KR20060050971A - 코팅-라인 부품의 교환 및 운반 장치 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 코팅 라인(1), 특히 대형의 판형 또는 플레이트형 기판, 바람직하게는 유리 기판의 연속 코팅을 위한 진공 처리 장치 및 그러한 코팅 라인의 부품(10)을 교환 및 운반하는 장치에 관한 것이다. 이러한 교환 및 운반 장치는 운반 궤도(4) 및 적어도 하나의 운반대(6)를 포함하는 운반 시스템을 구비한다. 운반대(6)는 운반 궤도를 따라 이동가능하며, 교환되어야 할 부품을 픽업하기 위한 하나 이상의 호이스트(7)를 구비한다. 운반 궤도는 문제가 되는 코팅 라인(1)을 위해 운반 궤도(4)를 정밀하게 조정하는 가이드 부재를 포함한다. 또한, 운반대(6)로 하여금 교환되어야 할 부품(10)의 상승 및 하강 위치로 호이스트를 정확하게 가이드하기 위해, 운반 궤도가 코팅 라인(1)을 따라 위치한다.
코팅 라인, 유리 기판, 운반 궤도, 운반대, 호이스트
Description
도 1은 본 발명에 따른 장치가 구비된 유리 코팅 라인의 사시도로서, 챔버 커버가 코팅 영역에서 들어올려지는 모습을 나타낸 도면이다.
도 2는 본 발명에 따른 장치가 구비된 도 1의 유리 코팅 라인으로서, 챔버 커버가 상승/하강 영역에서 내려지는 모습을 나타낸 도면이다.
도 3은 유리 코팅 라인 상에서 본 발명에 따른 장치의 제2 실시예를 나타낸 도면이다.
도 4는 제1 작동 위치에서 도 3의 제2 실시예를 나타낸 도면이다.
도 5는 제2 작동 위치에서 도 3의 제2 실시예를 나타낸 도면이다.
< 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 >
1: 코팅 라인 2: 코팅 영역
3: 진입 영역 4: 레일
5: 전기 모터 6: 운반대
7: 호이스트 8: 지지부
9: 빔 10: 챔버 커버
11: 크로스빔 12: 운반 플레인
13: 플랫폼 14: 스테이션
15: 그리퍼
본 발명은 코팅-라인 부품(coating-line component)을 교환 및 운반하는, 청구항 1의 전제부에 기재된 장치 및 청구항 12의 전제부에 기재된 코팅-라인에 관한 것이다.
종래 기술에 의하면 코팅라인, 특히 대형의 판형 또는 플레이트형 기판의 진공 처리 설비(vacuum treatment installation)가 공지되어 있다. 이러한 판형 또는 플레이트형 기판의 예로는, 단열층(thermal insulation layer)을 만들기 위해 코팅라인을 따라 연속적으로 이동하는 건축용 유리가 있다. 이러한 종류의 설비는, 연속적으로 여러 가지 공정 및 코팅 작업을 실행할 수 있도록 차례로 배치된 대량의 챔버(chamber)를 포함하는 경우가 있다.
이러한 코팅 라인에서, 인접한 챔버는 소위 챔버 커버에 의해 진공 밀봉 방식으로 폐쇄되어 있는 개구를 그 상부에 구비하는 것이 일반적이다. 이러한 챔버 커버에는 캐쏘드(cathode) 및 펌프, 예를 들어 터보분자 펌프(turbomolecular pump) 또는 오일 확산 펌프(oil diffusion pump)와 같은 적절한 공정 툴(process tool)이 구비되어 있다. 이러한 종류의 코팅 라인의 실례가 EP 4 007 253에 개시되어 있으며, 이는 본 명세서에 병합되는 것으로 한다.
챔버에는 챔버 커버가 구비되고, 챔버 커버에는 공정 툴이 장착되므로, 공정 툴의 교환 및 챔버에의 접근이 용이하다. 즉, 챔버 커버를 들어올려서 제거 또는 교환하기만 하면 된다.
종래의 표준적인 기술에 의하면, 상기 목적을 위하여 작업장 크레인(workshop crane)을 이용하게 된다. 일반적으로 크레인은 두 개의 천장-장착 레일 상에서 작업장을 횡단할 수 있도록 만들어진 운반대(car)를 포함한다. 작업장 크레인의 작업 가능 반경을 증가시키기 위해, 이동가능한 호이스트(hoist), 예를 들어 도르래 장치(block and tackle)가 데릭 운반대(derrick car)의 이동 방향에 대해 수직으로 이동하도록, 운반대 상에 부가적으로 설치된다. 따라서, 데릭용 레일이 작업장의 양측면에 장착되어 있으면, 일반적으로 작업장 전체에 걸쳐 크레인 작업이 가능하다.
챔버 커버와 같은 코팅-라인 부품을 교환하는 종래의 절차는 다음과 같다. 먼저, 새로 장착될 부품을 작업장내 코팅 라인의 측면에 두고, 교환되어야 할 부품을 크레인을 이용해 제거한 다음, 크레인을 사용해 새 부품을 유리 코팅 라인에 설치한다. 이러한 작업을 위해서 적어도 두 명의 작업자가 필요한데, 한 명은 크레인을 수동 조작하고, 다른 한 명은 크레인에 매달려 있는 부품을 붙잡아 안정한 상태에 놓이게 한다. 또한, 두 작업자는 교체할 부품 및 교체되어야 할 부품을 크레인의 잠금장치(fastening means)에 탈부착해야 한다.
이러한 공정은 인력과 시간의 측면에서 모두 상당한 비용을 요한다.
따라서, 본 발명의 목적은 상기 단점을 극복하는 것이며, 또한 코팅 라인, 특히 연속 작동 유리 코팅 라인의 부품을 쉽고 효율적으로 교환할 수 있도록 하는 해법을 제공하는 것이다. 보다 구체적으로는, 이를 위한 적절한 장치 및 적절한 장치와 일체화되는 코팅 라인을 제공하는 것이다.
본 발명의 목적은 청구항 1의 특성을 가진 장치 및 청구항 12의 특성을 가진 코팅 라인에 의해 달성된다. 나머지 종속항에는 구체적인 실시예가 기재된다.
전술한 문제점을 해결하기 위해, 가변적이고 유연 작동이 가능한 작업장 크레인을 대신하여, 코팅 라인에 맞춘 주문형 운반 시스템을 장착하는 방법이 제시된다. 이 시스템은 사용상의 유연성이 제한되지만, 코팅-라인 부품의 교환 및 운반이 매우 효율적이어서, 새로운 시스템에 필요한 추가 비용부담을 상쇄한다. 따라서, 문제가 되는 코팅 라인을 위해 정밀하게 정해진 이동 궤도가 구비되며, 교환되어야 할 부품을 수용하는 적어도 하나의 호이스트를 장착한 적어도 하나의 이동가능한 운반대가 상기 궤도를 따라 이동하게 된다. 이동 궤도는 코팅 라인에 맞게 정밀 주문 제작된 것이므로, 이동가능한 운반대는 정확한 상승 및 하강위치로 정확하고 용이하게 조종될 수 있다. 더욱이, 제시된 방법은 이동가능한 운반대 상에 구비된 호이스트가, 들어올려질 부품 위쪽의 정확한 위치에(이차원 중 적어도 일차원 이상에) 놓이게 한다.
제2 실시예에 따르면, 운반대는 작업자 또는 컴퓨터 제어 위치 시스템의 사용에 의해 적절하게 이동될 수 있으며, 후자의 경우, 교환되어야 할 코팅-라인 부 품의 위치만 지시하면, 시스템이 자동적으로 운반대를 정확한 위치로 이동시킨다. 이를 위해, 이동가능한 운반대 상에 및/또는 이동 궤도를 따라 설치된 적절한 센서 및 그에 상당하는 평가 장치(evaluation unit)가 필요하다.
이러한 시스템을 구비하여, 예를 들어 부품을 반자동으로 교환하는 것이 가능해진다. 이는 호이스트를 교환되어야 하는 또는 들어올려져야 하는 및/또는 수동으로 상승 및 하강을 시작하는 부품을 고정하기만 하면 된다.
그러나, 부품을 완전 자동으로 교환하는 것이 가능한 장치로 형성하는 것이 바람직하다. 이는 예를 들어 호이스트 상의 잠금 장치(fastening means)와 호이스트(즉, 잠금장치)를 결합하는 부품 상에 구비된 장치를 결합하여, 부품이 자동으로 탈부착되도록 함으로써 실행될 수 있다. 이는 예컨대 회전가능한 그리퍼를 구비함으로써 용이하게 구현될 수 있으며, 그러한 그리퍼는 부품을 들어올리기 위해서 부품의 언더컷과 접할 때까지 회전하며, 부품을 내리기 위해서 언더컷을 지나서 가이드될 수 있다.
바람직한 실시예에 따르면 복수의 호이스트가 이동가능한 운반대 상에 구비되어, 챔버 커버와 같은 복수의 부품이 동시에 교환되어질 수 있다. 여러 개의 부품을 동시에 상승 또는 하강시키는 것뿐만 아니라, 교환되어야 할 부품들과 새 부품들을 동시에 들어올림으로써, 이동 거리 및 운반대 시간이 절감된다.
이동 궤도를 정하는 가이드 부재, 예를 들어 레일은, 부품이 코팅 라인을 따라 어디에서든 교환될 수 있도록, 코팅 라인 전체에 걸쳐, 즉 코팅 라인의 전체 길이에 걸쳐 연장되는 것이 바람직하다.
또한, 부품의 교환 및 운반 장치는 일반적으로 교환가능한 부품을 포함하지 않는 영역, 예컨대 진입 및 출구 영역, 버퍼 영역 등을 구비하는 것이 바람직하다. 이러한 구역들은 부품(새로운 부품 또는 교환되어야 할 부품)을 준비 및/또는 보관하기 위한 상승 및 하강 구역으로 사용될 수 있으며, 이로 인해 코팅 라인을 벗어나 그 측면에 부품을 보관할 필요성이 제거된다. 그 결과, 많은 공간이 절약된다.
또한, 부품의 집적(stacking)이 가능하도록 상승 및/또는 하강 구역, 운반대 및 호이스트가 구성되는 것이 더욱 바람직하다.
운반 시스템, 즉 가이드 부재와 운반 궤도는, 코팅 라인의 위쪽 또는 그에 근접한 곳에 놓이는 것이 바람직하며, 레일 형태의 가이드 부재는 작업장 또는 작업장 천장 상에서 코팅 라인 위에 장착되는 것이 바람직하다.
레일 외에도, 다른 적절한 가이드 부재, 예를 들어 원형 가이드, 자기부상식 트랙, 톱니형 랙 등과, 적절한 형태의 이동가능한 부품, 예를 들어 활주 요소, 톱니형 휠 등이 사용될 수 있다. 마찬가지로, 어떤 형태든 적절한 구동 수단이 사용될 수 있다.
또 다른 바람직한 실시예에서, 작업자가 운반 상황을 모니터링하고 근거리 작업을 할 수 있도록, 작업자용 스테이션 또는 제어 스탠드가 운반대 상에 구비된다.
이하, 발명의 상세한 설명 및 도면을 참고로 본 발명의 장점 및 특성을 설명한다.
도 1은 진입 영역(3) 및 코팅 영역(2)을 구비한 유리 코팅 라인(1)의 사시도 이다. 진입 영역(3) 및 코팅 영역(2) 각각에는 복수의 격실(compartment)이 연속해서 배치되며, 코팅 공정시 기판, 즉 창유리(glass pane)는 격실을 통해 가이드된다. 진입 영역(3)에서 창유리가 불연속적으로 진공 코팅 영역(2)에 진입할 수 있도록 여러 챔버(격실)가 잠금장치의 역할을 하기 때문에, 이후의 챔버들은 펌프 격실, 즉 펌프 스테이지로 작용하고, 또는 코팅 챔버로 작용한다. 특히, 기판이 연속적으로 이동하는 개개의 코팅 챔버에서 상이한 코팅층(coating layer)이 부착됨으로써, 일반적으로 일련의 상이한 또는 유사한 코팅층이 유리 기판 상에 침적된다.
코팅 영역(2)에서 각 챔버의 상부에는, 챔버 커버(10)에 의해 진공 밀봉 방식으로 폐쇄되는 개구(opening)가 구비된다. 챔버 커버(10) 상에 여러 가지 코팅 라인 부품, 예를 들어 터보 분자펌프 또는 확산 펌프와 같은 펌프나 캐쏘드, 적절한 배플 장치(baffle arrangement)(도시되어 있지 않음) 등이 장착되는 것이 바람직하다. 이러한 부품 및 챔버 커버(10)는 코팅 챔버 상에 용이하게 장착 또는 삽입될 수 있다.
도 1에 도시된 실시예에서, 인접한 챔버로 구성된 유리 코팅 라인의 상부측에는, 레일(4)(유리 코팅 라인(1)의 측면에 길이 방향으로 각각 하나씩 설치) 및 레일(4) 상에서 이동가능한 운반대(6)로 구성된 운반 궤도가 구비되어 있다. 운반대(6)는 두 개의 평행 빔(parallel beam)(9)으로 구성되는데, 두 개의 빔(9)은 그 사이에 공간부를 가지며, 크로스빔(crossbeam)(11)에 의해 상호 연결된다. 크로스빔(11)도 빔(9)과 마찬가지로 서로 평행하며, 그 사이에 공간부를 가진다. 크로스 빔(11)은 유리 기판이 챔버를 통해 이동하는 방향과 평행하다. 빔(9)과 크로스빔(11)으로 구성된 프레임워크(framework)는 각 빔(9)의 단부에 수직 지지부(8)를 포함한다. 지지부(8)의 하단부에는 롤러 또는 휠이 구비되는데, 두 개의 지지부(8) 중 적어도 어느 하나의 롤러 또는 휠은 그 상부에 위치한 전기 모터(도시되어 있지 않음)에 의해 구동된다. 전기 모터로부터 동력을 공급받아 휠이 레일(4) 상을 움직임이면, 운반대(6)가 유리 코팅 라인(1)을 따라 이동하게 된다. 휠 뿐 아니라 러너(runner)와 같은 다른 가동형 요소도 사용될 수 있다.
운반대(6)에는 호이스트(7)가 구비되며, 이 호이스트(7)는 챔버 커버(10)를 붙잡아 들어 올린 후, 적당한 위치에서 다시 내려놓는다.
또한, 작업자가 동작을 모니터링하거나 또는 예컨대 호이스트를 탈부착할 수 있도록, 작업자가 움직일 수 있는 작업자용 스테이션(14)이 운반대(6)에 구비된다. 작업자용 스테이션(14)은 작업을 제어할 수 있는 제어 스탠드(control stand)로 구성되는 것이 바람직하다.
유리 코팅 라인에 레일(4)(즉, 운반대(6)용 이동 궤도)을 배치하고, 들어올려야 하는 챔버 커버(10)에 적합한 호이스트(7)를 사용함으로써, 예컨대 캐쏘드의 교환을 위한 챔버 커버(10)의 완전 자동 교환이 가능해진다. 이를 위해, 운반대(6)는 코팅 영역(2)에서 호이스트(7)가 교환되어야 할 챔버 커버(10) 및 캐쏘드를 붙잡아 들어올릴 수 있는 위치까지 이동된다. 챔버 커버(10)는 운반대(6)가 이동 궤도(4) 즉, 궤도(4)를 따라서 다시 이동할 수 있을 정도의 높이까지 들어 올려지기 된다.
도 2에 도시된 바와 같이 잠금 영역 상부에는 하강/상승 구역이 구비되는데, 이 구역에서는 예컨대 챔버 커버와 같은 교환가능한 부품들이 위치하지 않는다. 이와 별도로, 코팅 라인의 하강/상승 구역에 가변 하강/상승 구역이 형성될 수도 있는데, 이 구역에서는 일시적으로 교환이 불필요하다.
제거된 챔버 커버(10)는 잠금 영역(3)의 상승/하강 구역에 내려지고, 장착할 준비가 된 챔버 커버(10)는 들어올려져서 장착되어야 할 코팅 라인의 정확한 위치로 운반된다.
교환되어야 할 복수의 부품, 예컨대 챔버 커버(10)를 동시에 들어올리기 위해, 운반대(6)의 치수는 복수의 인접한 챔버 커버를 동시에 들어 올릴 수 있을 정도로 정해져야 한다. 이에 따라, 충분한 수의 호이스트(7)도 구비되어야 한다. 이러한 형태의 장치를 구비하면, 복수의 인접한 챔버 커버를 동시에 제거할 수 있을 뿐만 아니라, 장착 및 제거 작업 중에 제거되어야 할 챔버 커버(10) 및 장착되어야 할 새로운 챔버 커버를 동시에 운반대(6) 내에서 고정할 수 있게 되어, 운반대(6)가 재차 이동할 필요성이 없어지고, 장착 시간도 현저히 감소한다..
이와 유사한 방식으로, 여러 위치에서 동시에 부품이 교환되도록, 유리 코팅 라인(1), 즉 운반 시스템 상에 복수의 운반대(6)를 장착하는 것도 가능하다. 여기서, 운반 시스템은 유리 코팅 라인(1)에 구비되며, 운반 궤도(4) 및 가동형 운반대(6)로 구성된다.
도 3에는 또 다른 실시예가 도시되어 있다. 이 실시예에서, 동일한 부품에는 동일한 참조부호를 부여하였으며, 그에 관한 상세한 설명은 생략한다. 도 3에 도시된 사시도에서 명확히 알 수 있는 바와 같이, 도 3의 코팅 라인(하나의 코팅 영역만 도시되어 있음)은 유리 코팅 라인(1)과 유사하게 구성되어 있다. 여기에는 또 다른 챔버, 예컨대 공정 및 운반 챔버가 추가로 구비될 수 있다. 본 실시예의 운반대(6) 및 레일(4) 장치는 더 소형이다.
전술한 실시예에서와 같이, 레일(4) 중 하나가 유리 코팅 라인의 일측에 장착되고, 다른 레일(4)은 그 보다 높은 위치인 플랫폼(13) 상에 위치한다. 이 플랫폼은 유리 코팅 라인(1)의 측면에 구비되며, 제어용 전기장치를 수용한다. 이러한 구성으로 인해, 운반대(6)의 일측에는 지지부(8)가 불필요하게 되어, 빔 및 그 지지부는 도 1 및 2의 실시예처럼 U-자형을 이루는 것이 아니라, L-자형을 이루게 된다. 따라서, 도 3의 실시예에서 운반대(6)를 가이드하는 휠 또는 롤러는 먼저 지지부(8) 상에 구비되고, 두 번째로는 빔(9) 상에 직접 구비된다. 여기서도 마찬가지로, 빔(9) 중 적어도 하나의 휠 또는 롤러에는 그것에 직접 인가되는 전기 모터(5) 형태의 구동 수단이 구비된다. 또한 도 3의 실시예에는, 코팅되어야 할 기판용의 운반 플레인(transport plane)(12)이 도시되어 있다.
도 4 및 5에는 도 3에 따른 제2 실시예의 두 가지 상이한 작동 위치가 도시되어 있다. 여기서도, 동일한 부품에는 동일한 참조부호를 부여하였으며, 그에 관한 상세한 설명은 생략한다. 도 4에 도시된 작동 위치에서, 운반대(6)는 운반 궤도(4)를 따라 위치하며, 제거되어야 할 챔버 커버(10)의 상부에 위치하는 호이스트(7)를 구비한다. 필요한 호이스트(7)의 그리퍼(15)가 챔버 커버(10)의 대응 결합 수단(도시되어 있지 않음)의 수직 상부에 위치하도록 배치된다. 일단 배치 작동이 완결되면, 호이스트(7)의 그리퍼(15)는 챔버 커버(10)의 결합 수단과 접촉하게 되고, 챔버 커버(10)를 챔버로부터 들어올려진다.
도 5에 도시된 바와 같이, 호이스트(7)에 의해 챔버 커버(10)가 수직 상승하여, 챔버 커버(10)의 바닥부가 챔버의 상부측에 오게 된다. 도 4 및 도 5에 도시된 바와 같이, 챔버 커버(10)에는 역행 펌프(backing pump)와 접속하는 연결 파이프(16)가 구비될 수 있다. 도 5에서 챔버 커버(10)가 들어올려져 있기 때문에, 챔버 커버의 후방에 위치하는 펌프 스테이션(17)이 보이게 된다. 펌프 스테이션(17)에도 마찬가지로 유사한 연결 파이프(16)가 구비된다. 운반대(6)를 이동시키면 챔버 커버(10)가 운반 궤도(4)를 따라 챔버로부터 이격되도록 운반되어, 예컨대 잠금 영역(3)의 상부에 위치한 하강/상승 구역에 내려지게 된다.
시간 절약을 위해 운반대(6)에 호이스트(7)를 추가 장착하는 것도 가능하며, 이 때 챔버 커버(10)의 제거 전에 하나 이상의 챔버 커버(10)가 그 호이스트(7)에 결합된다. 이러한 대체 챔버 커버(10) 중 하나는 개구의 상부에 위치할 수 있는데, 이 개구는 챔버 커버(10)의 제거로 개방되었다가 챔버 커버를 내려 대체하면서 다시 폐쇄된다. 이런 식으로, 챔버 커버를 더욱 효율적으로 교체할 수 있다.
전술한 동작은 적절한 위치 시스템에 의해 완전히 자동 제어될 수 있다. 또한, 운반대(6)는 스테이션(14) 상의 작업자에 의해 그와 함께 움직일 수도 있으며, 작업자가 제어 시스템을 조정할 수도 있다. 대안적으로, 전술한 동작은 플랫폼(13) 상의 작업자에 의해 제어될 수 있으며, 그 외의 임의의 장소에서도 제어 및 모니터링될 수 있다.
이상 설명한 바와 같이, 본 발명에 의하여 코팅 라인, 특히 연속 작동 유리 코팅 라인의 부품을 쉽고 효율적으로 교환할 수 있다.
Claims (17)
- 코팅 라인(1)의 부품, 특히 유리 코팅 라인의 챔버 커버(chamber cover)를 교환 및 운반하는 장치에 있어서,이동 궤도(4) 및 하나 이상의 운반대(6)를 포함하는 운반 시스템을 구비하며,상기 운반대(6)는 상기 이동 궤도를 따라 이동가능하며, 교환되어야 할 부품(10)을 픽업(pick-up)하기 위한 하나 이상의 호이스트(hoist)(7)를 구비하며,상기 이동 궤도(4)는 문제가 되는 코팅 라인(1)을 위해 정밀하게 정해진 이동 궤도를 결정하는 가이드 부재를 포함하며,상기 운반대(6)가 교환되어야 할 상기 부품(10)의 상승 및 하강 위치로 상기 호이스트(7)를 정확하게 안내하도록, 상기 이동 궤도가 상기 코팅 라인을 따라 배치되어 있는 것을 특징으로 하는,코팅 라인 부품의 교환 및 운반 장치.
- 제1항에 있어서,상기 운반 시스템은 상기 코팅 라인(1) 또는 상기 코팅 라인(1) 부근에 위치하거나, 또는 상기 코팅 라인(1)을 둘러싸거나 또는 상기 코팅 라인(1)의 위쪽에 위치하는 것을 특징으로 하는,코팅 라인 부품의 교환 및 운반 장치.
- 제1항 또는 제2항에 있어서,상기 가이드 부재는 레일(4), 톱니형 랙, 원형 가이드 또는 자기부상식(maglev) 트랙에 의해 형성되며, 특히 코팅 라인 상에, 또는 코팅 라인의 측면이나 위쪽에 위치하는 것을 특징으로 하는,코팅 라인 부품의 교환 및 운반 장치.
- 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,상기 운반대(6)는 복수의 호이스트(7)를 포함하며, 특히 복수의 상기 코팅 라인 부품을 동시에 교환할 수 있도록 상기 복수의 호이스트(7)가 배치되는 것을 특징으로 하는,코팅 라인 부품의 교환 및 운반 장치.
- 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,상기 코팅 라인(1)의 부품(10)을 보관 및/또는 준비 상태에 놓기 위해, 하나 이상의 하강 및/또는 상승 구역(3)을 구비하는 것을 특징으로 하는,코팅 라인 부품의 교환 및 운반 장치.
- 제5항에 있어서,상기 운반대(6)는 상기 코팅 라인의 부품을 보관 및/또는 준비 상태에 놓기 위한 하강 및/또는 상승 구역(7)의 수와 같거나 또는 적은 수의 호이스트(7)를 포함하는 것을 특징으로 하는,코팅 라인 부품의 교환 및 운반 장치.
- 제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서,상기 운반대(6)를 두 개 이상 구비하는 것을 특징으로 하는,코팅 라인 부품의 교환 및 운반 장치.
- 제1항 내지 제7항 중 어느 한 항에 있어서,상기 운반대(6)는 갠트리 크레인(gantry crane)으로 구성되거나, 또는 빔 지지부(8) 및/또는 이동가능한 부품에 놓여 있으며 두 개 이상의 크로스빔(11)에 의해 서로 연결되어 있는 두 개의 상호 평행한 빔(9)의 프레임워크(framework)로 구성되며,호이스트(7)는 상기 빔 사이에 또는 상기 빔 상에 장착되어 있는 것을 특징으로 하는,코팅 라인 부품의 교환 및 운반 장치.
- 제8항에 있어서,상기 빔(9) 및 상기 빔 지지부(8)는 U-자형 또는 L-자형을 이루는 것을 특징으로 하는,코팅 라인 부품의 교환 및 운반 장치.
- 제1항 내지 제9항 중 어느 한 항에 있어서,상기 이동가능한 운반대(6)는 바퀴, 롤러, 활주 요소, 톱니바퀴 또는 활주부(runner) 및/또는 이들을 위한 구동 수단(5)을 포함하는 것을 특징으로 하는,코팅 라인 부품의 교환 및 운반 장치.
- 제1항 내지 제10항 중 어느 한 항에 있어서,상기 코팅 라인 부품의 교환 및 운반 장치를 제어하기 위해 프로그래머블 데이터 처리 시스템(programmable data processing system)을 구비하고,상기 처리 시스템은 상기 운반대 및/또는 상기 이동 경로 상의 센서 수단과 함께, 특히 사용자의 적절한 입력에 따라, 상기 운반대를 교환되어야 할 부품에 자동적으로 위치시킴으로써, 상기 부품을 완전 자동으로, 또는 반자동으로 교환하도록 하는 것을 특징으로 하는,코팅 라인 부품의 교환 및 운반 장치
- 코팅 라인, 특히 대형의 판형 또는 플레이트형 기판의 연속 코팅을 위한 진공 처리 설비, 바람직하게는 유리 코팅 라인에 있어서,부품을 교환 및 운반하기 위한, 제1항 내지 제11항 중 어느 한 항에 의한 장치를 포함하는 것을 특징으로 하는,코팅 라인.
- 제12항에 있어서,제거되어야 할 상기 코팅 라인 부품(10), 특히 챔버 커버, 바람직하게는 상기 챔버 커버 상에 장착되는 캐쏘드(cathode) 및 펌프는, 상기 호이스트(7)를 결합하기 위한 결합 수단을 포함하며,상기 결합 수단 및 상기 호이스트(7)의 연동에 의해, 자동적으로, 특히 원격 제어에 의해 결합 및 해제가 가능한 것을 특징으로 하는,코팅 라인.
- 제12항 또는 제13항에 있어서,상기 코팅 라인(1)은 진입 구역(3), 출구 구역, 및/또는 버퍼 구역(buffer zone)을 포함하며,하나 이상의 상기 구역은 코팅 라인의 부품을 위한 하강 및/또는 상승 영역인 것을 특징으로 하는,코팅 라인.
- 제12항 내지 제14항 중 어느 한 항에 있어서,상기 이동 궤도(4)는 상기 코팅 라인(1) 전체에 걸쳐, 특히 하강 및/또는 상승 영역에 걸쳐 연장되는 것을 특징으로 하는,코팅 라인.
- 제13항에 의한 코팅 라인, 또는 제1항 내지 제11항 중 어느 한 항에 의한 코팅 라인 부품의 교환 및 운반 장치에 있어서,상기 호이스트는 적극 결합(positively-engaging) 그리퍼(gripper) 및/또는 마찰형 그리퍼를 포함하는 것을 특징으로 하는,코팅 라인, 또는 코팅 라인 부품의 교환 및 운반 장치.
- 제13항에 의한 코팅 라인, 또는 제1항 내지 제11항 중 어느 한 항에 의한 코팅 라인 부품의 교환 및 운반 장치에 있어서,상기 호이스트는 부품의 유지 보호장치(retention safeguard), 특히 이동, 상승 또는 하강 중 미끄러짐을 방지하는 장치를 포함하는 것을 특징으로 하는,코팅 라인, 또는 코팅 라인 부품의 교환 및 운반 장치.
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