KR20040003472A - 에어동작 밸브의 구동장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 에어동작 밸브의 구동장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 에어동작 밸브의 동작상태를 감지할 수 있도록 하는 에어동작 밸브의 구동장치에 관한 것이다.

본 발명은 에어가 유동하는 에어라인과; 유체원이 이동하는 유체라인과; 상기 에어라인으로 에어가 이동하도록 에어를 공급하는 에어공급 유닛과; 상기 에어라인으로 이동한 에어를 통해 상기 유체원의 공급과 차단을 제어하는 에어동작 밸브와; 상기 에어동작 밸브의 일측에 구비되고, 상기 에어동작 밸브로 유입된 에어의 공기압에 따라 업/다운 상태로 위치하는 육안확인용 캡과; 상기 육안확인용 캡의 상부에 위치하여 캡의 업/다운 상태에 따라 상기 에어동작 밸브의 동작상태를 감지하는 감지수단과; 상기 에어동작 밸브의 구동을 전반적으로 제어하는 콘트롤러로 이루어진다. 상기 에어공급 유닛은 상기 에어공급 유닛 내부에 위치한 에어가 상기 에어라인으로 유동하는 것을 제어하는 솔레노이드 밸브를 더 구비한다.

Description

에어동작 밸브의 구동장치{deriving unit of air movement valve}

본 발명은 에어동작 밸브의 구동장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 에어동작 밸브의 동작상태를 감지할 수 있도록 하는 에어동작 밸브의 구동장치에 관한 것이다.

최근 들어 반도체소자의 제조공정에서 최적의 설계뿐만 아니라 고도의 기술이 요구되는 공정 기술들이 뒷받침되어야 한다. 이들 공정 기술은 다양한 화학약품, 반응 기체를 각 공정장비에 적정량 공급시켜야 하는 데 이를 위해서는 유체 및 에어의 유량을 제어 및 공급 차단하기 위한 밸브의 구동장치 등을 필요로 한다.

종래 에어동작 밸브의 구동장치를 개략적으로 도시한 도면을 도 1에 도시하고 이를 참조하여 에어동작 밸브의 구동상태를 설명하면, 다음과 같다.

우선, 콘트롤러(10)의 제어신호에 따라 솔레노이드 밸브(22)에 온신호가 입력되면 에어공급 유닛(24)을 개방한다. 상기 에어공급 유닛(24)의 개방에 따라 에어(A)는 에어라인(20)을 따라 이동하여 에어동작 밸브(30)에 유입한다. 유입한 에어의 압력에 의해 에어동작 밸브(30)의 정상에 위치한 육안확인용 캡(30)은 업(up)상태로 위치하고, 유체원(B)은 흐르게 된다. 유체원이 흐른 후 상기 에어동작 밸브(30)의 육안확인용 캡(30)은 밸브내 공기압에 따라 기계적으로 업/다운상태로 위치한다.

그러나 상기 에어동작 밸브의 구동장치 각 구성요소, 즉 에어동작 밸브, 솔레노이드 밸브 등이 구동하지 않는 문제가 발생할 수 있는 데, 이들이 구동하지 않게 되면 에어동작 밸브로 에어의 이동유무 및 유체원의 이동유무 등을 확인 및 감지하는 것이 불가능하다.

따라서 이러한 경우 에어동작 밸브 구동장치의 불량을 야기시키고, 이 불량상태를 확인할 때까지 기타 관련 장비들이 계속 가동됨으로써 고가 장비들의 수명을 단축시키는 등의 문제점이 있다.

상술한 문제점을 해결하기 위한 본 발명은 에어동작 밸브의 구동 상태를 감지/확인 할 수 있도록 하는 에어동작밸브의 구동장치를 제공함에 있다.

도 1은 종래 에어동작 밸브의 구동장치를 개략적으로 도시한 도면이다.

도 2는 본 발명에 따른 에어동작 밸브의 구동장치를 개략적으로 도시한 도면이다.

상기 목적을 달성하기 위하여 본 발명에서는, 에어가 유동하는 에어라인과; 유체원이 이동하는 유체라인과; 상기 에어라인으로 에어가 이동하도록 에어를 공급하는 에어공급 유닛과; 상기 에어라인으로 이동한 에어를 통해 상기 유체원의 공급과 차단을 제어하는 에어동작 밸브와; 상기 에어동작 밸브의 일측에 구비되고, 상기 에어동작 밸브로 유입된 에어의 공기압에 따라 업/다운 상태로 위치하는 육안확인용 캡과; 상기 육안확인용 캡의 상부에 위치하여 캡의 업/다운 상태에 따라 상기 에어동작 밸브의 동작상태를 감지하는 감지수단과; 상기 에어동작 밸브의 구동을 전반적으로 제어하는 콘트롤러로 이루어진다. 상기 에어공급 유닛은 상기 에어공급 유닛 내부에 위치한 에어가 상기 에어라인으로 유동하는 것을 제어하는 솔레노이드 밸브를 더 구비한다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 대해 상세히 설명한다.

도 2는 본 발명에 의한 에어동작 밸브의 구동장치를 개략적을 도시한 도면으로서, 용이한 설명을 위해, 종래 기술과 동일한 구성요소에 대해서는 동일 참조부호를 부여하였다.

본 발명에 따른 에어동작 밸브의 구동장치는 에어가 유동하는 에어라인(20)과; 유체원이 이동하는 유체라인(40)과; 상기 에어라인(20)으로 에어가 이동하도록 에어를 공급하는 에어공급 유닛(24)과; 상기 에어공급 유닛(24) 내부에 위치한 에어가 상기 에어라인(20)으로 유동하는 것을 제어하는 솔레노이드 밸브(22)와; 상기에어라인(20)을 통해 이동한 에어를 통해 상기 유체원의 공급과 차단을 제어하는 에어동작 밸브(30)와; 상기 에어동작 밸브의 구동장치에 대해 전반적으로 제어하는 콘트롤러(10)로 이루어진다.

상기 에어동작 밸브(30)는 상기 에어동작 밸브(30)내로 유입된 에어의 공기압에 따라 업/다운 상태로 위치하는 육안확인용 캡(30a)과; 상기 캡의 상부에 위치하여 캡의 업/다운 상태에 따라 그 동작상태를 감지하는 감지수단(30b)으로 이루어진다.

이와 같이 구성된 본 발명에 따른 에어동작 밸브의 구동장치의 동작은 다음과 같다.

우선, 콘트롤러(10)의 제어신호에 따라 솔레노이드 밸브(22)에 온신호가 입력되면 에어공급 유닛(24)에 위치한 에어(A)가 에어라인(20)을 통해 에어동작 밸브(30)로 이동하면, 에어동작 밸브(30)로 유입된 에어의 압력으로 인해 에어동작 밸브의 육안확인용 캡(30a)은 업(up)상태로 위치한다.

육안확인용 캡(30a)이 업상태로 위치하면 에어동작 밸브(30)는 개방되고, 유체원(B)은 유체라인(40)을 따라 이동한다. 상기 에어동작 밸브의 육안확인용 캡(40a)이 업상태로 위치함에 따라 에어동작밸브의 오픈/클로우즈 감지를 위한 감지수단(40b)은 오픈 상태를 알리는 전기적 신호를 상기 콘트롤러(10)에 보내 에어동작밸브의 오픈 상태임을 알린다.

에어동작밸브의 클로우즈 상태는 콘트롤러(10)의 제어신호에 따라 상기 솔레노이드 밸브(22)에 오프신호가 인가되면, 상술한 온상태와 상반되는 방향으로 동작한다.

상기 콘트롤러(10)에 상기 에어동작 밸브의 오동작시 구동하는 경보수단을 부가하여 상기 구동장치의 문제발생을 즉시 사용자에게 알려 신속히 대처할 수 있도록 한다.

상술한 바와 같이 본 발명은 에어동작 밸브에 감지수단을 더 구비함으로써, 에어동작 밸브의 동작상태를 즉시 감지/확인할 수 있도록 한다.

이상에서 살펴본 바와 같이 본 발명은 소정의 감지수단에 의해 에어동작밸브의 오픈/클로우즈 상태를 감지/확인 할 수 있는 효과가 있다.

또, 에어동작 밸브의 오동작 및 불량을 감지 / 확인할 수 있어 기타 관련 장비들의 손상을 방지할 수 있는 효과가 있다.

Claims (2)

1. 에어가 유동하는 에어라인과;

   유체원이 이동하는 유체라인과;

   상기 에어라인으로 에어가 이동하도록 에어를 공급하는 에어공급 유닛과;

   상기 에어라인으로 이동한 에어를 통해 상기 유체원의 공급과 차단을 제어하는 에어동작 밸브와;

   상기 에어동작 밸브의 일측에 구비되고, 상기 에어동작 밸브로 유입된 에어의 공기압에 따라 업/다운 상태로 위치하는 육안확인용 캡과;

   상기 육안확인용 캡의 상부에 위치하여 캡의 업/다운 상태에 따라 상기 에어동작 밸브의 동작상태를 감지하는 감지수단과;

   상기 에어동작 밸브의 구동을 전반적으로 제어하는 콘트롤러로 이루어지는 것을 특징으로 하는 에어동작밸브의 구동장치.
2. 제 1 항에 있어서, 상기 에어공급 유닛은

   상기 에어공급 유닛 내부에 위치한 에어가 상기 에어라인으로 유동하는 것을 제어하는 솔레노이드 밸브를 더 구비한 것을 특징으로 하는 에어동작 밸브의 구동장치.