KR20060042368A

KR20060042368A - 가스공급제어장치

Info

Publication number: KR20060042368A
Application number: KR1020040091012A
Authority: KR
Inventors: 박홍식
Original assignee: 삼성전자주식회사
Priority date: 2004-11-09
Filing date: 2004-11-09
Publication date: 2006-05-12

Abstract

본 발명은 반도체 설비의 가스 공급장치에 관한 것으로, 가스 공급 라인 상에 설치되어, 공기압에 의해 밸브를 개폐하는 공기압 밸브; 상기 공기압 밸브를 제어 하는 솔레노이드 밸브; 상기 소레노이드 밸브와 공기압 밸브를 연결하는 공기압 라인; 상기 공기압 라인의 압력을 체크하여 상기 솔레노이드 밸브의 오동작을 체크하는 수단을 구비하는 것을 특징으로 한다.

Description

가스공급제어장치{GAS SUPPLY CONTROL APPARATUS}

도 1은 종래의 반도체 설비의 가스 공급 제어 장치의 개략도.

도 2는 본 발명에 따른 반도체 설비의 가스 공급 제어 장치의 개략도.

< 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 >

10, 20; 가스 공급 라인 12, 22; 공기압 밸브

11, 21; 공기압 라인 14, 24; 솔레노이드 밸브

16, 26 ; 설비 메인 컨트롤러 28; 공기압 모니터링 시스템

본 발명은 반도체 설비의 가스 공급 제어 장치에 관한 것으로, 특히 가스 공급을 조절하기 위해 개폐되는 공기압 밸브을 제어 하기 위하여 전자석 밸브를 사용하는 반도체 제조 설비의 가스 공급 제어 장치에 관한 것이다.

도 1은 종래에 사용되고 있는 가스 공급 제어 장치에 대하여 설명하고 있다.

일반적으로, 공기압으로 구동되는 공기압 밸브(12)는 솔레노이드 밸브(14)를 이용하여 제어한다. 공기압을 조절하는 장치인 솔레노이드 밸브(14)는 전자석의 흡인력을 이용하여 공기의 흐름을 조절한다. 상기 솔레노이드 밸브(14)가 고장난 경 우 공기압 라인(11) 내의 공기압의 문제가 발생하면 가스라인(10) 상의 공기압 밸브가 제대로 동작하지 않게 된다. 따라서 메인 컨트롤러에서 가스 차단 명령을 주어도, 가스는 계속 공급되어 공정 에러를 야기시키게 된다.

예를들어, 메인 컨트롤러(16)에서 오픈 신호를 주어 일정시간 가스 공급이 진행 된 후, 메인 컨트롤러(16)에서 클로즈(close) 신호를 주면 솔레노이드 밸브(14)의 작동에 의해 공기압 밸브(12)가 닫여야 되는데, 솔레노이드 밸브(14)의 동작이 원활하지 않을 경우 계속 공기압 라인(11)으로 에어가 가압되면서 공기압 밸브(12)가 클로즈되지 않고, 결국에는 가스가 공급되는 문제점이 발생된다.

따라서 본 발명의 목적은 상기의 문제점을 해결하기 위하여 공기압으로 작동하는 공기압밸브에 항상 일정한 공기압을 공급하여 오동작을 미연에 방지함으로써 설비의 안정성을 확보하는데 있다.

이하 본 발명의 바람직한 실시 예를 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명한다. 우선 도면의 구성 요소들에 참조부호를 부가함에 있어서, 동일한 구성 요소들에 한해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 부호를 가지도록 하고 있음에 유의해야 한다. 또한 하기 의 설명에서 구체적인 설비 구조와 같은 많은 특정 상세들은 본 발명의 보다 전반적인 이해를 제공하기 위해 나타나 있다. 이들 특정 상세들 없이 본 발명이 실시될 수 있다는 것은 이 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게는 자명할 것이다. 그리고 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 공지 기능 및 구성에 대한 상세한 설명은 생략한다.

도 2는 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 반도체 설비의 가스 공급 장치에 대한 개략도 이다. 상기 도 2에서; 참조부호 20은 가스 공급라인, 참조부호 22는 공기압 밸브, 참조부호 21은 공기압 라인, 참조부호 24는 솔레노이드 밸브, 참조부호 26는 설비 메인 컨트롤로, 그리고 참조부호 28은 공기압 모니터링 시스템을 나타낸다.

상기 공기압 밸브(22)는, 가스 공급 라인(20) 상에 설치되어, 가스 공급을 제어 한다. 상기 솔레노이드 밸브(24)는 상기 공기압 밸브(22)를 제어하며, 이를 위해서 솔레노이드 밸브(24)와 상기 공기압 밸브(22)는 공기압 라인(21)에 의해 연결되어 있다.

상기 공기압 모니터링 시스템(28)은 상기 솔레노이드 밸브(24)와 상기 공기압 밸브(22)를 연결하는 상기 공기압 라인(20) 상의 압력을 체크하여 상기 솔레노이드 밸브(24)의 오동작을 체크하기 위한 것이다. 상기 공기압 모니터링 시스템(28)은 상기 공기압 라인(20) 상의 압력을 감지하는 압력센서와 상기 압력 센서로부터 데이터를 입력받아 상기 솔레노이드 밸브(24)의 조작에 대한 제어 신호를 상호 비교하여 인터록 발생여부를 결정하는 설비 메인 컨트롤러(26)로 이어진다. 상기 컨트롤러는 공기압 라인(20) 상의 압력이 일정 범위를 벗어 날 경우 인터록을 발생 시킬 수 있다. 이러한 구성을 갖는 본 발명에 의하면, 컨트롤러(26)에서 가스 차단 명령이 떨어지면, 전기적인 신호가 솔레노이드 밸브(24)에 전달되고, 솔레노이드 밸브(24)가 클로즈(close)되어 공기압 라인(21)으로 에어 유입이 차단되고, 상기 압력센서에서는 압력이 없는 것으로 체크된다. 반대로 가스 공급명령이 떨어지면, 솔레노이드 밸브(24)가 오픈되어, 공기압 라인(21)으로 에어가 유입되고, 상기 압력 센서에서는 압력이 체크된다. 이러한 관계를 이용하여 상기 공기압밸브(22)가 클로즈 상태이어야 하는데, 공기압 라인에서는 압력이 체크 될 경우, 이를 공기압 모니터링 시스템(28)에서 모니터링하여, 상기 솔레노이드 밸브(24)가 고장난 것으로 판단하여 인터록을 발생시킨으로써, 사전에 이로 인한 공정 불량을 예방할 수 있다.

이와 같이, 본 발명의 가스 공급 장치는 솔레노이드 밸브(24)와 공기압 밸브를 연결하는 공기압 라인내의 압력을 모니터링 할 수 있는 시스템(28)을 부가하여, 솔레노이드 밸브(24)의 오작동 여부를 체크할 수 있다.

이상에서 살펴본 바와 같이, 본 발명에 따르면, 반도체 제조 설비의 가스 공급장치에서 공기압 밸브를 제어 하는 솔레노이드 밸브의 오동작을 체크함으로써, 밸브의 오작동에 의한 공정 결함을 방지 할 수 있는 효과가 있다.

Claims

반도체 제조 설비의 가스 공급 제어 장치에 있어서:

가스 공급 라인상에 설치되는 공기압 밸브;

전기적인 신호로 동작하며, 상기 공기압 밸브를 제어하는 솔레노이드 밸브;

상기 공기압 밸브와 솔레노이드 밸브를 연결하는 공기압 라인;

상기 공기압 라인의 압력을 체크하는 모니터링 시스템을 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조 설비의 가스 공급 장치.
제1항에 있어서, 상기 공기압 밸브는 상기 솔레노이드 밸브에 의해 제어 되는 것을 특징으로 하는 가스 공급 장치.
제1항에 있어서, 상기 모니터링 시스템에 압력 시스템이 연결되어 있는 것을 특징으로 하는 가스 공급장치.