KR20060048237A - 정전필터용 가스서플라이 및 정전필터 조립체 - Google Patents

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KR20060048237A
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발케-뒤르 게엠베하
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Abstract

본 발명은 정전필터용 가스서플라이와, 정전필터와 가스서플라이를 가지는 정전필터장치에 관한 것이다. 여기서, 가스서플라이는 일정한 단면적의 유입플로우채널과, 정전필터 방향으로 팽창하는 단면적을 가지는 가스입력후드와, 조절수단으로써 혼합장치를 가지고, 적어도 하나의 플로우 분배기가 상기 가스유입후드의 팽창하는 단면 영역에 설치된다. 전단 보텍스를 발생하는 제1보텍스 장치가 상기 유입플로우채털에 설치되고, 전단 보텍스를 발생하는 제2보텍스 장치가 가스 플로우의 방향으로 상기 플로우 분배기의 전방의 상기 가스유입후드에 설치되며, 혼합장치가 상기 2개의 보텍스장치의 영역에 설치되는 것을 특징으로 한다.
정전필터, 가스 서플라이

Description

정전필터용 가스서플라이 및 정전필터 조립체{Gas supply for electrostatic filter and electrostatic filter arrangement}
도 1은 정전필터와 가스 서플라이를 가지는 정전필터장치를 통한 길이방향 단면도
본 발명은 청구항 1의 전제부와 같이 정전필터용 가스 서플라이, 및 정정필터와 가스 서플라이를 가지는 정전필터 조립체에 관한 것이다.
정전필터는 음식물소각장치, 발전 플랜트 시멘트, 석회, 석고, 쇠, 강철 제조와 같은 소성제품 플랜트와 같은 여러 장소에서 기류, 굴뚝가스, 또는 일반적인 가스에서 작은 먼지 입자와 같은 분리하기 어려운 고체입자를 필터링하는데 사용된다. 이런 목적에서, 상기 기류는 전기장에 통과되고, 여기에서 전극으로부터 나온 전자가 상기 먼지입자에 부착되어, 집진전극의 방향으로 상기 먼지입자와 함께 운동하여 이들을 분리시킨다.
정전필터는 최대의 효율로 상기 가스를 청정시키기 위해서는, 상기 가스는 가능한 한 균일하게 상기 필터를 통과하여야 한다. 상기 필터 내부로의 비최적 플로우는 먼지, 온도 또는 가스의 유속의 비균일분포를 이끌고, 결과적으로 감소된 필터성능을 초래하여 비최적 청정효과를 나타낸다. 이러한 비균일 플로우분포에 의해, 입자 퇴적물이 쉽게 형성되어, 상기 정전필터의 기류의 단면적을 천천히 감소시켜, 효율을 떨어뜨린다.
그러므로, 전형적으로 정전필터조립체는 상기 정전필터의 전단에 위치하고, 상기 필터 내부를 향해 가능한 한 균일하게 가스가 필터링되고 하는 가스 서플라이를 가진다. 일반적으로 상기 가스 서플라이는 상기 가스가 상기 필터방향으로 흐르게 하는 유입플루우 채널과, 대략 도립된 깔때기 모양으로 상기 정전필터에 유입플로우 채널로부터 연장되는 가스입력후드를 포함한다. 따라서, 상기 가스입력후드는 상기 유입플루우 채널에 상응하는 작은 단면영역을 플로우방향의 전단의 단면에 가지고, 상기 플로우방향의 후단에 상기 정전필터의 단면에 충분히 상응하는 큰 단면영역을 가진다.
상기 필터 내의 플로우를 균일하게 하기 위해서, 일반적으로 상기 가스 입력 후드의 연장된 영역에 정전필터의 바로 전에 적어도 하나 이상의 플로우 분배기가 상기 가스 서플라이에 배치되어야 한다. 전형적으로 이러한 플루우 분배기는 천공된 플레이트의 형태로써, 종종 몇개의 층으로 배치되는 가스 분배 장치이다.
필터작용의 또 다른 향상 또는 단순히 필터링된 가스에 여과에 충분한 초기조건을 형성하기 위해, 조절수단이 상기 가스 서플라이에서 혼합장치에 의해 상기 가스 플로우에 혼합된다. 일예로 냉각조절이 있으며, 이는 상기 가스를 냉각하기 위해 상기 가스 플로우에 물을 분사하는 것이다. 또한, 상기 가스 속으로 SO3, NH3, 수증기 등을 주입하는 것에 의해 온도 변화 없이 상기 먼지의 전기저항을 감소시키는 조절을 상기 가스에 할 수 있다. 가능한한 혼합을 균일하게 하기 위해, 상기 혼합장치는 대개 상기 가스 서플라이에 배치된 복수의 노즐을 가진다.
공지의 정전 필터 장치는 매우 효과적인 것이 이미 입증되어 있다. 그러나, 여과 시스템의 방출방지를 위해 점점 더 엄격한 요구사항이 요구되는 상황에 반하여, 상기 기술에 관련되어 향상된 효율을 나타내는 정전 필터 장치의 요구가 여전히 크다.
그러므로, 본 발명은 정전 필터 장치의 효율을 향상시키는 것을 목적으로 하고 있다.
상기 목적은 청구항 1에 따른 정전 필터에 대한 상기 가스 서플라이 및, 청구항 12에 따른 정전 필터 장치에 의해 달성된다. 상기 가스 서플라이의 바람직한 한정은 상기 종속항에 나타난다.
따라서, 본 발명은 먼저, 정전 필터 장치의 정전필터의 상기 가스 서플라이에 관련된다. 왜냐하면, 발명자에 의한 연구에 의하면, 상기 필터에 가스유입의 영역에서 상기 정전필터장치의 효율을 향상시키는데에 특히 큰 가능성이 있기 때문이다. 여기서, 상기 가스 서플라이는 기본적으로 일정한 단면적을 가지는 입력 플로우 채널과, 상기 정전 필터의 방향으로 팽창된 단면적을 가지는 가스입력후드와, 조절수단용 혼합장치를 가지는 공지의 가스 서플라이이다. 여기서, 적어도 하나의 플로우 분배기가 상기 팽창된 단면 영역에 설치된다.
본 발명에 따른 상기 가스 서플라이는, 전단 보텍스를 발생하는 제1보텍스장치와 전단 보텍스를 발생하는 제2보텍스장치가 가스플로우의 방향으로 상기 플로우 분배기의 전방에 가스입력후드가 설치되고, 상기 혼합장치는 상기 2개의 보텍스장치 중 하나의 영역에 설치되는 점에서 구별된다. 상기 보텍스 장치는 기본적으로 디퓨저로 EP0638732A1 등에서 이미 기재된 바와 같이, 공지의 빌트인 요소이다.
상기 보텍스 장치의 필수적인 특징은, 전단 보텍스를 발생하는 것이다. 보텍스 드래그(Vortex drag)라고 일컬어지고도 하는 상기 전단 보텍스는 작은 토네이도로 형상되고, 플로우 방향을 향하며, 그 직경이 플로우 방향으로 커진다. 여기서, 상기 보텍스는 상기 보텍스 장치의 측단으로부터 최초에는 바깍쪽으로 돌고, 다시 내측으로 돌며, 여기서 반대의 보텍스는 서로 반대로 돌게 된다. 이러한 보텍스 장치에서 다운스트림(Downstream)을 보면, 상기 전단 보텍스는 반대방향으로 회전하 는 2개의 소용돌이로 보이게 된다.
상기 전단 보텍스는 극히 안정된 보텍스 시스템이고, 상기 가스 플로우의 혼합을 통해 특히 효과적인 장점을 가진다. 그러므로, 이러한 보텍스 장치 전방에 가능한 한 균일하게 형성되고, 동시에 가스 플로우의 양과 거의 독립적으로 설정될 수 있는 난류 거동이 가능하다. 그러므로, 이러한 보텍스 장치는 가스의 변동량에 연속적으로 적응할 필요가 없다. 다음으로, 정적 믹서에 관해 언급한다. 이러한 완전한 혼합특성 때문에, 전단 보텍스를 발생하는 보텍스 장치는 특히 디퓨저에서 사용되고, 종래의 편향판, 가이드판, 또는 다공판을 완벽하게 대체하며, 플로우 분배 또는 편향을 위해 사용된다.
상기 플로우 분배기(다공판)을 완벽하게 대체하는 이러한 적용이 적합하지 않다고 인식되었기 때문에, 지금까지 이러한 보테스 장치는 정전필터장치 또는 정전필터용 가스 서플라이에 사용되지 않았다. 특히, 크게 팽창하는 가스입력후드는 효과적으로 균일한 플로우를 만들기 위한 이러한 전단 보텍스의 사용에 매우 미흡한 것으로 나타난다.
반대로, 여기서 상기 보텍스 장치는 정전 필터용 가스서플라이의 크게 팽창된 가스입력후드에 삽입되고, 전과 다르게 예를 들어 상기 플로우 분배기와 같은 플로우 분배 빌티인 요소를 완벽하게 대체하는데 사용되지 않으며단지 부분에서 입력플로우 거동을 향상하는데 사용된다.
더욱 상세하게는, 이는 상기 정전 필터의 전방에 설치되는 상기 플로우 분배기 내에 플로우가 최적화되어 2이나 3이 아닌 오직 하나의 다공시트층이 필요하다 는 것을 의미한다. 이런 방법으로, 상기 보텍스 장치는 플로우 방향에 대각선 위치 때문에 높은 보텍스 효과로써 상기 플로우 방향으로 최소한의 프로젝션 영역을 가지며, 여기서 압력손실이 크게 감소한다. 동시에, 강력한 보텍스 효과가 발생되서, 상기 입자는 크게 움직여 전과 같이 쉽게 뭉치지 못한다. 동시에, 상기 보텍스 효과는 먼지 덩어리를 부수어 분배하여, 상기 먼지 입자의 분배를 균일하게 한다. 또한, 난류지만 균일한 플로우 덕분에, 상기 정전필터에서 상기 플로우 분배는 단지 하나의 다공판층으로 수행될 수 있다. 그러므로, 상기 가스 서플라이에서 빌트인 표면이 감소되고, 상기 정전필터 또는 정전필터장치의 효율은 전체적으로 크게 증가하며, 반면에 기본적으로 장점이 있다고 판명된 상기 정전필터 내의 플로우는 상기 다공판에 의해 유지될 수 있다.
추가적으로, 본 발명에 따른 상기 가스 서플라이는 보텍스장치가 적어도 거의 일정한 단면을 가지는 상기 입력 플로우 채널에 설치된다는 것에 특징이 있다. 그러므로, 제1전단보텍스는 반드시 평행한 채널 벽면을 가지는 난류부에서 이미 형성된다. 이 장치는 상기 보텍스 장치가 항상 디퓨저의 팽창 영역 안에 설치된다고 전제하는 종래의 태도에 반대하게 가정하는 종래의 입장을 반대된다. 이는 상기 정전필터 전방의 적어도 하나의 플로우 분배기를 유지하는 것에 의해 발생되는 시너지 효과에 기인한다.
발명자에 의한 연구에서 상기 유입 플로우 채널 내의 상기 제1보텍스 장치의 바람직한 설치는 다른 보텍스 장치와 플로우 분배기와 다공판이 순서대로 위치하면, 정전 필터에 있어서 충분히 좋은 플로우 분배를 발생하는 것이 밝혀졌다. 그러 므로, 단순한 또는 종래의 편형판의 도움으로, 상기 가스입력후드에서 상기 플로우 분배기의 방향으로 기본적으로 이미 난류 및 완전히 혼합된 가스 플로우가 가리키는 것이 가능하며, 이 때 정전필터를 통하여 균일한 플로우가 보장된다.
특히, 상기 혼합장치가 상기 2개의 보텍스 장치 중 하나의 영역에 설치되는 것이 바람직하다. 그러므로, 상기 강한 전단 보텍스가 상기 가스 플로우 내로 사기 조절수단의 효과적인 혼합에 상용될 수 있다. 상기 플로우 방향으로 팽창하는 상기 전단 보텍스 시스템 때문에, 상기 플로우 단면에서 상기 조절수단의 특히 우수한 혼합은 점주입(point-wise injection)으로 수행된다.
상기 제1보텍스 장치는 상기 주 플로우의 방향으로 상기 입력 플로우 채널의 벤드(bend) 전방에 설치된다. 이는 상기 제1보텍스 장치가 상기 입력 플로우 채널에서 상기 벤드의 방향으로 상기 가스 플로우를 편향하는데 사용될 수 있는 장점을 가진다.
이 방법에서, 제1보텍스 장치는 상기 벤드의 외측보다 상기 입력 플로우 채털에서 상기 벤드의 내측에 가깝게 설치되는 것이 바람직하며, 그리하여 상기 입력플로우 채널의 중심과 관련하여 상기 벤드의 내측으로 비대칭적으로 설치된다. 그러므로, 플로우 에너지의 증가된 양이 상기 내측에 공급되고, 상기 플로우가 상기 내측단의 날카로운 편향을 따를 수 있게 된다. 상기 제2보텍스 장치와의 상호작용으로, 상기 필터후드의 거의 분리없는 편형을 수행할 수 있고, 이는 상기 플로우 분배를 크게 향상하게 된다.
기본적으로, 상기 제1보텍스 장치는 상기 유입 플로우 채널에 경사지게 설치 될 수 있어서, 상기 가스 플로우에 대면하는 적어도 하나의 유입 플로우 표면의 유입 플로우 단부가 상기 벤드의 내측방향을 가리키고, 상기 분리 단부는 상기 입력 플로우 채널에서 상기 벤드의 외측을 가리킨다. 그러나, 상기 제1보텍스 장치는 경사지게 사익 입력플로우채널에 설치되는 것이 바람직하며, 상기 가스 플로우에 대면하는 적어도 하나의 유입플로우 영역의 유입플루우 단부는 상기 벤드의 외측의 방향을 가리키고, 상기 분리 단부는 상기 유입플로우채널에서 상기 벤드 내측으로 가리킨다. 이런 방법에서, 상기 유입플로우 단부는 상기 가스 플로우와 대면하는 상기 보텍스 장치의 단부이고, 상기 분리 단부는 상기 플로우로부터 멀어지는 단부이다. 달리 말하면, 상기 보텍스 공정은 유입프로우단부 및 유출플로우단부에 시작되고, 상기 가스 플로우는 상기 유입플로우 면을 이탈한다. 상기 구성은 분리 단부에서 특히 강한 전단 보텍스 시스템을 만들며, 이는 상기 유입플로우채널에 상기 벤드의 외측의 영역 안까지 연장된다.
상기 제2보텍스 장치가 상기 가스유입후드의 하부영역에 설치되는 것이 바람직하다. 이는 상기 가스유입후드의 하부영역에 전단 보텍스와 완전히 혼합되는 효과가 있어서, 자중 때문에 가라앉는 먼지입자가 상기 가스유입후드의 바닥에 쌓이지 않고, 대신, 상기 필터 앞에서 난류인 상기 가스 플로우 속으로 혼합된다. 이는 상기 가스입력후드의 바닥면에 싸하이는 입자침전물을 감소시키고, 정전필터 효율의 상당한 향상을 이끈다. 추가적으로, 수직의 유입플로우채널에 있어서, 벤드 때문에 수평방향으로 편향되는 에어플로우는 수평방향으로 상기 제2보텍스 장치를 통해 다시 유도된다. 그러므로, 상기 보텍스 장치는 완벽한 혼합수단 뿐 아니라 편향 수단으로도 사용된다.
바람직하게는, 상기 제2 보텍스 장치는 상기 가스입력후드의 벽에 예각으로 설치된다. 여기에서, 예각은 0.5°~45°이어야 한다. 그러므로, 진보된 전단 보텍스 시스템은 상기 보텍스 장치의 유입플로우채널에 의해 가능하다.
특히, 상기 혼합장치는 상기 보텍스 장치의 유입플로우 단부 뒤에 개방하는 것이 바람직하다. 그러므로, 매우 단순한 혼합장치가 보텍스 장치의 유입플로우 단부 뒤에 개방되는 연결피스로 사용될 수 있다. 상기 유입 플로우 단부에 형성되고 플로우 방향으로 콘(cone)과 같이 팽창하는 강한 보텍스 때문에, 상기 관통가스와 상기 연결피스를 통해 조절수단의 우수한 혼합이 점혼합으로 달성된다. 여기에서, 상기 혼합장치가 상기 보텍스 장치에 직접 설치되는 실시예가 또한 바람직하다.
보텍스 장치는 적어도 하나의 보텍스 디스크를 가진다. 보텍스 디스크는 오래전에 공지되었으며, 원, 타원, 직사각형, 또는 델타윙(제트기의 삼각날개, delta wing)의 형상이 될 수 있고, 여기서 직선, 굽은 형상, 또는 삼각형, 물방울의 단면 형상의 디스크가 적합하다.
보텍스 장치는 플로우 단면에서 수개의 보텍스 디스크가 차례로 배치된다. 여기서, 상기 보텍스 디스크는 상기 벽에 연쇄로 이어지거나, 개별적으로 설치될 수 있다. 보텍스 장치는 전체의 단면 주위로 연쇄로 이어질 수 있다.이것은, 직사각형의 유입플로우 채널에서, 적어도 하나의 보텍스 디스크가 상부, 바닥, 좌, 우에 설치되는 것을 의미한다.
보텍스 장치는 수개의 캐스케이딩 보텍스 디스크를 가지는 것이 바람직하다. 여기서 "캐스케이딩"은 일렬로 배치된 보텍스 디스크의 기능적인 연쇄로 이해될 수 있다. 그러므로, 이는 계단의 이미지를 나타내며, 여기서 개개의 보텍스 디스크의 경사진 또는 대각선 오프셋 배치가 또한 예상될 수 있다. 중요한 것은, 상기 가스 플로우가 하나의 보텍스 디스크에서 다음 디스크로 인도되면서, 최적의 유도 효과를 나타낸다.
보텍스 장치는 수개의 보텍스 디스크를 포함하는 시스템을 가지는 것이 바람직하다. 이러한 보텍스 시스템은 공통의 피벗축에 설치된 복수의 보텍스 디스크를 포함한다. 따라서, 수개의 보텍스 디스크의 효과는 회전 또는 피벗팅을 통해 서로 고정된 기능적인 연결로 동시에 변화한다.
본 발명에 따르면, 상기 언급한 실시예와 개량예 중 하나에 의한 정전필터와 가스 서플라이를 가지는 정전필터장치에 의해 상기 목적은 달성된다. 상기 정전필터장치는 이미 기술한 수단을 사용한 보텍스 디스크와, 상기 가스 서플라이의 선행되는 예에서 이미 기술된 방법의 사용에 의해 특히 구별된다.
본 발명을 도면을 참조하여 더욱 상세하게 설명한다.
도 1에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따르는 상기 정전필터장치(1)는 정전필터(2), 가스 서플라이(3), 및 가스 배출기(4)를 가진다. 상기 정전필터장치(1)의 작동 동안, 상기 가스 서플라이(3)은 가스 플로우(5)를 운반하여 여과시키고, 상기 필터(2)가 가리키는 수직방향에서 기본적인 수평한 방향으로 편향한다. 상기 필터(2)에서, 여과된 상기 가스 플로우(5)는 전에 언급한 전기 공정에 의해 상기 가스에서 수집된 입자를 자유롭게 하고, 상기 정전필터장치(1)로부터 여과된 가스 플로 우(6)로써 상기 가스방출기(4)에 의해 배출한다.
이 실시예에서, 상기 가스 서플라이(3)은 기본적으로 일정한 플로우 단면에 수직의 유입플로우채널(6)을 포함한다. 상기 유입플로우채널에서 벤드(9)는 주플로우의 방향으로 유입플로우채널(7)에 연결된다. 여기서, 상기 여과된 가스 플로우(5)는 수직방향에서 수평방향으로 플로우의 방향이 변화한다.
필터(2)의 방향의 단면으로 팽창하는 상기 가스입력후드(8)은 상기 곡형 유입플로우채널(9)를 따른다. 단순한 다공판인 상기 플로우 분배기(10)는 상기 정전필터(2) 전에 상기 가스입력후드(8)의 가장큰 단면영역에 직접 위치한다.
전단 보텍스를 발생하는 제1보텍스장치(11)는 상기 곡형부(9) 전에서 상기 유입플로우채널(7)에 설치된다. 전단 보텍스를 발생하는 제2보텍스장치(12)는 상기 가스입력후드(8)의 근처 영역에, 즉 상기 다공판(10) 전에 플로우의 방향으로 위치한다. 여기서 도시된 실시예에서, 각각의 보텍스 장치는 상기 가스 플로우와 대면하는 측부 상의 유입플로우 표면(13)을 가지는 하나의 원형 보텍스 플레이트이다. 상기 유입플로우 표면(13)은 상기 상향류 유입플로우 단부(14)와 상기 하향류 분리 단부(15)와 연결된다.
여기서, 상기 제1보텍스 플레이트(11)는 상기 벤드(9) 앞에 설치돼서, 상기 유입플로우 표면(13)은 상기 벤드의 외측(21)에서 상기 벤드(9)의 내측으로 플로우 방향으로 연장된다. 여기에 도시된 매우 날카로운 벤드(9)에 있어서, 상기 벤드의 외측(21)은 대각선으로 위를 향하는 플레이트이며, 반면에 상기 벤드의 내측(22)은 상기 유입플로우채널(7)과 상기 가스유입후드(8)의 상이에 구석부 또는 천이부에 상응한다.
상세하게, 상기 제1보텍스 플레이트(11)는 상기 유입플로우 단부(14)가 상기 여과된 가스 플로우(5)에 대하여 아래를 향하도록 설치되고, 상기 분리 단부(15)는 위를 가리킨다. 상기 유입플로우 표면(13)은 상기 유입플로우단부(14)로부터 대각선으로 위쪽으로 상기 도시된 길이방향 단면에서 분리단부(15)까지 연장된다.
상기 유입플로우단부(14) 뒤에서 상기 대각선 플로우를 받는 보텍스 장치(11)에서, 주플로우(5)의 방향에서 상기 유입플로우단부(14)로부터 수직 위방향으로 퍼지게 하는 진보된 전단 보텍스 시스템(16)이 형성된다. 여기서, 전단 보텍스(16)의 직경은 상기 가스 플로우(5)의 주플로우 방향으로 수직방향으로 증가한다. 또한, 상기 제2보텍스 플레이트(12)에 상응하는 조절이 적용되고, 여기에 전단 보텍스 시스템(17) 역시 형성되며, 여기서 상기 전단 보텍스 시스템(17)은 기본적으로 거의 수평인 다공판(10)으로 상기 플로우를 가리키도록 한다.
수직에서 수평을 향해 가스 플로우(5)의 균일한 편향을 위해, 종래의 굴곡 구조인 편향 플레이트(18)가 상기 상부영역의 가스입력후드(8)에 위치한다. 상기 편향 플레이트는 단지 상기 보텍스 장치(11)에 의해 이미 생성된 가스 플로우의 방향변화에 도움을 주며, 특히 보텍스 형상을 위해 사용되지 않는다.
여과된 상기 가스(5)를 조절하기 위하여, 상기 연결피스(19)가 상기 유입플로우채널(7)과 제1보텍스 플레이트(11)의 유입플로우단부(14)의 영역에 한정적으로 설치된다. 조절수단(20)은 상기 연결피스에 의해 유입플로우채널에 주입될 수 있다. 하향류(downstream)를 전파하는 보텍스(16)에서 상기 가스 플로우의 강한 보텍 스 효과 때문에, 상기 조절수단(20)으로 상기 가스와 특히 완벽한 혼합이 이루어져서, 복잡한 다중노즐 혼합장치가 생략될 수 있다. 이는 흐름저항과 제조비용을 감소시키고, 상기 혼합장치(19)를 먼지의 침전으로부터 야기되는 문제에 둔감하게 한다.
본 발명을 통하여 정전 필터 장치의 효율을 향상시킬 수 있다.

Claims (12)

  1. 일정한 단면적의 유입플로우채널과, 정전필터 방향으로 팽창하는 단면적을 가지는 가스입력후드와, 조절수단으로써 혼합장치를 가지고, 적어도 하나의 플로우 분배기가 상기 가스유입후드의 팽창하는 단면 영역에 설치되는 정전필터용 가스서플라이에 있어서,
    전단 보텍스를 발생하는 제1보텍스 장치가 상기 유입플로우채털에 설치되고, 전단 보텍스를 발생하는 제2보텍스 장치가 가스 플로우의 방향으로 상기 플로우 분배기의 전방의 상기 가스유입후드에 설치되며, 혼합장치가 상기 2개의 보텍스장치의 영역에 설치되는 것을 특징으로 하는 정전필터용 가스서플라이.
  2. 제1항에 있어서, 상기 제1보텍스 장치는 주플로우 방향으로 상기 유입플로우채널에 벤드 전에 설치되는 것을 특징으로 하는 가스서플라이.
  3. 제2항에 있어서, 상기 제1보텍스 장치는 상기 유입플로우채널에서 상기 벤드의 외측보다 벤드의 내측에 더 근접하게 설치되는 것을 특징으로 하는 가스서플라이.
  4. 제2항 또는 제3항에 있어서, 상기 제1보텍스 장치는 상기 유입플로우채널에경사져서 설치돼서, 상기 가스 플로우에 대면하는 적어도 하나의 유입플로우 표면의 유입플로우단부가 상기 벤드의 외측방향을 가리키고, 상기 분리단부가 상기 유입플로우채털에서 상기 벤드의 내측방향을 가리키는 것을 특징으로 하는 가스서플라이.
  5. 선행하는 항 중의 어느 한 항에 있어서, 상기 제2보텍스장치는 상기 가스입력후드의 하부영역에 설치되는 것을 특징으로 하는 가스서플라이.
  6. 선행하는 항 중의 어느 한 항에 있어서, 상기 제2보텍스장치는 상기 가스입력후드의 벽에 예각으로 설치되는 것을 특징으로 하는 가스서플라이.
  7. 선행하는 항 중의 어느 한 항에 있어서, 상기 제2보텍스장치는 상기 가스입력후드의 하부영역에 설치되는 것을 특징으로 하는 가스서플라이.
  8. 선행하는 항 중의 어느 한 항에 있어서, 상기 보텍스장치는 적어도 하나의 보텍스 디스크를 가지는 것을 특징으로 하는 가스서플라이.
  9. 선행하는 항 중의 어느 한 항에 있어서, 상기 보텍스장치는 플로우 단면에서 차례로 설치되는 수개의 보텍스 디스크를 가지는 것을 특징으로 하는 가스서플라이.
  10. 선행하는 항 중의 어느 한 항에 있어서, 상기 보텍스장치는 수개의 캐스케이딩 보텍스 디스크를 가지는 것을 특징으로 하는 가스서플라이.
  11. 선행하는 항 중의 어느 한 항에 있어서, 상기 보텍스장치는 수개의 보텍스 디스크을 포함하는 시스템을 가지는 것을 특징으로 하는 가스서플라이.
  12. 정전필터와 선행하는 항 중의 어느 한 항의 가스 서플라이를 가지는 정전필터장치.
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