KR20060042459A - 유기 전계 발광 표시 장치 및 그 제조 방법 - Google Patents
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 23
- 238000005401 electroluminescence Methods 0.000 title description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 96
- 230000002745 absorbent Effects 0.000 claims abstract description 55
- 239000002250 absorbent Substances 0.000 claims abstract description 55
- 238000005538 encapsulation Methods 0.000 claims abstract description 55
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 36
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims abstract description 29
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims abstract description 18
- 239000012044 organic layer Substances 0.000 claims abstract description 6
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 claims description 11
- 239000011358 absorbing material Substances 0.000 claims description 7
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 claims description 4
- 238000005240 physical vapour deposition Methods 0.000 claims description 4
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims description 2
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 abstract description 3
- 239000010408 film Substances 0.000 description 11
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 11
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 6
- 239000011229 interlayer Substances 0.000 description 4
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 4
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 3
- 239000007772 electrode material Substances 0.000 description 3
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 3
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910021417 amorphous silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 2
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 2
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 2
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 2
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 235000002918 Fraxinus excelsior Nutrition 0.000 description 1
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 239000002956 ash Substances 0.000 description 1
- 238000002425 crystallisation Methods 0.000 description 1
- 230000008025 crystallization Effects 0.000 description 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000010292 electrical insulation Methods 0.000 description 1
- 238000005468 ion implantation Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 229910021421 monocrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- ORQBXQOJMQIAOY-UHFFFAOYSA-N nobelium Chemical compound [No] ORQBXQOJMQIAOY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000002161 passivation Methods 0.000 description 1
- 239000011241 protective layer Substances 0.000 description 1
- 230000035939 shock Effects 0.000 description 1
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
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- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K50/00—Organic light-emitting devices
- H10K50/80—Constructional details
- H10K50/84—Passivation; Containers; Encapsulations
- H10K50/846—Passivation; Containers; Encapsulations comprising getter material or desiccants
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- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K71/00—Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
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- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K71/00—Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
- H10K71/10—Deposition of organic active material
- H10K71/16—Deposition of organic active material using physical vapour deposition [PVD], e.g. vacuum deposition or sputtering
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- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K71/00—Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
- H10K71/20—Changing the shape of the active layer in the devices, e.g. patterning
- H10K71/231—Changing the shape of the active layer in the devices, e.g. patterning by etching of existing layers
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Abstract
Description
Claims (15)
- 제1전극, 적어도 유기 발광층을 포함하는 유기막층 및 제2전극을 포함하는 소자 기판; 및상기 소자 기판에 대향하고, 가장 자리 영역의 두께가 내부 영역의 두께보다 두껍게 형성된 흡습재를 포함하는 봉지 기판을 포함하는 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 표시 장치.
- 제 1 항에 있어서,상기 가장 자리 영역은 상기 소자 기판의 발광부의 주변부와 대응함을 특징으로 하는 유기 전계 발광 표시 장치.
- 제 1 항에 있어서,상기 내부 영역은 상기 기판의 발광부와 대응함을 특징으로 하는 유기 전계 발광 표시 장치.
- 제 1 항에 있어서,상기 가장 자리 영역에 형성된 흡습재의 두께는 50 내지 150㎛임을 특징으로 하는 유기 전계 발광 표시 장치.
- 제 1 항에 있어서,상기 내부 영역에 형성된 흡습재의 두께는 10 내지 60㎛임을 특징으로 하는 유기 전계 발광 표시 장치.
- 제 1 항에 있어서,상기 흡습재는 화학적 기상 증착법 또는 물리적 기상 증착법 중 어느 하나를 이용하여 형성되어짐을 특징으로 하는 유기 전계 발광 표시 장치.
- 소자 기판 및 봉지 기판을 준비하는 단계;상기 소자 기판상에 제1전극, 적어도 유기 발광층을 포함하는 유기막층 및 제2전극을 형성하는 단계;상기 봉지 기판상에 가장 자리 영역이 내부 영역보다 두꺼운 흡습재를 형성하는 단계; 및상기 소자 기판을 봉지 기판을 사용하여 봉지하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 표시 장치 제조 방법.
- 제 7 항에 있어서,상기 봉지 기판상에 가장 자리 영역이 내부 영역보다 두꺼운 흡습재를 형성하는 단계는 상기 봉지 기판 전면에 걸쳐 제1흡습재를 형성하고, 상기 봉지 기판의 가장 자리 영역에 제2흡습재를 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 표시 장치 제조 방법.
- 제 8 항에 있어서,상기 제2흡습재를 형성하는 단계는 상기 제1흡습재상의 내부 영역에 포토레지스트 패턴을 형성하고, 상기 봉지 기판 전면에 걸쳐 제2흡습재 물질을 형성한 후, 상기 포토레지스트 패턴 및 상기 포토레지스트 패턴상에 형성된 제2흡습재 물질을 제거하여 제2흡습재를 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 표시 장치 제조 방법.
- 제 7 항에 있어서,상기 봉지 기판상에 가장 자리 영역이 내부 영역보다 두꺼운 흡습재를 형성 하는 단계는 상기 봉지 기판상에 흡습재 물질을 형성하고, 내부 영역의 흡습재 물질을 소정의 깊이로 식각하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 유기 전계 발광 표시 장치 제조 방법.
- 제 7 항에 있어서,상기 가장 자리 영역은 상기 소자 기판의 발광부의 주변부와 대응하도록 형성함을 특징으로 하는 유기 전계 발광 표시 장치 제조 방법.
- 제 7 항에 있어서,상기 내부 영역은 상기 소자 기판의 발광부와 대응하도록 형성함을 특징으로 하는 유기 전계 발광 표시 장치 제조 방법.
- 제 7 항에 있어서,상기 가장 자리 영역에 형성된 흡습재의 두께는 50 내지 150㎛임을 특징으로 하는 유기 전계 발광 표시 장치 제조 방법.
- 제 7 항에 있어서,상기 내부 영역에 형성된 흡습재의 두께는 10 내지 60㎛임을 특징으로 하는 유기 전계 발광 표시 장치 제조 방법.
- 제 7 항에 있어서,상기 흡습재는 화학적 기상 증착법 또는 물리적 기상 증착법 중 어느 하나를 이용하여 형성함을 특징으로 하는 유기 전계 발광 표시 장치 제조 방법.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020040091043A KR100685417B1 (ko) | 2004-11-09 | 2004-11-09 | 유기 전계 발광 표시 장치 및 그 제조 방법 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020040091043A KR100685417B1 (ko) | 2004-11-09 | 2004-11-09 | 유기 전계 발광 표시 장치 및 그 제조 방법 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20060042459A true KR20060042459A (ko) | 2006-05-15 |
KR100685417B1 KR100685417B1 (ko) | 2007-02-22 |
Family
ID=37148323
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020040091043A KR100685417B1 (ko) | 2004-11-09 | 2004-11-09 | 유기 전계 발광 표시 장치 및 그 제조 방법 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR100685417B1 (ko) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100983582B1 (ko) * | 2007-12-31 | 2010-10-11 | 엘지디스플레이 주식회사 | 노광 장치 및 노광 방법과 그 노광 장치를 이용한 박막패터닝 방법 |
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100983582B1 (ko) * | 2007-12-31 | 2010-10-11 | 엘지디스플레이 주식회사 | 노광 장치 및 노광 방법과 그 노광 장치를 이용한 박막패터닝 방법 |
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---|---|
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A201 | Request for examination | ||
E902 | Notification of reason for refusal | ||
E90F | Notification of reason for final refusal | ||
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