)를 개입시켜 분사 노즐에 공급되는 세정액에, 세정액반송로 (36)를 개입시킨 세정액이 중첩되는 것과 동시에, 이 중첩된 세정액은, 세정액반송로 (36)가 세정액공급로 (33) 및 세정액방출로 (34)와 완전하게 연통했을 때에만 공급되기 때문에, 분사 노즐로부터 피세정물 (11)에 분무되는 세정액은, 파동적으로 강약이 더해진 것이 된다. 따라서, 이 로터리식의 공급건 (31)을 이용했을 경우에 대해서도, 상기 실린더를 이용했을 경우와 같은 효과를 얻는 것이 가능하다.

또, 이 때, 구동부 (35)의 회전 속도를 바꾸는 것으로, 및 구동부 (35)에 형성된 세정액반송로 (36)의 지름을 동일하게 형성하지 않는 것으로, 세정액파형의 주파수, 파고, 진폭을 용이하게 바꾸는 것이 가능하기 때문에, 공급건 (31)을 이용했을 경우에도, 도 2 내지도 4 에 나타낸 것 같은 세정액의 강약은 용이하게 가능하다.

{실시예2}

다음에 본 발명의 세정 방법의 다른 실시예에 대해 도면을 참조해 설명하면, 도 13 은 본 실시예의 세정 방법을 설명하기 위한 그래프이며, 도에서 횡방향이 시간축이다.

그리고, 본 실시예의 세정 방법에서는, 항상, 연속적으로 소정량의 세정액을 고압으로 피세정물에 내뿜는 것과 동시에, 이 내뿜는것과 병행하여, 다른 계통의 분사 노즐을 이용해, 파동적으로 강약을 부여한 세정액을 고압으로 피세정액에 내뿜는 것을 가능하게 하고 있다.

즉, 도 13 에서 B 가 연속적으로 내뿜고 있는 세정액을 나타내고 있고, A 가 파동적으로 강약을 더해 내뿜은 세정액을 나타내고 있고, 본 실시예에서는, 항상, 유속 14~17m/sec로 한 세정액을 8MPa~15MPa의 고압으로 피세정액에 내뿜고 있고, 그것과 병행하여, 20~50c/sec의 주기로, 유속을 l00~120m/sec로 한 세정액을 8MPa~15MPa의 고압으로 피세정물에 내뿜고 있다.

따라서, 본 실시예의 세정 방법에 의하면, 전술한 실시예와 같이, 연속하여 세정액을 내뿜고 있기 때문에, 피세정물에 맞부딪치게 한 세정액은, 항상, 제거한 이물 등과 함께 피세정물상으로부터 흘러 가, 피세정물상에 역류하지 않으면서, 이 연속한 세정액의 분사 와 병행해 주기적으로 파동적으로 강약을 부여한 세정액을 내뿜기 때문에, 피세정액에 분무된 세정액을 불어 날려 버리기 때문에, 피세정물상에 세정액의 피막이 형성되지 않고, 이것에 의해 피세정물에 부착한 이물 등을 유효하게 제거할 수가 있다.

다음으로 도 12 는 본 실시예의 세정 방법을 실시하기 위해서 이용하는 본 발명의 세정액공급 수단의 실시예의 구성을 나타내는 도이며, 본 실시예의 세정액공급 수단은, 세정액을 연속적으로 분사하는 연속류 분사 노즐 (24a) 와 세정액을 파동적으로 분사하는 파동류분사 노즐 (24b) 를 갖추고 있다. 그리고, 세정액공급용 펌프 (23)와 연속류분사 노즐 (24a)을 세정액반송용 호스 (250로 연결해 연속류 분사 노즐 (24a) 보다 항상 연속적으로 세정액을 분사 가능하게 하면서, 실린더 (22)를 개재시키면서 파동류분사 노즐 (24b)로 세정액공급용 펌프 (23)를 반송용 호스 (27a), (27b)로 연결해 파동류분사 노즐 (24b) 보다 파동적으로 세정액을 분사 가능하게 하여, 이것에 의해, 연속적으로 세정액을 내뿜는 것과 동시에, 이 내 뿜는 것과 병행해, 파동적으로 강약을 더한 세정액을 피세정액의 분사를 가능하게 하고 있다.

덧붙여 본 실시예는, 연속적인 세정액의 분사와 병행하여 파동적으로 강약을 더한 세정액의 분사를 실시하는 것을 특징으로 하고 있고, 그 외의 효과 등은 전술한 실시예와 같기 때문에, 중복한 설명은 생략 한다.

또, 이용하는 실린더 (22)에 관해서는, 전술한 실린더 (2) 혹은 공급건 (31)에 있어서의 클리어런스 (803), (37)를 없게 한 구조의 것을 이용하는 것으로 실시 가능하기 때문에 , 중복한 설명은 생략 한다.

더욱, 본 실시예에서도, 분사 노즐 (24a), (24b)은, 각각 복수개라고 해도 좋다.

본 발명의 세정방법에서는, 피세정물에 대해서 연속적으로 고압의 세정액을 내뿜으면서, 이 연속해 뿜고 있는 세정액의 정상 연속류에 강약을 더해 혹은, 연속한 세정액의 분사와 평행하여, 강약을 부여한 고압의 세정액을 내뿜는 것을 특징으로 하고 있다.

이와 같이, 본 발명에서는, 피세정물에 대해서 연속적으로 내뿜고 있는 세정액에 강약을 더하고 있기 때문에, 또는, 피세정물에 대해서 연속적으로 세정액을 내뿜는 것과 동시에, 이것과 병행해, 강약을 부여한 세정액을 피세정물에 내뿜고 있기 때문에, 피세정물에 세정액의 피막이 형성되는 것을 방지할 수 있는 것과 동시에, 피세정물상에 세정액 및 이물 등이 역류 해 오는 것을 유효하게 방지하는 것 이 가능하다.

[산업 상의 이용 가능성]

본 발명에서는, 피세정물상에 세정액을 연속적으로 고압으로 내뿜을 때에 이 연속해서 내뿜는 세정액에 주기적으로 파동적인 강약을 더해 혹은, 세정액의 연속한 분사와 병행 하여 파동적으로 강약을 더한 세정액의 분사를 실시하는 것을 특징으로서 하고, 이것에 의해, 피세정물상에 세정액의 피막이 형성되는 것을 방지함과 함께 피세정물상에 세정액이 역류하는 것을 방지하고 있기 때문에, 액정 패널 제조, PDP 패널 제조, 유기 EL 패널 제조, FED 패널 제조, 프린트 기판 제조, 반도체 제조, 필름 제조, 판 제조 그 외 전자기기 부품 등의 제조 공정 뿐만 아니라, 세정 공정의 전반에 적용 가능하다.

Claims

피세정물에 대해, 연속해서 고압의 세정액을 내뿜는 세정 방법에 있어서, 상기 연속해서 내뿜고 있는 세정액의 정상 연속류에 강약을 더하는 것을 특징으로 하는 세정방법.
상기 청구항 1에 기재한 세정 방법을 실시하기 위한 세정액 공급 장치이며, 피세정물에 대해서 세정액을 내뿜기 위한 분사 노즐 (4)과 당해 분사 노즐 (4)에 연결된, 상기 분사 노즐 (4)에 고압의 세정액을 공급하기 위한 펌프 (3)를 가짐과 동시에, 상기 펌프 (3)와 상기 분사 노즐 (4) 사이에, 펌프 (3)보다 공급되는 세정액에 파동적인 강약을 더하기 위한 실린더 (2)를 개재시킨 것을 특징으로 하는 세정액 공급 장치.
청구항 2에 있어서 상기 실린더 (2)는, 실린더 본체 (7)와 당해 실린더 본체 (7)간에 왕복 이동 가능하게 삽장(揷裝)된 피스톤 (8)을 갖추고, 상기 실린더 본체 (7)는, 세정액주입구 (703)와 세정액방출구 (704)를 구비하고, 상기 피스톤 (8)은, 상기 세정액 주입구 (703) 및 세정액방출구 (704)에 연통 가능한 배치로 주방향을 따라 형성한 홈 (802)과 상기 세정액주입구 (703) 및 세정액방출구 (704)에 연통 가능한 배치로 상기 홈 (802)에 연속해 상기 홈 (802)보다 얕게 형성한 클리어런스 (803)를 구비한 것을 특징으로 하는 세정액 공급 장치.
청구항 2에 있어서 상기 실린더 (2)는, 세정액공급로 (33) 및 세정액방출로 (34)가 형성된 본체부 (32)와 당해 본체부 (32) 내에 회동이 자유롭게 삽장된, 방사상으로 한 세정액반송로 (36)를 내부에 가지는 구동부 (35)와 당해 구동부 (35)의 외주측과 상기 본체부 (32)의 내주측에 형성한 클리어런스 (37)를 구비한 것을 특징으로 하는 세정액 공급 장치.
피세정물에 대해서 연속해 고압의 세정액을 내뿜는 세정 방법에 있어서, 이 연속한 세정액의 분사와 평행하고, 피세정물에 대해서, 강약을 부여한 세정액을 내뿜는 것을 특징으로 하는 세정 방법.
상기 청구항 5에 기재한 세정 방법을 실시하기 위한 세정액 공급 장치이며, 세정액공급용 펌프 (23)와 당해 세정액공급용 펌프 (23)에 연결된 연속류 분사 노즐 (24a)과 상기 세정액공급용 펌프 (23)보다 공급되는 세정액에 파동적인 강약을 더하기 위한 실린더 (22)를 개입시켜 상기 세정액공급용 펌프 (23)에 연결된 파동류 분사 노즐 (24b)을 갖춘 것을 특징으로 하는 세정액 공급 장치.
청구항 6에 있어서 상기 실린더 (22)는, 실린더 본체와 당해 실린더 본체 사이에 왕복 이동 가능하게 삽장된 피스톤을 갖추고, 상기 실린더 본체는, 세정액주입구와 세정액방출구를 구비하고, 상기 피스톤은, 상기 세정액주입구 및 세정액방 출구에 연통 가능한 배치로 주방향(周方向)을 따라 형성한 홈을 구비한 것을 특징으로 하는 세정액 공급 장치.
청구항 6에 있어서 상기 실린더 (22)는, 세정액공급로 및 세정액방출로가 형성된 본체부와 당해 본체부 내에 회동이 자유롭게 삽장된, 방사상으로 한 세정액반송로를 내부에 가지는 구동부를 구비한 것을 특징으로 하는 세정액 공급 장치.